JPH06249862A - Detection of anomaly of dispensing device and device therefor - Google Patents

Detection of anomaly of dispensing device and device therefor

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JPH06249862A
JPH06249862A JP3915693A JP3915693A JPH06249862A JP H06249862 A JPH06249862 A JP H06249862A JP 3915693 A JP3915693 A JP 3915693A JP 3915693 A JP3915693 A JP 3915693A JP H06249862 A JPH06249862 A JP H06249862A
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JP
Japan
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dispensing
liquid
dispensing nozzle
sensor
abnormality
Prior art date
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Pending
Application number
JP3915693A
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Japanese (ja)
Inventor
Atsushi Kuwata
淳 桑田
Shinichi Fuse
紳一 布施
Yoshihiro Nishino
悌弘 西野
Koji Ogami
光司 大神
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Daikin Industries Ltd
Original Assignee
Daikin Industries Ltd
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Publication date
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Abstract

PURPOSE:To suppress the generation of the bridge phenomenon of the dispensing objective liquid inside a dispensing nozzle and the adhesion of dirt due to proteins by detecting the resisdnace between electrodes installed in the axial direction of the dispensing nozzle when liquid is poured. CONSTITUTION:A dispensing nozzle 1 made of the electric conductive material such as stainless steel is half divided in the axial direction, and an insulative member 1c is interposed between the divided parts 1a and 1b, and used as a pair of electrodes. The position df the insulative member 1c is set so that both the divided parts 1a and 1b contact a dispensing objective liquid in the state where a prescribed quantity of dispensing objective liquid is poured. At the time point when the prescribed pouring operation is carried out in order to pour a prescribed quantity of dispensing objective liquid, the electric resistance between both the divided parts 1a and 1b is measured. An anomaly indication signal output part 10 judges if the dispensing objective liquid is actually poured or not, i.e., clogging is generated in the dispensing nozzle 1 or not by judging if the resistance value between both the divided parts 1 and 1b is larger than a prescribed threshold value or not.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は分注装置における異常
検出方法に関し、さらに詳細にいえば、各種検査を行な
うに当って分注対象となる液体の量を正確に設定するた
めの分注装置において、分注対象となる液体の量の正確
な設定を阻害する異常状態の発生を検出するための方法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for detecting abnormality in a dispensing device, and more specifically, a dispensing device for accurately setting the amount of liquid to be dispensed in various inspections. In the above, the present invention relates to a method for detecting the occurrence of an abnormal state that hinders the accurate setting of the amount of liquid to be dispensed.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から分注装置において発生する可能
性のある異常状態のうち、分注ノズルの詰りを検出する
ための装置が提案されている(実開平2−135865
号公報参照)。上記装置は、分注ノズルの先端寄り所定
位置の内面に気体か液体かを判別するためのセンサを取
付けてなるものであり、所定量の液体を吸入すべく分注
ノズル系を動作させた場合に、上記センサに対応する位
置に気体が存在するか液体が存在するかを判別する。具
体的には、分注ノズルに詰りが発生している場合には、
上記動作を行なっても液体が吸入されず、センサは気体
が存在すると判別する。逆に、分注ノズルに詰りが発生
していなければ、上記動作に伴なって液体が吸入され、
センサは液体が存在すると判別する。したがって、分注
ノズル系を動作させた状態においてセンサにより気体が
存在すると判別された場合にのみ分注ノズルに詰りが発
生していると判別すればよいことになる。
2. Description of the Related Art Conventionally, there has been proposed a device for detecting clogging of a dispensing nozzle among abnormal states which may occur in the dispensing device (Actual Kaihei 2-135865).
(See Japanese Patent Publication). The above device is equipped with a sensor for discriminating between gas and liquid on the inner surface at a predetermined position near the tip of the dispensing nozzle, and when the dispensing nozzle system is operated to suck a predetermined amount of liquid. First, it is determined whether gas or liquid is present at the position corresponding to the sensor. Specifically, if the dispensing nozzle is clogged,
Even if the above operation is performed, the liquid is not sucked, and the sensor determines that gas is present. On the contrary, if the dispensing nozzle is not clogged, the liquid is sucked in with the above operation,
The sensor determines that liquid is present. Therefore, it is sufficient to determine that the dispensing nozzle is clogged only when the sensor determines that gas is present while the dispensing nozzle system is operating.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記分注ノズルは液体
の微小な注入量(通常は数μlないし数百μl程度)を
正確に設定するために用いられるのであるから、分注ノ
ズルの内径は必然的に著しく小径にならざるを得ない
(上記の分注量に対処する場合には、内径を1mm程度
に設定しなければならない)。したがって、このように
小径の分注ノズルの内面に上記公報の開示のように電極
等からなるセンサを設けることは、例えば、分注ノズル
とセンサとの間に絶縁体を介在させなければならない等
の制約があるため著しく困難である。また、この困難性
を克服して分注ノズルの内面にセンサを設けることがで
きた場合であっても、センサに対応する部分のみの内径
が著しく小さくなるので、分注対象液体のブリッジ現象
が発生しやすとともに、センサを設けることに起因して
段部が生じ、しかも分注ノズルの材質とセンサの材質と
は一般的に全く異なるので、分注対象液体に含まれる蛋
白質等に起因する汚れが付着しやすい等の不都合があ
る。
Since the above dispensing nozzle is used to accurately set a minute injection amount of liquid (usually about several μl to several hundred μl), the inner diameter of the dispensing nozzle is Inevitably, the diameter must be remarkably small (when dealing with the above-mentioned dispensing amount, the inner diameter must be set to about 1 mm). Therefore, providing a sensor made of an electrode or the like on the inner surface of a dispensing nozzle having such a small diameter as disclosed in the above publication requires, for example, that an insulator be interposed between the dispensing nozzle and the sensor. It is extremely difficult due to the restriction of. Further, even when the sensor can be provided on the inner surface of the dispensing nozzle by overcoming this difficulty, since the inner diameter of only the portion corresponding to the sensor is significantly reduced, the bridge phenomenon of the liquid to be dispensed may occur. In addition to easy occurrence, a step is generated due to the provision of the sensor, and since the material of the dispensing nozzle and the material of the sensor are generally completely different, stains caused by proteins contained in the liquid to be dispensed However, there are inconveniences such as easy adhesion.

【0004】即ち、分注対象液体のブリッジ現象が発生
すれば、センサにより液体の存在を検出することになる
ので、分注ノズルの詰りを検出できなくなってしまう。
また、蛋白質等に起因する汚れが付着すれば、分注ノズ
ル系の十分な洗浄が必要になるので、洗浄所要時間だけ
測定等のための分注処理を行なうことができる時間が短
くなってしまう。特に、検査等を行なう場合には、一般
的に複数種類の液体を順次分注しなければならないの
で、上記時間の短縮に伴なって、全体として検査等の所
要時間が長くなってしまう。
That is, if the bridge phenomenon of the liquid to be dispensed occurs, the presence of the liquid is detected by the sensor, and the clogging of the dispensing nozzle cannot be detected.
Further, if stains caused by proteins or the like are attached, it is necessary to sufficiently clean the dispensing nozzle system, so that the time required for the dispensing process for measurement or the like is shortened by the time required for cleaning. . In particular, when an inspection or the like is performed, generally, a plurality of types of liquids must be sequentially dispensed, so that the time required for the inspection or the like becomes long as a whole as the above time is shortened.

【0005】[0005]

【発明の目的】この発明は上記の問題点に鑑みてなされ
たものであり、センサ装着のための加工性を高めること
ができるとともに、分注ノズル内部における分注対象液
体のブリッジ現象の発生、蛋白質等に起因する汚れの付
着を大幅に低減でき、しかも分注ノズル系における異常
を確実に検出できる分注装置における異常検出方法を提
供することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above problems, and it is possible to enhance the workability for mounting a sensor and to generate a bridge phenomenon of a liquid to be dispensed inside a dispensing nozzle. It is an object of the present invention to provide a method for detecting an abnormality in a dispensing device which can significantly reduce the adhesion of stains caused by proteins and the like and can reliably detect an abnormality in the dispensing nozzle system.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めの、請求項1の分注装置における異常検出方法は、分
注ノズルの、分注量に対応する所定位置を電極間隙とす
る1対の電極を分注ノズルの軸方向に設けて、分注のた
めの液体吸入時における電極間抵抗が大きいことに応答
して正常な液体吸入ができていないことを示す異常指示
信号を出力する方法である。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a method for detecting an abnormality in a dispensing apparatus, wherein a predetermined position of a dispensing nozzle corresponding to a dispensing amount is an electrode gap. A pair of electrodes is provided in the axial direction of the dispensing nozzle to output an abnormality indicating signal indicating that normal liquid suction is not possible in response to a large interelectrode resistance during liquid suction for dispensing. Is the way.

【0007】請求項2の分注装置における異常検出方法
は、分注対象液体の液面を検知するセンサを所定位置に
設けて、分注のための液体吸入時においてセンサからの
出力信号に応答して正常な液体吸入ができていない状態
か否かを示す異常指示信号を出力する方法である。請求
項3の分注装置における異常検出方法は、分注対象液体
の液面を検知するセンサを、分注ノズル系の最大分注量
よりも多い液量に対応する所定位置に設けておく方法で
ある。
According to a second aspect of the method for detecting an abnormality in a dispensing apparatus, a sensor for detecting the liquid level of a liquid to be dispensed is provided at a predetermined position and responds to an output signal from the sensor when inhaling the liquid for dispensing. Then, an abnormality instruction signal indicating whether or not the normal liquid suction is not performed is output. The abnormality detecting method in the dispensing apparatus according to claim 3, wherein a sensor for detecting the liquid level of the liquid to be dispensed is provided at a predetermined position corresponding to a liquid amount larger than the maximum dispensing amount of the dispensing nozzle system. Is.

【0008】請求項4の分注装置における異常検出方法
は、分注ノズル系の所定位置に気体と液体とを判別する
センサを設け、液体分離のために空気層を介在させるべ
く吸入動作および吐出動作を行なわせ、これらの動作中
にセンサにより2以上の空気層が検出されたことに応答
して分注ノズル系内部の汚れを示す異常指示信号を出力
する方法である。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an abnormality detecting method for a dispensing device, wherein a sensor for discriminating between a gas and a liquid is provided at a predetermined position of a dispensing nozzle system, and a suction operation and a discharge are performed so as to interpose an air layer for liquid separation. In this method, an operation is performed, and in response to the detection of two or more air layers by the sensor during these operations, an abnormality instruction signal indicating the dirt inside the dispensing nozzle system is output.

【0009】請求項5の分注装置における異常検出方法
は、分注ノズル系の所定位置に気体と液体とを判別する
センサを設け、液体分離のための空気層の介在を未然に
阻止すべく吸入動作および/または吐出動作を行なわ
せ、これらの動作中にセンサにより空気層が検出された
ことに応答して分注ノズル系の液洩れを示す異常指示信
号を出力する方法である。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided a method of detecting an abnormality in a dispensing apparatus, wherein a sensor for discriminating between a gas and a liquid is provided at a predetermined position of a dispensing nozzle system to prevent an air layer for liquid separation from intervening. This is a method of performing a suction operation and / or a discharge operation, and outputting an abnormality instruction signal indicating liquid leakage of the dispensing nozzle system in response to the air layer being detected by the sensor during these operations.

【0010】請求項6の分注装置における異常検出装置
は、分注ノズルの、分注量に対応する所定位置を電極間
隙とすべく1対の電極を分注ノズルの軸方向に設けてあ
るとともに、電極の内面を分注ノズルの内面と面一状に
すべく1対の電極が形成されてあり、分注のための液体
吸入時における電極間抵抗が大きいことに応答して正常
な液体吸入ができていないことを示す異常指示信号を出
力する異常信号出力手段が設けられてある。
In the abnormality detecting device in the dispensing device according to the sixth aspect, a pair of electrodes is provided in the axial direction of the dispensing nozzle so that a predetermined position corresponding to the dispensing amount of the dispensing nozzle is an electrode gap. At the same time, a pair of electrodes is formed so that the inner surface of the electrode is flush with the inner surface of the dispensing nozzle, and normal liquid is produced in response to the large interelectrode resistance during liquid intake for dispensing. An abnormality signal output means for outputting an abnormality instruction signal indicating that the inhalation is not possible is provided.

【0011】[0011]

【作用】請求項1の分注装置における異常検出方法であ
れば、分注ノズルの、分注量に対応する所定位置を電極
間隙とする1対の電極を分注ノズルの軸方向に設けてあ
るので、分注ノズルが導電性材料で構成されている場合
には、所定位置において分注ノズルを区分し、区分した
部分に絶縁性部材を介在させ、逆に、分注ノズルが絶縁
性材料で構成されている場合には、分注ノズルを3つの
部分に区分し、各区分した部分に導電性部材を介在させ
ることにより、分注ノズルに対する電極の装着を達成で
きる。したがって、分注ノズルの内面にセンサを装着す
る従来例と比較して加工性を著しく高めることができ
る。また、分注のための液体吸入時における電極間抵抗
が大きいことに応答して正常な液体吸入ができていない
ことを示す異常指示信号を出力するのであるから、従来
例において問題となっていたブリッジ現象の影響を未然
に防止して、正確な異常検出を達成できる。さらに、導
電性部分と絶縁性部分との内面を面一にできるのである
から、蛋白質等に起因する汚れの付着を大幅に低減で
き、分注ノズルの洗浄を必要最小限にできる。この結
果、検査等の所要時間を従来例と比較して短縮できる。
According to the method of detecting an abnormality in the dispensing device according to claim 1, a pair of electrodes having a predetermined position corresponding to the dispensing amount of the dispensing nozzle as an electrode gap is provided in the axial direction of the dispensing nozzle. Therefore, when the dispensing nozzle is made of a conductive material, the dispensing nozzle is divided at a predetermined position, an insulating member is interposed in the divided portion, and conversely, the dispensing nozzle is made of an insulating material. In the case of (1), the dispensing nozzle is divided into three parts, and the conductive member is interposed in each of the divided parts, whereby the electrode can be attached to the dispensing nozzle. Therefore, the workability can be significantly improved as compared with the conventional example in which the sensor is mounted on the inner surface of the dispensing nozzle. Further, since an abnormality indicating signal indicating that normal liquid suction is not performed is output in response to a large interelectrode resistance during liquid suction for dispensing, there has been a problem in the conventional example. It is possible to prevent the influence of the bridging phenomenon and achieve accurate abnormality detection. Further, since the inner surfaces of the electrically conductive portion and the electrically insulating portion can be made flush with each other, the adhesion of dirt caused by proteins and the like can be significantly reduced, and the cleaning of the dispensing nozzle can be minimized. As a result, the time required for inspection and the like can be shortened as compared with the conventional example.

【0012】請求項2の分注装置における異常検出方法
であれば、分注対象液体の液面を検知するセンサを所定
位置に設けてあるので、センサを分注ノズルの外面所定
位置、分注対象溶液収容部等に設けるだけでよく、分注
ノズルの内面にセンサを設ける従来例と比較して加工性
を著しく高めることができる。また、分注のための液体
吸入時においてセンサからの出力信号に応答して正常な
液体吸入ができていない状態か否かを示す異常指示信号
を出力するのであるから、従来例において問題となって
いたブリッジ現象の影響を未然に防止して、正確な異常
検出を達成できる。さらに、分注ノズル内面の面一性を
維持できるのであるから、蛋白質等に起因する汚れの付
着を大幅に低減でき、分注ノズルの洗浄を必要最小限に
できる。この結果、検査等の所要時間を従来例と比較し
て短縮できる。
According to the abnormality detecting method in the dispensing apparatus of the second aspect, since the sensor for detecting the liquid surface of the liquid to be dispensed is provided at the predetermined position, the sensor is provided at the predetermined position on the outer surface of the dispensing nozzle, and the dispensing is performed. It only needs to be provided in the target solution storage portion or the like, and the workability can be significantly improved as compared with the conventional example in which the sensor is provided on the inner surface of the dispensing nozzle. In addition, since it outputs an abnormality instruction signal indicating whether or not normal liquid suction is not possible in response to the output signal from the sensor during liquid suction for dispensing, it is a problem in the conventional example. It is possible to prevent the influence of the conventional bridging phenomenon and to achieve accurate abnormality detection. Furthermore, since the inner surface of the dispensing nozzle can be kept flush, it is possible to significantly reduce the adhesion of dirt caused by proteins and the like, and to clean the dispensing nozzle to the minimum necessary. As a result, the time required for inspection and the like can be shortened as compared with the conventional example.

【0013】請求項3の分注装置における異常検出方法
であれば、分注対象液体の液面を検知するセンサを、分
注ノズル系の最大分注量よりも多い液量に対応する所定
位置に設けておくのであるから、液体を吸入すべく分注
ノズル系を動作させた後に気体を吸入すべく分注ノズル
系を動作させ、この状態においてセンサにより液面が検
出されていなければ、分注ノズルに詰りが発生している
ことを検出できる。また、液体の吸入量が変化しても、
気体の吸入量を補完的に変化させることにより液面検出
位置を一定に保持できるのであるから、種々の分注量に
簡単に対処できるとともに、分注ノズルの詰りの検出を
確実化できる。
According to the abnormality detecting method in the dispenser of the third aspect, the sensor for detecting the liquid level of the liquid to be dispensed is provided at a predetermined position corresponding to a liquid amount larger than the maximum dispensing amount of the dispensing nozzle system. Therefore, if the liquid level is not detected by the sensor in this state, the dispensing nozzle system is operated to suck the liquid, and then the dispensing nozzle system is operated to suck the gas. It is possible to detect that the nozzle is clogged. Also, even if the amount of liquid inhaled changes,
Since the liquid level detection position can be kept constant by complementarily changing the gas suction amount, it is possible to easily deal with various dispensing amounts and to reliably detect clogging of the dispensing nozzle.

【0014】請求項4の分注装置における異常検出方法
であれば、分注ノズル系の所定位置に気体と液体とを判
別するセンサを設け、液体分離のために空気層を介在さ
せるべく吸入動作および吐出動作を行なわせ、これらの
動作中にセンサにより2以上の空気層が検出されたこと
に応答して分注ノズル系内部の汚れを示す異常指示信号
を出力するのであるから、分注ノズル系内部の汚れを直
接検出するセンサを設ける必要がなくなり、単に液体分
離のための空気層を介在させて吸入動作および吐出動作
を行なわせながら2以上の空気層が検出されるか否かの
みに基づいて汚れの検出を達成できる。
According to the abnormality detecting method in the dispensing device of the fourth aspect, a sensor for discriminating between gas and liquid is provided at a predetermined position of the dispensing nozzle system, and a suction operation is performed so as to interpose an air layer for liquid separation. And the discharge operation is performed, and in response to the detection of two or more air layers by the sensor during these operations, the abnormality instruction signal indicating the dirt inside the dispensing nozzle system is output. It is not necessary to provide a sensor for directly detecting the dirt inside the system, and it is only necessary to detect whether or not two or more air layers are detected while performing the suction operation and the discharge operation by simply interposing an air layer for liquid separation. Based on that, the detection of dirt can be achieved.

【0015】請求項5の分注装置における異常検出方法
であれば、分注ノズル系の所定位置に気体と液体とを判
別するセンサを設け、液体分離のための空気層の介在を
未然に阻止すべく吸入動作および/または吐出動作を行
なわせ、これらの動作中にセンサにより空気層が検出さ
れたことに応答して分注ノズル系の液洩れを示す異常指
示信号を出力するのであるから、分注ノズル系の洗浄等
を行なうために、空気層を介在させることのない吸入動
作および/または吐出動作を行なっている間に空気層が
検出されれば、液洩れが生じていると判別できる。した
がって、液漏れが生じる可能性がある箇所に個別に液洩
れセンサを設ける必要がなくなり、構成を大幅に簡素化
できる。
According to the abnormality detecting method in the dispensing device of the fifth aspect, a sensor for discriminating between gas and liquid is provided at a predetermined position of the dispensing nozzle system to prevent the air layer for liquid separation from intervening. In order to perform the suction operation and / or the discharge operation in order to do so, in response to the detection of the air layer by the sensor during these operations, the abnormality instruction signal indicating the liquid leakage of the dispensing nozzle system is output. If the air layer is detected while performing the suction operation and / or the discharge operation without interposing the air layer in order to clean the dispensing nozzle system, it can be determined that liquid leakage has occurred. . Therefore, it is not necessary to separately provide a liquid leakage sensor at a location where liquid leakage may occur, and the configuration can be greatly simplified.

【0016】請求項6の分注装置における異常検出装置
であれば、分注ノズルの、分注量に対応する所定位置を
電極間隙とすべく1対の電極を分注ノズルの軸方向に設
けてあるとともに、電極の内面を分注ノズルの内面と面
一状にすべく1対の電極が形成されてあり、分注のため
の液体吸入時における電極間抵抗が大きいことに応答し
て正常な液体吸入ができていないことを示す異常指示信
号を出力する異常信号出力手段が設けられてあるので、
分注ノズルが導電性材料で構成されている場合には、所
定位置において分注ノズルを区分し、区分した部分に絶
縁性部材を介在させ、逆に、分注ノズルが絶縁性材料で
構成されている場合には、分注ノズルを3つの部分に区
分し、各区分した部分に導電性部材を介在させることに
より、分注ノズルに対する電極の装着を達成できる。し
たがって、分注ノズルの内面にセンサを装着する従来例
と比較して加工性を著しく高めることができる。また、
分注のための液体吸入時における電極間抵抗が大きいこ
とに応答して正常な液体吸入ができていないことを示す
異常指示信号を出力するのであるから、従来例において
問題となっていたブリッジ現象の影響を未然に防止し
て、正確な異常検出を達成できる。さらに、導電性部分
と絶縁性部分との内面を面一にできるのであるから、蛋
白質等に起因する汚れの付着を大幅に低減でき、分注ノ
ズルの洗浄を必要最小限にできる。この結果、検査等の
所要時間を従来例と比較して短縮できる。
In the abnormality detecting device in the dispensing device according to the sixth aspect, a pair of electrodes are provided in the axial direction of the dispensing nozzle so that a predetermined position of the dispensing nozzle corresponding to the dispensing amount is set as an electrode gap. In addition, a pair of electrodes is formed so that the inner surface of the electrode is flush with the inner surface of the dispensing nozzle. Since the abnormal signal output means for outputting the abnormal instruction signal indicating that the liquid has not been sucked in is provided,
When the dispensing nozzle is made of a conductive material, the dispensing nozzle is divided at a predetermined position, an insulating member is interposed in the divided portion, and conversely, the dispensing nozzle is made of an insulating material. In this case, the dispensing nozzle is divided into three parts, and the conductive member is interposed in each divided part, whereby the electrode can be attached to the dispensing nozzle. Therefore, the workability can be significantly improved as compared with the conventional example in which the sensor is mounted on the inner surface of the dispensing nozzle. Also,
Since the abnormal indicator signal indicating that normal liquid suction is not performed is output in response to the large interelectrode resistance during liquid suction for dispensing, the bridging phenomenon which has been a problem in the conventional example. It is possible to prevent the influence of and to accurately detect the abnormality. Further, since the inner surfaces of the electrically conductive portion and the electrically insulating portion can be made flush with each other, the adhesion of dirt caused by proteins and the like can be significantly reduced, and the cleaning of the dispensing nozzle can be minimized. As a result, the time required for inspection and the like can be shortened as compared with the conventional example.

【0017】[0017]

【実施例】以下、実施例を示す添付図面によって詳細に
説明する。図2はこの発明の分注装置における異常検出
方法が実施される分注ノズルの構成の一例を示す中央縦
断面図であり、ステンレス等の導電性材料からなる分注
ノズル1を軸方向に2分割しているとともに、分注ノズ
ル1の分割部1a,1b同士の間に絶縁性部材1cを介
在させている。そして、分割部1a,1bを1対の電極
としている。また、1対の分割部1a,1b間の電気抵
抗が所定の閾値よりも大きいか否かを判別して、電気抵
抗が所定の閾値よりも大きいことに応答して分注ノズル
1に詰まりが発生していることを示す信号を出力する異
常指示信号出力部10を有している。尚、絶縁性部材1
cの介在位置は分注ノズル1の内径および分注量に基づ
いて定まる所定位置に設定され、絶縁性部材1cにより
規定される電極間隔は、液体分離のために形成されるべ
き空気層の厚みに対応して定められている。もちろん、
各分割部1a,1bの内面と絶縁性部材1cの内面とは
面一状に形成されている。尚、上記絶縁性部材1cとし
ては、撥水性を有していることが好ましく、例えば、フ
ッ素系樹脂、表面にフッ素コーティングが施された合成
樹脂等が例示できる。
Embodiments will be described in detail below with reference to the accompanying drawings showing embodiments. FIG. 2 is a central vertical cross-sectional view showing an example of the configuration of a dispensing nozzle in which the abnormality detecting method in the dispensing device of the present invention is carried out. The dispensing nozzle 1 made of a conductive material such as stainless steel is arranged in the axial direction 2 In addition to the division, the insulating member 1c is interposed between the divided portions 1a and 1b of the dispensing nozzle 1. The divided portions 1a and 1b are used as a pair of electrodes. Further, it is determined whether or not the electric resistance between the pair of divided portions 1a and 1b is larger than a predetermined threshold value, and in response to the electric resistance being larger than the predetermined threshold value, the dispensing nozzle 1 is clogged. It has an abnormality instruction signal output unit 10 that outputs a signal indicating that it is occurring. The insulating member 1
The intervening position of c is set to a predetermined position that is determined based on the inner diameter of the dispensing nozzle 1 and the dispensing amount, and the electrode interval defined by the insulating member 1c is the thickness of the air layer to be formed for liquid separation. It is defined in accordance with. of course,
The inner surface of each of the divided portions 1a and 1b and the inner surface of the insulating member 1c are formed flush with each other. The insulating member 1c preferably has water repellency, and examples thereof include a fluorine-based resin and a synthetic resin having a surface coated with fluorine.

【0018】図1はこの発明の分注装置における異常検
出方法の一実施例を説明するフローチャートであり、ス
テップSP1において空気層を形成すべく第1の吸入動
作を行なわせ、ステップSP2において所定量の液体を
吸入すべく第2の吸入動作を行なわせ、ステップSP3
において両電極1a,1b間の電気抵抗値を測定し、ス
テップSP4において電気抵抗値が所定の閾値よりも大
きいか否かを判別する。そして、電気抵抗値が所定の閾
値よりも大きいと判別された場合には、ステップSP5
において分注ノズル1に詰りが発生していることを表示
する。ステップSP5の処理が行なわれた後、またはス
テップSP4において電気抵抗値が所定の閾値以下であ
ると判別された場合には、そのまま一連の処理を終了す
る。
FIG. 1 is a flow chart for explaining an embodiment of a method for detecting an abnormality in the dispensing apparatus of the present invention. In step SP1, a first suction operation is performed to form an air layer, and in step SP2 a predetermined amount is reached. The second suction operation is performed to suck the liquid in step SP3.
At, the electric resistance value between the electrodes 1a and 1b is measured, and at step SP4, it is determined whether or not the electric resistance value is larger than a predetermined threshold value. When it is determined that the electric resistance value is larger than the predetermined threshold value, step SP5
Indicates that the dispensing nozzle 1 is clogged. After the processing of step SP5 is performed, or when it is determined in step SP4 that the electric resistance value is equal to or lower than the predetermined threshold value, the series of processing is ended as it is.

【0019】さらに詳細に説明する。分注ノズル1を含
む分注ノズル系を用いて正確な液量の分注を行なう場合
には、分注ノズル系を非圧縮性の液体、例えば水で充填
しておくことが好ましく、また、分注対象液体が水と混
合されることに起因する濃度の変化を防止することが必
要であるから、先ず、水と分注対象液体との混合を未然
に防止すべく微量の空気を吸入する。その後、分注対象
液体を所定量だけ吸入する。次いで、分注対象液体およ
び空気を吐出することにより分注対象液体の正確な分注
を達成できる。したがって、所定量の分注対象液体が吸
入された状態において両分割部1a,1bが分注対象液
体と接触するように絶縁性部材1cの位置を設定してお
けば、所定量の分注対象液体を吸入すべく所定の吸入動
作を行なわせた時点において、両分割部1a,1b間の
電気抵抗値を測定し、所定の閾値よりも大きいか否かを
判別することにより、分注対象液体が実際には吸入され
ていないか否か、即ち、分注ノズル1に詰りが発生して
いるか否かを判別できる。
A more detailed description will be given. When dispensing an accurate amount of liquid using a dispensing nozzle system including the dispensing nozzle 1, it is preferable to fill the dispensing nozzle system with an incompressible liquid, for example, water. Since it is necessary to prevent the concentration change due to the liquid to be dispensed being mixed with water, first, a small amount of air is inhaled to prevent the mixture of water and the liquid to be dispensed. . Then, a predetermined amount of the liquid to be dispensed is inhaled. Then, the liquid to be dispensed and the air can be discharged to achieve accurate dispensing of the liquid to be dispensed. Therefore, if the position of the insulating member 1c is set so that the divided portions 1a and 1b come into contact with the liquid to be dispensed when a predetermined amount of the liquid to be dispensed is inhaled, The liquid to be dispensed is measured by measuring the electric resistance value between the divided portions 1a and 1b at the time when a predetermined suction operation is performed to suck the liquid and determining whether or not it is larger than a predetermined threshold value. It is possible to determine whether or not is actually inhaled, that is, whether or not the dispensing nozzle 1 is clogged.

【0020】そして、分注ノズル1に詰りが発生してい
る場合には、所期の検査等を達成できないのであるか
ら、分注ノズル1に詰りが発生していることを表示して
そのまま一連の処理を終了する。逆に、分注ノズル1に
詰りが発生していない場合には、そのまま所期の検査等
を行なうべく必要な処理を遂行する。以上の説明から明
らかなように、この実施例においては、分注ノズル1の
内面に電極を設けるのではなく、導電性材料からなる分
注ノズル1を2つの部分に分割し、両分割部1a,1b
の間に絶縁性部材1cを介在させるのであるから、加工
性を著しく高めることができる。また、分注ノズル1の
内面を全範囲にわたって面一にできるのであるから、ブ
リッジ現象の発生、蛋白質等に起因する汚れの付着等を
未然に防止できる。
When the dispensing nozzle 1 is clogged, the intended inspection cannot be achieved. Therefore, the dispensing nozzle 1 is displayed with a message indicating that the nozzle is clogged. Ends the process. On the contrary, when the dispensing nozzle 1 is not clogged, the necessary processing is performed as it is to perform the desired inspection. As is clear from the above description, in this embodiment, the electrode is not provided on the inner surface of the dispensing nozzle 1, but the dispensing nozzle 1 made of a conductive material is divided into two parts, and both divided parts 1a are formed. , 1b
Since the insulating member 1c is interposed between the two, the workability can be significantly improved. Further, since the inner surface of the dispensing nozzle 1 can be made flush over the entire range, it is possible to prevent the occurrence of the bridging phenomenon and the attachment of stains due to proteins and the like.

【0021】図3は分注ノズルの他の構成例を示す縦断
面図であり、合成樹脂等の絶縁性材料からなる分注ノズ
ル2を軸方向に3分割しているとともに、分割部2a,
2bの間および分割部2b,2cの間に導電性部材2
d,2eを介在させている。そして、導電性部材2d,
2eを1対の電極としている。また、1対の導電性部材
2d,2e間の電気抵抗が所定の閾値よりも大きいか否
かを判別して、電気抵抗が所定の閾値よりも大きいこと
に応答して分注ノズル2に詰まりが発生していることを
示す信号を出力する異常指示信号出力部10を有してい
る。尚、導電性部材2d,2eの介在位置は分注ノズル
1の内径および分注量に基づいて定まる所定位置に設定
され、分割部2bにより規定される電極間隔は、液体分
離のために形成されるべき空気層の厚みに対応して定め
られている。もちろん、各分割部2a,2b,2cの内
面と導電性部材2d,2eの内面とは面一状に形成され
ている。尚、上記各分割部2a,2b,2cとしては、
撥水性を有していることが好ましく、例えば、フッ素系
樹脂、表面にフッ素コーティングが施された合成樹脂等
が例示できる。
FIG. 3 is a vertical cross-sectional view showing another example of the structure of the dispensing nozzle. The dispensing nozzle 2 made of an insulating material such as synthetic resin is axially divided into three parts, and the divided parts 2a,
2b and between the divided portions 2b and 2c.
d and 2e are interposed. Then, the conductive member 2d,
2e is a pair of electrodes. Further, it is determined whether the electric resistance between the pair of conductive members 2d and 2e is larger than a predetermined threshold value, and the dispensing nozzle 2 is clogged in response to the electric resistance being larger than the predetermined threshold value. The abnormality instruction signal output unit 10 that outputs a signal indicating that the occurrence of is generated. The intervening positions of the conductive members 2d and 2e are set to predetermined positions determined based on the inner diameter of the dispensing nozzle 1 and the dispensing amount, and the electrode interval defined by the dividing portion 2b is formed for liquid separation. It is defined according to the thickness of the air layer to be formed. Of course, the inner surfaces of the divided portions 2a, 2b, 2c and the inner surfaces of the conductive members 2d, 2e are formed flush with each other. In addition, as the above-mentioned division parts 2a, 2b, 2c,
It preferably has water repellency, and examples thereof include a fluorine-based resin and a synthetic resin having a fluorine-coated surface.

【0022】したがって、この場合にも図1のフローチ
ャートの処理を行なうことにより、分注ノズル2に詰り
が発生しているか否かを確実に判別てきる。
Therefore, also in this case, it is possible to surely determine whether or not the dispensing nozzle 2 is clogged by performing the processing of the flowchart of FIG.

【0023】[0023]

【実施例2】図5はこの発明の分注装置における異常検
出方法が実施される分注ノズルおよび分注対象液体収容
部の構成の一例を示す中央縦断面図であり、分注ノズル
3の外面であって、中心軸と垂直な平面上の所定位置に
1対の電極3a,3bを設けてある。尚、この場合に
は、分注ノズル3は導電性材料からなるものであっても
よく、また絶縁性材料からなるものであってもよい。但
し、分注ノズル3が導電性材料からなるものである場合
には、絶縁層(図示せず)を介在させて電極3a,3b
を設けることになる。尚、3cが分注対象液体収容部で
ある。
[Embodiment 2] FIG. 5 is a central vertical cross-sectional view showing an example of the configuration of a dispensing nozzle and a liquid storage portion for dispensing to which the abnormality detecting method in the dispensing device of the present invention is applied. A pair of electrodes 3a and 3b are provided on the outer surface at predetermined positions on a plane perpendicular to the central axis. In this case, the dispensing nozzle 3 may be made of a conductive material or an insulating material. However, when the dispensing nozzle 3 is made of a conductive material, the electrodes 3a and 3b are interposed with an insulating layer (not shown) interposed.
Will be provided. In addition, 3c is a liquid storage part for dispensing.

【0024】図4はこの発明の分注装置における異常検
出方法の他の実施例を説明するフローチャートであり、
ステップSP1において1対の電極3a,3bが共に分
注対象液体と接触するように分注ノズル3を移動させ、
ステップSP2において1対の電極3a,3b間の電気
抵抗値を測定し、ステップSP3において電気抵抗値が
所定の閾値以下であるか否かを判別する。ステップSP
3において電気抵抗値が所定の閾値よりも大きいと判別
された場合には、再びステップSP1の処理を反復す
る。
FIG. 4 is a flow chart for explaining another embodiment of the abnormality detecting method in the dispensing device of the present invention.
In step SP1, the dispensing nozzle 3 is moved so that the pair of electrodes 3a and 3b both come into contact with the liquid to be dispensed,
In step SP2, the electric resistance value between the pair of electrodes 3a and 3b is measured, and in step SP3, it is determined whether or not the electric resistance value is less than or equal to a predetermined threshold value. Step SP
When it is determined in 3 that the electric resistance value is larger than the predetermined threshold value, the processing of step SP1 is repeated again.

【0025】上記ステップSP3において電気抵抗値が
所定の閾値以下であると判別された場合には、ステップ
SP4において所定量の液体を吸入すべく吸入動作を行
なわせ、ステップSP5において両電極3a,3b間の
電気抵抗値を測定し、ステップSP6において電気抵抗
値が所定の閾値よりも大きいか否かを判別する。そし
て、電気抵抗値が所定の閾値以下であると判別された場
合には、ステップSP7において分注ノズル1に詰りが
発生していることを表示する。ステップSP7の処理が
行なわれた後、またはステップSP6において電気抵抗
値が所定の閾値よりも大きいと判別された場合には、そ
のまま一連の処理を終了する。
When it is determined in step SP3 that the electric resistance value is less than or equal to the predetermined threshold value, the suction operation is performed to suck a predetermined amount of liquid in step SP4, and both electrodes 3a, 3b are operated in step SP5. The electric resistance value between them is measured, and it is determined in step SP6 whether or not the electric resistance value is larger than a predetermined threshold value. When it is determined that the electric resistance value is equal to or less than the predetermined threshold value, it is displayed in step SP7 that the dispensing nozzle 1 is clogged. After the processing of step SP7 is performed, or when it is determined in step SP6 that the electric resistance value is larger than the predetermined threshold value, the series of processing is ended as it is.

【0026】即ち、分注ノズル3に詰りが発生していな
ければ液体吸入動作を行なうことにより分注対象液体収
容部3cにおける分注対象液体の液面が下降するので電
極3a,3b間の電気抵抗値が所定の閾値よりも大きく
なる。逆に、分注ノズル3に詰りが発生していれば、液
体吸入のための動作を行なっても分注対象液体収容部3
cにおける分注対象液体の液面が変化しないので、電極
3a,3b間の電気抵抗値が所定の閾値以下のままに保
持される。
In other words, if the dispensing nozzle 3 is not clogged, the liquid suction operation is performed to lower the liquid level of the dispensing target liquid in the dispensing target liquid storage portion 3c, so that the electricity between the electrodes 3a and 3b is reduced. The resistance value becomes larger than a predetermined threshold value. On the contrary, if the dispensing nozzle 3 is clogged, even if an operation for sucking the liquid is performed, the dispensing target liquid container 3
Since the liquid level of the liquid to be dispensed in c does not change, the electric resistance value between the electrodes 3a and 3b is maintained at a predetermined threshold value or less.

【0027】したがって、電極3a,3b間の電気抵抗
値と所定の閾値との大小を比較するだけで、確実に分注
ノズル3に詰りが発生しているか否かを判別できる。も
ちろん、分注ノズル3の内部ではなく、外部に電極3
a,3b設けるのであるから、加工性を著しく高めるこ
とができ、しかもブリッジ現象の発生、汚れの付着を確
実に防止できる。
Therefore, only by comparing the magnitude of the electric resistance value between the electrodes 3a and 3b with a predetermined threshold value, it is possible to reliably determine whether or not the dispensing nozzle 3 is clogged. Of course, the electrode 3 is not on the inside of the dispensing nozzle 3 but on the outside.
Since a and 3b are provided, the workability can be remarkably enhanced, and the occurrence of the bridge phenomenon and the adhesion of dirt can be reliably prevented.

【0028】また、液体を分注量だけ吸入した状態で上
述のように十分な液面の変化が生じるように分注対象液
体収容部の横断面積を設定しておくことが好ましいが、
横断面積が大きい場合には、分注量よりも多い所定量だ
け分注対象液体を吸入することにより詰りの有無を判別
し、詰りがないと判別された場合にのみ改めて分注量だ
け分注対象液体を吸入すればよい。
Further, it is preferable to set the cross-sectional area of the liquid container to be dispensed so that a sufficient change in the liquid surface occurs as described above in the state where the liquid is inhaled by the dispensing amount.
When the cross-sectional area is large, the presence or absence of clogging is determined by inhaling the liquid to be dispensed by a predetermined amount that is larger than the dispensing amount, and only when it is determined that there is no clogging, the dispensing amount is dispensed again. The target liquid may be inhaled.

【0029】さらに、各分注動作毎に上記の判別を行な
う代わりに、実際に分注動作を行なうに先立って所定量
だけ分注対象液体を吸入することにより詰りの有無を判
別し、詰まりがないと判別された場合にのみ分注のため
の液体吸入を行なうようにすれば、横断面積の多少に拘
らず、確実に分注ノズルに詰まりが発生しているか否か
を判別できる。
Further, instead of performing the above determination for each dispensing operation, the presence or absence of clogging is determined by inhaling the liquid to be dispensed by a predetermined amount before actually performing the dispensing operation, and the clogging is determined. If the liquid suction for dispensing is performed only when it is determined that the dispensing nozzle is not clogged, it can be reliably determined whether or not the dispensing nozzle is clogged, regardless of the cross-sectional area.

【0030】図6は分注ノズルおよび分注対象液体収容
部の他の構成例を示す中央縦断面図であり、図5の構成
例と異なる点は、電極3a,3bを分注ノズル3に設け
る代わりに、分注対象液体収容部3cにフォトセンサな
どからなる液面検知センサ3dを設けた点のみである。
したがって、この構成例の場合にも、分注対象液体を吸
入するための動作を行なった場合において液面が変化し
なかったか否かに基づいて分注ノズル3に詰りが発生し
ているか否かを判別できる。但し、この構成例の場合に
は、吸入のための動作を開始する時点における分注対象
液体の液面を液面検知センサ3dに対して正確に設定し
ておかなければならないのに対して、図5の具体例では
このような液面の設定が不要であるから、図5の構成例
を採用することが好ましい。
FIG. 6 is a central longitudinal cross-sectional view showing another example of the structure of the dispensing nozzle and the liquid storage part for dispensing. The difference from the example of the structure of FIG. 5 is that the electrodes 3a and 3b are connected to the dispensing nozzle 3. Instead of providing, a liquid level detection sensor 3d including a photo sensor is provided in the dispensing target liquid storage portion 3c.
Therefore, also in the case of this configuration example, whether or not clogging has occurred in the dispensing nozzle 3 based on whether or not the liquid surface has changed when the operation for sucking the liquid to be dispensed is performed. Can be determined. However, in the case of this configuration example, the liquid level of the liquid to be dispensed at the time of starting the operation for inhalation must be accurately set with respect to the liquid level detection sensor 3d. Since it is unnecessary to set the liquid level in the specific example of FIG. 5, it is preferable to adopt the configuration example of FIG.

【0031】図7は分注ノズルおよび分注対象液体収容
部のさらに他の構成例を示す中央縦断面図であり、図5
の構成例と異なる点は、電極3a,3bを分注ノズル3
に設ける代わりに、光学的液面センサ3eを設けた点の
みである。この光学的液面センサ3eは、気体に接触し
ている状態と液体に接触している状態とで反射光強度が
変化することを利用したものである。
FIG. 7 is a central longitudinal sectional view showing still another example of the structure of the dispensing nozzle and the dispensing target liquid storage portion.
3 is different from the configuration example in FIG.
It is only that an optical liquid level sensor 3e is provided instead of the above. This optical liquid level sensor 3e utilizes the fact that the intensity of reflected light changes depending on whether it is in contact with gas or in contact with liquid.

【0032】したがって、この構成例の場合にも、図5
の構成例と同様に分注ノズル3における詰りの有無を判
別できる。
Therefore, even in the case of this configuration example, FIG.
It is possible to determine the presence or absence of clogging in the dispensing nozzle 3 as in the configuration example of.

【0033】[0033]

【実施例3】図9はこの発明の分注装置における異常検
出方法が実施される分注ノズル系の構成の一例を示す概
略図であり、分注ノズル4と、シリンジ5と、洗浄液タ
ンク6と、これらの間を連通する連通管路7と、シリン
ジ5が分注ノズル4と連通される状態、洗浄液タンク6
と連通される状態を選択的に制御する切替弁8とを有し
ている。したがって、切替弁8によりシリンジ5と分注
ノズル4とを連通しておいて、シリンジ5を往復動させ
ることにより、分注対象液体の吸入および吐出を行なわ
せることができる。また、切替弁8によりシリンジ5と
洗浄液タンク6とを連通してシリンジ5を一方に動作さ
せ、次いで切替弁8によりシリンジ5と分注ノズル4と
を連通してシリンジ5を逆方向に動作させることによ
り、洗浄液タンク6から洗浄液を吸い出し、分注ノズル
4を通して吐出して分注ノズル系の洗浄を行なわせるこ
とができる。
[Embodiment 3] FIG. 9 is a schematic view showing an example of the configuration of a dispensing nozzle system in which the abnormality detecting method in the dispensing device of the present invention is carried out. The dispensing nozzle 4, the syringe 5, and the cleaning liquid tank 6 are shown. And a communication conduit 7 communicating between them, a state in which the syringe 5 communicates with the dispensing nozzle 4, and a cleaning liquid tank 6
And a switching valve 8 for selectively controlling a state in which the switching valve 8 is communicated with. Therefore, the syringe 5 and the dispensing nozzle 4 are communicated with each other by the switching valve 8 and the syringe 5 is reciprocated, whereby the liquid to be dispensed can be sucked and discharged. Further, the switching valve 8 connects the syringe 5 and the cleaning liquid tank 6 to operate the syringe 5 in one direction, and then the switching valve 8 connects the syringe 5 and the dispensing nozzle 4 in order to operate the syringe 5 in the opposite direction. As a result, the cleaning liquid can be sucked from the cleaning liquid tank 6 and discharged through the dispensing nozzle 4 to clean the dispensing nozzle system.

【0034】図10は分注ノズル4と連通管路7とを示
す拡大断面図であり、連通管路7が透光性のある材質で
構成されているとともに、連通管路7の所定位置(分注
ノズル4に近接する所定位置であることが好ましい)に
発光素子9aおよび受光素子9bからなる透過型のフォ
トセンサ9が設けられている。図8はこの発明の分注装
置における異常検出方法のさらに他の実施例を説明する
フローチャートであり、ステップSP1において分注ノ
ズル4とシリンジ5とを連通させ、ステップSP2にお
いて液体分離用の空気層を形成すべくシリンジ5を動作
させ、ステップSP3において分注対象液体を吸入させ
るべくシリンジ5を動作させる。そして、ステップSP
4において、分注量と、フォトセンサ9の配置位置に基
づいて定まる量との差に相当する量の空気を吸入すべく
シリンジ5をさらに動作させる。その後、ステップSP
5において、フォトセンサからの出力信号に基づいて該
当位置に気体が存在しているか液体が存在しているかを
判別する。そして、気体が存在していると判別された場
合には、ステップSP6において分注ノズル4に詰りが
発生していることを表示する。ステップSP6の処理が
行なわれた後、またはステップSP5において液体が存
在していると判別された場合には、そのまま一連の処理
を終了する。
FIG. 10 is an enlarged sectional view showing the dispensing nozzle 4 and the communication pipe line 7. The communication pipe line 7 is made of a light-transmissive material, and the communication pipe line 7 has a predetermined position ( A transmissive photosensor 9 including a light emitting element 9a and a light receiving element 9b is provided at a predetermined position close to the dispensing nozzle 4). FIG. 8 is a flow chart for explaining still another embodiment of the abnormality detecting method in the dispensing apparatus of the present invention, in which the dispensing nozzle 4 and the syringe 5 are communicated with each other in step SP1, and the air layer for liquid separation in step SP2. The syringe 5 is operated so as to form a liquid, and in step SP3 the syringe 5 is operated to suck the liquid to be dispensed. And step SP
In 4, the syringe 5 is further operated to inhale an amount of air corresponding to the difference between the dispensed amount and the amount determined based on the arrangement position of the photosensor 9. After that, step SP
In 5, it is determined whether gas or liquid is present at the corresponding position based on the output signal from the photosensor. When it is determined that gas is present, it is displayed in step SP6 that the dispensing nozzle 4 is clogged. After the process of step SP6 is performed, or when it is determined that the liquid is present in step SP5, the series of processes is ended as it is.

【0035】液体吸入状態を示す図11を参照しながら
さらに詳細に説明する。ステップSP2の処理が行なわ
れることにより、図11(A)に示すように、分注ノズ
ル4の先端部に空気層が形成される。次いで、ステップ
SP3の処理が行なわれることにより、図11(B)に
示すように、分注対象液体が分注ノズル4の先端から吸
入される。その後、ステップSP4の処理が行なわれる
ことにより、図11(C)に示すように、分注ノズル4
の先端からさらに空気が吸入され、分注対象液体の液面
がフォトセンサ9と正対する。したがって、フォトセン
サ9の出力信号に基づいて分注ノズル4に詰りが発生し
ていないことを判別できる。 逆に、分注ノズル4に詰
りが発生している場合には、シリンジ5を動作させるこ
とにより空気層が膨脹されるので、空気層がフォトセン
サ9と正対する。したがって、フォトセンサ9の出力信
号に基づいて分注ノズル4に詰りが発生していることを
判別できる。
A more detailed description will be given with reference to FIG. 11 showing a liquid suction state. By performing the process of step SP2, an air layer is formed at the tip of the dispensing nozzle 4, as shown in FIG. 11 (A). Next, by performing the processing of step SP3, the liquid to be dispensed is sucked from the tip of the dispensing nozzle 4 as shown in FIG. 11 (B). After that, as the processing of step SP4 is performed, as shown in FIG.
Air is further sucked in from the tip of the liquid, and the liquid level of the liquid to be dispensed faces the photosensor 9 directly. Therefore, based on the output signal of the photo sensor 9, it can be determined that the dispensing nozzle 4 is not clogged. On the contrary, when the dispensing nozzle 4 is clogged, the air layer is expanded by operating the syringe 5, so that the air layer directly faces the photosensor 9. Therefore, it can be determined based on the output signal of the photo sensor 9 that the dispensing nozzle 4 is clogged.

【0036】以上の説明から明らかなように、分注対象
液体の分注量が変化しても、補完的に空気を吸入した状
態におけるフォトセンサ9の出力信号に基づいて分注ノ
ズル4における詰りの有無を確実に判別できる。
As is clear from the above description, even if the dispensing amount of the liquid to be dispensed changes, clogging in the dispensing nozzle 4 is generated based on the output signal of the photo sensor 9 in the state where air is complementarily sucked. The presence or absence of can be reliably determined.

【0037】[0037]

【実施例4】図12はこの発明の分注装置における異常
検出方法のさらに他の実施例を説明するフローチャート
であり、1種類の分注対象液体の分注が行なわれた後
に、ステップSP1において液体同士の接触を防止する
ための空気を吸入すべくシリンジを動作させ、ステップ
SP2においてフォトセンサによる空気層の検出回数の
計数を開始し、ステップSP3において、少なくとも分
注対象液体が接触した範囲を越える量だけ洗浄液を吸入
すべくシリンジを動作させる。次いで、ステップSP4
において、吸入された洗浄液および空気層を吐出させる
べくシリンジを逆に動作させ、ステップSP5において
空気層の検出回数の計数を停止し、ステップSP6にお
いて空気層の検出回数が2回であるか3回以上であるか
を判別する。ステップSP6において空気層の検出回数
が3回以上であると判別された場合には、ステップSP
7において汚れが付着していることを表示して、再びス
テップSP1の処理を行なう。逆に、ステップSP6に
おいて空気層の検出回数が2回であると判別された場合
には、そのまま一連の処理を終了する。
[Embodiment 4] FIG. 12 is a flow chart for explaining still another embodiment of the abnormality detecting method in the dispensing apparatus of the present invention. After dispensing one kind of liquid to be dispensed, in step SP1. The syringe is operated to suck air to prevent the liquids from contacting each other, the counting of the number of detections of the air layer by the photosensor is started in step SP2, and in step SP3, at least the range where the liquid to be dispensed comes into contact is determined. Operate the syringe to inhale the cleaning solution in excess of the amount. Then, step SP4
At step SP5, the syringe is operated in reverse so as to discharge the inhaled cleaning liquid and the air layer, the counting of the number of detections of the air layer is stopped in step SP5, and the number of detections of the air layer is 2 times or 3 times in step SP6. It is determined whether or not the above. When it is determined in step SP6 that the number of detections of the air layer is three times or more, step SP
In step 7, it is displayed that dirt is attached, and the process of step SP1 is performed again. On the other hand, if it is determined in step SP6 that the number of times the air layer has been detected is two, the series of processes is ended.

【0038】尚、図12の方法は、例えば、図9、図1
0の分注ノズル系に基づいて行なわれる。さらに詳細に
説明すると、分注ノズルの内径のみならず連通管路も内
径がかなり小さく設定されているので、例えば、連通管
路の内壁に、分注対象液体に含まれる蛋白質等が汚れと
して付着する可能性がある。そして、汚れが付着すれ
ば、空気、洗浄液がスムーズには流れなくなってしまう
ので、分注ノズルにおいては1かたまりの空気層であっ
たにも拘らず、この1かたまりの空気層が不連続になっ
てしまい、吸入回数と吐出回数との和よりも多い数の空
気層が検出されてしまうことを本件発明者は見出した。
この実施例は上記知見に基づいてなされたものであり、
洗浄液の吸入、吐出を1回ずつ行なう間における空気層
の検出回数が2回であるか3回以上であるかを判別する
ことにより汚れが付着しているか否かを判別することが
できる。もちろん、汚れが付着していると判別された場
合に、洗浄液タンクの洗浄液を用いて分注ノズル系の洗
浄を行なうようにしてもよい。また、電源投入初期に上
記動作を行なわせるようにしてもよい。
Note that the method of FIG. 12 is, for example, as shown in FIGS.
It is performed based on a dispensing nozzle system of 0. More specifically, since not only the inner diameter of the dispensing nozzle but also the inner diameter of the communication conduit is set to be considerably small, for example, proteins contained in the liquid to be dispensed adhere to the inner wall of the communication conduit as dirt. there's a possibility that. Then, if dirt is attached, the air and the cleaning liquid will not smoothly flow, so that the one air layer becomes discontinuous despite the fact that there is one air layer in the dispensing nozzle. The present inventor has found that a number of air layers greater than the sum of the number of times of inhalation and the number of times of ejection is detected.
This example is based on the above findings,
By determining whether the number of detections of the air layer during the suction and the discharge of the cleaning liquid is once or twice or more, it is possible to determine whether or not the dirt is attached. Of course, when it is determined that dirt is attached, the dispensing nozzle system may be cleaned using the cleaning liquid in the cleaning liquid tank. Further, the above operation may be performed at the initial stage of power-on.

【0039】[0039]

【実施例5】図13はこの発明の分注装置における異常
検出方法のさらに他の実施例を説明するフローチャート
であり、ステップSP1においてシリンジと洗浄液タン
クとを連通し、ステップSP2においてシリンジにより
洗浄液を吸入し、ステップSP3においてフォトセンサ
による空気層の検出回数の計数を開始し、ステップSP
4においてシリンジを分注ノズルと連通し、ステップS
P5においてシリンジに吸入した洗浄液を分注ノズルを
通して吐出する。そして、ステップSP6において洗浄
動作を反復すべきことが指示されているか否かを判別
し、洗浄動作の反復が指示されている場合には再びステ
ップSP1の処理を行なう。逆に、ステップSP6にお
いて洗浄動作を反復すべきでないことが指示されている
と判別された場合には、ステップSP7においてフォト
センサによる空気層の検出回数の計数を停止し、ステッ
プSP8において空気層の検出回数が0か否かを判別
し、検出回数が0でない場合には、ステップSP9にお
いて液洩れが発生していることを表示して一連の処理を
終了する。もちろん、ステップSP8において空気層の
検出回数が0であると判別された場合には、そのまま一
連の処理を終了する。
[Embodiment 5] FIG. 13 is a flow chart for explaining still another embodiment of the abnormality detecting method in the dispensing apparatus of the present invention. In step SP1, the syringe and the washing liquid tank are communicated with each other, and in step SP2, the washing liquid is fed by the syringe. Inhale, start counting the number of times the photosensor detects the air layer in step SP3, and
4. Connect the syringe with the dispensing nozzle in step 4,
The cleaning liquid sucked into the syringe at P5 is discharged through the dispensing nozzle. Then, in step SP6, it is determined whether or not it is instructed to repeat the cleaning operation, and when it is instructed to repeat the cleaning operation, the process of step SP1 is performed again. On the contrary, if it is determined in step SP6 that it is instructed that the cleaning operation should not be repeated, the counting of the number of detections of the air layer by the photosensor is stopped in step SP7, and the air layer is detected in step SP8. It is determined whether or not the number of times of detection is 0, and if the number of times of detection is not 0, it is displayed in step SP9 that the liquid leakage has occurred, and the series of processes is ended. Of course, if it is determined in step SP8 that the number of times the air layer has been detected is 0, the series of processes is directly terminated.

【0040】尚、図13の方法は、例えば、図9、図1
0の分注ノズル系に基づいて行なわれる。以上の説明か
ら明らかなように、ステップSP1からステップSP5
までの処理において、分注ノズル系に意図的に空気層を
導入する処理は存在していないのであるから、異常が発
生していなければ空気層の計数回数は0であり、計数回
数が0以外の場合には液漏れが発生していることにな
る。したがって、液漏れが発生する可能性がある全ての
箇所に液洩れセンサを設ける必要がなくなり、連通管路
の所定位置にフォトセンサを配置しておくだけで確実に
液漏れを判別できる。
Incidentally, the method of FIG. 13 is, for example, as shown in FIGS.
It is performed based on a dispensing nozzle system of 0. As is clear from the above description, steps SP1 to SP5
Since there is no process of intentionally introducing an air layer into the dispensing nozzle system in the processes up to, the number of counts of the air layer is 0 unless an abnormality occurs, and the number of counts other than 0 In case of, liquid leakage has occurred. Therefore, it is not necessary to provide a liquid leak sensor at every place where liquid leak may occur, and the liquid leak can be surely determined only by disposing the photosensor at a predetermined position of the communication conduit.

【0041】但し、この処理は液漏れが発生した場合
と、洗浄液タンクが空になった場合とで同じ判別結果を
得ることになるので、例えば、事前に洗浄液タンクに洗
浄液を十分に注入しておくか、重量センサ、液面センサ
等を用いて洗浄液タンクが空でないことを検出すること
により、液漏れのみを確実に判別できる。
However, in this process, the same determination result is obtained when a liquid leak occurs and when the cleaning liquid tank is empty. Therefore, for example, the cleaning liquid tank should be sufficiently filled with the cleaning liquid in advance. Alternatively, by detecting that the cleaning liquid tank is not empty by using a weight sensor, a liquid level sensor, or the like, it is possible to reliably determine only the liquid leak.

【0042】[0042]

【発明の効果】以上のように請求項1の発明は、分注ノ
ズルが導電性材料で構成されている場合には、所定位置
において分注ノズルを区分し、区分した部分に絶縁性部
材を介在させ、逆に、分注ノズルが絶縁性材料で構成さ
れている場合には、分注ノズルを3つの部分に区分し、
各区分した部分に導電性部材を介在させることにより、
分注ノズルに対する電極の装着を達成できるので、分注
ノズルの内面にセンサを装着する従来例と比較して加工
性を著しく高めることができ、しかも、従来例において
問題となっていたブリッジ現象の影響を未然に防止し
て、正確な異常検出を達成でき、さらに、導電性部分と
絶縁性部分との内面を面一にできるのであるから、蛋白
質等に起因する汚れの付着を大幅に低減して、分注ノズ
ルの洗浄を必要最小限にでき、ひいては、検査等の所要
時間を従来例と比較して短縮できるという特有の効果を
奏する。
As described above, according to the first aspect of the invention, when the dispensing nozzle is made of a conductive material, the dispensing nozzle is divided at a predetermined position, and an insulating member is provided at the divided portion. On the contrary, when the dispensing nozzle is made of an insulating material, the dispensing nozzle is divided into three parts,
By interposing a conductive member in each section,
Since the electrode can be attached to the dispensing nozzle, the workability can be significantly improved as compared with the conventional example in which the sensor is attached to the inner surface of the dispensing nozzle, and the bridge phenomenon which has been a problem in the conventional example can be achieved. Since it is possible to prevent the influence in advance and to achieve accurate abnormality detection, and also to make the inner surfaces of the conductive and insulating parts flush with each other, it is possible to greatly reduce the adhesion of dirt caused by proteins and the like. As a result, it is possible to minimize the cleaning of the dispensing nozzle, and eventually to shorten the time required for inspection and the like as compared with the conventional example.

【0043】請求項2の発明は、センサを分注ノズルの
外面所定位置、分注対象溶液収容部等に設けるだけでよ
く、分注ノズルの内面にセンサを設ける従来例と比較し
て加工性を著しく高めることができ、しかも、従来例に
おいて問題となっていたブリッジ現象の影響を未然に防
止して、正確な異常検出を達成でき、さらに、分注ノズ
ル内面の面一性を維持できるのであるから、蛋白質等に
起因する汚れの付着を大幅に低減して、分注ノズルの洗
浄を必要最小限にでき、ひいては、検査等の所要時間を
従来例と比較して短縮できるという特有りの効果を奏す
る。
According to the invention of claim 2, it suffices to provide the sensor at a predetermined position on the outer surface of the dispensing nozzle, a solution containing portion to be dispensed, etc., and the workability is improved as compared with the conventional example in which the sensor is provided on the inner surface of the dispensing nozzle. Since the influence of the bridge phenomenon, which has been a problem in the conventional example, can be prevented in advance, accurate abnormality detection can be achieved, and further, the flushness of the inner surface of the dispensing nozzle can be maintained. Therefore, it is possible to significantly reduce the adhesion of stains caused by proteins, etc., to minimize the cleaning of the dispensing nozzle, and to shorten the time required for inspection, etc. as compared with the conventional example. Produce an effect.

【0044】請求項3の発明は、請求項2の効果に加
え、液体の吸入量が変化しても、気体の吸入量を補完的
に変化させることにより液面検出位置を一定に保持でき
るのであるから、種々の分注量に簡単に対処できるとと
もに、分注ノズルの詰りの検出を確実化できるという特
有の効果を奏する。請求項4の発明は、分注ノズル系内
部の汚れを直接検出するセンサを設ける必要がなくな
り、単に液体分離のための空気層を介在させて吸入動作
および吐出動作を行なわせながら2以上の空気層が検出
されるか否のみに基づいて簡単に、かつ確実に汚れの検
出を達成できるという特有の効果を奏する。
According to the invention of claim 3, in addition to the effect of claim 2, even if the suction amount of the liquid changes, the liquid level detection position can be kept constant by complementarily changing the suction amount of the gas. Therefore, it is possible to easily deal with various dispensing amounts, and it is possible to ensure the detection of clogging of the dispensing nozzle. According to the invention of claim 4, it is not necessary to provide a sensor for directly detecting the dirt inside the dispensing nozzle system, and the suction operation and the discharge operation are performed by simply interposing an air layer for liquid separation, and at least two air There is a unique effect that it is possible to easily and surely detect dirt based only on whether or not a layer is detected.

【0045】請求項5の発明は、、分注ノズル系の洗浄
等を行なうために、空気層を介在させることのない吸入
動作および/または吐出動作を行なっている間に空気層
が検出されたことに応答して、液洩れが生じていると判
別でき、ひいては、液漏れが生じる可能性がある箇所に
個別に液洩れセンサを設ける必要がなくなり、構成を大
幅に簡素化できるという特有の効果を奏する。
According to the fifth aspect of the present invention, the air layer is detected while performing the suction operation and / or the discharge operation without interposing the air layer in order to clean the dispensing nozzle system and the like. In response to this, it is possible to determine that liquid leakage has occurred, and it is no longer necessary to separately provide a liquid leakage sensor at the location where liquid leakage may occur, which is a unique effect that the configuration can be greatly simplified. Play.

【0046】請求項6の発明は、分注ノズルが導電性材
料で構成されている場合には、所定位置において分注ノ
ズルを区分し、区分した部分に絶縁性部材を介在させ、
逆に、分注ノズルが絶縁性材料で構成されている場合に
は、分注ノズルを3つの部分に区分し、各区分した部分
に導電性部材を介在させることにより、分注ノズルに対
する電極の装着を達成できるので、分注ノズルの内面に
センサを装着する従来例と比較して加工性を著しく高め
ることができ、しかも、従来例において問題となってい
たブリッジ現象の影響を未然に防止して、正確な異常検
出を達成でき、さらに、導電性部分と絶縁性部分との内
面を面一にできるのであるから、蛋白質等に起因する汚
れの付着を大幅に低減して、分注ノズルの洗浄を必要最
小限にでき、ひいては、検査等の所要時間を従来例と比
較して短縮できるという特有の効果を奏する。
According to a sixth aspect of the invention, when the dispensing nozzle is made of a conductive material, the dispensing nozzle is sectioned at a predetermined position, and an insulating member is interposed in the section.
On the contrary, when the dispensing nozzle is made of an insulating material, the dispensing nozzle is divided into three parts, and a conductive member is interposed in each of the divided parts so that the electrode of the dispensing nozzle is Since the mounting can be achieved, the workability can be significantly improved as compared with the conventional example in which the sensor is mounted on the inner surface of the dispensing nozzle, and the influence of the bridge phenomenon, which is a problem in the conventional example, can be prevented. As a result, accurate abnormality detection can be achieved, and since the inner surfaces of the conductive and insulating portions can be made flush with each other, the adhesion of dirt caused by proteins etc. can be significantly reduced, and the dispensing nozzle's There is a particular effect that the cleaning can be minimized to the minimum, and that the time required for inspection and the like can be shortened as compared with the conventional example.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の分注装置における異常検出方法の一
実施例を説明するフローチャートである。
FIG. 1 is a flowchart illustrating an embodiment of a method for detecting an abnormality in a dispensing device of the present invention.

【図2】この発明の分注装置における異常検出方法が実
施される分注ノズルの構成の一例を示す中央縦断面図で
ある。
FIG. 2 is a central longitudinal sectional view showing an example of the configuration of a dispensing nozzle in which the abnormality detecting method in the dispensing device of the present invention is carried out.

【図3】分注ノズルの他の構成例を示す縦断面図であ
る。
FIG. 3 is a vertical cross-sectional view showing another configuration example of the dispensing nozzle.

【図4】この発明の分注装置における異常検出方法の他
の実施例を説明するフローチャートである。
FIG. 4 is a flow chart for explaining another embodiment of the abnormality detecting method in the dispensing device of the present invention.

【図5】この発明の分注装置における異常検出方法が実
施される分注ノズルおよび分注対象液体収容部の構成の
一例を示す中央縦断面図である。
FIG. 5 is a central vertical cross-sectional view showing an example of the configuration of a dispensing nozzle and a dispensing target liquid storage unit in which the abnormality detecting method in the dispensing device of the present invention is carried out.

【図6】分注ノズルおよび分注対象液体収容部の他の構
成例を示す中央縦断面図である。
FIG. 6 is a central vertical cross-sectional view showing another configuration example of the dispensing nozzle and the dispensing target liquid storage portion.

【図7】分注ノズルおよび分注対象液体収容部のさらに
他の構成例を示す中央縦断面図である。
FIG. 7 is a central vertical cross-sectional view showing still another configuration example of the dispensing nozzle and the dispensing target liquid storage portion.

【図8】この発明の分注装置における異常検出方法のさ
らに他の実施例を説明するフローチャートである。
FIG. 8 is a flow chart for explaining still another embodiment of the abnormality detecting method in the dispensing device of the present invention.

【図9】この発明の分注装置における異常検出方法が実
施される分注ノズル系の構成の一例を示す概略図であ
る。
FIG. 9 is a schematic diagram showing an example of the configuration of a dispensing nozzle system in which the abnormality detecting method in the dispensing device of the present invention is carried out.

【図10】分注ノズルと連通管路とを示す拡大断面図で
ある。
FIG. 10 is an enlarged cross-sectional view showing a dispensing nozzle and a communication conduit.

【図11】液体吸入状態を説明する図である。FIG. 11 is a diagram illustrating a liquid suction state.

【図12】この発明の分注装置における異常検出方法の
さらに他の実施例を説明するフローチャートである。
FIG. 12 is a flow chart for explaining still another embodiment of the abnormality detecting method in the dispensing device of the present invention.

【図13】この発明の分注装置における異常検出方法の
さらに他の実施例を説明するフローチャートである。
FIG. 13 is a flow chart for explaining still another embodiment of the abnormality detecting method in the dispensing device of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,2 分注ノズル 1a,1b 分割部 2d,2e 導電性部材 3a,3b 電極 3d 液面検知センサ 3e 光学的液面センサ 9 透過型のフォトセンサ 10 異常指示信号出力
1, 2 dispensing nozzles 1a, 1b division parts 2d, 2e conductive members 3a, 3b electrodes 3d liquid level detection sensor 3e optical liquid level sensor 9 transmissive photosensor 10 abnormal indication signal output part

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 西野 悌弘 滋賀県草津市岡本町字大谷1000番地の2 ダイキン工業株式会社滋賀製作所内 (72)発明者 大神 光司 滋賀県草津市岡本町字大谷1000番地の2 ダイキン工業株式会社滋賀製作所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Yoshihiro Nishino 1000-2 Otani, Okamoto-cho, Kusatsu-shi, Shiga Daikin Industry Co., Ltd. Shiga Works (72) Inventor Koji Ogami 1000 Otani, Okamoto-cho, Kusatsu-shi, Shiga No. 2 Inside Daikin Industries, Ltd. Shiga Works

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 分注ノズル(1)(2)の、分注量に対
応する所定位置を電極間隙とする1対の電極(1a)
(1b)(2d)(2e)を分注ノズルの軸方向に設け
て、分注のための液体吸入時における電極間抵抗が大き
いことに応答して正常な液体吸入ができていないことを
示す異常指示信号を出力することを特徴とする分注装置
における異常検出方法。
1. A pair of electrodes (1a) having electrode gaps at predetermined positions of the dispensing nozzles (1) (2) corresponding to the dispensing amount.
(1b), (2d), and (2e) are provided in the axial direction of the dispensing nozzle to show that normal liquid suction cannot be performed in response to a large interelectrode resistance during liquid suction for dispensing. An abnormality detection method in a dispensing device, which is characterized by outputting an abnormality instruction signal.
【請求項2】 分注対象液体の液面を検知するセンサ
(3a)(3b)(3d)(3e)(9)を所定位置に
設けて、分注のための液体吸入時においてセンサ(3
a)(3b)(3d)(3e)(9)からの出力信号に
応答して正常な液体吸入ができていない状態か否かを示
す異常指示信号を出力することを特徴とする分注装置に
おける異常検出方法。
2. A sensor (3a) (3b) (3d) (3e) (9) for detecting the liquid level of a liquid to be dispensed is provided at a predetermined position so that the sensor (3
a) (3b) (3d) (3e) (9) in response to the output signal, the dispensing device characterized by outputting an abnormality instruction signal indicating whether or not normal liquid suction is not possible Abnormality detection method.
【請求項3】 分注対象液体の液面を検知するセンサ
(9)が、分注ノズル系の最大分注量よりも多い液量に
対応する所定位置に設けてある請求項2に記載の分注装
置における異常検出方法。
3. The sensor (9) for detecting the liquid level of a liquid to be dispensed is provided at a predetermined position corresponding to a liquid amount larger than the maximum dispensing amount of the dispensing nozzle system. Abnormality detection method in dispensing device.
【請求項4】 分注ノズル系の所定位置に気体と液体と
を判別するセンサ(9)を設け、液体分離のために空気
層を介在させるべく吸入動作および吐出動作を行なわ
せ、これらの動作中にセンサ(9)により2以上の空気
層が検出されたことに応答して分注ノズル系内部の汚れ
を示す異常指示信号を出力することを特徴とする分注装
置における異常検出方法。
4. A sensor (9) for discriminating between a gas and a liquid is provided at a predetermined position of a dispensing nozzle system, and a suction operation and a discharge operation are performed to interpose an air layer for liquid separation, and these operations are performed. An abnormality detection method in a dispensing device, which outputs an abnormality instruction signal indicating dirt inside the dispensing nozzle system in response to detection of two or more air layers by a sensor (9) therein.
【請求項5】 分注ノズル系の所定位置に気体と液体と
を判別するセンサ(9)を設け、液体分離のための空気
層の介在を未然に阻止すべく吸入動作および/または吐
出動作を行なわせ、これらの動作中にセンサ(9)によ
り空気層が検出されたことに応答して分注ノズル系の液
洩れを示す異常指示信号を出力することを特徴とする分
注装置における異常検出方法。
5. A sensor (9) for discriminating between a gas and a liquid is provided at a predetermined position of a dispensing nozzle system, and a suction operation and / or a discharge operation is performed in order to prevent an air layer for liquid separation from intervening. An abnormality detection signal is output in response to the detection of an air layer by the sensor (9) during these operations, and an abnormality detection signal is output to indicate an abnormality in the dispensing nozzle system. Method.
【請求項6】 分注ノズル(1)(2)の、分注量に対
応する所定位置を電極間隙とすべく1対の電極(1a)
(1b)(2d)(2e)を分注ノズルの軸方向に設け
てあるとともに、電極(1a)(1b)(2d)(2
e)の内面を分注ノズル(1)(2)の内面と面一状に
すべく1対の電極(1a)(1b)(2d)(2e)が
形成されてあり、分注のための液体吸入時における電極
間抵抗が大きいことに応答して正常な液体吸入ができて
いないことを示す異常指示信号を出力する異常信号出力
手段(10)が設けられてあることを特徴とする分注装
置における異常検出方法。
6. A pair of electrodes (1a) for making electrode gaps at predetermined positions of the dispensing nozzles (1) (2) corresponding to the dispensing amount.
(1b) (2d) (2e) are provided in the axial direction of the dispensing nozzle, and the electrodes (1a) (1b) (2d) (2
A pair of electrodes (1a) (1b) (2d) (2e) is formed to make the inner surface of e) flush with the inner surfaces of the dispensing nozzles (1) and (2). Dispensing characterized by including an abnormal signal output means (10) for outputting an abnormal instruction signal indicating that normal liquid suction is not performed in response to a large interelectrode resistance during liquid suction. Abnormality detection method in equipment.
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