JPH06290563A - 磁気ヘッド及び磁気記録・再生装置 - Google Patents
磁気ヘッド及び磁気記録・再生装置Info
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- JPH06290563A JPH06290563A JP5073398A JP7339893A JPH06290563A JP H06290563 A JPH06290563 A JP H06290563A JP 5073398 A JP5073398 A JP 5073398A JP 7339893 A JP7339893 A JP 7339893A JP H06290563 A JPH06290563 A JP H06290563A
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- magnetic
- magnetic recording
- temperature
- magnetic head
- head
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ヘッドスライダーのＡＢＳの温度を長期間に
わたって安定して正確に監視しつつ磁気記録・再生を行
うことを可能にする磁気ヘッド及びこの磁気ヘッドを用
いた磁気記録・再生装置を提供する。 【構成】 磁気ヘッド１０を、磁気記録又は再生を行う
磁気回路部２を備えて磁気記録媒体上を滑動又は浮上走
行するヘッドスライダー１の滑動面たるＡＢＳ７に、温
度検知機能を有する熱電対薄膜たる薄膜３，４を形成し
た構成とした。
わたって安定して正確に監視しつつ磁気記録・再生を行
うことを可能にする磁気ヘッド及びこの磁気ヘッドを用
いた磁気記録・再生装置を提供する。 【構成】 磁気ヘッド１０を、磁気記録又は再生を行う
磁気回路部２を備えて磁気記録媒体上を滑動又は浮上走
行するヘッドスライダー１の滑動面たるＡＢＳ７に、温
度検知機能を有する熱電対薄膜たる薄膜３，４を形成し
た構成とした。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気記録媒体上を滑動
又は浮上走行するヘッドスライダーに磁気回路部を設け
た磁気ヘッド及びこの磁気ヘッドを用いた磁気記録・再
生装置に関する。
又は浮上走行するヘッドスライダーに磁気回路部を設け
た磁気ヘッド及びこの磁気ヘッドを用いた磁気記録・再
生装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】種々のコンピュータの外部記憶装置とし
て用いられるフロッピーディスク装置やハードディスク
装置等の磁気記録・再生装置は、通常、磁気回路を設け
たヘッドスライダーを磁気記録媒体たる磁気ディスク上
を滑動又は浮上走行させて相対的に移動させることによ
り、情報の記録または再生を行う方式を採用している。
て用いられるフロッピーディスク装置やハードディスク
装置等の磁気記録・再生装置は、通常、磁気回路を設け
たヘッドスライダーを磁気記録媒体たる磁気ディスク上
を滑動又は浮上走行させて相対的に移動させることによ
り、情報の記録または再生を行う方式を採用している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところで、これらの磁
気記録・再生装置においては、磁気記録媒体における情
報が記録されている磁性層中の磁化が何等かの原因で変
化し、その記録された情報の再生が不可能になることを
防止し、かつ装置自体が長時間にわたり安定して動作す
ることが必須条件である。
気記録・再生装置においては、磁気記録媒体における情
報が記録されている磁性層中の磁化が何等かの原因で変
化し、その記録された情報の再生が不可能になることを
防止し、かつ装置自体が長時間にわたり安定して動作す
ることが必須条件である。
【０００４】ところが、上記のような記録方式は、その
原理状、ヘッドスライダーとディスクとが接触摺動する
ことを避けることができないため、そこから派生する様
々なトライボロジー現象が、上記技術的課題を克服する
上で大きな問題となっている。特に、数ｍ／ｓ〜数十ｍ
／ｓもの高い相対速度により、ヘッドスライダー／ディ
スク間（Head Disk Interface ；以下、ＨＤＩという）
で、接触摺動（滑動）状態と浮上状態が繰り返し行われ
るＣＳＳ（Contact Start Stop）方式が主流であるハー
ドディスク装置においては、上記トライボロジー現象に
よる問題の解決がより重要となる。
原理状、ヘッドスライダーとディスクとが接触摺動する
ことを避けることができないため、そこから派生する様
々なトライボロジー現象が、上記技術的課題を克服する
上で大きな問題となっている。特に、数ｍ／ｓ〜数十ｍ
／ｓもの高い相対速度により、ヘッドスライダー／ディ
スク間（Head Disk Interface ；以下、ＨＤＩという）
で、接触摺動（滑動）状態と浮上状態が繰り返し行われ
るＣＳＳ（Contact Start Stop）方式が主流であるハー
ドディスク装置においては、上記トライボロジー現象に
よる問題の解決がより重要となる。
【０００５】ここで、磁性層からの再生出力を低下さ
せ、読み取りエラーを誘発させるトライボロジー的問題
として、ＨＤＩにおける高速摺動状態下で発生する摩擦
力がディスク側に機械的な摩擦損傷を与え、磁性層自体
をも破壊してしまうヘッドクラッシュ現象がよく知られ
ており、その対策も比較的よく検討されているが、その
外に、両者の接触部において発生した摩擦熱による温度
上昇によってディスク表面が変質する過熱現象が考えら
れる。
せ、読み取りエラーを誘発させるトライボロジー的問題
として、ＨＤＩにおける高速摺動状態下で発生する摩擦
力がディスク側に機械的な摩擦損傷を与え、磁性層自体
をも破壊してしまうヘッドクラッシュ現象がよく知られ
ており、その対策も比較的よく検討されているが、その
外に、両者の接触部において発生した摩擦熱による温度
上昇によってディスク表面が変質する過熱現象が考えら
れる。
【０００６】この過熱現象としては、温度の上昇と共に
磁性体の磁化が減少しはじめ、その材料に固有の温度
（キュリー点）にいたって磁化がほとんどゼロになると
いう過熱減磁効果に基づく過熱減磁現象や、ディスク表
面上に塗布されているフッ素系潤滑剤等を分解・蒸発さ
せる現象、あるいは、ディスク表面に形成された異種物
質間に化学反応を起こさせて変質させる現象等の多岐に
わたる現象が考えられ、ハードディスク装置において磁
性層の再生出力の低下や変動が起こる原因の１つと考え
られているが、いまだ十分な解明がなされているとはい
えず、また、その対策も十分に考えられていないのが実
状である。
磁性体の磁化が減少しはじめ、その材料に固有の温度
（キュリー点）にいたって磁化がほとんどゼロになると
いう過熱減磁効果に基づく過熱減磁現象や、ディスク表
面上に塗布されているフッ素系潤滑剤等を分解・蒸発さ
せる現象、あるいは、ディスク表面に形成された異種物
質間に化学反応を起こさせて変質させる現象等の多岐に
わたる現象が考えられ、ハードディスク装置において磁
性層の再生出力の低下や変動が起こる原因の１つと考え
られているが、いまだ十分な解明がなされているとはい
えず、また、その対策も十分に考えられていないのが実
状である。
【０００７】しかも、近年、磁気記録装置の高密度記録
化の要請が益々高まっているが、高密度記録化の実現の
ためには、ヘッドスライダーとディスク表面との間のス
ペーシングを小さく、かつ、両者をより高速度で相対移
動させる必要がある。そうすると、上述の過熱現象に起
因する問題がより大きな問題として浮かび上がってく
る。
化の要請が益々高まっているが、高密度記録化の実現の
ためには、ヘッドスライダーとディスク表面との間のス
ペーシングを小さく、かつ、両者をより高速度で相対移
動させる必要がある。そうすると、上述の過熱現象に起
因する問題がより大きな問題として浮かび上がってく
る。
【０００８】この過熱現象問題の解決策としては、磁気
記録媒体自体の耐熱性を向上させることが考えられる
が、これには限界がある。このため、ヘッドスライダー
のディスク表面との接触面（ヘッドスライダーエアベア
リング表面；以下、ＡＢＳという）の温度を監視し、こ
の温度が所定以上の温度にならないように磁気記録・再
生装置を制御することが考えられる。しかしながら、Ａ
ＢＳの温度を監視しつつ磁気記録・再生ができる磁気ヘ
ッドがいまだ開発されていないために、この方法はいま
だ実現されていない。
記録媒体自体の耐熱性を向上させることが考えられる
が、これには限界がある。このため、ヘッドスライダー
のディスク表面との接触面（ヘッドスライダーエアベア
リング表面；以下、ＡＢＳという）の温度を監視し、こ
の温度が所定以上の温度にならないように磁気記録・再
生装置を制御することが考えられる。しかしながら、Ａ
ＢＳの温度を監視しつつ磁気記録・再生ができる磁気ヘ
ッドがいまだ開発されていないために、この方法はいま
だ実現されていない。
【０００９】すなわち、ＡＢＳの温度を測定する試みと
しては、例えば、ヘッドスライダーに熱電対を埋め込ん
で測温した報告例がある（IEEE Trans.Magn.,25,5(198
9) pp3728-3730 参照）。しかし、この方法では、熱電
対の温度測定面とＡＢＳとを完全に一致させることが難
しく、また、一旦一致させても測温中に熱膨張差等によ
りずれてしまうおそれがあるとともに、ＡＢＳの１点の
温度しか測定できないために、この点以外の場所の温度
の監視ができない。このため、実験的にＡＢＳの測温を
行うことは可能であっても、実際の磁気記録・再生装置
に適用した場合には、ＡＢＳの温度を長期間にわたって
安定して正確に監視しつつ磁気記録・再生を行うことは
事実上著しく困難である。また、ヘッドスライダーに熱
電対取り付け孔等を設け、かつ、この孔に熱電対の先端
部をＡＢＳにのぞかせるようにして固定する必要がある
が、これによってヘッドスライダーの浮上特性を大きく
変動させてしまうおそれもある。しかも製造及び調整が
著しく煩雑でコストがかさむという問題もある。
しては、例えば、ヘッドスライダーに熱電対を埋め込ん
で測温した報告例がある（IEEE Trans.Magn.,25,5(198
9) pp3728-3730 参照）。しかし、この方法では、熱電
対の温度測定面とＡＢＳとを完全に一致させることが難
しく、また、一旦一致させても測温中に熱膨張差等によ
りずれてしまうおそれがあるとともに、ＡＢＳの１点の
温度しか測定できないために、この点以外の場所の温度
の監視ができない。このため、実験的にＡＢＳの測温を
行うことは可能であっても、実際の磁気記録・再生装置
に適用した場合には、ＡＢＳの温度を長期間にわたって
安定して正確に監視しつつ磁気記録・再生を行うことは
事実上著しく困難である。また、ヘッドスライダーに熱
電対取り付け孔等を設け、かつ、この孔に熱電対の先端
部をＡＢＳにのぞかせるようにして固定する必要がある
が、これによってヘッドスライダーの浮上特性を大きく
変動させてしまうおそれもある。しかも製造及び調整が
著しく煩雑でコストがかさむという問題もある。
【００１０】本発明は、上述の背景のもとでなされたも
のであり、ヘッドスライダーのＡＢＳの温度を長期間に
わたって安定して正確に監視しつつ磁気記録・再生を行
うことを可能にする磁気ヘッド及びこの磁気ヘッドを用
いた磁気記録・再生装置を提供することを目的としたも
のである。
のであり、ヘッドスライダーのＡＢＳの温度を長期間に
わたって安定して正確に監視しつつ磁気記録・再生を行
うことを可能にする磁気ヘッド及びこの磁気ヘッドを用
いた磁気記録・再生装置を提供することを目的としたも
のである。
【００１１】
【課題を解決するための手段】上述の課題を解決するた
めに本発明にかかる磁気ヘッドは、 （構成１） 磁気記録媒体上を滑動又は浮上走行するヘ
ッドスライダーに磁気記録又は再生を行う磁気回路部を
設けた磁気ヘッドであって、前記ヘッドスライダーの滑
動面に、温度検知機能を有する薄膜を形成したことを特
徴とする構成とし、この構成１の態様として、 （構成２） 構成１の磁気ヘッドにおいて、前記薄膜
は、熱電対を構成する１組の物質でそれぞれ構成された
２層の薄膜が重ねて形成されたものであることを特徴と
した構成、及び、 （構成３） 構成１の磁気ヘッドにおいて、前記薄膜
は、電気抵抗の温度依存性を利用して温度を測定する測
温抵抗体を構成する薄膜であることを特徴とした構成と
した。
めに本発明にかかる磁気ヘッドは、 （構成１） 磁気記録媒体上を滑動又は浮上走行するヘ
ッドスライダーに磁気記録又は再生を行う磁気回路部を
設けた磁気ヘッドであって、前記ヘッドスライダーの滑
動面に、温度検知機能を有する薄膜を形成したことを特
徴とする構成とし、この構成１の態様として、 （構成２） 構成１の磁気ヘッドにおいて、前記薄膜
は、熱電対を構成する１組の物質でそれぞれ構成された
２層の薄膜が重ねて形成されたものであることを特徴と
した構成、及び、 （構成３） 構成１の磁気ヘッドにおいて、前記薄膜
は、電気抵抗の温度依存性を利用して温度を測定する測
温抵抗体を構成する薄膜であることを特徴とした構成と
した。
【００１２】また、本発明にかかる磁気記録・再生装置
は、 （構成４） 磁気記録媒体を保持して回転駆動する磁気
記録媒体駆動部と、前記磁気記録媒体上を滑動及び浮上
走行して磁気記録をし又は記録されている磁気信号を再
生する磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを保持して該磁気
ヘッドの前記磁気記録媒体に対する位置を制御する磁気
ヘッド保持部と、これら磁気記録媒体駆動部、磁気ヘッ
ド及び磁気ヘッド保持部を制御する制御回路部とを有
し、磁気記録・再生を行う磁気記録・再生装置におい
て、前記磁気ヘッドとして、構成１ないし３のいずれか
に記載の磁気ヘッドを用い、前記制御回路部に、前記磁
気ヘッドの温度検知機能を有する薄膜から温度信号をう
けて温度を測定する測温回路を設けたことを特徴とする
構成とした。
は、 （構成４） 磁気記録媒体を保持して回転駆動する磁気
記録媒体駆動部と、前記磁気記録媒体上を滑動及び浮上
走行して磁気記録をし又は記録されている磁気信号を再
生する磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを保持して該磁気
ヘッドの前記磁気記録媒体に対する位置を制御する磁気
ヘッド保持部と、これら磁気記録媒体駆動部、磁気ヘッ
ド及び磁気ヘッド保持部を制御する制御回路部とを有
し、磁気記録・再生を行う磁気記録・再生装置におい
て、前記磁気ヘッドとして、構成１ないし３のいずれか
に記載の磁気ヘッドを用い、前記制御回路部に、前記磁
気ヘッドの温度検知機能を有する薄膜から温度信号をう
けて温度を測定する測温回路を設けたことを特徴とする
構成とした。
【００１３】
【作用】上述の構成１によれば、ヘッドスライダーの滑
動面に、温度検知機能を有する薄膜を形成したことによ
り、ヘッドスライダーのＡＢＳの温度を測定することが
できる。この場合、この薄膜はＡＢＳ上に極めて薄くか
つ強固に密着して形成することが可能であるから、温度
測定面とＡＢＳとをほぼ完全に一致させることができ、
また、測温中に熱膨張差等によりずれてしまうようなお
それもない。さらに、ＡＢＳの全面に薄膜を形成した場
合には全面の平均的温度を測定できるため、ＡＢＳの全
面についての温度の監視ができる。しかも、ＡＢＳを薄
膜で覆うことによってＡＢＳの耐久性や滑動特性あるい
は浮上特性を向上させることも可能となる。したがっ
て、ＡＢＳの温度を長期間にわたって安定して正確に監
視しつつ良好な磁気記録・再生を行うことが可能にな
る。さらに、ＡＢＳに薄膜を形成させるだけであるか
ら、ヘッドスライダーの浮上特性を大きく変動させてし
まうようなおそれもなく、さらには、製造が比較的容易
で調整箇所もないので低コストで得ることが可能であ
る。
動面に、温度検知機能を有する薄膜を形成したことによ
り、ヘッドスライダーのＡＢＳの温度を測定することが
できる。この場合、この薄膜はＡＢＳ上に極めて薄くか
つ強固に密着して形成することが可能であるから、温度
測定面とＡＢＳとをほぼ完全に一致させることができ、
また、測温中に熱膨張差等によりずれてしまうようなお
それもない。さらに、ＡＢＳの全面に薄膜を形成した場
合には全面の平均的温度を測定できるため、ＡＢＳの全
面についての温度の監視ができる。しかも、ＡＢＳを薄
膜で覆うことによってＡＢＳの耐久性や滑動特性あるい
は浮上特性を向上させることも可能となる。したがっ
て、ＡＢＳの温度を長期間にわたって安定して正確に監
視しつつ良好な磁気記録・再生を行うことが可能にな
る。さらに、ＡＢＳに薄膜を形成させるだけであるか
ら、ヘッドスライダーの浮上特性を大きく変動させてし
まうようなおそれもなく、さらには、製造が比較的容易
で調整箇所もないので低コストで得ることが可能であ
る。
【００１４】また、構成２及び３によれば、比較的形成
が容易でしかも単純な膜構成によって、温度検知機能を
有する薄膜を形成させることができる。
が容易でしかも単純な膜構成によって、温度検知機能を
有する薄膜を形成させることができる。
【００１５】さらに構成４によれば、過熱現象による磁
気記録媒体の劣化を未然に防止しつつ磁気記録・再生が
できる磁気記録・再生装置を得ることが可能になる。
気記録媒体の劣化を未然に防止しつつ磁気記録・再生が
できる磁気記録・再生装置を得ることが可能になる。
【００１６】
【実施例】以下、本発明の実施例を詳述するが、以下の
説明では、まず、第１〜３実施例の構成を説明し、次い
で、各実施例の作用効果を説明する。
説明では、まず、第１〜３実施例の構成を説明し、次い
で、各実施例の作用効果を説明する。
【００１７】第１実施例の構成 図１は本発明の第１実施例にかかる磁気ヘッドの構成を
示す斜視図、図２は本発明の第１実施例にかかる磁気記
録・再生装置の構成を示す一部破断斜視図である。以
下、これらの図面を参照にしながら、まず、第１実施例
にかかる磁気記録・再生装置を説明し、次に磁気ヘッド
を説明する。なお、この実施例は、磁気ヘッドに熱電対
構成する薄膜を形成した例である。
示す斜視図、図２は本発明の第１実施例にかかる磁気記
録・再生装置の構成を示す一部破断斜視図である。以
下、これらの図面を参照にしながら、まず、第１実施例
にかかる磁気記録・再生装置を説明し、次に磁気ヘッド
を説明する。なお、この実施例は、磁気ヘッドに熱電対
構成する薄膜を形成した例である。
【００１８】図２に示されるように、第１実施例の磁気
記録・再生装置は、磁気記録・再生装置本体部２０と制
御回路部３０とで構成されている。
記録・再生装置は、磁気記録・再生装置本体部２０と制
御回路部３０とで構成されている。
【００１９】磁気記録・再生装置本体部２０は、密閉箱
たる本体ケース１１と、該本体ケース１１内に固定され
たスピンドルモータ１３、このスピンドルモータ１３の
回転軸に固定金具１３ａによって固定された磁気ディス
ク１２、この磁気ディスク１２上を走行するようにスイ
ングアーム１４の先端に取り付けられた磁気ヘッド１
０、並びに、スイングアーム１４を軸１５の回りに回転
駆動し、磁気ヘッド１０を磁気ディスク１２の所定の情
報トラックに位置（シーク）させるボイスコイルモータ
１６とを有する。なお、ここで、本実施例の磁気ヘッド
１０は、後で詳述するように、磁気ディスク１２上をＣ
ＳＳ走行するヘッドスライダーに磁気記録又は再生を行
う磁気回路部を設けたものであって、ヘッドスライダー
の滑動面（ＡＢＳ）に、温度検知機能を有する薄膜を形
成し、この薄膜からの温度信号を外部に取り出せるよう
にしたものである。
たる本体ケース１１と、該本体ケース１１内に固定され
たスピンドルモータ１３、このスピンドルモータ１３の
回転軸に固定金具１３ａによって固定された磁気ディス
ク１２、この磁気ディスク１２上を走行するようにスイ
ングアーム１４の先端に取り付けられた磁気ヘッド１
０、並びに、スイングアーム１４を軸１５の回りに回転
駆動し、磁気ヘッド１０を磁気ディスク１２の所定の情
報トラックに位置（シーク）させるボイスコイルモータ
１６とを有する。なお、ここで、本実施例の磁気ヘッド
１０は、後で詳述するように、磁気ディスク１２上をＣ
ＳＳ走行するヘッドスライダーに磁気記録又は再生を行
う磁気回路部を設けたものであって、ヘッドスライダー
の滑動面（ＡＢＳ）に、温度検知機能を有する薄膜を形
成し、この薄膜からの温度信号を外部に取り出せるよう
にしたものである。
【００２０】制御回路部３０は、スピンドルモータ１
３、ボイスコイルモータ１６及び磁気ヘッド１０と電気
的に接続されており、これらとの間で情報を交換してス
ピンドルモータ１３及びボイスコイルモータ１６を制御
する回路、並びに、磁気ヘッド１０を介して磁気ディス
ク１２に磁気記録し、又は、磁気ディスク１２に磁気記
録されている情報を再生するための情報処理を行う回路
を内蔵している。
３、ボイスコイルモータ１６及び磁気ヘッド１０と電気
的に接続されており、これらとの間で情報を交換してス
ピンドルモータ１３及びボイスコイルモータ１６を制御
する回路、並びに、磁気ヘッド１０を介して磁気ディス
ク１２に磁気記録し、又は、磁気ディスク１２に磁気記
録されている情報を再生するための情報処理を行う回路
を内蔵している。
【００２１】さらに、制御回路部３０は、磁気ヘッド１
０から送出される温度信号を入力して温度を測定すると
ともに、この温度を必要に応じて図示しない外部表示装
置に表示するとともに、この温度が所定以上になった場
合に、スピンドルモータ１３又はボイスコイルモータ１
６を制御して磁気ヘッド１０を磁気ディスク１２から離
すか、あるいは、スピンドルモータ１３の回転を停止も
しくは減速させることによって、過熱現象による磁気デ
ィスク１２の損傷を防止する処理制御回路を内臓してい
る。
０から送出される温度信号を入力して温度を測定すると
ともに、この温度を必要に応じて図示しない外部表示装
置に表示するとともに、この温度が所定以上になった場
合に、スピンドルモータ１３又はボイスコイルモータ１
６を制御して磁気ヘッド１０を磁気ディスク１２から離
すか、あるいは、スピンドルモータ１３の回転を停止も
しくは減速させることによって、過熱現象による磁気デ
ィスク１２の損傷を防止する処理制御回路を内臓してい
る。
【００２２】磁気ヘッド１０は、ヘッドスライダー１
と、このヘッドスライダー１に取り付けられた磁気回路
部２と、熱電対を構成するようにヘッドスライダー１の
表面に積層された１組の薄膜３，４とを備えたものであ
る。
と、このヘッドスライダー１に取り付けられた磁気回路
部２と、熱電対を構成するようにヘッドスライダー１の
表面に積層された１組の薄膜３，４とを備えたものであ
る。
【００２３】ヘッドスライダー１は、Ａｌ2 ０3 ーＴｉ
Ｃ合金を直方体形状に形成し、この直方体の長方形をな
した１面にその長手方向の中心線に沿って中央溝５を形
成し、この中央溝５の両側に２つの突条部６を形成し、
かつ、この突条部６の一方の端部（前方部）近傍を斜め
に切除して浮上走行できるようしたものである。
Ｃ合金を直方体形状に形成し、この直方体の長方形をな
した１面にその長手方向の中心線に沿って中央溝５を形
成し、この中央溝５の両側に２つの突条部６を形成し、
かつ、この突条部６の一方の端部（前方部）近傍を斜め
に切除して浮上走行できるようしたものである。
【００２４】磁気回路部２は、ヘッドスライダー１の突
条部６の他方の端部（後方部）壁面に、突条部６の表面
に磁気回路のギャップがのぞむようにして固定されてい
る。この磁気回路部２はリード線２ａによって外部回路
部に接続されるようになっている。
条部６の他方の端部（後方部）壁面に、突条部６の表面
に磁気回路のギャップがのぞむようにして固定されてい
る。この磁気回路部２はリード線２ａによって外部回路
部に接続されるようになっている。
【００２５】２つの突条部６の表面は、ヘッドスライダ
ーエアベアリング面（ＡＢＳ）７であり、この２つのＡ
ＢＳ７が磁気デイスク１２の表面を滑動又は浮上走行す
る。２つのＡＢＳ７には、それぞれ熱電対を構成する＋
側膜３及び−側膜４並びに保護膜８が順次積層して形成
されている。＋側膜３及び−側膜４にはそれぞれ＋側電
極３ａ及び−側電極４ａが接続され、これら各電極はヘ
ッドスライダー１の側壁に設けられており、リード線３
ａ，４ａによって外部回路に接続されるようになってい
る。なお、＋側膜３及び＋側電極３ａは鉄（Ｆｅ）の薄
膜で構成され、−側膜４に及び−側電極４ａはコンスタ
ンタン（ＮｉＣｕ合金）で構成されている。
ーエアベアリング面（ＡＢＳ）７であり、この２つのＡ
ＢＳ７が磁気デイスク１２の表面を滑動又は浮上走行す
る。２つのＡＢＳ７には、それぞれ熱電対を構成する＋
側膜３及び−側膜４並びに保護膜８が順次積層して形成
されている。＋側膜３及び−側膜４にはそれぞれ＋側電
極３ａ及び−側電極４ａが接続され、これら各電極はヘ
ッドスライダー１の側壁に設けられており、リード線３
ａ，４ａによって外部回路に接続されるようになってい
る。なお、＋側膜３及び＋側電極３ａは鉄（Ｆｅ）の薄
膜で構成され、−側膜４に及び−側電極４ａはコンスタ
ンタン（ＮｉＣｕ合金）で構成されている。
【００２６】この磁気ヘッド１０は、市販の磁気ヘッド
のＡＢＳに次のようにして薄膜を形成することにより製
作できる。
のＡＢＳに次のようにして薄膜を形成することにより製
作できる。
【００２７】まず、市販の磁気ヘッドのヘッドスライダ
ー１を、ＨＣＦＣ溶媒（旭ガラス製ＡＫ−２２５）中で
約５分間超音波洗浄する。次に、この洗浄工程を経たヘ
ッドスライダー１のＡＢＳ７上及び側壁にＲＦマグネト
ロンスパッタリング法により＋側膜３を構成する鉄膜及
び−側膜４を構成するコンスタンタン膜を厚さ１００ｎ
ｍに順次成膜する。次に、レーザトリミングその他のド
ライエッチング手法等によりヘッドスライダー側壁部に
成膜されたＦｅ層及びコンスタンタン膜を部分的に除去
し、電極３ａ，４ａを形成する。しかる後に、−側膜膜
４上に、保護膜８として、ＳｉＯ2 膜を１０ｎｍ積層し
て本実施例の磁気ヘッドを得る。
ー１を、ＨＣＦＣ溶媒（旭ガラス製ＡＫ−２２５）中で
約５分間超音波洗浄する。次に、この洗浄工程を経たヘ
ッドスライダー１のＡＢＳ７上及び側壁にＲＦマグネト
ロンスパッタリング法により＋側膜３を構成する鉄膜及
び−側膜４を構成するコンスタンタン膜を厚さ１００ｎ
ｍに順次成膜する。次に、レーザトリミングその他のド
ライエッチング手法等によりヘッドスライダー側壁部に
成膜されたＦｅ層及びコンスタンタン膜を部分的に除去
し、電極３ａ，４ａを形成する。しかる後に、−側膜膜
４上に、保護膜８として、ＳｉＯ2 膜を１０ｎｍ積層し
て本実施例の磁気ヘッドを得る。
【００２８】なお、熱電対及び電極を構成する薄膜形成
の際のスパッタリング条件は、雰囲気ガスに純度９９．
９％のアルゴンガスを使用し、ガス圧を１０mTorrt、投
入電力を２００Ｗ、背圧を１０-7Torrにそれぞれ設定
し、サンプル加熱なしの条件で行う。また、保護膜８の
形成の際のスパッタリング条件は、雰囲気ガス純度９
９．９％のアルゴンガス、および純度９９．９％の酸素
ガスを使用し、ガス圧を５ｍTorr（ガス流量、Ａｒ：Ｏ
2 ＝１０：５ＳＣＣＭ）、投入電力を２００Ｗ、背圧を
１０-7Torrに設定し、サンプル加熱なしの条件で成膜す
る。
の際のスパッタリング条件は、雰囲気ガスに純度９９．
９％のアルゴンガスを使用し、ガス圧を１０mTorrt、投
入電力を２００Ｗ、背圧を１０-7Torrにそれぞれ設定
し、サンプル加熱なしの条件で行う。また、保護膜８の
形成の際のスパッタリング条件は、雰囲気ガス純度９
９．９％のアルゴンガス、および純度９９．９％の酸素
ガスを使用し、ガス圧を５ｍTorr（ガス流量、Ａｒ：Ｏ
2 ＝１０：５ＳＣＣＭ）、投入電力を２００Ｗ、背圧を
１０-7Torrに設定し、サンプル加熱なしの条件で成膜す
る。
【００２９】また、市販の磁気ヘッドとしては、例え
ば、ＩＢＭ３３７０タイプのインライン型を用いること
ができる。この磁気ヘッドは、ヘッドスライダー材質が
Ａｌ2Ｏ3 ーＴｉＣであり、ヘッド荷重が６．５ｇｆ、
ＡＢＳ幅が３５０μｍ、Ｆ．Ｈが０．０８５μｍ（ヘッ
ドスライダー／ディスク間の相対速度が５．８６ｍ／ｓ
において）である。
ば、ＩＢＭ３３７０タイプのインライン型を用いること
ができる。この磁気ヘッドは、ヘッドスライダー材質が
Ａｌ2Ｏ3 ーＴｉＣであり、ヘッド荷重が６．５ｇｆ、
ＡＢＳ幅が３５０μｍ、Ｆ．Ｈが０．０８５μｍ（ヘッ
ドスライダー／ディスク間の相対速度が５．８６ｍ／ｓ
において）である。
【００３０】第２実施例の構成 図３は本発明の第２実施例にかかる磁気ヘッドの構成を
示す斜視図である。なお、この実施例は、磁気ヘッドに
測温抵抗体を構成する薄膜を形成した例であり、薄膜の
構成以外の構成は上述の第１実施例と共通するので、共
通する部分には同一の符号を付してその説明を省略す
る。また、この実施例の磁気ヘッドを用いた磁気記録・
再生装置の構成は上述の第１実施例とほぼ同一であるの
でその説明も省略する。
示す斜視図である。なお、この実施例は、磁気ヘッドに
測温抵抗体を構成する薄膜を形成した例であり、薄膜の
構成以外の構成は上述の第１実施例と共通するので、共
通する部分には同一の符号を付してその説明を省略す
る。また、この実施例の磁気ヘッドを用いた磁気記録・
再生装置の構成は上述の第１実施例とほぼ同一であるの
でその説明も省略する。
【００３１】図３に示されるように、この実施例の磁気
ヘッド１０ａは、はヘッドスライダー１のＡＢＳ上に膜
厚１００ｎｍの白金低抗体膜３０を形成し、この白金低
抗体膜３０によって３線方式ブリッジによる抵抗温度計
測を行うためにヘッドスライダー１の側壁部に白金膜か
らなる３つの電極３１，３２，３３を設け、リード線３
１ａ，３２ａ，３３ａによって外部回路に接続できるよ
うにしたものである。また、白金低抗体膜３０の上に、
保護層８として、ＳｉＯ2 膜を１０ｎｍ積層した。な
お、白金低抗体膜３０及びその電極、並びに、保護層８
のスパッタリング条件は、第１実施例における薄膜形成
の条件とほぼ同様の条件で行う。
ヘッド１０ａは、はヘッドスライダー１のＡＢＳ上に膜
厚１００ｎｍの白金低抗体膜３０を形成し、この白金低
抗体膜３０によって３線方式ブリッジによる抵抗温度計
測を行うためにヘッドスライダー１の側壁部に白金膜か
らなる３つの電極３１，３２，３３を設け、リード線３
１ａ，３２ａ，３３ａによって外部回路に接続できるよ
うにしたものである。また、白金低抗体膜３０の上に、
保護層８として、ＳｉＯ2 膜を１０ｎｍ積層した。な
お、白金低抗体膜３０及びその電極、並びに、保護層８
のスパッタリング条件は、第１実施例における薄膜形成
の条件とほぼ同様の条件で行う。
【００３２】第３実施例の構成 図４は本発明の第３実施例にかかる磁気ヘッドの構成を
示す斜視図である。なお、この実施例も、磁気ヘッドに
測温抵抗体を構成する薄膜を形成した例であり、薄膜の
構成以外の構成は上述の第１実施例と共通するので、共
通する部分には同一の符号を付してその説明を省略す
る。また、この実施例の磁気ヘッドを用いた磁気記録・
再生装置の構成も上述の第１実施例とほぼ同一であるの
でその説明も省略する。
示す斜視図である。なお、この実施例も、磁気ヘッドに
測温抵抗体を構成する薄膜を形成した例であり、薄膜の
構成以外の構成は上述の第１実施例と共通するので、共
通する部分には同一の符号を付してその説明を省略す
る。また、この実施例の磁気ヘッドを用いた磁気記録・
再生装置の構成も上述の第１実施例とほぼ同一であるの
でその説明も省略する。
【００３３】図３に示されるように、この実施例の磁気
ヘッド１０ｂは、第２実施例における白金低抗体３０の
代わりに膜厚１００ｎｍのＳｉＣ膜からなるサーミスタ
膜８０を形成し、Ａｕ膜からなる２つの電極８１，８２
を設け、リード線８１ａ，８２ａによって外部回路に接
続できるようにしたものである。なお、この実施例で
は、サーミスタ膜８０が保護膜としての機能も果たすこ
とができるので、保護膜を別個に設けていない。
ヘッド１０ｂは、第２実施例における白金低抗体３０の
代わりに膜厚１００ｎｍのＳｉＣ膜からなるサーミスタ
膜８０を形成し、Ａｕ膜からなる２つの電極８１，８２
を設け、リード線８１ａ，８２ａによって外部回路に接
続できるようにしたものである。なお、この実施例で
は、サーミスタ膜８０が保護膜としての機能も果たすこ
とができるので、保護膜を別個に設けていない。
【００３４】実施例の作用効果 図５及び図６は第１〜第３実施例の感度特性（温度に対
する熱起電力又は抵抗値の変化率）を示したものであ
る。図中の縦軸は、室温（２５°Ｃ）における値（Ｖ0
、Ｒ0 ）により規格化したものである。図から明らか
なように、第１実施例および第３実施例では、温度にほ
ぼ正比例して熱起電力並びに抵抗値が増加し、第２実施
例では、温度に対し指数関数的に抵抗値が変化すること
わかる。
する熱起電力又は抵抗値の変化率）を示したものであ
る。図中の縦軸は、室温（２５°Ｃ）における値（Ｖ0
、Ｒ0 ）により規格化したものである。図から明らか
なように、第１実施例および第３実施例では、温度にほ
ぼ正比例して熱起電力並びに抵抗値が増加し、第２実施
例では、温度に対し指数関数的に抵抗値が変化すること
わかる。
【００３５】次に、上記第１〜第３実施例の磁気記録・
再生装置に磁気ディスク１２として市販の磁気ディスク
を用いて連続摺動試験を行い、その間の熱起電力、また
は抵抗値の変化率を調べた結果を示す。
再生装置に磁気ディスク１２として市販の磁気ディスク
を用いて連続摺動試験を行い、その間の熱起電力、また
は抵抗値の変化率を調べた結果を示す。
【００３６】この試験では、まず、最初に図７に示すご
とく、両者間に発生する摩擦力（Ｆ）の相対速度依存性
を調べ、摩擦力が最大（Ｆｍａｘ）になるヘッドスライ
ダー／ディスク間（ＨＤＩ）の相対速度（ｖ1 ）を見い
だし、その相対速度において連続摺動試験を行ってい
る。上記第１〜第３実施例における磁気ヘッドと市販の
磁気ディスクの組み合わせにおいて、上記ｖ1 を調べた
結果、０．８３４ｍ／ｓで摩擦力が最大になることがわ
かった。
とく、両者間に発生する摩擦力（Ｆ）の相対速度依存性
を調べ、摩擦力が最大（Ｆｍａｘ）になるヘッドスライ
ダー／ディスク間（ＨＤＩ）の相対速度（ｖ1 ）を見い
だし、その相対速度において連続摺動試験を行ってい
る。上記第１〜第３実施例における磁気ヘッドと市販の
磁気ディスクの組み合わせにおいて、上記ｖ1 を調べた
結果、０．８３４ｍ／ｓで摩擦力が最大になることがわ
かった。
【００３７】上記求めたｖ1 において連続摺動試験を行
った際の、熱起電力、または抵抗値の変化率と摺動時間
の関係を図８に示す。本測定は、クリーン清浄度１００
のクリーンルーム内で行っており、その際の室温は２３
°Ｃ、湿度は４０％Ｒ．Ｈであった。
った際の、熱起電力、または抵抗値の変化率と摺動時間
の関係を図８に示す。本測定は、クリーン清浄度１００
のクリーンルーム内で行っており、その際の室温は２３
°Ｃ、湿度は４０％Ｒ．Ｈであった。
【００３８】図８から明らかなように、第２及び第３実
施例では摺動試験開始後、熱起電力および抵抗値が増加
してそれがほぼ一定値を取るまでに２０〜２５秒程度要
しているが、第３実施例では約１０秒間で一定値になっ
ており、第２及び第３実施例に比べ、応答性が高く、か
つ摺動試験初期において、その変化率が最も著しいこと
がわかる。これは、図６に示されるように、ＳｉＣによ
る測温抵抗体が、実施例中、最も感度特性に優れてると
同時に、ＳｉＣ自体が耐摺動性に優れているために保護
膜を設ける必要がなく、より直接的で、かつ正確にＨＤ
Ｉにおける摩擦温度を測定できることに起因していると
考えられる。
施例では摺動試験開始後、熱起電力および抵抗値が増加
してそれがほぼ一定値を取るまでに２０〜２５秒程度要
しているが、第３実施例では約１０秒間で一定値になっ
ており、第２及び第３実施例に比べ、応答性が高く、か
つ摺動試験初期において、その変化率が最も著しいこと
がわかる。これは、図６に示されるように、ＳｉＣによ
る測温抵抗体が、実施例中、最も感度特性に優れてると
同時に、ＳｉＣ自体が耐摺動性に優れているために保護
膜を設ける必要がなく、より直接的で、かつ正確にＨＤ
Ｉにおける摩擦温度を測定できることに起因していると
考えられる。
【００３９】このように、上述の各実施例の磁気ヘッド
によれば、ヘッドスライダー１の滑動面たるＡＢＳ７上
に、温度検知機能を有する薄膜を形成したことにより、
ヘッドスライダー１のＡＢＳ７の温度を測定することが
できる。この場合、これら温度検知機能を有する薄膜は
ＡＢＳ７上に極めて薄くかつ強固に密着して形成するこ
とが可能であるから、温度測定面とＡＢＳとをほぼ完全
に一致させることができ、また、測温中に熱膨張差等に
よりずれてしまうようなおそれもない。さらに、ＡＢＳ
７の全面の平均的温度を測定できるため、ＡＢＳ７の全
面についての温度の監視ができる。しかも、ＡＢＳ７を
薄膜で覆うことによってＡＢＳ７の耐久性や滑動特性あ
るいは浮上特性を向上させることも可能となる。したが
って、ＡＢＳ７の温度を長期間にわたって安定して正確
に監視しつつ磁気記録・再生を行うことが可能になる。
さらに、ＡＢＳ７に薄膜を形成させるだけであるから、
ヘッドスライダー１の浮上特性を大きく変動させてしま
うようなおそれもなく、さらには、製造が比較的容易で
調整箇所もないので低コストで得ることが可能である。
によれば、ヘッドスライダー１の滑動面たるＡＢＳ７上
に、温度検知機能を有する薄膜を形成したことにより、
ヘッドスライダー１のＡＢＳ７の温度を測定することが
できる。この場合、これら温度検知機能を有する薄膜は
ＡＢＳ７上に極めて薄くかつ強固に密着して形成するこ
とが可能であるから、温度測定面とＡＢＳとをほぼ完全
に一致させることができ、また、測温中に熱膨張差等に
よりずれてしまうようなおそれもない。さらに、ＡＢＳ
７の全面の平均的温度を測定できるため、ＡＢＳ７の全
面についての温度の監視ができる。しかも、ＡＢＳ７を
薄膜で覆うことによってＡＢＳ７の耐久性や滑動特性あ
るいは浮上特性を向上させることも可能となる。したが
って、ＡＢＳ７の温度を長期間にわたって安定して正確
に監視しつつ磁気記録・再生を行うことが可能になる。
さらに、ＡＢＳ７に薄膜を形成させるだけであるから、
ヘッドスライダー１の浮上特性を大きく変動させてしま
うようなおそれもなく、さらには、製造が比較的容易で
調整箇所もないので低コストで得ることが可能である。
【００４０】また、各実施例の磁気記録・再生装置によ
れば、ヘッドスラーダーのＡＢＳの温度が所定以上、例
えば、磁気ディスク１２が過熱現象により損傷を受ける
おそれのある温度になったことを検知して、ＡＢＳが磁
気ディスク上を摺動する動作を中止させることができる
から、過熱現象による磁気記録媒体の劣化を未然に防止
しつつ磁気記録・再生を行うことが可能になる。
れば、ヘッドスラーダーのＡＢＳの温度が所定以上、例
えば、磁気ディスク１２が過熱現象により損傷を受ける
おそれのある温度になったことを検知して、ＡＢＳが磁
気ディスク上を摺動する動作を中止させることができる
から、過熱現象による磁気記録媒体の劣化を未然に防止
しつつ磁気記録・再生を行うことが可能になる。
【００４１】なお、熱電対を構成する組み合わせとして
は、第１実施例でかかげた外にも、例えば、白金ロジウ
ム（＋側）と白金（−側）、クロメル（ＮｉＣｒ合金、
＋側）とアルメル（ＮｉＡｌ合金、−側）、鉄（＋側）
とコンスタンタン（ＮｉＣｕ合金、−側）、銅（＋側）
とコンスタンタン（ＮｉＣｕ合金、−側）、タングステ
ン・レニウム（＋側）とタングステン・レニウム（−
側）、白金ロジウム（＋側）と白金ロジウム（−側）、
タングステン（＋側）とタングステン・レニウム（−
側）、クロメル（ＮｉＣｒ合金、＋側）と金・鉄（−
側）、クロメル（ＮｉＣｒ合金、＋側）とニッケル・シ
リコン（−側）、ニッケル（＋側）とニッケル・モリブ
デン（−側）、白金・パラジウム・金（＋側）とパラジ
ウム・金（−側）などの組成が異なる２種類の金属ある
いは合金の薄膜の組、あるいは、半導体タイプとして、
非晶質Ｓｉ（ｐ型（＋側）、ｎ型（−側））薄膜を成膜
したもの等を用いることができる。
は、第１実施例でかかげた外にも、例えば、白金ロジウ
ム（＋側）と白金（−側）、クロメル（ＮｉＣｒ合金、
＋側）とアルメル（ＮｉＡｌ合金、−側）、鉄（＋側）
とコンスタンタン（ＮｉＣｕ合金、−側）、銅（＋側）
とコンスタンタン（ＮｉＣｕ合金、−側）、タングステ
ン・レニウム（＋側）とタングステン・レニウム（−
側）、白金ロジウム（＋側）と白金ロジウム（−側）、
タングステン（＋側）とタングステン・レニウム（−
側）、クロメル（ＮｉＣｒ合金、＋側）と金・鉄（−
側）、クロメル（ＮｉＣｒ合金、＋側）とニッケル・シ
リコン（−側）、ニッケル（＋側）とニッケル・モリブ
デン（−側）、白金・パラジウム・金（＋側）とパラジ
ウム・金（−側）などの組成が異なる２種類の金属ある
いは合金の薄膜の組、あるいは、半導体タイプとして、
非晶質Ｓｉ（ｐ型（＋側）、ｎ型（−側））薄膜を成膜
したもの等を用いることができる。
【００４２】また、測温低抗体薄膜を構成する材料とし
ては、金属タイプのものでは、Ｐｔの外にＣｕ、Ｎｉ等
を用いることができ、半導体タイプ（サーミスタ）とし
ては、ＳｉＣの外に、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅなどの遷
移金属の酸化物を焼結したもの等用いることができる。
ては、金属タイプのものでは、Ｐｔの外にＣｕ、Ｎｉ等
を用いることができ、半導体タイプ（サーミスタ）とし
ては、ＳｉＣの外に、Ｍｎ、Ｃｏ、Ｎｉ、Ｆｅなどの遷
移金属の酸化物を焼結したもの等用いることができる。
【００４３】さらに、第１及び第２実施例のように、熱
電対薄膜、あるいは、測温抵抗体薄膜の耐摺動性、耐腐
食性をより向上させるために、それらの薄膜上に、保護
膜を設けてもよく、また、第３実施例のように、熱電対
薄膜、あるいは、測温抵抗体薄膜自体が十分な機械的・
化学的強度を有する場合は保護膜を設けなくてもよい。
電対薄膜、あるいは、測温抵抗体薄膜の耐摺動性、耐腐
食性をより向上させるために、それらの薄膜上に、保護
膜を設けてもよく、また、第３実施例のように、熱電対
薄膜、あるいは、測温抵抗体薄膜自体が十分な機械的・
化学的強度を有する場合は保護膜を設けなくてもよい。
【００４４】保護膜を構成する材料としては、ＳｉＯ2
の外に、例えば、Ａｌ2 Ｏ3 、ＺｒＯ2 ーＹ2 Ｏ3 、Ｃ
ｒ2 Ｏ3 、ＭｇＯ、ＴｉＯ2 、ＳｎＯ2 、Ｔａ2 Ｏ5 、
Ｙ2Ｏ3 、Ｌａ2 Ｏ3 、ＴｉＣ、ＴｉＮ、Ｓｉ3 Ｎ4 、
ＡｌＮ、ＢＮ、サイアロン等を用いることができる。
の外に、例えば、Ａｌ2 Ｏ3 、ＺｒＯ2 ーＹ2 Ｏ3 、Ｃ
ｒ2 Ｏ3 、ＭｇＯ、ＴｉＯ2 、ＳｎＯ2 、Ｔａ2 Ｏ5 、
Ｙ2Ｏ3 、Ｌａ2 Ｏ3 、ＴｉＣ、ＴｉＮ、Ｓｉ3 Ｎ4 、
ＡｌＮ、ＢＮ、サイアロン等を用いることができる。
【００４５】さらに、上記各実施例の磁気ヘッドでは、
ヘッドスライダー材質がＡｌ2 ０3ーＴｉＣである市販
の磁気ヘッドを用いてこれに薄膜形成を行ったが、これ
に限らず、どのようなサスペンション形式、スライダー
材質、インラインあるいはトランスバースタイプのヘッ
ドを用いてもよい。
ヘッドスライダー材質がＡｌ2 ０3ーＴｉＣである市販
の磁気ヘッドを用いてこれに薄膜形成を行ったが、これ
に限らず、どのようなサスペンション形式、スライダー
材質、インラインあるいはトランスバースタイプのヘッ
ドを用いてもよい。
【００４６】また、上記各実施例では、ＡＢＳ全面に温
度検知機能を有する薄膜を形成してＨＤＩにおける接触
面全面の温度を監視できるようにした例をかかげたが、
目的によっては、必ずしもＡＢＳ全面に薄膜を形成する
必要はなく、例えば、ヘッドスライダー後部の磁気回路
部の近傍にのみ設けてこの周辺の温度のみを監視するよ
うにしてもよいことは勿論である。
度検知機能を有する薄膜を形成してＨＤＩにおける接触
面全面の温度を監視できるようにした例をかかげたが、
目的によっては、必ずしもＡＢＳ全面に薄膜を形成する
必要はなく、例えば、ヘッドスライダー後部の磁気回路
部の近傍にのみ設けてこの周辺の温度のみを監視するよ
うにしてもよいことは勿論である。
【００４７】
【発明の効果】以上詳述したように、本発明は、磁気ヘ
ッドを、磁気記録媒体上を滑動及び浮上走行するヘッド
スライダーに磁気記録又は再生を行う磁気回路部を設け
た磁気ヘッドであって、前記ヘッドスライダーの滑動面
に、温度検知機能を有する薄膜を形成したことを特徴と
する構成としたことにより、ヘッドスライダーのＡＢＳ
の温度を長期間にわたって安定して正確に監視しつつ磁
気記録・再生を行うことを可能にした磁気ヘッド及びこ
の磁気ヘッドを用いた磁気記録・再生装置を得ているも
のである。
ッドを、磁気記録媒体上を滑動及び浮上走行するヘッド
スライダーに磁気記録又は再生を行う磁気回路部を設け
た磁気ヘッドであって、前記ヘッドスライダーの滑動面
に、温度検知機能を有する薄膜を形成したことを特徴と
する構成としたことにより、ヘッドスライダーのＡＢＳ
の温度を長期間にわたって安定して正確に監視しつつ磁
気記録・再生を行うことを可能にした磁気ヘッド及びこ
の磁気ヘッドを用いた磁気記録・再生装置を得ているも
のである。
【図１】本発明の第１実施例にかかる磁気ヘッドの構成
を示す斜視図である。
を示す斜視図である。
【図２】本発明の第１実施例にかかる磁気記録・再生装
置の構成を示す一部破断斜視図ある。
置の構成を示す一部破断斜視図ある。
【図３】第２実施例の磁気ヘッドの構成を示す斜視図で
ある。
ある。
【図４】第３実施例の磁気ヘッドの構成を示す斜視図で
ある。
ある。
【図５】第１実施例の温度検知機能を有する薄膜の感度
特性（温度に対する熱起電力の変化率）を示す図であ
る。
特性（温度に対する熱起電力の変化率）を示す図であ
る。
【図６】第２〜第３実施例の温度検知機能を有する薄膜
の感度特性（温度に対する抵抗値の変化率）を示す図で
ある。
の感度特性（温度に対する抵抗値の変化率）を示す図で
ある。
【図７】第１〜第３実施例の磁気ヘッドと市販の磁気デ
ィスクとの組み合わせにおいて、ヘッドスライダー／デ
ィスク間（ＨＤＩ）に発生する摩擦力（Ｆ）の相対速度
（ｖ）依存性を示す図である。
ィスクとの組み合わせにおいて、ヘッドスライダー／デ
ィスク間（ＨＤＩ）に発生する摩擦力（Ｆ）の相対速度
（ｖ）依存性を示す図である。
【図８】第１〜第３実施例の磁気ヘッドと市販の磁気デ
ィスクとの組み合わせにおいて、連続摺動試験を行った
際の熱起電力、または、抵抗値の変化率と摺動時間との
関係を示す図である。
ィスクとの組み合わせにおいて、連続摺動試験を行った
際の熱起電力、または、抵抗値の変化率と摺動時間との
関係を示す図である。
１…ヘッドスライダー、２…磁気回路部、３…＋側膜、
４…−側膜、７…滑動面たるエアベアリング面（ＡＢ
Ｓ）、８…保護膜。
４…−側膜、７…滑動面たるエアベアリング面（ＡＢ
Ｓ）、８…保護膜。
Claims (4)
- 【請求項１】 磁気記録媒体上を滑動又は浮上走行する
ヘッドスライダーに磁気記録又は再生を行う磁気回路部
を設けた磁気ヘッドであって、前記ヘッドスライダーの
滑動面に、温度検知機能を有する薄膜を形成したことを
特徴とする磁気ヘッド。 - 【請求項２】 請求項１に記載の磁気ヘッドにおいて、 前記薄膜は、熱電対を構成する１組の物質でそれぞれ構
成された２層の薄膜が重ねて形成されたものであること
を特徴とした磁気ヘッド。 - 【請求項３】 請求項１に記載の磁気ヘッドにおいて、 前記薄膜は、電気抵抗の温度依存性を利用して温度を測
定する測温抵抗体を構成する薄膜であることを特徴とし
た磁気ヘッド。 - 【請求項４】 磁気記録媒体を保持して回転駆動する磁
気記録媒体駆動部と、前記磁気記録媒体上を滑動又は浮
上走行して磁気記録をし又は記録されている磁気信号を
再生する磁気ヘッドと、この磁気ヘッドを保持して該磁
気ヘッドの前記磁気記録媒体に対する位置を制御する磁
気ヘッド保持部と、これら磁気記録媒体駆動部、磁気ヘ
ッド及び磁気ヘッド保持部を制御する制御回路部とを有
し、磁気記録・再生を行う磁気記録・再生装置におい
て、 前記磁気ヘッドとして、請求項１ないし３のいずれかに
記載の磁気ヘッドを用い、 前記制御回路部に、前記磁気ヘッドの温度検知機能を有
する薄膜から温度信号をうけて温度を測定する測温回路
を設けたことを特徴とする磁気記録・再生装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5073398A JPH06290563A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 磁気ヘッド及び磁気記録・再生装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP5073398A JPH06290563A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 磁気ヘッド及び磁気記録・再生装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06290563A true JPH06290563A (ja) | 1994-10-18 |
Family
ID=13517058
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5073398A Pending JPH06290563A (ja) | 1993-03-31 | 1993-03-31 | 磁気ヘッド及び磁気記録・再生装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06290563A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5739972A (en) * | 1996-01-02 | 1998-04-14 | Ibm | Method and apparatus for positioning a magnetoresistive head using thermal response to servo information on the record medium |
| US5751510A (en) * | 1996-01-02 | 1998-05-12 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for restoring a thermal response signal of a magnetoresistive head |
| US5872676A (en) * | 1996-01-02 | 1999-02-16 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for positioning a dual element magnetoresistive head using thermal signals |
| US6088176A (en) * | 1993-04-30 | 2000-07-11 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for separating magnetic and thermal components from an MR read signal |
| US6172850B1 (en) * | 1994-09-29 | 2001-01-09 | Alps Electric Co., Ltd. | Floating type magnetic head with non-magnetic thin film coating pattern to reduce starting friction |
| US6239936B1 (en) | 1997-08-19 | 2001-05-29 | International Business Machines Corporation | Method and apparatus for calibrating a thermal response of a magnetoresistive element |
| JP2014511957A (ja) * | 2011-03-15 | 2014-05-19 | シーメンス エナジー インコーポレイテッド | 曲線をもつガスタービンエンジン部品における熱電対 |
-
1993
- 1993-03-31 JP JP5073398A patent/JPH06290563A/ja active Pending
Cited By (12)
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