JPH0624764A - 光学素子保持部材 - Google Patents
光学素子保持部材Info
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- JPH0624764A JPH0624764A JP20719992A JP20719992A JPH0624764A JP H0624764 A JPH0624764 A JP H0624764A JP 20719992 A JP20719992 A JP 20719992A JP 20719992 A JP20719992 A JP 20719992A JP H0624764 A JPH0624764 A JP H0624764A
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- Japan
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- optical element
- ceramic
- fiber
- sic
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- Withdrawn
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Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B11/00—Pressing molten glass or performed glass reheated to equivalent low viscosity without blowing
- C03B11/06—Construction of plunger or mould
- C03B11/08—Construction of plunger or mould for making solid articles, e.g. lenses
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03B—MANUFACTURE, SHAPING, OR SUPPLEMENTARY PROCESSES
- C03B35/00—Transporting of glass products during their manufacture, e.g. hot glass lenses, prisms
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 セラミックス特有のクラック発生を防止する
ために保持部材の靭性強化を図り、高精度の光学素子を
安定にかつ多量に得る。 【構成】 粉末焼結セラミックス基材（ＺｒＯ2 粉末
２）にセラミックス繊維（Ａｌ2 Ｏ3 繊維３）を原子比
で４〜５０％含有させ、焼結させて光学素子保持部材２
を形成する。ここに、上記セラミックス基材はＡｌ2 Ｏ
3 ，ＺｒＯ2 ，ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，ＡｌＮ，サイアロ
ン，Ｓｉ3 Ｎ4 −ＢＮまたはＡｌＮ−ＢＮが主成分であ
ることが好ましい。また、上記セラミックス繊維はＡｌ
2 Ｏ3 ，ＺｒＯ2 ，ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4 またはＢである
ことが好ましい。
ために保持部材の靭性強化を図り、高精度の光学素子を
安定にかつ多量に得る。 【構成】 粉末焼結セラミックス基材（ＺｒＯ2 粉末
２）にセラミックス繊維（Ａｌ2 Ｏ3 繊維３）を原子比
で４〜５０％含有させ、焼結させて光学素子保持部材２
を形成する。ここに、上記セラミックス基材はＡｌ2 Ｏ
3 ，ＺｒＯ2 ，ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，ＡｌＮ，サイアロ
ン，Ｓｉ3 Ｎ4 −ＢＮまたはＡｌＮ−ＢＮが主成分であ
ることが好ましい。また、上記セラミックス繊維はＡｌ
2 Ｏ3 ，ＺｒＯ2 ，ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4 またはＢである
ことが好ましい。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、光学ガラス素子成形品
を製造する際に用いる光学素子保持部材に関する。
を製造する際に用いる光学素子保持部材に関する。
【０００２】
【従来の技術】光学ガラス素子成形品の製造には、予め
ガラスを研削、研磨加工して所望と近似した形状に仕上
げた後、加熱軟化させ、一対の高精度に加工された成形
用型にて押圧成形し、光学ガラス素子を得る方法が採ら
れている。この方法で製造される光学素子は、上下面の
光軸精度を得るために、前記一対の成形用型の軸ずれを
防止する必要がある。その防止方法として、例えば特公
平３−５５４２０号公報には、成形用型と保持部材との
クリアランスの精度を高めるためにセラミックス材料を
用い、成形用型と保持部材とガラスとの線膨張率の関係
をガラス＞保持部材＞成形用型とし、高温状態でクリア
ランスを約１５μｍにすることにより、光軸と外周の振
れを５μｍ以下に抑える方法が開示されている。
ガラスを研削、研磨加工して所望と近似した形状に仕上
げた後、加熱軟化させ、一対の高精度に加工された成形
用型にて押圧成形し、光学ガラス素子を得る方法が採ら
れている。この方法で製造される光学素子は、上下面の
光軸精度を得るために、前記一対の成形用型の軸ずれを
防止する必要がある。その防止方法として、例えば特公
平３−５５４２０号公報には、成形用型と保持部材との
クリアランスの精度を高めるためにセラミックス材料を
用い、成形用型と保持部材とガラスとの線膨張率の関係
をガラス＞保持部材＞成形用型とし、高温状態でクリア
ランスを約１５μｍにすることにより、光軸と外周の振
れを５μｍ以下に抑える方法が開示されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかし、特公平３−５
５４２０号公報に記載された従来の焼結セラミックス材
料を用いた成形方法では、破壊靭性が低いことにより、
連続使用すると保持部材にクラックが発生する問題があ
った。そして、クラックが発生すると、成形用型と保持
部材とのクリアランスの精度が得られず、光学素子の所
望の精度が得られないという問題が生じてしまった。
５４２０号公報に記載された従来の焼結セラミックス材
料を用いた成形方法では、破壊靭性が低いことにより、
連続使用すると保持部材にクラックが発生する問題があ
った。そして、クラックが発生すると、成形用型と保持
部材とのクリアランスの精度が得られず、光学素子の所
望の精度が得られないという問題が生じてしまった。
【０００４】本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてな
されたもので、セラミックス特有のクラック発生を防止
するために保持部材の靭性強化を図り、高精度の光学素
子を安定にかつ多量に得ることができる光学素子保持部
材を提供することを目的とする。
されたもので、セラミックス特有のクラック発生を防止
するために保持部材の靭性強化を図り、高精度の光学素
子を安定にかつ多量に得ることができる光学素子保持部
材を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明は、粉末焼結セラミックス基材にセラミック
ス繊維を原子比で４〜５０％含有させ、焼結させて光学
素子保持部材を形成することとした。
に、本発明は、粉末焼結セラミックス基材にセラミック
ス繊維を原子比で４〜５０％含有させ、焼結させて光学
素子保持部材を形成することとした。
【０００６】ここに、上記セラミックス基材はＡｌ2 Ｏ
3 ，ＺｒＯ2 ，ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4，ＡｌＮ，サイアロ
ン，Ｓｉ3 Ｎ4 −ＢＮまたはＡｌＮ−ＢＮが主成分であ
ることが好ましい。また、上記セラミックス繊維はＡｌ
2 Ｏ3 ，ＺｒＯ2 ，ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4 またはＢである
ことが好ましい。
3 ，ＺｒＯ2 ，ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4，ＡｌＮ，サイアロ
ン，Ｓｉ3 Ｎ4 −ＢＮまたはＡｌＮ−ＢＮが主成分であ
ることが好ましい。また、上記セラミックス繊維はＡｌ
2 Ｏ3 ，ＺｒＯ2 ，ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4 またはＢである
ことが好ましい。
【０００７】
【作用】前記問題である靭性の低さについては、セラミ
ックス特有の問題である。セラミックス材料の結合状態
は、イオン結合または方向性の強い共有結合で構成され
ている。その結合性から高温強度、高融点等の特徴が得
れるものである。しかし、前記結合と結晶構造のゆえ
に、転位の移動度が低く、すべり系が少なくかつ亀裂が
生成し、成長エネルギーが小さいことにより靭性が問題
になってくる。この靭性を向上させるためには、破壊エ
ネルギーを向上させるとよい。そして、その破壊エネル
ギーを向上させるためには、亀裂が生じた時の亀裂先端
と分散相との相互作用により亀裂の偏向を起こさせる方
法、または亀裂先端の応力を分散させる方法などがあ
る。
ックス特有の問題である。セラミックス材料の結合状態
は、イオン結合または方向性の強い共有結合で構成され
ている。その結合性から高温強度、高融点等の特徴が得
れるものである。しかし、前記結合と結晶構造のゆえ
に、転位の移動度が低く、すべり系が少なくかつ亀裂が
生成し、成長エネルギーが小さいことにより靭性が問題
になってくる。この靭性を向上させるためには、破壊エ
ネルギーを向上させるとよい。そして、その破壊エネル
ギーを向上させるためには、亀裂が生じた時の亀裂先端
と分散相との相互作用により亀裂の偏向を起こさせる方
法、または亀裂先端の応力を分散させる方法などがあ
る。
【０００８】本発明では、その方法として前記粉末を焼
結する際に、粉末焼結セラミックス基材にセラミックス
繊維を原子比で４〜５０％含有させて焼結することとし
た。セラミックス繊維を基材に分散させると、亀裂の偏
向や引き抜きにより破壊エネルギーが増加する特性があ
る。そのため、前記作用により材料の靭性が増加するこ
とになる。また、セラミックス繊維を添加することによ
り、熱的特性は変化しない。
結する際に、粉末焼結セラミックス基材にセラミックス
繊維を原子比で４〜５０％含有させて焼結することとし
た。セラミックス繊維を基材に分散させると、亀裂の偏
向や引き抜きにより破壊エネルギーが増加する特性があ
る。そのため、前記作用により材料の靭性が増加するこ
とになる。また、セラミックス繊維を添加することによ
り、熱的特性は変化しない。
【０００９】
【実施例１】本実施例では、ＺｒＯ2 粉末とＡｌ2 Ｏ3
繊維とを原子比で８：２の割合で焼結した光学素子保持
部材の例を示し、この保持部材で凸レンズを成形した。
繊維とを原子比で８：２の割合で焼結した光学素子保持
部材の例を示し、この保持部材で凸レンズを成形した。
【００１０】(1) 保持部材製造方法 粒径１μｍ以下の高純度ＺｒＯ2 粉末と繊維径約３μ
ｍ、繊維長約５０μｍの短繊維であるＡｌ2 Ｏ3 繊維と
を原子比で８：２の割合とし、焼結助剤を添加した後、
均一になるまで混合した。混合した粉末を型にて４００
ｋｇｆ／ｃｍ2 の圧力で圧粉し、約１３００℃で仮焼結
させてブランクを作成した。次に、そのブランクを所定
の形状に研削加工し、約１６００℃にて本焼結した。そ
の形状を図１に示す。同図において、光学素子保持部材
１中の２はＺｒＯ2 粉末を示し、３はＡｌ2 Ｏ3 繊維を
示している。
ｍ、繊維長約５０μｍの短繊維であるＡｌ2 Ｏ3 繊維と
を原子比で８：２の割合とし、焼結助剤を添加した後、
均一になるまで混合した。混合した粉末を型にて４００
ｋｇｆ／ｃｍ2 の圧力で圧粉し、約１３００℃で仮焼結
させてブランクを作成した。次に、そのブランクを所定
の形状に研削加工し、約１６００℃にて本焼結した。そ
の形状を図１に示す。同図において、光学素子保持部材
１中の２はＺｒＯ2 粉末を示し、３はＡｌ2 Ｏ3 繊維を
示している。
【００１１】上記本実施例の光学素子保持部材１は、曲
げ強度が９５０ＭＰａから１２００ＭＰａに向上し、か
つ靭性も４ＭＰａから５．５ＭＰａに向上した。
げ強度が９５０ＭＰａから１２００ＭＰａに向上し、か
つ靭性も４ＭＰａから５．５ＭＰａに向上した。
【００１２】(2) 成形方法 成形方法を図２に示す。ＳＦ１１の硝材を図示を省略し
た溶融ルツボ内で１３００℃に加熱溶融させ、供給ノズ
ル４より排出し、シャー５により切断して光学素子保持
部材１に滴下した。図１に示すように光学素子保持部材
１のガラス入口はテーパー形状になっているため、図２
（ａ）に示すようにガラス塊６は光学素子保持部材１の
中心部に入る。
た溶融ルツボ内で１３００℃に加熱溶融させ、供給ノズ
ル４より排出し、シャー５により切断して光学素子保持
部材１に滴下した。図１に示すように光学素子保持部材
１のガラス入口はテーパー形状になっているため、図２
（ａ）に示すようにガラス塊６は光学素子保持部材１の
中心部に入る。
【００１３】ガラス滴下後、光学素子保持部材１を搬送
アーム７により一対の成形用型８，９間に搬送した。搬
送後にＳＦ１１のガラス粘度を１０7 〜１０9 ポアズま
で冷却し、図２（ｂ）に示すようにＳＦ１１の転移点よ
り１５℃低い温度に加熱保持した成形用型８，９で圧力
１００ｋｇｆ／ｃｍ2 にて１８秒押圧成形後、離型し
た。
アーム７により一対の成形用型８，９間に搬送した。搬
送後にＳＦ１１のガラス粘度を１０7 〜１０9 ポアズま
で冷却し、図２（ｂ）に示すようにＳＦ１１の転移点よ
り１５℃低い温度に加熱保持した成形用型８，９で圧力
１００ｋｇｆ／ｃｍ2 にて１８秒押圧成形後、離型し
た。
【００１４】(3) 効果 上記光学素子保持部材１にて凸レンズを成形した結果、
従来の保持部材では１個あたり８００ショット成形が限
界であったものが、本実施例の光学素子保持部材１では
２０００ショット成形しても劣化が生じなかった。
従来の保持部材では１個あたり８００ショット成形が限
界であったものが、本実施例の光学素子保持部材１では
２０００ショット成形しても劣化が生じなかった。
【００１５】また、凸レンズは中心部の肉厚が厚く外周
部は薄い。そのため、冷却は外周部および表面が早く冷
却され、中心部は遅い。この温度分布により中心部のみ
ヒケが生じ、形状精度が得られない。しかし、熱伝導率
が悪いＡｌ2 Ｏ3 ベースの保持部材により外周部の冷却
速度が遅くなるため、外周部と中心部の温度差が生じに
くく、この効果によりヒケのない高精度の光学素子が成
形可能となった。
部は薄い。そのため、冷却は外周部および表面が早く冷
却され、中心部は遅い。この温度分布により中心部のみ
ヒケが生じ、形状精度が得られない。しかし、熱伝導率
が悪いＡｌ2 Ｏ3 ベースの保持部材により外周部の冷却
速度が遅くなるため、外周部と中心部の温度差が生じに
くく、この効果によりヒケのない高精度の光学素子が成
形可能となった。
【００１６】なお、上記セラミックス基材とセラミック
ス繊維の組み合わせ以外の組み合わせとして、熱伝導率
が悪いＡｌ2 Ｏ3 ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，Ｓｉ3 Ｎ4 −ＢＮ基材
とＡｌ2 Ｏ3 ，ＺｒＯ2 ，ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，Ｂのい
ずれか一種の繊維、サイアロン基材とＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ
4 ，Ｂのいずれか一種の繊維の組み合わせでも同様な効
果が得られた。
ス繊維の組み合わせ以外の組み合わせとして、熱伝導率
が悪いＡｌ2 Ｏ3 ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，Ｓｉ3 Ｎ4 −ＢＮ基材
とＡｌ2 Ｏ3 ，ＺｒＯ2 ，ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，Ｂのい
ずれか一種の繊維、サイアロン基材とＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ
4 ，Ｂのいずれか一種の繊維の組み合わせでも同様な効
果が得られた。
【００１７】また、本実施例では原子比で２０％のセラ
ミックス繊維を添加したが、実験から繊維添加量が４％
未満になると、破壊エネルギーが低下し、靭性が低下し
て成形中にクラックが生じてしまった。一方、セラミッ
クス繊維の添加量が５０％を越えると、繊維が多くなる
ためにセラミックス特有のイオン結合または方向性の強
い共有結合の特性が低下し、基材の硬度および強度が低
下して上記成形圧力に耐えられず、クラックが生じてし
まった。
ミックス繊維を添加したが、実験から繊維添加量が４％
未満になると、破壊エネルギーが低下し、靭性が低下し
て成形中にクラックが生じてしまった。一方、セラミッ
クス繊維の添加量が５０％を越えると、繊維が多くなる
ためにセラミックス特有のイオン結合または方向性の強
い共有結合の特性が低下し、基材の硬度および強度が低
下して上記成形圧力に耐えられず、クラックが生じてし
まった。
【００１８】
【実施例２】本実施例では、ＳｉＣ粉末とＳｉＣ繊維と
を原子比で８．３：１．７の割合で焼結した光学素子保
持部材の例を示し、この保持部材で凹レンズを成形し
た。
を原子比で８．３：１．７の割合で焼結した光学素子保
持部材の例を示し、この保持部材で凹レンズを成形し
た。
【００１９】(1) 保持部材製造方法 粒径１μｍ以下の高純度ＳｉＣ粉末と繊維径約３μｍ、
繊維長約５０μｍの短繊維であるＳｉＣ繊維とを原子比
で８．３：１．７の割合とし、焼結助剤を添加した後、
均一になるまで混合した。混合した粉末を型にて４５０
ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力で圧粉し、約１１００℃で仮焼結
させてブランクを作成した。次に、そのブランクを所定
の形状に研削加工し、約１４００℃にて本焼結した。そ
の形状を図３に示す。同図において、光学素子保持部材
１１中の１２はＳｉＣ粉末を示し、１３はＳｉＣ繊維を
示している。
繊維長約５０μｍの短繊維であるＳｉＣ繊維とを原子比
で８．３：１．７の割合とし、焼結助剤を添加した後、
均一になるまで混合した。混合した粉末を型にて４５０
ｋｇｆ／ｃｍ2の圧力で圧粉し、約１１００℃で仮焼結
させてブランクを作成した。次に、そのブランクを所定
の形状に研削加工し、約１４００℃にて本焼結した。そ
の形状を図３に示す。同図において、光学素子保持部材
１１中の１２はＳｉＣ粉末を示し、１３はＳｉＣ繊維を
示している。
【００２０】上記本実施例の光学素子保持部材１１は、
破壊靭性および曲げ強度が約２５％向上した。
破壊靭性および曲げ強度が約２５％向上した。
【００２１】(2) 成形方法 成形方法を図４に示す。ＢＫ７の硝材を図示を省略した
溶融ルツボ内で１３５０℃に加熱溶融させ、供給ノズル
１４より排出し、シャー１５により切断して光学素子保
持部材１１に滴下した。図３に示すように光学素子保持
部材１１のガラス入口はテーパー形状になっているた
め、図４（ａ）に示すようにガラス塊１６は光学素子保
持部材１１の中心部に入る。
溶融ルツボ内で１３５０℃に加熱溶融させ、供給ノズル
１４より排出し、シャー１５により切断して光学素子保
持部材１１に滴下した。図３に示すように光学素子保持
部材１１のガラス入口はテーパー形状になっているた
め、図４（ａ）に示すようにガラス塊１６は光学素子保
持部材１１の中心部に入る。
【００２２】ガラス滴下後、光学素子保持部材１１を搬
送アーム１７により一対の成形用型１８，１９間に搬送
した。搬送後にＢＫ７のガラス粘度を１０7 〜１０9 ポ
アズまで冷却し、図４（ｂ）に示すようにＢＫ７の転移
点より２０℃低い温度に加熱保持した成形用型１８，１
９で圧力１５０ｋｇｆ／ｃｍ2 にて２０秒押圧成形後、
離型した。
送アーム１７により一対の成形用型１８，１９間に搬送
した。搬送後にＢＫ７のガラス粘度を１０7 〜１０9 ポ
アズまで冷却し、図４（ｂ）に示すようにＢＫ７の転移
点より２０℃低い温度に加熱保持した成形用型１８，１
９で圧力１５０ｋｇｆ／ｃｍ2 にて２０秒押圧成形後、
離型した。
【００２３】(3) 効果 上記光学素子保持部材１１にて凹レンズを成形した結
果、従来の保持部材では１個あたり７００ショット成形
が限界であったものが、本実施例の光学素子保持部材１
１では２０００ショット成形しても劣化が生じなかっ
た。
果、従来の保持部材では１個あたり７００ショット成形
が限界であったものが、本実施例の光学素子保持部材１
１では２０００ショット成形しても劣化が生じなかっ
た。
【００２４】また、凹レンズは外周部の肉厚が厚く中心
部は薄い。そのため、冷却は中心部および表面が早く冷
却され、外周部は遅い。この温度分布により中心部の薄
肉部に応力が発生し、割れが生じる。しかし、熱伝導率
の良いＳｉＣベースの保持部材によりガラス接触部から
熱を奪うため、外周部の冷却速度が早くなり、外周部と
中心部の温度差が生じにくく、中心部に応力が発生せ
ず、高精度の光学素子が成形可能となった。
部は薄い。そのため、冷却は中心部および表面が早く冷
却され、外周部は遅い。この温度分布により中心部の薄
肉部に応力が発生し、割れが生じる。しかし、熱伝導率
の良いＳｉＣベースの保持部材によりガラス接触部から
熱を奪うため、外周部の冷却速度が早くなり、外周部と
中心部の温度差が生じにくく、中心部に応力が発生せ
ず、高精度の光学素子が成形可能となった。
【００２５】なお、上記セラミックス基材とセラミック
ス繊維の組み合わせ以外の組み合わせとして、ＡｌＮ，
ＡｌＮ−ＢＮ基材とＡｌ2 Ｏ3 ，ＺｒＯ2 ，ＳｉＣ，Ｓ
ｉ3Ｎ4 ，Ｂのいずれか一種の繊維の組み合わせでも同
様な効果が得られた。
ス繊維の組み合わせ以外の組み合わせとして、ＡｌＮ，
ＡｌＮ−ＢＮ基材とＡｌ2 Ｏ3 ，ＺｒＯ2 ，ＳｉＣ，Ｓ
ｉ3Ｎ4 ，Ｂのいずれか一種の繊維の組み合わせでも同
様な効果が得られた。
【００２６】また、本実施例では原子比で１７％のセラ
ミックス繊維を添加したが、実験から４〜５０％の繊維
添加量でも本実施例と同レベルの強度が得られ、同様の
効果が得られた。しかし、繊維添加量が４％未満になる
と、破壊エネルギーが低下し、靭性が低下して成形中に
クラックが生じてしまった。一方、セラミックス繊維の
添加量が５０％を越えると、繊維が多くなるためにセラ
ミックス特有のイオン結合または方向性の強い共有結合
の特性が低下し、基材の硬度および強度が低下して上記
成形圧力に耐えられず、クラックが生じてしまった。
ミックス繊維を添加したが、実験から４〜５０％の繊維
添加量でも本実施例と同レベルの強度が得られ、同様の
効果が得られた。しかし、繊維添加量が４％未満になる
と、破壊エネルギーが低下し、靭性が低下して成形中に
クラックが生じてしまった。一方、セラミックス繊維の
添加量が５０％を越えると、繊維が多くなるためにセラ
ミックス特有のイオン結合または方向性の強い共有結合
の特性が低下し、基材の硬度および強度が低下して上記
成形圧力に耐えられず、クラックが生じてしまった。
【００２７】
【発明の効果】以上のように、本発明の光学素子保持部
材によれば、粉末焼結セラミックス基材にセラミックス
繊維を４〜５０％含有させて焼結することとしたので、
耐熱性を低下させることなく、破壊靭性を向上させるこ
とが可能となり、耐久性が向上し、高精度の光学素子を
安定にかつ多量に成形することができる。
材によれば、粉末焼結セラミックス基材にセラミックス
繊維を４〜５０％含有させて焼結することとしたので、
耐熱性を低下させることなく、破壊靭性を向上させるこ
とが可能となり、耐久性が向上し、高精度の光学素子を
安定にかつ多量に成形することができる。
【図１】本発明の実施例１の光学素子保持部材を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図２】同実施例１の光学素子保持部材を用いた成形装
置を示す縦断面図である。
置を示す縦断面図である。
【図３】本発明の実施例２の光学素子保持部材を示す縦
断面図である。
断面図である。
【図４】同実施例１の光学素子保持部材を用いた成形装
置を示す縦断面図である。
置を示す縦断面図である。
１ 光学素子保持部材 ２ ＺｒＯ2 粉末 ３ Ａｌ2 Ｏ3 繊維 １１ 光学素子保持部材 １２ ＳｉＣ粉末 １３ ＳｉＣ繊維
Claims (3)
- 【請求項１】 粉末焼結セラミックス基材にセラミック
ス繊維を原子比で４〜５０％含有させ、焼結させたこと
を特徴とする光学素子保持部材。 - 【請求項２】 上記セラミックス基材はＡｌ2 Ｏ3 ，Ｚ
ｒＯ2 ，ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4 ，ＡｌＮ，サイアロン，Ｓ
ｉ3 Ｎ4 −ＢＮまたはＡｌＮ−ＢＮが主成分であること
を特徴とする請求項１記載の光学素子保持部材。 - 【請求項３】 上記セラミックス繊維はＡｌ2 Ｏ3 ，Ｚ
ｒＯ2 ，ＳｉＣ，Ｓｉ3 Ｎ4 またはＢであることを特徴
とする請求項１または２記載の光学素子保持部材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20719992A JPH0624764A (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | 光学素子保持部材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20719992A JPH0624764A (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | 光学素子保持部材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0624764A true JPH0624764A (ja) | 1994-02-01 |
Family
ID=16535887
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20719992A Withdrawn JPH0624764A (ja) | 1992-07-10 | 1992-07-10 | 光学素子保持部材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0624764A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5922400A (en) * | 1997-01-09 | 1999-07-13 | The Gillette Company | Correction fluid |
-
1992
- 1992-07-10 JP JP20719992A patent/JPH0624764A/ja not_active Withdrawn
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5922400A (en) * | 1997-01-09 | 1999-07-13 | The Gillette Company | Correction fluid |
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