JPH06301205A - Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same - Google Patents

Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same

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JPH06301205A
JPH06301205A JP8502593A JP8502593A JPH06301205A JP H06301205 A JPH06301205 A JP H06301205A JP 8502593 A JP8502593 A JP 8502593A JP 8502593 A JP8502593 A JP 8502593A JP H06301205 A JPH06301205 A JP H06301205A
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JP
Japan
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resin composition
photosensitive resin
epoxy
group
photosensitive
Prior art date
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Pending
Application number
JP8502593A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsunori Tsuchiya
勝則 土屋
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Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Filing date
Publication date
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Abstract

PURPOSE:To enhance thermal stability, to enable development with water or an aq. alkali soln. and to form a soldering mask excellent in resolution and heat resistance to soldering by incorporating a specified polymer, a reactant an epoxy compd. and a photo-initiator. CONSTITUTION:The objective photosensitive resin compsn. contains a vinyl polymer (a) having groups represented by the formula in the side chain, a reactant (b) of water-soluble hydantoin epoxy resin with unsatd. monocarboxylic acid, an epoxy compd. (c) having one or more epoxy grops in one molecule and a photo-initiator (d) which generates free radicals under active light. This compsn. is laminated on a substate film to obtain the objective photosensitive element. In the formula, each of R1 and R2 is H, alkyl or aryl and R3 is alkyl or hydroxyalkyl. Tris(2,3-epoxypropyl) isocyanurate or water-soluble hydantoin epoxy resin is preferably used as the epoxy compd. (c).

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、感光性樹脂組成物、さ
らに詳しくはプリント配線板製造、金属精密加工などに
使用しうる保護膜形成用の感光性樹脂組成物及びこれを
用いた感光性エレメントに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive resin composition, more specifically, a photosensitive resin composition for forming a protective film which can be used for printed wiring board production, precision metal processing, etc., and a photosensitive resin composition using the same. Regarding elements.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、プリント配線板業界においては、
ソルダマスク、化学めっき用レジストなどには優れた特
性を有する感光性樹脂組成物が用いられている。ソルダ
マスクの主な目的は、はんだ付け時のはんだ付け領域を
限定し、はんだブリッジなどを防ぎ、裸の銅導体の腐食
を防止し、長期にわたって導体間の電気絶縁性を保持す
ることにある。ソルダマスクとしては、通常、エポキシ
樹脂、アミノプラスト樹脂等の熱硬化性樹脂を主成分と
する印刷マスクが用いられる。しかし、近年、電気機器
の小型化、高性能化に伴い、抵抗、コンデンサ等の個別
部分の小型化、リードレス化及びIC部品の多ピン化、
ピンピッチの狭小化、パッケージ形態の多様化が進み、
さらに、これらの部品類を搭載するプリント配線板も導
体パターンの高密度化(細線化、導体間隙の狭小化、バ
イアホールの小型化、多層化)が進んでおり、また、部
品実装の方式も従来のリード付き部品と差し込むピン挿
入実装に代わって、より高密度化が可能なチップ部品を
載せる表面実装技術が普及してきており、これに対応す
るためにプリント配線板に用いられるソルダレジストも
位置精度、解像性に優れた高精度のものが望まれるよう
になり、従来のスクリーン印刷を利用してパターンを形
成する印刷法では対応が困難となってきている。
2. Description of the Related Art Conventionally, in the printed wiring board industry,
Photosensitive resin compositions having excellent properties are used for solder masks, resists for chemical plating, and the like. The main purpose of the solder mask is to limit the soldering area during soldering, prevent solder bridges, etc., prevent corrosion of bare copper conductors, and maintain electrical insulation between conductors for a long period of time. As the solder mask, a printing mask containing a thermosetting resin such as an epoxy resin or an aminoplast resin as a main component is usually used. However, in recent years, along with the miniaturization and high performance of electric devices, miniaturization of individual parts such as resistors and capacitors, leadlessness, and increased pin count of IC parts,
Narrow pin pitch, diversification of package form,
Furthermore, the printed wiring boards on which these parts are mounted are also becoming denser in conductor patterns (thin lines, narrower conductor gaps, smaller via holes, and more layers). Surface mounting technology for mounting chip parts that can achieve higher densities is becoming popular in place of conventional lead insertion parts and pin insertion mounting, and in order to respond to this, the solder resist used for printed wiring boards is also located. A high-precision one having excellent precision and resolution has been demanded, and it has become difficult to cope with the conventional printing method of forming a pattern by using screen printing.

【0003】そこで、写真現像法(イメージ露光に続く
現像により画像を形成する方法)で寸法精度、解像性に
優れた高精度、高信頼性のソルダマスクを形成する感光
性樹脂組成物の出現が望まれてきた。従来、ソルダマス
ク形成用感光性樹脂組成物としては、アクリル系ポリマ
ー及び光重合性モノマーを主成分とする感光性樹脂組成
物(特開昭53−56018号公報、同54−1018
号公報等)が知られている。しかしながら、これらの感
光性樹脂組成物は、フィルム性付与のためにアクリル系
ポリマーを多量に使用していることにより、硬化被膜の
耐熱性が充分でないという欠点がある。一方、耐熱性の
良好な感光性樹脂組成物として、主鎖にカルコン基を有
する感光性エポキシ樹脂及びエポキシ樹脂硬化剤を主成
分とする組成物(特開昭54−82073号公報、同5
8−62636号公報等)が提案されている。しかし、
これらの光二量化型感光性樹脂組成物は、感度が低いた
め、厚膜のレジスト形成が困難であり、さらに、現像液
としてシクロヘキサノン等の可燃性有機溶剤を使用する
必要があるため、安全上も好ましくない。
Therefore, the advent of a photosensitive resin composition for forming a highly accurate and highly reliable solder mask excellent in dimensional accuracy and resolution by a photographic developing method (a method of forming an image by developing after image exposure) has been developed. Has been desired. Conventionally, as a photosensitive resin composition for forming a solder mask, a photosensitive resin composition containing an acrylic polymer and a photopolymerizable monomer as main components (Japanese Patent Laid-Open Nos. 53-56018 and 54-1018).
No. gazette) is known. However, these photosensitive resin compositions have a drawback that the heat resistance of the cured film is not sufficient because of the large amount of acrylic polymer used for imparting film property. On the other hand, as a photosensitive resin composition having good heat resistance, a composition containing a photosensitive epoxy resin having a chalcone group in its main chain and an epoxy resin curing agent as main components (Japanese Patent Laid-Open Nos. 54-82073, 5 and 5).
8-62636) has been proposed. But,
These photodimerization type photosensitive resin compositions have low sensitivity, so that it is difficult to form a thick film resist, and since it is necessary to use a flammable organic solvent such as cyclohexanone as a developing solution, it is also safe. Not preferable.

【0004】また、エポキシ基を含有するノボラック型
エポキシアクリレート及び光重合開始剤を主成分とする
組成物(特開昭61−272号公報等)も提案されてい
る。これらの成分は、耐熱性に優れており、有用である
が、現像液として1,1,1−トリクロルエタン/低級
アルコール混合液を用いる必要があり、現像液管理に問
題がある。また、1,1,1−トリクロルエタンの使用
は、地下水汚染の恐れがあり、環境保全上好ましくな
い。安全性及び経済性に優れたアルカリ水溶液で現像可
能なソルダマスク形成用感光性樹脂組成物としては、カ
ルボキシル基含有ポリマー、単量体、光重合開始剤及び
熱硬化性樹脂を主成分とする組成物(特開昭48−73
148号公報、同57−178237号公報、同58−
42040号公報、同59−151152号公報等)が
知られている。これらの組成物では、熱硬化性樹脂とし
てエポキシ樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂などが用いら
れ、トリグリシジルイソシアヌレートなど、有機溶剤に
不溶性のエポキシ樹脂を分散使用する例も開示されてい
る。しかし、これらの組成物は、解像度、耐溶剤性、吸
湿時のはんだ耐熱性などの特性が必ずしも充分とはいえ
ない。さらに、特開昭61−243869号公報にはノ
ボラック型エポキシ樹脂とアクリル酸との反応物(酸当
量/エポキシ当量比0.95〜1.05)と酸無水物と
を反応させて得られるオリゴマー、光重合開始剤、トリ
グリシジルイソシアヌレート等のエポキシ樹脂、イミダ
ゾール等のエポキシ樹脂硬化剤、充填剤並びに溶剤を含
有する液状レジストインキ組成物が提案されている。こ
の組成物は、アルカリ水溶液で現像可能であり、ソルダ
マスクとしての特性も優れている。しかし、この組成物
は、エポキシ基とカルボキシル基が混在するため可使時
間が短く、さらに乾燥裕度(乾燥時の加熱により反応が
進行し、現像できなくなるまでの時間及び温度条件)が
狭いため作業性が悪いという欠点がある。
Further, a composition containing an epoxy group-containing novolac type epoxy acrylate and a photopolymerization initiator as main components (JP-A-61-272, etc.) has also been proposed. These components have excellent heat resistance and are useful, but it is necessary to use a 1,1,1-trichloroethane / lower alcohol mixed solution as a developing solution, which is a problem in developing solution management. In addition, the use of 1,1,1-trichloroethane is not preferable in terms of environmental protection because it may cause groundwater contamination. The photosensitive resin composition for forming a solder mask, which is excellent in safety and economy and can be developed with an alkaline aqueous solution, is a composition containing a carboxyl group-containing polymer, a monomer, a photopolymerization initiator and a thermosetting resin as main components. (JP-A-48-73
No. 148, No. 57-178237, No. 58-
No. 42040, No. 59-151152, etc.) are known. In these compositions, an epoxy resin, a melamine resin, a urea resin or the like is used as a thermosetting resin, and an example in which an epoxy resin insoluble in an organic solvent such as triglycidyl isocyanurate is dispersed is also disclosed. However, these compositions do not always have sufficient characteristics such as resolution, solvent resistance, and solder heat resistance when absorbing moisture. Further, in JP-A-61-243869, an oligomer obtained by reacting a reaction product of a novolac type epoxy resin and acrylic acid (acid equivalent / epoxy equivalent ratio 0.95 to 1.05) with an acid anhydride is disclosed. A liquid resist ink composition containing a photopolymerization initiator, an epoxy resin such as triglycidyl isocyanurate, an epoxy resin curing agent such as imidazole, a filler and a solvent has been proposed. This composition can be developed with an aqueous alkaline solution and has excellent properties as a solder mask. However, this composition has a short pot life because the epoxy group and the carboxyl group are mixed, and has a narrow drying margin (time and temperature conditions until the reaction proceeds due to heating during drying and development cannot be performed). It has the drawback of poor workability.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来技
術の欠点を解消し、熱安定性が高く、作業裕度が広く、
安全性及び経済性に優れた水又はアルカリ水溶液により
現像でき、かつ、解像性、はんだ耐熱性などに優れた高
信頼性ソルダマスクを形成しうる感光性樹脂組成物及び
これを用いた感光性エレメントを提供することを目的と
する。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned drawbacks of the prior art, has high thermal stability, and has a wide working margin.
Photosensitive resin composition which can be developed with water or alkaline aqueous solution excellent in safety and economy, and can form a highly reliable solder mask excellent in resolution, solder heat resistance and the like, and a photosensitive element using the same The purpose is to provide.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、(a)側鎖に
一般式(I)
The present invention provides a compound represented by the general formula (I) in the side chain (a).

【化2】 〔式中、R1及びR2はそれぞれ独立に水素原子、アルキ
ル基又はアリール基を表し、R3はアルキル基又はヒド
ロキシアルキル基を表す〕で示される基を有するビニル
系重合体、(b)水溶性のヒダントインエポキシ樹脂と
不飽和モノカルボン酸との反応物、(c)1分子中に1
個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物及び(d)
活性光により遊離ラジカルを生成する光開始剤を含有し
てなる感光性樹脂組成物並びにこの組成物を支持体フィ
ルム上に積層してなる感光性エレメントに関する。
[Chemical 2] [Wherein, R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group or an aryl group, and R 3 represents an alkyl group or a hydroxyalkyl group], a vinyl polymer having a group (b). Reaction product of water-soluble hydantoin epoxy resin and unsaturated monocarboxylic acid, (c) 1 in 1 molecule
An epoxy compound having one or more epoxy groups and (d)
The present invention relates to a photosensitive resin composition containing a photoinitiator which generates free radicals by active light, and a photosensitive element obtained by laminating this composition on a support film.

【0007】以下、本発明の感光性樹脂組成物に含有さ
れる各成分について詳述する。本発明の感光性樹脂組成
物は、必須成分(a)として側鎖に上記一般式(I)で
示される基を有するビニル系重合体を含有する。成分
(a)は、一般式(I)で示される基(アミンイミド
基)を有する重合性不飽和単量体の単位及び必要に応じ
て用いられる他の重合性単量体の単位から構成される。
アミンイミド基を有する重合性不飽和単量体としては、
下記の一般式(II)及び一般式(III)
Hereinafter, each component contained in the photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail. The photosensitive resin composition of the present invention contains, as an essential component (a), a vinyl polymer having a group represented by the above general formula (I) in its side chain. The component (a) is composed of a unit of a polymerizable unsaturated monomer having a group (amine imide group) represented by the general formula (I) and a unit of another polymerizable monomer used as necessary. .
As the polymerizable unsaturated monomer having an amine imide group,
The following general formula (II) and general formula (III)

【0008】[0008]

【化3】 [Chemical 3]

【0009】〔式中、Rは水素原子、炭素数1〜6のア
ルキル基(メチル基、エチル基、プロピル基、ヘキシル
基等)、ハロゲン(塩素、臭素等)又はシアノ基を表
し、R、R2及びR3は前記のものを表し、Xはアルキ
ル基、アリール基又はアラルキル基を表し、nは1〜4
の整数を表す〕で示される単量体などが挙げられる。具
体的には、上記一般式(II)で示される単量体として
は、1,1,1−トリメチルアミンメタクリルイミド、
1,1−ジメチル−1−エチルアミンメタクリルイミ
ド、1,1−ジメチル−1−(2−ヒドロキシプロピ
ル)アミンメタクリルイミド、1,1−ジメチル−1−
(2’−フェニル−2’−ヒドロキシエチル)アミンメ
タクリルイミド、1,1−ジメチル−1−(2’−ヒド
ロキシ−3’−フェノキシプロピル)アミンメタクリル
イミド、1,1,1−トリメチルアミンアクリルイミド
等が挙げられる。また、上記一般式(III)で示される単
量体としては、例えば、次の式(IV)、式(V)で示さ
れる単量体等が挙げられる。
[Wherein R represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (methyl group, ethyl group, propyl group, hexyl group, etc.), halogen (chlorine, bromine, etc.) or cyano group, and R 1 , R 2 and R 3 represent the above, X represents an alkyl group, an aryl group or an aralkyl group, and n is 1 to 4
Represents an integer of] and the like. Specifically, as the monomer represented by the general formula (II), 1,1,1-trimethylamine methacrylimide,
1,1-dimethyl-1-ethylamine methacrylimide, 1,1-dimethyl-1- (2-hydroxypropyl) amine methacrylimide, 1,1-dimethyl-1-
(2′-phenyl-2′-hydroxyethyl) amine methacrylimide, 1,1-dimethyl-1- (2′-hydroxy-3′-phenoxypropyl) amine methacrylimide, 1,1,1-trimethylamine acrylimide, etc. Is mentioned. Examples of the monomer represented by the general formula (III) include monomers represented by the following formulas (IV) and (V).

【0010】[0010]

【化4】 [Chemical 4]

【0011】その他、ジャーナル・オブ・ポリマー・サ
イエンス・パートA−1(JOURNALOF POLYMER SCIENCE
PART A-1 )第6巻363〜373頁、1968年/同
巻、2197〜2207頁、1968年/同第9巻34
53〜3470頁、1971年、ザ・ジャーナル・オブ
・オーガニック・ケミストリー( The Journal of Orga
nic Chemistry )第33巻第4号、4月、1374〜1
378頁、1968年、マクロモレキュールズ(Macrom
olecules)第1巻第3号、5月〜6月、254〜260
頁、1968年/同第3巻第6号11月〜12月、71
5〜722頁、1970年、ジャーナル・オブ・アプラ
イド・ポリマー・サイエンス(JOURNALOF APPLIED POL
YMER SCIENCE )第15巻2609〜2621頁、19
71年、ケミカル・レビューズ(Chemical Reviews)第
73巻第3号255〜281頁、1973年、インダス
トリー・エンジニアリング・ケミストリー、プロダクシ
ョン・リサーチ・ディベロップメント(Ind. Eng. Che
m., Prod. Res. Develp. )第13巻第3号197〜2
01頁、1974年/同第19巻第3号338〜349
頁、1980年、アプライド・ポリマー・シンポジウム
(Applied Polymer Symposium )第26号387〜39
7頁、399〜410頁、1975年、ファインケミカ
ル12.15 ,14−24(1985)等に記載され
ているアミンイミド基を有する重合性不飽和単量体を挙
げることができるが、アミンイミド基を有した重合性不
飽和単量体であれば、これらに限定されることはない。
また、これらは、単独で又は2種以上を組み合わせて用
いてもよい。これらアミンイミド基を有する重合性不飽
和単量体が本発明における(a)ビニル系重合体中に含
有される量は、重合体のモルに基づいて通常5%以上、
好ましくは10%以上である。
[0011] In addition, JOURNALOF POLYMER SCIENCE
PART A-1) Volume 6, pages 363-373, 1968 / same volume, 2197-2207, 1968 / same volume 9, 34
Pp. 53-3470, 1971, The Journal of Organic Chemistry
nic Chemistry) Vol. 33, No. 4, April, 1374-1
P. 378, 1968, Macromolecules
olecules) Volume 1, Issue 3, May-June, 254-260
Page, 1968 / Vol. 3, No. 6, November-December, 71
Pp. 5-722, 1970, Journal of Applied Polymer Science (JOURNALOF APPLIED POL
YMER SCIENCE) Vol. 15 2609-2621, 19
71, Chemical Reviews, Vol. 73, No. 3, pp. 255-281, 1973, Industry Engineering Chemistry, Production Research Development (Ind. Eng. Che
m., Prod. Res. Develp.) Vol. 13, No. 3, 197-2
01, 1974 / Vol. 19, No. 3, 338-349
Pp. 1980, Applied Polymer Symposium No. 26, 387-39.
The polymerizable unsaturated monomer having an amine imide group described in P. 7, 399 to 410, 1975, Fine Chemical 12.15, 14-24 (1985) and the like can be mentioned. The polymerizable unsaturated monomer is not limited to these.
Moreover, you may use these individually or in combination of 2 or more types. The amount of the polymerizable unsaturated monomer having an amine imide group contained in the vinyl polymer (a) in the present invention is usually 5% or more based on the moles of the polymer,
It is preferably 10% or more.

【0012】必要により用いられる他の重合性単量体と
しては、(メタ)アクリル酸アルキルエステル〔(メ
タ)アクリル酸は、アクリル酸及びメタクリル酸を意味
する。以下同様〕(例えば、(メタ)アクリル酸メチ
ル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸2
−エチルヘキシル等)、(メタ)アクリル酸ヒドロキシ
アルキルエステル(例えば、(メタ)アクリル酸ヒドロ
キシエチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシプロピル、
(メタ)アクリル酸ヒドロキシヘキシル等)、芳香族ビ
ニル単量体(例えば、スチレン、α−メチルスチレン、
α−クロルスチレン等)、ハロゲン含有単量体(例え
ば、塩化ビニル、塩化ビニリデン等)、アルキル又はシ
クロアルキルビニルエーテル(例えば、メチルビニルエ
ーテル、シクロヘキシルビニルエーテル等)、ビニルエ
ステル(例えば、酢酸ビニル等)、ニトリル基含有単量
体(例えば、(メタ)アクリロニトリル等)、アミド基
含有単量体(例えば、(メタ)アクリルアミド、クロト
ンアミド、N−メチロールアクリルアミド、フマル酸ジ
アミド等)、カルボキシル基含有単量体(例えば、(メ
タ)アクリル酸、マレイン酸、無水マレイン酸等)など
が挙げられる。これらは、単独で又は2種以上組み合わ
せて用いてもよい。
As another polymerizable monomer used as necessary, (meth) acrylic acid alkyl ester [(meth) acrylic acid means acrylic acid and methacrylic acid. The same applies hereinafter] (for example, methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid 2
-Ethylhexyl, etc.), (meth) acrylic acid hydroxyalkyl ester (for example, (meth) acrylic acid hydroxyethyl, (meth) acrylic acid hydroxypropyl,
(Meth) acrylic acid hydroxyhexyl, etc.), aromatic vinyl monomer (for example, styrene, α-methylstyrene,
α-chlorostyrene etc.), halogen-containing monomer (eg vinyl chloride, vinylidene chloride etc.), alkyl or cycloalkyl vinyl ether (eg methyl vinyl ether, cyclohexyl vinyl ether etc.), vinyl ester (eg vinyl acetate etc.), nitrile Group-containing monomers (for example, (meth) acrylonitrile, etc.), amide group-containing monomers (for example, (meth) acrylamide, crotonamide, N-methylolacrylamide, fumaric acid diamide, etc.), carboxyl group-containing monomers ( For example, (meth) acrylic acid, maleic acid, maleic anhydride, etc.) can be mentioned. You may use these individually or in combination of 2 or more types.

【0013】本発明における成分(a)は、一般式
(I)で示される基(アミンイミド基)を有する重合性
不飽和単量体の単位及び必要により用いられる他の重合
性単量体を共重合して得ることができるが、共重合した
後にアミンイミド基を導入することもできる。共重合し
た後にアミンイミド基を側鎖に導入する方法は、前述の
文献等に記載されているが、例えば、アミンイミド基を
有する単量体の代わりに(メタ)アクリル酸アルキルエ
ステル(例えば、(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)
アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキ
シル等)、(メタ)アクリル酸ヒドロキシアルキルエス
テル(例えば、(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル、
(メタ)アクリル酸ヒドロキシプロピル、(メタ)アク
リル酸ヒドロキシヘキシル等)などを使用して共重合
し、その後ジメチルヒドラジンとエポキシ基を分子中に
1個以上有し、不飽和基を持たない化合物(例えば、エ
チレンオキシド、プロピレンオキシド、フェニルグリシ
ジルエーテル、グリシジルフタルイミド、エチレングリ
コールジグリシジルエーテル、プロピレングリコールジ
グリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリ
シジルエーテル、ネオペンチルグリコールジグリシジル
エーテル、アジピン酸ジグリシジルエステル等)を添加
し、攪拌混合により反応させて得られる。
The component (a) in the present invention comprises a unit of a polymerizable unsaturated monomer having a group (amine imide group) represented by the general formula (I) and optionally other polymerizable monomer. Although it can be obtained by polymerization, an amine imide group can be introduced after copolymerization. The method of introducing an amine imide group into the side chain after copolymerization is described in the above-mentioned documents and the like. For example, instead of a monomer having an amine imide group, a (meth) acrylic acid alkyl ester (for example, (meth ) Methyl acrylate, (meth)
Ethyl acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylic acid, etc., (meth) acrylic acid hydroxyalkyl ester (for example, (meth) acrylic acid hydroxyethyl,
(Meth) acrylic acid hydroxypropyl, (meth) acrylic acid hydroxyhexyl, etc.) are used for copolymerization, and then a compound having at least one dimethylhydrazine and an epoxy group in the molecule and having no unsaturated group ( (For example, ethylene oxide, propylene oxide, phenyl glycidyl ether, glycidyl phthalimide, ethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, 1,6-hexanediol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether, adipic acid diglycidyl ester) Is added and the reaction is carried out by mixing with stirring.

【0014】本発明において成分(a)として用いる側
鎖に一般式(I)で示される基を有するビニル系重合体
の分子量は、通常、1,000〜500,000、好ま
しくは5,000〜100,000である。分子量が
1,000未満の場合には、成膜性が劣る傾向があり、
500,000以上では現像性が劣る傾向がある。
The molecular weight of the vinyl polymer having a group represented by the general formula (I) in the side chain used as the component (a) in the present invention is usually 1,000 to 500,000, preferably 5,000 to. It is 100,000. When the molecular weight is less than 1,000, the film forming property tends to be poor,
When it is 500,000 or more, the developability tends to be poor.

【0015】本発明の感光性樹脂組成物は、さらに成分
(b)として水溶性のヒダントインエポキシ樹脂と不飽
和モノカルボン酸の反応物を含有する。ここで用いられ
る水溶性ののヒダントインエポキシ樹脂としては、5,
5−ジメチルヒダントインビスエポキシド、5,5−ジ
エチルヒダントインビスエポキシド、5−ベンジルヒダ
ントインビスエポキシド、5−イソプロピルヒダントイ
ンビスエポキシド、5−ペンタメチルヒダントインビス
エポキシド、5,5−テトラメチレンヒダントインビス
エポキシド及び前記ヒダントインビスエポキシド誘導体
と5,5−ジメチルヒダントイン、5,5−ジエチルヒ
ダントイン等のヒダントイン誘導体との縮合反応物など
が挙げられる。また、不飽和モノカルボン酸としては、
(メタ)アクリル酸、β−フリルアクリル酸、β−スチ
リルアクリル酸、α−シアノ桂皮酸、桂皮酸等が挙げら
れる。これら水溶性のヒダントインエポキシ樹脂と不飽
和モノカルボン酸の反応物の製造は、酸当量/エポキシ
当量比が0.8〜1.5の範囲、好ましくは0.9〜
1.1の範囲で常法により行われる。例えば、前記ヒダ
ントインエポキシ樹脂をメチルエチルケトン、メチルセ
ロソルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、シ
クロヘキサノン等の不活性有機溶剤に溶解し、触媒とし
てトリエチルアミン、トリ−n−ブチルアミン、ジエチ
ルシクロヘキシルアミン等の三級アミン、塩化ベンジル
トリメチルアンモニウム等の四級アンモニウム塩を、ま
た、重合禁止剤としてハイドロキノン、p−メトキシフ
ェノールなどを用い、70〜120℃で前記不飽和モノ
カルボン酸と攪拌反応させることにより得られる。
The photosensitive resin composition of the present invention further contains a reaction product of a water-soluble hydantoin epoxy resin and an unsaturated monocarboxylic acid as the component (b). The water-soluble hydantoin epoxy resin used here is 5,
5-Dimethylhydantoin bisepoxide, 5,5-diethylhydantoin bisepoxide, 5-benzylhydantoin bisepoxide, 5-isopropylhydantoin bisepoxide, 5-pentamethylhydantoin bisepoxide, 5,5-tetramethylenehydantoin bisepoxide and the hydantoin Examples thereof include condensation reaction products of a bisepoxide derivative and a hydantoin derivative such as 5,5-dimethylhydantoin and 5,5-diethylhydantoin. Further, as the unsaturated monocarboxylic acid,
(Meth) acrylic acid, β-furylacrylic acid, β-styrylacrylic acid, α-cyanocinnamic acid, cinnamic acid and the like can be mentioned. For the production of the reaction product of these water-soluble hydantoin epoxy resin and unsaturated monocarboxylic acid, the acid equivalent / epoxy equivalent ratio is in the range of 0.8 to 1.5, preferably 0.9 to
It is carried out by a conventional method within the range of 1.1. For example, the hydantoin epoxy resin is dissolved in an inert organic solvent such as methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate or cyclohexanone, and a tertiary amine such as triethylamine, tri-n-butylamine or diethylcyclohexylamine as a catalyst, benzyltrimethyl chloride. It can be obtained by stirring and reacting a quaternary ammonium salt such as ammonium with hydroquinone, p-methoxyphenol or the like as a polymerization inhibitor at 70 to 120 ° C. with the unsaturated monocarboxylic acid.

【0016】本発明の感光性樹脂組成物は、成分(c)
として、1分子中に1個以上のエポキシ基を有するエポ
キシ化合物を含有する。このような化合物としては、例
えば、フェニルグリシジルエーテル、p−ブチルフェノ
ールグリシジルエーテル、クレジルグリシジルエーテ
ル、アリルグリシジルエーテル、グリシジルメタクリレ
ート、オクチレンオキサイド、ビスフェノールAのジグ
リシジルエーテル、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、
ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボラッ
ク型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキシ樹
脂、N−グリシジル型エポキシ樹脂、チッソ社製脂環式
エポキシ樹脂(チッソノックス206、チッソノックス
221、チッソノックス201等)、ダイセル化学工業
社製脂環式エポキシ樹脂(セキサロイド2021等)、
トリス(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレー
ト、水溶性のヒダントインエポキシ樹脂等が挙げられ
る。これらのうち、トリス(2,3−エポキシプロピ
ル)イソシアヌレート及び水溶性のヒダントインエポキ
シ樹脂が好ましい。この水溶性のヒダントインエポキシ
樹脂は、成分(b)として上述したものと同様である。
これらエポキシ化合物は単独で又は2種以上を組み合わ
せて用いてもよい。
The photosensitive resin composition of the present invention comprises the component (c)
As an epoxy compound having one or more epoxy groups in one molecule. Examples of such compounds include phenyl glycidyl ether, p-butylphenol glycidyl ether, cresyl glycidyl ether, allyl glycidyl ether, glycidyl methacrylate, octylene oxide, diglycidyl ether of bisphenol A, bisphenol A type epoxy resin,
Bisphenol S type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, N-glycidyl type epoxy resin, alicyclic epoxy resin manufactured by Chisso Co. (Chissonox 206, Chisso nox 221, Chisso nox 201 etc.), Daicel chemistry Alicyclic epoxy resin manufactured by Kogyo Co., Ltd. (Sexaroid 2021, etc.),
Examples thereof include tris (2,3-epoxypropyl) isocyanurate and water-soluble hydantoin epoxy resin. Of these, tris (2,3-epoxypropyl) isocyanurate and water-soluble hydantoin epoxy resin are preferable. This water-soluble hydantoin epoxy resin is the same as that described above as the component (b).
You may use these epoxy compounds individually or in combination of 2 or more types.

【0017】本発明の感光性樹脂組成物は、成分(d)
として、活性光により遊離ラジカルを生成する光開始剤
を含有する。このようなものとしては、例えば、4−ヒ
ドロキシエトキシフェニル−(2−ヒドロキシ−2−プ
ロピル)ケトン、2−エチルアントラキノン、2−t−
ブチルアントラキノン、オクタメチルアントラキノン、
1,2−ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルア
ントラキノン等の置換又は非置換の多核キノン類、ベン
ゾイン、ピバロン等のα−ケタルドニルアルコール類及
びエーテル類、α−フェニル−ベンゾイン、α,α−ジ
エトキシアセトフェノン等のα−炭化水素置換芳香族ア
シロイン類、ベンゾフェノン、4,4’−ビスジアルキ
ルアミノベンゾフェノン等の芳香族ケトン類、2−メチ
ルチオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、
2−クロルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサ
ントン、2−エチルチオキサントン等のチオキサントン
類、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕
−2−モルホリノ−プロパノン−1などを挙げることが
できる。これらのうち、4−ヒドロキシエトキシフェニ
ル−(2−ヒドロキシ−2−プロピル)ケトンなどの水
に可溶なものが好ましい。これらは単独で又は2種以上
を組み合わせて用いてもよい。
The photosensitive resin composition of the present invention comprises the component (d)
As, it contains a photoinitiator that generates free radicals by actinic light. Examples of such compounds include 4-hydroxyethoxyphenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone, 2-ethylanthraquinone, 2-t-
Butyl anthraquinone, octamethyl anthraquinone,
Substituted or unsubstituted polynuclear quinones such as 1,2-benzanthraquinone and 2,3-diphenylanthraquinone, α-ketaldonyl alcohols and ethers such as benzoin and pivalone, α-phenyl-benzoin, α, α- Α-hydrocarbon substituted aromatic acyloins such as diethoxyacetophenone, benzophenone, aromatic ketones such as 4,4′-bisdialkylaminobenzophenone, 2-methylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone,
Thioxanthones such as 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone, and 2-ethylthioxanthone, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl]
-2-morpholino-propanone-1 and the like. Of these, those soluble in water such as 4-hydroxyethoxyphenyl- (2-hydroxy-2-propyl) ketone are preferable. You may use these individually or in combination of 2 or more types.

【0018】本発明の感光性樹脂組成物は、成分(a)
である側鎖に一般式(I)で示される基を有するビニル
系重合体100重量部に対して、成分(b)である水溶
性のヒダントインエポキシ樹脂と不飽和モノカルボン酸
の反応物を1〜200重量部、成分(c)である1分子
中に1個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物を1
〜100重量部、成分(d)である光重合開始剤を1〜
100重量部の範囲で用いることが、解像度、はんだ耐
熱性、耐溶剤性、耐めっき性、電気絶縁性などに優れた
ソルダマスクを形成する上で好ましい。
The photosensitive resin composition of the present invention comprises the component (a)
1 part of the reaction product of the water-soluble hydantoin epoxy resin as the component (b) and the unsaturated monocarboxylic acid is added to 100 parts by weight of the vinyl polymer having a group represented by the general formula (I) in the side chain. To 200 parts by weight, 1 part of the epoxy compound having one or more epoxy groups in one molecule which is the component (c).
˜100 parts by weight, 1 to 1 part of the photopolymerization initiator which is the component (d)
It is preferable to use 100 parts by weight in order to form a solder mask excellent in resolution, solder heat resistance, solvent resistance, plating resistance, and electrical insulation.

【0019】本発明の感光性樹脂組成物は、さらに他の
副次的成分を含有してもよい。そのような副次的成分と
しては、例えば、微粒状無機又は有機充填剤、熱重合防
止剤、染料、顔料、消泡剤、難燃剤、可塑剤、密着性向
上剤、エポキシ樹脂の硬化促進剤及び潜在性硬化剤など
が挙げられ、これらの選択は、通常の感光性樹脂組成物
と同様の考慮の下に行われる。
The photosensitive resin composition of the present invention may further contain other auxiliary components. Examples of such a secondary component include fine-particle inorganic or organic fillers, thermal polymerization inhibitors, dyes, pigments, defoamers, flame retardants, plasticizers, adhesion improvers, and epoxy resin curing accelerators. And latent curing agents, etc., and these are selected under the same consideration as that for a normal photosensitive resin composition.

【0020】本発明の感光性樹脂組成物は、さらに必要
に応じて、光重合性不飽和化合物を含有してもよい。含
有しうる光重合性不飽和化合物としては、各種のものが
あるが、アクリル酸系あるいはメタクリル酸系の化合物
などが実用的である。アクリル酸系化合物としては、例
えば、アクリル酸、メチルアクリレート、エチルアクリ
レート、n−プロピルアクリレート、イソプロピルアク
リレート、n−ブチルアクリレート、イソブチルアクリ
レート、シクロヘキシルアクリレート、ベンジルアクリ
レート、カルビトールアクリレート、メトキシエチルア
クリレート、エトキシエチルアクリレート、ブトキシエ
チルアクリレート、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒ
ドロキシプロピルアクリレート、ブチレングリコールア
クリレート、N,N−ジメチルアミノエチルアクリレー
ト、N,N−ジエチルアミノエチルアクリレート、グリ
シジルアクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレ
ート、ペンタエリスリトールモノアクリレート、トリメ
チロールプロパンモノアクリレート、アリルアクリレー
ト、1,3−プロピレングリコールジアクリレート、
1,4−ブチレングリコールジアクリレート、1,6−
ヘキサングリコールジアクリレート、ネオペンチルグリ
コールジアクリレート、ジプロピレングリコールジアク
リレート、2,2−ビス−(4−アクリロキシジエトキ
シフェニル)プロパン、2,2−ビス−(4−アクリロ
キシプロポキシフェニル)プロパン、トリメチロールプ
ロパンジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリ
レート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペ
ンタエリスリトールトリアクリレート、トリアクリルホ
ルマール、テトラメチロールメタンテトラアクリレー
ト、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌル酸の
アクリル酸エステル、次式で示される化合物等が挙げら
れる。
The photosensitive resin composition of the present invention may further contain a photopolymerizable unsaturated compound, if necessary. There are various types of photopolymerizable unsaturated compounds that can be contained, and acrylic acid-based or methacrylic acid-based compounds are practical. Examples of acrylic acid compounds include acrylic acid, methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, isobutyl acrylate, cyclohexyl acrylate, benzyl acrylate, carbitol acrylate, methoxyethyl acrylate, ethoxyethyl. Acrylate, butoxyethyl acrylate, hydroxyethyl acrylate, hydroxypropyl acrylate, butylene glycol acrylate, N, N-dimethylaminoethyl acrylate, N, N-diethylaminoethyl acrylate, glycidyl acrylate, tetrahydrofurfuryl acrylate, pentaerythritol monoacrylate, trimethylol Propane monoacrylate, Le acrylate, 1,3-propylene glycol diacrylate,
1,4-butylene glycol diacrylate, 1,6-
Hexane glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, dipropylene glycol diacrylate, 2,2-bis- (4-acryloxydiethoxyphenyl) propane, 2,2-bis- (4-acryloxypropoxyphenyl) propane, Trimethylolpropane diacrylate, pentaerythritol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, triacrylic formal, tetramethylolmethane tetraacrylate, acrylic acid ester of tris (2-hydroxyethyl) isocyanuric acid, represented by the following formula And the like.

【0021】[0021]

【化5】 (式中、nは1〜30の正の整数である)、[Chemical 5] (In the formula, n is a positive integer of 1 to 30),

【0022】[0022]

【化6】 (式中、n及びmはn+mが2〜30となるように選ば
れる正の整数である)、
[Chemical 6] (Where n and m are positive integers selected such that n + m is 2 to 30),

【0023】[0023]

【化7】 [Chemical 7]

【0024】また、メタクリル酸系化合物としては、例
えば、メタクリル酸、メチルメタクリレート、エチルメ
タクリレート、プロピルメタクリレート、イソプロピル
メタクリレート、ブチルメタクリレート、イソブチルメ
タクリレート、シクロヘキシルメタクリレート、ベンジ
ルメタクリレート、オクチルメタクリレート、エチルヘ
キシルメタクリレート、メトキシエチルメタクリレー
ト、エトキシエチルメタクリレート、ブトキシエチルメ
タクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒド
ロキシプロピルメタクリレート、ヒドロキシブチルメタ
クリレート、ヒドロキシペンチルメタクリレート、N,
N−ジメチルアミノメタクリレート、N,N−ジエチル
アミノメタクリレート、グリシジルメタクリレート、テ
トラヒドロフルフリルメタクリレート、メタクリロキシ
プロピルトリメトキシシラン、アリルメタクリレート、
トリメチロールプロパンモノメタクリレート、ペンタエ
リスリトールモノメタクリレート、1,3−ブチレング
リコールジメタクリレート、1,6−ヘキサングリコー
ルジメタクリレート、ネオペンチルグリコールジメタク
リレート、2,2−ビス−(4−メタクリロキシジエト
キシフェニル)プロパン、トリメチロールプロパンジメ
タクリレート、ペンタエリスリトールジメタクリレー
ト、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペンタ
エリスリトールトリメタクリレート、テトラメチロール
メタンテトラメタクリレート、トリス(2−ヒドロキシ
エチル)イソシアヌル酸のメタクリル酸エステル、下記
の式で示される化合物等が挙げられる。
Examples of the methacrylic acid compound include methacrylic acid, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, isopropyl methacrylate, butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, benzyl methacrylate, octyl methacrylate, ethylhexyl methacrylate, methoxyethyl methacrylate. , Ethoxyethyl methacrylate, butoxyethyl methacrylate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxypropyl methacrylate, hydroxybutyl methacrylate, hydroxypentyl methacrylate, N,
N-dimethylaminomethacrylate, N, N-diethylaminomethacrylate, glycidylmethacrylate, tetrahydrofurfurylmethacrylate, methacryloxypropyltrimethoxysilane, allylmethacrylate,
Trimethylolpropane monomethacrylate, pentaerythritol monomethacrylate, 1,3-butylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexane glycol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, 2,2-bis- (4-methacryloxydiethoxyphenyl) Propane, trimethylolpropane dimethacrylate, pentaerythritol dimethacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, tetramethylolmethane tetramethacrylate, methacrylic acid ester of tris (2-hydroxyethyl) isocyanuric acid, represented by the following formula: A compound etc. are mentioned.

【0025】[0025]

【化8】 (式中、nは1〜30の整数を表す)、[Chemical 8] (In the formula, n represents an integer of 1 to 30),

【0026】[0026]

【化9】 (式中、n及びmはn+mが2〜30となるように選ば
れる正の整数を表す)、
[Chemical 9] (In the formula, n and m represent positive integers selected so that n + m is 2 to 30),

【0027】[0027]

【化10】 [Chemical 10]

【0028】また、トリメチルヘキサメチレンジイソシ
アナート/2−ヒドロキシエチルアクリレート(1/2
モル比)反応物、イソシアナートエチルメタクリレート
/水(2/1モル比)反応物、クロトン酸ブチル、グリ
セリンモノクロトネート、ビニルブチレート、ビニルト
リメチルアセテート、ビニルカプロエート、ビニルクロ
ルアセテート、ビニルラクテート、安息香酸ビニル、ジ
ビニルサクシネート、ジビニルフタレート、メタクリル
アミド、N−メチルメタクリルアミド、N−エチルメタ
クリルアミド、N−アリルメタクリルアミド、N−ヒド
ロキシエチル−N−メチルメタクリルアミド、アクリル
アミド、N−t−ブチルアクリルアミド、N−メチロー
ルアクリルアミド、N−イソブトキシメチルアクリルア
ミド、N−ブトキシメチルアクリルアミド、ダイアセト
ンアクリルアミド、ヘキシルビニルエーテル、エチルヘ
キシルビニルエーテル、ビニルトリルエーテル、多価ア
ルコールのポリビニルエーテル、オルト位及びパラ位に
アルキル基、アルコキシ基、ハロゲン、カルボキシル
基、アリル基等の置換基を有するスチレン誘導体、ジビ
ニルベンゼン、アリルオキシエタノール、ジカルボン酸
のジアリルエステル、N−ビニルオキサゾリドン、N−
ビニルイミダゾール、N−ビニルピロリドン、N−ビニ
ルカルバゾールなどを用いることができる。これらの他
の光重合性不飽和化合物を使用する場合、その使用量
は、成分(a)100重量部に対して1〜200重量部
の範囲とすることが好ましい。
Further, trimethylhexamethylene diisocyanate / 2-hydroxyethyl acrylate (1/2
(Molar ratio) Reactant, isocyanate ethyl methacrylate / water (2/1 molar ratio) Reactant, butyl crotonic acid, glycerin monocrotonate, vinyl butyrate, vinyl trimethyl acetate, vinyl caproate, vinyl chloroacetate, vinyl lactate , Vinyl benzoate, divinyl succinate, divinyl phthalate, methacrylamide, N-methylmethacrylamide, N-ethylmethacrylamide, N-allylmethacrylamide, N-hydroxyethyl-N-methylmethacrylamide, acrylamide, Nt- Butyl acrylamide, N-methylol acrylamide, N-isobutoxymethyl acrylamide, N-butoxymethyl acrylamide, diacetone acrylamide, hexyl vinyl ether, ethylhexyl vinyl ae , Vinyl tolyl ether, polyvinyl ether of polyhydric alcohol, styrene derivative having substituents such as alkyl group, alkoxy group, halogen, carboxyl group and allyl group at ortho and para positions, divinylbenzene, allyloxyethanol, dicarboxylic acid Diallyl ester of N-vinyloxazolidone, N-
Vinylimidazole, N-vinylpyrrolidone, N-vinylcarbazole and the like can be used. When these other photopolymerizable unsaturated compounds are used, the amount thereof is preferably in the range of 1 to 200 parts by weight with respect to 100 parts by weight of the component (a).

【0029】次に、本発明の感光性エレメントについて
詳細に説明する。本発明の感光性エレメントは、支持体
フィルム上に前記感光性樹脂組成物の層を積層して形成
することにより得られる。支持体フィルム上への感光性
樹脂組成物層の形成は、常法により行なうことができ
る。例えば、感光性樹脂組成物をディップコート法、ロ
ールコート法、カーテンコート法、スクリーン印刷法、
スプレーコート法、静電スプレー法等により、加工保護
すべき基板又はプリント配線板上に直接塗工し、厚さ1
0〜150μmの感光層を容易に形成することができ
る。塗工する際には、必要に応じて感光性樹脂組成物を
溶剤に溶解させて行うことができる。この溶剤として
は、例えば、メチルエチルケトン、メチルセロソルブア
セテート、エチルセロソルブアセテート、カルビトール
アセテート、シクロヘキサノン、メチルセロソルブ、プ
ロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、塩
化メチレン、プロピレングリコールモノメチルエーテル
などを挙げることができる。また、感光性樹脂組成物又
はその溶液を、例えば、ポリエチレンテレフタレートフ
ィルム、ポリイミドフィルム等の支持体フィルム上にナ
イフコート法、ロールコート法等によって塗布、乾燥
し、さらに必要に応じてポリオレフィン等の保護フィル
ムを積層することにより感光性エレメントを作成する。
この感光性エレメントを熱ロールを用いて基板又はプリ
ント配線板上に加熱加圧積層して感光層を形成すること
ができる。この際、基板が10μm以上の凹凸を有する
場合には、空気の巻き込みを防ぐため、200mmHg以下
の真空下で積層することが好ましい。この方法に使用し
うる装置としては、例えば、特公昭55−13341号
公報に記載されている積層装置が用いられる。活性光に
不透明な支持体フィルムを用いる場合には、露光時に支
持体フィルムを剥離する必要がある。
Next, the photosensitive element of the present invention will be described in detail. The photosensitive element of the present invention can be obtained by laminating a layer of the photosensitive resin composition on a support film. The photosensitive resin composition layer can be formed on the support film by a conventional method. For example, dip coating method, roll coating method, curtain coating method, screen printing method using a photosensitive resin composition,
Directly coat it on the substrate or printed wiring board to be processed and protected by spray coating, electrostatic spraying, etc. to a thickness of 1
A photosensitive layer having a thickness of 0 to 150 μm can be easily formed. When applying, the photosensitive resin composition can be dissolved in a solvent as required. Examples of the solvent include methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, carbitol acetate, cyclohexanone, methyl cellosolve, propylene glycol monomethyl ether acetate, methylene chloride and propylene glycol monomethyl ether. Further, the photosensitive resin composition or a solution thereof is applied, for example, on a support film such as a polyethylene terephthalate film or a polyimide film by a knife coating method, a roll coating method, or the like, and dried, and if necessary, a polyolefin or the like is protected. The photosensitive element is made by laminating films.
This photosensitive element can be laminated under heat and pressure on a substrate or a printed wiring board using a heat roll to form a photosensitive layer. At this time, when the substrate has irregularities of 10 μm or more, it is preferable to stack under a vacuum of 200 mmHg or less in order to prevent air entrapment. As a device that can be used in this method, for example, a laminating device described in JP-B-55-13341 is used. When a support film opaque to actinic light is used, it is necessary to peel off the support film during exposure.

【0030】こうして形成された感光層の露光及び現像
は、常法により行われる。すなわち、光源として高圧水
銀灯、超高圧水銀灯などを用い、感光性樹脂組成物の層
上に直接又はポリエチレンテレフタレートフィルム等の
透明フィルムを介して、ネガマスクを通して像状に露光
する。露光後、60〜80℃で1〜10分間加熱するこ
とが好ましい。透明フィルムが残っている場合には、こ
れを剥離した後、現像する。現像処理に用いられる現像
液としては、一般の水道水又は場合によってはアルカリ
水溶液が用いられる。アルカリ水溶液を用いるときは、
その塩基として、例えば、リン酸ナトリウム、リン酸カ
リウム等のアルカリ金属リン酸塩、炭酸ナトリウム等の
アルカリ金属炭酸塩などが挙げられる。特に、炭酸ナト
リウムの水溶液が好ましい。上記の方法で得られた像的
な保護膜は、通常のエッチング、めっき等のための耐食
膜として好適な特性を有しているが、現像後に80〜2
00℃で加熱処理を行うことにより、密着性、耐熱性、
耐溶剤性などの特性を向上することができ、ソルダマス
クとしての特性を満足することができる。
Exposure and development of the photosensitive layer thus formed are carried out by a conventional method. That is, a high-pressure mercury lamp, an ultra-high-pressure mercury lamp, or the like is used as a light source, and imagewise exposure is performed on the layer of the photosensitive resin composition directly or through a negative film through a transparent film such as a polyethylene terephthalate film. After exposure, it is preferable to heat at 60 to 80 ° C. for 1 to 10 minutes. If the transparent film remains, it is peeled off and then developed. As a developing solution used for the developing treatment, general tap water or an alkaline aqueous solution is used in some cases. When using an alkaline aqueous solution,
Examples of the base include alkali metal phosphates such as sodium phosphate and potassium phosphate, alkali metal carbonates such as sodium carbonate, and the like. Particularly, an aqueous solution of sodium carbonate is preferable. The image-wise protective film obtained by the above method has properties suitable as a corrosion resistant film for ordinary etching, plating, etc.
By heat treatment at 00 ° C, adhesion, heat resistance,
Properties such as solvent resistance can be improved, and properties as a solder mask can be satisfied.

【0031】[0031]

【実施例】次に、実施例により本発明をさらに具体的に
説明するが、本発明はこれによって制限されるものでは
ない。なお、実施例及び比較例中の「部」は、特に断ら
ない限り、「重量部」を示す。
EXAMPLES Next, the present invention will be described in more detail by way of examples, but the present invention is not limited thereto. In addition, "part" in Examples and Comparative Examples means "part by weight" unless otherwise specified.

【0032】実施例1 (イ)ビニル系重合体(a)の合成 温度計、攪拌装置、冷却管及び滴下器の付いた加熱及び
冷却可能な500mlの反応容器にメチルエチルケトン2
00部を入れ、78℃に昇温し、表1に示す重合性単量
体のそれぞれの組合せに2,2′−アゾビス(イソブチ
ロニトリル)を0.4部加えた混合物を3時間かけて滴
下した。78℃に保持して約6時間攪拌を続け目的のビ
ニル系重合体の溶液(a−1〜a−6)を得た。
Example 1 (a) Synthesis of vinyl polymer (a) Methyl ethyl ketone 2 was placed in a heatable and coolable reaction vessel of 500 ml equipped with a thermometer, a stirrer, a condenser and a dropping device.
00 parts were added, the temperature was raised to 78 ° C., and 0.4 parts of 2,2′-azobis (isobutyronitrile) was added to each combination of the polymerizable monomers shown in Table 1 for 3 hours. Was dropped. The mixture was kept at 78 ° C. and stirred for about 6 hours to obtain intended vinyl polymer solutions (a-1 to a-6).

【0033】[0033]

【表1】 [Table 1]

【0034】なお、表中の記号は下記の物質を意味す
る。 DHA−3:1,1−ジメチル−1−(2−ヒドロキシ
プロピル)アミンメタクリルイミド 2─HEMA:2−ヒドロキシエチルメタクリレート MMA:メタクリル酸メチル MA:メタクリル酸
The symbols in the table mean the following substances. DHA-3: 1,1-dimethyl-1- (2-hydroxypropyl) amine methacrylimide 2-HEMA: 2-hydroxyethyl methacrylate MMA: methyl methacrylate MA: methacrylic acid

【0035】(ロ)水溶性のヒダントインエポキシ樹脂
と不飽和モノカルボン酸の反応物(b)の合成 式
(B) Synthesis formula of reaction product (b) of water-soluble hydantoin epoxy resin and unsaturated monocarboxylic acid

【化11】 [Chemical 11]

【0036】で示されるヒダイントインエポキシ樹脂1
20g、アクリル酸72g、塩化ベンジルトリメチルア
ンモニウム1g及びp−メトキシフェノール0.5gを
仕込み、100℃で反応させ、反応物(b−1)を得
た。同様にして、式
Hydint-in-epoxy resin 1 represented by
20 g, 72 g of acrylic acid, 1 g of benzyltrimethylammonium chloride and 0.5 g of p-methoxyphenol were charged and reacted at 100 ° C. to obtain a reaction product (b-1). Similarly, the expression

【0037】[0037]

【化12】 [Chemical 12]

【0038】で示されるヒダイントインエポキシ樹脂1
34g、アクリル酸72g、塩化ベンジルトリメチルア
ンモニウム1g及びp−メトキシフェノール0.5gを
仕込み、100℃で反応させ、反応物(b−2)を得
た。
Hydint-in-epoxy resin 1 represented by
34 g, 72 g of acrylic acid, 1 g of benzyltrimethylammonium chloride and 0.5 g of p-methoxyphenol were charged and reacted at 100 ° C. to obtain a reaction product (b-2).

【0039】(ハ)感光性樹脂組成物の調製 上記(イ)で得られたビニル系重合体の溶液(a−1)
300部、上記(ロ)で得られた反応物(b−1)30
部、トリグリシジルイソシアヌレート10部、2−メチ
ル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モルホ
リノプロパノン−1〔成分(d)〕7部及びフタロシア
ニングリーン1部を混合し、本発明の感光性樹脂組成物
の溶液を調製した。
(C) Preparation of photosensitive resin composition Vinyl polymer solution (a-1) obtained in the above (a)
300 parts, reaction product (b-1) 30 obtained in (b) above
Part, 10 parts of triglycidyl isocyanurate, 7 parts of 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1 [component (d)] and 1 part of phthalocyanine green are mixed to prepare the present invention. A solution of the photosensitive resin composition of was prepared.

【0040】(ニ)硬化被膜の形成 得られた感光性樹脂組成物の溶液を厚さ50μm、幅1
25μmの銅パターンを有するガラス基材プリント配線
板上の全面にバーコータで膜厚が60μmになるように
塗布した。次いで、80℃で10分間乾燥し、厚さ40
μm(ガラス基材上)の感光層を形成した。次に、ネガ
マスクを通してオーク製作所株式会社製HMW−201
B型露光機を用い、400mJ/cm2で露光した。露光後、
80℃で5分間乾燥し、常温で30分間放置した後、水
道水を用いて30℃で120秒間スプレー現像した。次
いで、150℃で60分間加熱処理してネガマスクに相
応する寸法精度の優れた硬化被膜(ソルダマスク)を得
た。この硬化被膜は、はんだ耐熱性に優れ、ロジン系フ
ラックスA−226(タムラ化研株式会社製)を用いて
260℃で20秒間はんだ処理しても剥がれ、フクレは
認められなかった。また、感光層形成時の乾燥時間を6
0分にしても同様に優れた特性の硬化被膜が得られ、熱
安定性にも優れていた。
(D) Formation of cured film A solution of the obtained photosensitive resin composition was applied to a film having a thickness of 50 μm and a width of 1 μm.
A glass substrate printed wiring board having a copper pattern of 25 μm was coated on the entire surface with a bar coater so that the film thickness was 60 μm. Then, it is dried at 80 ° C. for 10 minutes to give a thickness of 40.
A photosensitive layer of μm (on the glass substrate) was formed. Next, through a negative mask, HMW-201 manufactured by Oak Manufacturing Co., Ltd.
Exposure was performed at 400 mJ / cm 2 using a B type exposure machine. After exposure,
After drying at 80 ° C. for 5 minutes and standing at room temperature for 30 minutes, tap development was performed at 30 ° C. for 120 seconds using tap water. Then, heat treatment was carried out at 150 ° C. for 60 minutes to obtain a cured coating (solder mask) having excellent dimensional accuracy corresponding to a negative mask. This cured coating had excellent solder heat resistance, and was peeled off even after soldering for 20 seconds at 260 ° C. using rosin-based flux A-226 (manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd.), and no blistering was observed. Also, the drying time during the formation of the photosensitive layer is 6
Even at 0 minutes, a cured film having excellent characteristics was obtained, and thermal stability was also excellent.

【0041】実施例2 実施例1の(イ)で得られたビニル系重合体の溶液(a
−2)300部、実施例1の(ロ)で得られた反応物
(b−1)30部、トリグリシジルイソシアヌレート1
0部、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニ
ル〕−2−モルホリノプロパノン−1〔成分(d)〕7
部及びフタロシアニングリーン1部を混合し、本発明の
感光性樹脂組成物の溶液を調製した。この感光性樹脂組
成物の溶液を用いて実施例1の(ニ)と同様にして、熱
安定性が高く、水で現像でき、かつ、解像性、はんだ耐
熱性に優れた硬化被膜が得られた。
Example 2 Solution of vinyl polymer (a) obtained in (a) of Example 1
-2) 300 parts, 30 parts of the reaction product (b-1) obtained in (b) of Example 1, triglycidyl isocyanurate 1
0 parts, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1 [component (d)] 7
And 1 part of phthalocyanine green were mixed to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention. Using this solution of the photosensitive resin composition, in the same manner as in (1) of Example 1, a cured film having high thermal stability, developable with water, and excellent resolution and solder heat resistance was obtained. Was given.

【0042】実施例3 実施例1の(イ)で得られたビニル系重合体の溶液(a
−3)300部、実施例1の(ロ)で得られた反応物
(b−1)30部、5,5−ジメチルヒダントインビス
エポキシド10部、2−メチル−1−〔4−(メチルチ
オ)フェニル〕−2−モルホリノプロパノン−1〔成分
(d)〕7部及びフタロシアニングリーン1部を混合
し、本発明の感光性樹脂組成物の溶液を調製した。この
感光性樹脂組成物の溶液を用いて実施例1の(ニ)と同
様にして、熱安定性が高く、水で現像でき、かつ、解像
性、はんだ耐熱性に優れた硬化被膜が得られた。
Example 3 Solution of vinyl polymer (a) obtained in (a) of Example 1
-3) 300 parts, 30 parts of the reaction product (b-1) obtained in (b) of Example 1, 10 parts of 5,5-dimethylhydantoin bisepoxide, 2-methyl-1- [4- (methylthio). Phenyl] -2-morpholinopropanone-1 [component (d)] (7 parts) and phthalocyanine green (1 part) were mixed to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention. Using this solution of the photosensitive resin composition, in the same manner as in (1) of Example 1, a cured film having high thermal stability, developable with water, and excellent resolution and solder heat resistance was obtained. Was given.

【0043】実施例4 実施例1の(イ)で得られたビニル系重合体の溶液(a
−4)300部、実施例1の(ロ)で得られた反応物
(b−2)30部、5,5−ジメチルヒダントインビス
エポキシド10部、2−メチル−1−〔4−(メチルチ
オ)フェニル〕−2−モルホリノプロパノン−1〔成分
(d)〕7部及びフタロシアニングリーン1部を混合
し、本発明の感光性樹脂組成物の溶液を調製した。この
感光性樹脂組成物の溶液を用いて実施例1の(ニ)と同
様にして、熱安定性が高く、水で現像でき、かつ、解像
性、はんだ耐熱性に優れた硬化被膜が得られた。
Example 4 Solution of vinyl polymer (a) obtained in (a) of Example 1
-4) 300 parts, 30 parts of the reaction product (b-2) obtained in (b) of Example 1, 10 parts of 5,5-dimethylhydantoin bisepoxide, 2-methyl-1- [4- (methylthio). Phenyl] -2-morpholinopropanone-1 [component (d)] (7 parts) and phthalocyanine green (1 part) were mixed to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention. Using this solution of the photosensitive resin composition, in the same manner as in (1) of Example 1, a cured film having high thermal stability, developable with water, and excellent resolution and solder heat resistance was obtained. Was given.

【0044】実施例5 実施例1の(イ)で得られたビニル系重合体の溶液(a
−5)300部、実施例1の(ロ)で得られた反応物
(b−2)30部、5,5−ジメチルヒダントインビス
エポキシド10部、2−メチル−1−〔4−(メチルチ
オ)フェニル〕−2−モルホリノプロパノン−1〔成分
(d)〕7部及びフタロシアニングリーン1部を混合
し、本発明の感光性樹脂組成物の溶液を調製した。この
感光性樹脂組成物の溶液を用いて実施例1の(ニ)と同
様にして、熱安定性が高く、水で現像でき、かつ、解像
性、はんだ耐熱性に優れた硬化被膜が得られた。
Example 5 Solution of vinyl polymer (a) obtained in (a) of Example 1
-5) 300 parts, 30 parts of the reaction product (b-2) obtained in (b) of Example 1, 10 parts of 5,5-dimethylhydantoin bisepoxide, 2-methyl-1- [4- (methylthio). Phenyl] -2-morpholinopropanone-1 [component (d)] (7 parts) and phthalocyanine green (1 part) were mixed to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention. Using this solution of the photosensitive resin composition, in the same manner as in (1) of Example 1, a cured film having high thermal stability, developable with water, and excellent resolution and solder heat resistance was obtained. Was given.

【0045】実施例6 実施例1の(イ)で得られたビニル系重合体の溶液(a
−6)300部、実施例1の(ロ)で得られた反応物
(b−2)30部、トリグリシジルイソシアヌレート1
0部、2−メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニ
ル〕−2−モルホリノプロパノン−1〔成分(d)〕7
部及びフタロシアニングリーン1部を混合し、本発明の
感光性樹脂組成物の溶液を調製した。この感光性樹脂組
成物の溶液を用いて実施例1の(ニ)と同様にして、熱
安定性が高く、水で現像でき、かつ、解像性、はんだ耐
熱性に優れた硬化被膜が得られた。
Example 6 Solution of vinyl polymer (a) obtained in (a) of Example 1
-6) 300 parts, 30 parts of the reaction product (b-2) obtained in (b) of Example 1, triglycidyl isocyanurate 1
0 parts, 2-methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-morpholinopropanone-1 [component (d)] 7
And 1 part of phthalocyanine green were mixed to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention. Using this solution of the photosensitive resin composition, in the same manner as in (1) of Example 1, a cured film having high thermal stability, developable with water, and excellent resolution and solder heat resistance was obtained. Was given.

【0046】[0046]

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エ
レメントを用いることにより、安全性及び経済性に優れ
た水又はアルカリ水溶液により現像でき、かつ、解像
度、はんだ耐熱性などに優れた高信頼性のソルダマスク
を形成することができる。
EFFECTS OF THE INVENTION By using the photosensitive resin composition and the photosensitive element of the present invention, it is possible to develop with water or an alkaline aqueous solution, which is excellent in safety and economy, and is excellent in resolution, solder heat resistance and the like. A reliable solder mask can be formed.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/027 H05K 3/28 D 7511−4E ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Office reference number FI technical display location H01L 21/027 H05K 3/28 D 7511-4E

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (a)側鎖に一般式(I) 【化1】 〔式中、R1及びR2はそれぞれ独立に水素原子、アルキ
ル基又はアリール基を表し、R3はアルキル基又はヒド
ロキシアルキル基を表す〕で示される基を有するビニル
系重合体、(b)水溶性のヒダントインエポキシ樹脂と
不飽和モノカルボン酸との反応物、(c)1分子中に1
個以上のエポキシ基を有するエポキシ化合物及び(d)
活性光により遊離ラジカルを生成する光開始剤を含有し
てなる感光性樹脂組成物。
1. A compound represented by the general formula (I): [Wherein, R 1 and R 2 each independently represent a hydrogen atom, an alkyl group or an aryl group, and R 3 represents an alkyl group or a hydroxyalkyl group], a vinyl polymer having a group (b). Reaction product of water-soluble hydantoin epoxy resin and unsaturated monocarboxylic acid, (c) 1 in 1 molecule
An epoxy compound having one or more epoxy groups and (d)
A photosensitive resin composition comprising a photoinitiator that generates free radicals by actinic light.
【請求項2】 (c)成分のエポキシ化合物がトリス
(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレートである
請求項1記載の感光性樹脂組成物。
2. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the epoxy compound as the component (c) is tris (2,3-epoxypropyl) isocyanurate.
【請求項3】 (c)成分のエポキシ化合物がヒダント
インエポキシ樹脂である請求項1記載の感光性樹脂組成
物。
3. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the epoxy compound as the component (c) is a hydantoin epoxy resin.
【請求項4】 支持体フィルム上に請求項1、2又は3
記載の感光性樹脂組成物の層を積層してなる感光性エレ
メント。
4. The method according to claim 1, 2 or 3 on a support film.
A photosensitive element formed by laminating layers of the photosensitive resin composition described.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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US10377928B2 (en) 2015-12-10 2019-08-13 Ppg Industries Ohio, Inc. Structural adhesive compositions

Cited By (3)

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US11674062B2 (en) 2015-12-10 2023-06-13 Ppg Industries Ohio, Inc. Structural adhesive compositions
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