JPH06264864A - 圧縮装置 - Google Patents

圧縮装置

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Publication number
JPH06264864A
JPH06264864A JP5049587A JP4958793A JPH06264864A JP H06264864 A JPH06264864 A JP H06264864A JP 5049587 A JP5049587 A JP 5049587A JP 4958793 A JP4958793 A JP 4958793A JP H06264864 A JPH06264864 A JP H06264864A
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JP
Japan
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magnetic field
cylinder
compression
gas
compression device
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Application number
JP5049587A
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English (en)
Inventor
Takao Ishizaka
孝男 石坂
Akira Kudo
章 工藤
Katsumasa Araoka
勝政 荒岡
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 本発明は、往復運動に伴う振動が少なく、外
部との摺動シールが不要若しくは、簡単な構造のシール
部材で構成され、かつ摩擦・磨耗部分がなく、しかも小
型軽量に構成できる圧縮装置を提供することを目的とす
る。 【構成】 本発明は、シリンダ内に対向して設けられた
一対の対向ピストンの往復運動によって、当該対向ピス
トンの間に封入されたガスを圧縮して高圧ガスを得る圧
縮装置であって、前記ピストンに固設される磁石と、こ
の磁石に対向する毎に該磁石に交互に異なる磁界を印加
し得るように回動自在に配設される磁界印加手段と、こ
の磁界印加手段を回動駆動する駆動手段とを備えて構成
される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明は、圧縮ガスを利用する冷
凍機、ガス分析装置、半導体製造装置のガス循環装置な
どの圧縮装置に関するものである。
【0002】
【従来の技術】従来のピストンとシリンダによるガス圧
縮装置では、クランク方式やカム方式等によって回転運
動を往復運動に変える方式が一般的である。また、シリ
ンダと外部雰囲気とのシールは一般的には摺動シールが
用いられており、リークが許されない有害なガス等が用
いられる場合には、ベローズなどを用いて摺動部のシー
ルを無くすようにしている。
【0003】また、従来の一対の対向型ピストンを備え
たスターリング冷凍機用リニアモータ式圧縮装置の場合
には、円筒コイルと磁石を組み合わせたリニアモータの
構造が採られており、また磁石を固定側にコイルをピス
トンと同方向の移動側に取り付けて駆動力を得るように
している。
【0004】そして、シリンダとピストンとの間隙は気
密性を高めるためにピストンリング等を用いてシールす
るようにしている。さらに、ピストンは軸方向には柔軟
で、軸と垂直方向には剛性の高い弾性支持体で保持され
ている為、軸方向に長いケーシング構造になっている。
【0005】また、さらにヘリウム、水素、窒素などの
圧縮性気体を動作ガスとする冷凍機の一例として逆スタ
ーリングサイクル冷凍機が知られている。この冷凍機の
対向ピストン型圧縮装置の構成を図8に示す。
【0006】図8において、個々のピストン153a,
153bはヨークを兼ねた共通シリンダ151内で、圧
縮空間165を共通にして往復運動を行う。このときの
駆動リニアモータは個々に前記ピストン153a,15
3bに固定されたコイル155a,155bと固定磁石
159a,159bで構成され、変位計171a,17
1bと図示しない外部制御器によりピストン153a,
153bは対向して往復運動するように制御されてい
る。
【0007】また、前記ピストン153a、153bの
運動方向に対する変位には弱く、その直角方向に対する
変位に対しては強固に支持できる板バネ157a,15
7bで固定され、シールS以外では摺動しないように構
成されている。そして、全体は完全に動作ガスを密封す
る本体ケース163で囲繞され、前記圧縮空間165か
らガス通路169を通り、図示されていない蓄熱器、膨
脹空間に通じるパイプ169が外部配管してあり、かつ
その途中にはパイプの外周に多数の放熱フィンをろう付
けしてなる放熱器167が設置されている。
【0008】このように構成された冷凍機の動作として
は、いま圧縮空間の往復動ストローク位置による容積変
化が膨脹空間容積変化より約90度位相が遅れるように
動作制御されていると、まずピストン153a,153
bが互いに下死点から移動を始めると、全体動作ガス空
間は徐々に小さくなり圧縮空間165内に封入された動
作ガスが圧縮される。このとき発生する圧縮熱は放熱器
167で外部に放出されるので、パイプ169部のガス
は常温高圧のガスとなる(等温圧縮)。
【0009】次に、膨脹空間容積は増えながらピストン
153a,153bをさらに上死点方向へ動かすと、動
作ガスは蓄熱器へ熱を放熱して膨脹空間に入る(等容放
熱工程)。
【0010】次に、膨脹空間容積がさらに増加すると膨
脹空間に入ったガスは、図示されていない被冷却体から
熱を吸収しながら膨脹する(等温膨脹工程)ことにより
動作ガスは低温度となる。さらに、低温度の動作ガスは
膨脹空間容積が減少しながらピストン153a,153
bを下死点に向けて動かすことにより、今度は逆に蓄熱
器から吸熱して徐々に温度、圧力を上昇し、放熱器32
を通り圧縮空間165に戻る(等容吸熱工程)。これら
の行程を順次繰り返すことで冷却を行う。
【0011】この冷凍機用対向ピストン型リニアモータ
圧縮装置では、一対のピストンが対向して逆位相に往復
動することで振動を抑制している。つまり、圧縮空間を
中央部に配置し、基本的には同じ構造の圧縮装置を2式
使用して1台の圧縮装置としている。
【0012】
【発明が解決しようとする課題】上述してきたように、
従来のガス圧縮装置は、往復運動に伴う重心の偏りを回
転部に錘等を設けて除去するようにしているものの、理
論的にも重心の偏りを完全に取りきれず、運動時に発生
する振動や騒音が問題となっていた。
【0013】また、シリンダと外部雰囲気とのシールに
摺動シールを用いた場合には、摺動シールの摩擦による
発熱、劣化及び磨耗によるシール性能の低下などの問題
があり、さらにベローズなどを用いた場合もベローズの
疲労による寿命、信頼性、振動などに問題が有った。
【0014】また、上述した従来の一対の対向型ピスト
ンを備えたスターリング冷凍機用リニアモータ式圧縮装
置においては、リニアモータの構造上、コイルをピスト
ンと同方向の移動側に取り付けているので、コイルに電
気を供給するための配線がピストンと同じ周期で動くこ
とになり、これら配線に接続不良が生じる虞がある。ま
た、シリンダとピストンとの間隙はピストンリング等で
シールしていることから、機械的な摩擦・磨耗部分を有
することになり、その寿命や信頼性の低下及び振動の発
生等の問題が生じた。
【0015】さらに、上述した従来の冷凍機用対向ピス
トン型リニアモータ圧縮装置では、圧縮空間を中央部に
配置しているため圧縮熱等の熱の放熱が困難であり、そ
のため動作ガスを外部に取り出した後、放熱器を設け熱
交換する必要が生じる。すなわち、これら放熱のための
放熱板や配管等を設けるための死空間が多くなり、さら
に圧力損失も増大して性能の低下を招くことになる。ま
た、主要的な容積及び重量を占める駆動リニアモータ部
が2組必要となり、全体として長大化するところとなっ
た。
【0016】本発明は、上記課題に鑑みてなされたもの
で、往復運動に伴う振動が少なく外部との摺動シールが
不要である圧縮装置を提供することを目的とする。
【0017】また、簡単な構造でシール部材及び摩擦・
磨耗部分のないスターリング冷凍機用の圧縮装置を提供
することを目的とする。
【0018】さらに、死空間、圧損を少なくして性能ア
ップを図り、しかも駆動リニアモータ部の一部分を共通
化して小型軽量に構成できる冷凍機用の圧縮装置を提供
することを目的とする。
【0019】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本願第1の発明は、シリンダ内に対向して設けられた一
対の対向ピストンの往復運動によって、当該対向ピスト
ンの間に封入されたガスを圧縮して高圧ガスを得る圧縮
装置であって、前記ピストンに固設される磁石と、この
磁石に対向する毎に該磁石に交互に異なる磁界を印加し
得るように回動自在に配設される磁界印加手段と、この
磁界印加手段を回動駆動する駆動手段とを有することを
要旨とする。
【0020】また、本願第2の発明は、シリンダ内に封
入した作動ガスを圧縮する圧縮装置であって、シリンダ
の少なくとも圧縮空間の一方の側を密閉して設けられ、
印加される磁界によって該シリンダの軸方向に変位する
変位発生手段と、この変位発生手段に磁界を印加する磁
界印加手段とを有することを要旨とする。
【0021】また、本願第3の発明は、筒状の筐体と、
この筐体に固設され磁界を提供する磁界提供手段と、こ
の磁界提供手段の外側に近接して設けられ提供される磁
界に応じて当該筐体の軸方向に駆動力を発生する第1の
駆動力発生手段と、この第1の駆動力発生手段で発生さ
れる駆動力によって当該筐体の軸方向に進退駆動して当
該筐体内の圧縮空間に封入されるガスを圧縮する第1の
圧縮手段と、前記磁界提供手段の内側に近接して設けら
れ提供される磁界に応じて当該筐体の軸方向に駆動力を
発生する第2の駆動力発生手段と、この第2の駆動力発
生手段で発生される駆動力によって当該筐体の軸方向に
進退駆動して当該筐体内の圧縮空間に封入されるガスを
圧縮する第2の圧縮手段とを有することを要旨とする。
【0022】さらに、本願第4の発明は、対向して設け
られる一対の対向ピストンの往復運動によって封入され
たガスを圧縮する圧縮装置であって、前記ピストンの外
側両端に圧縮空間を構成するシリンダヘッドを前記ガス
の放熱手段としたことを要旨とする。
【0023】
【作用】上述の如く構成すれば、本願第1の発明の圧縮
装置は、シリンダ内に設置された対向ピストンを往復運
動させ高圧のガスを得るガス圧縮装置であって、対向ピ
ストンのそれぞれを逆位相で駆動することで往復運動に
伴う振動を無くす。またピストンを駆動する手段として
ピストンに埋め込んだ磁石と、シリンダ外部にシリンダ
両端を挟む形で設置した回転円盤に埋め込んだ磁界印加
手段との反発・吸引を利用しシリンダ壁を介し非接触で
ピストンを駆動する。すなわち、ピストンの逆位相の往
復リニア運動を得るためにシリンダ外部から非接触で回
転運動を利用して実現したものである。
【0024】すなわち、一対の対向ピストンを逆位相で
簡単に駆動できるため振動が少なく、また、回転磁石に
よりシリンダ外部から非接触でピストンを駆動するため
シールレスのガス圧縮装置を提供することができる。さ
らに、シリンダの本数のみを増やし、いわゆる多気筒に
構成することが容易で、モータは一台で容量の大きいガ
ス圧縮装置をコンパクトなスペースで実現できる。
【0025】本願第2の発明の圧縮装置は、圧縮シリン
ダのピストン部に例えば希土類−遷移金属系ラーベス相
金属間化合物等の磁歪素子を用いその外側固定部にコイ
ルを巻き付けて電流を流す事により、磁歪現象が生じ、
磁歪素子ピストンを軸方向に伸縮(往復運動)させるこ
とができる。磁歪素子ピストンとケーシングはダイヤフ
ラムなどでシールすることにより摩擦・磨耗部分のない
状態で圧縮室内の流体を圧縮できるものである。
【0026】すなわち、磁歪素子のピストンとコイル及
びコイルを制御する回路との組み合わせることにより磁
歪現象を生み出すことができる。一対の対向型ピストン
におのおの磁歪素子を用いることにより、磁歪素子ピス
トンを軸方向に伸縮(往復運動)させることができる。
又、シリンダ内面をピストンが往復移動する構造ではな
いので、摺動部のない状態で圧縮室内の流体を圧縮する
ことが可能となる。
【0027】本願第3の発明の圧縮装置は、圧縮装置の
外側両端若しくは圧縮空間を設け、この圧縮空間を圧縮
する、対向する一対の駆動用リニアモータは固定磁石部
を共通化し、個々に往復運動するコイルをこの磁石の内
外側に配置することで、一対の駆動用リニアモータが共
通一体化される。しかも、駆動リニアモータ部の一部分
を共通化して小型軽量に構成できる。
【0028】本願第4の発明の圧縮装置は、圧縮装置の
外側両端に圧縮空間部を設け、この圧縮空間のシリンダ
ヘッドを動作ガスの放熱器としたフィンを設ける。すな
わち、圧縮空間から外部に取り出した後別途に放熱器を
設ける必要がなく、最小限の通路ですみ死空間、圧損を
少なくして性能アップが図れる。
【0029】
【実施例】以下、本発明に係る一実施例を図面を参照し
て説明する。図1は本発明に係る第1の実施例のガス圧
縮装置の構成を示した断面図、図2は図1に示すガス圧
縮装置をA−A、B−Bから見た磁石の位置関係を示す
ための断面図、図3は磁石相互の力関係を説明するため
の模式図である。本実施例ではシリンダ1を複数体設置
した場合の一例としてシリンダ1を2個設置した場合の
例を示す。
【0030】図1に示すように、シリンダ1の中央付近
に圧縮室1aが設けられ、この圧縮室1aを挟むよう
に、対向して一対のピストン3a,3bが配設される。
この一対のピストン3a,3bは、シリンダ1内を進退
自在に移動しうるように構成され、またそれぞれ圧縮室
1aから遠い位置の端部にピストン側磁石5a,5bが
埋め込まれている。シリンダ1の両端部とピストン3と
の間にはコイルばね7が挿入されておりピストン3の端
部とシリンダ1の内壁との衝突を緩衝する。
【0031】シリンダ1の両端部の外側には回転円盤9
a,9bがそれぞれ設けられている。この回転円盤9
a,9bは回転軸13によって連結され、この回転軸1
3は軸受け15によって回動自在に支えら、さらにモー
タ17によって回転駆動される。また回転円盤9a,9
bのシリンダ1と対向する円周上には、回転側磁石11
a、11bが埋め込まれる。
【0032】次に、この実施例の動作を説明する。図3
に示すように回転側磁石11がピストン側磁石5に接近
してくると磁石の相互作用により反発力Fが働く。この
Fのピストン軸方向のベクトル成分Fp がピストン3を
動かす力となる。一方、回転側磁石のFのベクトル成分
M がモータ17の負荷となる力である。磁石が吸引す
る場合は前述の力が逆向きとなる。モータ17により回
転円盤9を回転させるとピストン3に対し回転側磁石1
1が相対的に接近と離反を繰り返し、その結果、対向す
るピストン3が往復運動し圧縮室1a内のガスを圧縮す
る。
【0033】このように、一対のピストンを対向型に配
置することによって、バランスのとれた同期運転が簡単
に実現できるため、振動を減少できる。また、ピストン
をシリンダの外側から非接触で駆動するためシリンダを
貫通するようなシールが不要で、いわゆるシールレスと
なるため有害なガス等が外部へ漏れることがなく、ガス
漏れが許されないガス圧縮装置に有効である。さらに、
磁石として永久磁石が使用できるので可動部からの配線
が不要であり構造をシンプルにでき信頼性が高い。圧縮
装置の能力はモーターの回転を制御することによって容
易にできる。
【0034】次に、図4を参照して本発明に係る第2の
実施例のスターリング冷凍機用磁歪式圧縮装置について
説明する。図4はこのスターリング冷凍機用磁歪式圧縮
装置の構成を示す断面図である。
【0035】図4に示すように、ケーシング31の中央
付近に圧縮室31aが設けられる。この圧縮室31aの
両端に対向した状態で変位発生手段を構成する磁歪素子
ピストン33a,33bが各々ヨーク35a,35bに
取り付けられる。さらに、この磁歪素子ピストン33
a,33bの外周に磁界を印加するコイル37a、37
bが配設され、これらコイル37a、37bをコントロ
ールする制御回路43a,43bが接続される。なお、
磁歪素子ピストン33a,33bによる変位量は小さい
ことから、ピストンとしてのストロークも小さいものと
なる。しかしながら、磁歪素子を高い周波数で駆動する
ことで、応答性の良い圧縮装置とすることが可能であ
る。また、これらコイル37a、37b及び制御回路4
3a,43bは磁界印加手段を構成するものである。
【0036】圧縮室31a内の封入ガスは、磁歪現象に
より対向した磁歪素子ピストン33a,33bが軸方向
に同期しながら伸縮することにより封入ガスを圧縮し、
それを図に示していないが、熱交換部に送っている。
又、ケーシング31と磁歪素子ピストン33a,33b
との隙間は、ダイヤフラム41a,41bによってシー
ルされている。
【0037】以上詳述したように、本実施例によれば、
一対の磁歪素子ピストンを対向型に配置することによ
り、バランスのとれた同期運動が可能なため、振動を減
少できる。また、磁歪素子ピストンとケーシングは、ダ
イヤフラムなどでシールしているので、摺動面がない。
従って、摩擦・磨耗がなく、耐久性が大幅に向上する。
更に、リニアモータ方式の圧縮装置のように、ピストン
を支持する弾性支持体が不用であり、またコイルが固定
側に付いているため、コイルに電気を供給する配線が固
定できるので、配線の信頼性が向上する。
【0038】次に、図5を参照して本発明に係る第3の
実施例について説明する。図5は冷凍機用対向ピストン
型リニアモータ圧縮装置を示す断面図である。
【0039】この図5に示すように、本実施例の圧縮装
置の外観は、主に筒状の筐体61とこの筐体61の両端
を密閉するシリンダヘッド63a,63bによって構成
される。すなわち圧縮装置の外側両端のシリンダヘッド
63a,63bの内部には圧縮空間部65a,65bが
個々に設けられ、筒状の筐体61内に駆動リニアモータ
が配置される。また圧縮空間部65a,65b内を進退
自在に駆動され動作ガスを圧縮する各ピストン53a,
53bは対向して逆位相に振動を抑制しながら往復運動
する。
【0040】次に、駆動リニアモータの構成について説
明する。
【0041】まず筐体61内には該筐体61本体よりも
口径の小である筒状体が筐体に固定して設けられる。こ
の筒状体には磁界提供手段としての固定磁石59が複数
個、固定して設けられる。
【0042】一方、前記ピストン53a,53bにそれ
ぞれ固定されたコイル55a,55bが固定磁石59に
近接して逆位相となるように配設される。すなわち、コ
イル55aは固定磁石59の外側に配設され、コイル5
5bは固定磁石59の内側に配設されて、固定磁石59
はコイル55a,55bに共通して磁界を提供する。な
お、コイル55a,55bと図示しない制御手段はそれ
ぞれ第1、第2の駆動力発生手段を構成するものであ
る。なお固定磁石59とコイル55a,55bとは逆に
配設しても良い。
【0043】また、ピストン53a,53bは筐体61
の中心部に固定される中心体に固定される支持コイルバ
ネ57a,57bによって中央側の端部を固定され、シ
ールS部分以外はシリンダヘッド63a,63bと摺動
しないように構成されている。このような構成により圧
縮空間65a,65b内の動作ガスをピストン53a,
53b及びシリンダヘッド63a,63bで完全に密封
している。
【0044】また、シリンダヘッド63a,63bの外
周部分及び両端部分には、動作ガスの放熱を行うための
フィン67a,67bが設けられる。これにより、効率
良い放熱が可能となる。
【0045】動作ガスは前記圧縮空間65a,65bか
らシリンダヘッド63a,63bに設けたガス通路69
a,69bを通り、必要最小限の外部配管で図示されて
ない蓄熱器、膨脹空間に通じる。
【0046】上記構成において、この駆動リニアモータ
部のコイル65a,65bは共通化した固定磁石59の
内側及び外側をラップして逆位相に往復運動する。ま
た、圧縮空間部65a,65bを外側両端に設けてシリ
ンダヘッド63a,63bを放熱器として兼用し、動作
ガスの圧縮熱は外部に放出する。これにより外部に放熱
器を設置する必要がなく最小限の通路空間で構成するこ
とが可能となるとともに、固定磁石59を共通化してラ
ップして往復運動するため小型軽量化できる。
【0047】以上、実施例に基づいて具体的に説明した
ように本実施例によれば、圧縮空間から外部に取り出し
た後別途に放熱器を設ける必要がなく、最小限の通路で
すみ死空間、圧損を少なくして性能アップが図れる。し
かも駆動リニアモータ部の一部分を共通化して小型軽量
に構成できる冷凍機の対向ピストン型リニアモータ圧縮
装置を提供することができる。
【0048】
【発明の効果】以上、本発明によれば、往復運動に伴う
振動が少なく、外部との摺動シールが不要若しくは、簡
単な構造のシール部材で構成されることから、摩擦・磨
耗部分がなく、しかも小型軽量に構成できる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る第1の実施例のガス圧縮装置の断
面を示す側面断面図である。
【図2】図1に示すガス圧縮装置のA−A,B−B各矢
視図である。
【図3】図1に示す磁石の相互作用を説明するための模
式図である。
【図4】本発明に係る第2の実施例のスターリング冷凍
機用磁歪式圧縮装置を示す概略断面図である。
【図5】本発明に係る第3の実施例の冷凍機用の対向ピ
ストン型リニアモータ圧縮装置を示す断面図である。
【図6】従来のガス圧縮装置を示す概略断面図である。
【図7】従来のガス圧縮装置を示す概略断面図である。
【図8】従来例の対向ピストン型リニアモータ圧縮装置
を示す断面図である。
【符号の説明】
1 シリンダ 3 ピストン 5 ピストン側磁石 7 コイルばね 9 回転円盤 11 回転側磁石 13 回転軸 15 軸受け 17 モータ 19 ガス出入口 21 ベース 1a 圧縮室 23 制御回路 31 ケーシング 31a 圧縮室 33 磁歪素子ピストン 35 ヨーク 37 コイル 39 ガス出入口 41 ダイヤフラム 43 制御回路 51 シリンダ 53a,53b ピストン 55a,55b コイル 57a,57b 支持コイルバネ 59 固定磁石 61 筐体 63a,63b シリンダヘッド 65a,65b 圧縮空間 67a,67b フィン 69a,69b ガス通路 S シール

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 シリンダ内に対向して設けられた一対の
    対向ピストンの往復運動によって、当該対向ピストンの
    間に封入されたガスを圧縮して高圧ガスを得る圧縮装置
    であって、 前記ピストンに固設される磁石と、 この磁石に対向する毎に該磁石に交互に異なる磁界を印
    加し得るように回動自在に配設される磁界印加手段と、 この磁界印加手段を回動駆動する駆動手段とを有するこ
    とを特徴とする圧縮装置。
  2. 【請求項2】 シリンダ内に封入した作動ガスを圧縮す
    る圧縮装置であって、 シリンダの少なくとも圧縮空間の一方の側を密閉して設
    けられ、印加される磁界によって該シリンダの軸方向に
    変位する変位発生手段と、 この変位発生手段に磁界を印加する磁界印加手段とを有
    することを特徴とする圧縮装置。
  3. 【請求項3】 筒状の筐体と、 この筐体に固設され磁界を提供する磁界提供手段と、 この磁界提供手段の外側に近接して設けられ提供される
    磁界に応じて当該筐体の軸方向に駆動力を発生する第1
    の駆動力発生手段と、 この第1の駆動力発生手段で発生される駆動力によって
    当該筐体の軸方向に進退駆動して当該筐体内の圧縮空間
    に封入されるガスを圧縮する第1の圧縮手段と、 前記磁界提供手段の内側に近接して設けられ提供される
    磁界に応じて当該筐体の軸方向に駆動力を発生する第2
    の駆動力発生手段と、 この第2の駆動力発生手段で発生される駆動力によって
    当該筐体の軸方向に進退駆動して当該筐体内の圧縮空間
    に封入されるガスを圧縮する第2の圧縮手段とを有する
    ことを特徴とする圧縮装置。
  4. 【請求項4】 対向して設けられる一対の対向ピストン
    の往復運動によって封入されたガスを圧縮する圧縮装置
    であって、 前記ピストンの外側両端に圧縮空間を構成するシリンダ
    ヘッドを前記ガスの放熱手段としたことを特徴とする圧
    縮装置。
JP5049587A 1993-03-10 1993-03-10 圧縮装置 Pending JPH06264864A (ja)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100404110B1 (ko) * 2001-02-03 2003-11-03 엘지전자 주식회사 리니어 압축기의 피스톤 충돌방지장치
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