JP3178153B2 - Non-reciprocal circuit element for microwave - Google Patents

Non-reciprocal circuit element for microwave

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JP3178153B2
JP3178153B2 JP07922893A JP7922893A JP3178153B2 JP 3178153 B2 JP3178153 B2 JP 3178153B2 JP 07922893 A JP07922893 A JP 07922893A JP 7922893 A JP7922893 A JP 7922893A JP 3178153 B2 JP3178153 B2 JP 3178153B2
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博 丸澤
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Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、例えばサーキュレータ
ーやアイソレーター用として用いられるマイクロ用非可
逆回路素子に関し、特に、磁性体材料と電極材料とを積
層した後に一体焼成して得られる磁性体を用いて構成さ
れたマイクロ波用非可逆回路素子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a non-reciprocal circuit device for a micro device used for, for example, a circulator or an isolator, and more particularly, to a method using a magnetic material obtained by laminating a magnetic material and an electrode material and then firing them integrally. And a non-reciprocal circuit device for microwaves.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、移動体通信等においては、高周波
機器の小型化及び汎用化が進行しており、使用される非
可逆回路素子においても小型化及び低コスト化が強く求
められている。
2. Description of the Related Art In recent years, in mobile communication and the like, high-frequency devices have been reduced in size and general-purpose, and the size and cost of non-reciprocal circuit devices used have been strongly demanded.

【0003】上記非可逆回路素子としては、例えば、電
気的に絶縁された状態で、かつ交叉するように配置され
た複数の中心電極と、該複数の中心電極の上部及び下部
にマイクロ波用磁性体を配置し、さらに永久磁石により
直流磁界が上記複数の中心電極が交叉している部分に印
加されるように構成されている素子、いわゆる集中定数
型の非可逆回路素子があり、例えば、集中定数型サーキ
ュレーターやアイソレーター等が挙げられる。
The non-reciprocal circuit device includes, for example, a plurality of center electrodes arranged in an electrically insulated state and crossing each other, and a microwave magnetic member provided above and below the plurality of center electrodes. There is a so-called lumped-constant type non-reciprocal circuit element in which a body is arranged, and further a DC magnetic field is applied by a permanent magnet to a portion where the plurality of center electrodes intersect. Constant circulators, isolators and the like can be mentioned.

【0004】図3は、従来のマイクロ波用非可逆回路素
子の組み立て工程の一例を説明するための斜視図であ
る。マイクロ波用非可逆回路素子の組み立てに際して
は、まず、円板状のマイクロ波用磁性体23a上に、金
属箔、例えばCu箔よりなる中心電極24aが配置され
る。
FIG. 3 is a perspective view for explaining an example of an assembling process of a conventional microwave non-reciprocal circuit device. When assembling the microwave irreversible circuit element, first, a center electrode 24a made of a metal foil, for example, a Cu foil is arranged on a disk-shaped microwave magnetic body 23a.

【0005】中心電極24aは、マイクロ波用磁性体2
3aの上面の中心を通り径方向に延び、さらにマイクロ
波用磁性体23aの側面に至る形状とされている。次
に、上記中心電極24a上に絶縁性材料よりなる絶縁膜
25aが配置され、その上に中心電極24aと交叉する
ように他の中心電極24bが配置される。さらに、上記
中心電極24b上に絶縁膜25b、中心電極24c、絶
縁膜25cと順に積層され、マイクロ波用磁性体23b
を上部から積層する。
[0005] The center electrode 24a is made of a magnetic material 2 for microwaves.
The shape extends in the radial direction through the center of the upper surface of 3a and further reaches the side surface of the microwave magnetic body 23a. Next, an insulating film 25a made of an insulating material is disposed on the central electrode 24a, and another central electrode 24b is disposed thereon so as to cross the central electrode 24a. Further, an insulating film 25b, a center electrode 24c, and an insulating film 25c are sequentially laminated on the center electrode 24b, and the microwave magnetic body 23b
Are laminated from the top.

【0006】また、上記のようにして組み立てられるマ
イクロ波用非可逆回路素子は、図4に分解斜視図で示す
ように、永久磁石及び永久磁石を保持しているヨーク等
と組み合わされて、サーキュレーターやアイソレーター
として構成されていた。
The microwave irreversible circuit element assembled as described above is combined with a permanent magnet, a yoke holding the permanent magnet, and the like as shown in an exploded perspective view of FIG. And was configured as an isolator.

【0007】すなわち、矩形のアルミナ等の絶縁性材料
よりなる基板31には、中央に上記マイクロ波用非可逆
回路素子が収納される貫通孔31aが形成されている。
基板31の上面には、容量取り出し用の電極32,3
2,32が導電膜を印刷することにより形成されてい
る。
That is, a through hole 31a for accommodating the above-mentioned non-reciprocal circuit device for microwave is formed in the center of a substrate 31 made of a rectangular insulating material such as alumina.
On the upper surface of the substrate 31, electrodes 32, 3 for extracting capacitance are provided.
2, 32 are formed by printing a conductive film.

【0008】他方、基板31の下面には、上記容量取り
出し用の電極32,32と基板31を介して表裏対向す
るようにアース電極が形成されている。また、このアー
ス電極に、下方に図示されているアース板33がはんだ
付けにより接合され、基板31とアース板33とが一体
化されている。アース板33は、金属板よりなり、中央
に貫通孔33aを有し、かつ該貫通孔33aに臨む部分
に立ち上がり片33b,33bを有する。立ち上がり片
33b,33bは、基板31とアース板33とを上記の
ように接合した状態で、基板31の貫通孔31aを通り
上方に突出されている。そして、組み立て後の要部を示
す図5から明らかなように上記突出片33bは、前述し
たマイクロ波用非可逆回路素子の中心電極24a〜24
cの一端にはんだ付け等により接続される。なお、図5
では上述した絶縁膜25a〜25cは省略してある。ま
た、図5の参照番号37は、基板31の下面に形成され
たアース電極を示す。上記容量取り出し用電極32,3
2と、基板31と、基板31の裏面に形成されたアース
電極37とによりインピーダンス整合用の容量が構成さ
れている。
On the other hand, a ground electrode is formed on the lower surface of the substrate 31 so as to face the electrodes 32 for taking out the capacitance and the front and back with the substrate 31 interposed therebetween. An earth plate 33 shown below is joined to this earth electrode by soldering, and the substrate 31 and the earth plate 33 are integrated. The ground plate 33 is made of a metal plate, has a through hole 33a at the center, and has rising pieces 33b, 33b at a portion facing the through hole 33a. The rising pieces 33b, 33b are projected upward through the through holes 31a of the substrate 31 in a state where the substrate 31 and the ground plate 33 are joined as described above. As is clear from FIG. 5 showing the main parts after assembly, the protruding piece 33b is provided with the center electrodes 24a to 24 of the non-reciprocal circuit element for microwave.
c is connected to one end by soldering or the like. FIG.
In the figure, the above-mentioned insulating films 25a to 25c are omitted. Reference numeral 37 in FIG. 5 indicates a ground electrode formed on the lower surface of the substrate 31. The capacitance extracting electrodes 32, 3
2, a substrate 31, and a ground electrode 37 formed on the back surface of the substrate 31 constitute a capacitance for impedance matching.

【0009】他方、マイクロ波用非可逆回路素子の中心
電極24a〜24cの他端は、例えば図5に1の中心電
極24cのみを代表して示すように、基板31の上面に
形成された容量取り出し用の電極32に電気的に接続さ
れている。同様に、他の中心電極24a,24bの他端
も、他の容量取り出し用電極に電気的に接続されてい
る。
On the other hand, the other ends of the center electrodes 24a to 24c of the non-reciprocal circuit element for microwave are connected to a capacitor formed on the upper surface of the substrate 31 as shown in FIG. It is electrically connected to the extraction electrode 32. Similarly, the other ends of the other center electrodes 24a and 24b are also electrically connected to other capacitance extracting electrodes.

【0010】図4に戻り、上記基板31とアース板33
とを積層し、貫通孔31a,33b内にマイクロ波用非
可逆回路素子を組み込み、上下からヨーク34,35で
挟持することにより、マイクロ波用非可逆回路装置が構
成される。ヨーク34の下面には、永久磁石36が固定
されている。ヨーク34,35は金属材料よりなり、一
対の対向端縁が相手側に向かって折り曲げられており、
該折り曲げられた部分を利用して両者が半田等によりあ
るいは機械的な係合により固定されるように構成されて
いる。
Returning to FIG. 4, the substrate 31 and the ground plate 33
Are laminated, the non-reciprocal circuit device for microwave is incorporated in the through holes 31a, 33b, and the non-reciprocal circuit device for microwave is configured by being sandwiched between yokes 34, 35 from above and below. On the lower surface of the yoke 34, a permanent magnet 36 is fixed. The yokes 34 and 35 are made of a metal material, and a pair of opposing edges are bent toward the other side.
Utilizing the bent portion, both are fixed by soldering or the like or by mechanical engagement.

【0011】上記のように、従来のマイクロ波用非可逆
回路素子では、図3に示した構造を組み立てる際に煩雑
な手作業が強いられていただけでなく、直流磁界を印加
するための永久磁石やアース電極等の接続に際しても、
はんだ付けや煩雑な手作業が強いられていた。
As described above, in the conventional non-reciprocal circuit element for microwave, not only a complicated manual operation is required when assembling the structure shown in FIG. 3, but also a permanent magnet for applying a DC magnetic field. And connection of earth electrodes, etc.
Soldering and complicated manual work were forced.

【0012】上記のように従来のマイクロ波用非可逆回
路素子においては、複数の中心電極間を電気的に絶縁す
るために、中心電極間に絶縁性樹脂フィルムや樹脂テー
プを介在させたり、あるいは中心電極を印刷した絶縁性
基板を貼り合わせていた。また、上記絶縁性フィルム及
び絶縁性基板は、手作業により順次組み立てられている
のが常であった。さらに、マイクロ波用非可逆回路素子
では、インピーダンス整合のために容量を付加すること
が必要であることが多いが、このような整合回路用の容
量は、別途用意されたコンデンサを接続することによ
り、あるいは前述のように絶縁性基板を用いてコンデン
サを形成し、マイクロ波用非可逆回路素子と組み合わせ
ることにより行われていたが、このような付加容量を構
成するための作業も手作業により行われていた。
As described above, in the conventional microwave non-reciprocal circuit device, an insulating resin film or a resin tape is interposed between the center electrodes in order to electrically insulate the plurality of center electrodes. The insulating substrate on which the center electrode was printed was bonded. In addition, the insulating film and the insulating substrate are usually assembled sequentially by hand. In addition, in a non-reciprocal circuit device for microwaves, it is often necessary to add a capacitance for impedance matching, but such a capacitance for a matching circuit can be obtained by connecting a separately prepared capacitor. Alternatively, as described above, a capacitor was formed using an insulating substrate, and this was performed by combining it with a non-reciprocal circuit element for microwave. However, work for configuring such an additional capacitor was also performed manually. Had been

【0013】[0013]

【発明が解決しようとする課題】上記のように、従来の
マイクロ波用非可逆回路素子では、複数の中心電極及び
マイクロ波用磁性体を設けてなる主要部分だけでなく、
インピーダンス整合用の付加容量を構成するためのコン
デンサについても、煩雑な手作業により組み立てなけれ
ばならず、かつ部品点数が非常に多く、従ってコストが
非常に高くつくという問題があった。
As described above, in the conventional non-reciprocal circuit device for microwave, not only the main part provided with a plurality of center electrodes and the magnetic material for microwave, but also
A capacitor for forming an additional capacitor for impedance matching must be assembled by a complicated manual operation, and the number of parts is very large, so that the cost is very high.

【0014】本発明の目的は、互いに電気的に絶縁され
た状態で交叉する中心電極部分及びインピーダンス整合
用の容量を一体に構成してなり、かつ煩雑な手作業を経
ることなく極めて容易に製造することができ、さらに信
頼性に優れたマイクロ波用非可逆回路素子を提供するこ
とにある。
An object of the present invention is to integrally form a center electrode portion and a capacitor for impedance matching which intersect in a state of being electrically insulated from each other, and to manufacture it very easily without complicated manual work. It is another object of the present invention to provide a non-reciprocal circuit device for microwaves, which is more reliable.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を達
成すべく創案されたものであり、未焼成の磁性体材料層
を電極材料を間に介して積層し、得られた積層体を一体
焼成することにより構成されたマイクロ波用磁性体を用
いて構成することにより、上記煩雑な手作業の省略及び
部品点数の削減を果たすものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to achieve the above-mentioned object, and comprises laminating an unfired magnetic material layer with an electrode material interposed therebetween. By using a magnetic material for microwaves formed by integrally firing, the complicated manual work can be omitted and the number of parts can be reduced.

【0016】すなわち、本発明のマイクロ波用非可逆回
路素子は、上記マイクロ波用磁性体と、マイクロ波用磁
性体内において、磁性体層を隔てて互いの間が電気的に
絶縁されるように異なる高さ位置の平面内に形成されて
おり、かつ互いに交叉するように配置された複数の中心
電極と、マイクロ波用磁性体内において磁性体層を隔て
て配置された少なくとも一対の容量取り出し用内部電極
と、磁性体の外表面に形成されており、かつ前記中心電
極及び容量取り出し用電極にそれぞれ電気的に接続され
た複数の外部電極とを備え、容量取り出し用電極間でイ
ンピーダンス整合用容量が取り出される、マイクロ波用
非可逆回路素子である。
That is, the non-reciprocal circuit device for microwave according to the present invention is arranged such that the magnetic material for microwaves and the magnetic material for microwaves are electrically insulated from each other across the magnetic material layer. A plurality of center electrodes formed in planes at different height positions and arranged so as to cross each other, and at least one pair of capacitor take-out insides arranged with the magnetic layer separated in the microwave magnetic body An electrode, and a plurality of external electrodes formed on the outer surface of the magnetic body and electrically connected to the center electrode and the capacitance extracting electrode, respectively, wherein an impedance matching capacitance is provided between the capacitance extracting electrodes. This is a microwave non-reciprocal circuit device to be taken out.

【0017】[0017]

【作用及び発明の効果】本発明のマイクロ波用非可逆回
路素子では、上記のようにマイクロ波用磁性体内に複数
の中心電極及びインピーダンス整合用容量を構成するた
めの容量取り出し用内部電極が配置されており、このよ
うなマイクロ波用磁性体はセラミック積層・一体焼成技
術を用いて構成されているため、中心電極を含む部分の
煩雑な手作業による組み立て工程を省略することができ
る。しかも、複数の中心電極間の電気的絶縁及び整合用
容量のいずれもが、上記磁性体層を用いて達成もしくは
構成されているため、部品点数を大幅に削減することが
できる。
In the microwave non-reciprocal circuit device according to the present invention, a plurality of center electrodes and a capacitance extracting internal electrode for forming an impedance matching capacitor are arranged in the microwave magnetic body as described above. Since such a microwave magnetic body is formed by using a ceramic lamination / integral firing technique, a complicated manual assembling process of a portion including the center electrode can be omitted. In addition, since both the electrical insulation and the matching capacitance between the plurality of center electrodes are achieved or configured using the magnetic layer, the number of components can be significantly reduced.

【0018】また、セラミック積層・一体焼成技術を用
いて上記複数の中心電極がマイクロ波用磁性体内に構成
されているため、中心電極間の相対的な位置ずれ等も生
じ難く、小型化を促進した場合であっても、信頼性に優
れたマイクロ波用非可逆回路素子を提供することができ
る。
Further, since the plurality of center electrodes are formed in the magnetic material for microwaves by using the ceramic lamination / integral firing technique, relative displacement between the center electrodes hardly occurs and the miniaturization is promoted. Even in this case, a highly reliable microwave non-reciprocal circuit device can be provided.

【0019】さらに、マイクロ波用磁性体の誘電損失は
比較的小さいため、上記マイクロ波用磁性体を用いてイ
ンピーダンス整合用容量を構成しているので、Q値の高
い整合回路用容量を構成することができる。
Further, since the dielectric loss of the microwave magnetic material is relatively small, the impedance matching capacitance is formed by using the above-mentioned microwave magnetic material, so that a matching circuit capacitor having a high Q value is formed. be able to.

【0020】よって、本発明によれば、小型かつ安価な
信頼性の高いマイクロ波用非可逆回路素子を提供するこ
とができる。
Therefore, according to the present invention, it is possible to provide a small, inexpensive and highly reliable microwave non-reciprocal circuit device.

【0021】[0021]

【実施例】以下、本発明のマイクロ波用非可逆回路素子
の実施例を説明することにより、本発明を明らかにす
る。なお、以下においては、実施例のマイクロ波用非可
逆回路素子の製造方法を先に説明することにより、該マ
イクロ波用非可逆回路素子の構造を明らかにする。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, the present invention will be clarified by describing embodiments of the non-reciprocal circuit device for microwave of the present invention. In the following, the structure of the non-reciprocal circuit device for microwave will be clarified by first describing the method of manufacturing the non-reciprocal circuit device for microwave of the embodiment.

【0022】酸化イットリウム(Y2 3 )及び酸化鉄
(Fe2 3 )を、重量比で46:54の割合で含む磁
性体混合粉末を800〜1200℃の温度で仮焼し、仮
焼粉末を作製した。
A magnetic mixed powder containing yttrium oxide (Y 2 O 3 ) and iron oxide (Fe 2 O 3 ) in a weight ratio of 46:54 is calcined at a temperature of 800 to 1200 ° C. A powder was made.

【0023】上記のようにして得た仮焼粉末を粉砕し、
ポリビニルアルコール系バインダと共に有機溶剤中に分
散し、磁性体スラリーを作製した。得られた磁性体スラ
リーを用いて、ドクターブレード法により厚み数10μ
mの均一な厚みの磁性体グリーンシートを成形し、該磁
性体グリーンシートを平面形状が40mm×20mmの
矩形となるように打ち抜いた。
The calcined powder obtained as described above is pulverized,
It was dispersed in an organic solvent together with a polyvinyl alcohol-based binder to prepare a magnetic slurry. Using the obtained magnetic slurry, several tens μm in thickness was obtained by a doctor blade method.
A magnetic green sheet having a uniform thickness of m was formed, and the magnetic green sheet was punched out so that the planar shape was a rectangle of 40 mm × 20 mm.

【0024】打ち抜かれた磁性体グリーンシートを複数
枚用意し、図1に示すように一部のグリーンシートにつ
いて一方主面に導電ペーストを印刷することにより中心
電極及び容量取り出し用内部電極等を形成した。
A plurality of punched magnetic green sheets are prepared, and as shown in FIG. 1, a conductive paste is printed on one main surface of some of the green sheets to form a center electrode and an internal electrode for extracting capacitance. did.

【0025】すなわち、図1において、複数枚の磁性体
グリーンシート1〜8が用意されている。磁性体グリー
ンシート2の上面には、一方端縁2aから他方端縁2b
に至るように中心電極9が形成されている。磁性体グリ
ーンシート3,4の上面には、それぞれ、導電ペースト
を印刷することにより、側縁3a,3b間及び側面4
a,4b間に至るように中心電極10,11が印刷され
ている。
That is, in FIG. 1, a plurality of magnetic green sheets 1 to 8 are prepared. On the upper surface of the magnetic green sheet 2, one edge 2a to the other edge 2b
The center electrode 9 is formed so as to reach. By printing a conductive paste on the upper surfaces of the magnetic green sheets 3 and 4, respectively, the space between the side edges 3a and 3b and the side surface 4 is formed.
The center electrodes 10 and 11 are printed so as to reach between a and 4b.

【0026】上記中心電極9〜11は、磁性体グリーン
シート2〜4を積層した状態において、磁性体グリーン
シート2の上面中心を中心として、120度ずつ回転さ
せた関係に位置するように形成されている。
The above-mentioned center electrodes 9 to 11 are formed so as to be rotated by 120 degrees around the center of the upper surface of the magnetic green sheet 2 in a state where the magnetic green sheets 2 to 4 are stacked. ing.

【0027】磁性体グリーンシート5の上面には、イン
ピーダンス整合回路用容量を構成するための内部電極1
3〜15が、磁性体グリーンシート6の上面には、同じ
くインピーダンス整合回路用容量を構成するための内部
電極16〜18が形成されている。内部電極13と内部
電極16、内部電極14と内部電極17、内部電極15
と内部電極18は、それぞれ、積層された後に磁性体グ
リーンシート5を介して厚み方向に重なり合うように形
成されている。さらに、内部電極13〜18は、それぞ
れ、磁性体グリーンシート5の側縁5a,5b及び端縁
5c並びに磁性体グリーンシート6の側縁6a,6b及
び端縁6cに引出されている。
On the upper surface of the magnetic green sheet 5, an internal electrode 1 for forming a capacitance for an impedance matching circuit is provided.
On the upper surface of the magnetic green sheet 6, there are formed internal electrodes 16 to 18 which also constitute impedance matching circuit capacitors. Internal electrode 13 and internal electrode 16, internal electrode 14 and internal electrode 17, internal electrode 15
The internal electrodes 18 are formed so as to overlap in the thickness direction via the magnetic green sheet 5 after being laminated. Further, the internal electrodes 13 to 18 are extended to the side edges 5a, 5b and the edge 5c of the magnetic green sheet 5 and the side edges 6a, 6b and the edge 6c of the magnetic green sheet 6, respectively.

【0028】磁性体グリーンシート7の上面には、全面
にアース電極19が形成されている。また、上下に配置
された磁性体グリーンシート1,8には、上記のような
電極は形成されていない。
A ground electrode 19 is formed on the entire upper surface of the magnetic green sheet 7. Further, the above-mentioned electrodes are not formed on the magnetic green sheets 1 and 8 arranged above and below.

【0029】次に、図1に示した磁性体グリーンシート
1〜8を図示の向きのまま積層し、厚み方向に圧着する
ことにより積層体を得た。このようにして得た積層体を
1300〜1500℃の温度で焼成することにより、図
2に示す焼結体すなわちマイクロ波用磁性体20を得
た。マイクロ波用磁性体20内においては、内部を透視
して示すように、複数の中心電極9〜11が交叉するよ
うに、但し磁性体層を介して電気的に絶縁されるように
異なる高さ位置に形成されている。また、中心電極9〜
11が構成されている部分よりも下方においては、上記
内部電極13〜15及び内部電極16〜18がそれぞれ
異なる高さ位置に形成されている。内部電極16〜18
が形成されている位置よりも下方の平面には、前述した
アース電極19が全面に形成されている。
Next, the magnetic green sheets 1 to 8 shown in FIG. 1 were laminated in the direction shown in the figure and pressed in the thickness direction to obtain a laminate. By firing the thus obtained laminate at a temperature of 1300 to 1500 ° C., a sintered body shown in FIG. 2, that is, a magnetic body for microwaves 20 was obtained. In the microwave magnetic body 20, different heights are set so that a plurality of center electrodes 9 to 11 cross each other as seen through the inside, but are electrically insulated through the magnetic layer. Formed at the location. In addition, the center electrode 9 to
Below the portion where 11 is formed, the internal electrodes 13 to 15 and the internal electrodes 16 to 18 are formed at different height positions. Internal electrodes 16-18
The above-described ground electrode 19 is formed on the entire surface below the position where is formed.

【0030】次に、上記マイクロ波用磁性体20の外表
面に、外部電極20a〜20fを形成した。外部電極2
0a〜20fは、Cu、Ag−Pd、Ag等の金属粉末
及びガラスフリットを含む導電ペーストを塗布し、90
0〜1200℃程度の温度で焼き付けることにより形成
することができる。もっとも、外部電極20a〜20f
の形成は、メッキまたはスパッタリング等の他の導電膜
形成方法によって形成してもよい。さらに、上記外部電
極形成材料についても、上記のものに限らず、他の導電
性材料を含むものを適宜用いることができる。
Next, external electrodes 20a to 20f were formed on the outer surface of the microwave magnetic body 20. External electrode 2
0a to 20f, a conductive paste containing a metal powder such as Cu, Ag-Pd, and Ag and a glass frit is applied, and 90a to 20f are applied.
It can be formed by baking at a temperature of about 0 to 1200 ° C. However, the external electrodes 20a to 20f
May be formed by another conductive film forming method such as plating or sputtering. Further, the material for forming the external electrode is not limited to the above-described material, and a material containing another conductive material can be used as appropriate.

【0031】上記のようにして、本実施例のマイクロ波
用非可逆回路素子を得ることができる。このマイクロ波
用非可逆回路素子では、中心電極9の一端は、該内部電
極15,18及びアース電極19と外部電極20aによ
り共通接続されており、中心電極9の他端は外部電極2
0dによりアース電極19に電気的に接続されている。
外部電極20bにより、中心電極10の一端がアース電
極19に電気的に接続されている。中心電極10の他端
は、外部電極20eにより内部電極13,16及びアー
ス電極19に電気的に接続されている。さらに、中心電
極11の一端は、内部電極14,17及びアース電極1
9に外部電極20cにより共通接続されており、中心電
極11の他端は、外部電極20fによりアース電極19
に電気的に接続されている。 従って、上記マイクロ波
用非可逆回路素子の上下すなわちマイクロ波用磁性体2
0の上下に永久磁石を配置し、中心電極9〜11が交叉
している部分に直流磁界を印加するように、金属製ヨー
クにより上記永久磁石を挟持することにより、磁気閉磁
回路を形成することができ、サーキュレーターやアイソ
レーターとして用い得る非可逆回路装置を構成すること
ができる。
As described above, the non-reciprocal circuit device for microwave of this embodiment can be obtained. In this non-reciprocal microwave device, one end of the center electrode 9 is commonly connected to the internal electrodes 15, 18 and the ground electrode 19 and the external electrode 20a, and the other end of the center electrode 9 is connected to the external electrode 2a.
0d is electrically connected to the ground electrode 19.
One end of the center electrode 10 is electrically connected to the ground electrode 19 by the external electrode 20b. The other end of the center electrode 10 is electrically connected to the internal electrodes 13, 16 and the ground electrode 19 by an external electrode 20e. Further, one end of the center electrode 11 is connected to the internal electrodes 14 and 17 and the ground electrode 1.
9 is connected in common with an external electrode 20c, and the other end of the center electrode 11 is connected to an earth electrode 19 by an external electrode 20f.
Is electrically connected to Therefore, the upper and lower sides of the microwave non-reciprocal circuit element, that is, the microwave magnetic body 2
Forming a magnetically closed magnetic circuit by placing permanent magnets above and below zero and sandwiching the permanent magnets with a metal yoke so that a DC magnetic field is applied to the portion where the center electrodes 9 to 11 intersect. Thus, a non-reciprocal circuit device that can be used as a circulator or an isolator can be configured.

【0032】上記のように、本実施例のマイクロ波用非
可逆回路素子では、複数の中心電極9〜11間の電気的
絶縁が上記マイクロ波用磁性体20の磁性体層により果
たされており、かつ内部電極13〜15と内部電極16
〜18との間で取り出される容量もマイクロ波用磁性体
20の磁性体層により構成される。よって、従来のマイ
クロ波用非可逆回路素子に比べてマイクロ波用非可逆回
路素子の要部を構成するのに必要な部品点数を大幅に低
減することができる。
As described above, in the microwave non-reciprocal circuit device of this embodiment, electrical insulation between the plurality of center electrodes 9 to 11 is achieved by the magnetic layer of the microwave magnetic body 20. And the internal electrodes 13 to 15 and the internal electrode 16
To 18 are also constituted by the magnetic layer of the microwave magnetic body 20. Therefore, the number of components required to constitute the main part of the microwave non-reciprocal circuit device can be significantly reduced as compared with the conventional microwave non-reciprocal circuit device.

【0033】しかも、上記のようにセラミック積層・一
体焼成技術を用いてマイクロ波用磁性体20が構成され
ているので、組み立て工程を簡略化することができ、煩
雑な手作業による組み立て工程を省略することができ
る。よって、低コストかつ高信頼性のマイクロ波用非可
逆回路素子を提供することができ、マイクロ波用非可逆
回路素子の小型化の進展にも対応することができる。
In addition, since the microwave magnetic body 20 is formed by using the ceramic lamination / integral firing technique as described above, the assembling process can be simplified, and a complicated manual assembling process is omitted. can do. Therefore, a low-cost and highly reliable microwave irreversible circuit device can be provided, and the miniaturization of the microwave irreversible circuit device can be coped with.

【0034】なお、上記実施例では、マイクロ波用磁性
体20は、磁性体グリーンシートを内部電極や中心電極
を間に介在させて積層してなる積層体を焼結して得てい
たが、磁性体含有ペーストを合成樹脂フィルム等からな
る基材上に印刷し、乾燥後に導電ペーストを印刷し乾燥
させる、一連の工程を繰り返すことにより、基材上に形
成された積層体を焼結して得てもよい。
In the above embodiment, the microwave magnetic body 20 is obtained by sintering a laminate of magnetic green sheets with an internal electrode and a center electrode interposed therebetween. The magnetic substance-containing paste is printed on a base material made of a synthetic resin film or the like, and after drying, the conductive paste is printed and dried.By repeating a series of steps, the laminate formed on the base material is sintered. You may get it.

【0035】また、磁性体グリーンシートの作製につい
ては上記のようにドクターブレード法を用いる必要は必
ずしもなく、押し出し成形等の他の成形方法を用いても
よい。
Further, for the production of the magnetic green sheet, it is not always necessary to use the doctor blade method as described above, but another molding method such as extrusion molding may be used.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例のマイクロ波用非可逆回路素
子を得るのに用いられる磁性体グリーンシート及びその
上に形成される電極形状を説明するための分解斜視図。
FIG. 1 is an exploded perspective view for explaining a magnetic green sheet used to obtain a microwave non-reciprocal circuit device according to one embodiment of the present invention and the shape of an electrode formed thereon.

【図2】実施例のマイクロ波用非可逆回路素子を説明す
るための略図的斜視図。
FIG. 2 is a schematic perspective view for explaining a microwave non-reciprocal circuit device according to an embodiment.

【図3】従来のマイクロ波用非可逆回路素子を組み立て
る工程を説明するための斜視図。
FIG. 3 is a perspective view for explaining a step of assembling a conventional microwave non-reciprocal circuit device.

【図4】従来のマイクロ波用非可逆回路素子を組み立て
る工程を説明するための分解斜視図。
FIG. 4 is an exploded perspective view for explaining a step of assembling a conventional microwave non-reciprocal circuit device.

【図5】従来のマイクロ波用非可逆回路素子の主要部を
示す断面図。
FIG. 5 is a cross-sectional view showing a main part of a conventional microwave non-reciprocal circuit device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

9〜11…中心電極 13〜18…インピーダンス整合用容量を構成するため
の内部電極 20…マイクロ波用磁性体 20a〜20f…外部電極
9-11: Central electrode 13-18: Internal electrode for constituting impedance matching capacitor 20: Microwave magnetic body 20a-20f: External electrode

フロントページの続き (72)発明者 伴野 国三郎 京都府長岡京市天神二丁目26番10号 株 式会社村田製作所内 (56)参考文献 特開 昭63−232421(JP,A) 特開 平5−304404(JP,A) 特開 平5−22003(JP,A) 実開 平3−86608(JP,U) (58)調査した分野(Int.Cl.7,DB名) H01P 1/383 H01P 1/36 Continuation of the front page (72) Inventor Kunisaburo Banno 2-26-10 Tenjin, Nagaokakyo-shi, Kyoto Murata Manufacturing Co., Ltd. (56) References JP-A-63-232421 (JP, A) JP-A-5-205 304404 (JP, A) JP-A-5-22003 (JP, A) JP-A-3-86608 (JP, U) (58) Fields investigated (Int. Cl. 7 , DB name) H01P 1/383 H01P 1 / 36

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】(57) [Claims] 【請求項1】 未焼成の磁性体層を電極材料を間に介在
させて積層し、得られた磁性体生チップを焼成して得ら
れたマイクロ波用磁性体を用いたマイクロ用非可逆回路
素子であって、 前記マイクロ波用磁性体と、 前記マイクロ波用磁性体内において、磁性体層を隔てて
互いの間が電気的に絶縁されるように異なる高さ位置の
平面内に形成されており、かつ互いに交叉するように配
置された複数の中心電極と、 前記マイクロ波用磁性体内において磁性体層を隔てて配
置された少なくとも一対の容量取り出し用内部電極と、 前記磁性体の外表面に形成されており、かつ前記中心電
極及び容量取り出し用内部電極にそれぞれ電気的に接続
された複数の外部電極とを備え、 前記容量取り出し用電極間でインピーダンス整合用容量
が取り出される、マイクロ波用非可逆回路素子。
1. An irreversible circuit for micros using a magnetic material for microwaves obtained by laminating unfired magnetic material layers with an electrode material interposed therebetween and firing the obtained magnetic raw chips. An element, wherein the microwave magnetic body and, in the microwave magnetic body, are formed in planes at different height positions so as to be electrically insulated from each other across a magnetic layer. And a plurality of central electrodes arranged so as to cross each other, at least one pair of capacitance extracting internal electrodes arranged with a magnetic layer in the microwave magnetic body, and an outer surface of the magnetic body A plurality of external electrodes, each of which is formed and electrically connected to the center electrode and the capacitance extracting internal electrode, respectively, and a impedance matching capacitance is extracted between the capacitance extracting electrodes. Non-reciprocal circuit element for black wave.
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