JPH06252236A - プロセスフローチェック・シミュレーション装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 長大かつ複雑な処理の流れを、更に、高速に
チェック・シミュレーション可能であるプロセスフロー
チェック装置を提供する。 【構成】 一連の処理条件からなるプロセスフローを格
納するフロー格納部と、処理の内容に関する情報をそれ
ぞれの処理条件に対応付けて格納する処理情報テーブル
と、前記フロー格納部に格納されている処理条件と前記
処理情報テーブルに格納されている処理情報に対応する
処理条件との比較に基づいて、前記フロー格納部に格納
されている処理条件の内容に関する情報を生成する処理
情報生成部と、前記処理情報生成部で生成された情報に
基づいて、前プロセスフローの処理状態のシミュレーシ
ョンを行う状態情報生成部と、処理内容に付随するエラ
ーに関する情報を格納する出力情報テーブルと、前記処
理情報生成部で行われたシミュレーションの内容と前記
出力情報テーブルに格納された情報との比較に基づい
て、前記フロー格納部に格納された処理条件のエラーを
出力する出力情報生成部とを有するプロセスフローチェ
ック・シミュレーション装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、処理対象物に関する、
異なる処理種類と処理条件を持つ処理の一連の流れを記
述したプロセスフローのチェック・シミュレーションを
人間ではなく、コンピュータによって行う装置に関する
ものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、技術者・研究者がプロセスフロ
ー（一連の処理の流れ）を作成する場合、完成されたプ
ロセスフローが必ずしも正しいとは限らない。例えば、
図６に示すＬＳＩのプロセスフローの場合は、リソグラ
フィ工程の後に検査工程がない等のミスがある。

【０００３】従来、これらのチェックは、その分野の熟
練者（エキスパート）によって行われていた。しかし、
ＬＳＩに代表される多くの分野で、熟練者の数が不足し
ており、また、１つの処理対象物（製造物）に対する処
理（工程）数は激増する傾向にある。その結果、人間
（熟練者）によるチェックは、それに要する時間の点で
不経済なものとなっている。

【０００４】今後、更に、そのチェック作業が熟練者に
過剰に集中する事によって、熟練者といえどもチェック
に対するミスが生じ易くなる事が予想される。

【０００５】このような問題に対して、コンピュータに
よるチェックが提案、或いは、部分的に実用化されてい
る。しかしながら、人間にとって理解し易いチェックル
ールの表現形式は、個々の処理の目的、内容、意味に依
存した形式であり、コンピュータにとって処理し易い形
式は、その個々の処理の種類、条件（物理・化学的状
態）に依存した形式であるため、コンピュータによるチ
ェックに関しても、それが可能なルールの範囲、程度の
点において問題が残る。例えば、図６に示すＬＳＩのプ
ロセスフローに対して、フィールドの酸化を行う前にウ
ェハ裏面の窒化硅素膜の剥離を行わなければならないと
いったルールのチェックを行う場合、複数存在する酸化
工程から、先ずフィールドの酸化工程を選び出さねばな
らない。

【０００６】このコンピュータによるチェックに関する
問題を解決する方法として、プロセスフローそのもの
に、処理の目的、内容、意味を持たせる事が考えられる
が、その場合、プロセスフローを記述するコードが莫大
な数となり、管理できなくなるという新たな問題が生じ
てしまう。

【０００７】逆に、ルールを個々の処理の目的、内容、
意味に依存しない形式、すなわち、個々の処理の種類、
条件に依存した形式で表現した場合、コンピュータによ
る管理は容易であるが、人間にとってはルールを管理す
る事が非常に困難になるという別の新たな問題が生じて
しまう。

【０００８】また、コンピュータによるシミュレーショ
ンを行う場合においても、その個々の処理の目的、内
容、意味に応じて、プロセスフローから必要な情報を選
び出す必要があるため、同様の問題が存在する。

【０００９】

【発明が解決しようとする課題】上記のように、プロセ
スフローをチェック・シミュレーションする場合、人間
によるチェック・シミュレーションでは、それに要する
時間、正確さの点で、近い将来必ず限界が訪れる事が予
想される。

【００１０】また、従来のコンピュータによるチェック
・シミュレーションでは、その個々の処理の目的、内
容、意味が解析できないため、チェック可能なルールの
範囲、程度、及びルール管理の点で限界がある。

【００１１】本発明は、このような問題を解決し、長大
かつ複雑な処理の流れを、更に、高速にチェック・シミ
ュレーション可能であるプロセスフローチェック装置を
提供する事を目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記課題を達成するため
に、本発明によるプロセスフローチェック・シミュレー
ション装置は、一連の処理条件からなるプロセスフロー
を格納するフロー格納部と、処理の内容に関する情報を
それぞれの処理条件に対応付けて格納する処理情報テー
ブルと、前記フロー格納部に格納されている処理条件と
前記処理情報テーブルに格納されている処理情報に対応
する処理条件との比較に基づいて、前記フロー格納部に
格納されている処理条件の内容に関する情報を生成する
処理情報生成部と、前記処理情報生成部で生成された情
報に基づいて、前記プロセスフローの処理状態のシミュ
レーションを行う状態情報生成部と、処理内容に付随す
るエラーに関する情報を格納する出力情報テーブルと、
前記処理情報生成部で行われたシミュレーションの内容
と前記出力情報テーブルに格納された情報との比較に基
づいて、前記フロー格納部に格納された処理条件のエラ
ーを出力する出力情報生成部とからなることを特徴とす
る。

【００１３】本発明の好適な態様では、処理の種類を表
すコードと、各々の処理に付随する条件を示す変数と、
その変数に代入する値をコンピュータを用いて各処理を
記述し、この組み合わせを処理の流れ順に並べる事で、
一連の処理の流れを作成する。作成されたプロセスフロ
ーはコンピュータの情報としてフロッピーディスクやハ
ードディスクに代表される記録媒体に保存する。次に、
保存されたプロセスフローは、チェック・シミュレーシ
ョンを行う前に、チェックに必要な情報が不足している
場合、必要な情報を付加する処理を行った後に、コンピ
ュータの記録媒体、例えばハードディスクにあらかじめ
用意された幾つかの情報テーブル、及び、チェック・シ
ミュレーション中に生成された幾つかの情報を用いて、
そのチェックを行う事が可能となる。

【００１４】

【作用】このように、本発明によって、従来、その分野
の熟練者が行っていたプロセスフローのチェック・シミ
ュレーションは、コンピュータによって行われる。この
事によって、今後ますます増大する処理数や複雑な処理
の流れの対応に、人間では、事実上、対応不可能な状況
に十分対応可能である。また、熟練者個人の知識であっ
たチェック・シミュレーションのノウハウが、コンピュ
ータと記録媒体を通して多くの人間に広く活用可能とな
る。

【００１５】

【実施例】以下図面に基づいて本発明の好適な実施例を
説明する。

【００１６】図１はこの発明のプロセスフローチェック
・シミュレーション（以下、フローチェックという）装
置に係わる一実施例の機能構成ブロック図である。同図
に示すフローチェック装置は、プロセスフロー格納部
１、プロセスフロー変換部３、付随情報テーブル５、処
理情報生成部７、処理情報テーブル９、状態情報生成部
１１、状態情報テーブル１３、出力情報生成部１５、出
力情報テーブル１７、環境情報テーブル２１、Ｉ／Ｏ制
御部２３、出力情報出力部１９から構成されている。

【００１７】フロー格納部１は、処理の一連の流れ（以
下、フローという）を各々の処理の種類、条件で表現し
た情報、例えば、半導体製造工程を表すコード、各工程
に付随する条件を示す変数（以下、条件変数という）、
及びその変数に代入するパラメータ（以下、条件変数値
という）等によって表現したフローを記憶装置２（例え
ば、ハードディスク）からコンピュータのメインメモリ
上に取込む機能を有している。この情報は、コンピュー
タにとって処理し易い個々の処理の種類、条件（物理的
及び化学的）に依存した形式によって与えられている。

【００１８】フロー変換部３は、フローを構成している
各処理に対して、不足、或いは、簡略化されている情報
を追加、及び、情報を変換する機能（以下、フロー変換
という）を有している。ここで、追加、変換される情報
は、例えば、条件変数と、その変数値等である。このフ
ロー変換に関する規則は付随情報テーブル５において定
義されている。

【００１９】例えば、図２に示した付随情報テーブル５
には、処理の情報、条件変数、及び、その条件変数値等
の組み合わせに対して、フロー変換する情報の取得方法
が記述されている。このフロー変換時に、その取得方法
を解釈し、実際に情報を取得するのは、Ｉ／Ｏ制御部２
３であり、フロー変換部３は、Ｉ／Ｏ制御部２３との情
報の授受によって、情報の追加、変換を行う。例えば、
図３に示したフロー中の処理「酸化、温度＝１０００
℃、・・・、ガス＝スチーム」は、図２に示した付随情
報テーブル５中の条件「（酸化）且つ（温度＝１０００
℃）且つ（ガス＝スチーム）」を満たす。その結果、こ
の図２中の付随情報「時間＝１００分、絶縁耐圧＝優」
が追加され、図３の処理は、図４に示すように「酸化、
温度＝１０００℃，・・・、ガス＝スチーム、時間＝１
００分、絶縁耐圧＝優」となる。

【００２０】このように、フロー変換部３は、図３で表
された処理が、図２で定義された付随情報テーブル５の
条件を満たすとき、それに対応する付随情報を追加する
機能を有している。

【００２１】処理情報生成部７は、処理の組み合わせパ
ターン（以下、単にパターンという）から、個々の処理
の目的、内容、意味等に関する処理情報を生成する機能
（以下、パターン推論という）を有している。ここで、
生成される処理情報は、例えば、フロー中におけるパタ
ーンの存在位置、そのパターンに対応する名称（以下、
パターン名という）、及び、その対応そのものが正しい
確率（以下、確信値という）等である。このパターン推
論に関する規則は処理情報テーブル９において定義され
ている。図５に示した処理情報テーブル９において、パ
ターンと、それに対応するパターン名、確信値の取得方
法が記述されている。

【００２２】例えば、図６に示したフローの１０行目の
処理「酸化、膜厚＝１０００Å、・・・」を第１処理と
すると、この第１処理は、図５に示した処理情報テーブ
ルの条件「（酸化）且つ（膜厚≧９００Å）」を満た
し、図６の１１行目の処理「堆積、膜種＝窒化硅素、膜
厚＝１０００Å、・・・」を第２処理とすると、これ
は、図５の条件「（堆積）且つ（膜種＝窒化硅素）」を
満たす。同様に、図６の１２〜１６行目の処理も、図５
の条件を満たす。このとき、図６の１０〜１６行目の範
囲に位置するパターンは、図５のパターン名「素子分
離」にパターンの条件を全て満たし、図６中の対応する
確信値「９０％」であることから、フローの１０〜１６
行目の範囲のパターンが、確信値９０％で、、パターン
名「素子分離」に対応する事を示す処理情報「範囲＝１
０〜１６行目、パターン名＝素子分離、確信値９０％」
が生成される。以上のパターン推論によって、生成され
る処理情報の一例を図７に示す。この処理情報はそれま
でのプロセスフロー情報に追加される。このように、各
処理情報テーブルには、多数のフローがパターン別に分
類され、各々の内容を示すパターン名がその確信値と共
に与えられている。

【００２３】すなわち、処理情報生成部７は、図５に示
した処理情報テーブルによって、図６に示したフローを
図７のパターン名「素子分離」のパターンによって行わ
れる一連の処理に対応し、その目的が、９０％の確率
で、素子分離である事を示すことができる。

【００２４】また、処理情報生成部７は、得られた処理
情報の組み合わせを再びパターンと見倣し、そこから再
び新たな処理情報を生成する機能を有している。そのパ
ターン推論に関する規則を定義した処理情報テーブルの
例を図８に示す。図８では、２つのパターン名「Ｐウェ
ル形成」と「Ｎウェル形成」に関する処理情報の取得方
法を定義した後、その２つのパターン名「Ｐウェル形
成」と「Ｎウェル形成」の組み合わせによって、新しい
パターン名「ウェル形成」に関する処理情報の取得方法
を定義している。

【００２５】例えば、図８に示した処理情報テーブルに
よって、図９に示したフローから、パターン推論を行う
場合、まず、上記パターン推論により、（処理の組み合
わせ）パターンから、処理情報が生成される。つまり、
図９の１０行目の処理「酸化、膜厚＝１０００Å、・・
・」から図９の１４行目の処理「剥離、膜種＝レジス
ト、・・・」までの範囲に位置するパターンが、確信値
９０％で、パターン名「Ｐウェル形成」に対応する事を
示す処理情報「範囲＝１０〜１４行目、パターン名＝Ｐ
ウェル形成、確信値＝９０％」が形成され、同様に、図
９の１５〜１９行目の範囲に位置するパターンが、確信
値９０％で、パターン名「Ｎウェル形成」に対応する事
を示す処理情報「範囲＝１５〜１９行目、パターン名＝
Ｎウェル形成、確信値＝９０％」が生成される。

【００２６】次に、この生成されたパターン名「Ｐウェ
ル形成」に関する処理情報を第１パターン、パターン名
「Ｎウェル形成」に関する処理情報を第２パターンとす
ると、この２つの処理情報の組み合わせは、図８のパタ
ーン名「ウェル形成」に対応するパターンの条件を、全
て満たし、その結果、図９の１０〜１９行目の範囲に位
置するパターンが、確信値９５％で、パターン名「ウェ
ル形成」に対応する事を示す処理情報「範囲＝１０〜１
９行目、パターン名＝ウェル形成、確信値＝９５％」が
生成される。以上のパターン推論によって、生成される
処理情報の一例を図１０に示す。

【００２７】また、このパターン推論は、後述する環境
情報テーブルに記述された条件が成立するまで繰り返さ
れ、条件成立後、環境情報テーブルに記述された追加、
変更、削除等の操作を処理情報に対して行う。すなわ
ち、図１２に示した環境情報テーブルにおいて、生成の
終了条件「条件（確信度≧９５％）」は「確信値が９５
％以上の処理情報が存在する事」、条件成立後の操作
「削除（確信度＜９５％）」は「確信値が９５％未満の
処理情報の削除」を意味する。例えば、図１１に示した
処理情報は、図１２に示した環境情報テーブルによっ
て、確信値が９５％未満の処理情報が削除され、図１３
に示す処理情報のみが残る。

【００２８】以上のパターン推論時に、処理情報テーブ
ル９、及び、環境情報テーブルの各情報の取得方法を解
釈し、実際に情報を取得するのは、Ｉ／Ｏ制御部２３で
あり、処理情報生成部７は、Ｉ／Ｏ制御部２３との情報
の授受によって、処理情報の生成を行う。

【００２９】状態情報生成部１１は、処理情報、及び、
その入力フローから、状態情報を生成する機能（以下、
状態シミュレートという）を有している。ここで、生成
される状態情報は、例えば、対象物の膜構成、その膜
厚、その形状等である。また、この状態ミシュレートに
関する規則は状態情報テーブルに定義されている。

【００３０】例えば、図１３に示した処理情報に対し
て、その入力フローが、図９に示したフローを含むもの
とする。このとき、図１４に示した状態情報テーブル１
３の、右欄の条件「（酸化）且つ（膜厚＞０Å）且つ
（ＭＯＳ−ＦＥＴ）」は満たされている。すなわち、図
９のフローの１０行目は「（酸化）且つ（膜厚＝１００
０Å＞０Å）」であり、図１３の処理情報によれば、フ
ローの範囲１〜３６行目のパターン名が「ＭＯＳ−ＦＥ
Ｔ」である。

【００３１】ここで、図９のフローの１０行目の処理
「酸化、膜厚＝１０００Å，・・・」に関する状態シミ
ュレート前の状態情報を、図１５に示した状態情報とす
ると、その状態シミュレート後の状態情報は、図１５の
状態情報に、図１４中の状態情報「膜種＝酸化硅素、膜
厚＝指定値」を追加したものとなる。このとき図１４中
の状態情報「膜種、＝酸化硅素、膜厚＝指定値」の「指
定値」とは、図９のフローの１０行目の処理「酸化、膜
厚＝１０００Å、・・・」における条件変数「膜厚」の
指定値（条件値）「１０００Å」である。

【００３２】従って、図９のフローの１０行目の処理
「酸化、膜厚＝１０００Å、・・・」に関する状態シミ
ュレート後の状態情報は、図１５の状態情報に、状態情
報「膜種＝酸化硅素、膜厚＝１０００Å」を追加したも
のが、その実行後の状態情報となる。その実行後の状態
情報の一例を図１６に示す。このように、状態情報生成
部は、図１４に示した状態情報テーブルによって、図６
に示したフローを状態シミュレートしている。

【００３３】また、例えば、酸化工程において、条件変
数「膜厚」の条件値が未定であり、条件変数「温度」、
「時間」の条件値のみが指定されている場合、「膜厚」
の条件値を知るには、「温度」、「時間」の条件値か
ら、それを計算しなければならない。このとき、酸化速
度（一定温度下で、単位時間に形成される酸化硅素膜の
膜厚）等の情報が必要になる。このような必要な情報
は、環境情報テーブルに記述されている。

【００３４】以上の状態情報生成時に、状態情報テーブ
ル、及び、環境情報テーブルの各情報の取得方法を解釈
し、実際に情報を取得するのは、Ｉ／Ｏ制御部２３であ
り、状態情報生成部は、Ｉ／Ｏ制御部２３との情報の授
受によって、状態情報の生成を行う。

【００３５】出力情報生成部１５は、上述のシミュレー
ションで得られた状態情報の内容を適宜チェックし出力
情報を生成する機能を有している。この生成に関する規
則は出力情報テーブルにおいて定義されている。

【００３６】例えば、図１９に示す状態情報「膜種＝ア
ルミニウム、膜厚＝１００Å、位置＝２０行目、・・
・」は、図１８に示すフローの２０行目の処理「堆積、
膜種＝アルミニウム、膜厚＝１００Å、・・・」に関す
る状態シミュレート後の状態情報であるが、これは、図
１７に示した出力情報テーブルの条件「（膜種＝アルミ
ニウム）且つ（膜厚＜２００Å）」を満たし、その結
果、図１７の出力情報テーブルの出力情報「エラー内容
＝断線、確信値９０％」から、図１７の状態情報に対す
る出力情報「エラー内容＝断線、位置＝２０行目、確信
値９０％、・・・」が生成される。その出力情報の一例
を図２０に示す。これは、配線（アルミニウム）に断線
の危険性がある確信値（確率）が９０％である事を示し
ている。

【００３７】また、この出力情報生成時に、特定の条件
を満たす出力情報、例えば、前述の如く確信値がある値
以上の出力情報のみを生成する事が可能である。このよ
うな条件は、環境情報テーブル２１に記述される。

【００３８】このような、出力情報生成時に、出力情報
テーブル１７、及び、環境情報テーブル２１の各情報の
取得方法を解釈し、実際の情報を取得するのは、Ｉ／Ｏ
制御部２３であり、出力情報生成部１５は、Ｉ／Ｏ制御
部２３との情報の授受によって、出力情報の生成を行
う。

【００３９】出力情報出力部１９は、外部記憶装置２０
を介し、プリンター、ディスプレイ画面へ出力する機能
を有している。また、図１に示すように、出力情報出力
部１９に入力される状態情報は、出力情報生成部１５に
よって与えられる。

【００４０】環境情報テーブル２１は、フローチェック
装置の動作環境を示す情報を定義したものである。この
情報は、フローチェック装置起動前に、利用者、及び、
管理者が入力する。図１２はその一例を示している。こ
のとき、環境情報テーブル２１の各情報の取得方法を解
釈し、実際に情報を取得するのは、Ｉ／Ｏ制御部２３で
あり、各情報生成部７〜１５は、Ｉ／Ｏ制御部２３との
情報の授受によって、情報の生成を行う。

【００４１】Ｉ／Ｏ制御部２３は、各テーブル５〜２１
における情報の取得方法を解釈し、情報を取得する機能
を有している。例えば、状態情報生成部１１において、
環境情報テーブル２１から酸化速度といった数値情報を
取得する場合、図２１の概念図に示した環境情報テーブ
ル２１の酸化速度の取得方法「外部（プログラム＝Ｏ
Ｘ、引数１＝温度、引数２＝時間）」に対しては、「Ｏ
Ｘ」というデータベースを、条件変数「温度」、「時
間」の変数値をキーワードとして検索し、その検索結
果、すなわち、酸化速度を取得する。そして、状態情報
生成部１１は、Ｉ／Ｏ制御部２３から、この酸化速度を
受け取り、状態情報を生成する。

【００４２】次に、本発明の実現手段について、図１を
参照しながら説明する。

【００４３】フロー格納部１、フロー変換部３、処理情
報生成部７、状態情報生成部１１、出力情報生成部１
５、出力情報出力部１９、Ｉ／Ｏ制御部２３はＣＰＵに
付属するメインメモリで実現されている。付随情報テー
ブル５、処理情報テーブル９、状態情報テーブル１３、
出力情報テーブル１７、環境情報テーブル２１はハード
ディスク、あるいはフロッピーディスク等の記録媒体に
保存されている。例えば、記録媒体に保存された各情報
テーブル５〜２１は、チェック開始時に前記メインメモ
リに呼び込まれ、ＣＰＵによるソフトウェア制御のもと
に各変換部３〜１９、Ｉ／Ｏ制御部２３が時系列的に、
ＣＰＵに付属する前記メインメモリ内で順次実現され
る。処理結果は、外部記憶装置２０を介し、プリンタ
ー、ディスプレイ画面に出力される。

【００４４】次に、この発明の作用について、図１を参
照しながら説明する。

【００４５】フロー格納部１では、記憶装置上のフロー
をコンピュータのメインメモリ上に取込む。図６はフロ
ーの一例を示す。同図には、処理の種類、条件変数、条
件変数値を表すコードが、処理工程順に記述されてい
る。なお、フローの１行が、１処理に相当する。

【００４６】フロー変換部３では、メインメモリに取込
まれたフローに対して、不足している情報、簡略化され
ている情報を付加する。この生成する情報の取得方法
は、付随情報テーブル５によって管理され、Ｉ／Ｏ制御
部２３によって、解釈され、情報が取得される。この作
業を行う事によって、フロー作成時に入力する情報を減
少する事が可能となり、フロー作成が大幅に簡略化可能
である。また、大量のデータを扱う事が可能となる。

【００４７】処理情報生成部７では、フロー変換部３に
おいて変換されたフローから、パターンに対応するパタ
ーン名、そのパターンがフロー中に存在する範囲、その
対応が、どの程度の確率で正確であるかを示す確信値を
示した処理情報を生成する。この生成する情報の取得方
法は、処理情報テーブル９によって管理され、Ｉ／Ｏ制
御部２３によって、解釈され、情報が取得される。ま
た、パターン推論の終了条件、条件成立後の動作は、環
境情報テーブル２１によって管理され、Ｉ／Ｏ制御部２
３によって、解釈され、情報が取得される。ここでは、
処理情報を生成する事によって、パターンを目的、内
容、意味別に分類している。この作業を行う事によっ
て、目的、内容、意味に依存したチェック・シミュレー
ションを行う事が可能となる。

【００４８】状態情報生成部１１では、処理情報生成部
１１において生成された処理情報から、対象物の膜構
成、その膜厚、その形状等の状態を示した状態情報を生
成する。この生成する情報の取得方法は、状態情報テー
ブル１３によって管理され、Ｉ／Ｏ制御部２３によっ
て、解釈され、情報が取得される。また、前述の酸化速
度等の必要な情報は、環境情報テーブル２１によって管
理され、Ｉ／Ｏ制御部２３によって解釈され、情報が取
得される。ここでは、状態情報を生成する事によって、
対象物の状態推移のシミュレーションを行っている。こ
こでは既に、パターンが目的、内容、意味別に分類され
ているため、必要最小限の状態シミュレートのみを行う
事が可能である。

【００４９】出力情報生成部１５では、状態情報生成部
１１において生成された状態情報を適宜チェックし、出
力情報を生成する。この生成する情報の取得方法は、出
力情報テーブル１７によって管理され、Ｉ／Ｏ制御部２
３によって解釈され、情報が取得される。また、出力す
る情報の確信値の最低値等の必要な情報は、環境情報テ
ーブル２１によって管理され、Ｉ／Ｏ制御部２３によっ
て解釈され、情報が取得される。ここでは、出力情報を
生成する事によって、目的、内容、意味に基づくフロー
のチェックが行われている。この状態情報は、必要なシ
ミュレーションのみを行った結果、生成されたものであ
り、また、出力する情報の確信値の最低値等の必要な情
報が、環境情報テーブル２１に記述されているため、必
要最小限の出力情報生成（チェック）のみを行う事が可
能である。

【００５０】出力情報出力部１９で、出力情報生成部１
５において生成された出力情報が外部記憶装置２０に出
力される。

【００５１】次に、情報の流れについて、図１を参照し
ながら説明する。

【００５２】最初に、記憶装置上のフローは、フロー格
納部１により、メインメモリ上に格納された後、フロー
変換部３によって、不足している情報、簡略化されてい
る情報が付加される。この変換されたフローから、処理
情報生成部７によって、処理情報が生成（パターン推
論）され、これにより、フロー（パターン）は、目的、
内容、意味別に分類される。次に、状態情報生成部１１
によって、このフローと処理情報から、状態情報が生成
（状態シミュレート）され、これにより、個々の処理の
目的、内容、意味に依存したフローのシミュレーション
が行われる。最後に、出力情報生成部１５によって、こ
の状態情報から、出力情報が生成される。これは、フロ
ーの内容をチェックするものであり、その結果（出力情
報）は、出力情報出力部によって、出力装置に出力され
る。

【００５３】このように、この発明のプロセスフローチ
ェック・シミュレーション装置では、各情報テーブルを
用いて、各情報を生成する事によって、処理順に記述さ
れたフローを高速にチェック・シミュレーションを行う
事が可能となる。

【００５４】

【発明の効果】以上述べたように本発明によるプロセス
フローチェック・シミュレーション装置では、プロセス
フローのチェック・シミュレーションがコンピュータに
よって行われる。これによって、従来経験豊富なエキス
パートのノウハウが個人の所有物から、誰でもが簡単に
共通の知識として利用の可能なものとなる。また、処理
工程数の増大と共に人間のミスが増加する事は必然であ
るが、コンピュータによって、チェックのケアレスミス
がなくなる。また、従来はコンピュータで行うことが困
難であったこの処理の目的、内容、意味に依存したチェ
ック・シミュレーションのノウハウを利用する事が可能
となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例におけるプロセスフローチェ
ック・シミュレーション装置の機能構成図。

【図２】付随情報テーブルの一例を示す図。

【図３】フロー変換部３を説明するためのフローの一例
を示す図。

【図４】図２の付随情報テーブル５による図３のフロー
の変換結果を示す図。

【図５】処理情報テーブル９の一例を示す図。

【図６】処理情報生成部７を説明するためのフローの例
を示す図。

【図７】図９の処理情報テーブルによって、図６のフロ
ーから生成された処理情報を示す図。

【図８】処理情報テーブル９の一例を示す図。

【図９】処理情報生成部７を説明するためのフローの例
を示す図。

【図１０】図８の処理情報テーブル９によって、図９の
フローから生成された処理情報の一例を示す図。

【図１１】処理情報生成部７を説明するための処理情報
の例を示す図。

【図１２】環境情報テーブル２１の一例を示す図。

【図１３】図１２の環境情報テーブル２１によって、図
１１の処理情報から生成された処理情報を示す図。

【図１４】状態情報テーブル１３の一例を示す図。

【図１５】状態情報生成部１１を説明するための状態情
報の例を示す図。

【図１６】図１４の状態情報テーブル１３によって、図
１５の状態情報から生成された状態情報を示す図。

【図１７】出力情報テーブル１７の一例を示す図。

【図１８】出力情報生成部１５を説明するためのフロー
の例を示す図。

【図１９】出力情報生成部１５を説明するための状態情
報の例を示す図。

【図２０】図１７の出力情報テーブル１７によって、図
１９の状態情報から生成された出力情報を示す図。

【図２１】Ｉ／Ｏ制御部２３を説明するための概念図。

【符号の説明】

１ フロー格納部 ２ 記憶装置 ３ フロー変換部 ５ 付随情報テーブル ７ 処理情報生成部 ９ 処理情報テーブル １１ 状態情報生成部 １３ 状態情報テーブル １５ 出力情報生成部 １７ 出力情報テーブル １９ 出力情報出力部 ２０ 外部記憶装置 ２１ 環境情報テーブル ２３ Ｉ／Ｏ制御部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 一連の処理条件からなるプロセスフロー
   を格納するフロー格納部と、処理の内容に関する情報を
   それぞれの処理条件に対応付けて格納する処理情報テー
   ブルと、前記フロー格納部に格納されている処理条件と
   前記処理情報テーブルに格納されている処理情報に対応
   する処理条件との比較に基づいて、前記フロー格納部に
   格納されている処理条件の内容に関する情報を生成する
   処理情報生成部と、前記処理情報生成部で生成された情
   報に基づいて、前プロセスフローの処理状態のシミュレ
   ーションを行う状態情報生成部と、処理内容に付随する
   エラーに関する情報を格納する出力情報テーブルと、前
   記処理情報生成部で行われたシミュレーションの内容と
   前記出力情報テーブルに格納された情報との比較に基づ
   いて、前記フロー格納部に格納された処理条件のエラー
   を出力する出力情報生成部とを具備することを特徴とす
   るプロセスフローチェック・シミュレーション装置。
2. 【請求項２】 前記処理情報テーブルでは、複数の処理
   条件の特定の組み合わせと、それによって達成される処
   理の内容との対応が取られていることを特徴とする請求
   項１のプロセスフローチェック・シミュレーション装
   置。
3. 【請求項３】 特定の処理条件に付随する条件又はそれ
   を取得する方法を格納する付随情報テーブルと、この付
   随情報テーブルの内容に基づいて前記フロー格納部に格
   納されている処理条件に付随条件を付加するフロー変換
   部とを更に有することを特徴とする請求項１のプロセス
   フローチェック・シミュレーション装置。