JPH06204395A - Semiconductor device - Google Patents

Semiconductor device

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JPH06204395A
JPH06204395A JP4361319A JP36131992A JPH06204395A JP H06204395 A JPH06204395 A JP H06204395A JP 4361319 A JP4361319 A JP 4361319A JP 36131992 A JP36131992 A JP 36131992A JP H06204395 A JPH06204395 A JP H06204395A
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JP
Japan
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lsi
wiring
chip
semiconductor device
chips
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Application number
JP4361319A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshito Muraishi
嘉人 村石
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JFE Steel Corp
Original Assignee
Kawasaki Steel Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Kawasaki Steel Corp filed Critical Kawasaki Steel Corp
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Publication of JPH06204395A publication Critical patent/JPH06204395A/en
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/18High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L24/23Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process
    • H01L24/24Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process of an individual high density interconnect connector
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/01Means for bonding being attached to, or being formed on, the surface to be connected, e.g. chip-to-package, die-attach, "first-level" interconnects; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/18High density interconnect [HDI] connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/23Structure, shape, material or disposition of the high density interconnect connectors after the connecting process
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    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
    • H01L2224/4805Shape
    • H01L2224/4809Loop shape
    • H01L2224/48091Arched

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
  • Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)

Abstract

PURPOSE:To increase circuit speed of the entire system of a semiconductor device, reduce power consumption, miniaturize the system, increase density, improve ease of manufacture, and reduce manufacturing cost. CONSTITUTION:In a semiconductor device where a plurality of LSI chips 14 are mounted on a substrate 12, the LSI chips 14 are laid out via a spacing 16 in vertical direction and a spacing 18 in horizontal direction, a fixed wiring LSI chip 20 which is not affected by a custom part is laid out at the spacing, a wiring customizing LSI chip 22 corresponding to customization is laid out at the cross part of the vertical and horizontal spacings 16 and 18, and the LSI chips 14 are connected via these.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は基板上に複数のLSI
チップを搭載してなる半導体装置に関する。
This invention relates to a plurality of LSIs on a substrate.
The present invention relates to a semiconductor device mounted with a chip.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、図10に示されるように、マルチ
チップモジュールと称される、複数のLSIチップ1を
シリコン基板2上に搭載し、このシリコン基板2を更に
セラミック基板3上に搭載した半導体装置がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, as shown in FIG. 10, a plurality of LSI chips 1 called a multi-chip module are mounted on a silicon substrate 2, and the silicon substrate 2 is further mounted on a ceramic substrate 3. There is a semiconductor device.

【0003】この半導体装置において、前記複数のLS
Iチップは、シリコン基板2上に形成されたアルミ配線
パターン(図示省略)にワイヤボンディングされ、更に
該アルミ配線パターンは外部にワイヤボンディングされ
ている。
In this semiconductor device, the plurality of LS
The I chip is wire-bonded to an aluminum wiring pattern (not shown) formed on the silicon substrate 2, and the aluminum wiring pattern is wire-bonded to the outside.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の半導体装置
は、シリコン基板2上で太いアルミ配線を引き回してい
るために、LSIチップ1間の抵抗容量が大きくなり、
結果として消費電力の増大、処理速度の低下、コストの
増大をもたらすという問題点がある。又、これらが、半
導体装置の、高密度化と超大規模化を妨げていた。
In the above conventional semiconductor device, since the thick aluminum wiring is laid on the silicon substrate 2, the resistance capacitance between the LSI chips 1 becomes large,
As a result, there are problems that power consumption increases, processing speed decreases, and cost increases. Further, these have hindered the increase in density and super-scale of semiconductor devices.

【0005】この発明は上記従来の問題点に鑑みて成さ
れたものであって、LSIチップ間をアルミ配線を長く
引き回したりすることなく、ほぼ直結に近い状態で結線
し、処理速度の高速化、消費電力の低下、装置の小型
化、更には回路の高密度化及び超大規模化を図ることが
できるようにした半導体装置を提供することを目的とす
る。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art. The aluminum wiring is not extended between the LSI chips for a long time, and the wiring is almost directly connected to increase the processing speed. It is an object of the present invention to provide a semiconductor device capable of reducing the power consumption, downsizing the device, and increasing the circuit density and the ultra-large scale.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】この発明は、基板上に複
数のLSIチップを載置し、各LSIチップ相互を接続
する半導体装置において、LSIチップ間に、共通配線
用LSIチップと、配線用カストマイズLSIチップと
を隣接して配置し、これらを介して、各LSIチップ間
を結線したことを特徴とする半導体装置により、上記目
的を達成するものである。
SUMMARY OF THE INVENTION According to the present invention, in a semiconductor device in which a plurality of LSI chips are mounted on a substrate and each LSI chip is connected to each other, a common wiring LSI chip and a wiring LSI chip are provided between the LSI chips. The above object is achieved by a semiconductor device characterized in that a customized LSI chip is arranged adjacent to each other, and the LSI chips are connected via these.

【0007】又、前記複数のLSIチップは、縦横方向
に間隙をおいて配置され、前記共通配線用LSIチップ
は隣接するLSIチップ間の間隙に、又、前記配線用カ
ストマイズLSIチップは、縦横の間隙の交差部に、そ
れぞれ配置されるようにしてもよい。
Further, the plurality of LSI chips are arranged with a space in the vertical and horizontal directions, the common wiring LSI chip is arranged in a space between adjacent LSI chips, and the wiring customized LSI chip is arranged in the vertical and horizontal directions. They may be arranged at the intersections of the gaps.

【0008】更に、前記共通配線用LSIチップと配線
用カストマイズチップは、隣接するLSIの間の同一の
間隙内に配置されるようにしてもよい。
Further, the common wiring LSI chip and the wiring customizing chip may be arranged in the same gap between adjacent LSIs.

【0009】又、前記LSIチップ、共通配線用LSI
チップ及び配線用カストマイズチップは、相互に配線端
部が接近するようにほぼ接触して配置され、各配線端部
間で結線されるようにしてもよい。
Further, the LSI chip, common wiring LSI
The chip and the wiring customizing chip may be arranged so as to be substantially in contact with each other so that the wiring end portions are close to each other, and may be connected between the respective wiring end portions.

【0010】[0010]

【作用及び効果】この発明においては、基板上の複数の
LSIチップが、隣接して配置された共通配線用LSI
チップと配線カストマイズLSIチップを介して結線さ
れているので、アルミ配線を引き回したりすることな
く、且つ少ない抵抗容量で、更には、低コストで迅速に
結線することができる。
According to the present invention, a common wiring LSI in which a plurality of LSI chips on a substrate are arranged adjacent to each other
Since the wiring is connected via the chip and the wiring customized LSI chip, it is possible to quickly connect the wiring without arranging the aluminum wiring, with a small resistance capacity, and at low cost.

【0011】従って、処理速度の高速化、消費電力の低
減及び装置の小型化を図ることができると共に、回路の
高密度化、及び超大規模化を容易に達成することができ
る。
Therefore, the processing speed can be increased, the power consumption can be reduced, and the apparatus can be downsized, and the circuit can be easily densified and super-scaled.

【0012】請求項2によれば、共通部分が共通配線用
LSIチップを介して、又特注部分は配線用カストマイ
ズLSIチップを介してそれぞれ接続され、又、共通配
線用LSIチップは隣接するLSIチップ間の間隙に、
配線用カストマイズLSIチップは縦横の間隙の交差部
にそれぞれ配置されているので、共通部分と特注部分の
チップの組合せを最も低コストで達成することができ
る。
According to the second aspect, the common portion is connected via the common wiring LSI chip, the custom-made portion is connected via the wiring customized LSI chip, and the common wiring LSI chip is adjacent to the LSI chip. In the gap between
Since the wiring customized LSI chips are arranged at the intersections of the vertical and horizontal gaps respectively, the combination of the common portion and the custom-made portion can be achieved at the lowest cost.

【0013】請求項3によればLSIチップが少数の場
合も、共通部分と特注部分を最適に組合せることができ
る。
According to the third aspect, even when the number of LSI chips is small, the common part and the custom-made part can be optimally combined.

【0014】請求項4によれば、ワイヤボンディング等
の結線距離を最も短くすることができる。
According to the fourth aspect, the connection distance for wire bonding or the like can be minimized.

【0015】[0015]

【実施例】以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0016】図1に示されるように、この実施例に係る
半導体装置10は、基板12上に6個のLSIチップ1
4を縦方向間隙16及び横方向間隙18を介して碁盤目
状に配置すると共に、各LSIチップ14間の縦方向間
隙16及び横方向間隙18には、隣接するLSIチップ
14にほぼ接触するようにして(間隙を埋めるようにし
て)固定配線LSIチップ20を配置し、且つ前記縦方
向間隙16と横方向間隙18の交差部には、配線カスト
マイズLSIチップ22をそれぞれ配置し、これら固定
配線LSIチップと配線カストマイズLSIチップ22
を介して、6個のLSIチップ14を相互に結線したも
のである。
As shown in FIG. 1, a semiconductor device 10 according to this embodiment has six LSI chips 1 on a substrate 12.
4 are arranged in a checkerboard pattern with a vertical gap 16 and a horizontal gap 18 therebetween, and the vertical gaps 16 and the horizontal gaps 18 between the respective LSI chips 14 are arranged so as to almost contact the adjacent LSI chips 14. Fixed wiring LSI chips 20 are arranged (to fill the gap), and wiring customized LSI chips 22 are arranged at the intersections of the vertical gaps 16 and the horizontal gaps 18, respectively. Chip and wiring Customized LSI chip 22
The six LSI chips 14 are connected to each other via the.

【0017】ここで、前記固定配線LSIチップ20
は、この半導体装置10の特注部分を除いた共通部分を
構成するものであり、配線カストマイズLSIチップ2
2は、この部分を変更することによって半導体装置10
全体をカストマイズLSIとする特注部分に対応してい
る。
Here, the fixed wiring LSI chip 20 is used.
Defines a common part of the semiconductor device 10 excluding a custom-ordered part, and the wiring customized LSI chip 2
2 changes the semiconductor device 10 by changing this part.
Corresponds to the custom-made part where the whole is customized LSI.

【0018】前記LSIチップ14、固定配線LSIチ
ップ20及び配線カストマイズLSIチップ22それぞ
れのボンディングパッド14A、20A、22Aは、図
2に拡大して示されるように、結線される部分が隣接対
向するように配置されている。
The bonding pads 14A, 20A and 22A of the LSI chip 14, the fixed wiring LSI chip 20 and the wiring customized LSI chip 22 are arranged so that the connected portions are adjacent and facing each other, as shown in an enlarged view in FIG. It is located in.

【0019】前記ボンディングパッド14A、20A、
22A相互の結線は、図3に拡大して示されるように、
隣接するLSIチップの端面を跨ぐようにしてアルミニ
ウム蒸着層等の配線層24を形成したり、あるいはワイ
ヤボンディング、半田等によって結線する。アルミニウ
ム蒸着層を形成する場合は、固定マスクによって行う。
The bonding pads 14A, 20A,
22A mutual connection, as shown in an enlarged view in FIG.
A wiring layer 24 such as an aluminum vapor deposition layer is formed so as to straddle the end faces of adjacent LSI chips, or wiring is performed by wire bonding, soldering, or the like. A fixed mask is used to form the aluminum vapor deposition layer.

【0020】前記LSIチップ14、固定配線LSIチ
ップ20、配線カストマイズLSIチップ22相互間に
隙間があっても、図4に示されるように、蒸着の際に、
これらLSIチップの対向する角部が溶けて隙間を埋め
るので、配線層24は確実に隣接するLSIチップ間を
結線することができる。
Even if there is a gap between the LSI chip 14, the fixed wiring LSI chip 20, and the wiring customized LSI chip 22, as shown in FIG.
Since the opposite corners of these LSI chips are melted to fill the gap, the wiring layer 24 can reliably connect the adjacent LSI chips.

【0021】図1の符号26は基板12から外部に出る
ピンを示し、前記LSIチップ14の対応するボンディ
ングパッド14Bは、ピン26にワイヤボンディングさ
れている。ここで、前記LSIチップ14を固定配線L
SIチップ20に接続するためのボンディングパッド1
4Aは、図5に示されるように、小さいI/Oバッファ
28を介して設けられているのに対して、前記ピン26
に接続されるボンディングパッド14Bは大きいI/O
バッファ30を介して配置されている。
Reference numeral 26 in FIG. 1 denotes a pin which is exposed from the substrate 12, and the corresponding bonding pad 14B of the LSI chip 14 is wire-bonded to the pin 26. Here, the LSI chip 14 is connected to the fixed wiring L
Bonding pad 1 for connecting to SI chip 20
4A is provided via a small I / O buffer 28, as shown in FIG.
Bonding pad 14B connected to is large I / O
It is arranged via the buffer 30.

【0022】この実施例においては、LSIチップ14
を全て固定配線LSIチップ20と配線カストマイズL
SIチップ22を介して結線しているので、半導体装置
10全体の回路速度の高速化と消費電力の低減、システ
ムの小型化、高密度化を図ることができる。
In this embodiment, the LSI chip 14
Fixed wiring LSI chip 20 and wiring customization L
Since the connection is made through the SI chip 22, the circuit speed of the entire semiconductor device 10 can be increased, the power consumption can be reduced, the system can be downsized, and the density can be increased.

【0023】又、特注部分を除いた結線を固定配線LS
Iチップ20で行い、変更のある部分は固定配線LSI
チップ20間の結線を変更する配線カストマイズLSI
チップ22を介して結線しているので、超大規模回路の
製造が容易であり、且つ製造コストの低減を図ることが
できる。
Also, the connection except the custom-made part is fixed wiring LS.
Fixed chip LSI with I chip 20 and changes
Wiring customized LSI for changing the connection between chips 20
Since the wires are connected via the chip 22, it is easy to manufacture an ultra-large-scale circuit and the manufacturing cost can be reduced.

【0024】上記実施例は、6個のLSIチップ14を
搭載した半導体装置10に関するものであるが、本発明
はこれに限定されるものでなく、2以上のLSIチップ
を搭載するものであればよい。
The above embodiment relates to the semiconductor device 10 having six LSI chips 14 mounted thereon, but the present invention is not limited to this, and any device having two or more LSI chips mounted thereon can be used. Good.

【0025】従って、例えば図6に示されるように、9
個のLSIチップ14を備えた半導体装置10Aであっ
てもよく、又、図7に示されるように、2個のLSIチ
ップ14を備えた半導体装置10Bであってもよい。
Therefore, for example, as shown in FIG.
The semiconductor device 10A may be provided with one LSI chip 14 or may be the semiconductor device 10B provided with two LSI chips 14 as shown in FIG.

【0026】図7の半導体装置10Bにおいては、2つ
のLSIチップ14間に固定配線LSIチップ20と配
線カストマイズLSIチップ22を配置する。
In the semiconductor device 10B of FIG. 7, a fixed wiring LSI chip 20 and a wiring customized LSI chip 22 are arranged between two LSI chips 14.

【0027】この場合、配線カストマイズLSIチップ
22は、前記図1の実施例の場合と相違して、LSIチ
ップ14に直接結線されるようにしてもよい。
In this case, the wiring customized LSI chip 22 may be directly connected to the LSI chip 14 unlike the case of the embodiment shown in FIG.

【0028】又、図8に示されるように、異なるサイズ
のLSIチップ15を組合せるようにしてもよい。
Further, as shown in FIG. 8, LSI chips 15 of different sizes may be combined.

【0029】この場合、小さいLSIチップ15とLS
Iチップ14との間の大きな領域は、大きさ可変の固定
配線LSIチップ21を配置するとよい。
In this case, the small LSI chip 15 and the LS
A fixed wiring LSI chip 21 having a variable size may be arranged in a large area between the I chip 14 and the I chip 14.

【0030】更に、図9に示される半導体装置10Dの
ように、フィールドプログラマブルゲートアレイ(FP
GA)32をLSIチップ及び配線カストマイズチップ
の代りとし、固定配線LSIチップ34と交互に配置し
てもよい。
Further, as in the semiconductor device 10D shown in FIG. 9, a field programmable gate array (FP
Instead of the LSI chip and the wiring customization chip, the GA) 32 may be arranged alternately with the fixed wiring LSI chip 34.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る半導体装置の実施例を示す平面図FIG. 1 is a plan view showing an embodiment of a semiconductor device according to the present invention.

【図2】同実施例装置の結線前のボンディングパッドの
配置状態を拡大して示す平面図
FIG. 2 is an enlarged plan view showing an arrangement state of bonding pads before connection in the apparatus of the embodiment.

【図3】同実施例の結線後の状態を示す図2と同様の平
面図
FIG. 3 is a plan view similar to FIG. 2 showing a state after connection of the embodiment.

【図4】同実施例の配線層部分を拡大して示す断面図FIG. 4 is an enlarged sectional view showing a wiring layer portion of the embodiment.

【図5】同実施例のI/Oバッファの配置状態を拡大し
て示す平面図
FIG. 5 is an enlarged plan view showing an arrangement state of I / O buffers of the embodiment.

【図6】本発明の第2実施例に係る半導体装置を示す平
面図
FIG. 6 is a plan view showing a semiconductor device according to a second embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第3実施例に係る半導体装置を示す平
面図
FIG. 7 is a plan view showing a semiconductor device according to a third embodiment of the present invention.

【図8】本発明の第4実施例に係る半導体装置を示す平
面図
FIG. 8 is a plan view showing a semiconductor device according to a fourth embodiment of the present invention.

【図9】本発明の第5実施例に係る半導体装置を示す平
面図
FIG. 9 is a plan view showing a semiconductor device according to a fifth embodiment of the present invention.

【図10】従来のマルチチップモジュールを示す側面図FIG. 10 is a side view showing a conventional multi-chip module.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10、10A、10B、10C、10D…半導体装置 12…基板 14、15…LSIチップ 16…縦方向間隙 18…横方向間隙 20、21…固定配線LSIチップ 22…配線カストマイズLSIチップ 24…配線層 32…FPGA 10, 10A, 10B, 10C, 10D ... Semiconductor device 12 ... Substrate 14, 15 ... LSI chip 16 ... Vertical gap 18 ... Horizontal gap 20, 21 ... Fixed wiring LSI chip 22 ... Wiring customized LSI chip 24 ... Wiring layer 32 … FPGA

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.5 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 27/04 D 8427−4M ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 5 Identification code Internal reference number FI technical display location H01L 27/04 D 8427-4M

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板上に複数のLSIチップを載置し、各
LSIチップ相互を接続する半導体装置において、LS
Iチップ間に、共通配線用LSIチップと、配線用カス
トマイズLSIチップとを隣接して配置し、これらを介
して、各LSIチップ間を結線したことを特徴とする半
導体装置。
1. A semiconductor device in which a plurality of LSI chips are mounted on a substrate and the respective LSI chips are connected to each other.
A semiconductor device characterized in that a common wiring LSI chip and a wiring customized LSI chip are arranged adjacent to each other between I chips, and the respective LSI chips are connected via these.
【請求項2】請求項1において、前記複数のLSIチッ
プは、縦横方向に間隙をおいて配置され、前記共通配線
用LSIチップは隣接するLSIチップ間の間隙に、
又、前記配線用カストマイズLSIチップは、縦横の間
隙の交差部に、それぞれ配置されたことを特徴とする半
導体装置。
2. The plurality of LSI chips are arranged with a gap in the vertical and horizontal directions, and the common wiring LSI chip is placed in a gap between adjacent LSI chips.
In addition, the wiring customized LSI chip is arranged at an intersection of vertical and horizontal gaps, respectively.
【請求項3】請求項1において、前記共通配線用LSI
チップと配線用カストマイズチップは、隣接するLSI
の間の同一の間隙内に配置されたことを特徴とする半導
体装置。
3. The common wiring LSI according to claim 1.
Chip and wiring customized chip are adjacent LSI
A semiconductor device, wherein the semiconductor device is arranged in the same gap between the two.
【請求項4】請求項1、2又は3において、前記LSI
チップ、共通配線用LSIチップ及び配線用カストマイ
ズチップは、相互に配線端部が接近するようにほぼ接触
して配置され、各配線端部間で結線されたことを特徴と
する半導体装置。
4. The LSI according to claim 1, 2 or 3.
A semiconductor device characterized in that a chip, a common wiring LSI chip, and a wiring customizing chip are arranged so as to be in contact with each other so that their wiring end portions are close to each other, and are connected between the respective wiring end portions.
JP4361319A 1992-12-29 1992-12-29 Semiconductor device Pending JPH06204395A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP4361319A JPH06204395A (en) 1992-12-29 1992-12-29 Semiconductor device

Applications Claiming Priority (1)

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JP4361319A JPH06204395A (en) 1992-12-29 1992-12-29 Semiconductor device

Publications (1)

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ID=18473092

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP4361319A Pending JPH06204395A (en) 1992-12-29 1992-12-29 Semiconductor device

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JP (1) JPH06204395A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7148503B2 (en) 2000-10-05 2006-12-12 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor device, function setting method thereof, and evaluation method thereof

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US7148503B2 (en) 2000-10-05 2006-12-12 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Semiconductor device, function setting method thereof, and evaluation method thereof

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