JPH0626210B2 - ウェット処理マシン - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は、ワーク例えばシリコンウェハ等の半導体基板
を加工・洗浄など種々の処理槽内に搬送して種々の処理
を行うウェット処理マシンに関する。

従来の技術 従来、この種のウェット処理マシンは種々の構造のもの
が知られている。例えば、クリーンルーム内において、
エッチング加工・洗浄などの各処理槽を一直線上に配置
し、上記処理槽に沿って搬送装置により基板を処理槽内
に浸漬して所定の処理を行ったのち、次の処理槽まで搬
送装置で搬送し当該処理装置内に浸漬して所定の処理を
行うように構成したものがある。上記搬送装置は、各処
理槽沿いに搬送する搬送台と、この搬送台に支持されか
つ基板を収納したケースを把持及び把持解除するチャッ
ク手段とを備える。このようなウェット処理マシンで
は、１つの搬送装置で所定数の処理槽間で基板を搬送し
たのち、次の搬送装置でさらに上記基板を他の処理槽に
搬送する構成が取られている。すなわち、例えば、処理
槽が３個の場合、第１処理槽と第２処理槽との間では第
１搬送装置で基板を搬送し、第２処理槽と第３処理槽と
の間では第２搬送装置で基板を搬送するようにしてい
る。一方、各処理槽においては、複数の処理液を秤量槽
で適宜秤量したのち、所定の処理槽に供給するようにし
ている。これは、各処理槽内で秤量することも可能であ
るが、秤量誤差が生じやすくこの誤差により基板の処理
に大きな影響が生じるため、秤量槽を別に設け、この秤
量槽より処理槽に秤量された処理液を供給管を介して供
給するようにしている。

発明が解決しようとする課題 しかしながら、上記構造のものでは、上記秤量槽から処
理槽へ秤量した処理液を供給する上記供給管を、上記搬
送装置の移動を妨げることなくかつ必要以上に長くなら
ずに配置することが困難であるといった問題があった。
すなわち、一般にクリーンルームは非常に高価なもので
あるため、全体的に可能な限り小さく設計されており、
各処理槽の一方側にしか、搬送装置の移動スペース並び
に秤量槽の配置スペースが用意されていないことが多
い。従って、秤量槽を上記一方側の上方に配置する一
方、その下方に上記搬送装置を配置すると、上記各秤量
槽の供給管はそれらをできるだけ短くするため、上記搬
送装置の搬送方向を横切るように配置することになり、
搬送装置の搬送経路を妨げることになる。

そこで、搬送装置の搬送経路の下方に上記供給管を配置
して、搬送装置の搬送を妨げないようにすることが考え
られる。しかしながら、搬送装置の搬送の際の発生する
ゴミが上記処理槽内に落下するという不具合が生じる。

よって、上記搬送装置は下方に配置する一方、秤量槽か
らの上記供給管は、上記搬送装置の搬送経路の上方に配
置して大きく迂回させなければならず、供給管が必要以
上に長尺なものとなるとともに、液溜まりが生じやすく
なるといった問題があった。

従って、本発明の目的は、上記問題を解決することにあ
って、秤量された処理液を秤量槽から処理槽に供給する
上記供給管を必要最小限に短くすることができて、液溜
まりを少なくすることができるウェット処理マシンを提
供することにある。

課題を解決するための手段 上記目的を達成するために、本発明は、複数の処理槽に
沿って配置された複数の搬送装置の搬送経路において、
隣接する搬送装置がワークの受け渡しを行う部分におい
て、上記搬送台に対して上記チャック手段を支持する支
持部の配置を工夫して、隣接する搬送装置の両支持部の
停止位置間にいずれの支持部にも接触しない空間を形成
し、該空間に上記秤量槽からの供給管を配置するように
構成した。すなわち、少なくとも３個の処理槽を大略一
直線上に配置し、上記処理槽のうち所望の処理槽に対し
て秤量槽より秤量された処理液を供給管を介して供給す
る一方、少なくとも２つの搬送装置を上記少なくとも３
個の処理槽の一側に配置して各搬送装置が上記処理槽の
うち少なくとも隣接する２つの処理槽間でワークを把持
し各処理槽に対して搬送及び搬出を行い、上記少なくと
も３個の処理槽のうち少なくとも１つの処理槽に対して
上記複数の搬送装置のうち隣接する搬送装置が共に上記
１つの処理槽のワーク搬入搬出位置で停止して上記ワー
クを上記１つの処理槽内に搬入及び搬出を行うようにし
たウェット処理マシンにして、上記少なくとも２つの搬
送装置のうちの一方の搬送装置は、上記少なくとも３個
の処理槽のうちの一端部の処理槽の上記搬入搬出位置と
該処理槽に隣接する中央の処理槽の上記搬入搬出位置と
の間を走行する搬送台と、該搬送台に対してその搬送経
路方向の中心位置より上記他方の搬送装置とは反対側の
位置に偏らせて上記搬送台の上方に配置されたチャック
手段支持部と、該支持部にアームを介して支持されかつ
上記ワークを把持して上記処理槽内に上記ワークを搬入
及び搬出するチャック手段とを備える一方、上記少なく
とも２つの搬送装置のうちの他方の搬送装置は、上記少
なくとも３個の処理槽のうちの他端部の処理槽の上記搬
入搬出位置と該処理槽に隣接する上記中央の処理槽の上
記搬入搬出位置との間を走行する搬送台と、該搬送台に
対してその搬送経路方向の中心位置より上記一方の搬送
装置とは反対側の位置に偏らせて上記搬送台の上方に配
置されたチャック手段支持部と、該支持部にアームを介
して支持されかつ上記ワークを把持して上記処理槽内に
上記ワークを搬入及び搬出するチャック手段とを備え
て、上記中央の処理槽の上記２つの搬送装置の２つの上
記搬入搬出位置間において上記一方の搬送装置の支持部
と上記他方の搬送装置の支持部との間に、いずれの支持
部とも接触せずかつ上記２つの搬送装置の搬送方向を横
切る空間を形成するとともに、上記空間内に上記供給管
を配置するように構成した。

また、上記構成においては、上記一方の搬送装置の上記
支持部は、その搬送台の上記他方の搬送装置に近い端部
とは反対側の端部より大略上方に延びかつ上記アームと
ともに上記チャック手段を上下動させて上記ワークを各
処理槽に対して搬入及び搬出を行わせる昇降軸と、該昇
降軸より上記他方の搬送装置側に延びたチャッキング駆
動部とを有するとともに、上記他方の搬送装置の上記支
持部は、その搬送台の上記一方の搬送装置に近い端部と
は反対側の端部より大略上方に延びかつ上記アームとと
もに上記チャック手段を上下動させて上記ワークを各処
理槽に対して搬入及び搬出を行わせる昇降軸と、該昇降
軸より上記一方の搬送装置側に延びたチャッキング駆動
部とを有して、上記２つの搬送装置の支持部間の矩形の
上記空間を形成するように構成することもできる。

また、上記構成においては、上記１つの処理槽のワーク
搬入搬出位置では、隣接する上記搬送装置の上記チャッ
ク手段が同一位置に位置して上記ワークの搬入及び搬出
を行うように構成することもできる。

発明の作用・効果 上記構成によれば、上記隣接する搬送装置において、各
搬送装置の搬送台に対して隣接する搬送装置とは反対側
に上記支持部を配置するようにして、上記少なくとも３
個の処理槽のうち少なくとも１つの処理槽（すなわち中
央の処理槽）に対して上記隣接する搬送装置が共にワー
ク搬入搬出位置で停止するとき、いずれの搬送装置の支
持部にも接触することがなくかつ上記搬送装置の搬送方
向を横切る空間を形成することができるようにし、この
空間内に上記供給管を配置したので、各供給管が上記搬
送装置に接触することなく、すなわち搬送装置の搬送を
全く妨げることなく上記供給管を配置することができ
る。よって、秤量槽から秤量された処理液を所望の処理
槽内に供給管を介して供給することができ、供給管を必
要最小限に短かくすることができて、液溜まりを少なく
することができる。また、上記構成によれば、上記少な
くとも３個の処理槽のうち少なくとも１つの処理槽（す
なわち中央の処理槽）に対して上記複数の搬送装置のう
ち隣接する搬送装置が共に共通するワーク搬入搬出位置
で停止して上記ワークを上記処理槽内に搬入及び搬出を
行うようにすれば、隣接する搬送装置を上記処理槽に対
して異なる位置で夫々停止させて上記ワークに対する搬
入搬出作用を行わせるものと比較して、上記処理槽での
搬送装置の搬入搬出位置を１つにしてスペース的に節約
することができるとともに、上記搬送装置を上記搬入搬
出位置で停止させるための機構、例えば、位置センサな
どの個数を減らすことができる。

実施例 以下に、本発明にかかる実施例を第１〜３図に基づいて
詳細に説明する。

本実施例にかかるウェット処理マシンは、第１図に示す
ように、ワークとしてのシリコンウェハ等半導体基板を
エッチング処理及び洗浄処理等行うためのものである。
すなわち、上記マシンは、５個の処理槽、すなわち第
１,第２,第３,第４,第５処理槽１,２,３,４,５を大略一
直線上に配置し、上記処理装置１,２,３,４,５のうち所
望の処理槽、例えば第２処理２と第４処理槽４に対して
秤量槽８,９,１０；１１,１２より秤量された処理液を
例えば、自然落下（自重）またはポンプにより夫々供給
管１５,…,１５を介して上記処理槽２,４に供給する一
方、２つの搬送装置６,７を上記処理槽１,２,３,４,５
の一側に配置して各搬送装置６,７が複数の上記半導体
基板を収納したキャリア１４を把持して各処理槽１,２,
３,４,５に対して該キャリア１４を搬入または搬出して
所望の処理を行うようにしている。

上記各処理槽１,２,３,４,５は隣接する処理槽とは互い
に分離壁１６に隔離されている。

上記２つの搬送装置６,７は、上記第１,第２,第３処理
槽１,２,３間で搬送する第１搬送装置６と、第３,第４,
第５処理槽３,４,５間で搬送する第２搬送装置７とより
なる。各搬送装置６,７は、上記所定の処理槽１,２,
３；３,４,５の一側の搬送床１３上を搬送方向に前後動
する搬送台６ａ,７ａと、該搬送台６ａ,７ａより上方に
延びた昇降軸６ｂ,７ｂと、該昇降軸６ｂ，７ｂの上部
に固定されたチャッキング駆動部６ｃと、該チャッキン
グ駆動部６ｃより上記処理槽側に延びたアーム６ｄと、
該アーム６ｄの先端に配置されたチャック６ｅとを備え
る。上記昇降軸６ｂ,７ｂと上記チャッキング駆動部６
ｃとで支持部を構成する。上記第１搬送装置６の上記昇
降軸６ｂは、上記搬送台６ａの搬送方向中心部に対して
上記第２搬送装置７より遠ざかる側に、すなわち第２図
では右側に偏心させて配置する。一方、上記第２搬送装
置７の上記昇降軸７ｂは、上記搬送台７ａの搬送方向中
心部に対して上記第１搬送装置６より遠ざかる側に、す
なわち第２図では左側に偏心させて配置する。この場
合、いずれのチャッキング駆動部６ｃ,７ｃも上記搬送
台６ａ,７ａの上記搬送方向中心部に配置して、上記昇
降軸６ｂ,７ｂのみが搬送台６ａ,７ａ及びチャッキング
駆動部６ｃ,７ｃなどの他の部材に対して偏心させるよ
うにする。ここで、第２図に、第１搬送装置６が第３処
理槽３の搬入搬出位置に位置したとき、その昇降軸６ａ
を実線で示し、第２搬送装置７が第３処理槽３の搬入搬
出位置に位置したとき、その昇降軸７ａを一点鎖線で示
す。従って、この搬入搬出位置では、上記第１搬送装置
６と上記第２搬送装置７の両昇降軸６ｂ,７ｂ間に一定
間隔でかつ上記搬送方向を横切る空間２０が形成され
る。この空間２０内には、上記秤量槽８,９,１０,１１,
１２から第２処理槽２及び第４処理槽４に向かう供給管
１５,…,１５が配置されており、各供給管１５は上記各
搬送装置６,７の昇降軸６ｂ,７ｂとは全く接触すること
がなく、搬送装置６,７の搬送を妨げないようになって
いる。一方、上記チャッキング駆動部６ｃとアーム６ｄ
とチャック６ｅは一体的に上記昇降軸６ｂ,７ｂの昇降
駆動により上下動し、この上下動により、上記チャック
６ｅで把持されたキャリア１４を各処理槽内に搬入する
一方、処理後、各処理槽内のキャリア１４を上記チャッ
ク６ｅで把持して該処理槽外でかつ上記分離壁１６より
上方まで上記キャリア１４を吊り上げて、次の処理槽ま
たは処理工程に搬出するようにしている。なお、上記昇
降軸などの最下端位置を第２,３図に実線で示してお
り、最上端位置を第３図に一点鎖線で示す。

上記秤量槽８,９,１０は、薬液Ａ、薬液Ｂ、薬液Ｃを夫
々収容して、所定の比率で各秤量槽内で秤量するように
なっており、秤量後、秤量された処理液を各供給管１５
を介して上記第２処理槽２内に自然落下によりまたはポ
ンプにより供給する。また、上記秤量槽１１，１２は、
薬液Ｄ、薬液Ｅを夫々収容して、所定の比率で各秤量槽
内で秤量するようになっており、秤量後、秤量された処
理液を各供給管１５を介して上記第４処理槽４内に自然
落下によりまたはポンプにより供給する。

上記構成によれば、第１搬送装置６のチャック６ｅで複
数の半導体基板が収納されたキャリア１４を把持したの
ち、上記第１搬送装置６の搬送方向への移動により分離
壁１６を越えさせる。そして、上記第１搬送装置６が第
１処理槽１の搬入搬出位置で停止したのち、上記キャリ
ア１４を第１処理槽１内に搬入して、該処理槽内で所定
の処理を行う。

次いで、第１処理槽１内のキャリア１４を上記チャック
６ｅで把持したのち、第１搬送装置６の移動により、分
離壁１６を越えさせる。そして、上記第１搬送装置６が
第２処理槽２の搬入搬出位置で停止したのち、上記キャ
リア１４を第２処理槽２内に搬入して、該処理槽内で所
定の処理を行う。

次いで、第２処理槽２内のキャリア１４を上記チャック
６ｅで把持したのち、第１搬送装置６の移動により、分
離壁１６を越えさせる。そして、上記第１搬送装置６が
第３処理槽３の搬入搬出位置で停止したのち、上記キャ
リア１４を第３処理槽３内に搬入して、該処理槽内で所
定の処理を行う。

次いで、今度は第２搬送装置７のチャック６ｅで第３処
理槽３内のキャリア１４を把持したのち、第２搬送装置
７の移動により、分離壁１６を越えさせる。そして、上
記第２搬送装置７が第４処理槽４の搬入搬出位置で停止
したのち、上記キャリア１４を第４処理槽４内に搬入し
て、該処理槽内で所定の処理を行う。なお、第２図で
は、上記昇降軸など６ｂ,６ｃ,６ｄ,６ｅ,７ｂ,７ｃの
最下端位置を示し、これよれ下方には昇降軸など６ｂ,
６ｃ,６ｄ,６ｅ,７ｂ,７ｃは下降しないので、上記供給
管１５,…,１５に上記昇降軸など６ｂ,６ｃ,６ｄ,６ｅ,
７ｂ,７ｃが接触することもない。

次いで、第４処理槽４内のキャリア１４を上記第２搬送
装置７の上記チャック６ｅで把持したのち、第２搬送装
置７の移動により、分離壁１６を越えさせる。そして、
上記第２搬送装置７が第５処理槽５の搬入搬出位置で停
止したのち、上記キャリア１４を第５処理槽５内に搬入
して、該処理槽内で所定の処理を行う。次いで、第２搬
送装置７のチャック６ｅで第５処理槽５内のキャリア１
４を把持したのち、第２搬送装置７の移動により、分離
壁１６を越えさせ、次の処理工程に搬出する。

上記実施例によれば、上記隣接する第１,第２搬送装置
６,７において、各搬送装置６,７の搬送台６ａ,７ａに
対して、上記昇降軸６ｂ,７ｂを、隣接する搬送装置７,
６とは反対側にすなわち遠ざかるように配置して、上記
第３処理槽３に対して上記隣接する第１,第２搬送装置
６,７が共に上記搬入搬出位置で停止するとき、いずれ
の搬送装置６,７の昇降軸６ｂ,７ｂにも接触することが
なくかつ上記搬送装置６,７の搬送方向を横切る空間２
０を形成することができるようにし、この空間２０内に
上記供給管１５,…,１５を配置したので、各供給管１５
が上記搬送装置６,７に接触することなく、すなわち搬
送装置６,７の搬送作業を全く妨げることなく上記供給
管１５,…,１５を配置することができる。よって、秤量
槽８,９,１０,１１,１２から秤量された処理液の自重ま
たはポンプにより該処理液を所望の処理槽２,４内に供
給管１５,…,１５を介して供給することができ、各供給
管１５を必要最小限に短くすることができて、液溜まり
を少なくすることができる。よって、上記秤量された処
理液を、ポンプなどを設けることなく、単にその自重で
もって処理槽に供給する場合でも、液溜まりを気にする
ことなく、円滑に供給させることができる。また、上記
構成によれば、上記処理槽１,２,３,４,５のうち少なく
とも１つの処理槽３に対して上記隣接する搬送装置６,
７が共に上記搬入搬出位置で停止して上記キャリア１４
を上記処理槽内に搬入または搬出を行うようにしたの
で、上記処理槽３での搬送装置６,７の搬入搬出位置を
１つにしてスペース的に節約することができるととも
に、上記搬送装置６,７を上記搬入搬出位置で停止させ
るための機構、例えば、位置センサなどの個数を減らす
ことができる。すなわち、上記処理槽３を搬送方向沿い
の寸法を大きくして隣接する搬送装置６,７を上記処理
槽３に対して異なる位置で夫々停止させて上記キャリア
１４に対する搬入搬出作用を行わせるものでは、各搬送
装置６,７の停止位置が増加した分だけ上記処理槽３の
スペースが大きくなり、かつ、各搬送装置に対する位置
決め機構、例えば、位置センサの個数が増加するといっ
た欠点があるが、上記実施例のものでは、このような不
具合は全くない。

なお、本発明は上記実施例に限定されるものではなく、
その他種々の態様で実施できる。例えば、上記処理槽
１,２,３,４,５に対して３台の搬送装置を配置して、第
１搬送装置は第１,第２処理槽１,２間で、第２搬送装置
は第２,第３,第４処理槽２,３,４間で、第３搬送装置は
第４,第５処理槽４,５間で夫々キャリア１４の搬入搬出
作業が行えるようにして、第２処理槽２と第４処理槽４
に夫々上記空間２０を夫々形成して、各空間２０に上記
供給管１５を配置するようにしてもよい。また、上記各
搬送装置の各部材の形状、構造などは上記実施例に限定
されるものではなく、任意の形状、構造等を採用するこ
とができる。例えば、上記キャリア１４を上下動させる
駆動方法としては、チャックを昇降させるため、チャッ
クを支持するアーム６ｄ、チャッキング駆動部６ｃ、昇
降軸６ｂを昇降させるものに限定されず、これらの部材
を昇降駆動することなく、回転巻上げ機構などによりチ
ャックを昇降させるなど、要はアームに対してチャック
を昇降させる機構ならば、どのようなものでもよい。処
理槽、秤量槽、供給管、搬送装置の個数については任意
であることは言うまでもない。

【図面の簡単な説明】

第１,２,３図は夫々本発明の一実施例にかかるウェット
処理マシンの平面図、正面図及び一部断面側面図であ
る。 １,２,３,４,５……処理槽、６,７……搬送装置、６ａ,
７ａ……搬送台、６ｂ,７ｂ……昇降軸、６ｃ,７ｃ……
チャッキング駆動部、６ｄ……アーム、６ｅ……チャッ
ク、８,９,１０,１１,１２……秤量槽、１３……搬送
床、１５……供給管、１６……分離壁、２０……空間。

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】少なくとも３個の処理槽(1,2,3,4,5)を大
   略一直線上に配置し、上記処理槽(1,2,3,4,5)のうち所
   望の処理槽(2,4)に対して秤量槽(8,9,10,11,12)より秤
   量された処理液を供給管(15)を介して供給する一方、少
   なくとも２つの搬送装置(6,7)を上記少なくとも３個の
   処理槽(1,2,3,4,5)の一側に配置して各搬送装置(6,7)が
   上記処理槽(1,2,3,4,5)のうち少なくとも隣接する２つ
   の処理槽間でワーク(14)を把持し各処理槽(1,2,3,4,5)
   に対して搬入及び搬出を行い、上記少なくとも３個の処
   理槽(1,2,3,4,5)のうち少なくとも１つの処理槽(3)に対
   して上記複数の搬送装置(6,7)のうち隣接する搬送装置
   (6,7)が共に上記１つの処理槽(3)のワーク搬入搬出位置
   で停止して上記ワーク(14)を上記１つの処理槽(3)内に
   搬入及び搬出を行うようにしたウェット処理マシンにし
   て、 上記少なくとも２つの搬送装置(6,7)のうちの一方の搬
   送装置(6)は、上記少なくとも３個の処理槽(1,2,3,4,5)
   のうちの一端部の処理槽の上記搬入搬出位置と該処理槽
   に隣接する中央の処理槽の上記搬入搬出位置との間を走
   行する搬送台(6a)と、該搬送台(6a)に対してその搬送経
   路方向の中心位置より上記他方の搬送装置(7)とは反対
   側の位置に偏らせて上記搬送台(6a)の上方に配置された
   チャック手段支持部(6b,6c)と、該支持部(6b,6c)にアー
   ム(6d)を介して支持されかつ上記ワーク(14)を把持して
   上記処理槽内に上記ワーク(14)を搬入及び搬出するチャ
   ック手段(6e)とを備える一方、 上記少なくとも２つの搬送装置(6,7)のうちの他方の搬
   送装置(7)は、上記少なくとも３個の処理槽(1,2,3,4,5)
   のうちの他端部の処理槽の上記搬入搬出位置と該処理槽
   に隣接する上記中央の処理槽の上記搬入搬出位置との間
   を走行する搬送台(7a)と、該搬送台(7a)に対してその搬
   送経路方向の中心位置より上記一方の搬送装置(6)とは
   反対側の位置に偏らせて上記搬送台(7a)の上方に配置さ
   れたチャック手段支持部(7b,7c)と、該支持部(7b,7c)に
   アーム(6d)を介して支持されかつ上記ワーク(14)を把持
   して上記処理槽内に上記ワーク(14)を搬入及び搬出チャ
   ック手段(6e)とを備えて、上記中央の処理槽の上記２つ
   の搬送装置の２つの上記搬入搬出位置間において上記一
   方の搬送装置(6)の支持部(6b,6c)と上記他方の搬送装置
   (7)の支持部(7b,7c)との間に、いずれの支持部(6b,6c,7
   b,7c)とも接触せずかつ上記２つの搬送装置(6,7)の搬送
   方向を横切る空間(20)を形成するとともに、 上記空間(20)内に上記供給管(15)を配置するようにした
   ことを特徴とするウェット処理マシン。
2. 【請求項２】上記一方の搬送装置(6)の上記支持部(6b,6
   c)は、その搬送台(6a)の上記他方の搬送装置(7)に近い
   端部とは反対側の端部より大略上方に延びかつ上記アー
   ム(6d)とともに上記チャック手段(6e)を上下動させて上
   記ワーク(14)を各処理槽に対して搬入及び搬出を行わせ
   る昇降軸(6b)と、該昇降軸(6b)より上記他方の搬送装置
   側に延びたチャッキング駆動部(6c)とを有するととも
   に、上記他方の搬送装置(7)の上記支持部(7b,7c)は、そ
   の搬送台(7a)の上記一方の搬送装置(6)に近い端部とは
   反対側の端部より大略上方に延びかつ上記アーム(7d)と
   ともに上記チャック手段(6e)を上下動させて上記ワーク
   (14)を各処理槽に対して搬入及び搬出を行わせる昇降軸
   (7b)と、該昇降軸(7b)より上記一方の搬送装置側に延び
   たチャッキング駆動部(7c)とを有して、上記２つの搬送
   装置(6,7)の支持部(6b,6c,7b,7c)間でかつ搬送台上方に
   矩形の上記空間(20)を形成するようにした請求項１に記
   載のウェット処理マシン。
3. 【請求項３】上記中央の処理槽(3)のワーク搬入搬出位
   置では、隣接する上記搬送装置(6,7)の上記チャック手
   段(6e)が同一位置に位置して上記ワーク(14)の搬入及び
   搬出を行うようにした請求項１または２記載のウェット
   処理マシン。