JPH06222559A - Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same - Google Patents

Photosensitive resin composition and photosensitive element using the same

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JPH06222559A
JPH06222559A JP901893A JP901893A JPH06222559A JP H06222559 A JPH06222559 A JP H06222559A JP 901893 A JP901893 A JP 901893A JP 901893 A JP901893 A JP 901893A JP H06222559 A JPH06222559 A JP H06222559A
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JP
Japan
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resin composition
photosensitive resin
group
epoxy
photosensitive
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Application number
JP901893A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsunori Tsuchiya
勝則 土屋
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Showa Denko Materials Co Ltd
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Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To enable manufacture of a solder mask superior in safety and economy, developable with water or an aqueous solution of alkali, superior in resolution and resistance to soldering heat and the like, and high in reliability by incorporating a specified vinyl polymer, a specified photopolymerizable compound, a specified epoxy compound and a specified photoinitiator. CONSTITUTION:The photosensitive resin composition comprises the vinyl polymer having on the side chains groups each represented by the formula, the photopolymerizable compound having at least one terminal ethylene group, the epoxy compound having at least one epoxy group, preferably, such as tris(2,3-epoxypropyl)-isocyanurate or water-soluble hydantoin epoxy resins, and the photopolymerization initiator to be allowed to produce free radicals by irradiation with active rays. In the formula, each of R1 and R2 is H, an alkyl or aryl; and R3 is alkyl or hydroxy-alkyl or each of R2 and R3 may combine with each other to form a hetero ring together with the N atom.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、プリント配線板製造、
金属精密加工などに使用し得る保護膜形成用の感光性樹
脂組成物及び感光性エレメントに関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to printed wiring board manufacturing,
The present invention relates to a photosensitive resin composition and a photosensitive element for forming a protective film that can be used for precision metal processing.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、プリント配線板業界においては、
ソルダマスク、化学めっき用レジストなどには優れた特
性を有する感光性樹脂組成物が用いられている。ソルダ
マスクの主な目的は、はんだ付け時のはんだ付け領域を
限定し、はんだブリッジ等を防ぎ、裸の銅導体の腐食を
防止し、長期にわたって導体間の電気絶縁性を保持する
ことにある。ソルダマスクとしては、通常、エポキシ樹
脂、アミノプラスト樹脂などの熱硬化性樹脂を主成分と
する印刷マスクが用いられる。
2. Description of the Related Art Conventionally, in the printed wiring board industry,
Photosensitive resin compositions having excellent properties are used for solder masks, resists for chemical plating, and the like. The main purpose of the solder mask is to limit the soldering area during soldering, prevent solder bridges, etc., prevent corrosion of bare copper conductors, and maintain electrical insulation between conductors for a long period of time. As the solder mask, a printing mask containing a thermosetting resin such as an epoxy resin or an aminoplast resin as a main component is usually used.

【0003】しかし、近年、電気機器の小型化、高性能
化に伴い、抵抗、コンデンサ等の個別部分の小型化、リ
ードレス化及びIC部品の多ピン化、ピンピッチの狭小
化、パッケージ形態の多様化が進み、さらに、これらの
部品類を搭載するプリント配線板も導体パターンの高密
度化(細線化、導体間隙の狭小化、バイアホールの小型
化、多層化)が進んでおり、また、部品実装の方式も従
来のリード付き部品と差し込むピン挿入実装に代わっ
て、より高密度化が可能なチップ部品を載せる表面実装
技術が普及してきており、これに対応するためにプリン
ト配線板に用いられるソルダレジストも位置精度、解像
性に優れた高精度のものが望まれるようになり、従来の
スクリーン印刷を利用してパターンを形成する印刷法で
は対応が困難となってきている。
However, in recent years, along with the miniaturization and high performance of electrical equipment, miniaturization of individual parts such as resistors and capacitors, leadlessness, multi-pinning of IC parts, narrowing of pin pitch, and variety of package forms. In addition, the printed wiring boards on which these parts are mounted are also becoming denser in conductor patterns (thin lines, narrower conductor gaps, smaller via holes, and more layers). As for the mounting method, instead of the conventional pin insertion mounting that inserts with leaded components, surface mounting technology that mounts chip components that can achieve higher density has become popular, and it is used for printed wiring boards to cope with this. As for solder resists, high precision with excellent positional accuracy and resolution has been demanded, and it is difficult to deal with the conventional printing method that forms a pattern using screen printing. It has come.

【0004】そこで、写真現像法(イメージ露光に続く
現像により画像を形成する方法)で寸法精度、解像性に
優れた高精度、高信頼性のソルダマスクを形成する感光
性樹脂組成物の出現が望まれてきた。
Therefore, the advent of a photosensitive resin composition for forming a highly accurate and highly reliable solder mask excellent in dimensional accuracy and resolution by a photographic development method (a method of forming an image by developing after image exposure) has been developed. Has been desired.

【0005】従来、ソルダマスク形成用感光性樹脂組成
物としては、アクリル系ポリマー及び光重合性モノマー
を主成分とする感光性樹脂組成物(特開昭53−560
18号公報、同54−1018号公報等)が知られてい
る。しかしながら、これらの感光性樹脂組成物は、フィ
ルム性付与のためにアクリル系ポリマーを多量に使用し
ていることにより、硬化被膜の耐熱性が十分でないとい
う欠点がある。
Conventionally, as a photosensitive resin composition for forming a solder mask, a photosensitive resin composition containing an acrylic polymer and a photopolymerizable monomer as main components (JP-A-53-560).
18 and 54-1018, etc.) are known. However, these photosensitive resin compositions have a drawback in that the heat resistance of the cured coating is not sufficient due to the large amount of acrylic polymer used for imparting film properties.

【0006】一方、耐熱性の良好な感光性樹脂組成物と
して、主鎖にカルコン基を有する感光性エポキシ樹脂及
びエポキシ樹脂硬化剤を主成分とする組成物(特開昭5
4−82073号公報、同58−62636号公報等)
が提案されている。しかし、これらの光二量化型感光性
樹脂組成物は、感度が低いため、厚膜のレジスト形成が
困難であり、さらに、現像液としてシクロヘキサノン等
の可燃性有機溶剤を使用する必要があるため、安全上も
好ましくない。
On the other hand, as a photosensitive resin composition having good heat resistance, a composition containing a photosensitive epoxy resin having a chalcone group in its main chain and an epoxy resin curing agent as main components (Japanese Patent Laid-Open No. Sho 5)
4-82073, 58-62636, etc.)
Is proposed. However, these photodimerization type photosensitive resin compositions have low sensitivity, so that it is difficult to form a thick film resist, and further, since it is necessary to use a flammable organic solvent such as cyclohexanone as a developing solution, it is safe. The top is also unfavorable.

【0007】また、エポキシ基を含有するノボラック型
エポキシアクリレート及び光重合開始剤を主成分とする
組成物(特開昭61−272号公報等)も提案されてい
る。これらの成分は耐熱性も優れており、有用である
が、現像液として1,1,1−トリクロルエタン/低級
アルコール混合液を用いる必要があり、現像液管理に問
題がある。また、1,1,1−トリクロルエタンの使用
は地下水汚染の恐れがあり、環境保全上好ましくない。
A composition containing a novolac type epoxy acrylate containing an epoxy group and a photopolymerization initiator as main components (JP-A-61-272, etc.) has also been proposed. These components are also excellent in heat resistance and useful, but it is necessary to use a 1,1,1-trichloroethane / lower alcohol mixed solution as a developing solution, which is problematic in developing solution management. Further, the use of 1,1,1-trichloroethane is not preferable in terms of environmental protection, because it may cause groundwater contamination.

【0008】安全性及び経済性に優れたアルカリ水溶液
で現像可能なソルダマスク形成用感光性樹脂組成物とし
ては、カルボキシル基含有ポリマー、単量体、光重合開
始剤及び熱硬化性樹脂を主成分とする組成物(特開昭4
8−73148号公報、同57−178237号公報、
同58−42040号公報、同59−151152号公
報等)が知られている。これらの組成物では、熱硬化性
樹脂として、エポキシ樹脂、メラミン樹脂、尿素樹脂な
どが用いられ、トリグリシジルイソシアヌレートなど、
有機溶剤に不溶性のエポキシ樹脂を分散使用する例も開
示されている。しかし、これらの組成物は解像度、耐溶
剤性、吸湿時のはんだ耐熱性などの特性が必ずしも充分
とはいえない。
The photosensitive resin composition for forming a solder mask, which is highly safe and economical and can be developed with an aqueous alkali solution, contains a carboxyl group-containing polymer, a monomer, a photopolymerization initiator and a thermosetting resin as main components. Composition (Japanese Patent Application Laid-Open No. Sho 4
8-73148, 57-178237,
No. 58-42040, No. 59-151152, etc.) are known. In these compositions, epoxy resin, melamine resin, urea resin, etc. are used as the thermosetting resin, and triglycidyl isocyanurate, etc.,
An example in which an insoluble epoxy resin is dispersed and used in an organic solvent is also disclosed. However, these compositions do not always have sufficient properties such as resolution, solvent resistance, and solder heat resistance when absorbing moisture.

【0009】特開昭61−243869号公報にはノボ
ラック型エポキシ樹脂とアクリル酸との反応物(酸当量
/エポキシ当量比0.95〜1.05)と酸無水物とを
反応させて得られるオリゴマー、光重合開始剤、トリグ
リシジルイソシアヌレート等のエポキシ樹脂、イミダゾ
ール等のエポキシ樹脂硬化剤、充填剤並びに溶剤を含有
する液状レジストインキ組成物が提案されている。この
組成物は、アルカリ水溶液で現像可能であり、ソルダマ
スクとしての特性も優れている。
JP-A-61-243869 discloses a product obtained by reacting a reaction product of a novolac type epoxy resin and acrylic acid (acid equivalent / epoxy equivalent ratio 0.95 to 1.05) with an acid anhydride. A liquid resist ink composition containing an oligomer, a photopolymerization initiator, an epoxy resin such as triglycidyl isocyanurate, an epoxy resin curing agent such as imidazole, a filler and a solvent has been proposed. This composition can be developed with an aqueous alkaline solution and has excellent properties as a solder mask.

【0010】しかし、この組成物は、エポキシ基とカル
ボキシル基が混在するため可使時間が短く、さらに乾燥
裕度(乾燥時の加熱により反応が進行し現像できなくな
るまでの時間及び温度条件)が狭いため作業性が悪いと
いう欠点がある。
However, this composition has a short pot life because the epoxy group and the carboxyl group coexist, and further has a dry margin (time and temperature conditions until the reaction proceeds due to heating during drying and development cannot be performed). Since it is narrow, it has the drawback of poor workability.

【0011】[0011]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、前記従来技
術の欠点を解消し、熱安定性が高く作業優度が広く、安
全性及び経済性に優れた水またはアルカリ水溶液により
現像でき、かつ、解像性、はんだ耐熱性などの優れた高
信頼性ソルダマスクを形成することのできる感光性樹脂
組成物及びこれを用いた感光性エレメントを提供するも
のである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned drawbacks of the prior art, can be developed with water or an alkaline aqueous solution having high thermal stability, wide workability, and excellent safety and economy, and The present invention provides a photosensitive resin composition capable of forming a highly reliable solder mask having excellent resolution and solder heat resistance, and a photosensitive element using the same.

【0012】[0012]

【課題を解決するための手段】本発明は、 (a)側鎖に一般式(1)で示される基を有するビニル
系重合体、
The present invention provides (a) a vinyl polymer having a group represented by the general formula (1) in a side chain,

【化2】 〔R1及びR2は水素原子、アルキル基又はアリール基を
表し、R3はアルキル基又はヒドロキシアルキル基を表
す(R2とR3は結合して窒素原子とともに複素環を形成
してもよい)〕 (b)末端エチレン基を1個以上有する光重合性化合
物、 (c)1分子中に1個以上のエポキシ基を有するエポキ
シ化合物 及び (d)活性光により遊離ラジカルを生成する光開始剤を
含有してなる感光性樹脂組成物並びに支持体フィルムに
前記感光性樹脂組成物の層を積層してなる感光性エレメ
ントに関する。
[Chemical 2] [R 1 and R 2 represent a hydrogen atom, an alkyl group or an aryl group, R 3 represents an alkyl group or a hydroxyalkyl group (R 2 and R 3 may combine to form a heterocycle with a nitrogen atom) )] (B) A photopolymerizable compound having one or more terminal ethylene groups, (c) an epoxy compound having one or more epoxy groups in one molecule, and (d) a photoinitiator which produces free radicals by active light. And a photosensitive element comprising a support film and a layer of the photosensitive resin composition laminated on the support film.

【0013】以下に、本発明の感光性樹脂組成物に含有
される各成分について詳述する。本発明の感光性樹脂組
成物は、必須成分(a)として側鎖に上記一般式(1)
で示される基を有するビニル系重合体を含有する。
Each component contained in the photosensitive resin composition of the present invention will be described in detail below. The photosensitive resin composition of the present invention has the side chain represented by the general formula (1) as the essential component (a).
It contains a vinyl polymer having a group represented by.

【0014】必須成分(a)は一般式(1)に示される
アミンイミド基を含有する重合性不飽和単量体の単位お
よび必要により用いられる他の重合性単量体の単位から
構成される。アミンイミド基を含有する重合性不飽和単
量体としては、一般式(2)で示される単量体、一般式
(3)で示される単量体等が挙げられる。
The essential component (a) is composed of a unit of a polymerizable unsaturated monomer containing an amine imide group represented by the general formula (1) and a unit of another polymerizable monomer which is optionally used. Examples of the polymerizable unsaturated monomer containing an amine imide group include a monomer represented by the general formula (2) and a monomer represented by the general formula (3).

【化3】 〔式中、Rは水素原子、炭素数1〜6のアルキル基(メ
チル基、エチル基、プロピル基、ヘキシル基等)、ハロ
ゲン(塩素原子、臭素原子等)又はシアノ基を表し、R
1、R2及びR3は一般式(1)の場合と同様の基であ
る。Xはアルキル基、アリール基又はアラル基を表し、
nは1〜4の整数を表す〕
[Chemical 3] [In the formula, R represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 6 carbon atoms (methyl group, ethyl group, propyl group, hexyl group, etc.), halogen (chlorine atom, bromine atom, etc.) or cyano group;
1 , R 2 and R 3 are the same groups as in the case of the general formula (1). X represents an alkyl group, an aryl group or an aral group,
n represents an integer of 1 to 4]

【0015】具体的には、上記一般式(2)で示される
単量体としては、1,1,1−トリメチルアミンメタク
リルイミド、1,1−ジメチル−1−エチルアミンメタ
クリルイミド、1,1−ジメチル−1−(2−ヒドロキ
シプロピル)アミンメタクリルイミド、1,1−ジメチ
ル−1−(2′−フェニル−2′−ヒドロキシエチル)
アミンメタクリルイミド、1,1−ジメチル−1−
(2′−ヒドロキシ−3′−フェノキシプロピル)アミ
ンメタクリルイミド、1,1,1−トリメチルアミンア
クリルイミドなどが挙げられる。
Specifically, as the monomer represented by the above general formula (2), 1,1,1-trimethylamine methacrylimide, 1,1-dimethyl-1-ethylamine methacrylimide and 1,1-dimethyl are used. -1- (2-hydroxypropyl) amine methacrylimide, 1,1-dimethyl-1- (2'-phenyl-2'-hydroxyethyl)
Amine methacrylimide, 1,1-dimethyl-1-
(2'-hydroxy-3'-phenoxypropyl) amine methacrylimide, 1,1,1-trimethylamine acrylimide and the like can be mentioned.

【0016】また、上記一般式(3)で示される単量体
としては、例えば次の式(4)、式(5)の単量体等が
挙げられる。
Examples of the monomer represented by the above general formula (3) include the monomers of the following formulas (4) and (5).

【化4】 [Chemical 4]

【0017】そのほか、ジャーナル オブ ポリマー
サイエンス パートA−1 第6巻363〜373頁
1968年/同巻、2197−2207頁 1968年
/同第9巻 3453〜3470頁 1971年(JOUN
AL OF POLYMER SCIENCE PART A-1 Vol.6,363-373(1968)
/2197/2207(1968)/Vol.9,3453-3470(1971))、ザジャー
ナル オブ オーガニック ケミストリー 第33巻
第4号 4月 1374〜1378頁 1968年(Th
e Journal of Organic Chemistry Vol.33,No.4,April,1
374-1378(1968))、マクロモレキュールズ 第1巻 第
3号 5月〜6月 254〜260頁 1968年/同
第3巻 第6号 11月〜12月715〜722頁 1
970年(Macromolecules Vol.1,No.3,May-June,254-2
60(1968)/Vol.3,No.6,November-December,715-722 (197
0))、ジャーナル オブアプライド ポリマー サイエ
ンス 第15巻 2609〜2621頁 1971(JO
URNAL OF APPLIED POLYMER SCIENCE Vol.15,2609-2621
(1971))、ケミカル レビューズ 第73巻 第3号
255〜281頁 1973年(ChemicalReviews Vol.
73,No.3,255-281(1973))、インダストリー エンジニ
アリングケミストリー,プロダクション リサーチ デ
ィベロップメント 第13巻 第3号 197−201
頁 1974年/同第19巻 第3号 338〜349
頁1980年(Ind.Eng.Chem.,Prod.Res.Develp.Vol.1
3,No.3,197-201(1974)/Vol.19,No.3,338-349(1980))、
アプライド ポリマー シンポジウム 第26号387
〜397頁 399〜410頁 1975年(Applied
Polymer Symposium No.26,387-397,399-410(1975))、
ファインケミカル 12.15,14−24(198
5)などに記載されているアミンイミド基を含有する重
合性不飽和単量体を挙げることができるが、アミンイミ
ド基を含有した重合性不飽和単量体であればこれらに限
定されることはない。また、これらは、単独で又は2種
以上を組み合わせて用いてもよい。これらアミンイミド
基を含有する重合性不飽和単量体が本発明における
(a)ビニル系重合体中に含有される量は重合体のモル
に基づいて通常5%以上、好ましくは10%以上であ
る。
In addition, Journal of Polymer
Science Part A-1 Vol. 6, pp. 363-373
1968 / Vol. 2197-2207 1968 / Vol. 9 Vol. 3453-3470 1971 (JOUN
AL OF POLYMER SCIENCE PART A-1 Vol.6,363-373 (1968)
/2197/2207(1968)/Vol.9,3453-3470(1971)), The Journal of Organic Chemistry Vol. 33
No. 4 April pp. 1374-1378 1968 (Th
e Journal of Organic Chemistry Vol.33, No.4, April, 1
374-1378 (1968)), Macromolecules Vol. 1, No. 3, May-June, pages 254-260, 1968 / Vol. 3, No. 6, November-December, pages 715-722 1.
970 (Macromolecules Vol.1, No.3, May-June, 254-2
60 (1968) /Vol.3,No.6,November-December,715-722 (197
0)), Journal of Applied Polymer Science 15: 2609-2621 1971 (JO
URNAL OF APPLIED POLYMER SCIENCE Vol.15,2609-2621
(1971)), Chemical Reviews Vol. 73, No. 3
255-281, 1973 (Chemical Reviews Vol.
73, No. 3, 255-281 (1973)), Industry Engineering Chemistry, Production Research Development Vol. 13, No. 3, 197-201.
Page 1974 / Vol.19, No.3, 338-349
Page 1980 (Ind.Eng.Chem., Prod.Res.Develp.Vol.1
3, No.3,197-201 (1974) /Vol.19,No.3,338-349 (1980)),
Applied Polymer Symposium No. 26, 387
~ 397 pages 399 ~ 410 pages 1975 (Applied
Polymer Symposium No.26,387-397,399-410 (1975)),
Fine Chemicals 12.15, 14-24 (198
The polymerizable unsaturated monomer containing an amine imide group described in 5) and the like can be mentioned, but the polymerizable unsaturated monomer containing an amine imide group is not limited thereto. . Moreover, you may use these individually or in combination of 2 or more types. The amount of the polymerizable unsaturated monomer containing an amineimide group contained in the vinyl polymer (a) in the present invention is usually 5% or more, preferably 10% or more based on the moles of the polymer. .

【0018】必要により用いられる他の重合性単量体と
しては(メタ)アクリル酸アルキルエステル〔例えば、
(メタ)アクリル酸メチル、(メタ)アクリル酸エチ
ル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルなど〕、
(メタ)アクリル酸ヒドロキシアルキル〔(メタ)アク
リル酸ヒドロキシエチル、(メタ)アクリル酸ヒドロキ
シプロピル、(メタ)アクリル酸ヒドロキシヘキシルな
ど〕、芳香族ビニル単量体(スチレン、α−メチルスチ
レン、α−クロルスチレンなど)、ハロゲン含有単量体
(塩化ビニル、塩化ビニリデンなど)、アルキルまたは
シクロアルキルビニルエーテル(メチルビニルエーテ
ル、シクロヘキシルビニルエーテルなど)、ビニルエス
テル(酢酸ビニルなど)、ニトリル基含有単量体(アク
リロニトリルなど)、アミド基含有単量体〔(メタ)ア
クリルアミド、クロトンアミド、N−メチロールアクリ
ルアミド、フマル酸ジアミドなど〕、カルボキシル基含
有単量体〔(メタ)アクリル酸、マレイン酸、無水マレ
イン酸など〕が挙げられる。これらは単独で又は2種以
上組み合わせて用いてもよい。
Other polymerizable monomers used as necessary include (meth) acrylic acid alkyl ester [eg,
Methyl (meth) acrylate, ethyl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, etc.],
Hydroxyalkyl (meth) acrylate [hydroxyethyl (meth) acrylate, hydroxypropyl (meth) acrylate, hydroxyhexyl (meth) acrylate, etc.], aromatic vinyl monomer (styrene, α-methylstyrene, α- Chlorostyrene, etc.), halogen-containing monomers (vinyl chloride, vinylidene chloride, etc.), alkyl or cycloalkyl vinyl ethers (methyl vinyl ether, cyclohexyl vinyl ether, etc.), vinyl esters (vinyl acetate, etc.), nitrile group-containing monomers (acrylonitrile, etc.) ), An amide group-containing monomer [(meth) acrylamide, crotonamide, N-methylolacrylamide, fumaric acid diamide, etc.], and a carboxyl group-containing monomer [(meth) acrylic acid, maleic acid, maleic anhydride, etc.] Given Be done. You may use these individually or in combination of 2 or more types.

【0019】本発明における必須成分(a)は一般式
(1)に示されるアミンイミド基を含有する重合性不飽
和単量体の単位および必要により用いられる他の重合性
単量体を共重合して得てもよいし、共重合した後にアミ
ンイミド基を導入してもよい。
The essential component (a) in the present invention is obtained by copolymerizing a unit of a polymerizable unsaturated monomer containing an amine imide group represented by the general formula (1) and optionally other polymerizable monomer. Or an amine imide group may be introduced after copolymerization.

【0020】共重合した後にアミンイミド基を側鎖に導
入する方法は前述の文献等に記載されているが、例えば
アミンイミド基含有単量体の代わりに(メタ)アクリル
酸アルキルエステル〔例えば(メタ)アクリル酸メチ
ル、(メタ)アクリル酸エチル、(メタ)アクリル酸2
−エチルヘキシルなど〕、(メタ)アクリル酸ヒドロキ
シアルキル〔(メタ)アクリル酸ヒドロキシエチル、
(メタ)アクリル酸ヒドロキシプロピル、(メタ)アク
リル酸ヒドロキシヘキシルなど〕を使用して共重合し、
その後ジメチルヒドラジンとエポキシ基を分子中に1個
以上有し不飽和基を持たない化合物(エチレンオキシ
ド、プロピレンオキシド、フェニルグリシジルエーテ
ル、グリシジルフタルイミド、エチレングリコールジグ
リシジルエーテル、プロピレングリコールジグリシジル
エーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエー
テル、ネオペンチルグリコールジグリシジルエーテル、
アジピン酸ジグリシジルエステル等)を添加し、撹拌混
合により反応させて得られる。
The method of introducing an amine imide group into the side chain after the copolymerization is described in the above-mentioned documents and the like. For example, instead of the amine imide group-containing monomer, a (meth) acrylic acid alkyl ester [eg (meth)] Methyl acrylate, ethyl (meth) acrylate, (meth) acrylic acid 2
-Ethylhexyl, etc.], hydroxyalkyl (meth) acrylate [hydroxyethyl (meth) acrylate,
(Meth) acrylic acid hydroxypropyl, (meth) acrylic acid hydroxyhexyl, etc.]
Thereafter, a compound having at least one dimethylhydrazine and an epoxy group in the molecule and having no unsaturated group (ethylene oxide, propylene oxide, phenylglycidyl ether, glycidyl phthalimide, ethylene glycol diglycidyl ether, propylene glycol diglycidyl ether, 1,6 -Hexanediol diglycidyl ether, neopentyl glycol diglycidyl ether,
Adipic acid diglycidyl ester, etc.) is added, and the mixture is reacted by stirring and mixing.

【0021】本発明における必須成分(a)の側鎖に式
(1)で示される基を有するビニル系重合体の分子量は
通常1,000〜500,000、好ましくは5,00
0〜100,000である。分子量が1,000未満の
場合には成膜性が劣る傾向があり、500,000を越
える場合には現像性が劣る傾向がある。
The molecular weight of the vinyl polymer having a group represented by the formula (1) in the side chain of the essential component (a) in the present invention is usually 1,000 to 500,000, preferably 5,000.
It is 0 to 100,000. When the molecular weight is less than 1,000, the film formability tends to be poor, and when it exceeds 500,000, the developability tends to be poor.

【0022】本発明の感光性樹脂組成物は、必須成分
(b)として末端エチレン基を1個以上有する光重合性
化合物を含有する。これらの化合物としては、例えば、
アクリル酸、メチルアクリレート、エチルアクリレー
ト、n−プロピルアクリレート、イソプロピルアクリレ
ート、n−ブチルアクリレート、イソブチルアクリレー
ト、シクロヘキシルアクリレート、ベンジルアクリレー
ト、カルビトールアクリレート、メトキシエチルアクリ
レート、エトキシエチルアクリレート、ブトキシエチル
アクリレート、ヒドロキシエチルアクリレート、ヒドロ
キシプロピルアクリレート、ブチレングリコールモノア
クリレート、N,N−ジメチルアミノエチルアクリレー
ト、N,N−ジエチルアミノエチルアクリレート、グリ
シジルアクリレート、テトラヒドロフルフリルアクリレ
ート、ペンタエリスリトールモノアクリレート、トリメ
チロールプロパンモノアクリレート、アリルアクリレー
ト、1,3−プロピレングリコールジアクリレート、
1,4−ブチレングリコールジアクリレート、1,6−
ヘキシレングリコールジアクリレート、ネオペンチルグ
リコールジアクリレート、ジプロピレングリコールジア
クリレート、2,2−ビス(4−アクリロキシジエトキ
シフェニル)プロパン、2,2−ビス(4−アクリロキ
シプロピルキシフェニル)プロパン、トリメチロールプ
ロパンジアクリレート、ペンタエリスリトールジアクリ
レート、トリメチロールプロパントリアクリレート、ペ
ンタエリスリトールトリアクリレート、トリアクリルホ
ルマール、テトラメチロールメタンテトラアクリレー
ト、トリス(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌル酸の
アクリル酸エステル、
The photosensitive resin composition of the present invention contains a photopolymerizable compound having at least one terminal ethylene group as an essential component (b). Examples of these compounds include:
Acrylic acid, methyl acrylate, ethyl acrylate, n-propyl acrylate, isopropyl acrylate, n-butyl acrylate, isobutyl acrylate, cyclohexyl acrylate, benzyl acrylate, carbitol acrylate, methoxyethyl acrylate, ethoxyethyl acrylate, butoxyethyl acrylate, hydroxyethyl acrylate , Hydroxypropyl acrylate, butylene glycol monoacrylate, N, N-dimethylaminoethyl acrylate, N, N-diethylaminoethyl acrylate, glycidyl acrylate, tetrahydrofurfuryl acrylate, pentaerythritol monoacrylate, trimethylolpropane monoacrylate, allyl acrylate, 1 , 3-propy Glycol diacrylate,
1,4-butylene glycol diacrylate, 1,6-
Hexylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, dipropylene glycol diacrylate, 2,2-bis (4-acryloxydiethoxyphenyl) propane, 2,2-bis (4-acryloxypropylxyphenyl) propane, Trimethylolpropane diacrylate, pentaerythritol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, triacrylformal, tetramethylolmethane tetraacrylate, acrylic acid ester of tris (2-hydroxyethyl) isocyanuric acid,

【化5】 〔式中、nは1〜30の正の整数である〕、[Chemical 5] [In the formula, n is a positive integer of 1 to 30],

【化6】 〔式中、n及びmはn+mが2〜30となるように選ば
れる正の整数である〕、
[Chemical 6] [Wherein, n and m are positive integers selected so that n + m is 2 to 30],

【化7】 メタクリル酸、メチルメタクリレート、エチルメタクリ
レート、プロピルメタクリレート、イソプロピルメタク
リレート、ブチルメタクリレート、イソブチルメタクリ
レート、シクロヘキシルメタクリレート、ベンジルメタ
クリレート、オクチルメタクリレート、エチルヘキシル
メタクリレート、メトキシエチルメタクリレート、エト
キシエチルメタクリレート、ブトキシエチルメタクリレ
ート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプ
ロピルメタクリレート、ヒドロキシブチルメタクリレー
ト、ヒドロキシペンチルメタクリレート、N,N−ジメ
チルアミノメタクリレート、N,N−ジエチルアミノメ
タクリレート、グリシジルメタクリレート、テトラヒド
ロフルフリルメタクリレート、メタクリロキシプロピル
トリメトキシシラン、アリルメタクリレート、トリメチ
ロールプロパンモノメタクリレート、ペンタエリスリト
ールモノメタクリレート、1,3−ブチレングリコール
ジメタクリレート、1,6−ヘキシレングリコールジメ
タクリレート、ネオペンチルグリコールジメタクリレー
ト、2,2−ビス(4−メタクリロキシジエトキシフェ
ニル)プロパン、トリメチロールプロパントリメタクリ
レート、ペンタエリスリトールトリメタクリレート、テ
トラメチロールメタンテトラメタクリレート、トリス
(2−ヒドロキシエチル)イソシアヌル酸のメタクリル
酸エステル、
[Chemical 7] Methacrylic acid, methyl methacrylate, ethyl methacrylate, propyl methacrylate, isopropyl methacrylate, butyl methacrylate, isobutyl methacrylate, cyclohexyl methacrylate, benzyl methacrylate, octyl methacrylate, ethylhexyl methacrylate, methoxyethyl methacrylate, ethoxyethyl methacrylate, butoxyethyl methacrylate, hydroxyethyl methacrylate, hydroxy Propyl methacrylate, hydroxybutyl methacrylate, hydroxypentyl methacrylate, N, N-dimethylaminomethacrylate, N, N-diethylaminomethacrylate, glycidyl methacrylate, tetrahydrofurfuryl methacrylate, methacryloxypropyltrimethoxysila , Allyl methacrylate, trimethylolpropane monomethacrylate, pentaerythritol monomethacrylate, 1,3-butylene glycol dimethacrylate, 1,6-hexylene glycol dimethacrylate, neopentyl glycol dimethacrylate, 2,2-bis (4-methacryloxy) Diethoxyphenyl) propane, trimethylolpropane trimethacrylate, pentaerythritol trimethacrylate, tetramethylolmethane tetramethacrylate, methacrylic acid ester of tris (2-hydroxyethyl) isocyanuric acid,

【化8】 〔式中、nは1〜30の正の整数である〕、[Chemical 8] [In the formula, n is a positive integer of 1 to 30],

【化9】 〔式中、n及びmはn+mが2〜30となるように選ば
れる正の整数である〕、
[Chemical 9] [Wherein, n and m are positive integers selected so that n + m is 2 to 30],

【化10】 トリメチルヘキサメチレンジイソシアナート/2−ヒド
ロキシエチルアクリレート(1/2モル比)反応物、イ
ソシアナートエチルメタアクリレート/水(2/1モル
比)反応物、クロトン酸ブチル、グリセリンモノクロネ
ート、ビニルブチレート、ビニルトリメチルアセテー
ト、ビニルカプロエート、ビニルクロルアセテート、ビ
ニルラクテート、安息香酸ビニル、ジビニルサクシネー
ト、ジビニルフタレート、メタクリルアミド、N−メチ
ルメタクリルアミド、N−エチルメタクリルアミド、N
−アリールメタクリルアミド、N−ヒドロキシエチル−
N−メチルメタクリルアミド、アクリルアミド、N−t
−ブチルアクリルアミド、N−メチロールアクリルアミ
ド、N−イソブトキシメチルアクリルアミド、N−ブト
キシメチルアクリルアミド、ダイアセトンアクリルアミ
ド、ヘキシルビニルエーテル、エチルヘキシルビニルエ
ーテル、ビニルトリエーテル、多価アルコールのポリビ
ニルエーテル、スチレン誘導体として例えばオルト及び
パラ位にアルキル基、アルコキシ基、ハロゲン、カルボ
キシル基、アクリル基などの置換基を持ったスチレン、
ジビニルベンゼン、アリルオキシエタノール、ジカルボ
ン酸のジアリルエステル、N−ビニルオキサゾリドン、
N−ビニルイミダゾール、N−ビニルピロリドン、N−
ビニルカルバゾールなどが挙げられる。これらの末端エ
チレン基を1個以上有する光重合性化合物は単独でまた
は2種以上を組み合わせて用いてもよい。
[Chemical 10] Trimethylhexamethylene diisocyanate / 2-hydroxyethyl acrylate (1/2 mole ratio) reaction product, isocyanate ethyl methacrylate / water (2/1 mole ratio) reaction product, butyl crotonic acid, glycerin monoclonate, vinyl butyrate , Vinyl trimethyl acetate, vinyl caproate, vinyl chloroacetate, vinyl lactate, vinyl benzoate, divinyl succinate, divinyl phthalate, methacrylamide, N-methyl methacrylamide, N-ethyl methacrylamide, N
-Aryl methacrylamide, N-hydroxyethyl-
N-methylmethacrylamide, acrylamide, Nt
-Butylacrylamide, N-methylolacrylamide, N-isobutoxymethylacrylamide, N-butoxymethylacrylamide, diacetone acrylamide, hexyl vinyl ether, ethylhexyl vinyl ether, vinyl triether, polyvinyl ethers of polyhydric alcohols, and styrene derivatives such as ortho and para. Styrene having a substituent such as an alkyl group, an alkoxy group, a halogen, a carboxyl group, or an acryl group at the position,
Divinylbenzene, allyloxyethanol, diallyl ester of dicarboxylic acid, N-vinyloxazolidone,
N-vinylimidazole, N-vinylpyrrolidone, N-
Examples thereof include vinylcarbazole. These photopolymerizable compounds having one or more terminal ethylene groups may be used alone or in combination of two or more.

【0023】本発明の感光性樹脂組成物は、必須成分
(c)として、1分子中に1個以上のエポキシ基を有す
るエポキシ化合物を含有する。この化合物としては、例
えば、フェニルグリシジルエーテル、p−ブチルフェノ
ールグリシジルエーテル、クレジルグリシジルエーテ
ル、アリルグリシジルエーテル、グリシジルメタクリレ
ート、オクチレンオキサイド、ビスフェノールAのジグ
リシジルエーテル、ビスフェノールA型エポキシ樹脂、
ビスフェノールS型エポキシ樹脂、ビスフェノールS型
エポキシ樹脂、フェノールノボラツク型エポキシ樹脂、
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂、N−グリシジル
型エポキシ樹脂、チッソ社製脂環式エポキシ樹脂(チッ
ソノックス206、チッソノックス221、チッソノッ
クス201等)、ダイセル化学工業社製脂環式エポキシ
樹脂(セキサロイド2021等)、トリス(2,3−エ
ポキシプロピル)イソシアヌレート、水溶性のヒダント
インエポキシ樹脂等が挙げられる。これらのうちトリス
(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレート及び水
溶性のヒダントインエポキシ樹脂が好ましい。水溶性の
ヒダントインエポキシ樹脂の具体例としては、5,5−
ジメチルヒダントインビスエポキシド、5,5−ジエチ
ルヒダントインビスエポキシド、5−ベンジルヒダント
インビスエポキシド、5−イソプロピルヒダントインエ
ポキシド、5,5−ペンタメチレンヒダントインビスエ
ポキシド、5,5−テトラメチレンヒダントインエポキ
シド、前記ヒダントレンビスエポキシド誘導体と5,5
−ジメチルヒダントイン、5,5−ジエチルヒダントイ
ン等のヒダントイン誘導体との縮合反応物であるエポキ
シ樹脂などを挙げることができる。これらエポキシ化合
物は単独でまたは2種以上を組み合わせて用いてもよ
い。
The photosensitive resin composition of the present invention contains, as an essential component (c), an epoxy compound having one or more epoxy groups in one molecule. Examples of this compound include phenyl glycidyl ether, p-butylphenol glycidyl ether, cresyl glycidyl ether, allyl glycidyl ether, glycidyl methacrylate, octylene oxide, diglycidyl ether of bisphenol A, bisphenol A type epoxy resin,
Bisphenol S type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolak type epoxy resin,
Cresol novolac type epoxy resin, N-glycidyl type epoxy resin, alicyclic epoxy resin manufactured by Chisso Co. (Cissonox 206, Chisso nox 221, Chisso nox 201 etc.), alicyclic epoxy resin manufactured by Daicel Chemical Industries (Sexaroid 2021 etc.) ), Tris (2,3-epoxypropyl) isocyanurate, and water-soluble hydantoin epoxy resin. Of these, tris (2,3-epoxypropyl) isocyanurate and water-soluble hydantoin epoxy resin are preferable. Specific examples of the water-soluble hydantoin epoxy resin include 5,5-
Dimethylhydantoin bisepoxide, 5,5-diethylhydantoin bisepoxide, 5-benzylhydantoin bisepoxide, 5-isopropylhydantoin epoxide, 5,5-pentamethylenehydantoin bisepoxide, 5,5-tetramethylenehydantoin epoxide, the hydantolenbis Epoxide derivative and 5,5
Examples thereof include an epoxy resin which is a condensation reaction product with a hydantoin derivative such as dimethylhydantoin and 5,5-diethylhydantoin. You may use these epoxy compounds individually or in combination of 2 or more types.

【0024】本発明の感光性樹脂組成物は、必須成分
(d)として、活性光により遊離ラジカルを生成する増
感剤及び/又は増感剤系を含有する。増感剤としては、
例えば、2−エチルアントラキノン、2−t−ブチルア
ントラキノン、オクタメチルアントラキノン、1,2−
ベンズアントラキノン、2,3−ジフェニルアントラキ
ノン等の置換又は非置換の多核キノン類、ベンゾイン、
ピバロン等のα−ケタルドニルアルコール類及びエーテ
ル類、α−フェニル−ベンゾイン、α,α−ジエトキシ
アセトフェノン等のα−炭化水素置換芳香族アシロイン
類、ベンゾフェノン、4,4′−ビスジアルキルアミノ
ベンゾフェノン等の芳香族ケトン類、2−メチルチオキ
サントン、2,4−ジエチルチオキサントン、2−クロ
ルチオキサントン、2−イソプロピルチオキサントン、
2−エチルチオキサントン等のチオキサントン類、2−
メチル−1−〔4−(メチルチオ)フェニル〕−2−モ
ノホリノープロパノン−1などが用いられ、これらは単
独で又は2種以上を組み合わせて用いてもよい。
The photosensitive resin composition of the present invention contains, as an essential component (d), a sensitizer and / or a sensitizer system capable of generating free radicals by actinic light. As a sensitizer,
For example, 2-ethylanthraquinone, 2-t-butylanthraquinone, octamethylanthraquinone, 1,2-
Substituted or unsubstituted polynuclear quinones such as benzanthraquinone and 2,3-diphenylanthraquinone, benzoin,
Α-Ketaldonyl alcohols and ethers such as pivalon, α-phenyl-benzoin, α-hydrocarbon-substituted aromatic acyloines such as α, α-diethoxyacetophenone, benzophenone, 4,4′-bisdialkylaminobenzophenone Aromatic ketones such as 2-methylthioxanthone, 2,4-diethylthioxanthone, 2-chlorothioxanthone, 2-isopropylthioxanthone,
Thioxanthones such as 2-ethylthioxanthone, 2-
Methyl-1- [4- (methylthio) phenyl] -2-monofolinopropanone-1 and the like are used, and these may be used alone or in combination of two or more kinds.

【0025】本発明の感光性樹脂組成物は、側鎖に一般
式(1)で示される基を少なくとも1個以上有するビニ
ル系重合体(a)100重量部に対して、末端エチレン
基を1個以上有する光重合性化合物(b)を1〜200
重量部、1分子中に1個以上のエポキシ基を有するエポ
キシ化合物(c)を1〜100重量部、活性光により遊
離ラジカルを生成する増感剤及び/又は増感剤系(d)
を1〜100重量部の範囲で用いることが、解像度、は
んだ耐熱性、耐溶剤性、耐めっき性、電気絶縁性などに
優れたソルダマスクを形成する上で好ましい。
The photosensitive resin composition of the present invention has 1 terminal ethylene group per 100 parts by weight of a vinyl polymer (a) having at least one group represented by the general formula (1) in its side chain. 1 to 200 of the photopolymerizable compound (b) having one or more
1 to 100 parts by weight of an epoxy compound (c) having one or more epoxy groups in one molecule, a sensitizer and / or a sensitizer system (d) that generates a free radical by actinic light.
Is preferably used in the range of 1 to 100 parts by weight in order to form a solder mask excellent in resolution, solder heat resistance, solvent resistance, plating resistance, electric insulation and the like.

【0026】本発明の感光性樹脂組成物には、副次的成
分として微粒状無機又は有機充填剤、熱重合防止剤、染
料、顔料、消泡剤、難燃剤、可塑剤、密着性向上剤、エ
ポキシ樹脂の硬化促進剤及び潜在性硬化剤などを挙げる
ことができる。これらの副次的成分の選択は通常の感光
性樹脂組成物と同様の考慮のもとに行われる。
In the photosensitive resin composition of the present invention, fine particles of inorganic or organic fillers, thermal polymerization inhibitors, dyes, pigments, defoamers, flame retardants, plasticizers, adhesion improvers are added as secondary components. , Epoxy resin curing accelerators and latent curing agents. The selection of these subcomponents is carried out in the same manner as in the usual photosensitive resin composition.

【0027】本発明の感光性樹脂組成物は、デップコー
ト法、ロールコート法、カーテンコート法、スクリーン
印刷法、スプレー法、静電スプレー法等の常法により、
加工保護すべき基板又はプリント配線板上に直接塗工
し、厚さ10〜150μmの感光層を容易に形成するこ
とができる。塗工する際には、必要に応じて感光性樹脂
組成物を溶剤に溶解させて行うこともできる。この溶剤
としては、例えばメチルエチルケトン、メチルセロソル
ブアセテート、エチルセロソルブアセテート。カルビト
ールアセテート、シクロヘキサノン、メチルセロソル
ブ、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテー
ト、塩化メチレン、プロピレングリコールモノメチルエ
ーテル1,1,1−トリクロロエチレン等を挙げること
ができる。
The photosensitive resin composition of the present invention can be prepared by a conventional method such as a dip coating method, a roll coating method, a curtain coating method, a screen printing method, a spray method or an electrostatic spray method.
The photosensitive layer having a thickness of 10 to 150 μm can be easily formed by directly coating the substrate or the printed wiring board to be processed and protected. When applying, the photosensitive resin composition may be dissolved in a solvent as needed. Examples of the solvent include methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate, and ethyl cellosolve acetate. Examples thereof include carbitol acetate, cyclohexanone, methyl cellosolve, propylene glycol monomethyl ether acetate, methylene chloride and propylene glycol monomethyl ether 1,1,1-trichloroethylene.

【0028】また、前記組成物又はその溶液を、例えば
ポリエチレンテレフタレートフィルム、ポリイミドフィ
ルム等のフィルム上に、ナイフコート法、ロールコート
法等によって塗布、乾燥し、さらに、必要に応じてポリ
オレフィンなどの保護フィルムを積層することにより感
光性エレメントを作製し、該感光性エレメントを熱ロー
ルを用いて基板又はプリント配線板上に加熱加圧積層し
て感光層を形成することができる。この際、基板が10
μm以上の凹凸を有する場合には、空気の巻き込みを防
ぐため、200mmHg以下の真空下で積層することが好ま
しい。この装置としては、例えば特公昭55−1334
1号公報に記載される積層装置が用いられる。活性光に
不透明な支持体フィルムを用いる場合には、露光時に支
持体フィルムを剥離する必要がある。
Further, the composition or a solution thereof is applied onto a film such as a polyethylene terephthalate film or a polyimide film by a knife coating method, a roll coating method or the like and dried, and if necessary, a polyolefin or the like is protected. A photosensitive element can be produced by laminating films, and the photosensitive element can be laminated by heating and pressing the photosensitive element on a substrate or a printed wiring board using a heat roll to form a photosensitive layer. At this time, the substrate is 10
In the case of having irregularities of μm or more, it is preferable to stack under a vacuum of 200 mmHg or less in order to prevent air entrapment. As this device, for example, Japanese Patent Publication No. 55-1334
The laminating apparatus described in Japanese Patent No. 1 is used. When a support film opaque to actinic light is used, it is necessary to peel off the support film during exposure.

【0029】こうして形成された感光層の露光及び現像
は常法により行われる。すなわち、光源として超高圧水
銀灯、高圧水銀灯などを用い、感光性樹脂組成物の層上
に直接又はポリエチレンテレフタレートフィルム等の透
明フィルムを介して、ネガマスクを通して像状に露光す
る。露光後、60℃〜80℃で1〜10分間加熱するこ
とが好ましい。透明フィルムが残っている場合には、こ
れを剥離した後、現像する。
Exposure and development of the photosensitive layer thus formed are carried out by a conventional method. That is, an ultrahigh-pressure mercury lamp, a high-pressure mercury lamp, or the like is used as a light source, and imagewise exposure is performed directly on the layer of the photosensitive resin composition or through a negative film through a transparent film such as a polyethylene terephthalate film. After exposure, it is preferable to heat at 60 ° C to 80 ° C for 1 to 10 minutes. If the transparent film remains, it is peeled off and then developed.

【0030】現像処理に用いられる現像液としては、一
般の水道水又は場合によってはアルカリ水溶液が用いら
れる。アルカリ水溶液を用いるときは、その塩基とし
て、リン酸ナトリウム、リン酸カリウム等のアルカリ金
属リン酸塩、炭酸ナトリウム等のアルカリ金属炭酸塩等
を例示することがで、特に炭酸ナトリウムの水溶液が好
ましい。
As the developing solution used for the developing treatment, general tap water or an alkaline aqueous solution is used in some cases. When an aqueous alkali solution is used, examples of the base include alkali metal phosphates such as sodium phosphate and potassium phosphate, alkali metal carbonates such as sodium carbonate, and the like, and an aqueous solution of sodium carbonate is particularly preferable.

【0031】上記の方法で得られた像的な保護膜は、通
常のエッチング、めっき等のための耐食膜として好適な
特性を有しているが、現像後に80〜200℃で加熱処
理を行うことにより、密着性、耐熱性、耐溶剤性などの
特性を向上でき、ソルダマスクとしての特性を満足す
る。
The image-like protective film obtained by the above method has suitable characteristics as a corrosion-resistant film for ordinary etching, plating, etc., but is subjected to heat treatment at 80 to 200 ° C. after development. As a result, the characteristics such as adhesion, heat resistance and solvent resistance can be improved, and the characteristics as a solder mask can be satisfied.

【0032】[0032]

【実施例】次に、実施例により本発明を詳述するが、本
発明はこれに限定されるものではない。なお、例中の
「部」は、特に断らない限り「重量部」を意味する。
EXAMPLES Next, the present invention will be described in detail with reference to examples, but the present invention is not limited thereto. In addition, "part" in an example means a "weight part" unless there is particular notice.

【0033】実施例1 (イ)ビニル系重合体(a)の合成Example 1 (a) Synthesis of vinyl polymer (a)

【表1】 DHA−3:1,1−ジメチル−1−(2−ヒドロキシ
プロピル)アミンメタクリルイミド 2−HEMA:2−ヒドロキシエチルメタクリレート MMA:メタクリル酸メチル
[Table 1] DHA-3: 1,1-dimethyl-1- (2-hydroxypropyl) amine methacrylimide 2-HEMA: 2-hydroxyethyl methacrylate MMA: methyl methacrylate

【0034】温度計、撹拌装置、冷却管及び滴下器の付
いた加熱及び冷却可能な500mlの反応容器に、メチル
エチルケトン200部を入れ78℃に昇温し、前記表1
の重合性単量体のそれぞれの配合組合せに2,2′−ア
ゾビス(イソブチロニトリル)を0.4部加えた混合物
を3時間かけて滴下した。78℃を保ったまま約6時間
撹拌を続け目的のビニル系重合体の溶液(a−1〜a−
6)を得た。
200 parts of methyl ethyl ketone was placed in a 500 ml heatable and coolable reaction vessel equipped with a thermometer, a stirrer, a condenser tube and a dropping device, and the temperature was raised to 78 ° C.
A mixture prepared by adding 0.4 parts of 2,2′-azobis (isobutyronitrile) to each combination of the polymerizable monomers of was added dropwise over 3 hours. While maintaining the temperature at 78 ° C., stirring was continued for about 6 hours, and the solution of the desired vinyl polymer (a-1 to a-
6) was obtained.

【0035】(ロ)感光性樹脂組成物の調製 表2の材料を配合し、本発明の感光性樹脂組成物の溶液
を調製した。
(B) Preparation of Photosensitive Resin Composition The materials shown in Table 2 were blended to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention.

【表2】 [Table 2]

【0036】(ハ)硬化被膜の形成 上記(ロ)で得られた感光性樹脂組成物の溶液を厚さ5
0μm、幅125μmの銅パターンを有するガラス基材
プリント配線板上の全面にバーコータで膜厚が60μm
になるように塗布した。次いで室温で80℃、10分間
乾燥し、厚さ40μm(ガラス基材上)の感光層を形成
した。
(C) Formation of cured film A solution of the photosensitive resin composition obtained in (B) above was formed to a thickness of 5
A film thickness of 60 μm with a bar coater on the entire surface of a glass-based printed wiring board having a copper pattern of 0 μm and a width of 125 μm
Was applied. Then, it was dried at 80 ° C. for 10 minutes at room temperature to form a photosensitive layer having a thickness of 40 μm (on a glass substrate).

【0037】次いで、ネガマスクを通してオーク製作所
株式会社製HMW−201B型露光機を用い、400mJ
/cm2で露光した。露光後、80℃で5分間加熱し、常温
で30分間放置した後、水道水を用いて、30℃で12
0秒間スプレー現像した。次いで、150℃で60分間
加熱処理してネガマスクに相応する寸法精度の優れた硬
化被膜(ソルダマスク)を得た。この硬化被膜は、はん
だ耐熱性に優れ、ロジン系フラックスA−226(タム
ラ化研株式会社製)を用いて260℃で20秒間半田処
理しても剥がれ、フクレは認められなかった。また、感
光層形成時の乾燥時間を60分にしても同様に優れた特
性の硬化皮膜が得られ、熱安定性にも優れていた。
Next, using a HMW-201B type exposure machine manufactured by ORC Manufacturing Co., Ltd. through a negative mask, 400 mJ
Exposed at / cm 2 . After exposure, heat at 80 ° C for 5 minutes, leave at room temperature for 30 minutes, and then tap water at 30 ° C for 12 minutes.
Spray developed for 0 seconds. Then, heat treatment was carried out at 150 ° C. for 60 minutes to obtain a cured coating (solder mask) having excellent dimensional accuracy corresponding to a negative mask. This cured coating had excellent solder heat resistance and was peeled off even after soldering for 20 seconds at 260 ° C. using rosin-based flux A-226 (manufactured by Tamura Kaken Co., Ltd.), and no blistering was observed. Further, even when the drying time at the time of forming the photosensitive layer was 60 minutes, a cured film having similarly excellent properties was obtained, and thermal stability was also excellent.

【0038】実施例2 表3の材料を配合し、本発明の感光性樹脂組成物の溶液
を調製した。
Example 2 The materials shown in Table 3 were blended to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention.

【表3】 実施例1(ハ)と同様にして、熱安定性が高く、水で現
像でき、かつ、解像性、はんだ耐熱性に優れた硬化皮膜
が得られた。
[Table 3] In the same manner as in Example 1 (C), a cured film having high thermal stability, being developable with water, and having excellent resolution and solder heat resistance was obtained.

【0039】実施例3 表4の材料を配合し、本発明の感光性樹脂組成物の溶液
を調製した。
Example 3 The materials shown in Table 4 were blended to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention.

【表4】 実施例1(ハ)と同様にして、熱安定性が高く、水で現
像でき、かつ、解像性、はんだ耐熱性に優れた硬化皮膜
が得られた。
[Table 4] In the same manner as in Example 1 (C), a cured film having high thermal stability, being developable with water, and having excellent resolution and solder heat resistance was obtained.

【0040】実施例4 表5の材料を配合し、本発明の感光性樹脂組成物の溶液
を調製した。
Example 4 The materials shown in Table 5 were blended to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention.

【表5】 実施例1(ハ)と同様にして、熱安定性が高く、水で現
像でき、かつ、解像性、はんだ耐熱性に優れた硬化皮膜
が得られた。
[Table 5] In the same manner as in Example 1 (C), a cured film having high thermal stability, being developable with water, and having excellent resolution and solder heat resistance was obtained.

【0041】実施例5 表6の材料を配合し、本発明の感光性樹脂組成物の溶液
を調製した。
Example 5 The materials shown in Table 6 were blended to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention.

【表6】 実施例1(ハ)と同様にして、熱安定性が高く、1重量
%炭酸ナトリウム水溶液を用いて90秒で現像でき、か
つ、解像性、はんだ耐熱性に優れた硬化皮膜が得られ
た。
[Table 6] In the same manner as in Example 1 (c), a cured film having high thermal stability, capable of being developed with a 1 wt% sodium carbonate aqueous solution in 90 seconds, and having excellent resolution and solder heat resistance was obtained. .

【0042】実施例6 表7の材料を配合し、本発明の感光性樹脂組成物の溶液
を調製した。
Example 6 The materials shown in Table 7 were blended to prepare a solution of the photosensitive resin composition of the present invention.

【表7】 実施例1(ハ)と同様にして、熱安定性が高く、水で現
像でき、かつ、解像性、はんだ耐熱性に優れた硬化皮膜
が得られた。
[Table 7] In the same manner as in Example 1 (C), a cured film having high thermal stability, being developable with water, and having excellent resolution and solder heat resistance was obtained.

【0043】[0043]

【発明の効果】本発明の感光性樹脂組成物及び感光性エ
レメントを用いることにより、安全性及び経済性に優れ
た水またはアルカリ水溶液により現像でき、かつ、解像
度、はんだ耐熱性などに優れた高信頼性のソルダマスク
を形成することができる。
EFFECT OF THE INVENTION By using the photosensitive resin composition and the photosensitive element of the present invention, it is possible to develop with water or an alkaline aqueous solution, which is excellent in safety and economy, and is excellent in resolution, solder heat resistance and the like. A reliable solder mask can be formed.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H05K 3/18 D 7511−4E 3/28 D 7511−4E ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Office reference number FI technical display location H05K 3/18 D 7511-4E 3/28 D 7511-4E

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 (a)側鎖に一般式(1)で示される基
を有するビニル系重合体、 【化1】 〔式中、R1及びR2は水素原子、アルキル基又はアリー
ル基を表し、R3はアルキル基又はヒドロキシアルキル
基を表す(R2とR3は結合して窒素原子とともに複素環
を形成してもよい)〕 (b)末端エチレン基を1個以上有する光重合性化合物 (c)1分子中に1個以上のエポキシ基を有するエポキ
シ化合物 及び (d)活性光により遊離ラジカルを生成する光開始剤を
含有してなる感光性樹脂組成物。
1. A vinyl polymer having a group represented by the general formula (1) in the side chain (a): [Wherein R 1 and R 2 represent a hydrogen atom, an alkyl group or an aryl group, and R 3 represents an alkyl group or a hydroxyalkyl group (R 2 and R 3 combine to form a heterocycle with a nitrogen atom). (B) a photopolymerizable compound having one or more terminal ethylene groups (c) an epoxy compound having one or more epoxy groups in one molecule, and (d) light for generating free radicals by active light. A photosensitive resin composition containing an initiator.
【請求項2】 (c)成分のエポキシ化合物がトリス
(2,3−エポキシプロピル)イソシアヌレートである
請求項1記載の感光性樹脂組成物。
2. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the epoxy compound as the component (c) is tris (2,3-epoxypropyl) isocyanurate.
【請求項3】 (c)成分のエポキシ化合物が水溶性の
ヒダントインエポキシ樹脂である請求項1記載の感光性
樹脂組成物。
3. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the epoxy compound as the component (c) is a water-soluble hydantoin epoxy resin.
【請求項4】 支持体フィルム上に請求項1、2又は3
記載の感光性樹脂組成物の層を積層してなる感光性エレ
メント。
4. The method according to claim 1, 2 or 3 on a support film.
A photosensitive element formed by laminating layers of the photosensitive resin composition described.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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