JPH0620500A - 集積回路テスト方法 - Google Patents
集積回路テスト方法Info
- Publication number
- JPH0620500A JPH0620500A JP4200281A JP20028192A JPH0620500A JP H0620500 A JPH0620500 A JP H0620500A JP 4200281 A JP4200281 A JP 4200281A JP 20028192 A JP20028192 A JP 20028192A JP H0620500 A JPH0620500 A JP H0620500A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- integrated circuit
- test
- test pattern
- write
- timer
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- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 書込み時間が全バイトに渡って長いものを不
良品として除外することにより、テスト効率を高める。 【構成】 集積回路6のテストが開始すると、書込みパ
ルスにより監視タイマ7に予め設定された設定値の書込
み回数をカウントダウンさせ、テスト終了までに監視タ
イマ7の設定値が「0」になった場合、この集積回路6
を不良品と判定する。
良品として除外することにより、テスト効率を高める。 【構成】 集積回路6のテストが開始すると、書込みパ
ルスにより監視タイマ7に予め設定された設定値の書込
み回数をカウントダウンさせ、テスト終了までに監視タ
イマ7の設定値が「0」になった場合、この集積回路6
を不良品と判定する。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明はメモリ等の論理集積回
路のテストを行うテスト方法に関するものである。
路のテストを行うテスト方法に関するものである。
【0002】
【従来の技術】図6は従来の集積回路テスト方法を説明
するためのEPROMのインテリジェント書込みプログ
ラムのフローチャートの例であり、図において、9aは
アドレス設定部、9bは書込みパルス印加部、9cは書
込みパルス印加部9bで書込まれたデータを読み出し可
能であるかどうかをチェックするプログラムベリファイ
部、9dは累積印加パルス数Xが最大値であるかどうか
の判定を行う最大値判定部、9eは累積印加パルス数X
のインクリメント部、9fは追加書込部、9gはアドレ
スインクリメント部である。
するためのEPROMのインテリジェント書込みプログ
ラムのフローチャートの例であり、図において、9aは
アドレス設定部、9bは書込みパルス印加部、9cは書
込みパルス印加部9bで書込まれたデータを読み出し可
能であるかどうかをチェックするプログラムベリファイ
部、9dは累積印加パルス数Xが最大値であるかどうか
の判定を行う最大値判定部、9eは累積印加パルス数X
のインクリメント部、9fは追加書込部、9gはアドレ
スインクリメント部である。
【0003】次に、EPROMへのデータの書込み方法
について説明する。図6のアドレス設定部9aにおい
て、EPROMのアドレスを設定し、書込みパルス印加
部9bで1msの書込みパルスをそのアドレスに印加し
た後、プログラムベリファイ部9cでそのアドレスから
データが読み出し可能かどうかをチェックし、読み出し
がOKでない時は、書込みパルス印加部9bで再度1m
sの書込みパルスをそのアドレスに印加する。読み出し
がOKになるまで1msの書込みパルス印加と読み出し
チェックを累積印加パルス数Xの最大値判定部9dで設
定した値まで繰り返し、OKになるまでの累積印加パル
ス数Xをインクリメント部9eで記憶しておき、さらに
この3倍のパルス、すなわち3Xmsを追加書込部9f
でアドレスに印加する。この一連の書込みが完了すると
アドレスインクリメント部9gでアドレスをインクリメ
ントし、次の番地へ行き、同様の動作を最終番地に行く
まで繰り返す。
について説明する。図6のアドレス設定部9aにおい
て、EPROMのアドレスを設定し、書込みパルス印加
部9bで1msの書込みパルスをそのアドレスに印加し
た後、プログラムベリファイ部9cでそのアドレスから
データが読み出し可能かどうかをチェックし、読み出し
がOKでない時は、書込みパルス印加部9bで再度1m
sの書込みパルスをそのアドレスに印加する。読み出し
がOKになるまで1msの書込みパルス印加と読み出し
チェックを累積印加パルス数Xの最大値判定部9dで設
定した値まで繰り返し、OKになるまでの累積印加パル
ス数Xをインクリメント部9eで記憶しておき、さらに
この3倍のパルス、すなわち3Xmsを追加書込部9f
でアドレスに印加する。この一連の書込みが完了すると
アドレスインクリメント部9gでアドレスをインクリメ
ントし、次の番地へ行き、同様の動作を最終番地に行く
まで繰り返す。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】従来の集積回路テスト
方法においては、被テスト集積回路である例えば、16
KbyteのEPROMについて、インテリジェント書
込みを各バイト毎に最大10回で書込む場合、バイト毎
に最大回数書込みを許した場合の実行時間が著しく長く
なるという問題点があった。
方法においては、被テスト集積回路である例えば、16
KbyteのEPROMについて、インテリジェント書
込みを各バイト毎に最大10回で書込む場合、バイト毎
に最大回数書込みを許した場合の実行時間が著しく長く
なるという問題点があった。
【0005】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、被テスト集積回路に対する書込
み時間が全バイトにわたって、長いものを不良品として
除外することにより、効率よくテストを行うことができ
る集積回路テスト方法を提供することを目的とする。
ためになされたもので、被テスト集積回路に対する書込
み時間が全バイトにわたって、長いものを不良品として
除外することにより、効率よくテストを行うことができ
る集積回路テスト方法を提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】請求項1の発明に係る集
積回路テスト方法は、集積回路6に書込むべき全バイト
に要する書込み回数を予め監視タイマ7に設定してお
き、テストパターン発生手段(メモリ1)よりテストパ
ターンを集積回路6に与え、集積回路6のテストが開始
すると、テストパターン発生手段からのテストパターン
に含まれる書込みパルスにより、監視タイマ7の設定値
をカウントダウンし、集積回路6のテストが終了するま
でに監視タイマ7の設定値が「0」になったか否かを検
出することにより集積回路6の良否を判定することを特
徴とするものである。
積回路テスト方法は、集積回路6に書込むべき全バイト
に要する書込み回数を予め監視タイマ7に設定してお
き、テストパターン発生手段(メモリ1)よりテストパ
ターンを集積回路6に与え、集積回路6のテストが開始
すると、テストパターン発生手段からのテストパターン
に含まれる書込みパルスにより、監視タイマ7の設定値
をカウントダウンし、集積回路6のテストが終了するま
でに監視タイマ7の設定値が「0」になったか否かを検
出することにより集積回路6の良否を判定することを特
徴とするものである。
【0007】請求項2の発明に係る集積回路テスト方法
は、集積回路に書込むべき全バイトに要する書込み回数
を予め設定し、集積回路のテストが開始すると、テスト
パターンに含まれる書込みパルスをカウントしていき、
このカウント値と上記書込み回数とを比較し、テスト終
了までに上記カウント値が上記書込み回数をオーバする
か否かを検出することにより該集積回路の良否を判定す
ることを特徴とするものである。
は、集積回路に書込むべき全バイトに要する書込み回数
を予め設定し、集積回路のテストが開始すると、テスト
パターンに含まれる書込みパルスをカウントしていき、
このカウント値と上記書込み回数とを比較し、テスト終
了までに上記カウント値が上記書込み回数をオーバする
か否かを検出することにより該集積回路の良否を判定す
ることを特徴とするものである。
【0008】
【作用】請求項1の発明においては、集積回路6のテス
トが開始し、監視タイマ7の設定値が書込みパルスによ
りカウントダウンされ、その設定値が集積回路6のテス
ト終了までに「0」になると、この集積回路6は不良品
であると判定される。
トが開始し、監視タイマ7の設定値が書込みパルスによ
りカウントダウンされ、その設定値が集積回路6のテス
ト終了までに「0」になると、この集積回路6は不良品
であると判定される。
【0009】請求項2の発明においては、集積回路のテ
ストが開始し、書込みパルスがカウントされていき、テ
スト終了までに、このカウント値が予め設定された書込
み回数をオーバしたとき、この集積回路は不良品である
と判定される。
ストが開始し、書込みパルスがカウントされていき、テ
スト終了までに、このカウント値が予め設定された書込
み回数をオーバしたとき、この集積回路は不良品である
と判定される。
【0010】
実施例1.(請求項1対応) 図1はこの発明の集積回路テスト方法の実施例1の構成
ブロック図である。図1において、1はEPROM等の
集積回路6のテストを行うためのテストパターンを発生
するテストパターン発生手段としてのメモリで、このメ
モリ1はアドレス設定部2aとデータ設定部2bとPG
M(プログラム)設定部3aとマイクロインストラクシ
ョン部4から成るテストパターンを格納する。
ブロック図である。図1において、1はEPROM等の
集積回路6のテストを行うためのテストパターンを発生
するテストパターン発生手段としてのメモリで、このメ
モリ1はアドレス設定部2aとデータ設定部2bとPG
M(プログラム)設定部3aとマイクロインストラクシ
ョン部4から成るテストパターンを格納する。
【0011】このテストパターンは、図2に示すように
プログラムロード時に図示しない外部記憶装置からメモ
リ1にロードされる。このテストパターンは、詳しくは
図3に示すようにアドレス設定部2aとデータ設定部2
bとPGM設定部3aから成るテストパターン部と、ピ
ンエレコントロールとタイミングとインストラクション
とデータから成るマイクロインストラクション部4とを
有する。このテストパターン上のアドレス設定部2aで
集積回路6のアドレスを指定し、データ設定部2bでそ
のアドレスに書込むデータを設定し、PGM設定部3a
で書込みを行うか否かをプログラムする。また、マイク
ロインストラクション部4でメモリ1をコントロールす
る。即ち、マイクロインストラクション部4のピンエレ
コントロールでメモリ1のデータの入出力、また、タイ
ミング、インストラクションなどをプログラムしメモリ
1をコントロールする。
プログラムロード時に図示しない外部記憶装置からメモ
リ1にロードされる。このテストパターンは、詳しくは
図3に示すようにアドレス設定部2aとデータ設定部2
bとPGM設定部3aから成るテストパターン部と、ピ
ンエレコントロールとタイミングとインストラクション
とデータから成るマイクロインストラクション部4とを
有する。このテストパターン上のアドレス設定部2aで
集積回路6のアドレスを指定し、データ設定部2bでそ
のアドレスに書込むデータを設定し、PGM設定部3a
で書込みを行うか否かをプログラムする。また、マイク
ロインストラクション部4でメモリ1をコントロールす
る。即ち、マイクロインストラクション部4のピンエレ
コントロールでメモリ1のデータの入出力、また、タイ
ミング、インストラクションなどをプログラムしメモリ
1をコントロールする。
【0012】図1において、7は集積回路6に書込むべ
き全バイトに要する書込み回数を予め設定しておく監視
タイマ、8は監視タイマ7の設定値がカウントダウンさ
れ、「0」になった時に監視タイマ7から発生する割込
み信号を受けて集積回路6の良否を判定するテスタのC
PUである。3bはメモリ1のPGM設定部3aから出
力されるPGM印加信号(図4)で、書込みパルスに相
当する。また、メモリ1の内容を実行するサイクルとし
て、アドレス設定サイクル5a、データ設定サイクル5
b、書込みサイクル5c、及びベリファイサイクル5d
が設けられる。
き全バイトに要する書込み回数を予め設定しておく監視
タイマ、8は監視タイマ7の設定値がカウントダウンさ
れ、「0」になった時に監視タイマ7から発生する割込
み信号を受けて集積回路6の良否を判定するテスタのC
PUである。3bはメモリ1のPGM設定部3aから出
力されるPGM印加信号(図4)で、書込みパルスに相
当する。また、メモリ1の内容を実行するサイクルとし
て、アドレス設定サイクル5a、データ設定サイクル5
b、書込みサイクル5c、及びベリファイサイクル5d
が設けられる。
【0013】次にこの実施例1の動作について説明す
る。テストされる集積回路6はEPROMとする。図1
や図4に示すような4つのサイクル、即ちアドレス設定
サイクル5a、データ設定サイクル5b、書込みサイク
ル5c、及びベリファイサイクル5dにより1バイトの
書込みが集積回路6に対して行われる。ベリファイサイ
クル5dで判定がNGであれば、ジャンプ命令でラベル
Aに飛ぶサイクルを繰り返す。この書込みは、メモリ1
上のPGM設定部3aで設定された図4に示すような波
形のPGM印加信号3bを書込みパルスとして集積回路
6と監視タイマ7に与える。そのPGM印加信号3bを
監視タイマ7の入力クロックとし、例えばその立ち下が
りのエッジをカウントすることで、集積回路6へのデー
タ書込み中に監視タイマ7がカウントダウンできるよう
にする。監視タイマ7には、集積回路6に書込むべき全
バイトに要する書込み回数が設定値として予めロードさ
れている。このような状態で、集積回路6のテストが開
始し、監視タイマ7の設定値がカウントダウンしていく
が、そのテストが終了するまでに設定値が「0」になる
と、監視タイマ7はCPU8に対して割込み信号を発生
し、これによりCPU8は集積回路6を不良品と判定す
る。もし、集積回路6のテストが終了したときに監視タ
イマ7の設定値が「0」になったら、CPU8は集積回
路6を良品と判定する。
る。テストされる集積回路6はEPROMとする。図1
や図4に示すような4つのサイクル、即ちアドレス設定
サイクル5a、データ設定サイクル5b、書込みサイク
ル5c、及びベリファイサイクル5dにより1バイトの
書込みが集積回路6に対して行われる。ベリファイサイ
クル5dで判定がNGであれば、ジャンプ命令でラベル
Aに飛ぶサイクルを繰り返す。この書込みは、メモリ1
上のPGM設定部3aで設定された図4に示すような波
形のPGM印加信号3bを書込みパルスとして集積回路
6と監視タイマ7に与える。そのPGM印加信号3bを
監視タイマ7の入力クロックとし、例えばその立ち下が
りのエッジをカウントすることで、集積回路6へのデー
タ書込み中に監視タイマ7がカウントダウンできるよう
にする。監視タイマ7には、集積回路6に書込むべき全
バイトに要する書込み回数が設定値として予めロードさ
れている。このような状態で、集積回路6のテストが開
始し、監視タイマ7の設定値がカウントダウンしていく
が、そのテストが終了するまでに設定値が「0」になる
と、監視タイマ7はCPU8に対して割込み信号を発生
し、これによりCPU8は集積回路6を不良品と判定す
る。もし、集積回路6のテストが終了したときに監視タ
イマ7の設定値が「0」になったら、CPU8は集積回
路6を良品と判定する。
【0014】実施例2.(請求項1対応) 図5は実施例2の構成ブロック図である。図5におい
て、10はテストパターン発生手段としてのLPG(ロ
ジックパターンジェネレータ)、4はマイクロインスト
ラクション部、7は監視タイマ、8はテスタのCPU、
11はタイミンググループ設定部、12はピンエレコン
トロール設定部である。
て、10はテストパターン発生手段としてのLPG(ロ
ジックパターンジェネレータ)、4はマイクロインスト
ラクション部、7は監視タイマ、8はテスタのCPU、
11はタイミンググループ設定部、12はピンエレコン
トロール設定部である。
【0015】次にこの実施例2の動作について説明す
る。全体の動作については、実施例1で説明したので、
省略する。LPG10のマイクロインストラクション部
4からの信号により監視タイマ7を制御し、監視タイマ
7の予めロードしておいた設定値をカウントダウンし、
その設定値がテスト終了までに「0」になった場合、監
視タイマ7から発生する割込み信号によりテスタのCP
U8は図示しない被テスト集積回路を不良品と判定す
る。
る。全体の動作については、実施例1で説明したので、
省略する。LPG10のマイクロインストラクション部
4からの信号により監視タイマ7を制御し、監視タイマ
7の予めロードしておいた設定値をカウントダウンし、
その設定値がテスト終了までに「0」になった場合、監
視タイマ7から発生する割込み信号によりテスタのCP
U8は図示しない被テスト集積回路を不良品と判定す
る。
【0016】実施例3.(請求項2対応) なお、上記実施例1あるいは実施例2では集積回路に書
込むべき全バイトに要する書込み回数を予め監視タイマ
に設定しておき、集積回路のテストが開始し、発生する
書込みパルスにより監視タイマの設定値をカウントダウ
ンさせ、テスト終了までにその設定値が「0」になれ
ば、該集積回路を不良品と判定したが、実施例3とし
て、上記監視タイマに代わり比較手段を設け、集積回路
に書込むべき全バイトに要する書込み回数を比較手段に
予め設定しておき、集積回路のテストが開始し、発生す
る書込みパルスを比較手段でカウントしていき、テスト
終了までに、このカウント値が予め設定された書込み回
数をオーバしたとき、該集積回路を不良品と判定しても
よい。
込むべき全バイトに要する書込み回数を予め監視タイマ
に設定しておき、集積回路のテストが開始し、発生する
書込みパルスにより監視タイマの設定値をカウントダウ
ンさせ、テスト終了までにその設定値が「0」になれ
ば、該集積回路を不良品と判定したが、実施例3とし
て、上記監視タイマに代わり比較手段を設け、集積回路
に書込むべき全バイトに要する書込み回数を比較手段に
予め設定しておき、集積回路のテストが開始し、発生す
る書込みパルスを比較手段でカウントしていき、テスト
終了までに、このカウント値が予め設定された書込み回
数をオーバしたとき、該集積回路を不良品と判定しても
よい。
【0017】
【発明の効果】以上のように請求項1の発明によれば、
集積回路に書込むべき全バイトに要する書込み回数を予
め監視タイマに設定しておき、集積回路のテストが開始
すると、書込みパルスにより監視タイマの設定値をカウ
ントダウンし、テスト終了までに設定値が「0」になっ
たか否かを検出することにより集積回路の良否を判定す
るようにしたので、書込み時間が全バイトに渡って長い
ものを不良の集積回路として除外することができ、これ
により書込み時間を節約でき、したがってテスト時間が
短くなり、テスト効率が向上するという効果が得られ
る。
集積回路に書込むべき全バイトに要する書込み回数を予
め監視タイマに設定しておき、集積回路のテストが開始
すると、書込みパルスにより監視タイマの設定値をカウ
ントダウンし、テスト終了までに設定値が「0」になっ
たか否かを検出することにより集積回路の良否を判定す
るようにしたので、書込み時間が全バイトに渡って長い
ものを不良の集積回路として除外することができ、これ
により書込み時間を節約でき、したがってテスト時間が
短くなり、テスト効率が向上するという効果が得られ
る。
【0018】請求項2の発明によれば、集積回路のテス
トが開始すると、書込みパルスをカウントしていき、こ
のカウント値と予め設定された書込み回数とを比較し、
テスト終了までにカウント値が書込み回数をオーバする
か否かを検出することにより集積回路の良否を判定する
ようにしたので、この場合も上記と同様な効果が得られ
る。
トが開始すると、書込みパルスをカウントしていき、こ
のカウント値と予め設定された書込み回数とを比較し、
テスト終了までにカウント値が書込み回数をオーバする
か否かを検出することにより集積回路の良否を判定する
ようにしたので、この場合も上記と同様な効果が得られ
る。
【図1】この発明の集積回路テスト方法の実施例1の構
成ブロック図である。
成ブロック図である。
【図2】この実施例1においてメモリにロードされるテ
ストパターンの説明図である。
ストパターンの説明図である。
【図3】この実施例1におけるテストパターンの内容説
明図である。
明図である。
【図4】この実施例1におけるPGM印加信号の波形図
である。
である。
【図5】この発明の集積回路テスト方法の実施例2の構
成ブロック図である。
成ブロック図である。
【図6】従来の集積回路テスト方法を説明するためのフ
ローチャートである。
ローチャートである。
1 メモリ(テストパターン発生手段) 6 集積回路 7 監視タイマ 10 LPG(テストパターン発生手段)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/66 W 7352−4M
Claims (2)
- 【請求項1】 集積回路のテストを行うためのテストパ
ターンを発生するテストパターン発生手段を備え、上記
テストパターンにより上記集積回路のテストを行う集積
回路テスト方法において、上記集積回路に書込むべき全
バイトに要する書込み回数を予め監視タイマに設定して
おき、上記テストパターン発生手段よりテストパターン
を上記集積回路に与え、該集積回路のテストが開始する
と、上記テストパターン発生手段からのテストパターン
に含まれる書込みパルスにより、該監視タイマの設定値
をカウントダウンし、該集積回路のテストが終了するま
でに該監視タイマの設定値が「0」になったか否かを検
出することにより該集積回路の良否を判定することを特
徴とする集積回路テスト方法。 - 【請求項2】 集積回路のテストを行うためのテストパ
ターンを発生するテストパターン発生手段を備え、上記
テストパターンにより上記集積回路のテストを行う集積
回路テスト方法において、上記集積回路に書込むべき全
バイトに要する書込み回数を予め設定し、集積回路のテ
ストが開始すると、上記テストパターンに含まれる書込
みパルスをカウントしていき、このカウント値と上記予
め設定された書込み回数とを比較し、テスト終了までに
上記カウント値が上記書込み回数をオーバするか否かを
検出することにより該集積回路の良否を判定することを
特徴とする集積回路テスト方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4200281A JPH0620500A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | 集積回路テスト方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4200281A JPH0620500A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | 集積回路テスト方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0620500A true JPH0620500A (ja) | 1994-01-28 |
Family
ID=16421711
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP4200281A Pending JPH0620500A (ja) | 1992-07-03 | 1992-07-03 | 集積回路テスト方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0620500A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100316063B1 (ko) * | 1999-12-29 | 2001-12-12 | 박종섭 | 반도체 메모리모듈의 테스트장치 |
-
1992
- 1992-07-03 JP JP4200281A patent/JPH0620500A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100316063B1 (ko) * | 1999-12-29 | 2001-12-12 | 박종섭 | 반도체 메모리모듈의 테스트장치 |
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