JPH06238876A - Thin film printer - Google Patents

Thin film printer

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Publication number
JPH06238876A
JPH06238876A JP5025899A JP2589993A JPH06238876A JP H06238876 A JPH06238876 A JP H06238876A JP 5025899 A JP5025899 A JP 5025899A JP 2589993 A JP2589993 A JP 2589993A JP H06238876 A JPH06238876 A JP H06238876A
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JP
Japan
Prior art keywords
printing
roll
thin film
film
liquid
Prior art date
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Pending
Application number
JP5025899A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akio Kotado
明夫 古田土
Masahiko Shinohara
昌彦 篠原
Takao Nakagawa
貴夫 中川
Toyoichi Ueda
豊一 植田
Kiyoshi Nakanishi
清 中西
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Nakan Corp
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
Nakan Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Hitachi Chemical Co Ltd, Nakan Corp filed Critical Hitachi Chemical Co Ltd
Priority to JP5025899A priority Critical patent/JPH06238876A/en
Publication of JPH06238876A publication Critical patent/JPH06238876A/en
Pending legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE:To provide a thin film printer in which a uniform thin film having no unevenness such as streak is accurately formed on a printing matter. CONSTITUTION:A thin film printer supplies printing liquid onto anilox roll 3 by a liquid supply unit, forms a uniform printing liquid film on the roll 3 by a doctor roll 2 having elasticity, moves part of the film onto a press plate 5 having a predetermined pattern, and then transfer prints the film of a desired pattern on a platelike printing matter 6 fixed onto a print table. The roll 3 of the printer is obtained by covering a surface of a metal roll with ceramics, then polishing it, engraving predetermined cells on the surface with a laser light ray, then further polishing the surface to set unevenness of cell capacity to be formed to + or -10% or less and setting a hardness of the surface to l000Hv or more.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、液晶配向膜、液晶カラ
ーフィルター、液晶カラーフィルターの平坦化膜、液晶
用絶縁化膜、液晶封入用シール、液晶用パターン形成用
フォトレジスト膜などの種々の薄膜を被印刷体に印刷、
形成する薄膜形成装置に関する。
The present invention relates to various kinds of liquid crystal alignment films, liquid crystal color filters, liquid crystal color filter flattening films, liquid crystal insulating films, liquid crystal encapsulating seals, liquid crystal pattern forming photoresist films, and the like. Print a thin film on the substrate,
The present invention relates to a thin film forming apparatus for forming.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、液晶表示素子の配向膜、絶縁膜、
導電膜、パターン形成用フォトレジスト等の種々の機能
性薄膜を形成するには、特開昭60−135920号公
報などに示される図1のような薄膜形成装置を用いてい
た。この装置では、まずアニロックスロール3上にディ
スペンサ1によって印刷液が滴下される。アニロックス
ロール3の表面には、多数の凹型セルが設けられている
ために、印刷液を保持することができる。供給された印
刷液は、アニロックスロール3とドクターロール2間で
混練される。ドクターロール2は弾性を有したアニロッ
クスロール3上に押し付けられることにより、アニロッ
クスロール3上に均一な液膜を形成させる。この液膜
は、版胴4に取り付けられた所定の凸部を持つ刷版5と
の接触回転により刷版5上に移動する。あらかじめ印刷
テーブル7上に固定された板状の被印刷体6は刷版と接
触しながら版胴の下を図1のAの位置からBの位置に移
動するが、この時印刷液が刷版5から被印刷体6上に目
的のパターン形状で転写される。この様な方法によっ
て、例えば液晶表示素子上に薄膜が形成されている。し
かし近年、液晶素子等は大型化、高諧調化、高精細化が
進んできたため、素子上に形成される薄膜の高精度化が
要求されるようになってきた。特に配向膜では、膜のム
ラやすじが直接表示ムラとなって現われるために、従来
の薄膜印刷装置では十分に対応できなくなってきた。本
発明者らは、薄膜印刷装置の機構について鋭意検討を行
った結果、アニロックスロール上に形成されているセル
容量の精度が、直接形成される液膜精度に大きな影響を
及ぼすことを見出した。従来の装置のアニロックスロー
ルは、原型ダイスを機械的にロールに圧力で押し込み、
全ロール表面にセルが形成されるまで数回繰り返し押圧
加工される機械彫刻によって凹部を作り、その後硬質ク
ロームを表面にメッキし、最後にメッキ表面を研磨する
ことによって作られていた。このため加圧加工時に形成
されるセル容量の精度が十分で無かったり、クロームメ
ッキの不均一からセル構造が変形したりセル壁が荒れた
りして、結果的に形成されるセル容量の精度が要求する
液膜精度に見合うほどの精度なく、このために形成され
る薄膜の精度が充分確保できない問題があった。
2. Description of the Related Art Conventionally, an alignment film for a liquid crystal display element, an insulating film,
To form various functional thin films such as a conductive film and a photoresist for pattern formation, a thin film forming apparatus as shown in FIG. 1 shown in JP-A-60-135920 is used. In this apparatus, first, the printing liquid is dropped on the anilox roll 3 by the dispenser 1. Since a large number of concave cells are provided on the surface of the anilox roll 3, the printing liquid can be held. The supplied printing liquid is kneaded between the anilox roll 3 and the doctor roll 2. The doctor roll 2 is pressed against the elastic anilox roll 3 to form a uniform liquid film on the anilox roll 3. This liquid film moves onto the printing plate 5 by contact rotation with the printing plate 5 having a predetermined convex portion attached to the plate cylinder 4. The plate-shaped object 6 to be printed, which is fixed on the printing table 7 in advance, moves from the position A in FIG. 1 to the position B in FIG. 1 while contacting the printing plate. 5 is transferred onto the printing medium 6 in a desired pattern shape. By such a method, for example, a thin film is formed on the liquid crystal display element. However, in recent years, liquid crystal elements and the like have been made larger, have higher gradation, and have higher definition, and therefore, higher precision of thin films formed on the elements has been required. Particularly in the case of the alignment film, the unevenness of the film and the streaks directly appear as the display unevenness, and thus the conventional thin film printing apparatus cannot sufficiently cope with the problem. As a result of intensive studies on the mechanism of the thin film printing apparatus, the present inventors have found that the accuracy of the cell capacity formed on the anilox roll has a great influence on the accuracy of the liquid film formed directly. The anilox roll of the conventional device mechanically presses the prototype die into the roll,
It was made by making recesses by mechanical engraving, which was repeatedly pressed several times until cells were formed on the entire roll surface, then plating hard chrome on the surface, and finally polishing the plated surface. For this reason, the accuracy of the cell capacity formed during pressure processing is not sufficient, or the cell structure is deformed or the cell wall is roughened due to uneven chrome plating, and the accuracy of the resulting cell capacity is reduced. There was a problem that the accuracy of the thin film formed was not sufficient because the accuracy was not sufficient to meet the required accuracy of the liquid film.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の問題
を解決するものであり、アニロックスロール上に形成さ
れる印刷液の保持量を一定にし、目的の厚さの薄膜を被
印刷体上に精度良く形成する薄膜印刷装置を提供するも
のである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, in which the amount of printing liquid formed on an anilox roll is kept constant, and a thin film having a desired thickness is formed on a material to be printed. The present invention provides a thin film printing apparatus that can be formed with high precision.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明は、印刷液を液供
給装置によって、アニロツクスロール上に供給し、弾性
を有するドクターロールによりアニロックスロール上に
均一な印刷液膜を形成させ、この液膜の一部を所定のパ
ターンを持つ刷版上に移動させた後、印刷テーブル上に
固定された板状の被印刷体上に所望のパターンの印刷液
膜を転写印刷する薄膜印刷装置において、アニロックス
ロールを金属ロール表面をセラミックで被覆後研磨しレ
ーザ光線によって表面に所定のセルを彫刻後、さらに表
面を研磨して表面に形成されるセル容量のばらつきを±
10%以下とし、かつ表面の硬度を1000Hv以上に
したアニロックスロールとした薄膜印刷装置に関する。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, a printing liquid is supplied onto an anilox roll by a liquid supply device, and a uniform printing liquid film is formed on the anilox roll by a doctor roll having elasticity. In a thin film printing apparatus for transferring and printing a printing liquid film having a desired pattern on a plate-shaped printing medium fixed on a printing table after moving a part of the film onto a printing plate having a predetermined pattern, The anilox roll is coated with ceramic on the surface of a metal roll and polished, and after engraving a predetermined cell on the surface with a laser beam, the surface is further polished to reduce the variation in the cell capacity formed on the surface.
The present invention relates to an anilox roll thin film printing apparatus having a surface hardness of 10% or less and a surface hardness of 1000 Hv or more.

【0005】本発明では、金属ロール表面をセラミック
で被覆後研磨しレーザ光線によって表面に所定のセルを
彫刻後、表面を研磨して表面に形成されるセル容量のば
らつきを±10%以下に押さえ、かつ表面の硬度を10
00Hv以上にしたアニロックスロールが使用される。
ここで言うアニロックスロールとは、印刷液を保持する
セルを表面に持ち印刷版に印刷液を転移させるためのロ
ールである。セルは、アニロックスロール表面のほぼ全
面に形成された凹型のくぼみで、相当直径としてあらわ
せば通常20〜100μmのものである。ここで相当直
径としたのは、セル形状に方形、円形、菱形、六角形な
ど各種のものがあるからである。また、相当直径に範囲
があるのは形成する膜厚によって、使用するセル大きさ
を変えるためである。このセル容積の精度は、均一な薄
膜を形成するためには非常に重要である。例えばこのセ
ル容積のばらつきが、±10%以上となると塗布後の配
向膜にスジやムラが肉眼で観察されるようになってく
る。一方セル容量のばらつきが±10%未満であれば、
スジやムラはめだたなくなってくる。このスジやムラの
肉眼観察は個人差等があり微妙な点もあるが、熟練を積
んだ観察者の場合でも、セル容量のばらつきが±10%
以内になれば形成される薄膜が均一にできスジやムラは
観察されなくなるため、セル容量のばらつきは±10%
以内とすることが必要である。セル容量のばらつきの測
定は、一定量の印刷液をアニロックスロールの表面に塗
布してその塗布面積を評価する方法や、アニロックスロ
ール表面に印刷液を塗布しドクターカットした後に一定
面積に保持されている印刷液量を洗いだしてカラーメー
タで評価する方法などによって行われる。セル容量ばら
つき測定箇所は、両端、中央の各々2箇所計6箇所以上
は必要と考えるがロール寸法にもよるので特定するもの
ではない。
According to the present invention, the surface of a metal roll is coated with ceramic and then polished, a predetermined cell is engraved on the surface with a laser beam, and then the surface is polished to suppress variations in cell capacity formed on the surface to ± 10% or less. And the surface hardness is 10
Anilox rolls of 00Hv or above are used.
The anilox roll mentioned here is a roll that has cells for holding the printing liquid on the surface and transfers the printing liquid to the printing plate. The cell is a concave depression formed on almost the entire surface of the anilox roll and has a diameter of generally 20 to 100 μm if it is expressed as an equivalent diameter. The reason why the equivalent diameter is used here is that there are various cell shapes such as a square, a circle, a rhombus, and a hexagon. Also, the reason that the equivalent diameter has a range is to change the size of the cell used depending on the film thickness to be formed. The accuracy of this cell volume is very important for forming a uniform thin film. For example, if the variation in cell volume is ± 10% or more, streaks and unevenness will be visually observed in the alignment film after coating. On the other hand, if the variation in cell capacity is less than ± 10%,
Streaks and unevenness become less noticeable. Although there are subtle points in the visual observation of streaks and unevenness due to individual differences, even in the case of a skilled observer, the variation in cell capacity is ± 10%.
If it is within the range, the thin film formed will be uniform and no streaks or unevenness will be observed, so the variation in cell capacity is ± 10%.
It is necessary to stay within. To measure the variation in cell capacity, apply a fixed amount of printing liquid to the surface of the anilox roll and evaluate the application area, or apply the printing liquid to the anilox roll surface and hold it on a fixed area after doctor cutting. The amount of printing liquid is washed out and evaluated with a color meter. It is considered necessary to provide a total of six or more cell capacitance variation measurement points at both ends and the center, but it is not specified because it depends on the roll size.

【0006】また、ロール表面硬度はヴィッカース硬度
で1000Hv以上とされる。ロール表面硬度は磨耗速
度と関連があり、表面硬度が低い場合磨耗が進みセル容
量のばらつきが拡大し、その結果スジやムラが観察され
るようになる。表面硬度が1000Hv以上であれば塗
布時の磨耗がほとんどなく、セル容量の変化が問題にな
らないからである。
The surface hardness of the roll is 1000 Vv or more in Vickers hardness. The roll surface hardness is related to the wear rate, and if the surface hardness is low, the wear progresses and the variation in cell capacity expands, and as a result, streaks and unevenness are observed. This is because when the surface hardness is 1000 Hv or more, there is almost no abrasion during application and the change in cell capacity does not matter.

【0007】これらの条件を達成するアニロックスロー
ルを製作するためには、ロール表面にセラミックを形成
後研磨し、その研磨面に位置制御されたレーザパルスに
より形成し、セル形成後必要に応じて再度表面を研磨す
る方法が有効である。この場合のセラミックとしては、
Cr23、TiO2、Al23などの酸化物、TiN、
Si34、AlNなどの窒化物、CrC、TiC、Si
Cなどの炭化物などを用いることが好ましい。セラミッ
クの形成法としては、プラズマジェットによる溶射法、
プラズマなどによるCVD法などの方法があるが、理論
密度80%以上のセラミックが形成できれば特定するも
のではない。また、セラミックと下地金属の接着性およ
び熱膨張の整合性をとるために、この間に金属や他のセ
ラミックを形成してもよい。表面層にセラミックの層が
形成された後は、好ましくは表面の鏡面研磨を行い、コ
ンピュータなどで位置制御したレーザ光線により表面に
凹部セルを彫刻する。この彫刻により精度良い凹部セル
を形成することができる。レーザ彫刻後のセラミック表
面は、再度研磨する。
In order to manufacture an anilox roll that achieves these conditions, ceramic is formed on the roll surface, then polished, formed on the polished surface by a laser pulse controlled in position, and again formed as necessary after cell formation. A method of polishing the surface is effective. As the ceramic in this case,
Oxides such as Cr 2 O 3 , TiO 2 , and Al 2 O 3 , TiN,
Si 3 N 4 , nitride such as AlN, CrC, TiC, Si
It is preferable to use a carbide such as C. As a method of forming ceramics, a thermal spraying method using a plasma jet,
There is a method such as a CVD method using plasma or the like, but it is not specified as long as a ceramic having a theoretical density of 80% or more can be formed. Further, a metal or another ceramic may be formed between the ceramic and the base metal in order to maintain the adhesiveness and the thermal expansion matching. After the ceramic layer is formed on the surface layer, the surface is preferably mirror-polished, and a concave cell is engraved on the surface by a laser beam whose position is controlled by a computer or the like. By this engraving, it is possible to form the concave cell with high accuracy. The ceramic surface after laser engraving is polished again.

【0008】[0008]

【実施例】【Example】

実施例1 肉厚の機械構造用炭素鋼管にステンレス鋼の軸を焼きば
めして、ロールを作成した。このロール表面にプラズマ
ジェット溶射によりCr23のセラミック層を形成し、
表面の研磨を行い、表面粗さRaを0.05μm以下と
した。この時のセラミック層の厚さは約200μmであ
り、表面硬度は1250Hvであった。このセラミック
層にコンピュータで制御したレーザ光線をあてセルを彫
刻し表面を再度研磨した。この時のセル容量のばらつき
は±7%であり、このロールをアニロックスロールとし
て図1に示す薄膜印刷装置に組み込んだ。この薄膜印刷
装置で、印刷液として液晶配向膜用ポリイミド樹脂液L
Q−1800(日立化成工業(株)製商品名)を用い、
300×400mmの15Ω/□ITO付ガラス基板上
に、280×320mmのパターンを形成し、50℃の
ホットプレート上で乾燥させた。このパターン部を白色
蛍光燈の射光で観察したが、スジやムラは観察されなか
った。
Example 1 A roll was prepared by shrink-fitting a stainless steel shaft into a thick carbon steel pipe for machine structure. A ceramic layer of Cr 2 O 3 is formed on the surface of this roll by plasma jet spraying,
The surface was polished to a surface roughness Ra of 0.05 μm or less. At this time, the thickness of the ceramic layer was about 200 μm, and the surface hardness was 1250 Hv. A laser beam controlled by a computer was applied to this ceramic layer to engrave the cell, and the surface was polished again. The variation in cell capacity at this time was ± 7%, and this roll was incorporated into the thin film printing apparatus shown in FIG. 1 as an anilox roll. In this thin film printer, a polyimide resin liquid L for a liquid crystal alignment film is used as a printing liquid.
Using Q-1800 (trade name of Hitachi Chemical Co., Ltd.),
A 280 × 320 mm pattern was formed on a 300 × 400 mm glass substrate with 15Ω / □ ITO and dried on a hot plate at 50 ° C. When this pattern portion was observed with the light emitted from a white fluorescent lamp, no streaks or unevenness was observed.

【0009】比較例1 肉厚の機械構造用炭素鋼にステンレス鋼の軸を焼きばめ
してロールを作成した。このロールの表面を研磨後彫刻
用ダイスを用いてセルを彫刻した。次に表面の脱脂等の
前処理をした後ハードクロムメッキを行い、表面を研磨
してアニロックスロールを得た。このアニロックスロー
ルは、セル容量のばらつきが±15%、表面硬度は70
0Hvであった。このロールをアニロックスロールとし
て図1に示す薄膜印刷装置に組み込んだ。この薄膜印刷
装置で、印刷液として液晶配向膜用ポリイミド樹脂液L
Q−1800を用い、300×400mmの15Ω/□
ITO付ガラス基板上に、280×320mmのパター
ンを形成し、50℃のホットプレート上で乾燥させた。
このパターン部を白色蛍光燈の射光で観察したところ、
わずかに印刷方向に対して直角方向に入る横スジが観察
された。
Comparative Example 1 A roll was prepared by shrink-fitting a stainless steel shaft on a thick carbon steel for machine structural use. After polishing the surface of this roll, cells were engraved using an engraving die. Next, after pretreatment such as degreasing of the surface, hard chrome plating was performed and the surface was polished to obtain an anilox roll. This anilox roll has a cell capacity variation of ± 15% and a surface hardness of 70.
It was 0 Hv. This roll was incorporated into the thin film printing apparatus shown in FIG. 1 as an anilox roll. In this thin film printer, a polyimide resin liquid L for a liquid crystal alignment film is used as a printing liquid.
Using Q-1800, 300 Ω 400 mm 15Ω / □
A 280 × 320 mm pattern was formed on a glass substrate with ITO and dried on a hot plate at 50 ° C.
When observing this pattern part with a white fluorescent lamp,
A horizontal streak slightly entering the direction perpendicular to the printing direction was observed.

【0010】[0010]

【発明の効果】本発明のアニロックスロールを使用する
ことで、被印刷体上に均一でスジなどのムラのない薄膜
を精度良く形成することができる。
EFFECT OF THE INVENTION By using the anilox roll of the present invention, it is possible to form a uniform thin film with no unevenness such as streaks on the object to be printed with high precision.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】薄膜形成装置の説明図である。FIG. 1 is an explanatory diagram of a thin film forming apparatus.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ディスペンサ 2 ドクター 3 アニロックスロール 4 版胴 5 刷版 6 被印刷体 7 印刷テーブル 1 Dispenser 2 Doctor 3 Anilox Roll 4 Plate Cylinder 5 Printing Plate 6 Printing Substrate 7 Printing Table

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中川 貴夫 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社山崎工場内 (72)発明者 植田 豊一 東京都新宿区西新宿二丁目1番1号 日立 化成工業株式会社内 (72)発明者 中西 清 千葉県千葉市花見川区千種町312番地 ナ カン株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Takao Nakagawa 4-13-1, Higashimachi, Hitachi City, Ibaraki Prefecture Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Plant (72) Inventor Toyoichi Ueda Nishishinjuku 2-chome, Shinjuku-ku, Tokyo 1-1 Hitachi Hitachi Chemical Co., Ltd. (72) Inventor Kiyoshi Nakanishi 312 Chikusacho, Hanamigawa-ku, Chiba-shi, Chiba Nakan Corporation

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 印刷液を液供給装置によって、アニロッ
クスロール上に供給し、弾性を有するドクターロールに
よりアニロックスロール上に均一な印刷液膜を形成さ
せ、この液膜の一部を所定のパターンを持つ刷版上に移
動させた後、印刷テーブル上に固定された板状の被印刷
体上に所望のパターンの印刷液膜を転写印刷する薄膜印
刷装置において、アニロックスロールを金属ロール表面
をセラミックで被覆後研磨しレーザ光線によって表面に
所定のセルを彫刻後、さらに表面を研磨して表面に形成
されるセル容量のばらつきを±10%以下とし、かつ表
面の硬度を1000Hv以上にしたアニロックスロール
とした薄膜印刷装置。
1. A liquid supply device supplies a printing liquid onto an anilox roll, and a doctor roll having elasticity forms a uniform printing liquid film on the anilox roll. A part of this liquid film is formed into a predetermined pattern. In a thin film printing device that transfers and prints a printing liquid film of a desired pattern onto a plate-shaped printing medium fixed on a printing table after moving it to a printing plate, an anilox roll is made of ceramic on the metal roll surface. An anilox roll in which after coating and polishing, engraving a predetermined cell on the surface with a laser beam, and further polishing the surface to reduce the variation in cell capacity formed on the surface to ± 10% or less and to set the surface hardness to 1000 Hv or more. Thin film printing equipment.
JP5025899A 1993-02-16 1993-02-16 Thin film printer Pending JPH06238876A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100735298B1 (en) * 2005-10-06 2007-07-03 비오이 하이디스 테크놀로지 주식회사 printer of alignment solution

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