JPH06265425A - リーク判断機能付圧力センサ - Google Patents
リーク判断機能付圧力センサInfo
- Publication number
- JPH06265425A JPH06265425A JP7741093A JP7741093A JPH06265425A JP H06265425 A JPH06265425 A JP H06265425A JP 7741093 A JP7741093 A JP 7741093A JP 7741093 A JP7741093 A JP 7741093A JP H06265425 A JPH06265425 A JP H06265425A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure sensor
- sensor element
- function
- pressure
- amount
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 アナログ−ディジタル変換部での誤差を取り
除き、検出精度の良好な、かつ従来の配管が長くなるこ
とによるリークを防止することを目的とするものであ
る。 【構成】 圧力センサ素子と、温度センサおよび演算器
を組み合わせ、この演算器には圧力センサ素子の圧力の
低下量または上昇量を設定できる機能、圧力センサ素子
の測定期間を設定できる機能、圧力センサ素子の測定期
間中に、ある一定時間毎に測定する機能、かつその一定
時間を設定できる機能、ある一定時間毎に測定した圧力
センサ素子による測定値を保有し、かつ読み出しできる
機能、圧力センサ素子の圧力の低下量または上昇量があ
らかじめ設定した値を越えたときにアラーム信号を出力
し、かつ圧力センサ素子の圧力の低下量または上昇量が
あらかじめ設定した値の範囲内にあるときに正常信号を
出力する機能をもたせる。
除き、検出精度の良好な、かつ従来の配管が長くなるこ
とによるリークを防止することを目的とするものであ
る。 【構成】 圧力センサ素子と、温度センサおよび演算器
を組み合わせ、この演算器には圧力センサ素子の圧力の
低下量または上昇量を設定できる機能、圧力センサ素子
の測定期間を設定できる機能、圧力センサ素子の測定期
間中に、ある一定時間毎に測定する機能、かつその一定
時間を設定できる機能、ある一定時間毎に測定した圧力
センサ素子による測定値を保有し、かつ読み出しできる
機能、圧力センサ素子の圧力の低下量または上昇量があ
らかじめ設定した値を越えたときにアラーム信号を出力
し、かつ圧力センサ素子の圧力の低下量または上昇量が
あらかじめ設定した値の範囲内にあるときに正常信号を
出力する機能をもたせる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明はリーク判断機能付圧力
センサに関するものである。
センサに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来圧力センサのリーク量を検出する手
段として、リークテスタすなわちリーク試験機により検
出するものがあるが、下記のような短所を持っている。
すなわち、圧力センサのリーク量の判断機能を有する制
御基板や、パーソナルコンピュータ等と圧力センサを組
み合わせてリーク量判断を行っているため、装置が複雑
で、大型化し、高価格である。またアナログ出力タイプ
の圧力センサと組み合わせた場合、圧力センサの誤差に
さらに制御基板やパーソナルコンピュータ等におけるＡ
／Ｄ部での誤差が追加され、検出精度が悪くなる。さら
にリーク被検出対象装置にリークテスタを直接取付ける
ことが出来ないため、長い配管にて対象装置からリーク
テスタへ接続する必要があり、作業がやりにくく、接続
配管部で漏れることがある。しかも定期点検等のチェッ
クの時、長い配管でリークテスタと接続しなければなら
ないので、煩雑である。
段として、リークテスタすなわちリーク試験機により検
出するものがあるが、下記のような短所を持っている。
すなわち、圧力センサのリーク量の判断機能を有する制
御基板や、パーソナルコンピュータ等と圧力センサを組
み合わせてリーク量判断を行っているため、装置が複雑
で、大型化し、高価格である。またアナログ出力タイプ
の圧力センサと組み合わせた場合、圧力センサの誤差に
さらに制御基板やパーソナルコンピュータ等におけるＡ
／Ｄ部での誤差が追加され、検出精度が悪くなる。さら
にリーク被検出対象装置にリークテスタを直接取付ける
ことが出来ないため、長い配管にて対象装置からリーク
テスタへ接続する必要があり、作業がやりにくく、接続
配管部で漏れることがある。しかも定期点検等のチェッ
クの時、長い配管でリークテスタと接続しなければなら
ないので、煩雑である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】従来の圧力センサは以
上のように構成されているので、圧力センサの誤差にさ
らに制御基板やパーソナルコンピュータ等におけるアナ
ログ−ディジタル変換部での誤差が追加され、検出精度
が悪くなるなどの問題点があった。またリーク被検出対
象装置にリークテスタを長い配管にて接続するものにあ
っては、接続配管部で漏れるなどの問題点があった。
上のように構成されているので、圧力センサの誤差にさ
らに制御基板やパーソナルコンピュータ等におけるアナ
ログ−ディジタル変換部での誤差が追加され、検出精度
が悪くなるなどの問題点があった。またリーク被検出対
象装置にリークテスタを長い配管にて接続するものにあ
っては、接続配管部で漏れるなどの問題点があった。
【０００４】この発明はこのような従来技術の問題点を
解消するためになされたもので、検出精度の良好な、か
つ配管が長くなることによるリークを防止することを目
的とするものである。
解消するためになされたもので、検出精度の良好な、か
つ配管が長くなることによるリークを防止することを目
的とするものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】この発明に係るリーク判
断機能付センサは、圧力センサ素子と、温度センサおよ
び演算器を組み合わせたものである。そしてこの演算器
には圧力センサ素子の圧力の低下量または上昇量を設定
できる機能、圧力センサ素子の測定期間を設定できる機
能と、圧力センサ素子の測定期間中に、ある一定時間毎
に測定する機能、かつその一定時間を設定できる機能、
ある一定時間毎に測定した圧力センサ素子による測定値
を保有し、かつ読み出しできる機能、圧力センサ素子の
圧力の低下量または上昇量があらかじめ設定した値を越
えたときにアラーム信号を出力し、かつ圧力センサ素子
の圧力の低下量または上昇量があらかじめ設定した値の
範囲内にあるときに正常信号を出力する機能をもたせた
ものである。
断機能付センサは、圧力センサ素子と、温度センサおよ
び演算器を組み合わせたものである。そしてこの演算器
には圧力センサ素子の圧力の低下量または上昇量を設定
できる機能、圧力センサ素子の測定期間を設定できる機
能と、圧力センサ素子の測定期間中に、ある一定時間毎
に測定する機能、かつその一定時間を設定できる機能、
ある一定時間毎に測定した圧力センサ素子による測定値
を保有し、かつ読み出しできる機能、圧力センサ素子の
圧力の低下量または上昇量があらかじめ設定した値を越
えたときにアラーム信号を出力し、かつ圧力センサ素子
の圧力の低下量または上昇量があらかじめ設定した値の
範囲内にあるときに正常信号を出力する機能をもたせた
ものである。
【０００６】
【作用】この発明におけるリーク判断機能付圧力センサ
は、演算器によって、圧力センサ素子の圧力の低下量ま
たは上昇量の設定、圧力センサ素子の測定期間の設定、
圧力センサ素子のある一定時間毎の測定、その一定時間
の設定、ある一定時間毎に測定した圧力センサ素子によ
る測定値の書き込み、読み出し、圧力センサ素子の圧力
の低下量または上昇量があらかじめ設定した値を越えた
ときのアラーム信号の出力、圧力センサ素子の圧力の低
下量または上昇量があらかじめ設定した値の範囲内にあ
るときの正常信号の出力が行われる。
は、演算器によって、圧力センサ素子の圧力の低下量ま
たは上昇量の設定、圧力センサ素子の測定期間の設定、
圧力センサ素子のある一定時間毎の測定、その一定時間
の設定、ある一定時間毎に測定した圧力センサ素子によ
る測定値の書き込み、読み出し、圧力センサ素子の圧力
の低下量または上昇量があらかじめ設定した値を越えた
ときのアラーム信号の出力、圧力センサ素子の圧力の低
下量または上昇量があらかじめ設定した値の範囲内にあ
るときの正常信号の出力が行われる。
【０００７】
【実施例】以下、この発明の一実施例を図について説明
する。すなわち図１において、圧力センサ素子１の出力
端と、温度センサ３の出力端は、アナログスイッチ２に
接続される。このアナログスイッチ２は圧力センサ素子
１および温度センサ３とを選択的に切り換える。さらに
そのアナログスイッチ２にはアナログ−ディジタル変換
器４を介して演算器５が接続される。この演算器５の出
力端には出力回路６が接続される。この出力回路６は良
品信号出力回路７たとえばリレー、フォトカプラやトラ
ンジスタ等と、再検査信号出力回路８、異常信号出力回
路９、ディジタル−アナログ変換出力回路１０、通信出
力回路１１から構成される。また演算器５にはメモリ１
２として不揮発性メモリ１２ａたとえばＥ2 ＰＲＯＭや
ＲＡＭ１２ｂが接続される。また演算器５には入力器１
３としてキースイッチが接続される。さらに入力器によ
る入力状況あるいは演算器５の状態を表示する表示器１
４が接続される。
する。すなわち図１において、圧力センサ素子１の出力
端と、温度センサ３の出力端は、アナログスイッチ２に
接続される。このアナログスイッチ２は圧力センサ素子
１および温度センサ３とを選択的に切り換える。さらに
そのアナログスイッチ２にはアナログ−ディジタル変換
器４を介して演算器５が接続される。この演算器５の出
力端には出力回路６が接続される。この出力回路６は良
品信号出力回路７たとえばリレー、フォトカプラやトラ
ンジスタ等と、再検査信号出力回路８、異常信号出力回
路９、ディジタル−アナログ変換出力回路１０、通信出
力回路１１から構成される。また演算器５にはメモリ１
２として不揮発性メモリ１２ａたとえばＥ2 ＰＲＯＭや
ＲＡＭ１２ｂが接続される。また演算器５には入力器１
３としてキースイッチが接続される。さらに入力器によ
る入力状況あるいは演算器５の状態を表示する表示器１
４が接続される。
【０００８】そして演算器５は圧力センサ素子１の圧力
の低下量または上昇量を設定できる機能と、圧力センサ
素子１の測定期間の時間を設定できる機能と、圧力セン
サ素子１の測定期間中に、ある一定時間毎に測定する機
能で、かつその一定時間を設定できる機能と、ある一定
時間毎に測定した圧力センサ素子１による測定値を保有
し、かつ読み出しできる機能と、圧力センサ素子１の圧
力の低下量または上昇量があらかじめ設定した値を越え
たときにアラーム信号を出力し、かつ圧力センサ素子１
の圧力の低下量または上昇量があらかじめ設定した値の
範囲内にあるときに正常信号を出力する機能を有してい
る。
の低下量または上昇量を設定できる機能と、圧力センサ
素子１の測定期間の時間を設定できる機能と、圧力セン
サ素子１の測定期間中に、ある一定時間毎に測定する機
能で、かつその一定時間を設定できる機能と、ある一定
時間毎に測定した圧力センサ素子１による測定値を保有
し、かつ読み出しできる機能と、圧力センサ素子１の圧
力の低下量または上昇量があらかじめ設定した値を越え
たときにアラーム信号を出力し、かつ圧力センサ素子１
の圧力の低下量または上昇量があらかじめ設定した値の
範囲内にあるときに正常信号を出力する機能を有してい
る。
【０００９】またメモリ１２の中、不揮発性メモリ１２
ａすなわちＥ2 ＰＲＯＭは圧力センサ素子１の温度特性
を補正するための状態関数式を保有する。
ａすなわちＥ2 ＰＲＯＭは圧力センサ素子１の温度特性
を補正するための状態関数式を保有する。
【００１０】上記構成において、圧力センサ素子１から
の出力および温度センサ３からの出力はアナログスイッ
チ２により選択的に切り換えられ、アナログ−ディジタ
ル変換器４を通して演算器に供給される。演算器５は不
揮発性メモリ１２ａにあらかじめ記憶された圧力センサ
素子１の温度特性を補正するための状態関数式にもとづ
いて演算し、温度センサ３と圧力センサ素子１の出力よ
り真の圧力値を求める。その結果は表示器１４に表示さ
れる。
の出力および温度センサ３からの出力はアナログスイッ
チ２により選択的に切り換えられ、アナログ−ディジタ
ル変換器４を通して演算器に供給される。演算器５は不
揮発性メモリ１２ａにあらかじめ記憶された圧力センサ
素子１の温度特性を補正するための状態関数式にもとづ
いて演算し、温度センサ３と圧力センサ素子１の出力よ
り真の圧力値を求める。その結果は表示器１４に表示さ
れる。
【００１１】また入力器１３のキー操作によって圧力セ
ンサ素子１の圧力の低下量または上昇量の限界値を演算
器５を通して不揮発性メモリ１２ａに記憶させる。同様
に入力器１３のキー操作によって圧力センサ素子１の測
定期間を演算器５を通して不揮発性メモリ１２ａに記憶
させる。また入力器１３によって圧力センサ素子１の測
定期間中に、ある一定時間毎に測定するシーケンスおよ
びその一定時間を演算器５を通してメモリ５に記憶させ
る。さらに入力器１３のキー操作によって演算器５をし
てある一定時間毎に測定した圧力センサ素子１による測
定値をメモリ１２に記憶させ、かつ読み出しする。しか
も圧力センサ素子１の圧力の低下量または上昇量があら
かじめ設定した値を越えたときにアラーム信号を出力す
るように設定する。かつ圧力センサ素子１の圧力の低下
量または上昇量があらかじめ設定した値の範囲内にある
ときに正常信号を出力するように設定する。この入力状
態は表示器１４によって確認される。
ンサ素子１の圧力の低下量または上昇量の限界値を演算
器５を通して不揮発性メモリ１２ａに記憶させる。同様
に入力器１３のキー操作によって圧力センサ素子１の測
定期間を演算器５を通して不揮発性メモリ１２ａに記憶
させる。また入力器１３によって圧力センサ素子１の測
定期間中に、ある一定時間毎に測定するシーケンスおよ
びその一定時間を演算器５を通してメモリ５に記憶させ
る。さらに入力器１３のキー操作によって演算器５をし
てある一定時間毎に測定した圧力センサ素子１による測
定値をメモリ１２に記憶させ、かつ読み出しする。しか
も圧力センサ素子１の圧力の低下量または上昇量があら
かじめ設定した値を越えたときにアラーム信号を出力す
るように設定する。かつ圧力センサ素子１の圧力の低下
量または上昇量があらかじめ設定した値の範囲内にある
ときに正常信号を出力するように設定する。この入力状
態は表示器１４によって確認される。
【００１２】リーク試験スタートをキー入力すれば自動
的に計測を行う。リーク試験中に各種データは、不揮発
性メモリ１２ａすなわちＥ2 ＰＲＯＭに保持される。な
お、メモリ５が足りない場合はＲＡＭ１２ｂに記憶され
る。温度値も不揮発性メモリ１２ａ又はＲＡＭ１２ｂに
保有し、リーク試験中の温度の平均値や最大値、最小値
等を演算し出力することも可能である。リーク量の良
品、再検査、異常の判断は、たとえば、第１の設定値以
下の時は良品、第１と２の設定間は再検査、第２の設定
値以上は異常であるとして行うことができる。
的に計測を行う。リーク試験中に各種データは、不揮発
性メモリ１２ａすなわちＥ2 ＰＲＯＭに保持される。な
お、メモリ５が足りない場合はＲＡＭ１２ｂに記憶され
る。温度値も不揮発性メモリ１２ａ又はＲＡＭ１２ｂに
保有し、リーク試験中の温度の平均値や最大値、最小値
等を演算し出力することも可能である。リーク量の良
品、再検査、異常の判断は、たとえば、第１の設定値以
下の時は良品、第１と２の設定間は再検査、第２の設定
値以上は異常であるとして行うことができる。
【００１３】なお、上述の演算器において、圧力センサ
素子１の圧力の低下量または上昇量を設定できる機能は
正常値、再検査、異常の３段階の判断をすることができ
るように校正することが可能である。さらに、通信機能
を有する通信回路により、リークテスタの状況を遠隔操
作により実施させることも可能である。
素子１の圧力の低下量または上昇量を設定できる機能は
正常値、再検査、異常の３段階の判断をすることができ
るように校正することが可能である。さらに、通信機能
を有する通信回路により、リークテスタの状況を遠隔操
作により実施させることも可能である。
【００１４】
【発明の効果】以上のように、この発明によればリーク
判断機能付圧力センサは圧力センサ素子と、温度センサ
および演算器を組み合わせ、この演算器には圧力センサ
素子の圧力の低下量または上昇量を設定できる機能、圧
力センサ素子の測定期間を設定できる機能と、圧力セン
サ素子の測定期間中に、ある一定時間毎に測定する機
能、かつその一定時間を設定できる機能、ある一定時間
毎に測定した圧力センサ素子による測定値を保有し、か
つ読み出しできる機能、圧力センサ素子の圧力の低下量
または上昇量があらかじめ設定した値を越えたときにア
ラーム信号を出力し、かつ圧力センサ素子の圧力の低下
量または上昇量があらかじめ設定した値の範囲内にある
ときに正常信号を出力する機能をもつように構成したの
で、圧力センサを設置した現場にて、圧力を検出しなが
ら、必要に応じて自由にチェックすることが可能であ
る。また従来のように、わざわざリークテスタを用意
し、また配管を設置し、計測を行う等の作業を軽減する
ことが出来る。さらにリークテスタを購入する必要がな
い。
判断機能付圧力センサは圧力センサ素子と、温度センサ
および演算器を組み合わせ、この演算器には圧力センサ
素子の圧力の低下量または上昇量を設定できる機能、圧
力センサ素子の測定期間を設定できる機能と、圧力セン
サ素子の測定期間中に、ある一定時間毎に測定する機
能、かつその一定時間を設定できる機能、ある一定時間
毎に測定した圧力センサ素子による測定値を保有し、か
つ読み出しできる機能、圧力センサ素子の圧力の低下量
または上昇量があらかじめ設定した値を越えたときにア
ラーム信号を出力し、かつ圧力センサ素子の圧力の低下
量または上昇量があらかじめ設定した値の範囲内にある
ときに正常信号を出力する機能をもつように構成したの
で、圧力センサを設置した現場にて、圧力を検出しなが
ら、必要に応じて自由にチェックすることが可能であ
る。また従来のように、わざわざリークテスタを用意
し、また配管を設置し、計測を行う等の作業を軽減する
ことが出来る。さらにリークテスタを購入する必要がな
い。
【図１】この発明におけるリーク判断機能付圧力センサ
の一実施例を示すブロック図である。
の一実施例を示すブロック図である。
１ 圧力センサ素子 ２ アナログスイッチ ３ 温度センサ ４ アナログ−ディジタル変換器 ５ 演算器 ６ 出力回路 ７ 良品信号出力回路 ８ 再検査信号出力回路 ９ 異常信号出力回路 １０ ディジタル−アナログ変換出力回路 １１ 通信出力回路 １２ メモリ １２ａ 不揮発性メモリ １２ｂ ＲＡＭ １３ 入力器 １４ 表示器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 吉川 康秀 神奈川県藤沢市川名１丁目12番地２号 山 武ハネウエル株式会社藤沢工場内
Claims (1)
- 【請求項１】 圧力センサ素子と、温度センサと、この
温度センサおよび上記圧力センサ素子の出力端に接続さ
れ、この圧力センサおよび上記温度センサを選択的に切
り換えるアナログスイッチと、このアナログスイッチに
アナログ−ディジタル変換器を介して接続した演算器
と、この演算器の出力端に接続された出力回路と、上記
演算器に接続されたメモリ、および上記演算器に接続さ
れた入力器を備え、上記演算器は上記圧力センサ素子の
圧力の低下量または上昇量を設定できる機能と、上記圧
力センサ素子の測定期間を時間を設定できる機能と、上
記圧力センサ素子の測定期間中に、ある一定時間毎に測
定する機能で、かつその一定時間を設定できる機能と、
ある一定時間毎に測定した上記圧力センサ素子による測
定値を保有し、かつ読み出しできる機能と、上記圧力セ
ンサ素子の圧力の低下量または上昇量があらかじめ設定
した値を越えたときにアラーム信号を出力し、かつ上記
圧力センサ素子の圧力の低下量または上昇量があらかじ
め設定した値の範囲内にあるときに正常信号を出力する
機能を有することを特徴とするリーク判断機能付圧力セ
ンサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7741093A JPH06265425A (ja) | 1993-03-12 | 1993-03-12 | リーク判断機能付圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7741093A JPH06265425A (ja) | 1993-03-12 | 1993-03-12 | リーク判断機能付圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06265425A true JPH06265425A (ja) | 1994-09-22 |
Family
ID=13633161
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7741093A Pending JPH06265425A (ja) | 1993-03-12 | 1993-03-12 | リーク判断機能付圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06265425A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001001095A1 (fr) * | 1999-06-29 | 2001-01-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Transducteur sensible a la pression |
| CN110487474A (zh) * | 2019-08-23 | 2019-11-22 | 深圳市前海三安盛科技有限公司 | 一种管道气压感应报警系统 |
-
1993
- 1993-03-12 JP JP7741093A patent/JPH06265425A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001001095A1 (fr) * | 1999-06-29 | 2001-01-04 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Transducteur sensible a la pression |
| US6507202B1 (en) | 1999-06-29 | 2003-01-14 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Sensed-pressure-data converter |
| CN110487474A (zh) * | 2019-08-23 | 2019-11-22 | 深圳市前海三安盛科技有限公司 | 一种管道气压感应报警系统 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4675834A (en) | Pressure variation detecting type leakage inspection system with temperature compensation | |
| US4149254A (en) | Method and apparatus for flow metering | |
| JPH03229124A (ja) | 圧力伝送器 | |
| US4614114A (en) | Measuring device | |
| JPH06265425A (ja) | リーク判断機能付圧力センサ | |
| JP3322939B2 (ja) | プロセス計装ラック | |
| JP3640109B2 (ja) | 測定装置の自動レンジ切換え装置 | |
| JP3438955B2 (ja) | 共用配管のガス漏れ検知装置 | |
| JP4340883B2 (ja) | 電空変換器あるいはバルブポジショナ | |
| EP0319200A1 (en) | A leak detecting system | |
| JP7108282B2 (ja) | ガス検出システム | |
| KR970001968B1 (ko) | 열량계(Calorimeter)의 연산제어방법 | |
| JP2997576B2 (ja) | フルイディックガスメータにおける漏洩検査用単位流量信号出力方法 | |
| JP2879502B2 (ja) | 振動測定装置 | |
| KR960002279B1 (ko) | 매스 플로우 콘트롤러 유량의 전대역 자동 점검 방법 | |
| JPH06214087A (ja) | 広域中性子監視装置 | |
| JP2000266623A (ja) | デジタル圧力計 | |
| JPH06331416A (ja) | 液体の状態量検出装置 | |
| KR200301505Y1 (ko) | 압력 스켄 지시계 | |
| JP2741133B2 (ja) | 電源監視レコーダ | |
| JPH0331729A (ja) | 赤外線映像装置 | |
| JP2005098598A (ja) | 空調配管用気密試験装置および空調配管の気密試験方法 | |
| JPS63285492A (ja) | 差圧式原子炉水位測定装置 | |
| JPH01296127A (ja) | 積算熱量計の温度測定回路 | |
| JPH04204341A (ja) | リークデテクタ |