JPH061946U - Gas fast switching valve - Google Patents
Gas fast switching valveInfo
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- JPH061946U JPH061946U JP4602692U JP4602692U JPH061946U JP H061946 U JPH061946 U JP H061946U JP 4602692 U JP4602692 U JP 4602692U JP 4602692 U JP4602692 U JP 4602692U JP H061946 U JPH061946 U JP H061946U
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- gas
- valve
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- valve box
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 弁箱の内容積及びデッドスペースを小さくし
てガス置換性を向上すると共にクリーンルーム内での配
管スペースを小さくし，さらにガスパージの際の２つの
弁の開閉の切換を同時に高速で行えるようにする。
【構成】 両側に空間２１，２１′を有する断面Ｈ型短
管状の弁箱２０の中間外周にガス流入通路２２，２２′
を対向して設け，その出口を互いに反対方向に弁箱の軸
線と平行に屈曲して両側の空間に開口する。弁箱の軸中
心部にガス通路２３を穿設してその両端を両側の空間に
開口すると共に，ガス通路の中間にガス流出通路２４を
設ける。ガス通路の両端開口の周囲に夫々弁座シート２
５，２５′を設け，各弁座シートに対向して弁の閉鎖を
行うメタルダイヤフラム２６，２６′を設けると共に，
両メタルダイヤフラムを動作させるノーマルクローズと
ノーマルオープンのアクチュエータ２７，２７′とを組
込む。
(57) [Summary] (Modified) [Purpose] The internal volume of the valve box and the dead space are reduced to improve the gas replacement performance, the piping space in the clean room is reduced, and two valves for gas purging. It is possible to simultaneously switch between opening and closing at high speed. [Structure] A gas inflow passage 22, 22 'is formed in the middle outer periphery of a valve box 20 having an H-shaped cross section having spaces 21 and 21' on both sides.
Are provided so as to face each other, and their outlets are bent in directions opposite to each other in parallel with the axis of the valve box to open in spaces on both sides. A gas passage 23 is bored in the central portion of the axis of the valve box, both ends thereof are opened to spaces on both sides, and a gas outflow passage 24 is provided in the middle of the gas passage. The valve seats 2 are provided around the openings at both ends of the gas passage, respectively.
5, 25 'are provided, and metal diaphragms 26, 26' for closing the valve are provided facing each valve seat,
A normally closed and normally open actuator 27, 27 'for operating both metal diaphragms is incorporated.
Description
【０００１】[0001]
本考案は、半導体やＩＣの製造システム配管ラインに於いて、ガスの置換に用 いるガス高速切換弁に関する。 The present invention relates to a gas high-speed switching valve used for gas replacement in a semiconductor or IC manufacturing system piping line.
【０００２】[0002]
半導体やＩＣの製造、特にウェハーの成膜に於いては、毒性及び腐食性ガスが 使用されるが、このようなガスが配管内に滞留するのを防止する為に、配管内の ガスパージが行われる。 Toxic and corrosive gases are used in the production of semiconductors and ICs, especially in the film formation of wafers, and gas purging in the piping is performed to prevent such gases from staying in the piping. Be seen.
【０００３】 この配管内のガスパージを行う為に、Ｎ2，Ａr等の不活性ガスを流すのである が、従来のガスパージ方式は、図４に示すようにガス供給配管１にバルブ２を設 け、バルブ２の下流に分岐配管３を設け、分岐配管３にバルブ４を設け、前記バ ルブ２を閉じ、バルブ４を開いて分岐配管３からパージガスであるＮ2，Ａr等の 不活性ガスを流し込むのである。In order to perform the gas purging in the pipe, an inert gas such as N 2 or Ar is flown. In the conventional gas purging system, a valve 2 is provided in the gas supply pipe 1 as shown in FIG. , A branch pipe 3 is provided downstream of the valve 2, a valve 4 is provided in the branch pipe 3, the valve 2 is closed, the valve 4 is opened, and an inert gas such as N 2 or Ar, which is a purge gas, is discharged from the branch pipe 3. It is poured.
【０００４】 ところで、このようなガスパージ方式では、配管を分岐する部分で大きなデッ ドスペースを形成することとなり、パージガスを流した際デッドスペースに前の 毒性及び腐食性ガスが残留し、ガスの置換性が悪いものである。また配管スペー スが大きくなって、設備費及び維持費が高いクリーンルーム内で占める割合が大 きくなって、クリーンルーム内で使用される装置や機器の邪魔になる。さらに分 岐配管３，バルブ４を設けることにより、管継手等のねじ込み部が増えて配管施 工が面倒になると共に、流れるガスのクリーン度の維持，リーク防止，メンテナ ンス性等の点で不利である。By the way, in such a gas purging method, a large dead space is formed at the branching portion of the pipe, and when the purge gas is flowed, the previous toxic and corrosive gas remains in the dead space and the gas is replaced. It has a bad sex. In addition, the piping space becomes large, and the proportion of the equipment and equipment used in the clean room is high, and the equipment and equipment used in the clean room are obstructed. Furthermore, the provision of the branch pipe 3 and the valve 4 increases the number of screwed parts such as pipe joints, which makes the piping process troublesome, and is disadvantageous in terms of maintaining the cleanliness of the flowing gas, preventing leaks, and maintainability. Is.
【０００５】 この為、近時、ブロックに２個のバルブを組込み、バルブとバルブの間の流路 スペースを減少した集積化バルブとして、図５に示すような二連三方弁５が開発 された。この二連三方弁５は、上面を両側に傾斜させたブロック状の弁箱６の上 面左右両側にメタルダイヤフラム弁７，７′をＶ型配列に組込み、弁箱６の左右 両側面から中央部まで夫々Ａ，Ｂ２つのガスの流入通路８，８′を水平に設け、 さらに中央部から延長して上面左右両側のメタルダイヤフラム弁７，７′内に傾 斜して開口し、メタルダイヤフラム弁７，７′内の弁座シート９の内側から弁箱 ６の中央部までガス流出通路１０，１０′を設けて連通し、この連通部から前記 の水平なガス流入通路８，８′とは直角方向にガス流出通路１１を設けて弁箱６ の中央外面に開口している。そして前記メタルダイヤフラム弁７，７′のメタル ダイヤフラム１２は、エアーシリンダー１３による弁の開閉作動機構１４により その先端のダイヤフラムピース１５で押し込まれ、その裏面が弁座シート９の上 面に密着することにより、弁の閉鎖が行われ、ダイヤフラムピース１５が上方に 移動すると、メタルダイヤフラム１２は自身が有する剛性に基づく復元力により 、元の形状に復元し、メタルダイヤフラム１２の裏面が弁座シート９の上面から 離れて、ガスの通路が形成されるものであり、このメタルダイヤフラム弁７，７ ′の開閉は、一方が開の時、他方が閉となされるものである。Therefore, recently, a two-way three-way valve 5 as shown in FIG. 5 has been developed as an integrated valve in which two valves are incorporated in a block to reduce the flow passage space between the valves. . This two-way three-way valve 5 has metal diaphragm valves 7 and 7'in the V-shaped arrangement on the upper and left and right sides of a block-shaped valve box 6 whose upper surface is inclined to both sides. Two gas inflow passages 8 and 8'for A and B respectively are horizontally provided to the portions, and further extend from the central portion and are inclined and opened into the metal diaphragm valves 7 and 7'on the left and right sides of the upper surface. Gas outflow passages 10 and 10 'are provided to communicate from the inside of the valve seat 9 in 7 and 7'to the central portion of the valve box 6, and the horizontal gas inflow passages 8 and 8'are defined from the communication portions. A gas outflow passage 11 is provided at a right angle to the central outer surface of the valve box 6. The metal diaphragm 12 of the metal diaphragm valve 7, 7'is pushed by the diaphragm piece 15 at the tip of the valve opening / closing mechanism 14 by the air cylinder 13, and the back surface of the metal diaphragm 12 is brought into close contact with the upper surface of the valve seat 9. When the valve is closed and the diaphragm piece 15 moves upward, the metal diaphragm 12 is restored to its original shape by the restoring force based on its own rigidity, and the back surface of the metal diaphragm 12 is covered by the valve seat sheet 9. A gas passage is formed apart from the upper surface, and when the metal diaphragm valves 7 and 7'are opened and closed, the other is closed.
【０００６】 このような構造の二連三方弁５は、一方のメタルダイヤフラム弁７を開き、他 方のメタルダイヤフラム弁７′を閉じ、一方のガス流入通路８から毒性及び腐食 性ガスを送り込むと、一方のメタルダイヤフラム弁７内に入り、ここからガス流 出通路１０を通り、さらにガス流出通路１１を通ってウェハー製造装置側へ送ら れる。毒性及び腐食性ガスがガス流出通路１０を通った際、他方のガス流出通路 １０′に一部入るが、他方のメタルダイヤフラム弁７′が閉じられているので、 流れない。配管内に滞留する前記毒性及び腐食性ガスをパージする時は、一方の メタルダイヤフラム弁７を閉じ、他方のガス流入通路８′からパージ用ガス(Ｎ2 ，Ａｒ等の不活性ガス）を送り込んで他方のメタルダイヤフラム弁７′内に入れ ると共にこのメタルダイヤフラム弁７′を開けてガス流出通路１０′に通し、さ らにガス流出通路１１を通してウェハー製造装置側へ送る。In the dual three-way valve 5 having such a structure, when one metal diaphragm valve 7 is opened, the other metal diaphragm valve 7 ′ is closed, and toxic and corrosive gas is sent from one gas inflow passage 8. Then, it enters into one of the metal diaphragm valves 7, passes through the gas outflow passage 10, and further passes through the gas outflow passage 11 and is sent to the wafer manufacturing apparatus side. When the toxic and corrosive gas passes through the gas outflow passage 10, it partially enters the other gas outflow passage 10 ', but does not flow because the other metal diaphragm valve 7'is closed. When purging the toxic and corrosive gas accumulated in the pipe, one metal diaphragm valve 7 is closed, and the purge gas (inert gas such as N 2 and Ar) is sent from the other gas inflow passage 8 ′. Then, the metal diaphragm valve 7'is put into the other metal diaphragm valve 7 ', and the metal diaphragm valve 7'is opened to pass through the gas outflow passage 10', and then sent through the gas outflow passage 11 to the wafer manufacturing apparatus side.
【０００７】 ところで、この二連三方弁５を用いると、ガスパージの際、従来のガスパージ 方式に比べ、デッドスペースが少なくなってガスの置換性が良くなり、また配管 スペースを小さくできてクリーンルーム内で占める場合が小さくなり、さらに管 継手等のねじ込み部が少なくなって、配管施工が簡素化すると共に、流れるガス のクリーン度の維持，リーク防止，メンテナンス性等の点で有利となるが、この 二連三方弁５には、ブロック状の弁箱６に於けるガス流入通路８，８′，ガス流 出通路１０，１０′，ガス流出通路１１等のガス通路が長いので、内容積が大き くて、デッドスペースも結構大きくてガス置換性が十分なものとは言えず、また 弁箱６がブロック状で結構大きいので、クリーンルーム内での配管スペースが思 った程小さくはならず、さらにデッドスペースが結構大きいことからガスパージ の際のメタルダイヤフラム弁７，７′の開閉の切換は同時に行うことができず、 安全上問題がある。By the way, when the double-way three-way valve 5 is used, in gas purging, the dead space is reduced and the gas replacement property is improved as compared with the conventional gas purging method, and the piping space can be reduced, so that it can be used in a clean room. However, it is advantageous in terms of maintaining cleanliness of flowing gas, preventing leaks, and maintainability, as well as simplifying piping work by reducing screwed parts such as pipe joints. Since the continuous three-way valve 5 has long gas passages such as the gas inflow passages 8 and 8 ', the gas outflow passages 10 and 10', and the gas outflow passage 11 in the block-shaped valve box 6, the internal volume is large. In addition, the dead space is quite large and gas replacement is not sufficient, and since the valve box 6 is block-shaped and quite large, it is possible to consider the piping space in the clean room. It does not become so small, and since the dead space is quite large, it is not possible to switch the opening and closing of the metal diaphragm valves 7, 7'at the same time during gas purging, which is a safety issue.
【０００８】[0008]
そこで本考案は、弁箱に於ける内容積をより一層小さくし、デッドスペースも 可能な限り小さくして、ガス置換性を向上させ、また弁箱を一層小型化してクリ ーンルーム内での配管スペースを小さくし、さらにガスパージの際の２つの弁の 開閉の切換を同時に高速で行うことができるようにしたガス高速切換弁を提供し ようとするものである。 Therefore, the present invention further reduces the internal volume of the valve box and the dead space as much as possible to improve the gas displacement, and further downsize the valve box to provide a piping space in the clean room. The present invention is intended to provide a gas high-speed switching valve in which the opening and closing of the two valves can be simultaneously switched at high speed at the time of gas purging.
【０００９】[0009]
上記課題を解決するための本考案のガス高速切換弁は、両側に空間を有する断 面Ｈ型短管状の弁箱の中間外周にＡ，Ｂ２つのガス流入通路を対向して設けると 共に、その出口を互いに反対方向に弁箱の軸線と平行に屈曲して弁箱内部の両側 の空間に開口し、弁箱の軸中心部にはガス通路を穿設してその両端を弁箱内部の 両側の空間に開口し、このガス通路の中間には前記ガス流入通路と直交する方向 の中間外周に開口するガス流出通路を設け、前記ガス通路の両端開口の周囲には 夫々弁座シートを設け、各弁座シートに対向して弁箱内部の両側の空間には弁座 シートの頂面に押し当て密着し弁の閉鎖を行うメタルダイヤフラムを内蔵し、且 つ両メタルダイヤフラムを動作させるノーマルクローズとノーマルオープンのア クチュエータユニットを組込んでなるものである。 The high-speed gas switching valve of the present invention for solving the above-mentioned problems is provided with two gas inflow passages A and B facing each other on the intermediate outer periphery of a valve housing of a cross-section H-shaped short tube having spaces on both sides. The outlets are bent in opposite directions parallel to the axis of the valve box and open to the spaces on both sides inside the valve box. A gas outflow passage opening to the middle outer periphery of the gas passage in the direction orthogonal to the gas inflow passage, and valve seats around the both ends of the gas passage. A metal diaphragm that presses against the top surface of the valve seat and closes the valve is built in the space on both sides inside the valve box facing each valve seat, and both metal diaphragms operate normally. Normally open actuator It is made by incorporating the Tsu door.
【００１０】[0010]
上記のように構成されたガス高速切換弁は、弁箱内部の一側の空間のメタルダ イヤフラムがノーマルクローズのアクチュエータユニットにより弁座シートの頂 面に押し当てられて密着し、ガス通路の一端が閉じられ、弁箱内部の他側の空間 のメタルダイヤフラムがノーマルオープンのアクチュエータユニットにより弁座 シートの頂面から離れ、前記ガス通路の他端が開かれて、ウェハーの製造に於い て毒性及び腐食性ガスが他方のガス流入通路から弁箱内の他側の空間に流入し、 弁箱の軸中心部のガス通路を通り、中間に連通したガス流出通路よりウェハー製 造装置の二次側に送られる。配管内に滞留する前記毒性及び腐食性ガスをパージ する時は、ノーマルクローズのアクチュエータユニットとノーマルオープンのア クチュエータユニットを同時に作動して、弁箱内部の一側の空間のメタルダイヤ フラムを弁座シートの頂面から離してガス通路の一端を開き、弁箱内部の他側の 空間のメタルダイヤフラムを弁座シートの頂面に押し当てて密着し、ガス通路の 他端を閉じる。かくして毒性及び腐食性ガスの送給が停止されると同時に、Ｎ2, Ａｒ等の不活性ガスがパージ用ガスとして一方のガス流入通路から弁箱内の一側 の空間に流入し、弁箱の軸中心部のガス通路を通り、中間に連通したガス流出通 路よりウェハー製造装置の二次側に送られて、配管内に滞留する毒性及び腐食性 ガスがパージされる。In the gas high-speed switching valve configured as described above, the metal diaphragm in the space on one side inside the valve box is pressed against the top surface of the valve seat seat by the normally closed actuator unit to make close contact, and one end of the gas passage is closed. When closed, the metal diaphragm on the other side inside the valve box is separated from the top surface of the valve seat by the normally open actuator unit, and the other end of the gas passage is opened to prevent toxicity in wafer manufacturing. The corrosive gas flows from the other gas inflow passage into the space on the other side of the valve box, passes through the gas passage in the central part of the valve box, and the gas outflow passage that connects to the middle of the valve Sent to. When purging the toxic and corrosive gases that accumulate in the piping, operate the normally closed actuator unit and the normally open actuator unit at the same time to open the metal diaphragm in one space inside the valve box to the valve seat. Open one end of the gas passage away from the top surface of the seat, press the metal diaphragm in the other space inside the valve box against the top surface of the valve seat to make a close contact, and close the other end of the gas passage. Thus, at the same time as the supply of the toxic and corrosive gas is stopped, the inert gas such as N 2 and Ar flows into the space on one side of the valve box as the purge gas from one of the gas inflow passages. The toxic and corrosive gas which is sent to the secondary side of the wafer manufacturing equipment through the gas passage in the middle of the shaft, is sent to the secondary side of the wafer manufacturing equipment, and is purged.
【００１１】 このように本考案のガス高速切換弁は、ガスパージの際、２つの弁の開閉の切 換をノーマルクローズとノーマルオープンのアクチュエータユニットを同時に作 動して高速で行うことができて、安全に作業を進めることができる。As described above, the gas high-speed switching valve of the present invention can switch the opening and closing of the two valves at the high speed by simultaneously operating the normally closed and normally open actuator units during gas purging. You can work safely.
【００１２】 また、本考案のガス高速切換弁は、弁箱に於けるガス流入通路，ガス通路，ガ ス流出通路等の総合計長さが短く、特に弁箱内の両側の空間からのガス通路，ガ ス流出通路の二次側の内容積が非常に小さいので、デッドスペースも極めて小さ く、ガスの置換性が著しく向上する。Further, the gas high-speed switching valve of the present invention has a short total total length of the gas inflow passage, the gas passage, the gas outflow passage, etc. in the valve box, and in particular, the gas from the space on both sides in the valve box is short. Since the internal volume of the passage and the gas outflow passage on the secondary side is very small, the dead space is also extremely small, and the gas replacement performance is significantly improved.
【００１３】 さらに本考案のガス高速切換弁は、弁箱が両側に空間を有する断面Ｈ型短管状 で、非常に小型化されているので、クリーンルーム内での配管スペースを著しく 減小できる。Further, the gas high-speed switching valve of the present invention has an H-shaped short tubular section having a space on both sides of the valve box, and is extremely miniaturized, so that the piping space in the clean room can be significantly reduced.
【００１４】[0014]
本考案のガス高速切換弁の一実施例を図１〜図３によって説明すると、２０は 両側に空間２１，２１′を有する断面Ｈ型短管状の弁箱で、この弁箱２０の中間 外周に２つのガス流入通路２２，２２′を設けると共に、その出口を互いに反対 方向に弁箱２０の軸線と平行に屈曲して弁箱２０の内部の両側の空間２１，２１ ′に開口している。弁箱２０の軸中心部にはガス通路２３を穿設してその両端を 前記空間２１，２１′に開口し、このガス通路２３の中間には前記ガス流入通路 ２２，２２′と直交する方向の中間外周に開口するガス流出通路２４を設けてい る。前記ガス通路２３の両端開口の周囲には夫々弁座シート２５，２５′を設け 、各弁座シート２５，２５′に対向して弁箱２０の内部の両側の空間２１，２１ ′には弁座シート２５，２５′の頂面に押し当て密着し弁の閉鎖を行うメタルダ イヤフラム２６，２６′を内蔵し、且つ両メタルダイヤフラム２６，２６′を動 作させるノーマルクローズのアクチュエータユニット２７とノーマルオープンの アクチュエータユニット２７′を組込んでいる。尚、２８，２８′はメタルダイ ヤフラム２６，２６′の周縁を弁箱２０の内部の両側の空間２１，２１′の底部 周縁の環状突起２９，２９′に締付固定したボンネットで、該ボンネット２８， ２８′は前記アクチュエータユニット２７，２７′の組込みにより固定されてい る。３０，３０′はボンネット２８，２８′の内側にあって、アクチュエータユ ニット２７，２７′の作動によりメタルダイヤフラム２６，２６′を押圧して弁 座シート２５，２５′の頂面に密着する為のダイヤフラムピースである。 An embodiment of the high-speed gas switching valve of the present invention will be described with reference to FIGS. 1 to 3. Reference numeral 20 is a valve body having an H-shaped short section having a space 21 and 21 'on both sides. Two gas inflow passages 22 and 22 'are provided, and their outlets are bent in opposite directions in parallel with the axis of the valve box 20 and open into spaces 21 and 21' inside the valve box 20 on both sides. A gas passage 23 is formed at the center of the shaft of the valve box 20 and both ends thereof are opened to the spaces 21 and 21 ′, and in the middle of the gas passage 23, a direction orthogonal to the gas inflow passages 22 and 22 ′ is provided. A gas outflow passage 24 that opens to the middle outer circumference is provided. Valve seats 25 and 25 'are provided around the openings at both ends of the gas passage 23, and valves are provided in the spaces 21 and 21' on both sides inside the valve box 20 so as to face the respective seats 25 and 25 '. Normally closed actuator unit 27 and normally open actuator with built-in metal diaphragms 26 and 26 'that press against the top surfaces of the seats 25 and 25' to close them and close the valve. The actuator unit 27 'is incorporated. Reference numerals 28 and 28 'denote bonnets in which the peripheral edges of the metal diaphragms 26 and 26' are clamped and fixed to annular projections 29 and 29 'at the bottom peripheral edges of the spaces 21 and 21' on both sides inside the valve box 20. , 28 'are fixed by incorporating the actuator units 27, 27'. 30 and 30 'are inside the bonnets 28 and 28', and are pressed against the metal diaphragms 26 and 26 'by the operation of the actuator units 27 and 27' so as to be in close contact with the top surfaces of the valve seats 25 and 25 '. It is a diaphragm piece.
【００１５】 このように構成されたガス高速切換弁は、弁箱２０の内部の一側の空間２１の メタルダイヤフラム２６がノーマルクローズのアクチュエータユニット２７の作 動により押出されたダイヤフラムピース３０にて弁座シート２５の頂面に押し当 てられてその裏面が密着し、弁箱２０の軸中心部に設けられているガス通路２３ の一端が閉じられ、弁箱２０の内部の他側のメタルダイヤフラム２６′がノーマ ルオープンのアクチュエータユニット２７′の作動により後退したダイヤフラム ピース３０から解放されて自身の剛性による復元力により弁座シート２５′の頂 面から離れてガス通路２３の他端が開かれている。この状態で、ウェハーの製造 に於いて、毒性及び腐食性ガスが他方のガス流入通路２２′から弁箱２０内の他 側の空間２１′に流入し、弁箱２０の軸中心部のガス通路２３を通り、中間に連 通したガス流出通路２４よりウェハー製造装置の二次側に送られる。The gas high-speed switching valve having the above-described structure uses the diaphragm piece 30 in which the metal diaphragm 26 in the space 21 on one side inside the valve box 20 is pushed out by the operation of the normally closed actuator unit 27. The back surface of the seat 25 is pressed against the top surface of the seat 25, and the back surface of the seat 25 is brought into close contact with the seat 25. 26 'is released from the diaphragm piece 30 retracted by the operation of the normally open actuator unit 27', and the restoring force of its own rigidity separates it from the top surface of the valve seat 25 'and opens the other end of the gas passage 23. ing. In this state, in the manufacture of wafers, toxic and corrosive gases flow from the other gas inflow passage 22 'into the space 21' on the other side in the valve box 20, and the gas passage at the center of the shaft of the valve box 20. It is sent to the secondary side of the wafer manufacturing apparatus through the gas outflow passage 24 communicating with the intermediate portion 23 through the middle.
【００１６】 配管内に滞留する前記の毒性及び腐食性ガスをパージする時は、ノーマルクロ ーズのアクチュエータユニット２７とノーマルオープンのアクチュエータユニッ ト２７′に同時にエアーを送給して作動し、弁箱２０の内部の一側の空間のメタ ルダイヤフラム２６を押圧しているダイヤフラムピース３０を後退させ、メタル ダイヤフラム２６を自身の剛性による復元力により弁座シート２５の頂面から離 してガス通路２３の一端を開き、弁箱２０の内部の他側の空間２１′のメタルダ イヤフラム２６′をダイヤフラムピース３０′の前進により弁座シート２５′の 頂面に押し当ててその裏面を密着し、ガス通路２３の他端を閉じる。かくして毒 性及び腐食性ガスの送給が停止されると同時に、Ｎ2，Ａr等の不活性ガスがパー ジ用ガスとして一方のガス流入通路２２から弁箱２０内の一側の空間２１に流入 し、弁箱２０の軸中心部のガス通路２３を通り、中間に連通したガス流出通路２ ４によりウェハー製造装置の二次側に送られて、配管内に滞留する毒性及び腐食 性ガスがパージされる。When purging the above-mentioned toxic and corrosive gas accumulated in the pipe, air is simultaneously supplied to the normally-closed actuator unit 27 and the normally-open actuator unit 27 ′ to operate, and the valve is operated. The diaphragm piece 30 that presses the metal diaphragm 26 in the space on one side inside the box 20 is retracted, and the metal diaphragm 26 is separated from the top surface of the valve seat 25 by the restoring force due to its own rigidity. Open one end of 23, press the metal diaphragm 26 'of the space 21' on the other side inside the valve box 20 against the top surface of the valve seat seat 25 'by advancing the diaphragm piece 30', and bring the back surface into close contact. The other end of the passage 23 is closed. Thus, at the same time as the supply of the toxic and corrosive gas is stopped, the inert gas such as N 2 and Ar is used as the purging gas from the one gas inflow passage 22 into the space 21 on one side in the valve box 20. The toxic and corrosive gas that flows in and is sent to the secondary side of the wafer manufacturing apparatus by the gas outflow passage 24 communicating in the middle through the gas passage 23 at the axial center of the valve box 20 Purged.
【００１７】 このように実施例のガス高速切換弁は、ガスパージの際、２つのメタルダイヤ フラム弁の開閉の切換をノーマルクローズとノーマルオープンのアクチュエータ ユニット２７，２７′を同時に作動して高速で行うことができて安全に作業を進 めることができる。As described above, in the gas high-speed switching valve of the embodiment, at the time of gas purging, switching between opening and closing of the two metal diaphragm valves is performed at high speed by simultaneously operating the normally closed and normally open actuator units 27 and 27 '. You can work safely.
【００１８】 また、このガス高速切換弁は、弁箱２０に於けるガス流入通路２２，２２′， ガス通路２３，ガス流出通路２４等の総合計長さが短く、特に弁箱２０内の両側 の空間２１，２１′からガス通路２３，ガス流出通路２４の二次側の内容積が非 常に小さいので、デッドスペースも極めて小さく、ガスの置換性が極めて良い。In addition, this gas high-speed switching valve has a short total total length of the gas inflow passages 22 and 22 ′, the gas passage 23, the gas outflow passage 24, etc. in the valve box 20, and in particular, both sides in the valve box 20. Since the inner volume of the secondary side of the gas passage 23 and the gas outflow passage 24 from the spaces 21 and 21 'is extremely small, the dead space is also extremely small, and the gas replacement property is extremely good.
【００１９】 さらにこのガス高速切換弁は、弁箱２０が両側に空間２１，２１′を有する断 面Ｈ型短管状で、非常に小型化されているので、クリーンルーム内での配管スペ ースが著しく減小することとなる。Further, in this gas high-speed switching valve, the valve box 20 is a short H-shaped tubular section having the spaces 21 and 21 'on both sides, and is extremely miniaturized, so that the piping space in the clean room is small. It will be significantly reduced.
【００２０】 尚、本考案のガス高速切換弁は、二次側に供給するガスを切換える為に用いる ものであるが、１種類のガスの供給，停止にも用いることができ、また２種類の ガスの混合供給，停止にも用いることができるものであることを付言しておく。The gas high-speed switching valve of the present invention is used to switch the gas supplied to the secondary side, but it can also be used to supply and stop one type of gas, and also to use two types of gas. It should be added that it can also be used for mixed gas supply and shutdown.
【００２１】[0021]
以上の通り本考案のガス高速切換弁は、弁箱に於ける二次側の内容積が非常に 小さく、デッドスペースも極めて小さくて、ガスの置換性が極めて良く、また弁 箱が極めて小さく、クリーンルーム内での配管スペースを著しく減小でき、さら にガスパージの際、２つの弁の切換を同時に高速で行うことができて安全である 。 As described above, the gas high-speed switching valve of the present invention has a very small inner volume on the secondary side of the valve box, an extremely small dead space, an excellent gas replacement property, and an extremely small valve box. The piping space in the clean room can be significantly reduced, and the two valves can be switched simultaneously at high speed during gas purging, which is safe.
【図１】本考案のガス高速切換弁の一実施例の平面図で
ある。FIG. 1 is a plan view of an embodiment of a gas fast switching valve of the present invention.
【図２】本考案のガス高速切換弁の一実施例の正面図で
ある。FIG. 2 is a front view of an embodiment of the gas fast switching valve of the present invention.
【図３】図２のＸ−Ｘ線横断拡大平面図である。FIG. 3 is an enlarged plan view taken along line XX of FIG.
【図４】従来のガスパージ方式に於ける配管，バルブの
配設状態を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing an arrangement state of pipes and valves in a conventional gas purging method.
【図５】従来の集積化バルブとしての二連三方弁を示す
縦断面図である。FIG. 5 is a vertical cross-sectional view showing a two-way three-way valve as a conventional integrated valve.
２０ 弁箱 ２１，２１′ 空間 ２２，２２′ ガス流入通路 ２３ ガス通路 ２４ ガス流出通路 ２５，２５′ 弁座シート ２６，２６′ メタルダイヤフラム ２７ ノーマルクローズのアクチュエータ ２７′ ノーマルオープンのアクチュエータ 20 valve box 21,21 'space 22,22' gas inflow passage 23 gas passage 24 gas outflow passage 25,25 'valve seat seat 26, 26' metal diaphragm 27 normally closed actuator 27 'normally open actuator
Claims (1)
箱の中間外周にＡ，Ｂ２つのガス流入通路を対向して設
けると共に、その出口を互いに反対方向に弁箱の軸線と
平行に屈曲して弁箱内部の両側の空間に開口し、弁箱の
軸中心部にはガス通路を穿設してその両端を弁箱内部の
両側の空間に開口し、このガス通路の中間には前記ガス
流入通路と直交する方向の中間外周に開口するガス流出
通路を設け、前記ガス通路の両端開口の周囲には夫々弁
座シートを設け、各弁座シートに対向して弁箱内部の両
側の空間には弁座シートの頂面に押し当て密着し弁の閉
鎖を行うメタルダイヤフラムを内蔵し、且つ両メタルダ
イヤフラムを動作させるノーマルクローズとノーマルオ
ープンのアクチュエータユニットを組込んでなるガス高
速切換弁。1. A valve box having an H-shaped cross-section having a space on both sides, and two gas inflow passages A and B are provided facing each other on an intermediate outer periphery of the valve box, and their outlets are arranged in opposite directions to be parallel to the axis of the valve box. It bends and opens in the spaces on both sides inside the valve box, and a gas passage is drilled in the axial center of the valve box, and its both ends open in the spaces on both sides inside the valve box. A gas outflow passage opening in the middle outer periphery in the direction orthogonal to the gas inflow passage is provided, and valve seats are provided around the openings at both ends of the gas passage. Both sides of the valve seat face the valve seat and face each other. A high-speed gas switching valve with a built-in metal diaphragm that closes the valve by pressing it against the top surface of the valve seat in the space of the valve seat, and incorporating a normally closed and normally open actuator unit that operates both metal diaphragms. .
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4602692U JPH061946U (en) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | Gas fast switching valve |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4602692U JPH061946U (en) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | Gas fast switching valve |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH061946U true JPH061946U (en) | 1994-01-14 |
Family
ID=12735540
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4602692U Pending JPH061946U (en) | 1992-06-09 | 1992-06-09 | Gas fast switching valve |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH061946U (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2007032146A1 (en) * | 2005-09-12 | 2007-03-22 | Fujikin Incorporated | Fluid controller |
| JP2012229807A (en) * | 2006-08-23 | 2012-11-22 | Horiba Stec Co Ltd | Integrated type gas panel apparatus |
| WO2016114266A1 (en) * | 2015-01-16 | 2016-07-21 | 株式会社キッツエスシーティー | Block valve and block valve for raw material container |
-
1992
- 1992-06-09 JP JP4602692U patent/JPH061946U/en active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN107208821A (en) * | 2015-01-16 | 2017-09-26 | 株式会社开滋Sct | Blocked valve and material container blocked valve |
| JPWO2016114266A1 (en) * | 2015-01-16 | 2017-10-19 | 株式会社キッツエスシーティー | Block valve and block valve for raw material container |
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