JPH06213847A - タンク内導電度センサ - Google Patents
タンク内導電度センサInfo
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- JPH06213847A JPH06213847A JP5288516A JP28851693A JPH06213847A JP H06213847 A JPH06213847 A JP H06213847A JP 5288516 A JP5288516 A JP 5288516A JP 28851693 A JP28851693 A JP 28851693A JP H06213847 A JPH06213847 A JP H06213847A
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- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N27/00—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
- G01N27/02—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance
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- G01N27/06—Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating impedance by investigating resistance of a liquid
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R27/00—Arrangements for measuring resistance, reactance, impedance, or electric characteristics derived therefrom
- G01R27/02—Measuring real or complex resistance, reactance, impedance, or other two-pole characteristics derived therefrom, e.g. time constant
- G01R27/22—Measuring resistance of fluids
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明は、堅牢で、種々の液体の正確な分析
が可能で、流れに動揺ない液体の導電度測定分析用導電
度センサ装置を提供することを目的とする。 【構成】 液体流動制御チャンバ16と、感知チャンバ18
と、液体出口チャンバ20と、液体流動制御チャンバ16の
出口を感知チャンバ18の入口に接続するた第１の接続手
段と、感知チャンバ18の出口と液体出口チャンバ20の入
口を接続する第２の接続手段と、感知チャンバ18内に位
置する１対の導電電極44, 46と、液体を液体流動制御チ
ャンバ16の入口22, 24から液体出口チャンバ20の出口54
まで伝送するポンプと、感知チャンバ18に入る液体が実
質上流れの動揺のないように液体流動制御チャンバを通
過する液体の流動を制御するメッシュ等の流動制動手段
74とを具備することを特徴とする。
が可能で、流れに動揺ない液体の導電度測定分析用導電
度センサ装置を提供することを目的とする。 【構成】 液体流動制御チャンバ16と、感知チャンバ18
と、液体出口チャンバ20と、液体流動制御チャンバ16の
出口を感知チャンバ18の入口に接続するた第１の接続手
段と、感知チャンバ18の出口と液体出口チャンバ20の入
口を接続する第２の接続手段と、感知チャンバ18内に位
置する１対の導電電極44, 46と、液体を液体流動制御チ
ャンバ16の入口22, 24から液体出口チャンバ20の出口54
まで伝送するポンプと、感知チャンバ18に入る液体が実
質上流れの動揺のないように液体流動制御チャンバを通
過する液体の流動を制御するメッシュ等の流動制動手段
74とを具備することを特徴とする。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液体の導電度の測定と
監視用に使用されるように設計される電気化学導電度セ
ンサに関する。特に本発明は導電度測定技術を使用する
監視に適した電気化学センサに関する。
監視用に使用されるように設計される電気化学導電度セ
ンサに関する。特に本発明は導電度測定技術を使用する
監視に適した電気化学センサに関する。
【０００２】
【従来の技術】米国特許第4,631,116 号明細書はメッキ
付着特性に影響するメッキバス溶液に存在しているマイ
ナ−な成分を監視する方法を開示している。この方法は
メッキバス溶液内に位置する動作電極に予め定められた
直流電位を供給することを含む。直流電位は基準電極に
関して決定される。一定の交流信号は直流電位に重畳さ
れる。直流電位はメッキし、付着されたメッキを剥離す
る電位を含んだ予め定められた範囲にわたって予め定め
られた速度で変化される。
付着特性に影響するメッキバス溶液に存在しているマイ
ナ−な成分を監視する方法を開示している。この方法は
メッキバス溶液内に位置する動作電極に予め定められた
直流電位を供給することを含む。直流電位は基準電極に
関して決定される。一定の交流信号は直流電位に重畳さ
れる。直流電位はメッキし、付着されたメッキを剥離す
る電位を含んだ予め定められた範囲にわたって予め定め
られた速度で変化される。
【０００３】直流電位が予め定められた範囲にわたって
変化されるとき供給された交流信号の交流電流はメッキ
バス溶液内に位置する動作電極と対向電極との間で測定
される。直流電位の変化に関連して交流電流の測定は交
流電流スペクトルまたはフィンガ−プリントとして表さ
れる。全ての交流と直流測定変数を最適にすることによ
り、微細構造を含みメッキ付着特性に影響するマイナ−
なメッキバス成分の監視を可能にするスペクトルが得ら
れる。
変化されるとき供給された交流信号の交流電流はメッキ
バス溶液内に位置する動作電極と対向電極との間で測定
される。直流電位の変化に関連して交流電流の測定は交
流電流スペクトルまたはフィンガ−プリントとして表さ
れる。全ての交流と直流測定変数を最適にすることによ
り、微細構造を含みメッキ付着特性に影響するマイナ−
なメッキバス成分の監視を可能にするスペクトルが得ら
れる。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】メッキバス溶液の主要
成分を監視するために、米国特許第4,631,116 号明細書
に説明されているボルタンメトリ−技術以外の技術が必
要である。市場で入手可能な導電度測定装置は種々の研
究所と産業上の処理測定に使用されており、通常メッキ
バス溶液のタンク内の監視に対して完全に満足すべきも
のではない。電気化学メッキバスの環境で行われる測定
では、ある所望の特性を有する装置を提供することが必
要である。
成分を監視するために、米国特許第4,631,116 号明細書
に説明されているボルタンメトリ−技術以外の技術が必
要である。市場で入手可能な導電度測定装置は種々の研
究所と産業上の処理測定に使用されており、通常メッキ
バス溶液のタンク内の監視に対して完全に満足すべきも
のではない。電気化学メッキバスの環境で行われる測定
では、ある所望の特性を有する装置を提供することが必
要である。
【０００５】例えば、メッキバス溶液の導電度を監視す
るのに必要な測定を行うために、導電度測定装置の電極
がハイドロダイナミックとメッキバスからの電気干渉か
ら遮蔽されることが重要である。さらに連続的で均一な
メッキバス溶液の通路が電極と接触することを可能にす
る方法で装置内に位置されることが重要である。この必
要性は電極が正確に露出されるメッキバス溶液がメッキ
バス内での総合的な状態の反映を確実にすることを必要
とされる。さらに構造の柔軟な材料による設計と通常腐
食性のメッキバス環境に対する不活性が基本である。
るのに必要な測定を行うために、導電度測定装置の電極
がハイドロダイナミックとメッキバスからの電気干渉か
ら遮蔽されることが重要である。さらに連続的で均一な
メッキバス溶液の通路が電極と接触することを可能にす
る方法で装置内に位置されることが重要である。この必
要性は電極が正確に露出されるメッキバス溶液がメッキ
バス内での総合的な状態の反映を確実にすることを必要
とされる。さらに構造の柔軟な材料による設計と通常腐
食性のメッキバス環境に対する不活性が基本である。
【０００６】多数の大規模な製造用設備では、非常に正
確な測定を提供しながら連続的なラフな処理に耐えるこ
とができる堅牢なセンサを有することが望まれる。また
洗浄と検査を可能にするためにセンサは容易に組立てら
れ、解体されることができなければならない。さらにセ
ンサは異なった電極が多数の異なったタイプの液体の導
電度の測定を可能にするためセンサに設けられるように
構成される。さらに幅広く変化する濃度の溶液の導電度
を測定するためにセンサを使用できることが望ましい。
確な測定を提供しながら連続的なラフな処理に耐えるこ
とができる堅牢なセンサを有することが望まれる。また
洗浄と検査を可能にするためにセンサは容易に組立てら
れ、解体されることができなければならない。さらにセ
ンサは異なった電極が多数の異なったタイプの液体の導
電度の測定を可能にするためセンサに設けられるように
構成される。さらに幅広く変化する濃度の溶液の導電度
を測定するためにセンサを使用できることが望ましい。
【０００７】前述のことから明白なように、現在市場ま
たは産業上の規模の動作に耐えるだけの堅牢で同時に種
々の液体の正確な分析を行うために液体の連続的な動揺
のない流動がセンサ電極と接触するために行われるセン
サ装置の必要性が存在する。
たは産業上の規模の動作に耐えるだけの堅牢で同時に種
々の液体の正確な分析を行うために液体の連続的な動揺
のない流動がセンサ電極と接触するために行われるセン
サ装置の必要性が存在する。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明によると、汎用的
な導電度センサなどの広範囲の液体の濃度のタンク内監
視で使用するのに特に適した電気化学導電度センサが提
供される。そのセンサは液体流動制御チャンバ、感知チ
ャンバ、液体出口チャンバから形成されている導電度セ
ル構造に組み込まれる１対の導電電極を含む。３つの全
てのチャンバは入口と出口とを含む。液体流動制御チャ
ンバ出口は液体流動チャンバから感知チャンバへの測定
される液体を流すために感知チャンバ入口に接続され
る。感知チャンバは感知チャンバから液体出口チャンバ
への液体を流すために液体出口チャンバに接続されてい
る。本発明によると導電電極は感知チャンバ内に位置さ
れる。
な導電度センサなどの広範囲の液体の濃度のタンク内監
視で使用するのに特に適した電気化学導電度センサが提
供される。そのセンサは液体流動制御チャンバ、感知チ
ャンバ、液体出口チャンバから形成されている導電度セ
ル構造に組み込まれる１対の導電電極を含む。３つの全
てのチャンバは入口と出口とを含む。液体流動制御チャ
ンバ出口は液体流動チャンバから感知チャンバへの測定
される液体を流すために感知チャンバ入口に接続され
る。感知チャンバは感知チャンバから液体出口チャンバ
への液体を流すために液体出口チャンバに接続されてい
る。本発明によると導電電極は感知チャンバ内に位置さ
れる。
【０００９】液体はポンプにより３つの全てのチャンバ
を通過して移動される。ポンプは液体を装置と液体出口
チャンバの出口を通って液体流動制御チャンバ入口から
移動させる。本発明のさらに別の特徴として液体流動制
御チャンバと関連する流動制動は感知チャンバを通る制
御された水力学的流動を確実にするために設けられる。
を通過して移動される。ポンプは液体を装置と液体出口
チャンバの出口を通って液体流動制御チャンバ入口から
移動させる。本発明のさらに別の特徴として液体流動制
御チャンバと関連する流動制動は感知チャンバを通る制
御された水力学的流動を確実にするために設けられる。
【００１０】本発明による電気化学導電度センサは広範
囲の液体の導電度測定の使用に適している比較的簡単で
効率的な装置である。この装置は非常に正確な測定が必
要とされる状態で特に好適である。さらにセンサはメッ
キバス溶液のような環境上の使用にも特に適しており溶
液は典型的に動揺し腐食性である。本発明の導電度セン
サは電極の検査、洗浄、取換えのために簡単に解体され
る。結果としてセンサ構造は装置を解体し電極を変える
ことにより異なった電気化学測定に迅速に便利に適合さ
れている。
囲の液体の導電度測定の使用に適している比較的簡単で
効率的な装置である。この装置は非常に正確な測定が必
要とされる状態で特に好適である。さらにセンサはメッ
キバス溶液のような環境上の使用にも特に適しており溶
液は典型的に動揺し腐食性である。本発明の導電度セン
サは電極の検査、洗浄、取換えのために簡単に解体され
る。結果としてセンサ構造は装置を解体し電極を変える
ことにより異なった電気化学測定に迅速に便利に適合さ
れている。
【００１１】本発明のさらに別の特徴として、センサの
チャンバは通常形態が円筒形であり、非導電性材料から
作られる。非導電性材料は外部電気妨害から電極の遮蔽
を助長する。円筒形の形態は構成を容易にし、センサの
流線形と耐久性を増加し、工業的の環境で典型的に受け
る通常の乱用期間中電極を保護するため強力な構造を提
供する。
チャンバは通常形態が円筒形であり、非導電性材料から
作られる。非導電性材料は外部電気妨害から電極の遮蔽
を助長する。円筒形の形態は構成を容易にし、センサの
流線形と耐久性を増加し、工業的の環境で典型的に受け
る通常の乱用期間中電極を保護するため強力な構造を提
供する。
【００１２】本発明の付加的な特徴と決定された利点は
種々の範囲内の溶液の導電度の測定を可能にするために
導電度センサのセル定数を調節する手段が設けられてい
る。従来使用されていた導電度セルは電極の形態とそれ
らの間の空間が電極をガラスに取り付けるなどして固定
されるので固定した幾何学的形状であり、したがって変
化不可能なセル定数を有する。
種々の範囲内の溶液の導電度の測定を可能にするために
導電度センサのセル定数を調節する手段が設けられてい
る。従来使用されていた導電度セルは電極の形態とそれ
らの間の空間が電極をガラスに取り付けるなどして固定
されるので固定した幾何学的形状であり、したがって変
化不可能なセル定数を有する。
【００１３】本発明の前述および他の多くの特徴と利点
は添付図面を伴って好ましい実施例の後述の詳細な説明
を参照してよりよく理解されるであろう。
は添付図面を伴って好ましい実施例の後述の詳細な説明
を参照してよりよく理解されるであろう。
【００１４】
【実施例】本発明による好ましい電気化学導電度センサ
の１実施例が図１で全体を10で示されている。センサ10
はメッキバスタンク14内に含まれているメッキバス溶液
12中に浸漬されている。センサ10はメッキバスの分析と
監視における使用によく適しているが、センサ10は広範
囲の液体の導電度を測定することに使用されることが当
業者に理解されるであろう。
の１実施例が図１で全体を10で示されている。センサ10
はメッキバスタンク14内に含まれているメッキバス溶液
12中に浸漬されている。センサ10はメッキバスの分析と
監視における使用によく適しているが、センサ10は広範
囲の液体の導電度を測定することに使用されることが当
業者に理解されるであろう。
【００１５】センサ10は液体流動制御チャンバ16、感知
チャンバ18、液体出口チャンバ20から構成されているセ
ル構造を含む。図３で最も良く示されているように液体
流動制御チャンバ16は液体がセンサに入る入口22,24 を
含む。液体流動制御チャンバ16はまた液体が液体流動制
御チャンバ16から感知チャンバ18に流れる出口26も有す
る。感知チャンバ18は液体が感知チャンバ18に入る入口
部分28と、液体が感知チャンバ18を出る出口部分34を含
む。図２、６で最も良く示されているように液体流動制
御チャンバ16は31,33 でそれぞれ示されている感知チャ
ンバに螺合されるボルト30,32 手段により感知チャンバ
18に接続されている。
チャンバ18、液体出口チャンバ20から構成されているセ
ル構造を含む。図３で最も良く示されているように液体
流動制御チャンバ16は液体がセンサに入る入口22,24 を
含む。液体流動制御チャンバ16はまた液体が液体流動制
御チャンバ16から感知チャンバ18に流れる出口26も有す
る。感知チャンバ18は液体が感知チャンバ18に入る入口
部分28と、液体が感知チャンバ18を出る出口部分34を含
む。図２、６で最も良く示されているように液体流動制
御チャンバ16は31,33 でそれぞれ示されている感知チャ
ンバに螺合されるボルト30,32 手段により感知チャンバ
18に接続されている。
【００１６】液体出口チャンバ20は入口部分36と液体が
センサ10を出る出口部分38を含む。感知チャンバ出口部
分34は螺合挿入部40により液体出口チャンバ入口部分36
に接続されている。螺合挿入部40は感知チャンバ34の出
口部分に螺合され、高さの変化を調節でき感知チャンバ
34の位置を固定する。
センサ10を出る出口部分38を含む。感知チャンバ出口部
分34は螺合挿入部40により液体出口チャンバ入口部分36
に接続されている。螺合挿入部40は感知チャンバ34の出
口部分に螺合され、高さの変化を調節でき感知チャンバ
34の位置を固定する。
【００１７】セルセパレ−タ42は感知チャンバ18内で相
互に関して円筒形導電電極44,46 を位置するために設け
られる。
互に関して円筒形導電電極44,46 を位置するために設け
られる。
【００１８】セルセパレ−タ42の高さを変化することに
より電極間を分離し、セル定数（電極間の間隔と電極面
積との比として限定される）が変化される。この特徴は
同一の設計が広範囲にわたる液体の導電度の正確な測定
に使用されることを可能にし、センサの使用をより一般
的にする。一般的な導電度プロ−ブは従って本発明によ
り（１）電極の変更に便利な手段を提供し、（２）電極
間の分離距離を変化するため１つのセルセパレ−タから
別のセルセパレ−タへ交換する便利な方法を提供するこ
とにより与えられる。
より電極間を分離し、セル定数（電極間の間隔と電極面
積との比として限定される）が変化される。この特徴は
同一の設計が広範囲にわたる液体の導電度の正確な測定
に使用されることを可能にし、センサの使用をより一般
的にする。一般的な導電度プロ−ブは従って本発明によ
り（１）電極の変更に便利な手段を提供し、（２）電極
間の分離距離を変化するため１つのセルセパレ−タから
別のセルセパレ−タへ交換する便利な方法を提供するこ
とにより与えられる。
【００１９】螺合挿入部40は感知チャンバ18（図３参
照）内で挿入部40を上昇または下降させることに使用で
きる工具に適合するためにスロット43,45 を含む。
照）内で挿入部40を上昇または下降させることに使用で
きる工具に適合するためにスロット43,45 を含む。
【００２０】図１で示されているように管48,50 はそれ
ぞれ入口22,24 に接続される。これらの管は泡が液体流
動制御チャンバ16に入らないように入口22,24 から上方
向に延在する。さらに、管48,50 は入口22,24 に入る前
に液体の流れの動揺を減少する傾向がある。管48,50 の
長さはメッキバス溶液12中に存在する動揺の度合いに依
存する。比較的動揺のないバスでは管48,50 は所望であ
るならば除去される。
ぞれ入口22,24 に接続される。これらの管は泡が液体流
動制御チャンバ16に入らないように入口22,24 から上方
向に延在する。さらに、管48,50 は入口22,24 に入る前
に液体の流れの動揺を減少する傾向がある。管48,50 の
長さはメッキバス溶液12中に存在する動揺の度合いに依
存する。比較的動揺のないバスでは管48,50 は所望であ
るならば除去される。
【００２１】図１を参照すると、吸引ポンプ52は管48,5
0 とセンサ10と出口38を通る吸引によりメッキバス溶液
をセンサ10に供給するために設けられる。ポンプ管54は
ポンプ52の吸引入口を液体出口チャンバの出口38に接続
することに使用される。管56はポンプ出口に接続され、
タンク14へメッキバス溶液を戻すために設けられる。溶
液は、測定期間中のみポンプされる。
0 とセンサ10と出口38を通る吸引によりメッキバス溶液
をセンサ10に供給するために設けられる。ポンプ管54は
ポンプ52の吸引入口を液体出口チャンバの出口38に接続
することに使用される。管56はポンプ出口に接続され、
タンク14へメッキバス溶液を戻すために設けられる。溶
液は、測定期間中のみポンプされる。
【００２２】液体流動制御チャンバ16の壁、感知チャン
バ18、液体出口チャンバ20はポリテトラフルオロエチレ
ンのような好ましくはプラスチックである非電気性の材
料から作られる。他の非導電性プラスチックまたは材料
はこれらが浸漬される特定の溶液に関して不活性であ
り、構造上強いものであれば使用されることができる。
材料はまた電極間で作られる電気化学測定に悪影響を与
えるものを含んではならない。さらにプラスチック材料
は３つのチャンバに必要な種々の構造が形成されること
ができるように鋳造または機械加工が容易であるべきで
ある。
バ18、液体出口チャンバ20はポリテトラフルオロエチレ
ンのような好ましくはプラスチックである非電気性の材
料から作られる。他の非導電性プラスチックまたは材料
はこれらが浸漬される特定の溶液に関して不活性であ
り、構造上強いものであれば使用されることができる。
材料はまた電極間で作られる電気化学測定に悪影響を与
えるものを含んではならない。さらにプラスチック材料
は３つのチャンバに必要な種々の構造が形成されること
ができるように鋳造または機械加工が容易であるべきで
ある。
【００２３】図２、３で最も良く示されているように導
電電極44,46 は感知チャンバ18内に位置され、一方は他
方の上でありセルセパレ−タ42により分離される。絶縁
体被覆導電電極接続ワイヤ58,60 は挿入部40を通って6
6,68 で示されている液体出口チャンバ20の上部に螺合
されているボルト62,64 を通って出る。Ｏリング70,72
は堅密な密封を確実にするために設けられてる。さら
に、図４で最も良く示されているように絶縁されたワイ
ヤ58,60 はボルト62,64 内でぴったりと固定される。
電電極44,46 は感知チャンバ18内に位置され、一方は他
方の上でありセルセパレ−タ42により分離される。絶縁
体被覆導電電極接続ワイヤ58,60 は挿入部40を通って6
6,68 で示されている液体出口チャンバ20の上部に螺合
されているボルト62,64 を通って出る。Ｏリング70,72
は堅密な密封を確実にするために設けられてる。さら
に、図４で最も良く示されているように絶縁されたワイ
ヤ58,60 はボルト62,64 内でぴったりと固定される。
【００２４】導電電極44,46 は典型的に１アンペアより
低い電流を伝送し、典型的に約25ｍｖから100 ｍｖのミ
リボルト領域で使用されるように設計された電極システ
ムで典型的に使用される通常の材料から製造される。こ
れらは安定な測定を行うことができるプラチナまたは他
の不活性電極金属から作られることが好ましい。金また
はパラジウムのような他の貴金属も使用されることがで
きる。
低い電流を伝送し、典型的に約25ｍｖから100 ｍｖのミ
リボルト領域で使用されるように設計された電極システ
ムで典型的に使用される通常の材料から製造される。こ
れらは安定な測定を行うことができるプラチナまたは他
の不活性電極金属から作られることが好ましい。金また
はパラジウムのような他の貴金属も使用されることがで
きる。
【００２５】本発明によると、液体流動制御チャンバ16
はガラスフェルトまたはスクリ−ン74のような流動制動
手段も含む。材料が制動する能力があり、実質的に入口
22,24 を通ってセンサ10に入る液体に存在される流れの
動揺を減少するガラスフェルトまたは他の不活性のファ
イバマトリックスまたはメッシュ材料は液体流動制御チ
ャンバ16に入る液体の動揺を減少するために使用され
る。ガラスフェルトの密度または他の多孔性制動材料は
入口22,24 を通って構造に入る時、センサの大きさと液
体の流れの動揺の度合いにより変化される。制動媒体の
密度または多孔度は導電電極44,46 との接触前に液体中
の流れの動揺を減少するのに十分であることが好まし
い。同時に材料は感知チャンバ18への液体の流れを過度
に限定するような濃厚なものであるべきではない。
はガラスフェルトまたはスクリ−ン74のような流動制動
手段も含む。材料が制動する能力があり、実質的に入口
22,24 を通ってセンサ10に入る液体に存在される流れの
動揺を減少するガラスフェルトまたは他の不活性のファ
イバマトリックスまたはメッシュ材料は液体流動制御チ
ャンバ16に入る液体の動揺を減少するために使用され
る。ガラスフェルトの密度または他の多孔性制動材料は
入口22,24 を通って構造に入る時、センサの大きさと液
体の流れの動揺の度合いにより変化される。制動媒体の
密度または多孔度は導電電極44,46 との接触前に液体中
の流れの動揺を減少するのに十分であることが好まし
い。同時に材料は感知チャンバ18への液体の流れを過度
に限定するような濃厚なものであるべきではない。
【００２６】動作において、センサ10は図１で示されて
いるように分析されるようにメッキバスまたは他の溶液
に浸漬される。溶液はポンプ52により管48,50 を通って
センサに引込まれる。液体がセンサに引込まれる速度は
ガラスフェルト74の動揺の制動能力が超過しないことと
導電電極44,46 を通過する液体の動揺のない流れを確実
にするように限定される。電極ワイヤ58,60 は適切な遮
蔽管76内でタンク外に通過され、ミリボルト領域で電気
化学的測定を行うように設計されている測定装置（図示
せず）に接続される。本発明のセンサが接続されている
例示的な電気化学的分析装置はポテンシオスタットと波
形発生器を含む。
いるように分析されるようにメッキバスまたは他の溶液
に浸漬される。溶液はポンプ52により管48,50 を通って
センサに引込まれる。液体がセンサに引込まれる速度は
ガラスフェルト74の動揺の制動能力が超過しないことと
導電電極44,46 を通過する液体の動揺のない流れを確実
にするように限定される。電極ワイヤ58,60 は適切な遮
蔽管76内でタンク外に通過され、ミリボルト領域で電気
化学的測定を行うように設計されている測定装置（図示
せず）に接続される。本発明のセンサが接続されている
例示的な電気化学的分析装置はポテンシオスタットと波
形発生器を含む。
【００２７】液体流動制御チャンバ16と感知チャンバ18
と液体出口チャンバ20の外部と内部表面は円筒形であ
る。チャンバ内部の円筒形の形態は液体が３つのチャン
バを通過するときセンサで生成された動揺の可能性を減
少する傾向にあるので好ましい。また円筒形形態の電極
の使用と測定の安定度と正確性を改良する均一な分布を
確実にすることを許容する。本発明によるセンサの長さ
は測定される特定の電気化学特性とセンサを通過する液
体のタイプによって数センチメ−トルから１メ−トル以
上まで変化される。同様にセンサ直径は１センチメ−ト
ルから10センチメ−トル以上まで変化されることができ
る。
と液体出口チャンバ20の外部と内部表面は円筒形であ
る。チャンバ内部の円筒形の形態は液体が３つのチャン
バを通過するときセンサで生成された動揺の可能性を減
少する傾向にあるので好ましい。また円筒形形態の電極
の使用と測定の安定度と正確性を改良する均一な分布を
確実にすることを許容する。本発明によるセンサの長さ
は測定される特定の電気化学特性とセンサを通過する液
体のタイプによって数センチメ−トルから１メ−トル以
上まで変化される。同様にセンサ直径は１センチメ−ト
ルから10センチメ−トル以上まで変化されることができ
る。
【００２８】センサ10はボルト30,32 を外し、感知チャ
ンバ18から液体流動制御チャンバ16を除去することによ
り電極またはセルセパレ−タの洗浄、検査または取換え
のために簡単に解体される。感知チャンバ18と液体出口
チャンバ20はボルト78,80 の取外しにより分解されるこ
とができる。挿入部40の除去は導電電極44,46 とセルセ
パレ−タ42の除去を許容する。
ンバ18から液体流動制御チャンバ16を除去することによ
り電極またはセルセパレ−タの洗浄、検査または取換え
のために簡単に解体される。感知チャンバ18と液体出口
チャンバ20はボルト78,80 の取外しにより分解されるこ
とができる。挿入部40の除去は導電電極44,46 とセルセ
パレ−タ42の除去を許容する。
【００２９】本発明の例示的な実施例を説明したが、そ
れらは単なる例であり本発明は請求の範囲の記載によっ
てのみ限定されることが当業者により理解されるであろ
う。
れらは単なる例であり本発明は請求の範囲の記載によっ
てのみ限定されることが当業者により理解されるであろ
う。
【図面の簡単な説明】
【図１】メッキバスに浸漬されたセンサを示した本発明
による好ましい実施例の電気化学導電度センサの側面
図。
による好ましい実施例の電気化学導電度センサの側面
図。
【図２】図１で示されているセンサの詳細な側断面図。
【図３】図２の線３−３に沿ったセンサの部分的な側断
面図。
面図。
【図４】図２の線４−４に沿ったセンサの断面図。
【図５】図２の線５−５に沿ったセンサの断面図。
【図６】図２の線６−６に沿ったセンサの断面図。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ブルース・エム・エリアシュ アメリカ合衆国、カリフォルニア州 90034、ロサンゼルス、ハージス・ストリ ート 9106 (72)発明者 フランク・エー・ルードウィグ アメリカ合衆国、カリフォルニア州 90274、ランチョ・パロス・バーデス、ホ イットリー・コリンズ 29443 (72)発明者 ヌグエット・エイチ・ファン アメリカ合衆国、カリフォルニア州 90025、ロサンゼルス、ナンバー７、ベロ イト・アベニュー 1531
Claims (12)
- 【請求項１】 入口と出口を有する液体流動制御チャン
バと、 入口と出口を有する感知チャンバと、 入口と出口を有する液体出口チャンバと、 前記液体流動制御チャンバから前記感知チャンバ中への
液体の流れを提供するように前記液体流動制御チャンバ
の出口を前記感知チャンバの入口に接続するた第１の接
続手段と、 前記感知チャンバから前記液体出口チャンバ中への液体
の流れを提供するように前記感知チャンバ出口と前記液
体出口チャンバの入口を接続する第２の接続手段と、 前記感知チャンバ内に位置する１対の導電電極と、 液体を前記液体流動制御チャンバ入口から前記液体出口
チャンバ出口まで伝送する手段と、 前記感知チャンバに入る液体が実質上流れの動揺のない
ように前記液体流動制御チャンバを通過する液体の流動
を制御する流動制動手段とを具備することを特徴とする
液体の導電度測定分析で使用するように構成された導電
度センサ。 - 【請求項２】 前記１対の導電電極を外部の電気的測定
装置に電気的に接続する電極接続手段を具備する請求項
１記載の導電度センサ。 - 【請求項３】 前記流動制動手段はガスが前記液体流動
制御チャンバに入ることを阻止するガス混入阻止手段を
具備している請求項１記載の導電度センサ。 - 【請求項４】 前記液体が前記液体流動制御チャンバを
通って前記入口から前記出口に通過するとき前記流動制
動手段が前記液体が流れる前記液体流動制御チャンバ内
に位置するメッシュ体を具備する請求項１記載の導電度
センサ。 - 【請求項５】 前記導電度センサのセル定数を変化する
手段をさらに具備する請求項１記載の導電度センサ。 - 【請求項６】 前記１対の導電電極間の分離距離を変化
する手段をさらに具備する請求項１記載の導電度セン
サ。 - 【請求項７】 前記１対の導電電極の少なくとも一方で
大きさを変化する手段をさらに具備する請求項１記載の
導電度センサ。 - 【請求項８】 液体流動制御チャンバと、感知チャンバ
と、液体出口チャンバとを具備する導電度セル構造を形
成し、前記液体流動制御チャンバは入口と出口を有し、
前記感知チャンバは前記液体流動制御チャンバに接続さ
れている入口と出口を有し、前記液体出口チャンバは前
記感知チャンバの出口に接続される入口と出口とを有し
前記感知チャンバ内に１対の導電電極を設け、 前記導電度セル構造を通って前記液体流動制御チャンバ
入口から前記液体出口チャンバの出口に液体をポンプで
供給し、前記液体は前記導電度セル構造を通過するとき
実質的に流れに動揺がなく、 前記１対の導電電極間で前記液体の導電度を決定する段
階を有する液体の導電度の測定方法。 - 【請求項９】 メッシュ体が前記液体流動制御チャンバ
に設けられ、前記液体が前記液体流動制御チャンバに入
るとき前記液体中に存在する流れの動揺を制動する請求
項８記載の方法。 - 【請求項１０】 ガスが前記液体流動制御チャンバに混
入することを阻止する請求項８記載の方法。 - 【請求項１１】 前記液体の導電度の範囲に対応してセ
ル定数の範囲を決定し、 前記範囲内のセル定数を提供するために前記１対の導電
電極間の分離距離を変化する段階をさらに有する請求項
８記載の方法。 - 【請求項１２】 前記液体の導電度の範囲に対応してセ
ル定数の範囲を決定し、 前記範囲内のセル定数を提供するために前記１対の導電
電極の大きさを変化する段階をさらに有する請求項８記
載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/977,389 US5287060A (en) | 1992-11-17 | 1992-11-17 | In-tank conductivity sensor |
| US977389 | 1992-11-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06213847A true JPH06213847A (ja) | 1994-08-05 |
Family
ID=25525095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5288516A Pending JPH06213847A (ja) | 1992-11-17 | 1993-11-17 | タンク内導電度センサ |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5287060A (ja) |
| EP (1) | EP0598381B1 (ja) |
| JP (1) | JPH06213847A (ja) |
| DE (1) | DE69308483T2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018022370A1 (en) * | 2016-07-25 | 2018-02-01 | Applied Materials, Inc. | Cleaning solution mixing system with ultra-dilute cleaning solution and method of operation thereof |
| JPWO2018110219A1 (ja) * | 2016-12-12 | 2018-12-13 | 株式会社村田製作所 | Ｅｃセンサおよびそれを用いた圃場管理システム |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5739692A (en) * | 1995-11-08 | 1998-04-14 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Device for monitoring voltage and amperage on an article being passed through an electrocoating bath |
| US6264806B1 (en) | 1999-10-07 | 2001-07-24 | Technic Inc. | Plating fluid replenishment system and method |
| US6573734B2 (en) | 2001-05-08 | 2003-06-03 | The Board Of Trustees Of The University Of Illinois | Integrated thin film liquid conductivity sensor |
| US20030127334A1 (en) * | 2002-01-08 | 2003-07-10 | Applied Materials, Inc. | Method for determining a concentration of conductive species in an aqueous system |
| US7372005B2 (en) * | 2004-09-27 | 2008-05-13 | Aos Holding Company | Water storage device having a powered anode |
| CN101809376B (zh) | 2007-08-28 | 2013-05-22 | Aos控股公司 | 具有罐子状况监控特征的存储型热水器 |
Family Cites Families (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US2760152A (en) * | 1953-08-19 | 1956-08-21 | Ionics | Indicator for the demineralization of water |
| FR1289161A (fr) * | 1961-05-10 | 1962-03-30 | Borg Warner | Pince motorisée |
| US3376501A (en) * | 1966-12-09 | 1968-04-02 | Varian Associates | Cell for determining the conductivity of liquids entrained in porous media |
| US3996509A (en) * | 1975-08-12 | 1976-12-07 | Aluminum Company Of America | Conductivity dip cell |
| US4087743A (en) * | 1976-07-21 | 1978-05-02 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Navy | Fog-water conductivity measuring device |
| US4803869A (en) * | 1987-05-22 | 1989-02-14 | Board Of Trustees, University Of Illinois | Flow-through analytical measurement apparatus and method |
| FR2633048B1 (fr) * | 1988-06-15 | 1990-11-09 | Technicatome | Procede d'etalonnage automatique en ligne d'un capteur de mesure de la concentration d'une espece electrochimique dissoute en phase liquide |
| US4871427A (en) * | 1988-06-24 | 1989-10-03 | United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force | Ion detection using a differential resistance measurement of an ion exchange membrane |
-
1992
- 1992-11-17 US US07/977,389 patent/US5287060A/en not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-11-16 DE DE69308483T patent/DE69308483T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1993-11-16 EP EP93118489A patent/EP0598381B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1993-11-17 JP JP5288516A patent/JPH06213847A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2018022370A1 (en) * | 2016-07-25 | 2018-02-01 | Applied Materials, Inc. | Cleaning solution mixing system with ultra-dilute cleaning solution and method of operation thereof |
| US10935896B2 (en) | 2016-07-25 | 2021-03-02 | Applied Materials, Inc. | Cleaning solution mixing system with ultra-dilute cleaning solution and method of operation thereof |
| JPWO2018110219A1 (ja) * | 2016-12-12 | 2018-12-13 | 株式会社村田製作所 | Ｅｃセンサおよびそれを用いた圃場管理システム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69308483T2 (de) | 1997-06-12 |
| US5287060A (en) | 1994-02-15 |
| EP0598381A1 (en) | 1994-05-25 |
| DE69308483D1 (de) | 1997-04-10 |
| EP0598381B1 (en) | 1997-03-05 |
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