JPH0620124Y2 - ガス分析計のサンプリング装置 - Google Patents
ガス分析計のサンプリング装置Info
- Publication number
- JPH0620124Y2 JPH0620124Y2 JP1985146071U JP14607185U JPH0620124Y2 JP H0620124 Y2 JPH0620124 Y2 JP H0620124Y2 JP 1985146071 U JP1985146071 U JP 1985146071U JP 14607185 U JP14607185 U JP 14607185U JP H0620124 Y2 JPH0620124 Y2 JP H0620124Y2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gas
- scrubber
- comparative
- gas line
- sampling device
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Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、ガス分析計のサンプリング装置に関する。
半導体の製造においては、窒素、アルゴン、キセノン等
の不活性ガスが用いられるが、これらのガス中にＣＯ等
不純物が混入していると、半導体の製造に支障を来すた
め、そのＣＯが含まれている場合にはこれを除去するた
めに、例えば比較測定式のガス分析計を用いて不活性ガ
ス中に含まれるＣＯの濃度が測定される。
の不活性ガスが用いられるが、これらのガス中にＣＯ等
不純物が混入していると、半導体の製造に支障を来すた
め、そのＣＯが含まれている場合にはこれを除去するた
めに、例えば比較測定式のガス分析計を用いて不活性ガ
ス中に含まれるＣＯの濃度が測定される。
この比較測定式のガス分析計で使用される比較ガスは次
の２通りの方法で得ることができる。
の２通りの方法で得ることができる。
試料ガスラインを分岐させて比較ガスラインを設け、
その比較ガスライン中に吸着剤又は酸化剤等を充填した
スクラバーを配置し、そのスクラバーにより測定対象成
分（この場合ＣＯ）と同一の成分を吸着させるか酸化さ
せることにより除去したものを比較ガスとする。
その比較ガスライン中に吸着剤又は酸化剤等を充填した
スクラバーを配置し、そのスクラバーにより測定対象成
分（この場合ＣＯ）と同一の成分を吸着させるか酸化さ
せることにより除去したものを比較ガスとする。
大気を比較ガスとした比較ガスライン中に吸着剤等を
充填したスクラバーを設け、そのスクラバーにより比較
ガス中に含まれる試料ガス中の測定対象成分と同一の成
分を除去したものを比較ガスとする。
充填したスクラバーを設け、そのスクラバーにより比較
ガス中に含まれる試料ガス中の測定対象成分と同一の成
分を除去したものを比較ガスとする。
〔考案が解決しようとする問題点〕 しかし、上記の場合においては、試料ガス中に含まれ
ている測定対象成分をそのままスクラバーに導入するの
で吸着剤又は酸化剤の消耗が甚だしいという難点があ
る。この点についてはの場合においても大気をそのま
まスクラバーに導入するので同様である。
ている測定対象成分をそのままスクラバーに導入するの
で吸着剤又は酸化剤の消耗が甚だしいという難点があ
る。この点についてはの場合においても大気をそのま
まスクラバーに導入するので同様である。
本考案は、このような実情に鑑みてなされ、測定成分と
同一の成分を除去するスクラバーの寿命を長くすること
ができる簡単な構成のガス分析計のサンプリング装置を
提供することを課題としている。
同一の成分を除去するスクラバーの寿命を長くすること
ができる簡単な構成のガス分析計のサンプリング装置を
提供することを課題としている。
本考案は、上述の課題を解決するための手段を以下のよ
うに構成している。
うに構成している。
すなわち、比較ガスラインと試料ガスラインとに接続さ
れた比較測定式のガス分析計のサンプリング装置にあっ
て、前記比較ガスラインには測定対象成分と同一の成分
を除去するためのスクラバーが設けられ、かつ前記ガス
分析計からの排ガスを前記スクラバーの上流側の比較ガ
スラインにフィードバックさせるように構成したことを
特徴としている。
れた比較測定式のガス分析計のサンプリング装置にあっ
て、前記比較ガスラインには測定対象成分と同一の成分
を除去するためのスクラバーが設けられ、かつ前記ガス
分析計からの排ガスを前記スクラバーの上流側の比較ガ
スラインにフィードバックさせるように構成したことを
特徴としている。
分析計の排ガスは試料ガスと比較ガスが混在した状態で
あり測定対象成分は試料ガス中の同成分濃度の約1/2と
なっており、そのガスがスクラバーに還流される。つま
り、スクラバーの上流側には、測定対象成分と同一成分
が半減した排ガスが還流されるので、そのスクラバーに
導入される比較ガス中の測定対象成分の濃度が低下して
いる。よって、その低下分につきスクラバーの処理反応
が不要となり、その寿命を長くすることができる。
あり測定対象成分は試料ガス中の同成分濃度の約1/2と
なっており、そのガスがスクラバーに還流される。つま
り、スクラバーの上流側には、測定対象成分と同一成分
が半減した排ガスが還流されるので、そのスクラバーに
導入される比較ガス中の測定対象成分の濃度が低下して
いる。よって、その低下分につきスクラバーの処理反応
が不要となり、その寿命を長くすることができる。
以下、本考案の実施例を図面に基づいて説明する。
第１図は本考案を純粋窒素中の不純物であるＣＯ成分の
定量に適用した例を示し、符号10は測定セルと比較セル
を有するガス分析計で、試料ガスライン20とその試料ガ
スライン20から分岐した比較ガスライン30に接続されて
いる。
定量に適用した例を示し、符号10は測定セルと比較セル
を有するガス分析計で、試料ガスライン20とその試料ガ
スライン20から分岐した比較ガスライン30に接続されて
いる。
前記試料ガスライン20の上流端は、試料ガスＳＧとして
の窒素ガスを供給するための窒素ガスラインにバルブ等
を介して接続されており、比較ガスライン30との分岐点
Ｃより下流側に、順次、フィルタ21、ポンプ22、調圧器
23、キャピラリ24等が設けられている。
の窒素ガスを供給するための窒素ガスラインにバルブ等
を介して接続されており、比較ガスライン30との分岐点
Ｃより下流側に、順次、フィルタ21、ポンプ22、調圧器
23、キャピラリ24等が設けられている。
一方、比較ガスライン30には、上流側から順次、フィル
タ31、ポンプ32、スクラバー33、調圧器34、キャピラリ
35等が設けられている。
タ31、ポンプ32、スクラバー33、調圧器34、キャピラリ
35等が設けられている。
そして、ガス分析計10の下流側に分岐点Ａを設けるとと
もに、比較ガスライン30中のフィルタ31とポンプ32との
間に分岐点Ｂを設け、両分岐点Ａ，Ｂ間をガスフィード
バックライン40で接続している。つまり、ガス分析計10
からの排ガスをスクラバー33の上流側の比較ガスライン
30にフィードバックさせるように構成している。なお、
符号41はガス流量の測定と流量調整をおこなうガス流量
測定・制御手段である。
もに、比較ガスライン30中のフィルタ31とポンプ32との
間に分岐点Ｂを設け、両分岐点Ａ，Ｂ間をガスフィード
バックライン40で接続している。つまり、ガス分析計10
からの排ガスをスクラバー33の上流側の比較ガスライン
30にフィードバックさせるように構成している。なお、
符号41はガス流量の測定と流量調整をおこなうガス流量
測定・制御手段である。
上述のスクラバー33は酸化剤を充填したカラムよりな
り、比較ガスライン30を流過する比較ガス中に含まれる
ＣＯ（測定対象成分と同一成分）を酸化してこれを除去
するもので、これによりガス分析計10で試料ガスＳＧを
ＣＯ成分が除去された比較ガスと比較することにより試
料ガスＳＧ中のＣＯ成分を定量することができるのであ
る。
り、比較ガスライン30を流過する比較ガス中に含まれる
ＣＯ（測定対象成分と同一成分）を酸化してこれを除去
するもので、これによりガス分析計10で試料ガスＳＧを
ＣＯ成分が除去された比較ガスと比較することにより試
料ガスＳＧ中のＣＯ成分を定量することができるのであ
る。
以上のような構成によれば、そのガス分析計10から排出
される排ガスをフィードバックライン40によってスクラ
バー33の上流側の比較ガスライン30に還流させることに
より、そのスクラバー33に導入される比較ガスのＣＯ濃
度を試料ガスＳＧ中のＣＯ濃度よりも大幅に低下させる
ことができるので、その低下分だけスクラバー33の酸化
作用が不要となり、スクラバー33の寿命を長くすること
ができる。つまり、スクラバー33に導入される比較ガス
のＣＯ濃度を試料ガスＳＧのＣＯ濃度の１／Ｎとなるよ
うに排ガス還流量を設定すれば、スクラバー33の酸化作
用が１／Ｎでよく、スクラバー33の寿命は排ガスを還流
させない場合のＮ倍になる。なお、スクラバー33の寿命
は略２倍近くまで延長させることが確認されている。
される排ガスをフィードバックライン40によってスクラ
バー33の上流側の比較ガスライン30に還流させることに
より、そのスクラバー33に導入される比較ガスのＣＯ濃
度を試料ガスＳＧ中のＣＯ濃度よりも大幅に低下させる
ことができるので、その低下分だけスクラバー33の酸化
作用が不要となり、スクラバー33の寿命を長くすること
ができる。つまり、スクラバー33に導入される比較ガス
のＣＯ濃度を試料ガスＳＧのＣＯ濃度の１／Ｎとなるよ
うに排ガス還流量を設定すれば、スクラバー33の酸化作
用が１／Ｎでよく、スクラバー33の寿命は排ガスを還流
させない場合のＮ倍になる。なお、スクラバー33の寿命
は略２倍近くまで延長させることが確認されている。
図２は異なる実施例を示し、比較ガスライン30に大気を
導入してこれを比較ガスとしたものである。この場合に
もガス分析計10からのドライな排ガスを酸化触媒を充填
したスクラバー33の上流側の比較ガスライン30に還流さ
せることにより、スクラバー33に導入される比較ガスの
ＣＯ濃度を大気のＣＯ濃度よりも大幅に低下させること
ができるため、前実施例と同様に、スクラバー33の寿命
を長くすることができる利点がある。
導入してこれを比較ガスとしたものである。この場合に
もガス分析計10からのドライな排ガスを酸化触媒を充填
したスクラバー33の上流側の比較ガスライン30に還流さ
せることにより、スクラバー33に導入される比較ガスの
ＣＯ濃度を大気のＣＯ濃度よりも大幅に低下させること
ができるため、前実施例と同様に、スクラバー33の寿命
を長くすることができる利点がある。
なお、上述の実施例では、窒素中のＣＯ濃度を測定する
場合であるので、比較ガスライン30を流れるガス中のＣ
Ｏを酸化させてＣＯ2にするため、フィルタ31を経て大
気を比較ガスライン30に導入するようにしていたが、窒
素中のＣＯ2を測定する場合には、前記大気を導入する
には及ばない。
場合であるので、比較ガスライン30を流れるガス中のＣ
Ｏを酸化させてＣＯ2にするため、フィルタ31を経て大
気を比較ガスライン30に導入するようにしていたが、窒
素中のＣＯ2を測定する場合には、前記大気を導入する
には及ばない。
また、このサンプリング装置は、アルゴン、キセノン等
他の不活性ガスにおけるＣＯ等不純物の測定にも利用す
ることができるし、そのスクラバー33は上述の酸化触媒
の他、還元触媒や特定の成分を吸収する吸着剤であって
も良いことはいうまでもない。
他の不活性ガスにおけるＣＯ等不純物の測定にも利用す
ることができるし、そのスクラバー33は上述の酸化触媒
の他、還元触媒や特定の成分を吸収する吸着剤であって
も良いことはいうまでもない。
以上説明したように、本考案のガス分析計のサンプリン
グ装置によれば、比較ガスラインに、測定対象成分と同
一の成分を除去するためのスクラバーを設け、かつ前記
ガス分析計からの排ガスを前記スクラバーの上流側の比
較ガスラインにフィードバックさせるようにしたので、
そのスクラバーに導入される比較ガス中の除去されるべ
き測定対象成分と同一の成分の濃度を減じることがで
き、これにより、そのスクラバーの寿命を格段に長くす
ることができる。
グ装置によれば、比較ガスラインに、測定対象成分と同
一の成分を除去するためのスクラバーを設け、かつ前記
ガス分析計からの排ガスを前記スクラバーの上流側の比
較ガスラインにフィードバックさせるようにしたので、
そのスクラバーに導入される比較ガス中の除去されるべ
き測定対象成分と同一の成分の濃度を減じることがで
き、これにより、そのスクラバーの寿命を格段に長くす
ることができる。
第１図は本考案のガス分析計のサンプリング装置の一実
施例における回路構成図、第２図は異なる実施例におけ
る回路構成図である。 10…ガス分析計、20…試料ガスライン、30…比較ガスラ
イン、33…スクラバー。
施例における回路構成図、第２図は異なる実施例におけ
る回路構成図である。 10…ガス分析計、20…試料ガスライン、30…比較ガスラ
イン、33…スクラバー。
フロントページの続き (72)考案者 筒井 龍秀 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)考案者 今木 隆雄 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (72)考案者 矢田 隆章 京都府京都市南区吉祥院宮の東町２番地 株式会社堀場製作所内 (56)参考文献 特開 昭56−101534（ＪＰ，Ａ) 特開 昭58−15138（ＪＰ，Ａ)
Claims (1)
- 【請求項１】比較ガスラインと試料ガスラインとに接続
された比較測定式のガス分析計のサンプリング装置にお
いて、前記比較ガスラインには測定対象成分と同一の成
分を除去するためのスクラバーが設けられ、かつ前記ガ
ス分析計からの排ガスを前記スクラバーの上流側の比較
ガスラインにフィードバックさせるように構成したこと
を特徴とするガス分析計のサンプリング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985146071U JPH0620124Y2 (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | ガス分析計のサンプリング装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1985146071U JPH0620124Y2 (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | ガス分析計のサンプリング装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6253343U JPS6253343U (ja) | 1987-04-02 |
| JPH0620124Y2 true JPH0620124Y2 (ja) | 1994-05-25 |
Family
ID=31058196
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1985146071U Expired - Lifetime JPH0620124Y2 (ja) | 1985-09-24 | 1985-09-24 | ガス分析計のサンプリング装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0620124Y2 (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP5289837B2 (ja) * | 2008-06-30 | 2013-09-11 | 日本光電工業株式会社 | 生体由来ガス成分分析装置及び疾病判定支援装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56101534A (en) * | 1980-01-18 | 1981-08-14 | Horiba Ltd | Dehumidifier in gas analyzing device |
| JPS5815138A (ja) * | 1981-07-21 | 1983-01-28 | Fuji Electric Co Ltd | ガス分析装置 |
-
1985
- 1985-09-24 JP JP1985146071U patent/JPH0620124Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6253343U (ja) | 1987-04-02 |
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