JPH06253507A

JPH06253507A - 回転機の電機子およびその製造方法

Info

Publication number: JPH06253507A
Application number: JP3787193A
Authority: JP
Inventors: Tomokazu Yoshida; 云一吉田; Takaharu Ueda; 隆治植田; Takeshi Sugiyama; 武史杉山; Satoru Suzuki; 悟鈴木; Takero Goto; 健朗後藤; Kazuhiro Odawara; 一浩小田原
Original assignee: Mitsubishi Electric Corp
Current assignee: Mitsubishi Electric Corp
Priority date: 1993-02-26
Filing date: 1993-02-26
Publication date: 1994-09-09

Abstract

(57)【要約】【目的】回転機の電機子におけるアーマチュアコイル
の端をコミュテータのセグメントに良好に超音波接合す
ること。【構成】アルミニウムまたはアルミニウム合金からな
るアーマチュアコイル３の端が接合される銅または銅合
金製のセグメント６の接合面に、前記アーマチュアコイ
ルとセグメントとの中間の硬さの軟質導電性金属膜７
を、エネルギーイオン援用法により形成し、その後この
上にアーマチュアコイルの端を超音波接合した。【効果】軟質導電性金属膜はセグメントにしっかりと
接続されている。この金属膜の表面は、セグメントより
も軟質なので、超音波接合の際こすられて新鮮な金属面
を出し、他方、アーマチュアコイルの端もこすられて新
鮮な金属面を出して互いに良好に接合される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、直流電動機や発電機
などの回転機の電機子に係わるもので、特にアーマチュ
アコイルにアルミニウム系材料を用いた軽量かつ低慣性
の電機子およびその製造方法の改良に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】従来の直流電動機としては、例えば図７
に示すものがあった。この図において、１０は電機子
軸、１６はスプライン、９は電機子コア、１はコミュテ
ータ、６はセグメント、５は樹脂部、２は摺接面部、４
は接合部、３はアーマチュアコイルである。

【０００３】従来の直流電動機は、周面にスプライン１
６を形成し、該スプライン部に電機子コア９を嵌合装着
した鉄製の電機子軸１０を備えている。このスプライン
１６に隣接する電機子軸１０には、別体のコミュテータ
１が圧入嵌合装着されている。従来のコミュテータ１
は、周方向に等間隔に配列された銅製のセグメント６
と、その間に設けられた絶縁のための樹脂部５とから構
成されているが、より具体的にはコミュテータ１はブラ
シ（図示せず）が摺接する摺接面部２と該セグメント６
の一端に形成され該摺接面部２より径の大きい接合部４
とを備えている。そして、電機子コア９に巻き付けられ
たアーマチュアコイル３の端部が各セグメント６の端部
における接合部４に接続されている。

【０００４】この従来の直流電動機においては、アーマ
チュアコイル３を軽量化するためにアルミニウム線を使
用する場合、該アーマチュアコイル３の各端部はコミュ
テータ１の各セグメント６の接合部４に直接超音波溶接
して接続されていた。しかし、このような硬さの極めて
異なる材料同士を超音波溶接しても十分な接合強度を得
ることはできなかった。

【０００５】その改善策として、銅製の各セグメント６
のアーマチュアコイル３との接合部４にアルミ部片を固
着し、アーマチュアコイル３の端部を該アルミ部片に接
続する方法が提案されている。この方法を以下に説明す
る。図８は例えば特開昭６３−１９８５５７号公報に記
載された直流電動機のコミュテータの構造を示す断面図
である。図において、８は樹脂パウダ、６は銅製のセグ
メント、２０はアルミニウム部片である。複数の各セグ
メント６は、筒状の樹脂部５に下部を埋め込んだ状態で
周方向に等間隔に配列されている。これら各セグメント
６は摺接面部２と、接合部４においてセグメント６に固
着されたアルミニウム部片２０とからなる。この接合部
４は摺接面部２より外径が大きく形成されている。コミ
ュテータ１の接合部４における各セグメント６のアルミ
ニウム部片２０にはアルミニウム線からなるアーマチュ
アコイル３の端部が、その先端をアルミニウム部片２０
より摺接面部２側に僅かに突出した状態で超音波接合さ
れている。そして、この接合部４にはアルミニウム部片
２０に固着されたアーマチュアコイル３の端部を埋め込
んでしまうように樹脂パウダ８が被着されている。

【０００６】上記の構造を持つコミュテータは次のよう
にして製造される。まず、図９に示すように、アルミニ
ウム管２１の内側にこれと同じ長さの銅管２２を嵌合
し、両者を爆着または熱間静水圧押出し法等により強固
に固着して、複合管２３を作製する。次に、この複合管
２３を冷間鍛造加工により、図１０に示す断面形状に加
工する。すなわち銅管２２にじょうご状の断面を持つ溝
２４を形成する。その後、図１１に示すようにこの冷間
鍛造された複合管２３の内周面に、電機子軸１０を圧入
するための開口２５を残してモールド樹脂を充填し、セ
グメント６の支持体となる樹脂部５が融着形成される。
次いで、この部材の外周面を図１１の（ａ）及び（ｂ）
に示すように、切削線１８に沿って切削される。この時
の切削半径は、図１０で示したじょうご状の溝２４の最
深部を横断するように選択される。かくして銅管２２は
セグメント６に分けられる。しかしこれらセグメント６
はいまだ、図１１の（ｂ）において右端部で、互いにつ
ながっている。そこで、この右端部ではアルミニウム管
２１の表面から樹脂部５に至る深さの溝を切り込みアル
ミニウム部片２０としかつセグメント６を互いに完全に
切り離す。かくして図１２に示す如き部材が完成する。
このような工程を経て形成された部材のアルミニウム部
片２０にアルミニウムからなるアーマチュアコイル３の
端を超音波接合法により固着せしめた後、接合されたア
ーマチュアコイル３の端部全体を含めて接合部４の全周
に樹脂パウダ８が被着される。最後に、摺接面部２の周
面が再度切削除去されると共に、樹脂パウダ８が被着さ
れたアーマチュアコイル３の先端部が接合部４から僅か
な軸方向距離をあけて径方向に切削され、図８に示した
コミュテータが完成する。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】図７に示す様に、銅製
のセグメント６にアルミニウム製のアーマチュアコイル
の端を直接に超音波接合すると接合強度が十分でなく、
電機子の回転数を大きくできなかったため大出力を発生
する軽量の回転機を得ることは不可能であった。また、
その信頼性は極めて低いのもでしかなかった。また、当
該接合部の接合強度を確保するため図８に示す通り、銅
製のセグメント上にアルミニウム部材を固着した後にア
ルミニウム製のアーマチュアコイルを接合すれば、コミ
ュテータの構造が一層複雑となり、製造コストが極めて
高くなるばかりか、歩留りが低下するという問題もあっ
た。

【０００８】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、電機子コアに巻かれたアルミニ
ウム製のアーマチュアコイルをコミュテータの接合部に
おいて各セグメントに超音波接合した際に十分な接合強
度を簡便に得ることのできる回転電機の電機子を提供す
ることにある。この発明の他の目的は、アルミニウム製
のアーマチュアコイルを有する軽量かつ低慣性の回転機
の電機子を容易かつ安価に製造する方法を提供すること
にある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】この発明の第１の発明に
関わる回転機に電機子は、銅または銅合金からなる複数
のセグメントを有するコミュテータとアルミニウムまた
はアルミニウム合金からなるアーマチュアコイルとを備
える回転機の電機子において、前記アーマチュアコイル
が接する前記セグメントの接合面に、前記アーマチュア
コイルより硬さの大きな軟質導電性金属膜を有するもの
である。

【００１０】また、この発明の第２の発明に関わる回転
機の電機子は、銅または銅合金からなるセグメント上
の、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるアー
マチュアコイルとの接合部分に形成された軟質導電性金
属膜と前記セグメントとの界面において、酸化物等の不
純物層を除去したものである。

【００１１】さらに、この発明の第３の発明に関わる回
転機の電機子は、銅からなる複数のセグメントを有する
コミュテータとアルミニウムからなるアーマチュアコイ
ルとを備える回転機の電機子において、前記アーマチュ
アコイルが接する前記セグメントの接合面に、前記アー
マチュアコイルの２〜８倍の硬さを有するアルミニウム
膜を形成したものである。

【００１２】また、この発明の第４の発明に関わる回転
機の電機子は、銅または銅合金からなるセグメント上
の、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるアー
マチュアコイルとの接合部表層に、アルミニウム原子が
注入されているものである。

【００１３】また、この発明の第５の発明に関わる回転
機の電機子は、銅または銅合金からなるセグメント上
の、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるアー
マチュアコイルとの接合面上に形成されたアルミニウム
膜と前記セグメントとの界面において、少なくとも銅お
よびアルミニウムとが互いに逆の濃度勾配を有する組成
傾斜層を形成したものである。

【００１４】また、この発明の第６の発明に関わる回転
機の電機子の製造方法は、銅または銅合金からなるセグ
メント上の、アルミニウムまたはアルミニウム合金から
なるアーマチュアコイルとの接合部表面に、真空中にお
いて１〜１００keV のエネルギーを有する不活性原子イ
オンを照射した後或は照射しつつ軟質導電性金属を０．
０５〜５μｍ堆積させ、その後前記アーマチュアコイル
を前記セグメントに超音波接合するものである。

【００１５】また、この発明の第７の発明に関わる回転
機の電機子の製造方法は、銅または銅合金からなるセグ
メント上の、アルミニウムまたはアルミニウム合金から
なるアーマチュアコイルとの接合部表面に、真空中にお
いて１〜３０keV のエネルギーを有する不活性元素イオ
ンを照射して前記セグメント表面を清浄化した後、連続
して軟質導電性金属を厚さ０．０５〜５μｍ堆積させ、
その後前記アーマチュアコイルを前記セグメントに超音
波接合するものである。

【００１６】また、この発明の第８の発明に関わる回転
機の電機子の製造方法は、銅からなる複数のセグメント
を有するコミュテータとアルミニウムからなるアーマチ
ュアコイルとを備える回転機の電機子の製造法におい
て、前記セグメントと前記アーマチュアコイルの接合面
に、前記アーマチュアコイルの５〜８倍の硬さを有する
アルミニウム膜を形成し、その後前記セグメント上に前
記アーマチュアコイルを２本重ねた状態で一括して同時
に超音波接合するものである。

【００１７】また、この発明の第９の発明に関わる回転
機の電機子の製造方法は、銅または銅合金からなるセグ
メント上の、アルミニウムまたはアルミニウム合金から
なるアーマチュアコイルとの接合部表面に対し、真空中
において１０〜１００keV のエネルギーを有する不活性
元素イオンを２０〜３００μＡ／cm² の電流密度で照射
しつつ、アルミニウムを０．１〜２nm／sec の速度で蒸
着し、アルミニウム原子を前記セグメント表層に注入し
た後、該セグメント表面に前記アーマチュアコイルを超
音波接合するものである。

【００１８】また、この発明の第１０の発明に関わる回
転機の電機子の製造方法は、銅または銅合金からなるセ
グメント上の、アルミニウムまたはアルミニウム合金か
らなるアーマチュアコイルとの接合部表面に、真空中に
おいて３０〜１００keV のエネルギーを有する不活性元
素イオンを１００〜３００μＡ／cm² の電流密度で照射
しつつ、アルミニウムを０．１〜１．５nm／sec の速度
で蒸着し、少なくとも銅およびアルミニウムとが互いに
逆の濃度勾配を有する傾斜層を形成した後、該セグメン
ト表面に前記アーマチュアコイルを超音波接合するもの
である。

【００１９】

【作用】この発明の第１の発明においては、銅または銅
合金からなる複数のセグメントを有するコミュテータと
アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるアーマチ
ュアコイルとを備える回転機の電機子において、前記セ
グメントと前記アーマチュアコイルとの接合面に、前記
アーマチュアコイルより硬さの大きな軟質導電性金属膜
を有するものとしているため、硬質側の銅または銅合金
セグメント表面に容易に超音波接合が可能な被接合面が
形成されて後、超音波接合が為されることとなり、銅系
金属とアルミニウム系金属（従来は硬さに著しい差異が
存在し超音波接合が困難とされている）とが強固に接合
され、信頼性の高い軽量の電機子を簡便に得ることがで
きる。

【００２０】また、この発明の第２の発明においては、
銅または銅合金からなるセグメント上の、アルミニウム
またはアルミニウム合金からなるアーマチュアコイルと
の接合部分に形成された軟質導電性金属膜と前記セグメ
ントとの界面において、酸化物等の不純物層を除去した
ものとしているので、超音波接合時における加振開始
後、銅の方がアルミニウムより硬質であるにも拘らず銅
の清浄面をたやすく露出させることができ、セグメント
とコイルとの接合強度を安定して高めることができる。

【００２１】さらに、この発明の第３の発明において
は、銅からなる複数のセグメントを有するコミュテータ
とアルミニウムからなるアーマチュアコイルとを備える
回転機の電機子において、前記セグメントと前記アーマ
チュアコイルとの接合面に、前記アーマチュアコイルの
２〜８倍の硬さを有するアルミニウム膜を形成したもの
としているため、銅セグメントとアルミニウムコイルと
の接合特性を向上でき、接合部の信頼性に極めて優れた
電機子を製造することができる。

【００２２】また、この発明の第４の発明においては、
銅または銅合金からなるセグメント上の、アルミニウム
またはアルミニウム合金からなるアーマチュアコイルと
の接合部表層に、アルミニウム原子が注入されたものと
したので、超音波接合における銅とアルミニウムとの凝
着核を密に形成する事が可能となり、接合強度と耐食性
に優れた接合部を有する回転子を得ることが可能とな
る。

【００２３】また、この発明の第５の発明においては、
銅または銅合金からなるセグメント上の、アルミニウム
またはアルミニウム合金からなるアーマチュアコイルと
の接合面上に形成されたアルミニウム膜と前記セグメン
トとの界面において、少なくとも銅およびアルミニウム
とが互いに逆の濃度勾配を有する組成傾斜層を形成した
ものとしたので、接合部におけるアルミニウム膜の剥離
に起因する接合部の破壊を抑えて、極めて信頼性の高い
接合部を有する電機子を製造することができる。

【００２４】また、この発明の第６の発明においては、
銅または銅合金からなるセグメント上の、アルミニウム
またはアルミニウム合金からなるアーマチュアコイルと
の接合部表面に、真空中において１〜１００keV のエネ
ルギーを有する不活性原子イオンを照射した後或は照射
しつつ軟質導電性金属を０．０５〜５μｍ堆積させ、そ
の後前記アーマチュアコイルを前記セグメントに超音波
接合するようにしたので、アルミニウム膜の結晶配向性
や膜の残留応力を自由度高く制御して、当該接合に最適
なアルミニウム膜硬さを安定して得ることが可能であ
る。

【００２５】また、この発明の第７の発明においては、
銅または銅合金からなるセグメント上の、アルミニウム
またはアルミニウム合金からなるアーマチュアコイルと
の接合部表面に対し、真空中において１〜３０keV のエ
ネルギーを有する不活性元素イオンを照射して前記セグ
メント表面を清浄化した後、連続して軟質導電性金属を
厚さ０．０５〜５μｍ堆積させ、その後前記アーマチュ
アコイルを前記セグメントに超音波接合するようにした
ので、銅セグメント表面のクリーニング終了後、清浄表
面が不純物雰囲気にさらされることなく直ちにカバーさ
れ、接合工程までの間の完全な清浄面保護が為される。
また、一連のプロセスは極めて短時間の間に、簡便な作
業として実施することができる。

【００２６】また、この発明の第８の発明においては、
銅からなる複数のセグメントを有するコミュテータとア
ルミニウムからなるアーマチュアコイルとを備える回転
機の電機子の製造法において、前記セグメントと前記ア
ーマチュアコイルの接合面に、前記アーマチュアコイル
の５〜８倍の硬さを有するアルミニウム膜を形成し、そ
の後前記セグメント上に前記アーマチュアコイルを２本
重ねた状態で一括して同時に超音波接合するようにした
ので、上側コイルと下側コイルとの接合部および下側コ
イルとセグメントとの接合部のそれぞれの接合しやすさ
のバランスを最適化でき、その結果２箇所の接合部の接
合強度を同時に高めることが可能となる。

【００２７】また、この発明の第９の発明においては、
銅または銅合金からなるセグメント上の、アルミニウム
またはアルミニウム合金からなるアーマチュアコイルと
の接合部表面に対し、真空中において１０〜１００keV
のエネルギーを有する不活性元素イオンを２０〜３００
μＡ／cm² の電流密度で照射しつつ、アルミニウムを
０．１〜２nm／sec の速度で蒸着し、アルミニウム原子
を前記セグメント表層に注入した後、該セグメント表面
に前記アーマチュアコイルを超音波接合するようにした
ので、イオン注入用の金属イオン源を別途準備する必要
はなく、前工程のスパッタクリーニングで用いた比較的
安価で取扱いの簡単なイオン源を続けて使用し、効率よ
く低コストでアルミニウム注入層を形成することが可能
である。

【００２８】また、この発明の第１０の発明において
は、銅または銅合金からなるセグメント上の、アルミニ
ウムまたはアルミニウム合金からなるアーマチュアコイ
ルとの接合部表面に対し、真空中において３０〜１００
keV のエネルギーを有する不活性元素イオンを１００〜
３００μＡ／cm² の電流密度で照射しつつ、アルミニウ
ムを０．１〜１．５nm／sec の速度で蒸着し、少なくと
も銅およびアルミニウムとが互いに逆の濃度勾配を有す
る傾斜層を形成した後、該セグメント表面に前記アーマ
チュアコイルを超音波接合するようにしたので、コミュ
テータの樹脂部分の熱劣化を防止し得る低温条件のもと
で、他の成膜法に比較して極めて大きな付着強度を有す
るアルミニウム膜を形成でき、その結果、機械的特性及
び電気的特性における信頼性に優れた回転子を製造する
ことが可能である。

【００２９】

【実施例】以下、この発明の実施例を図について説明す
る。実施例１図１及び図２において、１はコミュテータ、２はコミュ
テータ１のブラシ（図示せず）との摺接面部、３はアル
ミニウム線からなるアーマチュアコイル、４はコミュテ
ータ１のアーマチュアコイル３との接合部、５はコミュ
テータ１を支持する樹脂部、６は銅からなるセグメン
ト、７はセグメント６上に形成されたアルミニウム膜、
８は樹脂パウダ、９は電機子コア、１０は電機子軸であ
る。

【００３０】この実施例において、直流電動機を構成す
るコミュテータ１を除いては、電機子コアに巻かれたア
ーマチュアコイルがアルミニウムであること以外は図７
に示した従来のものと同一である。コミュテータ１は全
体として筒状を呈し、その周面の大部分がブラシと摺接
する摺接面部２とされ、この摺接面部２に隣接する一端
部がアーマチュアコイル３と接続するための接合部４と
されている。このようなコミュテータ１は支持体となる
筒状の樹脂部５と、樹脂部５の周面において軸方向に伸
長しかつ周方向に等間隔に配列された多数の銅セグメン
ト６を備え、各セグメント６は樹脂部５に下部を埋め込
んだ状態で設けられている（この埋め込み方法は図９乃
至図１２においてアルミニウム管２１を除いた製法と同
じ）。コミュテータ１の接合部４における各セグメント
６には、アルミニウム線からなるアーマチュアコイル３
の端部がアルミニウム膜７を介して超音波接合されてい
る。そして、この接合部４にはセグメント６に接合され
たアーマチュアコイル３の端部を埋め込んでしまうよう
に樹脂パウダ８が被着されている。この樹脂パウダ８
は、アーマチュアコイル３の先端における内側空間部に
も充填され、接合部４全体を外側から覆い隠す様に被覆
している。

【００３１】さて、コミュテータ１の接合部４における
各セグメント６に、アルミニウム膜７を形成する方法に
ついて詳細に説明する。まず、フェノール樹脂等からな
る筒状の樹脂部５の周面において軸方向に伸長しかつ周
方向に等間隔に配列された多数の銅セグメント６が樹脂
部５に下部を埋め込んだ状態で設けられているコミュテ
ータ１を成膜用真空槽内に存置させる。このとき、コミ
ュテータ１を予めアセトン等を用いて超音波洗浄して機
械加工時に付着した油分等を除去しておくことが望まし
く、これにより形成膜の純度と付着力を改善することが
肝要である。洗浄の終了したコミュテータは、十分に乾
燥させて洗浄液を完全に蒸散させた後、電機子軸１０が
挿入されるべき中心部の孔に成膜用の軸を通して、真空
槽内に保持される。この時、イオンビームおよび蒸着ビ
ームの両方が、少なくともセグメント６のアーマチュア
コイル３との接合部４に均一に照射される位置および角
度に保持されなければならない。また、形成されるアル
ミニウム膜が接合部４の全周に亘って均一な膜厚及び膜
質となるように、成膜用の軸は１〜３rpm の速度でゆっ
くりと回転させる（なおセグメント同士が導通しないよ
うに適当なマスクが設けられている）。このとき、１本
の成膜用の軸に通すコミュテータ１の数量及び真空槽内
に入れる成膜用の軸の本数が多いほど成膜の効率が高く
なることは言うまでもないが、イオンビームおよび蒸着
ビームの径から成膜処理面積には自ずと制約がある。

【００３２】次に、前記真空槽内を１０^-5Ｐａオーダに
排気した後、バケット型イオン源等を用いて、例えばア
ルゴン等の不活性ガスをイオン化した後、１〜３０ｋＶ
の電界を用いて加速し、少なくともコミュテータ１の接
合部４における各セグメント６表面に照射する。これに
より、図３の（ａ）に示すように当該部分の銅セグメン
ト６の表面に存在する酸化物などの汚染層１１は、図３
の（ｂ）に示す加速された不活性イオン１２の衝突によ
りスパッタされ、離脱粒子１３となってセグメント６の
表面から飛散し、その結果一定時間後にはセグメント６
の表面から汚染層１１は消失する。このとき、セグメン
ト６表面に照射するイオンの加速電圧を３０ｋＶを越え
る高い値に設定すると、セグメント６表面に入射したイ
オンの内でセグメント６の内部に注入されるイオンの割
合が大きくなり、その結果、所望のスパッタ効果が十分
に得られなくなるという問題を生じる。また、セグメン
ト６表面に照射するイオンの加速電圧が１００Ｖ以下の
場合には、セグメント６表面に衝突するイオンのエネル
ギーが小さいために離脱粒子１３を発生させて汚染層１
１をはじき飛ばすスパッタ効果の発現は期待できない。
また、後述する工程で、１０〜１００ｋＶの比較的高い
加速電圧を有する大容量イオン源を用いる必要がある
が、この加速電圧を達成できるイオン源においては、そ
の構造原理上１ｋＶ以下の加速電圧でイオンビームを安
定して引き出すことは困難である。従って、酸化物など
の汚染層１１をスパッタ除去するためにセグメント６の
表面に照射する不活性イオンの加速電圧を１〜３０ｋＶ
とすることにより、唯一台のイオン源を搭載した低価格
の装置を用いて、セグメント６表面に対し所望の処理を
低コストで達成することが可能である。

【００３３】この後ただちに、当該清浄表面に、図３の
（ｃ）に示すように電子ビーム加熱等の手法を用いて蒸
発させたアルミニウムの原子１４を堆積させ、０．０５
〜５μｍの厚さのアルミニウム膜７を形成する。これに
より、セグメント６の表面に形成された銅の清浄表面が
再汚染されることなくアルミニウム膜７でカバーされ、
後の工程の大気中における超音波接合時において、銅の
方がアルミニウムよりも硬質であるにも拘らずセグメン
ト６の清浄面をたやすく露出させることができ、セグメ
ント６とアーマチュアコイル３との接合強度を安定して
高めることができるようになる。

【００３４】この時セグメント６の表面に蒸着されるア
ルミニウムの膜７は、その硬さがアルミニウム線からな
るアーマチュアコイル３の硬さの２〜８倍となるように
形成されていなければならない。すなわち、アルミニウ
ムの膜７の硬さがアルミニウム線からなるアーマチュア
コイル３の硬さの２倍より小さい場合には、後の工程の
大気中における超音波接合時のごく初期の段階におい
て、アーマチュアコイル３の接合部の変形がほとんど進
展しない内にセグメント６の清浄面上に形成された当該
アルミニウム膜７が排斥され、直ちにセグメント６の清
浄表面が酸素吸着などによる汚染層に覆われてしまい、
結果的にはセグメント６表面になんら処理を施していな
い状態と同一になり、超音波接合は達成できなくなって
しまう。また、アルミニウムの膜７の硬さがアルミニウ
ム線からなるアーマチュアコイル３の硬さの８倍より大
きい場合には、超音波接合時に当該アルミニウム膜７を
除去できないことから、銅のセグメント６とアーマチュ
アコイル３との超音波接合は不可能である。さらに、形
成するアルミニウム膜７の厚さが０．０５μｍ以下の場
合には、超音波接合時のごく初期の段階において、セグ
メント６の清浄面上に形成された当該アルミニウム膜７
が排斥され、直ちにセグメント６の清浄表面が酸素吸着
などによる汚染層に覆われてしまい、結果的にはセグメ
ント６表面になんら処理を施していない状態と同一にな
り、超音波接合は達成できなくなってしまう。また、形
成するアルミニウムの膜７の厚さが５μｍ以上の場合に
は、超音波接合時に当該アルミニウム膜７を除去できな
いことから、この場合にもセグメント６とアーマチュア
コイル３との超音波接合は不可能である。

【００３５】ここで、アルミニウムの膜７を、その硬さ
がアルミニウム線からなるアーマチュアコイル３の硬さ
の２〜８倍となるように形成する方法の一例について説
明する。前述の工程を経て酸化物などの汚染層１１がス
パッタ除去されたセグメント６の表面にアルミニウムの
膜７を形成する時、例えば３０keV のエネルギーを有す
るアルゴン等の不活性元素イオンを２００μＡ／cm² の
電流密度で照射しつつ、アルミニウムを１５nm／sec の
速度で蒸着すると、照射された不活性原子の一部がアル
ミニウム膜７内部に侵入して膜結晶の残留応力を上昇さ
せる効果を発揮し、アーマチュアコイル３の約５倍の硬
さであるヴィッカース硬さ１４０程度を有するアルミニ
ウム膜７が得られる。

【００３６】なお、上記では、銅セグメント６の表面に
存在する酸化物などの汚染層１１を除去する手段として
不活性イオンを照射する方法を示したが、例えば５％硫
酸希釈液等を用いて銅セグメント６表面を洗浄するいわ
ゆる湿式エッチング法等を用いても、不活性イオンを照
射する方法に準ずる効果が得られる。

【００３７】また、上記では、セグメント６表面に形成
する膜７の硬さがアルミニウム線からなるアーマチュア
コイル３の硬さの２〜８倍となるように形成する方法と
して、アルミニウム原子の蒸着と不活性イオンの照射を
同時に実施する方法について示したが、アーマチュアコ
イル３の２〜８倍の硬さを有する例えばアルミニウムと
珪素との合金やニッケル等の軟質導電性材料を蒸着材料
に用いて膜を形成してもよい。

【００３８】前述の要領で、少なくともアーマチュアコ
イル３との接合部４にアルミニウム膜７が形成されたセ
グメント６には、電機子軸１０が挿入されるとともに、
電機子軸１０の他端には電機子コア９が固着される。さ
らに、電機子コア９には絶縁被覆がかぶせられたアルミ
ニウム線からなる複数のアーマチュアコイル３が巻回さ
れ、各アーマチュアコイル３の端部は絶縁被覆が除去さ
れた後、図５に示すがごとく、セグメント６表面に形成
されたアルミニウム膜７上に２本重ねの状態で存置され
る。

【００３９】次に、セグメント６へ２本のアーマチュア
コイル３を一括超音波接合する態様について図５を用い
て説明する。前述の工程を経て一体に組み上げられたコ
ミュテータ１、アーマチュアコイル３、電機子コア９お
よび電機子軸１０は、セグメント６表面に形成されたア
ルミニウム膜７上に２本重ねの状態で存置されているア
ーマチュアコイル３の端部（絶縁被覆が除去されてい
る）が、アーマチュアコイル３を超音波加振するための
ホーンチップ１７の直下に位置するように固定される。
その後、ホーンチップ１７は、電機子軸１０の軸方向に
対して垂直で電機子軸１０の軸中心に向かう方向に加圧
され、アーマチュアコイル３はセグメント６表面に形成
されたアルミニウム膜７に押しつけられる。次に、ホー
ンチップ１７に機械的に連結された超音波発振機構を動
作させ、ホーンチップ１７を電機子軸１０の軸方向に振
動させる。この時、２本のアーマチュアコイル３同士の
接面およびセグメント６表面に形成されたアルミニウム
膜７と同膜に接するアーマチュアコイル３との接面にお
いて、互いに接する部材との間に相対振動が発生する。
これにより、互いに接する両部材の表面に存在する酸化
物などの不純物層が機械的に排除され、露出した清浄表
面の原子同士が凝着することにより、いわゆる超音波接
合が達成される。この時の超音波接合条件を、例えばア
ーマチュアコイル３の直径が１．５〜４mmの場合には、
ホーンチップ１７による加圧力１５〜４０kgf 、ホーン
チップ１７の振幅は４０〜１５０μｍ、超音波周波数は
１０〜２５kHz とすることにより、セグメント６に、ア
ルミニウム線からなるアーマチュアコイル３を２本重ね
た状態で一括して同時に超音波接合する。電機子軸１０
をその中心軸回りに少しずつ回転させて超音波接合を繰
り返すことにより、全てのセグメント６へのアーマチュ
アコイル３の２本ずつの接合を完了する。

【００４０】これら一連の超音波接合プロセスにおい
て、異種材料の接合を達成するためには、本発明による
アルミニウム線からなるアーマチュアコイル３の２〜８
倍の硬さを有するアルミニウム膜７をセグメント６表面
に形成することが不可欠となることは既に説明した通り
である。しかし、本実施例１で説明した異種材料の接合
を含む２箇所の一括接合を達成するためには、アーマチ
ュアコイル３の５〜８倍の硬さを有するアルミニウム膜
７をセグメント６表面に形成することが必要となる。こ
の理由を以下に説明する。アルミニウム膜７の硬さがア
ーマチュアコイル３の５倍未満の場合には、超音波接合
の初期時点においてアルミニウム膜７が比較的容易に排
斥され、２本のアーマチュアコイル３同士の接合の進展
に先だって、銅からなるセグメント６とその真上側のア
ーマチュアコイル３との接合が超音波印加開始後の早い
時期から進展する。しかしながら、セグメント６とその
真上側のアーマチュアコイル３との接合が完全に達成で
きない内に、２本のアーマチュアコイル３同士の接合が
開始され、接合に寄与する超音波加振エネルギーの大部
分は２本のアーマチュアコイル３同士の接合に消費され
るようになることから、セグメント６との真上側のアー
マチュアコイル３との接合は中途半端なまま終了してし
まう。すなわち、セグメント６とその真上側のアーマチ
ュアコイル３との接合が２本のアーマチュアコイル３同
士の接合に先んじて、セグメント６とその真上側のアー
マチュアコイル３との接合が開始される状況では、２箇
所の接合部の接合強度を同時に十分なものとすることは
不可能である。そこで、アルミニウム膜７の硬さをアー
マチュアコイル３の５倍以上としておき、セグメント６
とその真上側のアーマチュアコイル３との接合のし易さ
を予め低めに制御しておき、先に２本のアーマチュアコ
イル３同士の強靱な接合を達成した後にセグメント６と
その真上側のアーマチュアコイル３との接合を完全に進
展させることにより、異種材料の接合を含む２箇所の一
括接合を達成することが可能となる。

【００４１】なお、ホーンチップ１７のアーマチュアコ
イル３と接する部分の形状としては、加圧時及び加振時
における２本のアーマチュアコイル３の位置ずれを抑制
するために、電機子軸１０の軸方向に平行でアーマチュ
アコイル３の直径の１．１〜１．８倍の深さを有する溝
を持ち、溝の底面でアーマチュアコイル３を加圧及び加
振するものが望ましい。さらに、前記ホーンチップ１７
の溝に、２〜１０°の角度のテーパを設けることは、超
音波接合時に偏平な形状に変形したアーマチュアコイル
３のホーンチップ１７の溝内への噛み込みを防止するた
めに好都合である。

【００４２】また、上記の例ではホーンチップ１７を電
機子軸１０の軸方向に振動させて超音波接合する方法を
示したが、ホーンチップ１７を電機子軸１０の軸方向に
垂直なセグメント６の接平面上の任意の方向に振動させ
ても目的とする接合が達成できることは言うまでもな
い。また、上記の例ではセグメント６に、アルミニウム
線からなるアーマチュアコイル３を２本重ねた状態で一
括して同時に超音波接合する場合について説明したが、
セグメント６に接合すべきアーマチュアコイル３が１本
のみである場合に関しても、本発明によるセグメント６
表面へのアルミニウム膜７の形成が当該接合部の接合強
度の改善と安定化に効果を奏することは前述の説明から
自ずと明かである。

【００４３】次いで、接合されたアーマチュアコイル３
の端部全体を含めて接合部４の全周に樹脂パウダ８が被
着される。その結果、この樹脂パウダ８は摺接面部２側
へ突出したアーマチュアコイル３の先端部と摺接面部２
との間隙にも充填されることになる。その後、図６に示
した切削線１８に沿って摺接面部２の周面が切削除去さ
れると共に、樹脂パウダ８で被覆されたアーマチュアコ
イル３の先端部も接合部４から僅かな軸方向距離をあけ
て径方向に切削される。これにより、図１及び図２に示
した構成のコミュテータ１が完成する。

【００４４】なお、本発明によるアーマチュアコイル３
の材料として比重の小さいアルミニウムまたはアルミニ
ウム合金を使用した電機子においては、電機子の回転に
よりコイルに発生する遠心力は、従来の銅等のコイルを
用いたものに比べて遥かに小さい。従って、接合部４の
補強および電機子回転時のアーマチュアコイル３の電機
子コア９から浮き上がり防止等の意味を持つ樹脂パウダ
８による被覆を省略することができ、より低コストで軽
量の電機子を簡便に製造することが可能となる。

【００４５】実施例２実施例１では、銅からなるセグメント６とアルミニウム
線からなるアーマチュアコイル３との接合を達成するた
めに、セグメント６表面の清浄化及びセグメント６表面
にアーマチュアコイル３より硬さの大きな軟質導電性金
属膜形成を実施するものとしたが、実施例２では、アル
ミニウム膜７の堆積初期過程において、１０〜１００ke
V のエネルギーを有するアルゴン等の不活性元素イオン
を２０〜３００μＡ／cm² の電流密度で照射しつつ、ア
ルミニウムを０．１〜２nm／secの速度で蒸着すること
により、アルミニウム原子に不活性元素イオンを衝突さ
せてセグメント６の表層にアルミニウム原子を叩き込ん
で注入した後、セグメント６表面にアーマチュアコイル
３を超音波接合するものとしている。

【００４６】これにより、超音波接合における銅とアル
ミニウムとの凝着核を密に形成する事が可能となり、接
合強度と耐食性に優れた接合部を得ることが可能とな
る。なお、このとき、不活性元素イオンの加速電圧を１
０ｋＶ未満とするとアルミニウム原子を叩き込む効果が
得られない。また、不活性元素イオンの加速電圧を１０
０ｋＶ以上とすると、アルミニウム原子がセグメント６
の表面から奥深くの位置に注入されてしまい、超音波接
合時における凝着核として機能し得なくなると共に、セ
グメント６や樹脂部５の昇温にともなう変質をもたらす
という不都合が生じる。さらに、不活性元素イオンの照
射電流密度が２０μＡ／cm² 未満の場合には、アルミニ
ウム原子を叩き込む効果が得られず、３００μＡ／cm²
を越える場合には、セグメント６や樹脂部５の昇温にと
もなう変質をもたらすという不都合が生じる。

【００４７】実施例３実施例３では、例えばセシウムスパッタ型イオン源を用
いて発生させたアルミニウムイオンを、タンデム型加速
器を用いて１０keV 〜３MeV のエネルギーに加速してセ
グメント６のアーマチュアコイル３との接合部表層に注
入するものとしている。

【００４８】これにより、超音波接合における銅とアル
ミニウムとの凝着核を密に形成する事が可能となり、実
施例２で示したと同様の効果を奏する。

【００４９】実施例４実施例４では、アルミニウム膜７の堆積初期過程におい
て、図４に示す如くセグメント６表面に３０〜１００ke
V のエネルギーを有するアルゴン等の不活性元素イオン
１２を１００〜３００μＡ／cm² の電流密度で照射しつ
つ、アルミニウム原子１４を０．１〜１．５nm／sec の
速度で蒸着し、少なくとも銅およびアルミニウムとが互
いに逆の濃度勾配を有する傾斜層すなわちいわゆるミキ
シング層１５を形成するものとしている。

【００５０】これにより、アルミニウム膜７の付着強度
を著しく向上させることができる。従って、この高付着
力アルミニウム膜７を形成したセグメント６表面にアー
マチュアコイル３を超音波接合することにより、接合部
におけるアルミニウム膜７の剥離に起因する接合部の破
壊を抑えて、極めて信頼性の高い接合部を得ることが可
能となるわけである。

【００５１】

【発明の効果】この発明は、以上のように構成されてい
るので、以下に記載されているような効果を奏する。

【００５２】この発明の第１の発明によれば、銅または
銅合金からなる複数のセグメントを有するコミュテータ
とアルミニウムまたはアルミニウム合金からなるアーマ
チュアコイルとを備える回転機の電機子において、前記
セグメントと前記アーマチュアコイルとの接合面に、前
記アーマチュアコイルより硬さの大きな軟質導電性金属
膜を有するものとしているので、硬さに著しい差異が存
在して、従来は超音波接合が困難とされている銅系金属
とアルミニウム系金属とが強固に接合され、信頼性の高
い軽量の電機子を簡便に得ることができる。

【００５３】また、この発明の第２の発明によれば、銅
または銅合金からなるセグメント上の、アルミニウムま
たはアルミニウム合金からなるアーマチュアコイルとの
接合部分に形成された軟質導電性金属膜と前記セグメン
トとの界面において、酸化物等の不純物層を除去したも
のとしているので、セグメントとコイルとの接合強度を
安定して高めることができる。

【００５４】さらに、この発明の第３の発明によれば、
銅からなる複数のセグメントを有するコミュテータとア
ルミニウムからなるアーマチュアコイルとを備える回転
機の電機子において、前記セグメントと前記アーマチュ
アコイルとの接合面に、前記アーマチュアコイルの２〜
８倍の硬さを有するアルミニウム膜を形成したものとし
ているため、接合部の信頼性に極めて優れた電機子を製
造することができる。

【００５５】また、この発明の第４の発明によれば、銅
または銅合金からなるセグメントの、アルミニウムまた
はアルミニウム合金からなるアーマチュアコイルとの接
合部表層に、アルミニウム原子が注入されたものとして
いるので、接合強度と耐食性に優れた接合部を有する回
転子を得ることが可能となる。

【００５６】また、この発明の第５の発明によれば、銅
または銅合金からなるセグメントの、アルミニウムまた
はアルミニウム合金からなるアーマチュアコイルとの接
合面上に形成されたアルミニウム膜と前記セグメントと
の界面において、少なくとも銅およびアルミニウムとが
互いに逆の濃度勾配を有する組成傾斜層を形成したもの
としているので、極めて信頼性の高い接合部を有する電
機子を製造することができる。

【００５７】また、この発明の第６の発明によれば、銅
または銅合金からなるセグメントの、アルミニウムまた
はアルミニウム合金からなるアーマチュアコイルとの接
合部表面に、真空中において１〜１００keV のエネルギ
ーを有する不活性原子イオンを照射した後或は照射しつ
つ軟質導電性金属を０．０５〜５μｍ堆積させ、その後
前記アーマチュアコイルを前記セグメントに超音波接合
するようにしているので、当該接合に最適なアルミニウ
ム膜硬さを安定して得ることが可能である。

【００５８】また、この発明の第７の発明によれば、銅
または銅合金からなるセグメントの、アルミニウムまた
はアルミニウム合金からなるアーマチュアコイルとの接
合部表面に対し、真空中において１〜３０keV のエネル
ギーを有する不活性元素イオンを照射して前記セグメン
ト表面を清浄化した後、連続して軟質導電性金属を厚さ
０．０５〜５μｍ堆積させ、その後前記アーマチュアコ
イルを前記セグメントに超音波接合するようにしている
ので、極めて短時間の内に、セグメント表面の完全な清
浄度の確保が簡便に達成できる。

【００５９】また、この発明の第８の発明によれば、銅
からなる複数のセグメントを有するコミュテータとアル
ミニウムからなるアーマチュアコイルとを備える回転機
の電機子において、前記セグメントと前記アーマチュア
コイルの接合面に、前記アーマチュアコイルの５〜８倍
の硬さを有するアルミニウム膜を形成し、その後前記セ
グメント上に前記アーマチュアコイルを２本重ねた状態
で一括して同時に超音波接合するようにしているので、
２箇所の接合部の接合強度を同時に高めることが可能と
なる。

【００６０】また、この発明の第９の発明によれば、銅
または銅合金からなるセグメント上の、アルミニウムま
たはアルミニウム合金からなるアーマチュアコイルとの
接合部表面に対し、真空中において１０〜１００keV の
エネルギーを有する不活性元素イオンを２０〜３００μ
Ａ／cm² の電流密度で照射しつつ、アルミニウムを０．
１〜２nm／sec の速度で蒸着し、アルミニウム原子を前
記セグメント表層に注入した後、該セグメント表面に前
記アーマチュアコイルを超音波接合するようにしている
ので、効率よく低コストでアルミニウム注入層を形成す
ることが可能である。

【００６１】また、この発明の第１０の発明によれば、
銅または銅合金からなるセグメントの、アルミニウムま
たはアルミニウム合金からなるアーマチュアコイルとの
接合部表面に対し、真空中において３０〜１００keV の
エネルギーを有する不活性元素イオンを１００〜３００
μＡ／cm² の電流密度で照射しつつ、アルミニウムを
０．１〜１．５nm／sec の速度で蒸着し、少なくとも銅
およびアルミニウムとが互いに逆の濃度勾配を有する傾
斜層を形成した後、該セグメント表面に前記アーマチュ
アコイルを超音波接合するようにしているので、機械的
特性及び電気的特性における信頼性に優れた回転子を製
造することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】この発明の一実施例による回転機の電機子を示
す要部斜視図である。

【図２】図１の回転機の電機子の要部を示す断面図であ
る。

【図３】（ａ）〜（ｃ）はこの発明の一実施例による回
転機の電機子の製造方法のうち軟質導電性金属膜の形成
を示す、工程断面図である。

【図４】この発明の一実施例による回転機の電機子の製
造方法のうち軟質導電性金属の組成傾斜層の形成を示す
断面図である。

【図５】この発明の一実施例による回転機の電機子の製
造方法のうちアーマチュアコイルの端を超音波接合する
態様を示す斜視図である。

【図６】この発明の一実施例による回転機の電機子の製
造方法のうち最終工程を示す断面図である。

【図７】従来の回転機を示す断面図である。

【図８】従来の他の回転機の電機子の要部を示す断面図
である。

【図９】図８の回転機の電機子の製造方法を示す工程断
面図である。

【図１０】図９に続く製造方法を示す工程断面図であ
る。

【図１１】（ａ）及び（ｂ）は図１０に続く製造方法を
示す工程断面図である。

【図１２】図１１に続く製造方法を示す工程斜視図であ
る。

【符号の説明】

１コミュテータ３アーマチュアコイル５樹脂部６セグメント７アルミニウム膜８樹脂パウダ９電機子コア１０電機子軸

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者鈴木悟姫路市千代田町840番地三菱電機株式会社姫路製作所内 (72)発明者後藤健朗姫路市千代田町840番地三菱電機株式会社姫路製作所内 (72)発明者小田原一浩姫路市定元町６番地三菱電機エンジニアリング株式会社姫路事業所内

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】銅または銅合金からなる複数のセグメン
トを有するコミュテータとアルミニウムまたはアルミニ
ウム合金からなるアーマチュアコイルとを備える回転機
の電機子において、前記アーマチュアコイルが接する前
記セグメントの接合面に、前記アーマチュアコイルより
硬さの大きな軟質導電性金属膜を有することを特徴とす
る回転機の電機子。
【請求項２】銅または銅合金からなるセグメント上
の、アルミニウムまたはアルミニウム合金からなるアー
マチュアコイルとの接合部分に形成された軟質導電性金
属膜と前記セグメントとの界面において、酸化物等の不
純物層が除去されていることを特徴とする請求項１の回
転機の電機子。
【請求項３】銅からなる複数のセグメントを有するコ
ミュテータとアルミニウムからなるアーマチュアコイル
とを備える回転機の電機子において、前記アーマチュア
コイルが接する前記セグメントの接合面に、前記アーマ
チュアコイルの２〜８倍の硬さを有するアルミニウム膜
が形成されたことを特徴とする回転機の電機子。
【請求項４】銅または銅合金からなる複数のセグメン
トを有するコミュテータとアルミニウムまたはアルミニ
ウム合金からなるアーマチュアコイルとを備える回転機
の電機子において、前記セグメント上の、前記アーマチ
ュアコイルとの接合部表層に、アルミニウム原子が注入
されていることを特徴とする回転機の電機子。
【請求項５】銅または銅合金からなる複数のセグメン
トを有するコミュテータとアルミニウムまたはアルミニ
ウム合金からなるアーマチュアコイルとを備える回転機
の電機子において、前記アーマチュアコイルが接する前
記セグメントの接合面に、アルミニウム膜を有し、この
アルミニウム膜と前記セグメントとの界面において、少
なくとも銅およびアルミニウムとが互いに逆の濃度勾配
を有する組成傾斜層が形成されていることを特徴とする
回転機の電機子。
【請求項６】銅または銅合金からなる複数のセグメン
トを有するコミュテータとアルミニウムまたはアルミニ
ウム合金からなるアーマチュアコイルとを備える回転機
の電機子の製造法において、前記セグメント上の、前記
アーマチュアコイルとの接合部表面に、真空中において
１〜１００keV のエネルギーを有する不活性原子イオン
を照射した後或は照射しつつ軟質導電性金属を０．０５
〜５μｍ堆積させ、その後前記アーマチュアコイルを前
記セグメントに超音波接合することを特徴とする回転機
の電機子の製造方法。
【請求項７】銅または銅合金からなる複数のセグメン
トを有するコミュテータとアルミニウムまたはアルミニ
ウム合金からなるアーマチュアコイルとを備える回転機
の電機子の製造法において、前記セグメント上の、前記
アーマチュアコイルとの接合部表面に対し、真空中にお
いて１〜３０keV のエネルギーを有する不活性元素イオ
ンを照射して前記セグメント表面を清浄化した後、連続
して軟質導電性金属を厚さ０．０５〜５μｍ堆積させ、
その後前記アーマチュアコイルを前記セグメントに超音
波接合することを特徴とする回転機の電機子の製造方
法。
【請求項８】銅からなる複数のセグメントを有するコ
ミュテータとアルミニウムからなるアーマチュアコイル
とを備える回転機の電機子の製造法において、前記セグ
メントと前記アーマチュアコイルが接する前記セグメン
トの接合面に、前記アーマチュアコイルの５〜８倍の硬
さを有するアルミニウム膜を形成し、その後前記セグメ
ント上に前記アーマチュアコイルを２本積み重ねた状態
で一括して同時に超音波接合することを特徴とする回転
機の電機子の製造方法。
【請求項９】銅または銅合金からなる複数のセグメン
トを有するコミュテータとアルミニウムまたはアルミニ
ウム合金からなるアーマチュアコイルとを備える回転機
の電機子の製造法において、前記セグメント上の、前記
アーマチュアコイルとの接合部表面に対し、真空中にお
いて１０〜１００keV のエネルギーを有する不活性元素
イオンを２０〜３００μＡ／cm² の電流密度で照射しつ
つ、アルミニウムを０．１〜２nm／sec の速度で蒸着
し、アルミニウム原子を前記セグメント表層に注入した
後、該セグメント表面に前記アーマチュアコイルを超音
波接合することを特徴とする回転機の電機子の製造方
法。
【請求項１０】銅または銅合金からなる複数のセグメ
ントを有するコミュテータとアルミニウムまたはアルミ
ニウム合金からなるアーマチュアコイルとを備える回転
機の電機子の製造法において、前記セグメント上の、前
記アーマチュアコイルとの接合部表面に対し、真空中に
おいて３０〜１００keV のエネルギーを有する不活性元
素イオンを１００〜３００μＡ／cm² の電流密度で照射
しつつ、アルミニウムを０．１〜１．５nm／sec の速度
で蒸着し、少なくとも銅およびアルミニウムとが互いに
逆の濃度勾配を有する傾斜層を形成した後、該セグメン
ト表面に前記アーマチュアコイルを超音波接合すること
を特徴とする回転機の電機子の製造方法。