JPH06262005A - 気泡除去装置 - Google Patents
気泡除去装置Info
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- JPH06262005A JPH06262005A JP7767793A JP7767793A JPH06262005A JP H06262005 A JPH06262005 A JP H06262005A JP 7767793 A JP7767793 A JP 7767793A JP 7767793 A JP7767793 A JP 7767793A JP H06262005 A JPH06262005 A JP H06262005A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 容器内の液体から気泡を確実に分離して、液
体のみを取り出すことができるようにする。 【構成】 互いに極性の異なる勾配電界発生用電極１，
２間に液体１３を供給すると、勾配電界発生用電極１，
２間に発生された勾配電界８によって、流体容器内の液
体１３に混入された気泡１２が誘電分極され、誘電分極
された気泡１２に誘電泳動力が作用して、気泡１２が弱
電界部側へ移動されて、液体１３から分離されるので、
弱電界部７側に設けられた気体排出口から気体を外部へ
排出させ、強電界部６側に設けられた液体排出口から気
泡除去液を外部へ排出させることが可能となる。
体のみを取り出すことができるようにする。 【構成】 互いに極性の異なる勾配電界発生用電極１，
２間に液体１３を供給すると、勾配電界発生用電極１，
２間に発生された勾配電界８によって、流体容器内の液
体１３に混入された気泡１２が誘電分極され、誘電分極
された気泡１２に誘電泳動力が作用して、気泡１２が弱
電界部側へ移動されて、液体１３から分離されるので、
弱電界部７側に設けられた気体排出口から気体を外部へ
排出させ、強電界部６側に設けられた液体排出口から気
泡除去液を外部へ排出させることが可能となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、気泡除去装置に関する
ものである。
ものである。
【０００２】
【従来の技術】例えば、気泡が混入した液体が容器に収
容された場合、地上では気泡に浮力が作用するので、気
泡は浮力によって液面へ上昇し自然に液体から分離され
てしまうが、宇宙空間では気泡に浮力が作用しないの
で、自然にはこのような分離現象が起こらず、気泡は液
体に混入したままの状態に保たれる。
容された場合、地上では気泡に浮力が作用するので、気
泡は浮力によって液面へ上昇し自然に液体から分離され
てしまうが、宇宙空間では気泡に浮力が作用しないの
で、自然にはこのような分離現象が起こらず、気泡は液
体に混入したままの状態に保たれる。
【０００３】従って、宇宙空間では、容器内の液体から
気泡を確実に分離して、液体のみを取り出すことができ
るようにする必要がある。
気泡を確実に分離して、液体のみを取り出すことができ
るようにする必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】このように、従来は、
宇宙空間で容器内の液体から気泡を確実に分離して、液
体のみを取り出すことのできる気泡除去装置がなかった
ので、例えば、宇宙ステーションなどで冷却用として機
内に循環されている冷媒に気泡が混入された場合、冷媒
から気泡を分離することができず、しかも、その後の混
入によって気泡が蓄積される一方となるので、冷媒の機
能を十分に果せなくなるという問題があった。
宇宙空間で容器内の液体から気泡を確実に分離して、液
体のみを取り出すことのできる気泡除去装置がなかった
ので、例えば、宇宙ステーションなどで冷却用として機
内に循環されている冷媒に気泡が混入された場合、冷媒
から気泡を分離することができず、しかも、その後の混
入によって気泡が蓄積される一方となるので、冷媒の機
能を十分に果せなくなるという問題があった。
【０００５】本発明は、上述の実情に鑑み、宇宙空間で
も地上でも、容器内の液体から気泡を確実に分離して、
液体のみを取り出すことのできる気泡除去装置を提供す
ることを目的とするものである。
も地上でも、容器内の液体から気泡を確実に分離して、
液体のみを取り出すことのできる気泡除去装置を提供す
ることを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は、互いに極性の
異なる一対の勾配電界発生用電極を間隔を置いて配置す
ると共に、該勾配電界発生用電極の相対向面に一側から
他側へ進むに従い互いの間隔が広くなる傾斜部を形成し
て、勾配電界発生用電極間に前記一側が強電界部とな
り、他側が弱電界部となる勾配電界を発生可能とし、前
記勾配電界発生用電極間の周囲を閉止して流体容器を構
成し、該流体容器の強電界部と弱電界部のほぼ中間位置
に外部からの液体を流入させる液体供給流路の液体流入
口を設けると共に、流体容器の強電界部側の位置に外部
へ気泡除去液を排出させる液体排出流路の液体排出口
を、又、弱電界部側に外部へ気体を排出させる気体排出
流路の気体排出口を設けたことを特徴とする気泡除去装
置にかかるものである。
異なる一対の勾配電界発生用電極を間隔を置いて配置す
ると共に、該勾配電界発生用電極の相対向面に一側から
他側へ進むに従い互いの間隔が広くなる傾斜部を形成し
て、勾配電界発生用電極間に前記一側が強電界部とな
り、他側が弱電界部となる勾配電界を発生可能とし、前
記勾配電界発生用電極間の周囲を閉止して流体容器を構
成し、該流体容器の強電界部と弱電界部のほぼ中間位置
に外部からの液体を流入させる液体供給流路の液体流入
口を設けると共に、流体容器の強電界部側の位置に外部
へ気泡除去液を排出させる液体排出流路の液体排出口
を、又、弱電界部側に外部へ気体を排出させる気体排出
流路の気体排出口を設けたことを特徴とする気泡除去装
置にかかるものである。
【０００７】
【作用】本発明の作用は以下の通りである。
【０００８】互いに極性の異なる勾配電界発生用電極間
に外部からの液体を、液体供給流路の液体流入口から流
体容器の強電界部と弱電界部のほぼ中間位置に供給する
と、勾配電界発生用電極間には電界が発生され、該電界
によって、流体容器内の液体に混入された気泡が誘電分
極されるが、前記電界は、勾配電界発生用電極間の間隔
が狭くなっている一側が強電界部となり、間隔が広くな
っている他側が弱電界部となる勾配電界であるため、誘
電分極された気泡に誘電泳動力が作用し、該電気泳動力
によって気泡が弱電界部側へ移動されて、液体から分離
される。
に外部からの液体を、液体供給流路の液体流入口から流
体容器の強電界部と弱電界部のほぼ中間位置に供給する
と、勾配電界発生用電極間には電界が発生され、該電界
によって、流体容器内の液体に混入された気泡が誘電分
極されるが、前記電界は、勾配電界発生用電極間の間隔
が狭くなっている一側が強電界部となり、間隔が広くな
っている他側が弱電界部となる勾配電界であるため、誘
電分極された気泡に誘電泳動力が作用し、該電気泳動力
によって気泡が弱電界部側へ移動されて、液体から分離
される。
【０００９】従って、弱電界部側に設けられた気体排出
口から気体排出流路を介して気体を確実に外部へ排出さ
せ、強電界部側に設けられた液体排出口から液体排出流
路を介して気泡除去液として確実に外部へ排出させるこ
とが可能となる。
口から気体排出流路を介して気体を確実に外部へ排出さ
せ、強電界部側に設けられた液体排出口から液体排出流
路を介して気泡除去液として確実に外部へ排出させるこ
とが可能となる。
【００１０】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面を参照しつつ説
明する。
明する。
【００１１】図１〜図７は、本発明の一実施例である。
【００１２】平行で且つ長尺の一対の勾配電界発生用電
極１，２を間隔を置いて配置すると共に、該勾配電界発
生用電極１，２の相対向面に、勾配電界発生用電極１，
２の幅方向３一側から他側へ進むに従い互いの間隔が広
くなる傾斜部４を形成し、勾配電界発生用電極１，２
に、互いの極性が異なるよう交流、或いは、直流の電源
装置５を接続して、勾配電界発生用電極１，２間に前記
一側が強電界部６となり、他側が弱電界部７となる勾配
電界８を発生させ得るようにする。
極１，２を間隔を置いて配置すると共に、該勾配電界発
生用電極１，２の相対向面に、勾配電界発生用電極１，
２の幅方向３一側から他側へ進むに従い互いの間隔が広
くなる傾斜部４を形成し、勾配電界発生用電極１，２
に、互いの極性が異なるよう交流、或いは、直流の電源
装置５を接続して、勾配電界発生用電極１，２間に前記
一側が強電界部６となり、他側が弱電界部７となる勾配
電界８を発生させ得るようにする。
【００１３】そして、前記勾配電界発生用電極１，２間
の周囲を、端板９及び側板１０を用いて閉止することに
より、流体容器１１を構成する。
の周囲を、端板９及び側板１０を用いて閉止することに
より、流体容器１１を構成する。
【００１４】該流体容器１１の強電界部６と弱電界部７
のほぼ中間位置に、外部からの気泡１２が混入された液
体１３を流入させる液体供給流路１４の液体流入口１５
を設ける。
のほぼ中間位置に、外部からの気泡１２が混入された液
体１３を流入させる液体供給流路１４の液体流入口１５
を設ける。
【００１５】又、流体容器１１の強電界部６側の位置に
外部へ気泡除去液１６を排出させる液体排出流路１７の
液体排出口１８を設け、弱電界部７側に外部へ気体１９
を排出させる気体排出流路２０の気体排出口２１を設け
る。
外部へ気泡除去液１６を排出させる液体排出流路１７の
液体排出口１８を設け、弱電界部７側に外部へ気体１９
を排出させる気体排出流路２０の気体排出口２１を設け
る。
【００１６】更に、流体容器１１の弱電界部７に、絶縁
材性の目の細かい格子状部材２２を挿入する。
材性の目の細かい格子状部材２２を挿入する。
【００１７】尚、２３は勾配電界発生用電極１，２の長
手方向、２４は流体容器１１の内部における液体１３と
気体１９との境界面である。
手方向、２４は流体容器１１の内部における液体１３と
気体１９との境界面である。
【００１８】次に、作動について説明する。
【００１９】電源装置５を用いて、勾配電界発生用電極
１，２に電圧を印加し、この状態で、外部からの液体１
３を、液体供給流路１４の液体流入口１５から流体容器
１１の強電界部６と弱電界部７のほぼ中間位置に供給す
る。
１，２に電圧を印加し、この状態で、外部からの液体１
３を、液体供給流路１４の液体流入口１５から流体容器
１１の強電界部６と弱電界部７のほぼ中間位置に供給す
る。
【００２０】すると、勾配電界発生用電極１，２間には
電界が発生され、該電界によって図５に示すように、流
体容器１１内の液体１３に混入された気泡１２が誘電分
極されるが、前記電界は、勾配電界発生用電極１，２間
の間隔が狭くなっている一側が強電界部６となり、間隔
が広くなっている他側が弱電界部７となる勾配電界８で
あるため、誘電分極された気泡１２に誘電泳動力が作用
し、該電気泳動力によって気泡１２が弱電界部７側へ移
動されて、液体１３から分離される。
電界が発生され、該電界によって図５に示すように、流
体容器１１内の液体１３に混入された気泡１２が誘電分
極されるが、前記電界は、勾配電界発生用電極１，２間
の間隔が狭くなっている一側が強電界部６となり、間隔
が広くなっている他側が弱電界部７となる勾配電界８で
あるため、誘電分極された気泡１２に誘電泳動力が作用
し、該電気泳動力によって気泡１２が弱電界部７側へ移
動されて、液体１３から分離される。
【００２１】このようにして分離された気泡１２は、弱
電界部７側に設けられた格子状部材２２の細かい目によ
って補集される。
電界部７側に設けられた格子状部材２２の細かい目によ
って補集される。
【００２２】すると、宇宙空間では、格子状部材２２が
ない場合に、図７に示すように、気体１９と液体１３と
の境界面２４が、表面張力によって球面状で且つ不安定
な状態となって気体１９の取出しが困難となるが、格子
状部材２２を設けることにより、ほぼ平坦で且つ安定し
た境界面２４が得られるので、弱電界部７側に設けられ
た気体排出口２１から気体排出流路２０を介して気体１
９を確実に外部へ排出させることが可能となる。
ない場合に、図７に示すように、気体１９と液体１３と
の境界面２４が、表面張力によって球面状で且つ不安定
な状態となって気体１９の取出しが困難となるが、格子
状部材２２を設けることにより、ほぼ平坦で且つ安定し
た境界面２４が得られるので、弱電界部７側に設けられ
た気体排出口２１から気体排出流路２０を介して気体１
９を確実に外部へ排出させることが可能となる。
【００２３】一方、気泡１２が除去された液体１３は、
気泡１２とは反対方向の電気泳動力を受けて強電界部６
側に集るので、強電界部６側に設けられた液体排出口１
８から液体排出流路１７を介して、気泡除去液１６を確
実に外部へ排出させることが可能となる。
気泡１２とは反対方向の電気泳動力を受けて強電界部６
側に集るので、強電界部６側に設けられた液体排出口１
８から液体排出流路１７を介して、気泡除去液１６を確
実に外部へ排出させることが可能となる。
【００２４】又、勾配電界発生用電極１，２の端部や側
部においては、図５に示すように、電気力線に乱れが生
じるので、勾配電界発生用電極１，２の長手方向２３及
び幅方向３の寸法を大きく取った方が、より安定して気
泡１２を除去させることができるようになる。
部においては、図５に示すように、電気力線に乱れが生
じるので、勾配電界発生用電極１，２の長手方向２３及
び幅方向３の寸法を大きく取った方が、より安定して気
泡１２を除去させることができるようになる。
【００２５】尚、本発明は、上述の実施例にのみ限定さ
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内に
おいて種々変更を加え得ることは勿論である。
れるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲内に
おいて種々変更を加え得ることは勿論である。
【００２６】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の気泡除去
装置によれば、容器内の液体から気泡を確実に分離し
て、液体のみを取り出すことができるという優れた効果
を奏し得る。
装置によれば、容器内の液体から気泡を確実に分離し
て、液体のみを取り出すことができるという優れた効果
を奏し得る。
【図１】本発明の一実施例の破断した側面図である。
【図２】図１のＩＩ−ＩＩ矢視図である。
【図３】図１のＩＩＩ−ＩＩＩ矢視図である。
【図４】勾配電界発生用電極の斜視図である。
【図５】気泡が誘電泳動によって移動される様子を示す
作動図である。
作動図である。
【図６】格子状部材を設けた場合の気液境界面の様子を
示す側面図である。
示す側面図である。
【図７】格子状部材を設けない場合の気液境界面の様子
を示す側面図である。
を示す側面図である。
１，２ 勾配電界発生用電極 ４ 傾斜部 ６ 強電界部 ７ 弱電界部 ８ 勾配電界 １１ 流体容器 １３ 液体 １４ 液体供給流路 １５ 液体流入口 １６ 気泡除去液 １７ 液体排出流路 １８ 液体排出口 ２０ 気体排出流路 ２１ 気体排出口
Claims (1)
- 【請求項１】 互いに極性の異なる一対の勾配電界発生
用電極を間隔を置いて配置すると共に、該勾配電界発生
用電極の相対向面に一側から他側へ進むに従い互いの間
隔が広くなる傾斜部を形成して、勾配電界発生用電極間
に前記一側が強電界部となり、他側が弱電界部となる勾
配電界を発生可能とし、前記勾配電界発生用電極間の周
囲を閉止して流体容器を構成し、該流体容器の強電界部
と弱電界部のほぼ中間位置に外部からの液体を流入させ
る液体供給流路の液体流入口を設けると共に、流体容器
の強電界部側の位置に外部へ気泡除去液を排出させる液
体排出流路の液体排出口を、又、弱電界部側に外部へ気
体を排出させる気体排出流路の気体排出口を設けたこと
を特徴とする気泡除去装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07767793A JP3319016B2 (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | 気泡除去装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP07767793A JP3319016B2 (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | 気泡除去装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06262005A true JPH06262005A (ja) | 1994-09-20 |
| JP3319016B2 JP3319016B2 (ja) | 2002-08-26 |
Family
ID=13640526
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP07767793A Expired - Fee Related JP3319016B2 (ja) | 1993-03-11 | 1993-03-11 | 気泡除去装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3319016B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007216681A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Samsung Electronics Co Ltd | インクジェットプリントヘッド及びその気泡除去方法 |
| JP2008010892A (ja) * | 2003-06-11 | 2008-01-17 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
| JP2008516215A (ja) * | 2004-10-04 | 2008-05-15 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 流体に含まれている粒子を電気泳動分離するための装置 |
| JP2009088552A (ja) * | 2004-02-09 | 2009-04-23 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびリソグラフィ装置を清浄する方法 |
-
1993
- 1993-03-11 JP JP07767793A patent/JP3319016B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2008010892A (ja) * | 2003-06-11 | 2008-01-17 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
| JP2010239158A (ja) * | 2003-06-11 | 2010-10-21 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ投影装置 |
| JP4580968B2 (ja) * | 2003-06-11 | 2010-11-17 | エーエスエムエル ネザーランズ ビー．ブイ． | リソグラフィ装置及びデバイス製造方法 |
| US9110389B2 (en) | 2003-06-11 | 2015-08-18 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
| US9964858B2 (en) | 2003-06-11 | 2018-05-08 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
| JP2009088552A (ja) * | 2004-02-09 | 2009-04-23 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびリソグラフィ装置を清浄する方法 |
| JP2011066452A (ja) * | 2004-02-09 | 2011-03-31 | Asml Netherlands Bv | リソグラフィ装置およびリソグラフィ装置を清浄する方法 |
| USRE42849E1 (en) | 2004-02-09 | 2011-10-18 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus and device manufacturing method |
| JP2008516215A (ja) * | 2004-10-04 | 2008-05-15 | コミツサリア タ レネルジー アトミーク | 流体に含まれている粒子を電気泳動分離するための装置 |
| JP2007216681A (ja) * | 2006-02-14 | 2007-08-30 | Samsung Electronics Co Ltd | インクジェットプリントヘッド及びその気泡除去方法 |
| US8100520B2 (en) | 2006-02-14 | 2012-01-24 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Inkjet printhead and method of removing bubbles in the same |
| KR101236426B1 (ko) * | 2006-02-14 | 2013-02-22 | 삼성디스플레이 주식회사 | 잉크젯 프린트헤드 및 그 기포제거방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3319016B2 (ja) | 2002-08-26 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |