JPH06215514A - ヘッド浮上量測定用ディスク - Google Patents
ヘッド浮上量測定用ディスクInfo
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- JPH06215514A JPH06215514A JP774093A JP774093A JPH06215514A JP H06215514 A JPH06215514 A JP H06215514A JP 774093 A JP774093 A JP 774093A JP 774093 A JP774093 A JP 774093A JP H06215514 A JPH06215514 A JP H06215514A
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- head
- disk
- measuring
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 ディスクの突起の検出を行うヘッドの浮上量
を簡単に確認および微調整を行うことができるようにす
る。 【構成】 平坦な浮上量測定用ディスク３の表面３a
に、低浮上保証を実現する上で必要となる基準の高さを
有する、異なる高さの突起４が、複数個、前記浮上量測
定用ディスク３の半径方向に対して、最内周側の突起の
高さが最大で、外周側へと向かうに従って順次突起の高
さが低くなり、最外周部の突起の高さが最も低くなるド
ット状の突起部を構成する。これは、突起４と測定用ヘ
ッドとの接触により測定用ヘッドの浮上量を測定するこ
とから測定用ヘッドの材質に影響を受けることなく正確
な浮上量を簡単に得ることができる。また測定用ディス
ク３担体の周速を調整することにより測定用ディスク３
の低浮上量保証に基準となる浮上量が、それぞれの突起
部において簡単かつ正確に設定することができる。
を簡単に確認および微調整を行うことができるようにす
る。 【構成】 平坦な浮上量測定用ディスク３の表面３a
に、低浮上保証を実現する上で必要となる基準の高さを
有する、異なる高さの突起４が、複数個、前記浮上量測
定用ディスク３の半径方向に対して、最内周側の突起の
高さが最大で、外周側へと向かうに従って順次突起の高
さが低くなり、最外周部の突起の高さが最も低くなるド
ット状の突起部を構成する。これは、突起４と測定用ヘ
ッドとの接触により測定用ヘッドの浮上量を測定するこ
とから測定用ヘッドの材質に影響を受けることなく正確
な浮上量を簡単に得ることができる。また測定用ディス
ク３担体の周速を調整することにより測定用ディスク３
の低浮上量保証に基準となる浮上量が、それぞれの突起
部において簡単かつ正確に設定することができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、磁気ディスクドライブ
装置等の記憶装置のために使用される磁気ディスクの製
造技術に関するもので、特に磁気ヘッドの浮上量を測定
するヘッド浮上量測定用ディスクに関する。
装置等の記憶装置のために使用される磁気ディスクの製
造技術に関するもので、特に磁気ヘッドの浮上量を測定
するヘッド浮上量測定用ディスクに関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気ディスクドライブ装置において、高
速回転する磁気ディスクの表面を磁気ヘッドが浮上して
記録再生を行うが、近年、磁気ディスクドライブ装置の
高容量化，高密度化に伴い、磁気ヘッドの浮上量はより
低浮上化が求められる傾向にある。そのため、回転して
いる磁気ディスクと浮上する磁気ヘッドとの間で、両者
が接触することによるヘッドクラッシュやディスククラ
ッシュを引き起こす危険性が高くなっている。
速回転する磁気ディスクの表面を磁気ヘッドが浮上して
記録再生を行うが、近年、磁気ディスクドライブ装置の
高容量化，高密度化に伴い、磁気ヘッドの浮上量はより
低浮上化が求められる傾向にある。そのため、回転して
いる磁気ディスクと浮上する磁気ヘッドとの間で、両者
が接触することによるヘッドクラッシュやディスククラ
ッシュを引き起こす危険性が高くなっている。
【０００３】このようなクラッシュを起こす原因の１つ
に、磁気ディスク表面に存在する突起により、磁気ディ
スク自身の低浮上保証が実現していないことに起因する
ものがある。従って、このような事故を未然に防止し、
磁気ヘッドの浮上量を安定させるため、より精密な表面
加工が磁気ディスク表面側に対して要求されている。こ
の磁気ディスク表面の突起の検出を行う方法をグライド
チェックといい、このグライドチェックは、圧電素子を
備えた突起検出用ヘッドを磁気ディスク表面に浮上さ
せ、磁気ディスク上をシークすることにより行う。
に、磁気ディスク表面に存在する突起により、磁気ディ
スク自身の低浮上保証が実現していないことに起因する
ものがある。従って、このような事故を未然に防止し、
磁気ヘッドの浮上量を安定させるため、より精密な表面
加工が磁気ディスク表面側に対して要求されている。こ
の磁気ディスク表面の突起の検出を行う方法をグライド
チェックといい、このグライドチェックは、圧電素子を
備えた突起検出用ヘッドを磁気ディスク表面に浮上さ
せ、磁気ディスク上をシークすることにより行う。
【０００４】この磁気ディスク表面の突起を検出するグ
ライドチェック装置および突起検出用ヘッドの構成を図
７に示す。図７(a)は要部側面図、図７(b)はその要部拡
大平面図である。まず、ベース１に固定されたスピンド
ル２に低浮上保証被測定用ディスク(以下、被測定用デ
ィスクという)７を装着する。次にスピンドル２が回転
することにより、被測定用ディスク７が回転し、被測定
用ディスク７の表面の突起９の有無を検出するため、圧
電素子５を備えた突起検出用ヘッド８が、図中矢印Ａで
示すように被測定用ディスク７の表面を半径方向に向け
て、浮上保証領域を浮上保証高さｈ(図略)で浮上しなが
ら１回移動することにより、浮上保証高さｈよりも高い
突起９を検出する。このとき、突起９と突起検出用ヘッ
ド８とが衝突することにより生じる衝撃力を、突起検出
用ヘッド８に備えている圧電素子５により検出し、突起
の存在を判定する。
ライドチェック装置および突起検出用ヘッドの構成を図
７に示す。図７(a)は要部側面図、図７(b)はその要部拡
大平面図である。まず、ベース１に固定されたスピンド
ル２に低浮上保証被測定用ディスク(以下、被測定用デ
ィスクという)７を装着する。次にスピンドル２が回転
することにより、被測定用ディスク７が回転し、被測定
用ディスク７の表面の突起９の有無を検出するため、圧
電素子５を備えた突起検出用ヘッド８が、図中矢印Ａで
示すように被測定用ディスク７の表面を半径方向に向け
て、浮上保証領域を浮上保証高さｈ(図略)で浮上しなが
ら１回移動することにより、浮上保証高さｈよりも高い
突起９を検出する。このとき、突起９と突起検出用ヘッ
ド８とが衝突することにより生じる衝撃力を、突起検出
用ヘッド８に備えている圧電素子５により検出し、突起
の存在を判定する。
【０００５】このグライドチェック工程を行うにあた
り、最も重要となるのが突起９の検出を行う突起検出用
ヘッド８の浮上量である。この突起検出用ヘッド８の浮
上量は、ガラスディスクを用いたレーザー光による光干
渉ヘッド浮上測定装置を用いて、ガラスディスクの周速
を変化させてヘッド浮上量の測定を行うことにより求め
られている。
り、最も重要となるのが突起９の検出を行う突起検出用
ヘッド８の浮上量である。この突起検出用ヘッド８の浮
上量は、ガラスディスクを用いたレーザー光による光干
渉ヘッド浮上測定装置を用いて、ガラスディスクの周速
を変化させてヘッド浮上量の測定を行うことにより求め
られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかし、ガラスディス
クを用いたレーザー光による光干渉ヘッド浮上測定装置
を用いて、突起検出用ヘッド８の浮上量を測定する場
合、以下の問題点が存在する。
クを用いたレーザー光による光干渉ヘッド浮上測定装置
を用いて、突起検出用ヘッド８の浮上量を測定する場
合、以下の問題点が存在する。
【０００７】１. ガラスディスクのディスククラッシュ
が発生する危険性があることから、ある一定値以下での
周速における突起検出用ヘッドの浮上量測定が困難であ
る。そのため、測定可能な突起検出用ヘッドの浮上量に
おいて限界があり、より低浮上時の突起検出用ヘッドの
浮上量は推定に頼られている。
が発生する危険性があることから、ある一定値以下での
周速における突起検出用ヘッドの浮上量測定が困難であ
る。そのため、測定可能な突起検出用ヘッドの浮上量に
おいて限界があり、より低浮上時の突起検出用ヘッドの
浮上量は推定に頼られている。
【０００８】２. 浮上測定を行う突起検出用ヘッドの材
質によりレーザー光の反射率も異なることから位相差の
ズレが生じ、実際の浮上量と測定した浮上量との間に若
干の誤差が生じる。
質によりレーザー光の反射率も異なることから位相差の
ズレが生じ、実際の浮上量と測定した浮上量との間に若
干の誤差が生じる。
【０００９】３. 実際にグライドチェック工程を行うに
あたり、磁気ディスクの表面に存在する突起の検出およ
び切削除去を突起検出用ヘッドを用いて行う装置に、当
該突起検出用ヘッドを取り付ける際に、この突起検出用
ヘッドを治具に装着することから、ヘッド浮上測定装置
による測定した浮上量と、実際の装置における浮上量と
に微妙な誤差が生じる。
あたり、磁気ディスクの表面に存在する突起の検出およ
び切削除去を突起検出用ヘッドを用いて行う装置に、当
該突起検出用ヘッドを取り付ける際に、この突起検出用
ヘッドを治具に装着することから、ヘッド浮上測定装置
による測定した浮上量と、実際の装置における浮上量と
に微妙な誤差が生じる。
【００１０】より低浮上保証を実現するにあたり、上記
１，２，３により生じる可能性のある誤差は、いよいよ
無視できないレベルとなることから、より正確な浮上量
の測定による誤差の低減を図る必要性があった。
１，２，３により生じる可能性のある誤差は、いよいよ
無視できないレベルとなることから、より正確な浮上量
の測定による誤差の低減を図る必要性があった。
【００１１】本発明は上記課題を解決するもので、より
正確なヘッド浮上量測定およびグライドチェック工程を
行うにあたり、必要な基準となる浮上量の設定が簡単に
図れるヘッド浮上量測定用ディスクを提供することを目
的とする。
正確なヘッド浮上量測定およびグライドチェック工程を
行うにあたり、必要な基準となる浮上量の設定が簡単に
図れるヘッド浮上量測定用ディスクを提供することを目
的とする。
【００１２】
【課題を解決するための手段】本発明は上記目的を達成
するために、低浮上化が保証されている平坦なディスク
の表面に、低浮上保証を実現する上で必要となる高さを
有する、異なる高さの突起を数個、前記ディスクの半径
方向に対して、最内周側の突起の高さが最大で、外周側
へと向かうに従い順次突起の高さが低くなっていくドッ
ト状の突起を有することを特徴とする。このドット状突
起のなかでも、最適な高さを有する突起と浮上式の浮上
量測定用ヘッドとを接触させることにより、前記浮上量
測定用ヘッドの浮上量の測定を行うことができるヘッド
浮上量測定用ディスクを構成するものである。
するために、低浮上化が保証されている平坦なディスク
の表面に、低浮上保証を実現する上で必要となる高さを
有する、異なる高さの突起を数個、前記ディスクの半径
方向に対して、最内周側の突起の高さが最大で、外周側
へと向かうに従い順次突起の高さが低くなっていくドッ
ト状の突起を有することを特徴とする。このドット状突
起のなかでも、最適な高さを有する突起と浮上式の浮上
量測定用ヘッドとを接触させることにより、前記浮上量
測定用ヘッドの浮上量の測定を行うことができるヘッド
浮上量測定用ディスクを構成するものである。
【００１３】
【作用】本発明によれば、磁気ヘッドを構成する材質お
よび低浮上量に関係なく、ほぼ正確な磁気ヘッドの浮上
量が確認できる。また磁気ディスクの表面に存在する突
起の検出および切削除去を行う装置をそのまま用いるこ
とにより、治具等の影響による誤差が発生することもな
く、簡単に磁気ヘッドの浮上量の測定および基準浮上量
の設定を行うことが可能となる。
よび低浮上量に関係なく、ほぼ正確な磁気ヘッドの浮上
量が確認できる。また磁気ディスクの表面に存在する突
起の検出および切削除去を行う装置をそのまま用いるこ
とにより、治具等の影響による誤差が発生することもな
く、簡単に磁気ヘッドの浮上量の測定および基準浮上量
の設定を行うことが可能となる。
【００１４】
【実施例】以下、本発明の一実施例について図１ないし
図６を参照しながら説明する。
図６を参照しながら説明する。
【００１５】図１は本発明の一実施例に係るヘッド浮上
量測定用ディスクの構成を示す平面図(a)と、その側面
図(b)である。このヘッド浮上量測定用ディスクは、磁
気ヘッドの低浮上状態における正確な磁気ヘッドの浮上
量測定が可能となるように、低浮上量保証が実現されて
いる２つの平坦な表面を有するヘッド浮上量測定用ディ
スク(以下、測定用ディスクという)３の片側の表面３a
に、数個のドット状突起４を構成する。この数個のドッ
ト状突起は低浮上保証を実現する上で必要となる最適な
高さｈを有し、かつ、それぞれの突起が異なる高さｈ1
＜ｈ2＜ｈ3＜ｈ4で構成されている。また前記ドット状
突起は、測定用ディスク３の半径方向に対して最内周側
に存在する突起の高さが最大で、外周側へと向かうに従
って順次突起の高さが低くなるように構成されている。
量測定用ディスクの構成を示す平面図(a)と、その側面
図(b)である。このヘッド浮上量測定用ディスクは、磁
気ヘッドの低浮上状態における正確な磁気ヘッドの浮上
量測定が可能となるように、低浮上量保証が実現されて
いる２つの平坦な表面を有するヘッド浮上量測定用ディ
スク(以下、測定用ディスクという)３の片側の表面３a
に、数個のドット状突起４を構成する。この数個のドッ
ト状突起は低浮上保証を実現する上で必要となる最適な
高さｈを有し、かつ、それぞれの突起が異なる高さｈ1
＜ｈ2＜ｈ3＜ｈ4で構成されている。また前記ドット状
突起は、測定用ディスク３の半径方向に対して最内周側
に存在する突起の高さが最大で、外周側へと向かうに従
って順次突起の高さが低くなるように構成されている。
【００１６】測定用ディスク３は一例として、本体の直
径(Ｄ3)＝95±0.5mm，中央開口部の直径(ｄ3)＝25＋0.0
5mm／−0.0mm，測定用ディスク３の厚さｔ＝1.27±0.10
mmで構成されており、その表面はドット状突起部以外の
部分では１μ″以下(0.025μm以下)の完全低浮上保証が
実現されている。
径(Ｄ3)＝95±0.5mm，中央開口部の直径(ｄ3)＝25＋0.0
5mm／−0.0mm，測定用ディスク３の厚さｔ＝1.27±0.10
mmで構成されており、その表面はドット状突起部以外の
部分では１μ″以下(0.025μm以下)の完全低浮上保証が
実現されている。
【００１７】測定用ディスク３上に構成されるドット状
突起は、ヘッドの浮上量ｈが２μ″≦ｈ≦５μ″(0.127
μm)において測定可能となるように、図２に例示するよ
うに測定用ディスク３の表面３aに対して高さの異なる
ｈ1，ｈ2，ｈ3，ｈ4の数個のドット状突起４を構成す
る。このドット状突起４は、ヘッド浮上量測定時におけ
る浮上量測定用ヘッドとの衝突によるディスククラッシ
ュの危険性を防止するため、硬度の向上および耐久性の
向上が必要とされることから、Ｃr，Ｔi，Ｃu，Ｍn，Ｔ
aおよびこれらの金属の窒化物，酸化物で構成し、また
測定用ディスク３の円周方向に対する突起幅Ｗ4が、1.5
mm≦ｓ≦５mmで全てのドット状突起の突起幅が一定とな
るように構成している。
突起は、ヘッドの浮上量ｈが２μ″≦ｈ≦５μ″(0.127
μm)において測定可能となるように、図２に例示するよ
うに測定用ディスク３の表面３aに対して高さの異なる
ｈ1，ｈ2，ｈ3，ｈ4の数個のドット状突起４を構成す
る。このドット状突起４は、ヘッド浮上量測定時におけ
る浮上量測定用ヘッドとの衝突によるディスククラッシ
ュの危険性を防止するため、硬度の向上および耐久性の
向上が必要とされることから、Ｃr，Ｔi，Ｃu，Ｍn，Ｔ
aおよびこれらの金属の窒化物，酸化物で構成し、また
測定用ディスク３の円周方向に対する突起幅Ｗ4が、1.5
mm≦ｓ≦５mmで全てのドット状突起の突起幅が一定とな
るように構成している。
【００１８】以下に、本発明の測定用ディスクを用いた
ヘッド浮上量の測定の実施例について説明する。
ヘッド浮上量の測定の実施例について説明する。
【００１９】図３(a)の要部平面図に示すように、２つ
の平坦な表面を有する磁気ディスクの表面に存在する突
起の検出および切削除去をヘッドを用いて行う装置にお
いて、本発明の測定用ディスク３を前記装置のベース１
に固定されたスピンドル２に装着する。このとき、測定
用ディスク３に構成されているドット状突起４を上部に
向けて装着する。次にスピンドル２を回転させ、圧電素
子５を装着した浮上量測定用ヘッド(以下、測定用ヘッ
ドという)６が測定用ディスク３の表面を半径方向に対
し、ヘッドシークを行う。測定用ディスク３の表面のド
ット状突起４は、図２に示したように最外周部のドット
状突起４の高さｈ1が最も低く、内周側のドット状突起
４へ向かうにつれて高さｈ2＜ｈ3＜ｈ4と順次高くなる
ように構成されていることから、測定用ヘッド６とドッ
ト状突起４との衝突により生じる可能性のあるヘッドお
よびディスクのクラッシュを防止するため、ドット状突
起４が存在する領域に向けて、測定用ディスク３の最外
周部から内周部へ、ある一定の周速ｖで測定用ヘッド６
を浮上させたまま、ヘッドシークを行う。
の平坦な表面を有する磁気ディスクの表面に存在する突
起の検出および切削除去をヘッドを用いて行う装置にお
いて、本発明の測定用ディスク３を前記装置のベース１
に固定されたスピンドル２に装着する。このとき、測定
用ディスク３に構成されているドット状突起４を上部に
向けて装着する。次にスピンドル２を回転させ、圧電素
子５を装着した浮上量測定用ヘッド(以下、測定用ヘッ
ドという)６が測定用ディスク３の表面を半径方向に対
し、ヘッドシークを行う。測定用ディスク３の表面のド
ット状突起４は、図２に示したように最外周部のドット
状突起４の高さｈ1が最も低く、内周側のドット状突起
４へ向かうにつれて高さｈ2＜ｈ3＜ｈ4と順次高くなる
ように構成されていることから、測定用ヘッド６とドッ
ト状突起４との衝突により生じる可能性のあるヘッドお
よびディスクのクラッシュを防止するため、ドット状突
起４が存在する領域に向けて、測定用ディスク３の最外
周部から内周部へ、ある一定の周速ｖで測定用ヘッド６
を浮上させたまま、ヘッドシークを行う。
【００２０】測定用ヘッド６の浮上量は、周速ｖを変更
することにより変化することから、周速の設定を変更す
ることにより浮上量の変更が可能である。また、それぞ
れの周速に対する浮上量は、測定用ヘッド６の加重およ
びスライダーのスキー部のＡＢＳ幅により、ある程度予
測可能であることから、測定用ヘッド６の浮上量を測定
するに当り、必要な浮上量を得ることが可能であると予
想される周速に調整する。
することにより変化することから、周速の設定を変更す
ることにより浮上量の変更が可能である。また、それぞ
れの周速に対する浮上量は、測定用ヘッド６の加重およ
びスライダーのスキー部のＡＢＳ幅により、ある程度予
測可能であることから、測定用ヘッド６の浮上量を測定
するに当り、必要な浮上量を得ることが可能であると予
想される周速に調整する。
【００２１】測定用ディスク３の表面３aに存在するド
ット状突起４は、外周部から内周部にかけて突起の高さ
が順次高くなっていくことから、必要とする測定用ヘッ
ド６の浮上量ｈ1が、周速ｖにおいてｈ1≦5.0μ″(ｈ1
≦0.127μm)の低浮上であれば、いずれかのドット状突
起４と接触する。このドット状突起４と測定用ヘッド６
とが接触したときに生じる衝撃波としての信号を、測定
用ヘッド６に装着した電圧素子５により検出する。この
衝撃波は、図４に示すように周波数200〜500kHzにおい
てピークとなる信号を生じる。
ット状突起４は、外周部から内周部にかけて突起の高さ
が順次高くなっていくことから、必要とする測定用ヘッ
ド６の浮上量ｈ1が、周速ｖにおいてｈ1≦5.0μ″(ｈ1
≦0.127μm)の低浮上であれば、いずれかのドット状突
起４と接触する。このドット状突起４と測定用ヘッド６
とが接触したときに生じる衝撃波としての信号を、測定
用ヘッド６に装着した電圧素子５により検出する。この
衝撃波は、図４に示すように周波数200〜500kHzにおい
てピークとなる信号を生じる。
【００２２】また、この衝撃波によって得られる信号
は、図５に示すような出力波形としてオシロスコープに
より測定される。
は、図５に示すような出力波形としてオシロスコープに
より測定される。
【００２３】この出力は、図６の衝撃波出力(縦軸)と周
速(横軸)の相関グラフに示すように、測定用ヘッド６の
周速を下げることによって浮上量を徐々に下げていくと
共に、圧電素子５により検出される衝撃波の出力も測定
用ヘッド６の浮上量とドット状突起の突起高とが一致す
るポイントを臨界点として、測定用ヘッド６の浮上量が
低下するのに比例して増加することから、測定用ディス
ク３に構成されているドット状突起４と測定用ヘッド６
との接触により生じる出力の測定値によって測定時の周
速における測定用ヘッド６の浮上量を確認することがで
きる。
速(横軸)の相関グラフに示すように、測定用ヘッド６の
周速を下げることによって浮上量を徐々に下げていくと
共に、圧電素子５により検出される衝撃波の出力も測定
用ヘッド６の浮上量とドット状突起の突起高とが一致す
るポイントを臨界点として、測定用ヘッド６の浮上量が
低下するのに比例して増加することから、測定用ディス
ク３に構成されているドット状突起４と測定用ヘッド６
との接触により生じる出力の測定値によって測定時の周
速における測定用ヘッド６の浮上量を確認することがで
きる。
【００２４】また、周速を調整することにより、測定用
ヘッド６に装着された圧電素子５により検出される出力
信号を測定，調整することによって、測定用ヘッド６に
おける正確な浮上量が簡易的に測定することが可能とな
る。
ヘッド６に装着された圧電素子５により検出される出力
信号を測定，調整することによって、測定用ヘッド６に
おける正確な浮上量が簡易的に測定することが可能とな
る。
【００２５】上記のようにして測定された出力値を測定
し、ドット状突起の検出動作を中断する。前記動作を３
回実行し、測定用ディスク３に構成されるドット状突起
４と測定用ヘッド６とが接触したときの出力値をそれぞ
れ測定して平均出力値を求め、測定用ヘッド６の浮上量
を求める。また、同様の方法によって、それぞれの異な
る高さのドット状突起において測定することができる。
し、ドット状突起の検出動作を中断する。前記動作を３
回実行し、測定用ディスク３に構成されるドット状突起
４と測定用ヘッド６とが接触したときの出力値をそれぞ
れ測定して平均出力値を求め、測定用ヘッド６の浮上量
を求める。また、同様の方法によって、それぞれの異な
る高さのドット状突起において測定することができる。
【００２６】上記構成を有する測定用ディスク３を用い
てヘッド浮上量を測定することにより、装置間の誤差お
よびヘッドの材質に影響されない浮上量を簡単に測定す
ることが実現できる。
てヘッド浮上量を測定することにより、装置間の誤差お
よびヘッドの材質に影響されない浮上量を簡単に測定す
ることが実現できる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように本発明のヘッド浮上
量測定用ディスクは、低浮上化が保証されている上記測
定用ディスクの表面に、半径方向における内周部で突起
の高さが最大となり、外周部へと向かうに従い順次突起
の高さが低くなるように、ドット状突起を構成し、それ
ぞれのドット突起と浮上式の測定用ヘッドとを接触さ
せ、接触により生じる出力値を測定することによって、
測定用ヘッドを構成する材質に関係なくほぼ正確なヘッ
ド本来の浮上量を簡易的に得ることが可能となる。
量測定用ディスクは、低浮上化が保証されている上記測
定用ディスクの表面に、半径方向における内周部で突起
の高さが最大となり、外周部へと向かうに従い順次突起
の高さが低くなるように、ドット状突起を構成し、それ
ぞれのドット突起と浮上式の測定用ヘッドとを接触さ
せ、接触により生じる出力値を測定することによって、
測定用ヘッドを構成する材質に関係なくほぼ正確なヘッ
ド本来の浮上量を簡易的に得ることが可能となる。
【００２８】上記の測定した測定用ヘッドは、そのまま
磁気ディスクの表面に存在する突起の検出および切削除
去を行う装置に用いることにより、正確な浮上量が得ら
れた状態で測定用ヘッドを使用することができる。それ
と同じに、別工程でのヘッド浮上量測定の必要性がなく
なり、工数の削減が図れる。
磁気ディスクの表面に存在する突起の検出および切削除
去を行う装置に用いることにより、正確な浮上量が得ら
れた状態で測定用ヘッドを使用することができる。それ
と同じに、別工程でのヘッド浮上量測定の必要性がなく
なり、工数の削減が図れる。
【図１】本発明の一実施例に係るヘッド浮上量測定用デ
ィスクの構成を示す平面図(a)とその側面図(b)である。
ィスクの構成を示す平面図(a)とその側面図(b)である。
【図２】ヘッド浮上量測定用ディスクの表面に構成する
異なる高さのドット状突起の配列および突起高さを示す
図である。
異なる高さのドット状突起の配列および突起高さを示す
図である。
【図３】本発明の測定用ディスクを備えたヘッド浮上量
測定用装置および測定用ヘッドの構成を示す要部平面図
(a)とその側面図(b)である。
測定用装置および測定用ヘッドの構成を示す要部平面図
(a)とその側面図(b)である。
【図４】測定用ヘッドと測定用ディスク上の突起部との
接触により検出される衝撃波出力の周波数特性である。
接触により検出される衝撃波出力の周波数特性である。
【図５】測定用ヘッドと測定用ディスク上の突起部との
接触により検出される衝撃波出力波形である。
接触により検出される衝撃波出力波形である。
【図６】測定用ヘッドと測定用ディスク上の突起部との
接触により検出される衝撃波出力と周速の相関グラフで
ある。
接触により検出される衝撃波出力と周速の相関グラフで
ある。
【図７】従来例のディスク表面の突起を検出するグライ
ドチェック装置および突起検出用ヘッドの構成を示す要
部側面図(a)およびその要部拡大平面図(b)である。
ドチェック装置および突起検出用ヘッドの構成を示す要
部側面図(a)およびその要部拡大平面図(b)である。
１…ベース、 ２…スピンドル、 ３…浮上量測定用デ
ィスク、 ４…ドット状突起、 ５…圧電素子、 ６…
浮上量測定用ヘッド、 ７…低浮上保証被測定用ディス
ク、 ８…突起検出用ヘッド、 ９…突起。
ィスク、 ４…ドット状突起、 ５…圧電素子、 ６…
浮上量測定用ヘッド、 ７…低浮上保証被測定用ディス
ク、 ８…突起検出用ヘッド、 ９…突起。
Claims (1)
- 【請求項１】 中央に開口部を有するディスクに存在す
る突起の検出および切削除去をヘッドを用いて行う装置
において、低浮上化が保証されている平坦なディスクの
表面に、低浮上保証を実現する上で必要となる高さを有
する、異なる高さの突起を数個、前記ディスクの半径方
向に対して、最内周側の突起の高さが最大で、外周側へ
と向かうに従い順次突起の高さが低くなっていくドット
状の突起を有することを特徴とするヘッド浮上量測定用
ディスク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP774093A JPH06215514A (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | ヘッド浮上量測定用ディスク |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP774093A JPH06215514A (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | ヘッド浮上量測定用ディスク |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06215514A true JPH06215514A (ja) | 1994-08-05 |
Family
ID=11674104
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP774093A Pending JPH06215514A (ja) | 1993-01-20 | 1993-01-20 | ヘッド浮上量測定用ディスク |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06215514A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100556722B1 (ko) * | 1998-07-04 | 2006-05-16 | 엘지전자 주식회사 | 헤드위치 제어장치 |
| KR100856127B1 (ko) * | 2007-02-12 | 2008-09-03 | 삼성전자주식회사 | 하드디스크 드라이브, ｔａ 시그널을 이용한 하드디스크드라이브의 ｆｏｄ 제어방법 및 그 방법을 수행하는 컴퓨터프로그램을 기록한 기록매체 |
-
1993
- 1993-01-20 JP JP774093A patent/JPH06215514A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100556722B1 (ko) * | 1998-07-04 | 2006-05-16 | 엘지전자 주식회사 | 헤드위치 제어장치 |
| KR100856127B1 (ko) * | 2007-02-12 | 2008-09-03 | 삼성전자주식회사 | 하드디스크 드라이브, ｔａ 시그널을 이용한 하드디스크드라이브의 ｆｏｄ 제어방법 및 그 방법을 수행하는 컴퓨터프로그램을 기록한 기록매체 |
| US7583467B2 (en) | 2007-02-12 | 2009-09-01 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Hard disk drive apparatus, method to control flying on demand of hard disk drive apparatus using thermal asperity signal, and recording media for computer program thereof |
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