JPH06291514A - Irreversible circuit element for microwave - Google Patents

Irreversible circuit element for microwave

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JPH06291514A
JPH06291514A JP7697793A JP7697793A JPH06291514A JP H06291514 A JPH06291514 A JP H06291514A JP 7697793 A JP7697793 A JP 7697793A JP 7697793 A JP7697793 A JP 7697793A JP H06291514 A JPH06291514 A JP H06291514A
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JP
Japan
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conductors
circuit device
microwave
center electrode
microwaves
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Application number
JP7697793A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroshi Marusawa
博 丸澤
Takehiro Konoike
健弘 鴻池
Kunisaburo Tomono
国三郎 伴野
Takashi Kawanami
崇 川浪
Takashi Hasegawa
長谷川  隆
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To provide an irreversible circuit element for microwave low in loss and small in size, which can reduce a conductor loss caused by a center electrode. CONSTITUTION:In a sintered body 60 consisting of a microwave magnetic material, plural conductors 55, 56 and 57 separated through a magnetic material layer are laminated, a first center electrode, a second center electrode and a third electrode are constituted of plural conductors 55, plural conductors 56 and plural conductors 57, respectively, and a first-third electrodes are provided in an electrically insulated state, and also, so as to cross in the center part of the sintered body 60.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、マイクロ波帯で用いら
れる非可逆回路素子に関し、例えばサーキュレータやア
イソレータ等に用いられるマイクロ波用非可逆回路素子
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a non-reciprocal circuit device used in a microwave band, for example, a non-reciprocal circuit device for microwaves used in a circulator, an isolator or the like.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、移動体通信等においては、高周波
機器の小型化及び汎用化が進行しており、使用される非
可逆回路素子においても小型化及び低コスト化が強く求
められている。
2. Description of the Related Art In recent years, in mobile communication and the like, miniaturization and general-purpose use of high-frequency equipment have been advanced, and miniaturization and cost reduction of non-reciprocal circuit elements used have been strongly demanded.

【0003】上記のような非可逆回路素子としては、例
えば、電気的に絶縁された状態で、かつ交叉するように
配置された複数の中心電極と、該複数の中心電極の上部
及び下部にマイクロ波用磁性体を配置し、さらに永久磁
石により直流磁界が上記複数の中心電極の交叉している
部分に印加されるように構成されている素子、いわゆる
集中定数型非可逆回路素子があり、例えば、集中定数型
サーキュレータやアイソレータ等が挙げられる。
Examples of the non-reciprocal circuit device as described above include, for example, a plurality of center electrodes arranged in an electrically insulated state so as to intersect with each other, and micro-electrodes above and below the plurality of center electrodes. There is a so-called lumped-constant nonreciprocal circuit element, in which a wave magnetic material is arranged and a direct-current magnetic field is applied by a permanent magnet to the intersecting portion of the plurality of center electrodes. , A lumped constant type circulator, an isolator, and the like.

【0004】図1は、従来のマイクロ波用非可逆回路素
子の第1の例を説明するための分解斜視図である。この
マイクロ波用非可逆回路素子は、矩形の誘電体基板1〜
3を積層した構造を有する。各誘電体基板1〜3の上面
には、それぞれ、ポート1a〜1f、2a〜2f及び3
a〜3fが形成されている。各ポート1a〜3fは、そ
れぞれ、各誘電体基板1〜3の中心を囲むように配置さ
れたスルーホール電極に電気的に接続されるように導電
膜を形成することにより構成されている。
FIG. 1 is an exploded perspective view for explaining a first example of a conventional nonreciprocal circuit device for microwaves. This microwave non-reciprocal circuit device comprises a rectangular dielectric substrate 1
3 has a laminated structure. Ports 1a to 1f, 2a to 2f and 3 are provided on the upper surfaces of the dielectric substrates 1 to 3, respectively.
a to 3f are formed. Each of the ports 1a to 3f is formed by forming a conductive film so as to be electrically connected to a through-hole electrode arranged so as to surround the center of each of the dielectric substrates 1 to 3.

【0005】誘電体基板1においては、ポート1aと、
ポート1dとを結ぶように中心電極4が形成されてい
る。同様に、誘電体基板2,3の上面にも、中心電極
5,6が形成されている。中心電極4〜6は、誘電体基
板1〜3を積層した状態において、異なる方向に延びる
ように、すなわち誘電体基板を介して電気的に絶縁され
た状態で交叉されるように構成されている。
In the dielectric substrate 1, the port 1a,
The center electrode 4 is formed so as to connect to the port 1d. Similarly, center electrodes 5 and 6 are also formed on the upper surfaces of the dielectric substrates 2 and 3. The center electrodes 4 to 6 are configured to extend in different directions in a state where the dielectric substrates 1 to 3 are stacked, that is, to be crossed in an electrically insulated state via the dielectric substrates. .

【0006】上記マイクロ波用非可逆回路素子は、誘電
体基板1〜3を図示の状態のまま積層することにより構
成されている。図2は、従来のマイクロ波用非可逆回路
素子の第2の例を説明するための分解斜視図である。
The microwave nonreciprocal circuit device is constructed by stacking the dielectric substrates 1 to 3 in the illustrated state. FIG. 2 is an exploded perspective view for explaining a second example of the conventional nonreciprocal circuit device for microwaves.

【0007】第2の例のマイクロ波用非可逆回路素子で
は、誘電体基板7〜9の上面に第1の例と同様にポート
7a〜7f…9a〜9fが形成されており、同様に中心
電極10〜12が形成されている。もっとも、中心電極
10〜12は、図示のようにそれぞれ、長手方向に延び
る2本の導体10a,10b〜12a,12bを両端に
て連結した構造を有する。その他の構造については、図
1に示したマイクロ波用非可逆回路素子と同様に構成さ
れる。
In the microwave nonreciprocal circuit device of the second example, ports 7a to 7f ... 9a to 9f are formed on the upper surfaces of the dielectric substrates 7 to 9 in the same manner as in the first example, and the center is also formed. Electrodes 10-12 are formed. However, the center electrodes 10 to 12 each have a structure in which two conductors 10a, 10b to 12a, 12b extending in the longitudinal direction are connected at both ends, as shown in the figure. Other structures are similar to those of the microwave nonreciprocal circuit device shown in FIG.

【0008】図3は、従来のマイクロ波用非可逆回路素
子の第3の例を説明するための分解斜視図である。第3
の例のマイクロ波用非可逆回路素子では、円板状のマイ
クロ波用磁性体13a上に、金属箔、例えばCu箔より
なる中心電極14aが配置される。
FIG. 3 is an exploded perspective view for explaining a third example of the conventional nonreciprocal circuit device for microwaves. Third
In the microwave nonreciprocal circuit device of the above example, the center electrode 14a made of a metal foil, for example, a Cu foil, is disposed on the disk-shaped microwave magnetic body 13a.

【0009】中心電極14aは、マイクロ波用磁性体1
3aの上面の中心を通り径方向に延び、さらにマイクロ
波用磁性体13aの側面に至る形状とされている。次
に、上記中心電極14a上に絶縁性材料よりなる絶縁膜
15aが配置され、その上に中心電極14aと交叉する
ように他の中心電極14bが配置される。さらに、上記
中心電極14b上に絶縁膜15b、中心電極14c、絶
縁膜15cと順に配置され、マイクロ波用磁性体13b
を積層し固定する。しかる後、マイクロ波用磁性体13
a,13bで挟持された構造体に直流磁界が印加される
ように永久磁石が上部及び下部に配置される。
The center electrode 14a is a microwave magnetic material 1
It has a shape that extends in the radial direction through the center of the upper surface of 3a and further reaches the side surface of the microwave magnetic body 13a. Next, an insulating film 15a made of an insulating material is arranged on the center electrode 14a, and another center electrode 14b is arranged thereon so as to intersect with the center electrode 14a. Further, the insulating film 15b, the central electrode 14c, and the insulating film 15c are sequentially arranged on the center electrode 14b, and the microwave magnetic body 13b is formed.
Are stacked and fixed. Then, the microwave magnetic material 13
Permanent magnets are arranged in the upper and lower parts so that a DC magnetic field is applied to the structure sandwiched by a and 13b.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】マイクロ波用非可逆回
路素子では、中心電極の幅が広い程、導体損失が小さく
なるため、中心電極の幅は広い方が好ましい。しかしな
がら、非可逆回路素子の小型化に伴い、中心電極の幅も
必然的に狭くせざるを得ない。従って、図1〜図3を参
照して説明した従来のマイクロ波用非可逆回路素子で
は、より一層の小型化を進めた場合、中心電極4〜6,
10〜12,14a〜14cの幅を狭くしなければなら
ないため、導体損失が増大し、伝送方向の減衰量が増大
するという問題があった。
In the microwave nonreciprocal circuit device, the wider the center electrode, the smaller the conductor loss. Therefore, the wider center electrode is preferable. However, as the non-reciprocal circuit device is miniaturized, the width of the center electrode is inevitably narrowed. Therefore, in the conventional non-reciprocal circuit device for microwaves described with reference to FIGS. 1 to 3, when further miniaturization is advanced, the center electrodes 4 to 6 and 6.
Since the widths of 10 to 12 and 14a to 14c have to be narrowed, there has been a problem that conductor loss increases and attenuation in the transmission direction increases.

【0011】他方、図3を参照して説明したマイクロ波
用非可逆回路素子の製造方法では、金属箔よりなる各中
心電極14a〜14cを、手作業により絶縁膜15a〜
15cと交互に積層することにより組み立てていた。し
かしながら、マイクロ波用非可逆回路素子の小型化によ
り、上記中心電極14a〜14cの長さが数mm程度と
なってきており、手作業による組み立ては非常に困難と
なってきている。その結果、小型のマイクロ波用非可逆
回路素子を構成した場合、中心電極14a〜14c間の
相対的な位置ずれ等の組み立て不良が発生し、信頼性に
優れたマイクロ波用非可逆回路素子を得ることが困難で
あった。
On the other hand, in the method of manufacturing the nonreciprocal circuit device for microwaves described with reference to FIG. 3, the center electrodes 14a to 14c made of metal foil are manually attached to the insulating films 15a to 15c.
It was assembled by alternately stacking with 15c. However, due to the miniaturization of the nonreciprocal circuit device for microwaves, the length of the center electrodes 14a to 14c has become about several mm, and it has become very difficult to assemble them manually. As a result, when a small nonreciprocal circuit device for microwaves is configured, an assembly failure such as a relative displacement between the center electrodes 14a to 14c occurs, and a highly reliable nonreciprocal circuit device for microwaves is provided. It was difficult to get.

【0012】また、上記のように手作業により組み立て
られていたため、組み立て不良が多く発生し、製造コス
トが高くつくという問題もあった。さらに、上記のよう
に、比較的多くの部品を要するが、個々の部品の低コス
ト化にも限界が生じてきており、マイクロ波用非可逆回
路素子の低コスト化が難しくなってきている。
Further, since the assembling is done by hand as described above, there is a problem that many assembling failures occur and the manufacturing cost becomes high. Further, as described above, although a relatively large number of parts are required, there is a limit to the cost reduction of individual parts, and it is becoming difficult to reduce the cost of the nonreciprocal circuit device for microwaves.

【0013】本発明の目的は、小型化に伴う中心電極に
おける導体損を招くことなく、より小型でありかつ低損
失化されているマイクロ波用非可逆回路素子を提供する
ことにある。
An object of the present invention is to provide a non-reciprocal circuit device for microwaves which is smaller and has a lower loss without causing a conductor loss in the center electrode due to the size reduction.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載の発明
は、互いに電気的に絶縁された状態で、かつ交叉するよ
うに配置された複数の中心電極と、前記複数の中心電極
の交叉部分に配置されたマイクロ波用磁性体もしくは誘
電体とを備え、前記各中心電極がマイクロ波用磁性体も
しくは誘電体を介して積層された複数の導体により構成
されていることを特徴とする、マイクロ波用非可逆回路
素子である。
According to a first aspect of the present invention, a plurality of center electrodes arranged in an electrically insulated state and intersecting each other, and an intersecting portion of the plurality of center electrodes. A magnetic body or a dielectric for microwaves, wherein each center electrode is composed of a plurality of conductors laminated via the magnetic body or the dielectric for microwaves. It is a non-reciprocal circuit device for waves.

【0015】また、上記中心電極を構成している複数の
導体については、請求項2に記載のように、前記各中心
電極を構成している複数の導体が、マイクロ波用磁性体
もしくは誘電体内に埋設されており、該マイクロ波用磁
性体もしくは誘電体内において厚み方向に順に各中心電
極が配置されていてもよく、あるいは請求項3に記載の
ように、前記各中心電極が構成している複数の導体が、
マイクロ波用磁性体もしくは誘電体内に埋設されてお
り、かつ一の中心電極を構成している導体と、他の中心
電極を構成している複数の導体とが、マイクロ波用磁性
体もしくは誘電体内において厚み方向にランダムに積層
されていてもよい。
With respect to the plurality of conductors forming the center electrode, the plurality of conductors forming the center electrodes may be a magnetic body for microwaves or a dielectric body. May be embedded in the microwave magnetic body or the dielectric body, and the respective center electrodes may be sequentially arranged in the thickness direction in the microwave magnetic body or the dielectric body, or the respective center electrodes may be configured as described in claim 3. Multiple conductors
A conductor embedded in a microwave magnetic material or a dielectric body and forming one center electrode and a plurality of conductors forming another center electrode are formed in a microwave magnetic body or a dielectric body. In, the layers may be randomly laminated in the thickness direction.

【0016】[0016]

【作用及び発明の効果】請求項1に記載の発明では、マ
イクロ波用非可逆回路素子において電気的に絶縁された
状態で交叉されている複数の中心電極のそれぞれが、マ
イクロ波用磁性体もしくは誘電体を介して積層された複
数の導体により構成されている。従って、各中心電極が
上記複数の導体により構成されているため、導体数を増
大させることにより、中心電極における導体損失を低減
することができる。よって、マイクロ波用非可逆回路素
子の小型化を図った場合においても、積層数を増大させ
るだけで、導体損失の低減を防止することができるた
め、従来のマイクロ波用非可逆回路素子に比べてより小
型であり、かつ低損失のマイクロ波用非可逆回路素子を
提供することができる。
According to the invention described in claim 1, in the microwave nonreciprocal circuit element, each of the plurality of center electrodes crossed in an electrically insulated state is a microwave magnetic body or a microwave magnetic body. It is composed of a plurality of conductors laminated via a dielectric. Therefore, since each center electrode is composed of the plurality of conductors, it is possible to reduce the conductor loss in the center electrode by increasing the number of conductors. Therefore, even if the non-reciprocal circuit device for microwaves is downsized, it is possible to prevent the reduction of the conductor loss simply by increasing the number of laminated layers. Thus, it is possible to provide a non-reciprocal circuit element for microwaves that is smaller and has low loss.

【0017】請求項2に記載の発明では、上記中心電極
が、マイクロ波用磁性体もしくは誘電体内に埋設されて
おり、さらに該マイクロ波用磁性体もしくは誘電体内に
おいて厚み方向に順に積層されており、請求項3に記載
の発明のマイクロ波用非可逆回路素子では、上記中心電
極を構成している複数の導体がマイクロ波用磁性体もし
くは誘電体内において厚み方向にランダムに積層されて
いる。この請求項2及び3のいずれの発明においても、
中心電極を構成している複数の導体が、マイクロ波用磁
性体もしくは誘電体内に埋設されているため、請求項1
に記載の発明と同様に複数の導体を用いて1つの中心電
極を構成することにより小型化及び低損失化を図り得る
だけでなく、マイクロ波用非可逆回路素子の対環境特性
も高め得る。
According to a second aspect of the present invention, the center electrode is embedded in a microwave magnetic body or a dielectric body, and is further laminated in the thickness direction in the microwave magnetic body or the dielectric body. In the microwave nonreciprocal circuit device according to the third aspect of the present invention, the plurality of conductors forming the center electrode are randomly stacked in the thickness direction in the microwave magnetic body or the dielectric body. In any of the inventions of claims 2 and 3,
The plurality of conductors forming the center electrode are embedded in a microwave magnetic body or a dielectric body.
By constructing one center electrode by using a plurality of conductors as in the invention described in (1) above, not only downsizing and loss reduction can be achieved, but also the environmental characteristics of the nonreciprocal circuit device for microwaves can be improved.

【0018】よって、請求項1〜3に記載の発明によれ
ば、移動体通信機器等の高周波機器の小型化、汎用化及
び高性能化に大きく寄与することができる。
Therefore, according to the invention described in claims 1 to 3, it is possible to greatly contribute to miniaturization, generalization and high performance of high frequency equipment such as mobile communication equipment.

【0019】[0019]

【実施例の説明】以下、本発明のマイクロ波用非可逆回
路素子の実施例を説明することにより、本発明の詳細を
明らかにする。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of the present invention will be clarified by describing the embodiments of the nonreciprocal circuit device for microwaves of the present invention.

【0020】第1の実施例 図4は、本発明の第1の実施例のマイクロ波用非可逆回
路素子を説明するための分解斜視図である。第1の実施
例のマイクロ波用非可逆回路素子は、複数の矩形の誘電
体基板21〜26を積層し、接着剤等により固着するこ
とにより構成される。誘電体基板21〜26としては、
例えばチタン酸バリウム系誘電体セラミックス等の任意
の誘電体材料からなるものを用いることができる。
First Embodiment FIG. 4 is an exploded perspective view for explaining a microwave nonreciprocal circuit device according to a first embodiment of the present invention. The microwave nonreciprocal circuit device of the first embodiment is configured by laminating a plurality of rectangular dielectric substrates 21 to 26 and fixing them with an adhesive or the like. As the dielectric substrates 21 to 26,
For example, one made of any dielectric material such as barium titanate-based dielectric ceramics can be used.

【0021】誘電体基板21〜26の上面には、それぞ
れ、スルーホール電極に接続されるように上面の中心の
まわりに配置された6個のポート21a〜21f…26
a〜26fが形成されている。また、誘電体基板21を
例にとると、その上面には、上記ポートのうち、ポート
21aと21dとを結ぶように中心電極を構成する導体
27aが形成されている。同様に、誘電体基板22の上
面にも、ポート22aとポート22dを結ぶように導体
27bが形成されている。導体27a,27bは、それ
ぞれ、導電ペーストを塗布し、焼き付けることにより、
あるいは適宜の導電膜形成方法により形成することがで
きる。
On the top surfaces of the dielectric substrates 21 to 26, six ports 21a to 21f ... 26 are arranged around the center of the top surfaces so as to be connected to the through hole electrodes, respectively.
a to 26f are formed. Taking the dielectric substrate 21 as an example, a conductor 27a forming a center electrode is formed on the upper surface of the dielectric substrate 21 so as to connect the ports 21a and 21d among the ports. Similarly, a conductor 27b is formed on the upper surface of the dielectric substrate 22 so as to connect the ports 22a and 22d. The conductors 27a and 27b are coated with a conductive paste and baked, respectively.
Alternatively, it can be formed by an appropriate conductive film forming method.

【0022】本実施例では、上記導体27a,27bが
スルーホール電極を介して相互に両端において電気的に
接続されており、それによって一の中心電極を構成して
いる。
In the present embodiment, the conductors 27a and 27b are electrically connected to each other at both ends via the through-hole electrodes, thereby forming one center electrode.

【0023】同様に、誘電体基板23、24の上面に形
成されている導体28a,28bが、一の中心電極、誘
電体基板25,26の上面に形成されている導体29
a,29bがさらに1個の中心電極を構成している。
Similarly, the conductors 28a and 28b formed on the upper surfaces of the dielectric substrates 23 and 24 are conductors 29 formed on the upper surfaces of the one center electrode and the dielectric substrates 25 and 26, respectively.
Further, a and 29b form one center electrode.

【0024】本実施例のマイクロ波用非可逆回路素子で
は、上記のように各中心電極が厚み方向に積層されてい
る複数の導体27a,27b〜29a,29bで構成さ
れている。従って、マイクロ波用非可逆回路素子の小型
化に伴って各導体27a〜29bの幅が狭くなったとし
ても、1つの中心電極が複数の積層されている導体によ
り構成されているため、導体損を低減することができ
る。よって、低損失であり、かつ小型のマイクロ波用非
可逆回路素子を得ることができる。
In the microwave nonreciprocal circuit device of this embodiment, each center electrode is composed of a plurality of conductors 27a, 27b to 29a, 29b laminated in the thickness direction as described above. Therefore, even if the width of each of the conductors 27a to 29b becomes narrower with the miniaturization of the nonreciprocal circuit device for microwaves, since one center electrode is composed of a plurality of laminated conductors, the conductor loss is reduced. Can be reduced. Therefore, it is possible to obtain a small nonreciprocal circuit device for microwaves with low loss.

【0025】図5〜図7は、第1の実施例のマイクロ波
用非可逆回路素子の変形例を示す各分解斜視図である。
これらの変形例は、中心電極部分が変更されたことを除
いては、第1の実施例と同様であるため、同様の部分に
ついては同様の参照番号を付することによりその説明は
省略する。
5 to 7 are exploded perspective views showing modified examples of the nonreciprocal circuit device for microwaves of the first embodiment.
These modified examples are the same as the first embodiment except that the center electrode part is changed, and therefore, the same parts are denoted by the same reference numerals and the description thereof is omitted.

【0026】図5に示す変形例では、導体27a〜29
bが、図示のように長手方向に沿ってスリット30を隔
てて延びるように形成された一対の電極部を有するよう
に構成されている。従って、導体損失のより一層の低減
を図ることができる。
In the modification shown in FIG. 5, the conductors 27a to 29 are provided.
b is configured to have a pair of electrode portions formed so as to extend along the longitudinal direction with the slit 30 in between, as illustrated. Therefore, it is possible to further reduce the conductor loss.

【0027】また、図6に示す変形例では、第1の中心
電極を構成する導体27a,27bが誘電体基板21,
24上に形成されている。同様に、第2の中心電極を構
成する導体28a,28bが誘電体基板22,25上に
形成されている。さらに、第3の中心電極を構成する導
体29a,29bが誘電体基板23,26上に形成され
ている。このように、各中心電極を構成する導体は、最
終的に積層された状態において、厚み方向にランダムに
配置されていてもよい。
Further, in the modification shown in FIG. 6, the conductors 27a and 27b constituting the first center electrode are the dielectric substrate 21,
It is formed on 24. Similarly, conductors 28a and 28b forming the second center electrode are formed on the dielectric substrates 22 and 25. Further, conductors 29a and 29b forming the third center electrode are formed on the dielectric substrates 23 and 26. As described above, the conductors forming the respective center electrodes may be randomly arranged in the thickness direction in the finally laminated state.

【0028】図7に示す変形例では、各導体27a〜2
9bが、導体で連結される一対のポートの中心間を結ん
だ仮想直線の一方側に形成されている。例えば、導体2
7a,27bを代表して説明すると、導体27aは、上
記仮想直線の一方側に形成されており、導体27bが上
記仮想直線の他方側に形成されている。従って、導体2
7a,27bは積層された状態において厚み方向におい
て重なり合わないように配置されている。他の中心電極
において積層される導体についても、同様に厚み方向に
おいて相互に重なり合わないように配置されている。
In the modification shown in FIG. 7, the conductors 27a to 2a are provided.
9b is formed on one side of a virtual straight line connecting the centers of a pair of ports connected by a conductor. For example, conductor 2
To describe 7a and 27b as a representative, the conductor 27a is formed on one side of the virtual straight line, and the conductor 27b is formed on the other side of the virtual straight line. Therefore, conductor 2
7a and 27b are arranged so as not to overlap each other in the thickness direction in the laminated state. The conductors stacked in the other center electrodes are also arranged so as not to overlap each other in the thickness direction.

【0029】第2の実施例 図8は本発明の第2の実施例に係るマイクロ波用非可逆
回路素子を説明するための分解斜視図である。本実施例
のマイクロ用非可逆回路素子では、誘電体基板31〜3
3が積層される。この誘電体基板31〜33としては、
第1の実施例と同様の材料からなるものを用いることが
できる。
Second Embodiment FIG. 8 is an exploded perspective view for explaining a microwave nonreciprocal circuit device according to a second embodiment of the present invention. In the nonreciprocal circuit device for a micro according to this embodiment, the dielectric substrates 31 to 3 are used.
3 are stacked. As the dielectric substrates 31 to 33,
A material made of the same material as in the first embodiment can be used.

【0030】誘電体基板31〜33の上面には、それぞ
れ、中心のまわりに等間隔に配置された6個のポート3
1a〜31f…33a〜33fがスルーホール電極に電
気的に接続されるように導電膜を付与することにより形
成されている。また、ポート31a,31d間を結ぶよ
うに導体34が、同様にポート32c,32f間を結ぶ
ように導体35が、ポート33b,33e間を結ぶよう
に導体36が形成されている。
On the upper surfaces of the dielectric substrates 31 to 33, six ports 3 are arranged at equal intervals around the center, respectively.
33a to 33f are formed by providing a conductive film so as to be electrically connected to the through hole electrodes. A conductor 34 is formed so as to connect between the ports 31a and 31d, a conductor 35 is formed so as to connect between the ports 32c and 32f, and a conductor 36 is formed so as to connect between the ports 33b and 33e.

【0031】他方、他のポートについては、それぞれ、
各ポートと、誘電体基板31〜33の上面の中心側に寄
った位置に形成されたスルーホール電極37a〜37
d,38a〜38d,39a〜39dとに電気的に接続
されるように導体40a〜40d,41a〜41d,4
2a〜42dが形成されている。
On the other hand, for other ports,
Through-hole electrodes 37a to 37 formed at positions close to the center of each port and the upper surfaces of the dielectric substrates 31 to 33.
conductors 40a-40d, 41a-41d, 4 so as to be electrically connected to d, 38a-38d, 39a-39d.
2a to 42d are formed.

【0032】上記導体40a〜42dは、それぞれ、誘
電体基板31〜33を介して積層されている導体34〜
36の何れかに部分的に重なり合うように形成されてい
る。しかも、スルーホール電極により相互に重なり合う
ように積層されている中心電極に電気的に接続されてい
る。
The conductors 40a to 42d are laminated on the conductors 34 to 33 with the dielectric substrates 31 to 33 interposed therebetween, respectively.
It is formed so as to partially overlap with any one of 36. Moreover, the through-hole electrodes are electrically connected to the center electrodes that are laminated so as to overlap each other.

【0033】例えば、導体40b,40dは、誘電体基
板32上の導体35と同一方向に延びるように形成され
ており、同様に導体42b,42dについても導体35
と同一方向に延びるように形成されている。しかも、こ
れらの導体40b,40d,42b,42dは、導体3
5と電気的に接続されている。従って、積層された状態
において、一対のポート間において、上記導体35だけ
でなく、上記導体40b,40d,42b,42dが接
続されることになるため、第1の実施例と同様に、1つ
の中心電極が、積層された複数の導体により構成されて
いることになる。よって、第1の実施例と同様に、各導
体の幅を狭くせざるを得ない程小型化が進行した場合で
あっても、導体損を低減することができるため、低損失
かつ小型のマイクロ波用非可逆回路素子を得ることがで
きる。
For example, the conductors 40b and 40d are formed so as to extend in the same direction as the conductor 35 on the dielectric substrate 32. Similarly, the conductors 35b and 42d also have the conductor 35.
It is formed so as to extend in the same direction as. Moreover, these conductors 40b, 40d, 42b, 42d are
5 is electrically connected. Therefore, in the stacked state, not only the conductor 35 but also the conductors 40b, 40d, 42b, 42d are connected between the pair of ports, so that one conductor is connected as in the first embodiment. The center electrode is composed of a plurality of laminated conductors. Therefore, as in the first embodiment, even if the miniaturization progresses to the extent that the width of each conductor has to be narrowed, the conductor loss can be reduced. An irreversible circuit device for waves can be obtained.

【0034】第2の実施例から明らかなように、本発明
において中心電極を構成するための複数の導体は、一対
のポート間を接続するように配置された導体である限
り、同一方向に延びてさえすればよく、各導体がすべて
直接一対のポート間を電気的に接続するものである必要
はない。
As is apparent from the second embodiment, in the present invention, the plurality of conductors forming the center electrode extend in the same direction as long as they are arranged so as to connect a pair of ports. All conductors do not have to be direct electrical connections between a pair of ports.

【0035】第3の実施例 第3の実施例として、以下の具体的な実験例を説明す
る。酸化イットリウム(Y2 3 )及び酸化鉄(Fe2
3 )を主成分とする磁性体粉末を、ポリビニルアルコ
ール系バインダとともに有機溶剤中に分散し、磁性体ス
ラリーを調製した。調製された磁性体スラリーを用い、
ドクターブレード法により、厚みが数十μmの均一な厚
みの磁性体グリーンシートを成形し、40mm×20m
m矩形の形状を有するように打ち抜いた。
[0035] As a third embodiment the third embodiment, a specific experimental example below. Yttrium oxide (Y 2 O 3 ) and iron oxide (Fe 2
A magnetic powder containing O 3 ) as a main component was dispersed in an organic solvent together with a polyvinyl alcohol-based binder to prepare a magnetic slurry. Using the prepared magnetic slurry,
By the doctor blade method, a magnetic green sheet with a uniform thickness of several tens of μm is formed, and 40 mm × 20 m
Punching to have a rectangular shape.

【0036】上記のようにして、図9に示す平面形状が
矩形の磁性体グリーンシート51を用意した。上記磁性
体グリーンシート51の上面に、スクリーン印刷法によ
りパラジウム粉末及び白金粉末と、有機溶剤とを混合し
てなる導電ペーストを、印刷し、図10(a)〜(c)
に示す磁性体グリーンシート52〜54を用意した。
As described above, the magnetic green sheet 51 having a rectangular planar shape shown in FIG. 9 was prepared. A conductive paste obtained by mixing palladium powder and platinum powder with an organic solvent is printed on the upper surface of the magnetic green sheet 51 by a screen printing method, as shown in FIGS.
The magnetic green sheets 52 to 54 shown in are prepared.

【0037】磁性体グリーンシート52〜54上には、
それぞれ、上記のようにして導電ペーストを印刷するこ
とにより細長い矩形形状の導体55〜57が形成されて
いる。なお、この導体55〜57は、各グリーンシート
52〜54の中心を中心として相互に約120度ずつず
れて形成されている。
On the magnetic green sheets 52 to 54,
By printing the conductive paste as described above, the elongated rectangular conductors 55 to 57 are formed. The conductors 55 to 57 are formed so as to be offset from each other by about 120 degrees with respect to the centers of the green sheets 52 to 54.

【0038】次に、図11に示すように、上記のように
して用意した磁性体グリーンシート52を複数枚積層
し、同様に磁性体グリーンシート53,54についても
複数枚積層し、さらにこれらを積層し、上下に導体の印
刷されていない無地の磁性体グリーンシート51を複数
枚積層し、厚み方向に圧着することにより積層体を得
た。この積層体を図12に示す。
Next, as shown in FIG. 11, a plurality of magnetic material green sheets 52 prepared as described above are laminated, and similarly, a plurality of magnetic material green sheets 53 and 54 are also laminated. A laminate was obtained by laminating and laminating a plurality of plain magnetic green sheets 51 on which conductors were not printed, and pressing them in the thickness direction. This laminated body is shown in FIG.

【0039】図12から明らかなように、積層体58内
においては、複数の導体55〜57が図示のように磁性
体層を介して積層されている。この複数の導体55〜5
7が、それぞれ、最終的に中心電極を構成することにな
る。
As is apparent from FIG. 12, in the laminated body 58, a plurality of conductors 55 to 57 are laminated via magnetic layers as shown. This plurality of conductors 55-5
7 will eventually form the center electrode.

【0040】次に、上記積層体58を、導体55〜57
が交叉している部分を中心として、約10mmの直径を
有する円板状に打ち抜き、円板状の未焼成積層体チップ
を得た。このようにして得られた円板状の積層体チップ
の分解斜視図を図13に示す。図13から明らかなよう
に、上記円板状の積層体チップでは、導体55〜57は
それぞれ磁性体層を介して電気的に絶縁された状態で積
層されている。なお、図13においては、円板状に打ち
抜かれた磁性体層については、それぞれ、当初に用意し
た磁性体グリーンシートの参照番号を付することにす
る。
Next, the laminated body 58 is replaced with the conductors 55 to 57.
A disk-shaped unfired laminated chip was obtained by punching out a disk-shaped chip having a diameter of about 10 mm, centering on the intersecting portion. FIG. 13 shows an exploded perspective view of the disc-shaped laminated body chip thus obtained. As is clear from FIG. 13, in the disc-shaped laminated body chip, the conductors 55 to 57 are laminated in an electrically insulated state via the magnetic layers. Note that, in FIG. 13, the reference numbers of the magnetic green sheets prepared at the beginning are assigned to the magnetic layers punched into a disc shape.

【0041】次に、上記のようにして用意された円板状
の積層体チップを1300℃〜1500℃の温度で5〜
15時間維持することにより焼成し、焼結体を得た。得
られた焼結体を図14に斜視図で示す。焼結体60で
は、内部に複数の導体55〜57がそれぞれ焼結体層を
介して複数枚積層されている。上記のようにして得られ
た焼結体60の外周側面60aを研磨し、導体55〜5
7の両端を確実に該側面に露出させ各導体に電気的に接
続される外部電極を形成した。外部電極の形成は、ガラ
スフリットを含有する導電ペーストを塗布し、焼き付け
ることにより行った。 上記のようにして、第3の実施
例のマイクロ波用非可逆回路素子を得た。
Next, the disk-shaped laminated body chips prepared as described above are heated at a temperature of 1300 ° C. to 1500 ° C. for 5 minutes.
It was fired by maintaining it for 15 hours to obtain a sintered body. The obtained sintered body is shown in a perspective view in FIG. In the sintered body 60, a plurality of conductors 55 to 57 are laminated inside via a sintered body layer. The outer peripheral side surface 60a of the sintered body 60 obtained as described above is polished to form the conductors 55-5.
Both ends of No. 7 were surely exposed on the side surface to form an external electrode electrically connected to each conductor. The external electrodes were formed by applying a conductive paste containing glass frit and baking it. As described above, the microwave nonreciprocal circuit device of the third embodiment was obtained.

【0042】本実施例のマイクロ波用非可逆回路素子で
は、上記複数の導体55により一の中心電極が、同様に
複数の導体56により一の中心電極が、複数の導体57
により一の中心電極が構成されている。
In the microwave nonreciprocal circuit device of this embodiment, the plurality of conductors 55 form one center electrode, the plurality of conductors 56 form one center electrode, and the plurality of conductors 57.
This constitutes one center electrode.

【0043】次に、上記のようにして得た非可逆回路素
子の焼結体60の上面及び下面にアース電極を形成し、
あるいは金属板からなるアース電極を当接させ、上記3
つの中心電極の各一方端を電気的に接続して接地した。
また、焼結体の上部及び下部に永久磁石を当接させ、永
久磁石により中心電極に直流磁界を印加した。さらに、
金属ヨークで上記永久磁石を挟み込み、磁気閉磁回路を
形成し、非可逆回路装置を構成した。なお、この種の非
可逆回路装置に接続されるインピーダンス整合用コンデ
ンサは、上記焼結体内に設けてもよく、あるいは焼結体
外に設けてもい。
Next, ground electrodes are formed on the upper and lower surfaces of the sintered body 60 of the nonreciprocal circuit device obtained as described above,
Alternatively, the earth electrode made of a metal plate is brought into contact with the above-mentioned 3
One end of each of the two center electrodes was electrically connected to ground.
Further, permanent magnets were brought into contact with the upper and lower parts of the sintered body, and a DC magnetic field was applied to the center electrode by the permanent magnets. further,
A non-reciprocal circuit device was formed by sandwiching the permanent magnet with a metal yoke to form a magnetic closed magnetic circuit. The impedance matching capacitor connected to this type of non-reciprocal circuit device may be provided inside the sintered body or outside the sintered body.

【0044】本実施例のマイクロ波用非可逆回路素子で
は、上記のように複数の導体55〜57により、それぞ
れ中心電極が構成されているため、第1の実施例と同様
にマイクロ波用非可逆回路素子の小型化が進行した場合
であっても、導体損を低減することができる。従って、
低損失かつ小型のマイクロ波用非可逆回路素子を得るこ
とができる。加えて、上記のようにセラミック積層・一
体焼成技術を用いて積層し得るため、金属箔を用いた従
来のマイクロ波用非可逆回路素子の製造方法に比べて部
品点数を低減することができる。しかも、煩雑な手作業
を省略することもできる。さらに、印刷工程により導体
を構成するものであるため、より細い導体を容易に構成
することができる。よって、より一層小型のマイクロ波
用非可逆回路素子を容易に得ることができる。
In the microwave nonreciprocal circuit device of this embodiment, since the center electrodes are respectively formed by the plurality of conductors 55 to 57 as described above, the microwave nonreciprocal circuit element is the same as in the first embodiment. Even when the miniaturization of the reversible circuit element progresses, the conductor loss can be reduced. Therefore,
A non-reciprocal circuit element for microwaves with low loss and small size can be obtained. In addition, since the layers can be laminated using the ceramic lamination / integral firing technique as described above, the number of components can be reduced as compared with the conventional method for manufacturing a nonreciprocal circuit element for microwaves using a metal foil. Moreover, complicated manual work can be omitted. Furthermore, since the conductor is formed by the printing process, a thinner conductor can be easily formed. Therefore, a further smaller nonreciprocal circuit device for microwaves can be easily obtained.

【0045】なお、第3の実施例では、ドクターブレー
ド法により成形された磁性体シートを用いたが、磁性体
シートに変えて誘電体シートを用いてもよい。また、上
記製造方法では、グリーンシート上に導体をスクリーン
印刷により形成したが、グラビア印刷等の他の印刷方法
を用いてもよい。
Although the magnetic sheet formed by the doctor blade method is used in the third embodiment, a dielectric sheet may be used instead of the magnetic sheet. Further, in the above manufacturing method, the conductor is formed on the green sheet by screen printing, but other printing methods such as gravure printing may be used.

【0046】また、磁性体もしくは誘電体シートの作製
は、ドクターブレード法に限らず、押出成形等の他の方
法によって行ってもよい。さらに、予め成形されたグリ
ーンシートを用いずともよく、例えば、誘電体又は磁性
体含有ペーストをポリエステル等の支持フィルム上に印
刷し、乾燥させた後に導電ペーストを印刷する工程を繰
り返すことにより、上記積層体を形成してもよい。
The magnetic or dielectric sheet may be produced not only by the doctor blade method but also by other methods such as extrusion molding. Further, it is not necessary to use a preformed green sheet, for example, by printing a dielectric or magnetic material-containing paste on a support film such as polyester, and drying and then repeating the step of printing a conductive paste, You may form a laminated body.

【0047】さらに、第3の実施例では、1つの中心電
極を構成する複数の導体が厚み方向に積層されており、
その次に他の中心電極を構成する複数の導体が厚み方向
に積層されていたが、第3の実施例においても、第1の
実施例の変形例の場合と同様に、異なる中心電極を構成
する導体が厚み方向においてランダムに積層されていて
もよい。
Further, in the third embodiment, a plurality of conductors forming one center electrode are laminated in the thickness direction,
Next, a plurality of conductors forming another center electrode were laminated in the thickness direction. However, in the third embodiment, different center electrodes are formed as in the case of the modification of the first embodiment. The conductors may be randomly stacked in the thickness direction.

【0048】さらに、中心電極を構成する導体55〜5
7の平面形状についても、第1の実施例の変形例と同様
に種々変更することができる。
Further, the conductors 55 to 5 constituting the center electrode
The planar shape of No. 7 can be variously modified as in the modification of the first embodiment.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】従来のマイクロ波用非可逆回路素子の第1の例
を説明するための分解斜視図。
FIG. 1 is an exploded perspective view for explaining a first example of a conventional nonreciprocal circuit device for microwaves.

【図2】従来のマイクロ波用非可逆回路素子の第2の例
を説明するための分解斜視図。
FIG. 2 is an exploded perspective view for explaining a second example of a conventional nonreciprocal circuit device for microwaves.

【図3】従来のマイクロ波用非可逆回路素子の第3の例
を説明するための斜視図。
FIG. 3 is a perspective view for explaining a third example of a conventional nonreciprocal circuit device for microwaves.

【図4】第1の実施例を説明するための分解斜視図。FIG. 4 is an exploded perspective view for explaining the first embodiment.

【図5】第1の実施例のマイクロ波用非可逆回路素子の
変形例を示す分解斜視図。
FIG. 5 is an exploded perspective view showing a modification of the nonreciprocal circuit device for microwaves of the first embodiment.

【図6】第1の実施例のマイクロ波用非可逆回路素子の
第2の変形例を示す分解斜視図。
FIG. 6 is an exploded perspective view showing a second modification of the nonreciprocal circuit device for microwaves of the first embodiment.

【図7】第2の実施例のマイクロ波用非可逆回路素子の
第3の変形例を示す分解斜視図。
FIG. 7 is an exploded perspective view showing a third modification of the microwave nonreciprocal circuit device of the second embodiment.

【図8】第2の実施例のマイクロ波用非可逆回路素子を
説明するための分解斜視図。
FIG. 8 is an exploded perspective view for explaining a microwave nonreciprocal circuit device according to a second embodiment.

【図9】第3の実施例において用いられる磁性体グリー
ンシートを示す斜視図。
FIG. 9 is a perspective view showing a magnetic green sheet used in a third embodiment.

【図10】(a)〜(c)は、第3の実施例において導
体に印刷された磁性体グリーンシートを示す各斜視図。
10A to 10C are perspective views showing a magnetic green sheet printed on a conductor in the third embodiment.

【図11】第3の実施例において積層される磁性体グリ
ーンシートを説明するための分解斜視図。
FIG. 11 is an exploded perspective view for explaining a magnetic green sheet to be laminated in the third embodiment.

【図12】第3の実施例において用意される積層体を示
す斜視図。
FIG. 12 is a perspective view showing a laminated body prepared in a third embodiment.

【図13】円板状に打ち抜かれた積層体チップの分解斜
視図。
FIG. 13 is an exploded perspective view of a laminated body chip punched into a disc shape.

【図14】第3の実施例により得られたマイクロ波用非
可逆回路素子を説明するための斜視図。
FIG. 14 is a perspective view for explaining a microwave nonreciprocal circuit device obtained according to a third embodiment.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21〜26…誘電体基板 27a,27b〜29a,29b…導体 55〜57…導体 60…焼結体(マイクロ波用磁性体) 21-26 ... Dielectric substrate 27a, 27b-29a, 29b ... Conductor 55-57 ... Conductor 60 ... Sintered body (microwave magnetic body)

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 川浪 崇 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 (72)発明者 長谷川 隆 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株式 会社村田製作所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Takashi Kawanami 2-26-10 Tenjin Tenjin, Nagaokakyo-shi, Kyoto Murata Manufacturing Co., Ltd. (72) Takashi Hasegawa 2-26-10 Tenjin Tenjin, Nagaokakyo, Kyoto Murata Manufacturing

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 互いに電気的に絶縁された状態で、かつ
交叉するように配置された複数の中心電極と、 前記複数の中心電極の交叉部分に配置されたマイクロ波
用磁性体もしくは誘電体とを備え、 前記各中心電極がマイクロ波用磁性体もしくは誘電体を
介して積層された複数の導体により構成されていること
を特徴とする、マイクロ波用非可逆回路素子。
1. A plurality of center electrodes which are electrically insulated from each other and which are arranged so as to cross each other, and a microwave magnetic material or a dielectric which is arranged at an intersection of the plurality of center electrodes. The nonreciprocal circuit device for microwaves, wherein each of the center electrodes is composed of a plurality of conductors laminated via a magnetic substance for microwaves or a dielectric substance.
【請求項2】 前記各中心電極を構成している複数の導
体が、マイクロ波用磁性体もしくは誘電体内に埋設され
ており、該マイクロ波用磁性体もしくは誘電体内におい
て厚み方向に順に各中心電極が配置されている、請求項
1に記載のマイクロ波用非可逆回路素子。
2. A plurality of conductors forming each of the center electrodes are embedded in a microwave magnetic body or a dielectric body, and the center electrodes are sequentially arranged in the microwave magnetic body or the dielectric body in a thickness direction. The nonreciprocal circuit device for microwaves according to claim 1, wherein
【請求項3】 前記各中心電極を構成している複数の導
体が、マイクロ波用磁性体もしくは誘電体内に埋設され
ており、かつ一の中心電極を構成している複数の導体
と、他の中心電極を構成している複数の導体とが、マイ
クロ波用磁性体もしくは誘電体内において厚み方向にラ
ンダムに積層されている、請求項1に記載のマイクロ波
用非可逆回路素子。
3. A plurality of conductors forming each of the center electrodes are embedded in a microwave magnetic body or a dielectric body, and a plurality of conductors forming one center electrode, and another conductor. The nonreciprocal circuit element for microwaves according to claim 1, wherein a plurality of conductors forming the center electrode are randomly laminated in a thickness direction in a magnetic body or a dielectric body for microwaves.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO1995030252A1 (en) * 1994-04-28 1995-11-09 Murata Manufacturing Co., Ltd. Non-reciprocal circuit element for microwave
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