JPH06268442A - 温度補償型水晶発振回路 - Google Patents
温度補償型水晶発振回路Info
- Publication number
- JPH06268442A JPH06268442A JP5620293A JP5620293A JPH06268442A JP H06268442 A JPH06268442 A JP H06268442A JP 5620293 A JP5620293 A JP 5620293A JP 5620293 A JP5620293 A JP 5620293A JP H06268442 A JPH06268442 A JP H06268442A
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- JP
- Japan
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- oscillation
- temperature
- crystal
- frequency
- circuit
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- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
- Inductance-Capacitance Distribution Constants And Capacitance-Resistance Oscillators (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 デュアル発振型温度補償回路の生産効率の向
上と小型化を可能とする。 【構成】 温度センサーとして音叉型水晶振動子または
長辺縦振動子を用い、かつ、温度当センサー用水晶振動
子３と基準発振用水晶振動子２を並列に接続し、デュア
ル発振回路１にて前記温度センサー用水晶振動子３と基
準発振用水晶振動子２を同時に発振させ、デジタル的に
基準発振周波数の温度特性を補正する。
上と小型化を可能とする。 【構成】 温度センサーとして音叉型水晶振動子または
長辺縦振動子を用い、かつ、温度当センサー用水晶振動
子３と基準発振用水晶振動子２を並列に接続し、デュア
ル発振回路１にて前記温度センサー用水晶振動子３と基
準発振用水晶振動子２を同時に発振させ、デジタル的に
基準発振周波数の温度特性を補正する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、移動通信、携帯無線
機等の民生用情報機器に利用される温度補償型水晶発振
回路に関する。
機等の民生用情報機器に利用される温度補償型水晶発振
回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の温度補償型水晶発振回路は、第２
図及び第３図にて示すような２種類または両者の混合型
の回路構成に大別されていた。第２図に示す発振回路
は、発振周波数の持つ負荷容量依存性を利用してアナロ
グ的に、発振周波数の温度特性を補償するタイプであ
る。
図及び第３図にて示すような２種類または両者の混合型
の回路構成に大別されていた。第２図に示す発振回路
は、発振周波数の持つ負荷容量依存性を利用してアナロ
グ的に、発振周波数の温度特性を補償するタイプであ
る。
【０００３】すなわち、図２において、サーミスタの組
み合わせにより構成される感温素子１１は、温度変化を
電圧変化に変換する。この電圧変化はコンデンサ１２及
び容量可変ダイオード１３より構成される発振部１４の
負荷容量を変化させる。この負荷容量変化によって、基
準水晶振動子１５及び発振回路１６で発生する発振周波
数１７は変化する。この様な原理を用いて、コンデンサ
ー１２及び容量可変ダイオード１３、さらには感温素子
１１に使用するサーミスタの温度特性を適当に組み合わ
せれば、温度変化に対して高安定な発振周波数Ｆout１
７を出力する水晶発振回路が実現できる。
み合わせにより構成される感温素子１１は、温度変化を
電圧変化に変換する。この電圧変化はコンデンサ１２及
び容量可変ダイオード１３より構成される発振部１４の
負荷容量を変化させる。この負荷容量変化によって、基
準水晶振動子１５及び発振回路１６で発生する発振周波
数１７は変化する。この様な原理を用いて、コンデンサ
ー１２及び容量可変ダイオード１３、さらには感温素子
１１に使用するサーミスタの温度特性を適当に組み合わ
せれば、温度変化に対して高安定な発振周波数Ｆout１
７を出力する水晶発振回路が実現できる。
【０００４】以上がアナログ的な温度補償回路の原理で
ある。次に図３について説明する。これは、デュアル発
振とデジタル制御を組み合わせた温度補償回路である。
すなわち、１個の基準水晶振動子１８と発振回路１９に
て、大きな温度係数を持つ固有周波数Ｆs２０と基準周
波数Ｆo２１を同時に発振させ、各々、特性の異なるフ
ィルター２２、２３によって、２個の信号に分離する。
この部分がデュアル発振部２４であり、１個の水晶振動
子で２種の信号を発振させる事を「デュアル発振」と呼
んでいる。これら２種の信号は、デジタル制御部２５に
入力される。この時、周波数Ｆｓ２０は温度センサーの
役目を持っている。このデジタル制御部２５で、基準周
波数Ｆo２１はセンサー周波数Ｆｓ２０により温度補償
を受ける。そして、最終的に温度変化に対して高安定な
発振周波数Ｆout２６が出力される。
ある。次に図３について説明する。これは、デュアル発
振とデジタル制御を組み合わせた温度補償回路である。
すなわち、１個の基準水晶振動子１８と発振回路１９に
て、大きな温度係数を持つ固有周波数Ｆs２０と基準周
波数Ｆo２１を同時に発振させ、各々、特性の異なるフ
ィルター２２、２３によって、２個の信号に分離する。
この部分がデュアル発振部２４であり、１個の水晶振動
子で２種の信号を発振させる事を「デュアル発振」と呼
んでいる。これら２種の信号は、デジタル制御部２５に
入力される。この時、周波数Ｆｓ２０は温度センサーの
役目を持っている。このデジタル制御部２５で、基準周
波数Ｆo２１はセンサー周波数Ｆｓ２０により温度補償
を受ける。そして、最終的に温度変化に対して高安定な
発振周波数Ｆout２６が出力される。
【０００５】以上が、デュアル発振とデジタル制御を組
み合せた温度補償発振回路の原理である。この種の発振
回路の詳細に関しては、例えば、第２０回ＥＭシンポジ
ウム（波動デバイス・周波数制御シンポジウム）で、デ
ュアル水晶発振器として発表されている。
み合せた温度補償発振回路の原理である。この種の発振
回路の詳細に関しては、例えば、第２０回ＥＭシンポジ
ウム（波動デバイス・周波数制御シンポジウム）で、デ
ュアル水晶発振器として発表されている。
【０００６】
【発明が解決しようとする問題点】図２にて示したアナ
ログ的温度補償回路では、感温素子１１と基準水晶振動
子１５の物性に起因する熱伝導率の相違が、過渡状態に
おいて周波数の温度補償精度の劣化を生み出すという欠
点があった。この対策として、近年、図３に示すような
デュアル発振とデジタル制御を組み合せた温度補償回路
（以下、デュアル温度補償回路と略す。）が提案されて
いる。
ログ的温度補償回路では、感温素子１１と基準水晶振動
子１５の物性に起因する熱伝導率の相違が、過渡状態に
おいて周波数の温度補償精度の劣化を生み出すという欠
点があった。この対策として、近年、図３に示すような
デュアル発振とデジタル制御を組み合せた温度補償回路
（以下、デュアル温度補償回路と略す。）が提案されて
いる。
【０００７】デュアル温度補償回路では３つの大きな特
徴がある。第１は、１個の水晶振動子から基準周波数と
センサー用周波数を取り出す為に、先に述べた熱伝導率
の相違が無い点。第２は、デジタル的な温度補償が採用
されている点。第３は、デュアル発振回路を採用してい
る為に発振回路部が小型になる点の３つの大きな特徴か
らデュアル温度補償回路は、アナログ的な温度補償回路
と比較して、より高精度化及び小型化に適していると結
論できる。
徴がある。第１は、１個の水晶振動子から基準周波数と
センサー用周波数を取り出す為に、先に述べた熱伝導率
の相違が無い点。第２は、デジタル的な温度補償が採用
されている点。第３は、デュアル発振回路を採用してい
る為に発振回路部が小型になる点の３つの大きな特徴か
らデュアル温度補償回路は、アナログ的な温度補償回路
と比較して、より高精度化及び小型化に適していると結
論できる。
【０００８】通常、デュアル温度補償回路に使用される
水晶振動子は、ＡＴまたはＳＣカットである。しかし、
デュアル発振用の水晶振動子本体に電気的に安定な２つ
の固有振動を実現させるという厳しい設計条件が課せら
れる為に、水晶振動子の形状が非常に大きくなるばかり
でなく、振動子の製造歩留まりも低いと言う大きな欠点
がある。以上の理由により、デュアル温度補償回路の生
産効率が低いばかりでなく回路の小型化も実現できない
と言う問題点がある。
水晶振動子は、ＡＴまたはＳＣカットである。しかし、
デュアル発振用の水晶振動子本体に電気的に安定な２つ
の固有振動を実現させるという厳しい設計条件が課せら
れる為に、水晶振動子の形状が非常に大きくなるばかり
でなく、振動子の製造歩留まりも低いと言う大きな欠点
がある。以上の理由により、デュアル温度補償回路の生
産効率が低いばかりでなく回路の小型化も実現できない
と言う問題点がある。
【０００９】そこで、この発明の目的は、この様な水晶
振動子に起因した問題を解決し、デュアル温度補償回路
の生産効率を向上させると共に小型化をはかることにあ
る。
振動子に起因した問題を解決し、デュアル温度補償回路
の生産効率を向上させると共に小型化をはかることにあ
る。
【００１０】
【問題を解決する為の手段】上記の問題点を解決する為
に、１つの水晶振動子により２つの固有周波数を同時発
振させる構成ではなく、温度特性及び振動モードの異な
る２種の水晶振動子を並列に接続する事により、デュア
ル発振させる構成を採用した。
に、１つの水晶振動子により２つの固有周波数を同時発
振させる構成ではなく、温度特性及び振動モードの異な
る２種の水晶振動子を並列に接続する事により、デュア
ル発振させる構成を採用した。
【００１１】これら、２種の水晶振動子のうち１つは、
短冊状のＡＴまたはＳＣカットである。また、他の１つ
は、温度センサーの役目を果たす小型の音叉型水晶振動
子または長辺縦水晶振動子である。
短冊状のＡＴまたはＳＣカットである。また、他の１つ
は、温度センサーの役目を果たす小型の音叉型水晶振動
子または長辺縦水晶振動子である。
【００１２】
【作用】図４で確認するように、代表的なデュアル温度
補償回路用の水晶振動子（ＡＴまたはＳＣカット）の外
形は非常に大きな形状をしている。ＡＴまたはＳＣカッ
トの基準周波数となる主振動モードは双方共に厚みすべ
り振動（以下、ＴＳモードと略す）である。このＴＳモ
ードのみを励振させる目的ならば、図４に示した様な非
常に大きな形状ではなく、図５に示す小型タイプの振動
子が歩留まり良く製造できる事が知られており、小型化
が要求される発振回路においては主流の振動子となって
いる。ちなみに、図５記載のＴＳモード振動子の振動子
片形状は、短冊状である事は言うまでもない。
補償回路用の水晶振動子（ＡＴまたはＳＣカット）の外
形は非常に大きな形状をしている。ＡＴまたはＳＣカッ
トの基準周波数となる主振動モードは双方共に厚みすべ
り振動（以下、ＴＳモードと略す）である。このＴＳモ
ードのみを励振させる目的ならば、図４に示した様な非
常に大きな形状ではなく、図５に示す小型タイプの振動
子が歩留まり良く製造できる事が知られており、小型化
が要求される発振回路においては主流の振動子となって
いる。ちなみに、図５記載のＴＳモード振動子の振動子
片形状は、短冊状である事は言うまでもない。
【００１３】
【実施例】以下に、この発明の実施例を図面に基ずいて
説明する。近年、水晶振動子を用いた小型の温度センサ
ーも良く知られている。この水晶温度センサーは、音叉
型水晶振動子や長辺縦振動子が利用されている。これら
の振動子は、図５にて示したＴＳモード振動子以上に小
型化が実現できている。図６にて、水晶温度センサーの
形状外観図を示す。
説明する。近年、水晶振動子を用いた小型の温度センサ
ーも良く知られている。この水晶温度センサーは、音叉
型水晶振動子や長辺縦振動子が利用されている。これら
の振動子は、図５にて示したＴＳモード振動子以上に小
型化が実現できている。図６にて、水晶温度センサーの
形状外観図を示す。
【００１４】以上の様に１つの振動子に対して、２つの
電気的に安定な振動を要求しなければ、水晶振動子とし
ては非常な小型化が実現できているのである。すなわ
ち、図５記載のＴＳモード振動子においては、例えば
（１）の３mm×８mm、（２）の２mm×６mmのチューブタ
イプ及び（３）の７mm×４mm×３mm程度のサーフェイス
マウントタイプが実現されている。さらに、図６記載の
温度センサー用水晶振動子にては、例えば（１）の２mm
×６mm、（２）の１．５mm×６mm、（３）の１mm×５mm
のチューブタイプ及び（３）の５mm×３mm×２mm程度の
サーフェイスマウントタイプが実現されている。よっ
て、両者を組み合わせる事で図４に示したデュアル発振
用振動子に比較してより小型な水晶ユニットが実現でき
る事が判明する。
電気的に安定な振動を要求しなければ、水晶振動子とし
ては非常な小型化が実現できているのである。すなわ
ち、図５記載のＴＳモード振動子においては、例えば
（１）の３mm×８mm、（２）の２mm×６mmのチューブタ
イプ及び（３）の７mm×４mm×３mm程度のサーフェイス
マウントタイプが実現されている。さらに、図６記載の
温度センサー用水晶振動子にては、例えば（１）の２mm
×６mm、（２）の１．５mm×６mm、（３）の１mm×５mm
のチューブタイプ及び（３）の５mm×３mm×２mm程度の
サーフェイスマウントタイプが実現されている。よっ
て、両者を組み合わせる事で図４に示したデュアル発振
用振動子に比較してより小型な水晶ユニットが実現でき
る事が判明する。
【００１５】次に、ＴＳモード及び温度センサー用振動
子の電気的等価回路を図７に示す。この等価回路図は、
どの様な振動モードにおいても共通であり、内部の等価
定数の値が相違するだけである。すなわち、図７（１）
がＴＳモード水晶振動子の等価回路であって、それぞ
れ、等価容量Ｃ1 ２７、等価抵抗Ｒ1 ２８、等価インダ
クタンスＬ1 ２９及び電極間容量Ｃo ３０より構成され
ている。また、第７図（２）は、温度センサー用振動子
の等価回路で、それぞれ、等価容量Ｃ1 ′３１、等価抵
抗Ｒ1′ ３２、等価インダクタンスＬ1′３３及び電極
間容量Ｃo′３４より構成されている。
子の電気的等価回路を図７に示す。この等価回路図は、
どの様な振動モードにおいても共通であり、内部の等価
定数の値が相違するだけである。すなわち、図７（１）
がＴＳモード水晶振動子の等価回路であって、それぞ
れ、等価容量Ｃ1 ２７、等価抵抗Ｒ1 ２８、等価インダ
クタンスＬ1 ２９及び電極間容量Ｃo ３０より構成され
ている。また、第７図（２）は、温度センサー用振動子
の等価回路で、それぞれ、等価容量Ｃ1 ′３１、等価抵
抗Ｒ1′ ３２、等価インダクタンスＬ1′３３及び電極
間容量Ｃo′３４より構成されている。
【００１６】これら２つの振動子を並列に接続した時の
等価回路を第８図に示す。並列接続した場合、等価回路
はＴＳモード部３５と温度センサー部３６の２つに分離
された形になっている。ただ、電極間容量３７のみが両
者の和となっている。すなわち、この等価回路は、２つ
の振動をもつ１個の水晶振動子とみなす事ができるの
で、デュアル発振用振動子の等価回路と同等になる。ま
た、２つの水晶振動子の組み合わせである為、両者の熱
伝導率の差も無視できる程度に小さい。
等価回路を第８図に示す。並列接続した場合、等価回路
はＴＳモード部３５と温度センサー部３６の２つに分離
された形になっている。ただ、電極間容量３７のみが両
者の和となっている。すなわち、この等価回路は、２つ
の振動をもつ１個の水晶振動子とみなす事ができるの
で、デュアル発振用振動子の等価回路と同等になる。ま
た、２つの水晶振動子の組み合わせである為、両者の熱
伝導率の差も無視できる程度に小さい。
【００１７】この様にＴＳモード水晶振動子と温度セン
サー水晶振動子を並列に接続する事によりデュアル発振
用振動子の性質を実現できるだけでなく、２つの小型振
動子に分離させた事によって、トータル的な水晶ユニッ
ト部の小型化が実現される事になる。さらにまた、これ
ら２つの小型振動子の良好な生産効率によって、回路製
造の効率も向上する事になる。
サー水晶振動子を並列に接続する事によりデュアル発振
用振動子の性質を実現できるだけでなく、２つの小型振
動子に分離させた事によって、トータル的な水晶ユニッ
ト部の小型化が実現される事になる。さらにまた、これ
ら２つの小型振動子の良好な生産効率によって、回路製
造の効率も向上する事になる。
【００１８】図１は、この発明を示したブッロク図であ
る。デュアル発振部１において、基準発振源となるＴＳ
モード水晶振動子２と温度センサー用水晶振動子３が並
列に接続されている。これらＴＳモード水晶振動子２と
温度センサー用水晶振動子３は図５、図６記載の小型形
状の振動子である事は言うまでもない。
る。デュアル発振部１において、基準発振源となるＴＳ
モード水晶振動子２と温度センサー用水晶振動子３が並
列に接続されている。これらＴＳモード水晶振動子２と
温度センサー用水晶振動子３は図５、図６記載の小型形
状の振動子である事は言うまでもない。
【００１９】すなわち、両者の水晶振動子の収容器は、
チューブタイプまたはサーフェイスマウントタイプであ
る。発振回路４及びフィルター５、６にて、２つの発振
周波数Ｆts７とＦs８に分離される。ここで、発振周波
数Ｆs８が温度センサー周波数となる。これら２つの周
波数はデジタル制御部９に入力する。このデジタル制御
部９にて、発振周波数Ｆts７は温度センサー周波数Ｆs
８により、温度補償を受ける。その結果として、温度変
化に対して高安定な発振周波数Ｆout １０が出力され
る。
チューブタイプまたはサーフェイスマウントタイプであ
る。発振回路４及びフィルター５、６にて、２つの発振
周波数Ｆts７とＦs８に分離される。ここで、発振周波
数Ｆs８が温度センサー周波数となる。これら２つの周
波数はデジタル制御部９に入力する。このデジタル制御
部９にて、発振周波数Ｆts７は温度センサー周波数Ｆs
８により、温度補償を受ける。その結果として、温度変
化に対して高安定な発振周波数Ｆout １０が出力され
る。
【００２０】ちなみに、図１の実施例において、２つの
振動子の周波数や温度特性の相違から生じる発振回路
４、フィルター５、６及びデジタル制御部９等の詳細な
構成は単なる設計事項にすぎないので、この発明に対し
て何んら本質的な影響を与えるものではない。
振動子の周波数や温度特性の相違から生じる発振回路
４、フィルター５、６及びデジタル制御部９等の詳細な
構成は単なる設計事項にすぎないので、この発明に対し
て何んら本質的な影響を与えるものではない。
【００２１】
【発明の効果】以上説明した様に、温度センサーとして
音叉型水晶振動子または長辺縦振動子を用い、かつ温度
センサー用水晶振動子と基準発振用水晶振動子を並列に
接続した手段により、デュアル発振用水晶ユニットを小
型化すると共に生産効率を向上させるという効果があ
る。
音叉型水晶振動子または長辺縦振動子を用い、かつ温度
センサー用水晶振動子と基準発振用水晶振動子を並列に
接続した手段により、デュアル発振用水晶ユニットを小
型化すると共に生産効率を向上させるという効果があ
る。
【図１】本発明の温度補償型水晶発振回路の実施例を示
すブロック図である。
すブロック図である。
【図２】従来のアナログ的な温度補償型水晶発振回路の
構成を示すブロック図である。
構成を示すブロック図である。
【図３】従来のデュアル発振回路とデジタル制御を組み
合わせた温度補償型水晶発振回路の構成を示すブロック
図である。
合わせた温度補償型水晶発振回路の構成を示すブロック
図である。
【図４】代表的なデュアル温度補償回路用水晶振動子の
寸法形状を示す斜視図である。
寸法形状を示す斜視図である。
【図５】（１）、（２）、（３）は本発明に使用する基
準周波数発振用厚みすべり水晶振動子の寸法形状を示す
斜視図である。
準周波数発振用厚みすべり水晶振動子の寸法形状を示す
斜視図である。
【図６】（１）、（２）、（３）、（４）は本発明に使
用する温度センサー用水晶振動子の寸法形状を示す斜視
図である。
用する温度センサー用水晶振動子の寸法形状を示す斜視
図である。
【図７】（１）、（２）は本発明に使用する基準周波数
発振用厚みすべり及び温度センサー用水晶振動子の電気
的等価回路と等価定数を示す図である。
発振用厚みすべり及び温度センサー用水晶振動子の電気
的等価回路と等価定数を示す図である。
【図８】本発明に使用する並列接続された基準周波数発
振用厚みすべり振動子と温度センサー用水晶振動子の電
気的等価回路と等価定数を示す図である。
振用厚みすべり振動子と温度センサー用水晶振動子の電
気的等価回路と等価定数を示す図である。
１ デュアル発振部 ２ ＴＳモード水晶振動子 ３ 温度センサー用水晶振動子 ４ 発振回路 ５、６ フィルター ７ 発振周波数Ｆts ８ 発振周波数Ｆｓ ９ デジタル制御部 １０ 発振周波数Ｆout
Claims (3)
- 【請求項１】 温度センサーとして音叉型水晶振動子ま
たは長辺縦水晶振動子を用い、かつ、前記センサー用水
晶振動子と、該センサー用水晶振動子とは別に設けた基
準発振用水晶振動子とを並列に接続し、発振回路にて前
記センサー用振動子と基準発振用水晶振動子を同時に発
振させ、デジタル的に基準発振周波数の温度特性を補正
する事を特徴とする温度補償型水晶発振回路の構成。 - 【請求項２】 前記基準発振用水晶振動子は、厚みすべ
り振動のみを励振目的として設計された事を特徴とする
請求項１記載の温度補償型水晶発振回路。 - 【請求項３】 前記基準発振用水晶振動子及びセンサー
用水晶振動子の収容器がそれぞれ、小型のチューブタイ
プまたはサーフェースマウントタイプである事を特徴と
する請求項１及び請求項２記載の温度補償型水晶発振回
路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05620293A JP3155113B2 (ja) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | 温度補償型水晶発振回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP05620293A JP3155113B2 (ja) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | 温度補償型水晶発振回路 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06268442A true JPH06268442A (ja) | 1994-09-22 |
| JP3155113B2 JP3155113B2 (ja) | 2001-04-09 |
Family
ID=13020537
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP05620293A Expired - Fee Related JP3155113B2 (ja) | 1993-03-16 | 1993-03-16 | 温度補償型水晶発振回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3155113B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006292733A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-10-26 | Yoshinori Kanno | 水晶マイクロバランスセンサー装置 |
| US7259636B2 (en) | 2001-01-16 | 2007-08-21 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Synchronous signal generator using a crystal oscillator and filter |
| JP2010169550A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Epson Toyocom Corp | 応力検出装置 |
| CN113740560A (zh) * | 2021-08-20 | 2021-12-03 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 一种弱耦合谐振式加速度传感器 |
-
1993
- 1993-03-16 JP JP05620293A patent/JP3155113B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7259636B2 (en) | 2001-01-16 | 2007-08-21 | Nihon Dempa Kogyo Co., Ltd. | Synchronous signal generator using a crystal oscillator and filter |
| JP2006292733A (ja) * | 2005-03-15 | 2006-10-26 | Yoshinori Kanno | 水晶マイクロバランスセンサー装置 |
| JP2010169550A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Epson Toyocom Corp | 応力検出装置 |
| CN113740560A (zh) * | 2021-08-20 | 2021-12-03 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 一种弱耦合谐振式加速度传感器 |
| CN113740560B (zh) * | 2021-08-20 | 2023-07-11 | 中国科学院空天信息创新研究院 | 一种弱耦合谐振式加速度传感器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3155113B2 (ja) | 2001-04-09 |
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