JPH06275930A - Electrodeposition substrate - Google Patents

Electrodeposition substrate

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JPH06275930A
JPH06275930A JP6524693A JP6524693A JPH06275930A JP H06275930 A JPH06275930 A JP H06275930A JP 6524693 A JP6524693 A JP 6524693A JP 6524693 A JP6524693 A JP 6524693A JP H06275930 A JPH06275930 A JP H06275930A
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JP
Japan
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substrate
electrodeposition
polyimide resin
resin layer
colored
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JP6524693A
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Japanese (ja)
Inventor
Norikatsu Ono
典克 小野
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Dai Nippon Printing Co Ltd
Original Assignee
Dai Nippon Printing Co Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To obtain an electrodeposition substrate enabling efficient attainment of a color filter of high resolution which is used for a flat display such as a liquid crystal display, an imager such as CCD, a color sensor, etc. CONSTITUTION:A polyimide resin layer 3 is formed on one surface of a stainless steel substrate 2 and electrodes 5 are formed in a prescribed pattern on this polyimide resin layer 3. Thereby a change in dimensions of an electrodeposition substrate 1 is reduced very much, and since the smoothness of the polyimide resin layer 3 is high, the smoothness of the electrodes 5 formed on this polyimide resin layer 3 is also high. Naturally, a colored layer formed on the electrodes 5 and transferred and formed on a transparent substrate has also a high smoothness and a high precision.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は電着基板に係り、特に液
晶ディスプレイ等に用いられるカラーフィルタを高い精
度で製造することの可能な電着基板に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an electrodeposition substrate, and more particularly to an electrodeposition substrate capable of manufacturing a color filter used in a liquid crystal display or the like with high accuracy.

【0002】[0002]

【従来の技術】液晶カラーテレビやコンピュータ用液晶
表示体のカラー表示方法として多種の方法があるが、一
般的なカラー表示手段として、赤(R)、緑(G)、青
(B)等のカラーフィルタを用いる方法がある。このカ
ラーフィルタの製造方法としては、染色性レジストパタ
ーンを染色する染色法、感光性レジスト内に予め着色顔
料を分散させておき露光・現像する顔料分散法、あるい
は印刷インキで各色を印刷する印刷法等が挙げられる。
そして、液晶カラーテレビやコンピュータ用液晶表示体
のように大衆性が求められる製品では、品質と共にその
価格の低廉化が最も大きな問題であり、このため製造コ
ストの低減が望まれている。
2. Description of the Related Art There are various color display methods for liquid crystal color televisions and liquid crystal displays for computers, and as general color display means, there are red (R), green (G), blue (B) and the like. There is a method of using a color filter. This color filter can be manufactured by a dyeing method of dyeing a dyeable resist pattern, a pigment dispersion method of preliminarily dispersing a color pigment in a photosensitive resist and exposing / developing it, or a printing method of printing each color with a printing ink. Etc.
In products such as liquid crystal color televisions and liquid crystal displays for computers, which are required to be popular, quality and cost reduction are the most important problems, and therefore reduction in manufacturing cost is desired.

【0003】しかし、上記の染色法ではカラーフィルタ
の色品質は良いが耐熱性や耐光性の点で劣り、また製造
工程が複雑なために製造コストが高いという問題があっ
た。また、顔料分散法は耐熱性や耐光性が向上するとと
もに工程もやや簡略化できるものの、材料価格が高いた
めに製造コストの低減には限度があった。さらに、印刷
法は工程が簡略であることから製造コスト低減が期待さ
れていたが、品質が劣り薄膜トランジスタ(TFT)型
液晶ディスプレイには用いることができず、また製造時
の良品歩留まりが低く、期待されたほどの製造コスト低
減が得られなかった。
However, in the above dyeing method, the color quality of the color filter is good, but the heat resistance and the light resistance are inferior, and the manufacturing process is complicated, so that the manufacturing cost is high. Further, although the pigment dispersion method improves heat resistance and light resistance and can simplify the process somewhat, the production cost is limited because of the high material cost. Further, the printing method has been expected to reduce the manufacturing cost because the process is simple, but it cannot be used for a thin film transistor (TFT) type liquid crystal display due to its poor quality, and the yield of non-defective products at the time of manufacturing is low. The reduction in manufacturing cost was not obtained.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上述のような問題を解
決するために、電着法を用いたカラーフィルタ製造が開
発されている。電着法を用いたカラーフィルタ製造方法
として、電着基板上に電着形成した着色パターンを透明
基板上に転写して着色層とする電着転写法(特開昭63
−266482号等)がある。
In order to solve the above problems, color filter manufacturing using an electrodeposition method has been developed. As a method for producing a color filter using the electrodeposition method, an electrodeposition transfer method in which a colored pattern formed by electrodeposition on an electrodeposited substrate is transferred onto a transparent substrate to form a colored layer (Japanese Patent Laid-Open No. Sho 63-63).
-266482).

【0005】しかしながら、従来の電着基板は、ポリエ
チレンテレフタレート、ポリイミド等のプラスチックフ
ィルムを基材とし、この基材上に電極を形成したもので
あったため、電着形成した着色パターンを透明基板上に
転写する際に、基材の伸びによる寸法変化が生じ、高精
度カラーフィルタの製造歩留まりが低く製造コストの低
減がなされないという問題があった。
However, since the conventional electrodeposition substrate has a plastic film such as polyethylene terephthalate or polyimide as a base material and the electrodes are formed on the base material, the colored pattern formed by electrodeposition is formed on the transparent substrate. At the time of transfer, there is a problem that a dimensional change due to elongation of the base material occurs, the manufacturing yield of the high-precision color filter is low, and the manufacturing cost cannot be reduced.

【0006】本発明は上述のような事情に鑑みてなされ
たものであり、液晶ディスプレイ等のフラットディスプ
レイ、CCD等のイメージャー、あるいはカラーセンサ
等に用いられる高解像度のカラーフィルタを効率よく得
ることのできる電着基板を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and efficiently obtains a high-resolution color filter used for a flat display such as a liquid crystal display, an imager such as a CCD, or a color sensor. It is an object of the present invention to provide an electrodeposition substrate that can be manufactured.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために、本発明はステンレス基板と、該ステンレス基
板の一方の表面に形成されたポリイミド樹脂層と、該ポ
リイミド樹脂層上に所定のパターンで形成された電極と
を備えるような構成とした。
In order to achieve such an object, the present invention provides a stainless steel substrate, a polyimide resin layer formed on one surface of the stainless steel substrate, and a predetermined polyimide resin layer on the polyimide resin layer. It was configured to include electrodes formed in a pattern.

【0008】[0008]

【作用】基板としてステンレス基板を備え、このステン
レス基板の一方の表面にポリイミド樹脂層が形成され、
さらにこのポリイミド樹脂層上に所定のパターンで電極
が形成されており、これにより電着基板は寸法変化の極
めて少ないものとなり、またポリイミド樹脂層の平滑性
が高いので、このポリイミド樹脂層上に形成された電極
の平滑性も高く、必然的に電極上に形成され透明基板上
に転写形成される着色層も平滑性が高く、かつ精度の高
いものとなる。
[Function] A stainless steel substrate is provided as a substrate, and a polyimide resin layer is formed on one surface of the stainless steel substrate.
Furthermore, electrodes are formed in a predetermined pattern on this polyimide resin layer, which makes the electrodeposition substrate extremely small in dimensional change, and because the polyimide resin layer has high smoothness, it is formed on this polyimide resin layer. The formed electrode also has high smoothness, and the colored layer that is inevitably formed on the electrode and transferred and formed on the transparent substrate also has high smoothness and high accuracy.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て説明する。図1は、本発明の電着基板を示す概略断面
図である。図1において電着基板1はステンレス基板2
と、このステンレス基板2の一方の表面に形成されたポ
リイミド樹脂層3と、ポリイミド樹脂層3上に所定のパ
ターンで形成された電極5とを備えている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a schematic sectional view showing an electrodeposition substrate of the present invention. In FIG. 1, the electrodeposited substrate 1 is a stainless steel substrate 2
And a polyimide resin layer 3 formed on one surface of the stainless steel substrate 2, and an electrode 5 formed on the polyimide resin layer 3 in a predetermined pattern.

【0010】このような電着基板1は、通常、以下のよ
うにして製造することができる。まず、ステンレス基板
2の表面にスピンコート法、ブレードコート法等の公知
の手段によりポリイミド樹脂を塗布し硬化してポリイミ
ド樹脂層3を成膜する(図2(A))。次に、このポリ
イミド樹脂層3上に酸化インジウムスズ(ITO)等の
透明導電性膜4をスパッタリング法、蒸着法等により形
成し、さらに、この透明導電性膜4上に感光性レジスト
6を塗布する(図2(B))。その後、着色層のポジパ
ターンを有するフォトマスクを介して感光性レジスト6
を露光し現像して、透明導電性膜4上にレジストパター
ンを形成する(図2(C))。そして、このレジストパ
ターンを介して透明導電性膜4をエッチングして電極5
を形成する(図2(D))。
Such an electrodeposited substrate 1 can usually be manufactured as follows. First, a polyimide resin is applied to the surface of the stainless steel substrate 2 by a known means such as a spin coating method or a blade coating method and cured to form a polyimide resin layer 3 (FIG. 2A). Next, a transparent conductive film 4 such as indium tin oxide (ITO) is formed on the polyimide resin layer 3 by a sputtering method, a vapor deposition method or the like, and a photosensitive resist 6 is applied on the transparent conductive film 4. (FIG. 2 (B)). After that, the photosensitive resist 6 is passed through a photomask having a positive pattern of the colored layer.
Is exposed and developed to form a resist pattern on the transparent conductive film 4 (FIG. 2C). Then, the transparent conductive film 4 is etched through the resist pattern to form the electrode 5
Are formed (FIG. 2D).

【0011】本発明において使用するステンレス基板2
としては、SUS−301、SUS−304、SUS−
316、SUS−430、SUS−436、SUS−4
44、SUS−410、SUS−420等を挙げること
ができる。また、使用するステンレス基板2の厚さは、
100〜300μm程度が好ましい。
Stainless substrate 2 used in the present invention
, SUS-301, SUS-304, SUS-
316, SUS-430, SUS-436, SUS-4
44, SUS-410, SUS-420 and the like. The thickness of the stainless steel substrate 2 used is
It is preferably about 100 to 300 μm.

【0012】ステンレス基板2の一方の表面に形成され
るポリイミド樹脂層3は、電着基板に高い表面平滑性を
付与するため、および各電極5間の導通を防止するため
のものである。このポリイミド樹脂層3の厚さは、0.
5〜1μm程度が好ましい。
The polyimide resin layer 3 formed on one surface of the stainless steel substrate 2 is for imparting high surface smoothness to the electrodeposited substrate and for preventing conduction between the electrodes 5. The polyimide resin layer 3 has a thickness of 0.
It is preferably about 5 to 1 μm.

【0013】電極5は、上記の酸化インジウムスズ(I
TO)の他、二酸化スズ(SnO2)等の透明導電性物
質からなるものであってもよく、あるいは金(Au)銅
(Cu)等の金属からなるものであってもよい。
The electrode 5 is made of indium tin oxide (I
In addition to TO, it may be made of a transparent conductive material such as tin dioxide (SnO 2 ) or may be made of a metal such as gold (Au) copper (Cu).

【0014】次に、このような電着基板1を用いたカラ
ーフィルタの製造の一例を図3を参照しながら説明す
る。まず、赤色顔料を分散させた電着浴中に上記の電着
基板1を浸漬し、電極5のうち赤色の着色層を形成する
電極5にのみ選択的に直流電圧を印加して赤色電着材を
析出させ、十分に水洗した後に乾燥してピンホールのな
い赤色着色パターン8Rを形成する。同様にして、電極
5上に緑色の着色パターン8G、青色の着色パターン8
Bを形成する(図3(A))。
Next, an example of manufacturing a color filter using such an electrodeposited substrate 1 will be described with reference to FIG. First, the above electrodeposition substrate 1 is immersed in an electrodeposition bath in which a red pigment is dispersed, and a DC voltage is selectively applied only to the electrode 5 forming the red colored layer among the electrodes 5 to cause red electrodeposition. The material is deposited, washed sufficiently with water and then dried to form a pinhole-free red colored pattern 8R. Similarly, a green colored pattern 8G and a blue colored pattern 8 are formed on the electrode 5.
B is formed (FIG. 3A).

【0015】次に、表面にUVプライマー層12を有す
るガラス基板11を、電着基板1上の着色パターン8
R,8G,8B上に圧着し、ガラス基板11側から紫外
線を照射してUVプライマー層12を硬化させ着色パタ
ーン8R,8G,8Bと接着させる(図3(B))。そ
して、電着基板1を剥離することにより着色パターン8
R,8G,8Bをガラス基板11上に転写して着色層と
する。
Next, the glass substrate 11 having the UV primer layer 12 on the surface is colored with the colored pattern 8 on the electrodeposited substrate 1.
It is pressure-bonded onto R, 8G, and 8B, and ultraviolet rays are irradiated from the glass substrate 11 side to cure the UV primer layer 12 and adhere it to the colored patterns 8R, 8G, and 8B (FIG. 3B). Then, the colored pattern 8 is formed by peeling off the electrodeposited substrate 1.
R, 8G, and 8B are transferred onto the glass substrate 11 to form colored layers.

【0016】上記のガラス基板11としては、石英ガラ
ス、パイレックスガラス、合成石英板等の可撓性のない
リジット材、あるいは透明樹脂フィルム、光学用樹脂板
等の可撓性を有するフレキシブル材等を用いることがで
きる。このなかで、特にコーニング社製7059ガラス
は、熱膨脹率の小さい素材であり寸法安定性および高温
加熱処理における作業性に優れ、また、ガラス中にアル
カリ成分を含まない無アルカリガラスであるため、アク
ティブマトリックス方式によるLCD用のカラーフィル
タに適している。
The glass substrate 11 is made of rigid material such as quartz glass, Pyrex glass, synthetic quartz plate, or the like, or flexible material such as transparent resin film or optical resin plate. Can be used. Among them, Corning 7059 glass is a material with a small coefficient of thermal expansion, has excellent dimensional stability and workability in high-temperature heat treatment, and is a non-alkali glass that does not contain an alkali component in the glass. It is suitable for a matrix type LCD color filter.

【0017】尚、上述のようにしてガラス基板11上に
転写され着色層をなす着色パターン8R,8G,8Bの
境界部に黒色線を入れてブラックマトリックスを形成し
てもよい。ブラックマトリックスを形成することによ
り、各着色パターンに要求される配列精度がやや緩くな
り、また表示コントラストを向上することができる。
A black matrix may be formed by inserting a black line at the boundary between the colored patterns 8R, 8G and 8B that are transferred onto the glass substrate 11 and form the colored layer as described above. By forming the black matrix, the alignment accuracy required for each colored pattern is slightly relaxed, and the display contrast can be improved.

【0018】このようなブラックマトリックスの形成
は、上記の着色パターン形成と同様に黒色材料を電着し
たり、金属を電着したり、あるいは金属メッキ、無電解
メッキ等により行うことができる。
The formation of such a black matrix can be carried out by electrodeposition of a black material, electrodeposition of a metal, metal plating, electroless plating or the like as in the formation of the colored pattern.

【0019】また、電極5と、この電極5上に形成され
る着色パターン8R,8G,8Bとの剥離性を良好にす
るために、電極5の導電性を阻害しない程度に電着操作
の前に予め電極5上に剥離処理を施しておくことが好ま
しい。この剥離処理としては、界面活性剤、シリコーン
等による一般的な剥離処理でよい。
Further, in order to improve the peelability between the electrode 5 and the colored patterns 8R, 8G, 8B formed on the electrode 5, before the electrodeposition operation, the conductivity of the electrode 5 is not impaired. It is preferable that the electrode 5 is previously subjected to a peeling treatment. This peeling treatment may be a general peeling treatment with a surfactant, silicone or the like.

【0020】また、上記のような剥離処理を行う代わり
に、または併用して、予め電極5上に剥離性物質を電着
し、その後、着色パターンを電着形成してもよい。そし
て、ガラス基板11上に着色パターンとともに剥離性物
質も転写し、その後、剥離性物質のみを溶解除去しても
よい。剥離性物質としては、例えばNi、Cu、Ag、
Sn等の金属や合金等の物質を挙げることができる。
Instead of or in combination with the above-described peeling treatment, a peelable substance may be electrodeposited on the electrode 5 in advance, and then a colored pattern may be electrodeposited. Then, the peeling substance may be transferred together with the colored pattern onto the glass substrate 11, and then only the peeling substance may be dissolved and removed. Examples of the peelable substance include Ni, Cu, Ag,
Examples of the material include metals such as Sn and alloys.

【0021】上述のようにガラス基板11上に着色パタ
ーン8R,8G,8Bが転写され着色層が形成された後
の電着基板1は、再び使用することができる。したがっ
て、印刷版のように一度電着基板1を作成すれば、電着
・剥離転写からなる一連の操作を反復実施することがで
きる。
The electrodeposited substrate 1 after the colored patterns 8R, 8G, 8B are transferred onto the glass substrate 11 to form the colored layer as described above can be used again. Therefore, once the electrodeposited substrate 1 is prepared like a printing plate, a series of operations including electrodeposition and peeling transfer can be repeatedly performed.

【0022】次に、実験例を示して本発明を更に詳細に
説明する。 (実験例)厚さ100μmのステンレス基板(藤田金属
(株)製 SUS304,H0.10)上にポリイミド
樹脂(東レ(株)製 フォトニース)をスピンコート法
により塗布し加熱(400℃)硬化してポリイミド樹脂
層(厚さ0.8μm)を形成した。
Next, the present invention will be described in more detail with reference to experimental examples. (Experimental example) A 100 μm thick stainless steel substrate (SUS304, H0.10 manufactured by Fujita Metal Co., Ltd.) was coated with a polyimide resin (Photo Nice manufactured by Toray Co., Ltd.) by a spin coating method and cured by heating (400 ° C.). To form a polyimide resin layer (thickness 0.8 μm).

【0023】次に、ポリイミド樹脂層上に酸化インジウ
ムスズ(ITO)をスパッタリング法により成膜して厚
さ0.13μmの透明導電性膜を形成した。さらに、こ
の透明導電性膜上に感光性レジストを塗布し、パターン
露光、現像、洗浄、乾燥、エッチング、レジスト除去か
らなる一連のフォトエッチング法によりポリイミド樹脂
層上に透明電極(電極幅=100μm、電極間隙=50
μm)を形成して本発明の電着基板を得た。
Next, indium tin oxide (ITO) was deposited on the polyimide resin layer by a sputtering method to form a transparent conductive film having a thickness of 0.13 μm. Further, a photosensitive resist is applied on the transparent conductive film, and a transparent electrode (electrode width = 100 μm, electrode width = 100 μm, Electrode gap = 50
μm) was formed to obtain an electrodeposited substrate of the present invention.

【0024】比較として、ステンレス基板の代りに、ポ
リエステルフィルム(帝人(株)製Tコート・SA40
−125、厚さ=125μm)の表面に導電層としての
ITO(厚さ=0.1μm)を用いた他は、上記と同様
にして比較例としての電着基板を得た。
For comparison, a polyester film (T coat SA40 manufactured by Teijin Ltd.) was used instead of the stainless steel substrate.
An electrodeposited substrate as a comparative example was obtained in the same manner as above except that ITO (thickness = 0.1 μm) was used as the conductive layer on the surface of −125, thickness = 125 μm).

【0025】一方、アニオン型の電着材料(日本石油化
学(株)製 オリゴーED)を残留固体分が13.5重
量%となるように純水で希釈したものに赤色顔料ピグメ
ントレッドを5重量%の割合で添加して赤色着パターン
用の電着液を調製した。そして、この電着液中に、透明
電極を陽極、白金電極を陰極とし、電極間隔30mmとな
るように上記の各電着基板を浸漬し、透明電極のうち赤
色着色パターンを形成する透明電極にのみ選択的に10
mAの定電流を60秒間通電して電着を行った。次に、電
着液から取り出した基板を十分に水洗した後、80℃、
10分間の乾燥を行って透明性の良好な赤色の着色パタ
ーンを形成した。
On the other hand, an anion type electrodeposition material (Oligo-ED manufactured by Nippon Petrochemical Co., Ltd.) was diluted with pure water so that the residual solid content was 13.5% by weight, and 5% by weight of red pigment Pigment Red was added. % To prepare an electrodeposition solution for red pattern. Then, in the electrodeposition liquid, the transparent electrode was used as an anode and the platinum electrode was used as a cathode, and each of the above electrodeposition substrates was immersed so that the electrode interval was 30 mm. Only 10 selectively
A constant current of mA was applied for 60 seconds to carry out electrodeposition. Next, after washing the substrate taken out from the electrodeposition solution thoroughly with water,
It was dried for 10 minutes to form a red colored pattern having good transparency.

【0026】次に、赤色顔料の代りに緑色顔料フタロシ
アニングリーンを用いた他は上記の赤色着色パターン用
の電着液と同様にして緑色着色パターン用の電着液を調
製した。そして、この緑色着色パターン用の電着液を用
いて上記の赤色着色パターンの形成と同一条件で電着を
行った。次に、電着液から取り出した基板を十分に水洗
した後、80℃、10分間の乾燥を行って透明性の良好
な緑色の着色パターンを形成した。
Next, an electrodeposition solution for green coloring pattern was prepared in the same manner as the above-mentioned electrodeposition solution for red coloring pattern except that green pigment phthalocyanine green was used in place of the red pigment. Then, the electrodeposition liquid for this green colored pattern was used to perform electrodeposition under the same conditions as the above-mentioned formation of the red colored pattern. Next, the substrate taken out from the electrodeposition liquid was thoroughly washed with water and then dried at 80 ° C. for 10 minutes to form a green colored pattern having good transparency.

【0027】さらに、赤色顔料の代りに青色顔料フタロ
シアニンブルーを用いた他は上記の赤色着色パターン用
の電着液と同様にして青色着色パターン用の電着液を調
製した。そして、この青色着色パターン用の電着液を用
いて上記の赤色着色パターンの形成と同一条件で電着を
行った。次に、電着液から取り出した基板を十分に水洗
した後、80℃、10分間の乾燥を行って透明性の良好
な青色の着色パターンを形成した。
Furthermore, a blue pigment phthalocyanine blue was used in place of the red pigment, and an electrodeposition solution for blue coloring pattern was prepared in the same manner as the above-mentioned electrodeposition solution for red coloring pattern. Then, electrodeposition was carried out using this electrodeposition liquid for blue colored pattern under the same conditions as the formation of the above red colored pattern. Next, the substrate taken out from the electrodeposition liquid was thoroughly washed with water and then dried at 80 ° C. for 10 minutes to form a blue colored pattern having good transparency.

【0028】次に、厚さ1.1mmのガラス上に、「I
NC−100」(日本化薬社製)とイソボニルアクリレ
ート(ソマール社製)とを1:1の割合で混合し、これ
に光開始剤および増感剤を2重量%ずつ添加してなり、
ガラス密着性に優れた紫外線硬化性プライマーを膜厚2
μmとなるようにスピンナー塗布法を採用して塗布し
た。このガラス基板のプライマー面と上記の電着基板の
着色パターンとを密着した状態で、ガラス基板側から紫
外線を照射して紫外線硬化性プライマーを硬化させ、電
着基板を剥離することにより、電着基板からガラス基板
上へ着色パターンを転写して着色層を形成した。
Then, "I" was placed on a glass plate having a thickness of 1.1 mm.
NC-100 "(manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.) and isobonyl acrylate (manufactured by Somar Co.) were mixed at a ratio of 1: 1 and a photoinitiator and a sensitizer were added in an amount of 2% by weight.
UV-curable primer with excellent glass adhesion film thickness 2
The spinner coating method was applied so that the thickness became μm. In the state where the primer surface of this glass substrate and the colored pattern of the electrodeposition substrate are in close contact with each other, ultraviolet rays are irradiated from the glass substrate side to cure the ultraviolet curable primer, and the electrodeposition substrate is peeled off, thereby performing electrodeposition. A colored pattern was transferred from the substrate onto the glass substrate to form a colored layer.

【0029】この着色パターンの精度(マスクに対する
パターンのトータルピッチの変化)は、本発明の電着基
板を用いたものでは1μm以下、比較としての電着基板
を用いたものでは6〜20μmであった。
The accuracy of this colored pattern (change in the total pitch of the pattern with respect to the mask) is 1 μm or less in the case of using the electrodeposited substrate of the present invention, and 6 to 20 μm in the case of using the electrodeposited substrate for comparison. It was

【0030】次に、着色パターンを形成したガラス基板
上にスピンコート法(回転数=1500r.p.m.)により
下記組成の感光性レジストを塗布し、その後、70℃、
5分間の条件で乾燥して感光性レジスト層(厚さ=1μ
m)を形成した。 (感光性レジストの組成) ・ポリビニルアルコール10%水溶液 (日本合成化学製ゴーセナールT−330) …20重量部 ・ジアゾ樹脂10%水溶液(シンコー技研製D−011) …20重量部 ・水 …15重量部 次に、感光性レジスト層に対してブラックマトリックス
用のフォトマスク(線幅=50μm)を介して露光を行
った。露光用の光源は超高圧水銀灯2kwを用い、10
秒間照射した。その後、常温の水を用いてスプレー現像
を行いエアー乾燥して、上記の着色層間にブラックマト
リックス用のレリーフを形成した。
Next, a photosensitive resist having the following composition was applied on the glass substrate on which the colored pattern was formed by the spin coating method (rotation speed = 1500 rpm), and then at 70 ° C.
After drying for 5 minutes, the photosensitive resist layer (thickness = 1μ
m) was formed. (Composition of photosensitive resist) -Polyvinyl alcohol 10% aqueous solution (Nippon Gosei Chemical's Gohsenal T-330) ... 20 parts by weight-Diazo resin 10% aqueous solution (Shinko Giken D-011) ... 20 parts by weight-Water ... 15 parts by weight Next, the photosensitive resist layer was exposed through a photomask for black matrix (line width = 50 μm). The light source for exposure was a super high pressure mercury lamp of 2 kW and 10
Irradiated for 2 seconds. Then, spray development was performed using water at room temperature and air drying was performed to form a relief for the black matrix between the colored layers.

【0031】つぎに、このガラス基板に150℃、30
分間の熱処理を施し、その後、レリーフ上に塩化パラジ
ウム水溶液(日本カニゼン製レッドシューマー)をスプ
レー塗布し、水洗、水切りして、上記のレリーフを触媒
含有レリーフとした。
Next, this glass substrate was placed at 150 ° C. and 30 ° C.
After heat treatment for 1 minute, an aqueous palladium chloride solution (Nippon Kanigen's Red Schumer) was spray-coated on the relief, washed with water and drained to give the relief as a catalyst-containing relief.

【0032】その後、透明基板をホウ素系還元剤を含む
30℃のニッケルメッキ液(奥野製薬製ニッケルメッキ
液トップケミアロイB−1)に5分間浸漬させ、水洗乾
燥してブラックマトリックスを形成してカラーフィルタ
を得た。
Thereafter, the transparent substrate is immersed in a nickel plating solution (nickel plating solution Top Chemialoy B-1 manufactured by Okuno Seiyaku Co., Ltd.) at 30 ° C. containing a boron-based reducing agent for 5 minutes, washed with water and dried to form a black matrix. I got a color filter.

【0033】さらに、得られたカラーフィルタを用いて
液晶ディスプレイ(LCD)を作成し、カラー画像を表
示させたところ、色ずれや滲みのない良好なカラー画像
が表示された。
Further, a liquid crystal display (LCD) was prepared using the obtained color filter and a color image was displayed. As a result, a good color image without color shift or bleeding was displayed.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば電
着基板がステンレス基板を備えていることにより、電着
形成した着色パターンを透明基板上に転写する際の電着
基板の寸法変化がほとんどなく、また、ステンレス基板
の一方の表面に形成されたポリイミド樹脂層の平滑性が
高いので、このポリイミド樹脂層上に形成された電極の
平滑性も高く、高精度で平滑性の高いカラーフィルタを
効率よく得ることが可能である。
As described above in detail, according to the present invention, since the electrodeposition substrate is provided with the stainless substrate, the size of the electrodeposition substrate when the colored pattern formed by electrodeposition is transferred onto the transparent substrate. There is almost no change, and because the polyimide resin layer formed on one surface of the stainless steel substrate has high smoothness, the electrode formed on this polyimide resin layer also has high smoothness, which is highly accurate and highly smooth. It is possible to efficiently obtain a color filter.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の電着基板を示す概略断面図である。FIG. 1 is a schematic sectional view showing an electrodeposition substrate of the present invention.

【図2】本発明の電着基板の製造例を説明するための図
である。図1に示される液晶ディスプレイの概略断面図
である。
FIG. 2 is a diagram for explaining an example of manufacturing the electrodeposition substrate of the present invention. It is a schematic sectional drawing of the liquid crystal display shown by FIG.

【図3】本発明の電着基板を用いたカラーフィルタ製造
における転写段階を説明するための図である。
FIG. 3 is a diagram for explaining a transfer step in manufacturing a color filter using the electrodeposition substrate of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…電着基板 2…ステンレス基板 3…ポリイミド樹脂層 5…電極 1 ... Electrodeposited substrate 2 ... Stainless steel substrate 3 ... Polyimide resin layer 5 ... Electrode

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ステンレス基板と、該ステンレス基板の
一方の表面に形成されたポリイミド樹脂層と、該ポリイ
ミド樹脂層上に所定のパターンで形成された電極とを備
えたことを特徴とする電着基板。
1. An electrodeposition comprising a stainless steel substrate, a polyimide resin layer formed on one surface of the stainless steel substrate, and an electrode formed in a predetermined pattern on the polyimide resin layer. substrate.
JP6524693A 1993-03-24 1993-03-24 Electrodeposition substrate Pending JPH06275930A (en)

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