JPH0621607A - スルーホール検査装置及びそれを用いるスルーホール検査方法 - Google Patents
スルーホール検査装置及びそれを用いるスルーホール検査方法Info
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- JPH0621607A JPH0621607A JP17462692A JP17462692A JPH0621607A JP H0621607 A JPH0621607 A JP H0621607A JP 17462692 A JP17462692 A JP 17462692A JP 17462692 A JP17462692 A JP 17462692A JP H0621607 A JPH0621607 A JP H0621607A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 スルーホール検査装置及びそれを用いるスル
ーホール検査方法に関し，スルーホールの画像信号のＳ
／Ｎ比を向上することを目的とする。 【構成】 マトリックス状にスイッチ部の配列された液
晶パネルであってスルーホール2aの形成された被検査基
板２を載置する液晶パネル１と，スイッチ部を制御する
液晶パネル制御部３と, 被検査基板２の載置された液晶
パネル１を保持して水平方向に移動するステージ４と,
被検査基板２を照明する照明部５と, ステージ４とは独
立し被検査基板２の一部を遮光する遮光マスク６と, 被
検査基板２の像を取り込む位置用受光センサ7a及びその
位置から被検査基板２の移動する前方にある遮光マスク
６下の被検査基板２の像を取り込む漏光受光センサ7bと
を含む画像取り込み部７と, 画像取り込み部７で取り込
んだ像を記憶するメモリ部８と, メモリ部８の情報を処
理して漏光の有無を判定する欠陥判定部９とを有するよ
うに構成する。
ーホール検査方法に関し，スルーホールの画像信号のＳ
／Ｎ比を向上することを目的とする。 【構成】 マトリックス状にスイッチ部の配列された液
晶パネルであってスルーホール2aの形成された被検査基
板２を載置する液晶パネル１と，スイッチ部を制御する
液晶パネル制御部３と, 被検査基板２の載置された液晶
パネル１を保持して水平方向に移動するステージ４と,
被検査基板２を照明する照明部５と, ステージ４とは独
立し被検査基板２の一部を遮光する遮光マスク６と, 被
検査基板２の像を取り込む位置用受光センサ7a及びその
位置から被検査基板２の移動する前方にある遮光マスク
６下の被検査基板２の像を取り込む漏光受光センサ7bと
を含む画像取り込み部７と, 画像取り込み部７で取り込
んだ像を記憶するメモリ部８と, メモリ部８の情報を処
理して漏光の有無を判定する欠陥判定部９とを有するよ
うに構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はスルーホール検査装置及
びそれを用いるスルーホール検査方法に係り，さらに詳
しくはプリント基板のスルーホールの内壁に存在する欠
陥を検査する装置と方法に関する。
びそれを用いるスルーホール検査方法に係り，さらに詳
しくはプリント基板のスルーホールの内壁に存在する欠
陥を検査する装置と方法に関する。
【０００２】スルーホール検査装置として，スルーホー
ルの画像をＣＣＤイメージセンサ等を用いて光学的に読
み取り，スルーホール内壁に存在する欠陥を検査する方
法がある。即ち，被検査スルーホールを遮光マスクで覆
った時の画像を取り込み，もし，もし被検査スルーホー
ル内壁に欠陥が存在する時は，遮光マスク周辺の光がプ
リント基板内部からその欠陥を通って被検査スルーホー
ル内に漏れ，漏光となるので，それを検出するものであ
る。
ルの画像をＣＣＤイメージセンサ等を用いて光学的に読
み取り，スルーホール内壁に存在する欠陥を検査する方
法がある。即ち，被検査スルーホールを遮光マスクで覆
った時の画像を取り込み，もし，もし被検査スルーホー
ル内壁に欠陥が存在する時は，遮光マスク周辺の光がプ
リント基板内部からその欠陥を通って被検査スルーホー
ル内に漏れ，漏光となるので，それを検出するものであ
る。
【０００３】ところで，欠陥を通る漏光は通常極めて微
弱であり，ＣＣＤイメージセンサとして高感度のものが
使用されるが，遮光マスク周辺の光のうち，欠陥を通ら
ない漏光がＣＣＤイメージセンサに入る時は，正常な検
出が困難となり，誤検出が増加する。このため，遮光マ
スク周辺の光のうち，欠陥検査に不要な光は極力抑えて
Ｓ／Ｎを向上させる必要がある。
弱であり，ＣＣＤイメージセンサとして高感度のものが
使用されるが，遮光マスク周辺の光のうち，欠陥を通ら
ない漏光がＣＣＤイメージセンサに入る時は，正常な検
出が困難となり，誤検出が増加する。このため，遮光マ
スク周辺の光のうち，欠陥検査に不要な光は極力抑えて
Ｓ／Ｎを向上させる必要がある。
【０００４】
【従来の技術】図３は従来のスルーホール検査装置の概
念図で，２はプリント基板であって被検査基板，2aはス
ルーホール，４はステージ，５は照明部，６は遮光マス
ク，７は画像取り込み部，7aは位置用受光センサ, 7bは
漏光受光センサ, 7cはレンズ系, ８はメモリ部，９は欠
陥判定部，11はスリット部を表す。
念図で，２はプリント基板であって被検査基板，2aはス
ルーホール，４はステージ，５は照明部，６は遮光マス
ク，７は画像取り込み部，7aは位置用受光センサ, 7bは
漏光受光センサ, 7cはレンズ系, ８はメモリ部，９は欠
陥判定部，11はスリット部を表す。
【０００５】スルーホール2aは内径が１mm以下の微細な
ものである。ステージ４は被検査基板２を水平に保持し
て水平方向に移動する。遮光マスク６は直径５mm程度の
ローラーで被検査基板２に圧接し，被検査基板２に伴っ
て固定軸の周りに回転する。ローラの径は漏光を最大限
に捕らえられるようにできるだけ小さくする。
ものである。ステージ４は被検査基板２を水平に保持し
て水平方向に移動する。遮光マスク６は直径５mm程度の
ローラーで被検査基板２に圧接し，被検査基板２に伴っ
て固定軸の周りに回転する。ローラの径は漏光を最大限
に捕らえられるようにできるだけ小さくする。
【０００６】位置用受光センサ7aと漏光受光センサ7b
は，例えばＣＣＤラインセンサで長さは２０mm程度であ
り，被検査基板２の移動方向に対してＣＣＤ走査方向は
垂直である。位置用受光センサ7aと漏光受光センサ7bの
画像取り込み位置は，被検査基板２の移動方向に予め定
めた距離，例えば１０mm，離れている。
は，例えばＣＣＤラインセンサで長さは２０mm程度であ
り，被検査基板２の移動方向に対してＣＣＤ走査方向は
垂直である。位置用受光センサ7aと漏光受光センサ7bの
画像取り込み位置は，被検査基板２の移動方向に予め定
めた距離，例えば１０mm，離れている。
【０００７】スリット板11のスリットの幅は例えば１mm
で，不要光を遮断して漏光のみを取り込むためのもので
あるが，被検査基板２とは１mm程度の間隔をもって配置
されている。これは，検査時にステージ４を移動する
時，被検査基板２にスリット板11が接触して被検査基板
２を傷つけることがないようにするためである。
で，不要光を遮断して漏光のみを取り込むためのもので
あるが，被検査基板２とは１mm程度の間隔をもって配置
されている。これは，検査時にステージ４を移動する
時，被検査基板２にスリット板11が接触して被検査基板
２を傷つけることがないようにするためである。
【０００８】検査に必要な画像データは，被検査スルー
ホールが位置用受光センサ7aの画像取り込み位置にきた
時の画像データ（位置データ）と，その被検査スルーホ
ールが移動して漏光受光センサ7bの画像取り込み位置に
きた時の画像データ（漏光データ）である。これら２種
類のデータは，それぞれ，取り込むタイミングが異なる
ので，先に取り込まれたデータ（位置データ）をメモリ
部８に書き込んでおき，後で取り込まれるデータ（漏光
データ）と同一のタイミングで読み出し，欠陥判定部９
で両方のデータの論理積をとり，欠陥の有無を判定す
る。即ち，予めレベルを設定しておき，位置データの出
力と漏光データの出力がともにこのレベルを越えた時，
欠陥有りと判定する。
ホールが位置用受光センサ7aの画像取り込み位置にきた
時の画像データ（位置データ）と，その被検査スルーホ
ールが移動して漏光受光センサ7bの画像取り込み位置に
きた時の画像データ（漏光データ）である。これら２種
類のデータは，それぞれ，取り込むタイミングが異なる
ので，先に取り込まれたデータ（位置データ）をメモリ
部８に書き込んでおき，後で取り込まれるデータ（漏光
データ）と同一のタイミングで読み出し，欠陥判定部９
で両方のデータの論理積をとり，欠陥の有無を判定す
る。即ち，予めレベルを設定しておき，位置データの出
力と漏光データの出力がともにこのレベルを越えた時，
欠陥有りと判定する。
【０００９】このようにして，被検査基板２を移動し，
ＣＣＤラインセンサ7a, 7bを走査することにより２０mm
の幅にわたって次々にスルーホールの欠陥を検査するこ
とができる。同様にして，隣接する２０mmの幅の未検査
領域を検査し，この操作を続けることにより，被検査基
板２全面のスルーホールの欠陥を検査することができ
る。
ＣＣＤラインセンサ7a, 7bを走査することにより２０mm
の幅にわたって次々にスルーホールの欠陥を検査するこ
とができる。同様にして，隣接する２０mmの幅の未検査
領域を検査し，この操作を続けることにより，被検査基
板２全面のスルーホールの欠陥を検査することができ
る。
【００１０】
【発明が解決しようとする課題】ところで，従来のスル
ーホール検査装置では，被検査基板２とスリット板11の
間に約２mmの空間があるため，遮光マスク６の周辺から
被検査基板２を透過してきた光のうち，漏光とは関係な
い不要な光が被検査基板２とスリット板11の間で乱反射
を起こし，その反射光がスリット板11のスリット部に入
り込む。この影響で検査に必要とされる漏光と不要光の
Ｓ／Ｎ比が劣化する。
ーホール検査装置では，被検査基板２とスリット板11の
間に約２mmの空間があるため，遮光マスク６の周辺から
被検査基板２を透過してきた光のうち，漏光とは関係な
い不要な光が被検査基板２とスリット板11の間で乱反射
を起こし，その反射光がスリット板11のスリット部に入
り込む。この影響で検査に必要とされる漏光と不要光の
Ｓ／Ｎ比が劣化する。
【００１１】本発明は上記のような欠点を補うために，
被検査基板２とスリット板11を密着させたと同様の機能
を持つ構造を提供し，漏光と不要光のＳ／Ｎ比を向上さ
せ，誤検出を減少させることを目的とする。
被検査基板２とスリット板11を密着させたと同様の機能
を持つ構造を提供し，漏光と不要光のＳ／Ｎ比を向上さ
せ，誤検出を減少させることを目的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】図１は本発明のスルーホ
ール検査装置の概念図，図２は液晶パネルの作動を説明
する図である。
ール検査装置の概念図，図２は液晶パネルの作動を説明
する図である。
【００１３】上記課題は，マトリックス状にスイッチ部
1aの配列された液晶パネル１であってスルーホール2aの
形成された被検査基板２を載置する液晶パネル１と，該
スイッチ部1aを制御する液晶パネル制御部３と, 被検査
基板２の載置された液晶パネル１を保持して水平方向に
移動するステージ４と, 該被検査基板２を照明する照明
部５と, 該ステージ４とは独立し該被検査基板２の一部
を遮光する遮光マスク６と, 該被検査基板２の像を取り
込む位置用受光センサ7a及び該位置から該被検査基板２
の移動する前方にある該遮光マスク６下の被検査基板２
の像を取り込む漏光受光センサ7bとを含む画像取り込み
部７と, 該画像取り込み部７で取り込んだ像を記憶する
メモリ部８と, 該メモリ部８の情報を処理して漏光の有
無を判定する欠陥判定部９とを有するスルーホール検査
装置によって解決される。
1aの配列された液晶パネル１であってスルーホール2aの
形成された被検査基板２を載置する液晶パネル１と，該
スイッチ部1aを制御する液晶パネル制御部３と, 被検査
基板２の載置された液晶パネル１を保持して水平方向に
移動するステージ４と, 該被検査基板２を照明する照明
部５と, 該ステージ４とは独立し該被検査基板２の一部
を遮光する遮光マスク６と, 該被検査基板２の像を取り
込む位置用受光センサ7a及び該位置から該被検査基板２
の移動する前方にある該遮光マスク６下の被検査基板２
の像を取り込む漏光受光センサ7bとを含む画像取り込み
部７と, 該画像取り込み部７で取り込んだ像を記憶する
メモリ部８と, 該メモリ部８の情報を処理して漏光の有
無を判定する欠陥判定部９とを有するスルーホール検査
装置によって解決される。
【００１４】また，前記のスルーホール検査装置を用い
るスルーホール検査方法であって，該位置用受光センサ
7aにより被検査スルーホールの像を取り込んだ出力を第
１の出力として該メモリ部８に記憶させ，該被検査スル
ーホールが該遮光マスク６下に移動した時，該液晶パネ
ル制御部３により液晶パネル１のスイッチ部1aを制御し
て該遮光マスク６下に透光スリット部1cを形成しかつ該
透光スリット部1cの周囲は遮光状態にし，該漏光受光セ
ンサ7bにより該被検査スルーホールの像を取り込み，そ
の出力を第２の出力とし，該欠陥判定部９により該第１
の出力及び該第２の出力がともに予め定めたレベル以上
である時，欠陥有りと判定するスルーホール検査方法に
よって解決される。
るスルーホール検査方法であって，該位置用受光センサ
7aにより被検査スルーホールの像を取り込んだ出力を第
１の出力として該メモリ部８に記憶させ，該被検査スル
ーホールが該遮光マスク６下に移動した時，該液晶パネ
ル制御部３により液晶パネル１のスイッチ部1aを制御し
て該遮光マスク６下に透光スリット部1cを形成しかつ該
透光スリット部1cの周囲は遮光状態にし，該漏光受光セ
ンサ7bにより該被検査スルーホールの像を取り込み，そ
の出力を第２の出力とし，該欠陥判定部９により該第１
の出力及び該第２の出力がともに予め定めたレベル以上
である時，欠陥有りと判定するスルーホール検査方法に
よって解決される。
【００１５】
【作用】液晶パネル１は液晶パネル制御部３によりマト
リックス状に配置されたスイッチ部1aをＯＮ，ＯＦＦす
ることにより，透過，反射の切り換えができるから，任
意の場所に遮光領域及び透光領域を設定することができ
る。
リックス状に配置されたスイッチ部1aをＯＮ，ＯＦＦす
ることにより，透過，反射の切り換えができるから，任
意の場所に遮光領域及び透光領域を設定することができ
る。
【００１６】したがって，液晶パネル制御部３により，
液晶パネル１が被検査基板２を載置して移動するのに同
期して，透光領域が液晶パネル１の移動と反対方向に同
じ速度で移動するように液晶パネル１を制御してやれ
ば，透光領域は空間に止まった状態になり，その周囲を
遮光状態にしてやればあたかも従来例で説明したスリッ
ト板11は同様の機能をもつようになる。
液晶パネル１が被検査基板２を載置して移動するのに同
期して，透光領域が液晶パネル１の移動と反対方向に同
じ速度で移動するように液晶パネル１を制御してやれ
ば，透光領域は空間に止まった状態になり，その周囲を
遮光状態にしてやればあたかも従来例で説明したスリッ
ト板11は同様の機能をもつようになる。
【００１７】しかも，液晶パネル１と被検査基板２は密
着しているから不要光が入り込む間隙は存在しない。こ
のようにすることにより，漏光と不要光のＳ／Ｎ比を向
上させ，誤検出を減少させることができる。
着しているから不要光が入り込む間隙は存在しない。こ
のようにすることにより，漏光と不要光のＳ／Ｎ比を向
上させ，誤検出を減少させることができる。
【００１８】
【実施例】図１は本発明のスルーホール検査装置の概念
図である。符号は前述の図３と共通であり，さらに１は
液晶パネル，1bは透光スリット部, 1cは位置検出部, ３
は液晶パネル制御部を表す。
図である。符号は前述の図３と共通であり，さらに１は
液晶パネル，1bは透光スリット部, 1cは位置検出部, ３
は液晶パネル制御部を表す。
【００１９】２はプリント基板であって被検査基板であ
り，検査すべきスルーホール2aは内径が１mm以下の微細
なものである。液晶パネル１はスイッチ部がマトリック
ス状に配列されたパネルで，その上に被検査基板２を搭
載し，密着するようにする。ステージ４は被検査基板２
を搭載した液晶パネル１を水平に保持して水平方向に移
動する。
り，検査すべきスルーホール2aは内径が１mm以下の微細
なものである。液晶パネル１はスイッチ部がマトリック
ス状に配列されたパネルで，その上に被検査基板２を搭
載し，密着するようにする。ステージ４は被検査基板２
を搭載した液晶パネル１を水平に保持して水平方向に移
動する。
【００２０】遮光マスク６は直径５mm程度のローラーで
被検査基板２に圧接し，被検査基板２に伴って固定軸の
周りに回転する。ローラの径は漏光を最大限に捕らえら
れるようにできるだけ小さくする。
被検査基板２に圧接し，被検査基板２に伴って固定軸の
周りに回転する。ローラの径は漏光を最大限に捕らえら
れるようにできるだけ小さくする。
【００２１】位置用受光センサ7aと漏光受光センサ7b
は，例えばＣＣＤラインセンサで長さは２０mm程度であ
り，被検査基板２の移動方向に対してＣＣＤ走査方向は
垂直である。位置用受光センサ7aと漏光受光センサ7bの
画像取り込み位置は，被検査基板２の移動方向に予め定
めた距離，例えば１０mm，離れている。
は，例えばＣＣＤラインセンサで長さは２０mm程度であ
り，被検査基板２の移動方向に対してＣＣＤ走査方向は
垂直である。位置用受光センサ7aと漏光受光センサ7bの
画像取り込み位置は，被検査基板２の移動方向に予め定
めた距離，例えば１０mm，離れている。
【００２２】透光スリット部1bは液晶パネル１の中にあ
り，幅が例えば１mmで，不要光を遮断して漏光のみを取
り込むためのものである。この透光スリット部1aは，液
晶パネル制御部３により，マトリックス状に配置された
スイッチ部を制御して，透光スリット部1bの液晶を透光
状態にし，その周囲の液晶を遮光状態にすることにより
形成する。
り，幅が例えば１mmで，不要光を遮断して漏光のみを取
り込むためのものである。この透光スリット部1aは，液
晶パネル制御部３により，マトリックス状に配置された
スイッチ部を制御して，透光スリット部1bの液晶を透光
状態にし，その周囲の液晶を遮光状態にすることにより
形成する。
【００２３】検査に必要な画像データは，被検査スルー
ホールが位置用受光センサ7aの画像取り込み位置（位置
検出部1c）にきた時の画像データ（位置データ）と，そ
の被検査スルーホールが移動して漏光受光センサ7bの画
像取り込み位置にきた時の画像データ（漏光データ）で
ある。これら２種類のデータは，それぞれ，取り込むタ
イミングが異なるので，先に取り込まれたデータ（位置
データ）をメモリ部８に書き込んでおき，後で取り込ま
れるデータ（漏光データ）と同一のタイミングで読み出
し，欠陥判定部９で両方のデータの論理積をとり，欠陥
の有無を判定する。即ち，予めあるレベルを設定してお
き，位置データの出力と漏光データの出力がともにこの
レベルを越えた時，欠陥有りと判定する。
ホールが位置用受光センサ7aの画像取り込み位置（位置
検出部1c）にきた時の画像データ（位置データ）と，そ
の被検査スルーホールが移動して漏光受光センサ7bの画
像取り込み位置にきた時の画像データ（漏光データ）で
ある。これら２種類のデータは，それぞれ，取り込むタ
イミングが異なるので，先に取り込まれたデータ（位置
データ）をメモリ部８に書き込んでおき，後で取り込ま
れるデータ（漏光データ）と同一のタイミングで読み出
し，欠陥判定部９で両方のデータの論理積をとり，欠陥
の有無を判定する。即ち，予めあるレベルを設定してお
き，位置データの出力と漏光データの出力がともにこの
レベルを越えた時，欠陥有りと判定する。
【００２４】図２は液晶パネルの作動を説明する図であ
る。液晶パネルにはスイッチ部1aがマトリックス状に形
成されている。その周期は被検査基板２が移動する方向
（Ｘ方向）で例えば 0.2mm，それに垂直な方向（Ｙ方
向）で例えば 0.2mmである。
る。液晶パネルにはスイッチ部1aがマトリックス状に形
成されている。その周期は被検査基板２が移動する方向
（Ｘ方向）で例えば 0.2mm，それに垂直な方向（Ｙ方
向）で例えば 0.2mmである。
【００２５】外部の液晶パネル制御部３によりＸ方向及
びＹ方向が選択されて液晶パネル１のスイッチ部1aが駆
動され，任意の場所を透光状態または遮光状態にするこ
とができる。
びＹ方向が選択されて液晶パネル１のスイッチ部1aが駆
動され，任意の場所を透光状態または遮光状態にするこ
とができる。
【００２６】漏光データを取り込むため，スルーホール
検査を行う場所のみ光が透過する透光スリット部1bを形
成し，その周囲は遮光状態となるように液晶パネル１を
制御する。このようにして，スルーホール検査が可能な
状態となる。
検査を行う場所のみ光が透過する透光スリット部1bを形
成し，その周囲は遮光状態となるように液晶パネル１を
制御する。このようにして，スルーホール検査が可能な
状態となる。
【００２７】検査時，被検査基板２は液晶パネル１と共
に移動するため，その移動に同期して透光スリット部1b
が液晶パネル１の移動方向と逆方向に同じ速度で移動す
るように液晶パネル１を制御する。このようにして，透
光スリット部1bを空間に停止させ，漏光受光センサ7bに
より漏光データが得られるようにする。
に移動するため，その移動に同期して透光スリット部1b
が液晶パネル１の移動方向と逆方向に同じ速度で移動す
るように液晶パネル１を制御する。このようにして，透
光スリット部1bを空間に停止させ，漏光受光センサ7bに
より漏光データが得られるようにする。
【００２８】透光スリット部1bの寸法は例えばＸ方向１
mm, Ｙ方向２０mmで，その範囲のスイッチ部1aが透光状
態，その他の領域は遮光状態となるようにする。さら
に，移動するステージの位置情報（移動距離）を得るた
めに，例えばリニアスケール10を設定し，リアルタイム
に位置情報を液晶パネル制御部３に取り込む。液晶パネ
ル制御部３はその位置情報に基づき，液晶パネル１の位
置検出部1c及び透光スリット部1bに対応するＸ方向及び
Ｙ方向の端子を操作する。
mm, Ｙ方向２０mmで，その範囲のスイッチ部1aが透光状
態，その他の領域は遮光状態となるようにする。さら
に，移動するステージの位置情報（移動距離）を得るた
めに，例えばリニアスケール10を設定し，リアルタイム
に位置情報を液晶パネル制御部３に取り込む。液晶パネ
ル制御部３はその位置情報に基づき，液晶パネル１の位
置検出部1c及び透光スリット部1bに対応するＸ方向及び
Ｙ方向の端子を操作する。
【００２９】画像取り込み部７は安定して画像を取り込
むため，装置に固定してある。なお，位置検出部1cの位
置データは，必ずしも透光状態にして取り込む必要はな
い。なぜなら液晶パネル１は遮光状態としても光を１０
０％反射することはなく，一部は透過してくるからであ
る。位置検出部1cを遮光状態にしておいても，照明部か
らの光はもともと強烈であるから，一部の光は透過して
くる。したがって，液晶パネル全面を遮光状態にしてお
き，透光スリット部1bだけ透光状態にしておけばよい。
むため，装置に固定してある。なお，位置検出部1cの位
置データは，必ずしも透光状態にして取り込む必要はな
い。なぜなら液晶パネル１は遮光状態としても光を１０
０％反射することはなく，一部は透過してくるからであ
る。位置検出部1cを遮光状態にしておいても，照明部か
らの光はもともと強烈であるから，一部の光は透過して
くる。したがって，液晶パネル全面を遮光状態にしてお
き，透光スリット部1bだけ透光状態にしておけばよい。
【００３０】位置検出部1cと透光スリット部1bの空間的
距離が１０mmで, 被検査基板２が例えば１０mm／秒で移
動しているものとすると，検査すべきスルーホールが位
置検出部1cに来た時の画像を位置用受光センサ7aで取り
込みその出力（位置データ）をメモリ部８に格納する。
そして，その検査すべきスルーホールが透光スリット部
1bの位置に来た時，画像を漏光受光センサ7bで取り込
み，その出力（漏光データ）を欠陥判定部９により，既
にメモリ部８に格納されている位置データと比較して欠
陥の有無を判定する。
距離が１０mmで, 被検査基板２が例えば１０mm／秒で移
動しているものとすると，検査すべきスルーホールが位
置検出部1cに来た時の画像を位置用受光センサ7aで取り
込みその出力（位置データ）をメモリ部８に格納する。
そして，その検査すべきスルーホールが透光スリット部
1bの位置に来た時，画像を漏光受光センサ7bで取り込
み，その出力（漏光データ）を欠陥判定部９により，既
にメモリ部８に格納されている位置データと比較して欠
陥の有無を判定する。
【００３１】欠陥判定部９では両者のデータの論理積を
とる。即ち，予めレベルを定めておき，位置データの出
力あるいは漏光データの出力がそのレベルより高い時は
１，そのレベルに達しない時は０とし，論理積が１の場
合，漏光があったものとして欠陥有りと判定する。
とる。即ち，予めレベルを定めておき，位置データの出
力あるいは漏光データの出力がそのレベルより高い時は
１，そのレベルに達しない時は０とし，論理積が１の場
合，漏光があったものとして欠陥有りと判定する。
【００３２】このようにして，被検査基板２を移動し，
ＣＣＤラインセンサ7a, 7bを走査することにより，被検
査基板２のスルーホールの欠陥を２０mmの幅にわたって
検査することができる。同様にして隣接する２０mmの幅
の未検査領域を検査し，この操作を続けることにより，
被検査基板２全面のスルーホールの欠陥を検査すること
ができる。
ＣＣＤラインセンサ7a, 7bを走査することにより，被検
査基板２のスルーホールの欠陥を２０mmの幅にわたって
検査することができる。同様にして隣接する２０mmの幅
の未検査領域を検査し，この操作を続けることにより，
被検査基板２全面のスルーホールの欠陥を検査すること
ができる。
【００３３】さらに，被検査基板２全面にわたって位置
検出部1cの位置データと透光スリット部1bの漏光データ
をメモリ部８に格納しておき，その情報を処理してスル
ーホール欠陥のマップを作ることもできる。
検出部1cの位置データと透光スリット部1bの漏光データ
をメモリ部８に格納しておき，その情報を処理してスル
ーホール欠陥のマップを作ることもできる。
【００３４】
【発明の効果】以上説明したように，本発明によれば，
被検査基板２の被検査スルーホールの漏光状態を検出す
る時，その周囲の基板内部や隣接のスルーホールを通し
てくる光の影響を受けずに被検査スルーホールに生じる
漏光を捕らえることができるので，Ｓ／Ｎ比が向上す
る。その結果，スルーホールの欠陥の有無を確実に判定
することができ，誤検出の減少という効果を奏する。
被検査基板２の被検査スルーホールの漏光状態を検出す
る時，その周囲の基板内部や隣接のスルーホールを通し
てくる光の影響を受けずに被検査スルーホールに生じる
漏光を捕らえることができるので，Ｓ／Ｎ比が向上す
る。その結果，スルーホールの欠陥の有無を確実に判定
することができ，誤検出の減少という効果を奏する。
【図１】本発明のスルーホール検査装置の概念図であ
る。
る。
【図２】液晶パネルの作動を説明する図である。
【図３】従来のスルーホール検査装置の概念図である。
１は液晶パネル 1aはスイッチ部 1bは透光スリット部 1cは位置検出部 ２はプリント基板であって被検査基板 2aはスルーホールであって被検査スルーホール ３は液晶パネル制御部 ４はステージ ５は照明部 ６は遮光マスク ７は画像取り込み部 7aは位置用受光センサであってＣＣＤラインセンサ 7bは漏光受光センサであってＣＣＤラインセンサ 7cはレンズ系 ８はメモリ部 ９は欠陥判定部 10はリニアスケール 11はスリット板
Claims (2)
- 【請求項１】 マトリックス状にスイッチ部(1a)の配列
された液晶パネル(1) であってスルーホール(2a)の形成
された被検査基板(2) を載置する液晶パネル(1) と， 該スイッチ部(1a)を制御する液晶パネル制御部(3) と, 被検査基板(2) の載置された液晶パネル(1) を保持して
水平方向に移動するステージ(4) と, 該被検査基板(2) を照明する照明部(5) と, 該ステージ(4) とは独立し該被検査基板(2) の一部を遮
光する遮光マスク(6)と, 該被検査基板(2) の像を取り込む位置用受光センサ(7a)
及び該位置から該被検査基板(2) の移動する前方にある
該遮光マスク(6) 下の被検査基板(2) の像を取り込む漏
光受光センサ(7b)とを含む画像取り込み部(7) と, 該画像取り込み部(7) で取り込んだ像を記憶するメモリ
部(8) と, 該メモリ部(8) の情報を処理して漏光の有無を判定する
欠陥判定部(9) とを有することを特徴とするスルーホー
ル検査装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のスルーホール検査装置を
用いるスルーホール検査方法であって， 該位置用受光センサ(7a)により被検査スルーホールの像
を取り込んだ出力を第１の出力として該メモリ部(8) に
記憶させ， 該被検査スルーホールが該遮光マスク(6) 下に移動した
時，該液晶パネル制御部(3) により液晶パネル(1) のス
イッチ部(1a)を制御して該遮光マスク(6) 下に透光スリ
ット部(1c)を形成しかつ該透光スリット部(1c)の周囲は
遮光状態にし，該漏光受光センサ(7b)により該被検査ス
ルーホールの像を取り込み，その出力を第２の出力と
し，該欠陥判定部(9) により該第１の出力及び該第２の
出力がともに予め定めたレベル以上である時，欠陥有り
と判定することを特徴とするスルーホール検査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17462692A JPH0621607A (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | スルーホール検査装置及びそれを用いるスルーホール検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17462692A JPH0621607A (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | スルーホール検査装置及びそれを用いるスルーホール検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0621607A true JPH0621607A (ja) | 1994-01-28 |
Family
ID=15981886
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17462692A Withdrawn JPH0621607A (ja) | 1992-07-02 | 1992-07-02 | スルーホール検査装置及びそれを用いるスルーホール検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0621607A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0857887A1 (en) | 1994-12-28 | 1998-08-12 | Mitsuboshi Belting Ltd. | A power transmission belt |
| JP2008224331A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Denso Corp | 漏光検査装置 |
| CN111781206A (zh) * | 2020-07-06 | 2020-10-16 | Oppo（重庆）智能科技有限公司 | 电子设备的中框检测方法、装置、测试设备及存储介质 |
-
1992
- 1992-07-02 JP JP17462692A patent/JPH0621607A/ja not_active Withdrawn
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0857887A1 (en) | 1994-12-28 | 1998-08-12 | Mitsuboshi Belting Ltd. | A power transmission belt |
| JP2008224331A (ja) * | 2007-03-09 | 2008-09-25 | Denso Corp | 漏光検査装置 |
| CN111781206A (zh) * | 2020-07-06 | 2020-10-16 | Oppo（重庆）智能科技有限公司 | 电子设备的中框检测方法、装置、测试设备及存储介质 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 19991005 |