JP3616875B2 - Fitting member for fluid control device and manufacturing method thereof - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、半導体製造装置などに使用される流体制御装置において、流体制御装置に形成されている流路同士を連通する継手部材に関する。
【０００２】
この明細書において上下・左右は、図１の上下・左右をいうものとするが、この上下・左右は便宜的なものであり、上下を逆にしたり、横にしたりして使用することもできる。
【０００３】
【従来の技術】
近年、半導体製造装置における流体制御装置では、装置の占有スペースの減少のために集積化が要求されており、本願発明者らは、この要求に応えるものとして、例えば、特願平９−２７８４９５において、図３に示すような流体制御装置を提案している。
【０００４】
この流体制御装置（１０１） は、半導体製造装置等において用いられるもので、マスフローコントローラ（２） と、マスフローコントローラ（２） の左方に設けられた入口側遮断開放部（３） と、マスフローコントローラ（２） の右方に設けられた出口側遮断開放部（４） とよりなる。
【０００５】
マスフローコントローラ（２） の下部左面には、下面に開口する入口通路（５ａ）を有する直方体状左方張出ブロック（第１流体制御部材）（５） が設けられ、同右面には、下面に開口する出口通路（６ａ）を有する直方体状右方張出ブロック（第２流体制御部材）（６） が設けられている。両張出ブロック（５）（６）は、横からのねじによりマスフローコントローラ（２） の本体に固定されている。
【０００６】
入口側遮断開放部（３） は、上段に配置された４つの流体制御部材（７）（８）（９）（１０） と、下段に配置された５つの直方体状継手（１１）（１２）（１３）（１４）（５１）とよりなる。
【０００７】
入口側遮断開放部（３） の左端に配置された第３流体制御部材（７） は、下向きの入口通路（１６ａ） および出口通路（１６ｂ） を有するブロック状本体（１６）に一体的に設けられかつこれらの通路（１６ａ）（１６ｂ）同士の連通を遮断開放する第１開閉弁（１７）よりなる。
【０００８】
入口側遮断開放部（３） の左端から２番目に配置された第４流体制御部材（８） は、下向きの入口通路（１８ａ） および出口通路（１８ｂ） を有しかつ上面左部に傾斜面が形成されている略直方体ブロック状本体（１８）と、本体（１８）傾斜面に設けられかつ入口通路（１８ａ） と出口通路（１８ｂ） との連通部に配置されて圧力を調整するプレッシャーレギュレータ（１９）と、本体（１８）右上面の平坦部に設けられかつ出口通路（１８ｂ） に通じる通路を介して流体圧を測定する圧力センサ（２０）とよりなる。本体（１８）の入口通路（１８ａ） には、フィルター（２１）が設けられている。
【０００９】
入口側遮断開放部（３） の左端から３番目に配置された第５流体制御部材（９） は、１つの直方体ブロック状本体（２２）に一体的に設けられた第２および第３開閉弁（２３）（２４）よりなる。本体（２２）には、左端部に設けられた下向きの第１入口通路（２２ａ） と、第１入口通路（２２ａ） に第２開閉弁（２３）を介して連通する右向きの出口通路（２２ｂ） と、出口通路（２２ｂ） に第３開閉弁（２４）を介して連通する下向きの第２入口通路（２２ｃ） とが設けられている。
【００１０】
入口側遮断開放部（３） の左端から４番目に配置された第６流体制御部材（１０）は、１つの直方体通路ブロックよりなる。第６流体制御部材（１０）には、一端が第５流体制御部材本体（２２）の出口通路（２２ｂ） に通じ、他端が下方に開口している連通路（１０ａ） が設けられている。
【００１１】
入口側遮断開放部（３） の左端に配置された第１継手（１１）には、第３流体制御部材本体（１６）の入口通路（１６ａ） に通じかつ左方に開口するＬ字状上流側連通路（１１ａ） と、第３流体制御部材本体（１６）の出口通路（１６ｂ） に通じかつ右方に開口するＬ字状下流側連通路（１１ｂ） とが設けられている。第１継手（１１）の左面には、上流側連通路（１１ａ） に通じる第１入口管接続部（２５）が設けられている。
【００１２】
入口側遮断開放部（３） の左端から２番目に配置された第２継手（１２）には、第１継手（１１）の出口通路（１１ｂ） と第４流体制御部材本体（１８）の入口通路（１８ａ） とを連通するＬ字状上流側連通路（１２ａ） と、一端が第４流体制御部材本体（１８）の出口通路（１８ｂ） に通じかつ他端が右方に開口するＬ字状下流側連通路（１２ｂ） とが設けられている。
【００１３】
入口側遮断開放部（３） の左端から３番目に配置された第３継手（１３）には、第２継手（１２）の出口通路（１２ｂ） と第５流体制御部材本体（２２）の第１入口通路（２２ａ） とを連通するＬ字状連通路（１３ａ） が設けられている。
【００１４】
入口側遮断開放部（３） の左端から４番目に配置された第４継手（１４）には、一端が第５流体制御部材本体（２２）の第２入口通路（２２ｃ） に通じ、他端が後方に開口する連通路（１４ａ） が設けられている。第４継手（１４）の後面には、連通路（１４ａ） に通じる第２入口管接続部（図示略）が設けられている。
【００１５】
入口側遮断開放部（３） の左端から５番目に配置された第５継手（５１）は、第１および第２の直方体状継手構成部材からなるＵ字状連通路付きの継手であり、第１継手構成部材（５２）には、一端が第６流体制御部材本体（１０）の連通路（１０ａ） 出口に通じ、他端が右方に開口しているＬ字状上流側連通路（５２ａ） が設けられ、第２継手構成部材（５３）には、一端が第１継手構成部材（５２）の上流側連通路（５２ａ） に通じ、他端がマスフローコントローラ（２） の左方張出ブロック（５） の入口通路（５ａ）に通じているＬ字状下流側連通路（５３ａ） が設けられている。第１および第２継手構成部材（５２）（５３）が、上流側連通路（５２ａ） と下流側連通路（５３ａ） とを連通するようにシール部（３３）を介して重ね合わせられることにより、第５継手（５１）には、第６流体制御部材本体（１０）の連通路（１０ａ） とマスフローコントローラ（２） の左方張出ブロック（５） の入口通路（５ａ）とを連通するＵ字状連通路（５１ａ） が形成されている。
【００１６】
出口側遮断開放部（４） は、上段に配置された第７流体制御部材（２６）と、下段に配置された第６および第７の直方体状継手（５４）（２８）とよりなる。第７流体制御部材（２６）は、下向きの入口通路（２９ａ） および出口通路（２９ｂ） を有するブロック状本体（２９）に一体的に設けられかつこれらの通路（２９ａ）（２９ｂ）同士の連通を遮断開放する第４開閉弁（３０）よりなる。出口側遮断開放部（４） の左方に配置された第６継手（５４）は、第１および第２の直方体状継手構成部材からなるＵ字状連通路付きの継手であり、第１継手構成部材（５５）には、一端がマスフローコントローラ（２） の右方張出ブロック（６） の出口通路（６ａ）に通じ、他端が右方に開口しているＬ字状上流側連通路（５５ａ） が設けられ、同第２継手構成部材（５６）には、一端が第１継手構成部材（５５）の下流側連通路（５５ａ） に通じ、他端が第７流体制御部材本体（２９）の入口通路（２９ａ） に通じているＬ字状下流側連通路（５６ａ） が設けられている。第１および第２継手構成部材（５５）（５６）が、上流側連通路（５５ａ） と下流側連通路（５６ａ） とを連通するようにシール部（３３）を介して重ね合わせられることにより、第６継手（５４）には、マスフローコントローラ（２） の右方張出ブロック（６） の出口通路（６ａ）と第７流体制御部材本体（２９）の入口通路（２９ａ） とを連通するＵ字状連通路（５４ａ） が形成されている。出口側遮断開放部（４） の右方に配置された第７継手（２８）には、一端が第７流体制御部材本体（２９）の出口通路（２９ｂ） に通じ、他端が後方に開口する連通路（２８ａ） が設けられている。第７継手（２８）の後面には、連通路（２８ａ） に通じる出口管接続部（図示略）が設けられている。
【００１７】
流体制御部材（５）（６）（７）（８）（９）（１０）（２６） の下面はすべて面一とされるとともに、各継手（１１）（１２）（１３）（１４）（５１）（５４）（２８）の上面同士も面一とされ、継手（１１）（１２）（１３）（１４）（５１）（５４）（２８）が基板（３１）に固定され、各流体制御部材（５）（６）（７）（８）（９）（１０）（２６） が、上方からのねじ（３２）により継手（１１）（１２）（１３）（１４）（５１）（５４）（２８）に固定されている。
【００１８】
こうして、第１継手（１１）の第１入口管接続部（２５）および第４継手（１４）の第２入口管接続部からそれぞれ異なる流体が導入され、これらの流体が適宜切り換えらてマスフローコントローラ（２） を経て第７継手（２８）の出口管接続部から排出される流体制御装置（１） が構成されている。
【００１９】
この流体制御装置（１） によると、マスフローコントローラ（２） は、左右の張出ブロック（５）（６）とともに上方に取り出すことができる。また、第３〜第７の流体制御部材（７）（８）（９）（１０）（２６） は、流体制御部材（７）（８）（９）（１０）（２６） 単位で上方に取り出すことができる。流体制御部材同士（５）（６）（７）（８）（９）（１０）（２６） の連通部、継手（１１）（１２）（１３）（１４）（１５）同士の連通部および流体制御部材（５）（６）（７）（８）（９）（１０）（２６） と継手（１１）（１２）（１３）（１４）（５１）（５４）（２８）との連通部には、それぞれシール部（３３）が設けられている。
【００２０】
【発明が解決しようとする課題】
上記流体制御装置（１） では、第５継手（５１）および第６継手（５４）は、全体としてＵ字状の通路を得るために、それぞれＬ字状通路（５２ａ）（５３ａ）（５５ａ）（５６ａ）を有する２つの構成部材（５２）（５３）（５５）（５６）がシール部（３３）を介して突き合わされたものとされており、部材数が増えて組立てが面倒になるだけでなく、シール部が増加することにより、流体漏れの危険性やそのためのメンテナンスが増加するという解決すべき課題を有していた。
【００２１】
この発明の目的は、上記事情に鑑み、特願平９−２７８４９５で示されている流体制御装置の利点を維持し、しかも、流体制御装置における部材数およびシール部を減少することが可能な継手部材およびその製造方法を提供することにある。
【００２２】
【課題を解決するための手段および発明の効果】
この発明による流体制御装置用継手部材の製造方法は、左右一対の上向き開口通路および両上向き開口通路の下端部同士を連通する連通路よりなるＵ字状通路を備えている流体制御装置用継手部材を製造する方法であって、左右いずれか一方の上向き開口通路をブロック状本体にその上面からあけるとともに、連通路とその延長方向にのびる成形用補助通路とをブロック状本体に前記一方の上向き開口通路と反対側の側面からあける第１工程と、補助通路に閉塞部材を他方の上向き開口通路形成用部分にかかるように挿入する第２工程と、補助通路に閉塞部材を溶接する第３工程と、閉塞部材および溶接部の一部が削り取られて、溶接部の残部によって補助通路が閉塞されるように、他方の上向き開口通路をブロック状本体にその上面からあける第４工程とよりなることを特徴とするものである。
【００２３】
こうして得られた継手部材によると、成形用補助通路に挿入されて溶接された閉塞部材が削り取られることにより、成形用補助通路が、補助通路に流体が流れ込む可能性がないように、溶接部の残部によって閉塞されていることから、補助通路に流体が溜まることがないので、半導体製造装置のように極めて高い清浄度が要求される装置で使用してもプロセスガスなどの純度低下の問題を引き起こすことがない。
【００２４】
この発明による流体制御装置用継手部材の製造方法において、第１工程において、ブロック状本体の前記側面に、補助通路よりも大径の開口部をあけておくことが好ましく、このようにすることにより、この継手部材を製造する際の工程である閉塞部材の挿入および溶接を容易に行うことができる。
【００２５】
この発明による流体制御装置用継手部材は、左右一対の上向き開口通路および両上向き開口通路の下端部同士を連通する連通路よりなるＵ字状通路を備えている流体制御装置用継手部材であって、この発明による前記方法によって製造されていることを特徴とするものである。
【００２６】
こうして得られた継手部材によると、それぞれＬ字状通路を有する２つの構成部材がシール部を介して突き合わされた継手をこの継手部材に置き換えることができるので、構成部材数を減少するとともに、シール部も減少することができる。したがって、流体制御装置の組立てを簡単にするとともに、シール部における流体漏れの危険性やそのためのメンテナンスも減少することができる。しかも、補助通路に流体が溜まることがないので、半導体製造装置のように極めて高い清浄度が要求される装置で使用してもプロセスガスなどの純度低下の問題を引き起こすことがない。
【００２７】
【発明の実施の形態】
この発明の実施の形態を、以下図面を参照して説明する。以下の説明において、図１の紙面表側を前、紙面裏側を後というものとする。
【００２８】
図１は、この発明の継手部材を備えた流体制御装置の１例を示している。この流体制御装置（１） は、半導体製造装置等において用いられるもので、マスフローコントローラ（２） と、マスフローコントローラ（２） の左方に設けられた入口側遮断開放部（３） と、マスフローコントローラ（２） の右方に設けられた出口側遮断開放部（４） とよりなる。
【００２９】
マスフローコントローラ（２） の下部左面には、下面に開口する入口通路（５ａ）を有する直方体状左方張出ブロック（第１流体制御部材）（５） が設けられ、同右面には、下面に開口する出口通路（６ａ）を有する直方体状右方張出ブロック（第２流体制御部材）（６） が設けられている。両張出ブロック（５）（６）は、横からのねじによりマスフローコントローラ（２） の本体に固定されている。
【００３０】
入口側遮断開放部（３） は、上段に配置された４つの流体制御部材（７）（８）（９）（１０） と、下段に配置された４つの直方体状継手（１１）（１２）（１４）（５１）とよりなる。
【００３１】
入口側遮断開放部（３） の左端に配置された第３流体制御部材（７） は、下向きの入口通路（１６ａ） および出口通路（１６ｂ） を有するブロック状本体（１６）に一体的に設けられかつこれらの通路（１６ａ）（１６ｂ）同士の連通を遮断開放する第１開閉弁（１７）よりなる。
【００３２】
入口側遮断開放部（３） の左端から２番目に配置された第４流体制御部材（８） は、下向きの入口通路（１８ａ） および出口通路（１８ｂ） を有しかつ上面左部に傾斜面が形成されている略直方体ブロック状本体（１８）と、本体（１８）傾斜面に設けられかつ入口通路（１８ａ） と出口通路（１８ｂ） との連通部に配置されて圧力を調整するプレッシャーレギュレータ（１９）と、本体（１８）右上面の平坦部に設けられかつ出口通路（１８ｂ） に通じる通路を介して流体圧を測定する圧力センサ（２０）とよりなる。本体（１８）の入口通路（１８ａ） には、フィルター（２１）が設けられている。
【００３３】
入口側遮断開放部（３） の左端から３番目に配置された第５流体制御部材（９） は、１つの直方体ブロック状本体（２２）に一体的に設けられた第２および第３開閉弁（２３）（２４）よりなる。本体（２２）には、左端部に設けられた下向きの第１入口通路（２２ａ） と、第１入口通路（２２ａ） に第２開閉弁（２３）を介して連通する右向きの出口通路（２２ｂ） と、出口通路（２２ｂ） に第３開閉弁（２４）を介して連通する下向きの第２入口通路（２２ｃ） とが設けられている。
【００３４】
入口側遮断開放部（３） の左端から４番目に配置された第６流体制御部材（１０）は、１つの直方体通路ブロックよりなる。第６流体制御部材（１０）には、一端が第５流体制御部材本体（２２）の出口通路（２２ｂ） に通じ、他端が下方に開口している連通路（１０ａ） が設けられている。
【００３５】
入口側遮断開放部（３） の左端に配置された第１継手（１１）には、第３流体制御部材本体（１６）の入口通路（１６ａ） に通じかつ左方に開口するＬ字状連通路（１１ａ） と、第３流体制御部材本体（１６）の出口通路（１６ｂ） と第４流体制御部材本体（１８）の入口通路（１８ａ） とを連通するＵ字状連通路（１１ｂ） とが設けられている。第１継手（１１）の左面には、連通路（１１ａ） に通じる第１入口管接続部（２５）が設けられている。
【００３６】
入口側遮断開放部（３） の左端から２番目に配置された第２継手（１２）には、第４流体制御部材本体（１８）の出口通路（１８ｂ） と第５流体制御部材本体（２２）の第１入口通路（２２ａ） とを連通するＵ字状連通路（１２ａ） が設けられている。
【００３７】
入口側遮断開放部（３） の左端から３番目に配置された第３継手（１４）には、一端が第５流体制御部材本体（２２）の第２入口通路（２２ｃ） に通じ、他端が後方に開口する連通路（１４ａ） が設けられている。第４継手（１４）の後面には、連通路（１４ａ） に通じる第２入口管接続部（図示略）が設けられている。
【００３８】
入口側遮断開放部（３） の左端から４番目に配置された第４継手（５１）には、第６流体制御部材（１０）の連通路（１０ａ） とマスフローコントローラ（２） の左方張出ブロック（５） の入口通路（５ａ）とを連通するＵ字状連通路（５１ａ） が設けられている。
【００３９】
出口側遮断開放部（４） は、上段に配置された第７流体制御部材（２６）と、下段に配置された第５および第６の直方体状継手（５４）（２８）とよりなる。第７流体制御部材（２６）は、下向きの入口通路（２９ａ） および出口通路（２９ｂ） を有するブロック状本体（２９）に一体的に設けられかつこれらの通路（２９ａ）（２９ｂ）同士の連通を遮断開放する第４開閉弁（３０）よりなる。出口側遮断開放部（４） の左方に配置された第５継手（５４）には、マスフローコントローラ（２） の右方張出ブロック（６） の出口通路（６ａ）と第７流体制御部材本体（２９）の入口通路（２９ａ） とを連通するＵ字状連通路（５４ａ） が設けられている。出口側遮断開放部（４） の右方に配置された第６継手（２８）には、一端が第７流体制御部材本体（２９）の出口通路（２９ｂ） に通じ、他端が後方に開口する連通路（２８ａ） が設けられている。第６継手（２８）の後面には、連通路（２８ａ） に通じる出口管接続部（図示略）が設けられている。
【００４０】
流体制御部材（５）（６）（７）（８）（９）（１０）（２６） の下面はすべて面一とされるとともに、各継手（１１）（１２）（１４）（５１）（５４）（２８）の上面同士も面一とされ、継手（１１）（１２）（１４）（５１）（５４）（２８）が基板（３１）に固定され、各流体制御部材（５）（６）（７）（８）（９）（１０）（２６） が、上方からのねじ（３２）により継手（１１）（１２）（１４）（５１）（５４）（２８）に固定されている。
【００４１】
こうして、第１継手（１１）の第１入口管接続部（２５）および第３継手（１４）の第２入口管接続部からそれぞれ異なる流体が導入され、これらの流体が適宜切り換えらてマスフローコントローラ（２） を経て第６継手（２８）の出口管接続部から排出される流体制御装置（１） が構成されている。
【００４２】
この流体制御装置（１） によると、マスフローコントローラ（２） は、左右の張出ブロック（５）（６）とともに上方に取り出すことができる。また、第３〜第７の流体制御部材（７）（８）（９）（１０）（２６） は、流体制御部材（７）（８）（９）（１０）（２６） 単位で上方に取り出すことができる。流体制御部材同士（５）（６）（７）（８）（９）（１０）（２６） の連通部およびこれらと継手（１１）（１２）（１４）（５１）（５４）（２８）との連通部には、それぞれシール部（３３）が設けられている。
【００４３】
そして、この発明による流体制御装置（１） と図３に示した従来の流体制御装置（１０１） とを比較すると、上段の流体制御部材（７）（８）（９）（１０）（２６） は、同一構成で同一機能を有しており、下段の継手を構成する部材の数が、従来は、（１１）（１２）（１３）（１４）（５２）（５３）（５５）（５６）（２８）の９つであったのが、この発明のものでは、（１１）（１２）（１４）（５１）（５４）（２８）の６つに減少しており、また、従来の下段の継手部材（１１）（１２）（１３）（５２）（５３）（５５）（５６）同士の連通部に配されていた４つのシール部（３３）が、この発明のものでは、不要とされている。
【００４４】
次いで、Ｕ字状通路（１２ａ）（５１ａ）（５４ａ） を有する継手部材（１２）（５１）（５４）の好ましい製造方法について、第３継手（５１）を例に取って以下に説明する。
【００４５】
図２（ａ）および（ｂ）に示すように、第１工程では、ブロック状本体（５２）の上面側から左方の上向き開口通路（５２ａ） をあけるとともに、同本体の右側面から補助通路（５２ｃ） および連通路（５２ｂ） を上向き開口通路（５２ａ） の下端部に連通するようにあける。本体（５２）の右側面には、次の工程を容易に行うための大径の開口部（５３）があけられる。このさい、上向き開口通路（５２ａ） と補助通路（５２ｃ） および連通路（５２ｂ） とをあける順序については、どちらが先でもてもよい。第２工程では、補助通路（５２ｃ） に薄円板状の閉塞部材（５４）を挿入する。ここで、閉塞部材（５４）は、右方の上向き開口通路（５２ｄ） を形成するさいに削り取られるように上向き開口通路（５２ｄ） の形成用部分にかかるように挿入しておく。第３工程では、補助通路（５２ｃ） に閉塞部材（５４）を溶接する。この溶接は、同図（ｃ）に示すように、閉塞部材（５４）が削り取られたとしても、補助通路（５２ｃ） に流体が流れ込む可能性がないように、大径の開口部（５３）を除いた補助通路（５２ｃ） を完全に閉塞するように実施される。そして、第４工程では、同図（ｄ）に示すように、右方の上向き開口通路（５２ｄ） をブロック状本体（５２）にあける。これにより、閉塞部材（５４）および溶接部（Ｗ） の一部が削り取られて、溶接部の残部（Ｗ１）によって補助通路（５２ｃ） が閉塞された継手部材（５１）が形成される。こうして、この継手部材（５１）には、互いに平行な左右一対の直線状上向き開口通路（５２ａ）（５２ｄ）および両上向き開口通路（５２ａ）（５２ｄ）の下端部同士を連通する直線状連通路（５２ｂ） よりなるＵ字状通路（５１ａ） が形成される。このようにして製造された継手（５１）によると、補助通路（５２ｃ） に流体が溜まることはないので、半導体製造装置のように極めて高い清浄度が要求される装置で使用してもプロセスガスなどの純度低下の問題を引き起こすことがない。
【００４６】
なお、図示省略したが、図２において、ブロック状本体（５２）を左方に延長して、ここに、直線状上向き開口通路およびこの下端部に連なる直線状横向き開口通路よりなるＬ字状通路（１１ａ） をさらに形成することにより、第１継手（１１）を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】この発明による継手部材を使用した流体制御装置の１例を示す図である。
【図２】この発明による継手部材の製造方法を示す図である。
【図３】従来の継手部材を使用した流体制御装置の１例を示す図である。
【符号の説明】
（１１）（１２）（５１）（５４） 継手部材
（１１ａ） Ｌ字状通路
（１１ｂ）（１２ａ）（５１ａ）（５４ａ） Ｕ字状通路
（５２） ブロック状本体
（５２ａ） 左方の上向き開口通路
（５２ｂ） 連通路
（５２ｃ） 補助通路
（５２ｄ） 右方の上向き開口通路
（５３） 大径の開口部
（５４） 閉塞部材
（Ｗ） 溶接部
（Ｗ１） 溶接部の残部[0001]
BACKGROUND OF THE INVENTION
The present invention relates to a joint member that communicates flow paths formed in a fluid control device in a fluid control device used in a semiconductor manufacturing apparatus or the like.
[0002]
In this specification, the top / bottom / left / right refers to the top / bottom / left / right of FIG. 1, but this top / bottom / left / right is for convenience and can be used upside down or sideways. .
[0003]
[Prior art]
In recent years, a fluid control device in a semiconductor manufacturing apparatus has been required to be integrated in order to reduce the occupied space of the device, and the inventors of the present application, for example, in Japanese Patent Application No. Hei 9-278495, meet this requirement. 3 proposes a fluid control apparatus as shown in FIG.
[0004]
This fluid control device (101) is used in a semiconductor manufacturing device or the like, and includes a mass flow controller (2), an inlet side blocking / opening portion (3) provided on the left side of the mass flow controller (2), and a mass flow controller. (2) and an outlet side shut-off opening (4) provided on the right side of (2).
[0005]
The lower left surface of the mass flow controller (2) is provided with a rectangular parallelepiped left projecting block (first fluid control member) (5) having an inlet passage (5a) that opens to the lower surface. A rectangular parallelepiped right extending block (second fluid control member) (6) having an outlet passage (6a) that opens is provided. Both overhanging blocks (5) and (6) are fixed to the main body of the mass flow controller (2) by screws from the side.
[0006]
The inlet side shut-off part (3) includes four fluid control members (7) (8) (9) (10) arranged in the upper stage, and five rectangular joints (11) (12) arranged in the lower stage. (13) (14) (51).
[0007]
The third fluid control member (7) disposed at the left end of the inlet-side shut-off part (3) is provided integrally with the block-shaped main body (16) having a downward inlet passage (16a) and an outlet passage (16b). And a first on-off valve (17) for blocking and opening the communication between the passages (16a) and (16b).
[0008]
The fourth fluid control member (8) disposed second from the left end of the inlet-side shut-off portion (3) has a downward inlet passage (18a) and an outlet passage (18b) and has an inclined surface on the upper left portion. A substantially rectangular parallelepiped block-shaped main body (18) formed on the main body (18), and a pressure regulator which is provided on the inclined surface of the main body (18) and is arranged in a communication portion between the inlet passage (18a) and the outlet passage (18b) to adjust the pressure. (19) and a pressure sensor (20) that measures the fluid pressure through a passage that is provided in a flat portion on the right upper surface of the main body (18) and communicates with the outlet passage (18b). A filter (21) is provided in the inlet passage (18a) of the main body (18).
[0009]
The fifth fluid control member (9) arranged third from the left end of the inlet side shut-off part (3) is a second and third on-off valve provided integrally with one rectangular parallelepiped block-shaped main body (22). (23) Consists of (24). The main body (22) has a downward first inlet passage (22a) provided at the left end, and a rightward outlet passage (22b) communicating with the first inlet passage (22a) via the second on-off valve (23). ) And a downward second inlet passage (22c) communicating with the outlet passage (22b) via the third on-off valve (24).
[0010]
The sixth fluid control member (10) arranged fourth from the left end of the inlet-side blocking / opening portion (3) is composed of one rectangular parallelepiped passage block. The sixth fluid control member (10) is provided with a communication passage (10a) having one end communicating with the outlet passage (22b) of the fifth fluid control member main body (22) and the other end opening downward. .
[0011]
The first joint (11) disposed at the left end of the inlet-side shut-off part (3) has an L-shaped upstream that leads to the inlet passage (16a) of the third fluid control member body (16) and opens to the left. A side communication passage (11a) and an L-shaped downstream communication passage (11b) that opens to the right and communicates with the outlet passage (16b) of the third fluid control member main body (16) are provided. A first inlet pipe connection portion (25) communicating with the upstream communication passage (11a) is provided on the left surface of the first joint (11).
[0012]
The second joint (12) disposed second from the left end of the inlet-side cutoff opening (3) has an outlet passage (11b) of the first joint (11) and an inlet of the fourth fluid control member main body (18). L-shaped upstream communication passage (12a) communicating with passage (18a), L-shape with one end communicating with outlet passage (18b) of fourth fluid control member body (18) and the other end opened to the right A downstream communication passage (12b) is provided.
[0013]
The third joint (13) arranged third from the left end of the inlet-side shut-off part (3) includes the outlet passage (12b) of the second joint (12) and the fifth fluid control member main body (22). An L-shaped communication path (13a) communicating with the one inlet path (22a) is provided.
[0014]
One end of the fourth joint (14) arranged fourth from the left end of the inlet-side shut-off part (3) communicates with the second inlet passage (22c) of the fifth fluid control member body (22), and the other end. Is provided with a communication passage (14a) that opens rearward. On the rear surface of the fourth joint (14), a second inlet pipe connecting portion (not shown) that leads to the communication passage (14a) is provided.
[0015]
The fifth joint (51) arranged fifth from the left end of the inlet side shut-off part (3) is a joint with a U-shaped communication path composed of first and second rectangular parallelepiped joint constituent members, One joint component (52) has an L-shaped upstream communication path (52a) with one end leading to the communication path (10a) outlet of the sixth fluid control member body (10) and the other end opened to the right. ), One end of the second joint component (53) leads to the upstream communication passage (52a) of the first joint component (52), and the other end projects to the left of the mass flow controller (2). An L-shaped downstream communication passage (53a) that leads to the inlet passage (5a) of the block (5) is provided. The first and second joint components (52) and (53) are overlapped via the seal portion (33) so as to communicate the upstream communication path (52a) and the downstream communication path (53a). The fifth joint (51) communicates with the communication passage (10a) of the sixth fluid control member body (10) and the inlet passage (5a) of the left extension block (5) of the mass flow controller (2). A U-shaped communication path (51a) is formed.
[0016]
The outlet-side blocking / opening portion (4) includes a seventh fluid control member (26) disposed in the upper stage and sixth and seventh rectangular parallelepiped joints (54) (28) disposed in the lower stage. The seventh fluid control member (26) is provided integrally with the block-shaped main body (29) having a downward inlet passage (29a) and an outlet passage (29b) and communicates between the passages (29a) (29b). It consists of the 4th on-off valve (30) which interrupts | releases. The sixth joint (54) arranged on the left side of the outlet side shut-off part (4) is a joint with a U-shaped communication path composed of first and second rectangular parallelepiped joint components, and the first joint The component member (55) has an L-shaped upstream communication passage having one end communicating with the outlet passage (6a) of the rightward extending block (6) of the mass flow controller (2) and the other end opened to the right. (55a) is provided, and one end of the second joint component member (56) communicates with the downstream communication passage (55a) of the first joint component member (55), and the other end of the seventh fluid control member body ( 29) An L-shaped downstream communication passage (56a) communicating with the inlet passage (29a) is provided. The first and second joint constituent members (55) and (56) are overlapped via the seal portion (33) so as to communicate the upstream communication path (55a) and the downstream communication path (56a). The sixth joint (54) communicates the outlet passage (6a) of the rightward extending block (6) of the mass flow controller (2) and the inlet passage (29a) of the seventh fluid control member body (29). A U-shaped communication path (54a) is formed. One end of the seventh joint (28) disposed on the right side of the outlet-side shut-off part (4) communicates with the outlet passage (29b) of the seventh fluid control member body (29), and the other end opens rearward. A communication passage (28a) is provided. The rear surface of the seventh joint (28) is provided with an outlet pipe connecting portion (not shown) that communicates with the communication passage (28a).
[0017]
The lower surfaces of the fluid control members (5) (6) (7) (8) (9) (10) (26) are all flush with each other and the joints (11) (12) (13) (14) ( 51) (54) (28) are also flush with each other, and the joints (11) (12) (13) (14) (51) (54) (28) are fixed to the substrate (31). The control members (5), (6), (7), (8), (9), (10), and (26) are connected to the joints (11), (12), (13), (14), and (51) by screws (32) from above. 54) It is fixed to (28).
[0018]
In this way, different fluids are respectively introduced from the first inlet pipe connecting portion (25) of the first joint (11) and the second inlet pipe connecting portion of the fourth joint (14), and these fluids are appropriately switched to change the mass flow controller. The fluid control device (1) discharged from the outlet pipe connection portion of the seventh joint (28) through (2) is configured.
[0019]
According to this fluid control device (1), the mass flow controller (2) can be taken upward together with the left and right projecting blocks (5) and (6). Further, the third to seventh fluid control members (7), (8), (9), (10), and (26) are moved upward in units of fluid control members (7), (8), (9), (10), and (26). It can be taken out. The communication parts of the fluid control members (5) (6) (7) (8) (9) (10) (26), the communication parts of the joints (11) (12) (13) (14) (15) and Communication between fluid control member (5) (6) (7) (8) (9) (10) (26) and joint (11) (12) (13) (14) (51) (54) (28) Each part is provided with a seal part (33).
[0020]
[Problems to be solved by the invention]
In the fluid control device (1), the fifth joint (51) and the sixth joint (54) are respectively L-shaped passages (52a) (53a) (55a) in order to obtain a U-shaped passage as a whole. The two structural members (52), (53), (55), and (56) having (56a) are abutted with each other through the seal portion (33), and the number of members is increased and the assembly is troublesome. In addition, there is a problem to be solved that the risk of fluid leakage and maintenance therefor increase due to an increase in the number of seal portions.
[0021]
In view of the above circumstances, an object of the present invention is to maintain the advantages of the fluid control device disclosed in Japanese Patent Application No. 9-278495, and to reduce the number of members and the seal portion in the fluid control device. It is in providing a member and its manufacturing method.
[0022]
[Means for Solving the Problems and Effects of the Invention]
The fluid control device joint member manufacturing method according to the present invention includes a U-shaped passage comprising a pair of left and right upward opening passages and a communication passage communicating the lower ends of both upward opening passages. The left and right upward opening passages are opened in the block-like body from the upper surface thereof, and the communication passage and the molding auxiliary passage extending in the extending direction thereof are opened in the block-like body. A first step of opening from the side opposite to the passage, a second step of inserting the closing member into the auxiliary passage so as to cover the other upward opening passage forming portion, and a third step of welding the closing member to the auxiliary passage. The other upward opening passage is formed on the block-like body from its upper surface so that the closing member and a part of the welding portion are scraped off and the auxiliary passage is closed by the remaining portion of the welding portion. That it is characterized in more becomes possible with the fourth step.
[0023]
Thus, according to the obtained coupling member, by which the closure member welded is inserted into formed shapes for the auxiliary passage scraped away, as molding auxiliary passage, there is no possibility that the fluid flows in the auxiliary passage, the weld Since fluid is not collected in the auxiliary passage because of the blockage of the remaining part of the process, the purity of process gases, etc. may be reduced even when used in equipment that requires extremely high cleanliness, such as semiconductor manufacturing equipment. There is no cause.
[0024]
In the method for manufacturing a joint member for a fluid control device according to the present invention , in the first step, it is preferable that an opening having a diameter larger than that of the auxiliary passage is formed in the side surface of the block-shaped main body. The closing member can be easily inserted and welded, which is a process for manufacturing the joint member.
[0025]
A joint member for a fluid control device according to the present invention is a joint member for a fluid control device including a U-shaped passage including a pair of left and right upward opening passages and a communication passage communicating the lower ends of both upward opening passages. It is manufactured by the method according to the present invention.
[0026]
According to the joint member thus obtained, the joint in which two constituent members each having an L-shaped passage are abutted via the seal portion can be replaced with this joint member. The part can also be reduced. Therefore, the assembly of the fluid control device can be simplified, and the risk of fluid leakage at the seal portion and the maintenance therefor can be reduced. In addition, since fluid does not accumulate in the auxiliary passage, even if it is used in an apparatus that requires extremely high cleanliness such as a semiconductor manufacturing apparatus, there is no problem of a decrease in purity of process gas and the like.
[0027]
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. In the following description, the front side of the paper in FIG. 1 is referred to as the front, and the back side of the paper is referred to as the rear.
[0028]
FIG. 1 shows an example of a fluid control apparatus provided with the joint member of the present invention. This fluid control device (1) is used in a semiconductor manufacturing device or the like, and includes a mass flow controller (2), an inlet side shut-off opening (3) provided on the left side of the mass flow controller (2), and a mass flow controller. (2) and an outlet side shut-off opening (4) provided on the right side of (2).
[0029]
The lower left surface of the mass flow controller (2) is provided with a rectangular parallelepiped left projecting block (first fluid control member) (5) having an inlet passage (5a) that opens to the lower surface. A rectangular parallelepiped right extending block (second fluid control member) (6) having an outlet passage (6a) that opens is provided. Both overhanging blocks (5) and (6) are fixed to the main body of the mass flow controller (2) by screws from the side.
[0030]
The inlet side shut-off part (3) includes four fluid control members (7) (8) (9) (10) arranged in the upper stage and four rectangular parallelepiped joints (11) (12) arranged in the lower stage. (14) and (51).
[0031]
The third fluid control member (7) disposed at the left end of the inlet-side shut-off part (3) is provided integrally with the block-shaped main body (16) having a downward inlet passage (16a) and an outlet passage (16b). And a first on-off valve (17) for blocking and opening the communication between the passages (16a) and (16b).
[0032]
The fourth fluid control member (8) disposed second from the left end of the inlet-side shut-off portion (3) has a downward inlet passage (18a) and an outlet passage (18b) and has an inclined surface on the upper left portion. A substantially rectangular parallelepiped block-shaped main body (18) formed on the main body (18), and a pressure regulator which is provided on the inclined surface of the main body (18) and is arranged in a communication portion between the inlet passage (18a) and the outlet passage (18b) to adjust the pressure. (19) and a pressure sensor (20) that measures the fluid pressure through a passage that is provided in a flat portion on the right upper surface of the main body (18) and communicates with the outlet passage (18b). A filter (21) is provided in the inlet passage (18a) of the main body (18).
[0033]
The fifth fluid control member (9) arranged third from the left end of the inlet side shut-off part (3) is a second and third on-off valve provided integrally with one rectangular parallelepiped block-shaped main body (22). (23) Consists of (24). The main body (22) has a downward first inlet passage (22a) provided at the left end, and a rightward outlet passage (22b) communicating with the first inlet passage (22a) via the second on-off valve (23). ) And a downward second inlet passage (22c) communicating with the outlet passage (22b) via the third on-off valve (24).
[0034]
The sixth fluid control member (10) arranged fourth from the left end of the inlet-side blocking / opening portion (3) is composed of one rectangular parallelepiped passage block. The sixth fluid control member (10) is provided with a communication passage (10a) having one end communicating with the outlet passage (22b) of the fifth fluid control member main body (22) and the other end opening downward. .
[0035]
The first joint (11) disposed at the left end of the inlet-side blocking / opening portion (3) communicates with the inlet passage (16a) of the third fluid control member body (16) and opens to the left. A U-shaped communication passage (11b) that communicates the passage (11a) with the outlet passage (16b) of the third fluid control member body (16) and the inlet passage (18a) of the fourth fluid control member body (18); Is provided. A first inlet pipe connecting part (25) communicating with the communication path (11a) is provided on the left surface of the first joint (11).
[0036]
The second joint (12) disposed second from the left end of the inlet side shut-off part (3) has an outlet passage (18b) of the fourth fluid control member body (18) and a fifth fluid control member body (22). ) Of the first inlet passage (22a) and a U-shaped communication passage (12a).
[0037]
One end of the third joint (14) arranged third from the left end of the inlet-side shut-off part (3) communicates with the second inlet passage (22c) of the fifth fluid control member body (22), and the other end. Is provided with a communication passage (14a) that opens rearward. On the rear surface of the fourth joint (14), a second inlet pipe connecting portion (not shown) that leads to the communication passage (14a) is provided.
[0038]
The fourth joint (51) arranged fourth from the left end of the inlet side shut-off part (3) has a communication passage (10a) of the sixth fluid control member (10) and a left-hand tension of the mass flow controller (2). A U-shaped communication path (51a) that communicates with the inlet passage (5a) of the outlet block (5) is provided.
[0039]
The outlet-side blocking / opening portion (4) includes a seventh fluid control member (26) arranged at the upper stage and fifth and sixth rectangular parallelepiped joints (54) (28) arranged at the lower stage. The seventh fluid control member (26) is provided integrally with the block-shaped main body (29) having a downward inlet passage (29a) and an outlet passage (29b) and communicates between the passages (29a) (29b). It consists of the 4th on-off valve (30) which interrupts | releases. The fifth joint (54) disposed on the left side of the outlet-side shut-off part (4) includes an outlet passage (6a) of the right extension block (6) of the mass flow controller (2) and a seventh fluid control member. A U-shaped communication path (54a) that communicates with the inlet passage (29a) of the main body (29) is provided. One end of the sixth joint (28) arranged on the right side of the outlet-side shut-off portion (4) is connected to the outlet passage (29b) of the seventh fluid control member body (29), and the other end is opened rearward. A communication passage (28a) is provided. The rear surface of the sixth joint (28) is provided with an outlet pipe connecting portion (not shown) that communicates with the communication passage (28a).
[0040]
The lower surfaces of the fluid control members (5) (6) (7) (8) (9) (10) (26) are all flush with each other, and the joints (11) (12) (14) (51) ( 54) (28) are also flush with each other, the joints (11) (12) (14) (51) (54) (28) are fixed to the substrate (31), and each fluid control member (5) ( 6) (7) (8) (9) (10) (26) are fixed to the joints (11) (12) (14) (51) (54) (28) by screws (32) from above. Yes.
[0041]
In this way, different fluids are respectively introduced from the first inlet pipe connection part (25) of the first joint (11) and the second inlet pipe connection part of the third joint (14), and these fluids are appropriately switched to switch the mass flow controller. The fluid control device (1) discharged from the outlet pipe connection portion of the sixth joint (28) through (2) is configured.
[0042]
According to this fluid control device (1), the mass flow controller (2) can be taken upward together with the left and right projecting blocks (5) and (6). Further, the third to seventh fluid control members (7), (8), (9), (10), and (26) are moved upward in units of fluid control members (7), (8), (9), (10), and (26). It can be taken out. The fluid control members (5), (6), (7), (8), (9), (10), and (26), and their joints (11) (12) (14) (51) (54) (28) The communication part is provided with a seal part (33).
[0043]
When the fluid control device (1) according to the present invention is compared with the conventional fluid control device (101) shown in FIG. 3, the upper fluid control members (7) (8) (9) (10) (26) Have the same configuration and the same function, and the number of members constituting the lower joint is conventionally (11) (12) (13) (14) (52) (53) (55) (56) In the present invention, the number is reduced to six (11), (12), (14), (51), (54), and (28). The four seal portions (33) arranged in the communicating portion between the lower joint members (11), (12), (13), (52), (53), (55), and (56) are not necessary in the present invention. It is said that.
[0044]
Next, a preferred method for manufacturing the joint members (12) (51) (54) having the U-shaped passages (12a) (51a) (54a) will be described below by taking the third joint (51) as an example.
[0045]
As shown in FIGS. 2A and 2B, in the first step, a left upward opening passage (52a) is opened from the upper surface side of the block-shaped main body (52), and an auxiliary passage is opened from the right side surface of the main body. (52c) and the communication passage (52b) are communicated with the lower end of the upward opening passage (52a). A large-diameter opening (53) for easily performing the next step is opened on the right side surface of the main body (52). At this time, the order in which the upward opening passage (52a), the auxiliary passage (52c) and the communication passage (52b) are opened may be either. In the second step, a thin disk-shaped blocking member (54) is inserted into the auxiliary passage (52c). Here, the closing member (54) is inserted over the portion for forming the upward opening passage (52d) so as to be scraped off when forming the upward opening passage (52d) on the right side. In the third step, the closing member (54) is welded to the auxiliary passage (52c). In this welding, as shown in FIG. 5C, the large-diameter opening (53) is provided so that there is no possibility of fluid flowing into the auxiliary passage (52c) even if the blocking member (54) is scraped off. The auxiliary passageway (52c) except for is completely closed. Then, in the fourth step, as shown in FIG. 4D, a right upward opening passageway (52d) is provided in the block-shaped main body (52). As a result, a part of the closing member (54) and the welded portion (W) is scraped off to form a joint member (51) in which the auxiliary passageway (52c) is closed by the remaining portion (W1) of the welded portion. In this way, the joint member (51) has a pair of left and right linear upward opening passages (52a) (52d) parallel to each other and a linear communication passage communicating the lower ends of both upward opening passages (52a) (52d). A U-shaped passage (51a) made of (52b) is formed. According to the joint (51) manufactured in this way, fluid does not accumulate in the auxiliary passage (52c), so that the process gas can be used even in an apparatus that requires extremely high cleanliness, such as a semiconductor manufacturing apparatus. It does not cause the problem of purity reduction.
[0046]
Although not shown in FIG. 2, the block-shaped main body (52) is extended to the left, and an L-shaped passage comprising a straight upward opening passage and a straight lateral opening passage connected to the lower end portion is provided here. By further forming (11a), the first joint (11) can be obtained.
[Brief description of the drawings]
FIG. 1 is a view showing an example of a fluid control apparatus using a joint member according to the present invention.
FIG. 2 is a view showing a method for manufacturing a joint member according to the present invention.
FIG. 3 is a view showing an example of a fluid control apparatus using a conventional joint member.
[Explanation of symbols]
(11) (12) (51) (54) Joint member (11a) L-shaped passage (11b) (12a) (51a) (54a) U-shaped passage (52) Block-shaped body (52a) Upward to the left Opening passage (52b) Communication passage (52c) Auxiliary passage (52d) Right upward opening passage (53) Large-diameter opening (54) Closure member (W) Welded portion (W1) Remaining welded portion
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Cited By (1)
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Families Citing this family (7)
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|---|---|---|---|---|
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2002
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US11226641B2 (en) | 2016-10-14 | 2022-01-18 | Fujikin Incorporated | Fluid control device |
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