JPH06208839A - 電子顕微鏡付帯装置の連結装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 電子顕微鏡本体に対して付帯装置を取付ける
場合の取付位置精度を向上させるとともに、ボルトの締
付けや緩めを行うことなく、しかもボルトによる締付け
以上に、迅速かつ確実に結合することができる電子顕微
鏡付帯装置の連結装置を提供することを目的とする。 【構成】 電子顕微鏡に付帯装置を取付け両者を連結せ
しめる連結装置において、電子顕微鏡本体と付帯装置と
の連結部の結合部を、一方の内面側が円錐状の嵌合面を
持ち、他方の外面側が前記嵌合面に嵌合する円錐状の嵌
合面を持つ嵌合構造とし、また嵌合構造を持つ本体と付
帯装置との連結部にそれぞれフランジを設けると共に、
両者のフランジを結合するクランプ機構を設けるように
構成する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明は、電子顕微鏡に付帯装
置を取付けて、電子ビームを利用した種々の分析等を行
う場合に、電子顕微鏡本体と付帯装置との連結部を、正
確な精度で結合し、かつ縫い付けボルトによらない特殊
な結合法により、迅速、確実に結合するようにした、電
子顕微鏡付帯装置の連結装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】近年電子顕微鏡は、拡大した試料像を観
察するという用途の他に、内部に分析機器を配置した真
空容器を付帯装置として取付け、これに電子顕微鏡の電
子銃からの電子ビームを照射して、分析装置として用い
ることが行われている。しかしてこの付帯装置は、図３
に示すように、電子顕微鏡１に１個の付帯装置２を付属
させるだけでは、その機能に限界があるため、複数の他
の付帯装置２ａ，２ｂ等を用意しておき、その分析等の
目的に合った付帯装置に交換して、多様な用途に対応す
るようにする必要がある。

【０００３】そこで付帯装置２等を交換して、他の付帯
装置２ａ，２ｂ等を取付ける場合には、電子顕微鏡本体
１側の連結部３に本体側フランジ４を取付け、付帯装置
２等の連結部５にも付帯装置側フランジ６を取付けてお
き、両フランジ４，６の間に真空シール７を介在させ
て、縫付けボルト８をナット９により締付けることによ
り両者を連結し、またボルト８、ナット９を緩めること
により取り外すようにしていた。なお本体側の連結部３
にはフランジ状突起１１が設けられ、鏡体１０にボルト
１２により取付けられている。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】ところでこのような従
来の電子顕微鏡本体１とその付帯装置２との連結装置に
あっては、本体側フランジ４と付帯装置側フランジ６と
を、縫い付けボルト８とナット９とにより固定してい
た。しかし近年、電子線を利用して種々の測定を行う付
帯装置の精度が、高精度化しているため、付帯装置の取
付位置精度の要求も高くなっているので、本体１の中心
軸Ｘ１と付帯装置２の中心軸Ｘ２とは、常に正確に一致
していることが必要であり、従来の縫い付けボルトをナ
ットで締付ける図３のような嵌合では、取付精度が低
く、また締結する度に取付位置を補正しなければならな
いという問題があった。

【０００５】また、フランジ４，６を結合する際には、
細心の注意を払って取付けなければならない上、結合す
る際にボルトを締めつけるため、それにより金属の粉が
発生して、連結部付近の真空シール７に付着し、真空漏
れを起こす虞れがあり、一方付帯装置２を連結・解放す
るためには、数本のボルト８を締付け、また緩めなけれ
ばならないということもあり、付帯装置の取付取外し
に、かなりの時間と労力及び注意力を要するという問題
もあった。

【０００６】この発明は、このような従来の課題に着目
してなされたもので、本体に対する付帯装置の取付位置
精度を向上させるとともに、ボルトの締付けや緩めを行
うことなく、しかもボルトによる締付け以上に、迅速か
つ確実に結合することができる電子顕微鏡付帯装置の連
結装置を提供することを目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明は上記の課題を解
決するための手段としてその構成を、電子顕微鏡に付帯
装置を取付け両者を連結せしめる連結装置において、電
子顕微鏡本体と付帯装置との連結部の結合部を、一方の
内面側が円錐状の嵌合面を持ち、他方の外面側が前記嵌
合面に嵌合する円錐状の嵌合面を持つ嵌合構造とするこ
ととし、また前記嵌合構造を持つ本体と付帯装置との両
者の連結部にそれぞれフランジを設け、該両者のフラン
ジを結合するクランプ機構を設けることとした。

【０００８】

【作用】次に本発明の作用を説明する。電子顕微鏡本体
と付帯装置との連結部を円錐状の嵌合面を持つ嵌合構造
としたので、付帯装置の円錐状の嵌合面を、本体の円錐
状の嵌合面に嵌入させるだけで、両者の中心軸は常に一
致した状態で連結され、取付精度は高い精度に保持され
る。

【０００９】また、嵌合構造を持つ本体と付帯装置との
両者の連結部にそれぞれフランジを設け、該両者のフラ
ンジを結合させてクランプすれば、フランジ外面がクラ
ンプ機構によって押されて両者のフランジは互いに密着
し、電子顕微鏡本体と付帯装置とは、迅速、確実に連結
される。

【００１０】

【実施例】以下、この発明を図面に基づいて説明する。
図１は本発明の構成を示す電子顕微鏡本体と付帯装置と
の連結部の断面図である。電子顕微鏡本体１に付帯装置
２を取付けて、両者を連結部で連結せしめることは従来
と同様で、本体１と付帯装置２とは同一符号を以て示
す。

【００１１】電子顕微鏡本体１側の連結部２０の結合部
は、内面が円錐状の嵌合面２１をもつ本体側継手２２を
形成し、付帯装置２の連結部３０の結合部は、外面が、
本体の円錐状の嵌合面２１に嵌合する円錐状の嵌合面３
１を持つ付帯装置側継手３２を形成することにより、本
体側継手２２と付帯装置側継手３２とは円錐面の嵌合構
造を形成する。

【００１２】そして本体側継手２２は、電子顕微鏡本体
１の鏡体１０にボルト１２により取付けられており、本
体１と本体側継手２２との間には、真空シール１３が介
装されて気密を保持しており、本体側継手２２の嵌合面
２１と、付帯装置側継手３２の嵌合面３１との間にも、
真空シール１４が介装されている。

【００１３】また、嵌合構造を持つ本体側継手２２及び
付帯装置側継手３２の接合部には、本体側継手２２にフ
ランジ２３が、付帯装置側継手３２にフランジ３３が設
けられている。フランジ２３，３３は、その互いに接合
する面２４，３４は平面であるが、接合面２４，３４と
反対側の外面２５、３５は、平たい円錐状に形成されて
おり、継手２２，３２のそれぞれに接する基部の厚みが
厚く、周縁部の厚みが薄くなるようになっている。

【００１４】こゝでフランジ２３，３３を接合するため
に、本体側継手２２及び付帯装置側継手３２の平たい円
錐状の外面２５，３５を、外方から押圧するクランプ機
構として、断面コ字状のクランプシュー４０を設け、ク
ランプシュー４０をフランジ２３，３３の側方から押圧
するクランプシュー押圧装置４５を設ける。なおこのと
きフランジ２３，３３が互いに回転しないように、本体
側継手２２のフランジ２３には、図２に示すような回り
止めキー２７が、ねじ２８によって取付けられており、
付帯装置側継手３２のフランジ３３には、フランジ２３
の回り止めキー２７に相当する所に、凹部３７が形成さ
れている。

【００１５】クランプシュー４０は断面がコ字状で、２
つの縁部４１の内部が凹部４２を形成しているが、平面
図は図２に示すように縁部４１が半円形を形成し、両側
方には内面にめねじが切られている送り部４３を有して
おり、フランジ２３，３３を図２の左右から押圧するた
め、フランジ２３，３３の両側に設けられている。なお
図１，図２はクランプシュー４０が後退してフランジ２
３，３３から離脱している状態を示している。

【００１６】クランプシュー押圧装置４５は、クランプ
シュー４０の送り部４３に係合する送りねじ４６、送り
ねじ４６を回転させるウォームギヤ４７、駆動ハンドル
４８及びこれらを支持する軸受４９から成り、軸受４９
が電子顕微鏡本体１側の本体側継手２２のベース５０に
固着している。

【００１７】電子顕微鏡本体１と付帯装置２とを結合す
るには、本体１の連結部２０内面の円錐状の嵌合面２１
に、付帯装置２の連結部３０外面の円錐状の嵌合面３１
を嵌入させるだけで、両者の中心軸Ｘは常に一致した状
態で連結され、本体１と付帯装置２の連結部２０，３０
の本体側継手２２及び付帯装置側継手３２は、取付精度
が高い精度に保持されながら連結される。

【００１８】また、本体１と付帯装置２の連結部２０，
３０の本体側継手２２及び付帯装置側継手３２を、両者
のフランジ２３，３３同士を衝合してクランプするに
は、図２のように、クランプシュー４０が後退して、フ
ランジ２３，３３から離脱している状態において、クラ
ンプシュー押圧装置４５の駆動ハンドル３８を回転し、
ウォームギヤ３７を介して、送りねじ３６を回転させ
る。

【００１９】するとクランプシュー４０は、その送り部
４３が、送りねじ４６の回転により送られ、クランプシ
ュー４０が衝合しているフランジ２３，３３を図の左右
方向から押圧し、コ字状になったクランプシュー４０の
縁部４１が、フランジ２３，３３の平たい円錐状に形成
された外面２５、３６を上下から押圧する。すると、く
さび作用によって、両者のフランジ２３，３３は互いに
密着し、本体１と付帯装置２とは、迅速、確実に連結さ
れる。

【００２０】なお上記の実施例では、本体１の連結部２
０の本体側継手２２の内面に、円錐状の嵌合面２１を形
成し、付帯装置２の連結部３０の付帯装置側継手３２の
外面に円錐状の嵌合面３１を形成するものについて述べ
たが、円錐面を逆にし、本体１の連結部の本体側継手の
外面に円錐状の嵌合面を形成し、付帯装置２の連結部の
付帯装置側継手の内面に円錐状の嵌合面を形成してもよ
い。

【００２１】またフランジ２３，３３は、その接合面２
４，３４と反対側の外面２５、３５が、平たい円錐状に
形成されており、継手２２，３２のそれぞれに接する基
部の厚みが厚く、周縁部の厚みが薄くなるものについて
述べたが、クランプシューに押圧されるようになってい
れば、他の構成を持つものでもよい。

【００２２】また、フランジを結合するクランプ機構と
しては、上記の構造のものに限定されず、本体側連結部
と付帯装置側連結部の、両者のフランジを締付けるもの
であれば、他のクランプ構造でもよく、クランプシュー
押圧装置も、ウォームギヤと駆動ハンドルによる必要は
なく、クランプシューを強力に押圧し得るものであれ
ば、他の駆動装置を用いてもよい。

【００２３】

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、電子顕微鏡本体と付帯装置との連結部を円錐状の嵌
合面を持つ嵌合構造としたので、両者の中心軸は常に一
致した状態で連結され、取付精度は高い精度に保持され
るという効果を有する。

【００２４】また嵌合構造を持つ本体と付帯装置との両
者の連結部にそれぞれフランジを設け、該両者のフラン
ジを結合するクランプ機構を設けたので、両者のフラン
ジはクランプ機構によって押されて互いに密着し、電子
顕微鏡本体と付帯装置とは迅速かつ確実に連結される。
さらに縫付けボルトを用いる必要がなくなり、ボルトの
締めつけによる金属の粉が発生して連結部付近の真空シ
ールに付着し、真空漏れを起こすことがなくなるという
効果を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の構成を示す電子顕微鏡本体と付帯装置
の連結部の断面図である。

【図２】本体と付帯装置の連結部のクランプ機構を示す
図１のＩＩ−ＩＩ矢視図である。

【図３】従来の本体と付帯装置の連結部を示す断面図で
ある。

【符号の説明】 １ 電子顕微鏡本体 ２ 付帯装置 ２０ 連結部（本体側の） ２１ 内面が円錐状の嵌合面 ２２ 本体側継手（連結部２０の一部） ２３ フランジ（本体側の） ３０ 連結部（付帯装置側の） ３１ 外面が円錐状の嵌合面 ３２ 付帯装置側継手（連結部３０の一部） ３３ フランジ（付帯装置側の） ４０ クランプシュー（クランプ機構） ４５ クランプシュー押圧装置（クランプ機構）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】電子顕微鏡に付帯装置を取付け両者を連結
   せしめる連結装置において、電子顕微鏡本体と付帯装置
   との連結部の結合部を、一方の内面側が円錐状の嵌合面
   を持ち、他方の外面側が前記嵌合面に嵌合する円錐状の
   嵌合面を持つ嵌合構造としたことを特徴とする電子顕微
   鏡付帯装置の連結装置。
2. 【請求項２】請求項１において、前記嵌合構造を持つ本
   体と付帯装置との両者の連結部にそれぞれフランジを設
   け、該両者のフランジを結合するクランプ機構を設けた
   ことを特徴とする電子顕微鏡付帯装置の連結装置。