JP2001132864A - Exhaust changeover unit - Google Patents
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、半導体製
造で排出される反応性ガスを支燃性ガスと可燃性ガスと
に分けて所定の排気処理装置へ送り込むために使用され
るものであって、共通の流路を通って送られる異なるガ
スを種類に応じて別々の出力ポートから排出する排気切
替ユニットに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention is used, for example, for separating a reactive gas discharged in the manufacture of semiconductors into a supporting gas and a flammable gas and sending them to a predetermined exhaust treatment device. In addition, the present invention relates to an exhaust switching unit that discharges different gases sent through a common flow path from different output ports according to types.
【０００２】[0002]
【従来の技術】半導体の製造では、例えばチャンバから
排出されたプロセスガスは、所定の排気処理装置へと送
り込まれて処理されている。その際、プロセスガスを支
燃性ガスと可燃性ガス（例えば、水素（Ｈ2 ）を含む）
とに分て別々の排気処理装置へと選択的に送り込むこと
が行われ、そのためガスを分別排気する排気切替システ
ムが使用されている。この排気切替システムには、図８
に示すような一つの入口に対し二つの出口をもった排気
切替ユニットが使用されている。2. Description of the Related Art In the manufacture of semiconductors, for example, a process gas discharged from a chamber is sent to a predetermined exhaust processing device for processing. At this time, the process gas is converted to a combustible gas and a combustible gas (for example, including hydrogen (H 2 )).
The exhaust gas is selectively fed into separate exhaust treatment devices, and an exhaust switching system that separates and exhausts gas is used. FIG. 8 shows the exhaust switching system.
An exhaust switching unit having two outlets for one inlet as shown in FIG.
【０００３】排気切替ユニット１００は、二つの開閉バ
ルブ１０１，１１１が使用され、それぞれの入力ポート
１０２，１１２がＴ字管１２１の管端部に配管用継手１
３１，１３２によって接続されている。また、開閉バル
ブ１０１，１１１の出力ポート１０３，１１３には、そ
れぞれ配管用継手１３３，１３４によって排気管１２
２，１２３が接続されている。そして、その一方の排気
管１２２には可燃性ガス用スクラバが、他方の排気管１
２３には支燃性ガス用スクラバが、各プロセスガスを処
理するために接続されている。また、可燃性ガスを処理
するには、可燃性ガスを希釈する窒素ガスを供給する必
要があるため、排気管１２２には不図示の窒素パージラ
インを接続するためのＮ2 ポート１４１が設けられてい
る。更に、排気切替ユニット１００には、開閉バルブ１
０１，１１１へ流れるプロセスガスの圧力を検出するた
めの圧力センサ１４２がＴ字管１２１に接続されてい
る。The exhaust switching unit 100 uses two on-off valves 101 and 111, and input ports 102 and 112 are respectively connected to a pipe end of a T-shaped pipe 121 by a pipe joint 1.
31 and 132 are connected. The output ports 103 and 113 of the on-off valves 101 and 111 are connected to the exhaust pipe 12 by pipe joints 133 and 134, respectively.
2 and 123 are connected. One of the exhaust pipes 122 has a combustible gas scrubber and the other exhaust pipe 1
A combustion supporting gas scrubber 23 is connected to 23 for processing each process gas. Further, in order to process the combustible gas, it is necessary to supply a nitrogen gas for diluting the combustible gas. Therefore, the exhaust pipe 122 is provided with an N 2 port 141 for connecting a nitrogen purge line (not shown). ing. Further, the exhaust switching unit 100 includes an opening / closing valve 1.
A pressure sensor 142 for detecting the pressure of the process gas flowing to 01 and 111 is connected to the T-tube 121.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、こうし
た従来の排気切替ユニット１００は、二つの開閉バルブ
１０１，１１１をそれぞれＴ字管１２１及び排気管１２
２，１２３に接続させるため、４箇所で配管用継手１３
１〜１３４を使用しなければならず、接続箇所が多いこ
とから構造上漏れが発生しやすいものであった。また、
従来の排気切替ユニット７０では、ガスを各開閉バルブ
１０１，１１１へ流すためにＴ字管７１などの分岐管を
用いていたので、分岐管の配管スペース分だけユニット
が大きくなってしまう大型化の問題もあった。However, in such a conventional exhaust switching unit 100, the two on-off valves 101 and 111 are connected to the T-tube 121 and the exhaust pipe 12 respectively.
2 and 123, the pipe joint 13 at four places.
1 to 134 had to be used, and because of the large number of connection points, leakage was likely to occur due to the structure. Also,
In the conventional exhaust switching unit 70, a branch pipe such as a T-tube 71 is used to flow gas to each of the on-off valves 101 and 111. Therefore, the unit becomes large by the piping space of the branch pipe. There were also problems.
【０００５】そこで、本発明は、漏れに対する安全性を
高めた排気切替ユニットを提供すること、また小型化し
た排気切替ユニットを提供することを目的とする。Accordingly, an object of the present invention is to provide an exhaust gas switching unit with improved safety against leakage, and to provide a miniaturized exhaust gas switching unit.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明の排気切替ユニッ
トは、少なくとも二つ以上のバルブの開閉を切り替える
ことにより、ガスの種類に応じて異なる排出口から分別
して排出するものであって、一つの空間からなる弁室に
少なくとも二つ以上の出力ポートが開設されたバルブボ
ディに、前記出力ポート毎に形成された弁室内の弁座に
対して弁体を当接・離間させるアクチュエータが一体に
取り付けられたことを特徴とする。また、本発明の排気
切替ユニットは、一つの空間からなる弁室に一つの入力
ポートと二つの出力ポートとが開設され、弁室内に各出
力ポート毎の弁座が形成された箱型のバルブボディと、
前記バルブボディ内に挿入された弁ロッドの先端に弁体
を備え、弁ロッドを軸方向に駆動させて前記弁座に弁体
を当接・離間させる二つのエアシリンダとを有すること
を特徴とする。The exhaust switching unit according to the present invention is configured to selectively open and close at least two or more valves to separate and discharge from different outlets according to the type of gas. An actuator for contacting and separating a valve body with a valve seat in a valve chamber formed for each of the output ports is integrally formed with a valve body in which at least two or more output ports are opened in a valve chamber formed of two spaces. It is characterized by being attached. Further, the exhaust switching unit of the present invention is a box-shaped valve in which one input port and two output ports are opened in a valve chamber formed of one space, and a valve seat for each output port is formed in the valve chamber. Body and
A valve body is provided at the tip of a valve rod inserted into the valve body, and two air cylinders are provided for driving the valve rod in the axial direction to contact / separate the valve body from / to the valve seat. I do.
【０００７】こうした構成の排気切替ユニットは、一つ
の弁室内に弁座及び弁体からなる複数のバルブが設けら
れ、各バルブに対応して設けられたアクチュエータ（例
えばエアシリンダ）がバルブの開閉を行うことによっ
て、複数ある出力ポートのうち所定のポートから所定の
ガスを排出する。よって、本発明の排気切替ユニット
は、ガスを各バルブに分けて流すための分岐管が不要に
なったため、接続箇所を減らせたことで漏れに対する安
全性を高めることができ、また分岐管の配管スペースを
省いたことで小型化を図ることができるようになった。In the exhaust switching unit having such a configuration, a plurality of valves including a valve seat and a valve body are provided in one valve chamber, and an actuator (for example, an air cylinder) provided for each valve opens and closes the valve. By doing so, a predetermined gas is discharged from a predetermined port of the plurality of output ports. Therefore, the exhaust switching unit of the present invention eliminates the need for a branch pipe for flowing gas separately to each valve, so that it is possible to increase the safety against leakage by reducing the number of connection points, and also to improve the piping of the branch pipe. The elimination of space has made it possible to reduce the size.
【０００８】[0008]
【発明の実施の形態】次に、本発明に係る排気切替ユニ
ットの一実施の形態について図面を参照して説明する。
本実施の形態の排気切替ユニットは、前記従来例のもの
と同様に、チャンバから排出されたプロセスガスを支燃
性ガスと可燃性ガスとに分け、別々の排気処理装置へと
送り込むための排気切替システムを構成するものであ
る。ここで、図１は、その排気切替システムを示した回
路図である。排気切替システム１は、チャンバの排気ポ
ンプ２に排気ライン１１が接続され、その下流側では、
分岐した一方の分岐ライン１２が可燃性ガス用スクラバ
３に、他方の分岐ライン１３が支燃性ガス用スクラバ４
にそれぞれ接続されている。可燃性ガス用スクラバ３
は、水素を含む可燃性ガスをアルカリ液を含む通気攪拌
槽に導入して溶解させ、その後に洗浄水により洗浄する
ことによって可燃性ガスを処理するものである。また、
支燃性ガス用スクラバ４は、非可燃性ガスを反応槽に充
填した特殊薬剤に吸着させて処理し無害化するものであ
る。Next, an embodiment of an exhaust gas switching unit according to the present invention will be described with reference to the drawings.
The exhaust switching unit according to the present embodiment separates the process gas discharged from the chamber into a combustion supporting gas and a flammable gas, and sends the process gas to a separate exhaust processing device, as in the conventional example. This constitutes a switching system. Here, FIG. 1 is a circuit diagram showing the exhaust switching system. In the exhaust switching system 1, an exhaust line 11 is connected to an exhaust pump 2 of a chamber, and on the downstream side thereof,
One of the branched lines 12 is a combustible gas scrubber 3, and the other branch line 13 is a combustible gas scrubber 4.
Connected to each other. Scrubber for combustible gas 3
Is to treat a combustible gas by introducing a combustible gas containing hydrogen into a ventilation stirring tank containing an alkali solution and dissolving the gas, followed by washing with washing water. Also,
The scrubber 4 for the combustible gas is used for adsorbing the non-flammable gas to the special agent filled in the reaction tank and treating it to make it harmless.
【０００９】排気ライン１１には圧力センサ１５が設け
られ、各分岐ライン１２，１３には、開閉バルブ１６，
１７がそれぞれ配管されている。また、可燃性ガス用ス
クラバ３に接続される分岐ライン１２には、窒素パージ
ライン２１が接続されている。窒素パージライン２１
は、窒素タンク５に接続され、順に可変オリフィ２２、
フローメータ２３、開閉バルブ２４及び逆止弁２５が配
管されている。分岐ライン１２にのみ窒素パージライン
２１が接続されているのは、可燃性ガス用スクラバ３へ
送り込まれる可燃性ガスを希釈してそのガス濃度を所定
の規定値以下にするためである。The exhaust line 11 is provided with a pressure sensor 15, and each of the branch lines 12, 13 is provided with an on-off valve 16,
17 are respectively piped. A nitrogen purge line 21 is connected to the branch line 12 connected to the combustible gas scrubber 3. Nitrogen purge line 21
Are connected to the nitrogen tank 5, and in order, the variable orifice 22,
A flow meter 23, an opening / closing valve 24 and a check valve 25 are provided. The reason why the nitrogen purge line 21 is connected only to the branch line 12 is to dilute the flammable gas sent to the flammable gas scrubber 3 so that its gas concentration becomes equal to or lower than a predetermined specified value.
【００１０】本実施の形態の排気切替ユニットは、こう
した排気切替システム１の一部を構成したものであっ
て、特にその排気ライン１１及び分岐ライン１２，１３
部分と、二つの開閉バルブ１６，１７部分を形成するも
のである。図１は、その排気切替ユニットを示した外観
斜視図である。本実施の形態の排気切替ユニット７０
は、図示するように一つのバルブボディ５０に対して二
つのエアシリンダ３０，４０が設けられ、二つの開閉バ
ルブを一体にした構成になっている。図３及び図４は、
この排気切替ユニット７０を示した断面図である。The exhaust gas switching unit according to the present embodiment constitutes a part of such an exhaust gas switching system 1, and particularly has an exhaust line 11 and branch lines 12, 13.
And two on-off valves 16, 17 are formed. FIG. 1 is an external perspective view showing the exhaust switching unit. Exhaust switching unit 70 of the present embodiment
As shown, two air cylinders 30 and 40 are provided for one valve body 50, and two opening / closing valves are integrated. FIG. 3 and FIG.
FIG. 3 is a cross-sectional view showing the exhaust switching unit 70.
【００１１】排気切替ユニット７０には同一のエアシリ
ンダ３０，４０が使用され、バルブボディ５０に固定さ
れて一体になっている。エアシリンダ３０，４０は、シ
リンダチューブ３１，４１内を摺動するピストン３２，
４２に対し、弁ロッド３３，４３が同軸に固定され、そ
の弁ロッド３３，４３がバルブボディ５０内にまで挿入
されている。そして、弁ロッド３３，４３の先端には、
弁体に相当するＯリング３４，４４を保持したベローズ
組立３５，４５が固定されている。The same air cylinders 30, 40 are used for the exhaust switching unit 70, and are fixed to and integrated with the valve body 50. Air cylinders 30 and 40 include pistons 32 that slide in cylinder tubes 31 and 41, respectively.
The valve rods 33 and 43 are coaxially fixed to 42, and the valve rods 33 and 43 are inserted into the valve body 50. And, at the tip of the valve rods 33 and 43,
Bellows assemblies 35 and 45 holding O-rings 34 and 44 corresponding to valve bodies are fixed.
【００１２】本実施の形態の排気切替ユニット７０で
は、二つの開閉バルブのうち、エアシリンダ３０側がノ
ーマルオープン型で、エアシリンダ４０側がノーマルク
ローズ型を構成している。そのため、弁ロッド３３には
バネ受フランジ３８が固定され、その弁ロッド３３に貫
通されたバネ保持部材３９との間にスプリング３６が装
填され、弁ロッド３３が常時上方へ付勢されている。一
方、弁ロッド４３は、シリンダ４０に固定されたバネ受
リング４８を貫通し、そのバネ受リング４８とベローズ
組立４５との間に装填されたスプリング４６によって常
時下方へ付勢されている。ベローズ組立３５，４５には
それぞれベローズ３７，４７が連結され、そのベローズ
３７，４７が、弁ロッド３３，４３及びスプリング３
６，４６等を覆って、エアシリンダ３０，４０側へのガ
ス漏れを防止している。In the exhaust switching unit 70 of this embodiment, of the two on-off valves, the air cylinder 30 side is a normally open type and the air cylinder 40 side is a normally closed type. Therefore, a spring receiving flange 38 is fixed to the valve rod 33, and a spring 36 is loaded between the valve rod 33 and a spring holding member 39 penetrating the valve rod 33, and the valve rod 33 is constantly urged upward. On the other hand, the valve rod 43 passes through a spring receiving ring 48 fixed to the cylinder 40 and is constantly urged downward by a spring 46 loaded between the spring receiving ring 48 and the bellows assembly 45. Bellows 37, 47 are connected to the bellows assemblies 35, 45, respectively.
6, 46, etc., to prevent gas leakage to the air cylinders 30, 40 side.
【００１３】次に、バルブボディ５０は、二つのバルブ
を共有する一つの弁室５１を形成したものであって、図
３及び図４に示すような箱型をしたものである。そし
て、そのバルブボディ５０には、側方に突き出た一つの
入力ポート５２と、下方に突き出た二つの出力ポート５
３，５４が形成されている。バルブボディ５０内には、
出力ポート５３，５４の周りに平坦な弁座面５５，５６
が環状に形成されている。図５は、バルブボディ５０の
シリンダ取付面を示した平面図である。そのシリンダ取
付面５９は、二つのエアシリンダ３０，４０を並べて固
定できるだけの面積を有し、弁ロッド３３，４３を通す
ための貫通孔５７，５８が並べて穿設され、更に貫通孔
５７，５８の周りに同心円上に嵌め込み用の段差や、エ
アシリンダ３０，４０をネジ止めするためのネジ穴が形
成されている。Next, the valve body 50 forms one valve chamber 51 which shares two valves, and has a box shape as shown in FIGS. The valve body 50 has one input port 52 projecting laterally and two output ports 5 projecting downward.
3, 54 are formed. In the valve body 50,
Flat valve seat surfaces 55, 56 around output ports 53, 54
Are formed in an annular shape. FIG. 5 is a plan view showing a cylinder mounting surface of the valve body 50. The cylinder mounting surface 59 has an area enough to fix the two air cylinders 30 and 40 side by side. Through holes 57 and 58 for passing the valve rods 33 and 43 are formed side by side. A concentric step and a screw hole for screwing the air cylinders 30 and 40 are formed around the concentric circle.
【００１４】ところで、排気切替ユニット７０が図１に
示す排気切替システム１を構成するためには、排気ライ
ン１１に相当する入力ポート５２から弁室５１に至る何
れかの部分に圧力センサ１５を、そして分岐ライン１２
に相当する出力ポート５３の部分に窒素パージライン２
１を接続する必要がある。そこで、排気切替ユニット７
０では、バルブボディ５０に図２に示すような円柱部６
１，６２を突設し、それぞれの中心を貫いて弁室５１に
開設されたＰポート６３と、出力ポート５３部分に開設
されたＮ2 ポート６４とが穿設されている。図６は、図
５のＡ−Ａ断面図であり、Ｐポート６３及びＮ2 ポート
６４を示したものである。また、排気切替ユニット７０
は、円柱部６１，６２の端面を基板などに当てるように
して固定するため、取り付けバランスを良くするため
に、もう一方の出力ポート５４側にも円柱部６５が同じ
高さで突設されている。By the way, in order for the exhaust switching unit 70 to constitute the exhaust switching system 1 shown in FIG. 1, the pressure sensor 15 is provided in any part from the input port 52 corresponding to the exhaust line 11 to the valve chamber 51. And branch line 12
Nitrogen purge line 2 at the output port 53 corresponding to
1 must be connected. Therefore, the exhaust switching unit 7
0, the cylinder body 6 as shown in FIG.
A P port 63 opened in the valve chamber 51 and a N 2 port 64 opened in the output port 53 portion are formed in the valve chamber 51 so as to penetrate the center of each. FIG. 6 is a sectional view taken along line AA of FIG. 5 and shows the P port 63 and the N 2 port 64. Also, the exhaust switching unit 70
Since the end faces of the cylindrical portions 61 and 62 are fixed to the substrate or the like so as to come into contact with the substrate or the like, the cylindrical portion 65 is also provided at the other output port 54 side at the same height so as to improve the mounting balance. I have.
【００１５】そして、こうして構成された排気切替ユニ
ット７０のＰポート６３には圧力センサ１５が、またＮ
2 ポート６４には窒素パージライン２１が接続されて図
１に示す排気切替システム１が構成され、更にその入力
ポート５２に排気ポンプ２が接続され、一方の出力ポー
ト５３には可燃性ガス用スクラバ３が、また他方の出力
ポート５４には支燃性ガス用スクラバ４が接続される。
また、排気切替システム１には、図７に示すようにエア
シリンダ３０，４０を動作させる圧縮エアの供給を制御
するコントローラ７１が設けられている。The pressure sensor 15 is connected to the P port 63 of the exhaust gas switching unit 70,
The two- port 64 is connected to the nitrogen purge line 21 to constitute the exhaust switching system 1 shown in FIG. 1. The exhaust port 2 is connected to the exhaust pump 2, and the output port 53 is connected to the scrubber for combustible gas. 3, and the other output port 54 is connected to the scrubber 4 for supporting gas.
Further, the exhaust switching system 1 is provided with a controller 71 for controlling the supply of compressed air for operating the air cylinders 30, 40 as shown in FIG.
【００１６】次に、プロセスガスの切替排気処理につい
て説明する。半導体製造工程では、図７に示すように、
ＣＶＤ装置８０のチャンバ８１内で膜付け処理に使用さ
れたプロセスガスは、排気ポンプ２によって吸引排気さ
れて排気切替ユニット７０へと送り込まれる。このと
き、ＣＶＤ装置８０のＩ／Ｏポート８２に接続されたコ
ントローラ７１によってエアシリンダ３０，４０の開閉
制御が行われ、プロセスガスの種類に従った処理装置へ
の排気切替が行われる。Next, the process for switching and exhausting the process gas will be described. In the semiconductor manufacturing process, as shown in FIG.
The process gas used in the film forming process in the chamber 81 of the CVD device 80 is sucked and exhausted by the exhaust pump 2 and sent to the exhaust switching unit 70. At this time, the controller 71 connected to the I / O port 82 of the CVD apparatus 80 controls the opening and closing of the air cylinders 30 and 40, and switches the exhaust to the processing apparatus according to the type of the process gas.
【００１７】具体的には、チャンバ８１から排出された
プロセスガスが可燃性ガスの場合は、図３に示すように
出力ポート５３側を開弁（図１に示す開閉バルブ１６）
して出力ポート５４側を閉弁（図１に示す開閉バルブ１
７）させる。これによって、入力ポート５２から弁室５
１内に入った可燃性ガスは出力ポート５３からのみ排出
される。また、出力ポート５３には、同時にＮ2 ポート
６４（図６参照）から窒素ガスが供給される。そのた
め、可燃性ガスが所定濃度にまで希釈されて、出力ポー
ト５３に接続された可燃性ガス用スクラバ３へと送り込
まれて処理される。Specifically, when the process gas discharged from the chamber 81 is a flammable gas, the output port 53 side is opened as shown in FIG. 3 (open / close valve 16 shown in FIG. 1).
To close the output port 54 side (open / close valve 1 shown in FIG. 1).
7) As a result, the input port 52 connects the valve chamber 5
The combustible gas that has entered inside 1 is discharged only from the output port 53. The output port 53 is simultaneously supplied with nitrogen gas from the N 2 port 64 (see FIG. 6). Therefore, the flammable gas is diluted to a predetermined concentration, sent to the flammable gas scrubber 3 connected to the output port 53, and processed.
【００１８】一方、チャンバ８１から排出されたプロセ
スガスが支燃性ガスの場合は、図４に示すように出力ポ
ート５４側を開弁（図１に示す開閉バルブ１７）して出
力ポート５３側を閉弁（図１に示す開閉バルブ１６）さ
せる。これにより、入力ポート５２から弁室５１内に入
った支燃性ガスは出力ポート５４からのみ排出され、そ
こに接続された支燃性ガス用スクラバ４へと送り込まれ
て処理されることとなる。また、仮にガスの排気処理中
に何らかの故障によってエアシリンダ３０，４０へのエ
ア供給が停止してしまった場合にでも、各開閉バルブは
図３に示す開閉状態になるので、可燃性ガスが支燃性ガ
ス用スクラバ４へ送られることはない。一方、支燃性ガ
スが可燃性ガス用スクラバ３へ送られることに問題はな
い。On the other hand, when the process gas discharged from the chamber 81 is a combustion supporting gas, the output port 54 side is opened (opening / closing valve 17 shown in FIG. 1) as shown in FIG. Is closed (open / close valve 16 shown in FIG. 1). As a result, the supporting gas that has entered the valve chamber 51 from the input port 52 is discharged only from the output port 54, sent to the supporting gas scrubber 4 connected thereto, and processed. . Further, even if the air supply to the air cylinders 30 and 40 is stopped due to some kind of failure during the gas exhaust processing, the on-off valves are opened and closed as shown in FIG. It is not sent to the combustible gas scrubber 4. On the other hand, there is no problem in that the combustible gas is sent to the combustible gas scrubber 3.
【００１９】よって、以上のように構成された本実施の
形態の排気切替ユニット７０は、二つのバルブを一つの
バルブボディ５０に設けたので、排気ポンプ２から二つ
のバルブへ分岐する分岐管が不要になった分、管とバル
ブとの接続箇所が減って漏れに対する信頼性が高まっ
た。また、分岐管が不要になったことにより、分岐管を
配管するためのスペースがなくなって排気切替ユニット
７０が小型化された。更に、弁室５１内の容積が大きい
ため、ベローズ３７．４７が内設されていても流れるガ
スの流量を妨げることもなく、却って流れを良くして排
気処理の効率を上げる結果となった。Therefore, in the exhaust switching unit 70 of the present embodiment configured as described above, since two valves are provided in one valve body 50, a branch pipe that branches from the exhaust pump 2 to the two valves is provided. The unnecessary portion reduces the number of connection points between the pipe and the valve, increasing reliability against leakage. In addition, since the branch pipe is not required, there is no space for piping the branch pipe, and the exhaust switching unit 70 is downsized. Further, since the volume in the valve chamber 51 is large, even if the bellows 37.47 are provided, the flow rate of the flowing gas is not hindered, and the flow is improved and the efficiency of the exhaust treatment is increased.
【００２０】なお、本発明は、前期実施の形態のものに
限定されるわけではなく、その趣旨を逸脱しない範囲で
様々な変更が可能である。例えば、前記実施の形態では
二つのバルブを一体にした構成としたが、出力ポートを
増やしてバルブを三つ以上としてもよく、また入力ポー
トも二つ以上の場合も考えられる。The present invention is not limited to the first embodiment, and various changes can be made without departing from the gist of the present invention. For example, in the above embodiment, two valves are integrated, but the number of output ports may be increased to three or more, and the number of input ports may be two or more.
【００２１】[0021]
【発明の効果】本発明は、一つの空間からなる弁室に少
なくとも二つ以上の出力ポートが開設されたバルブボデ
ィに、その出力ポート毎に形成された弁室内の弁座に対
して弁体を当接・離間させるアクチュエータを一体に取
り付けた構成としたので、漏れに対する安全性を高めた
排気切替ユニットを提供すること、また小型化した排気
切替ユニットを提供することが可能となった。According to the present invention, a valve body having at least two or more output ports in a valve chamber having one space is provided with a valve body with respect to a valve seat in the valve chamber formed for each output port. Since the actuator for contacting / separating the actuators is integrally mounted, it is possible to provide an exhaust switching unit with improved safety against leakage and to provide a miniaturized exhaust switching unit.
【図１】排気切替システムを示した回路図である。FIG. 1 is a circuit diagram showing an exhaust switching system.
【図２】本発明に係る排気切替ユニットの一実施の形態
を示した外観斜視図である。FIG. 2 is an external perspective view showing an embodiment of an exhaust gas switching unit according to the present invention.
【図３】本発明に係る排気切替ユニットの一実施の形態
を示した断面図である。FIG. 3 is a cross-sectional view showing one embodiment of an exhaust gas switching unit according to the present invention.
【図４】本発明に係る排気切替ユニットの一実施の形態
を示した断面図である。FIG. 4 is a sectional view showing an embodiment of the exhaust gas switching unit according to the present invention.
【図５】バルブボディ５０のシリンダ取付面を示した平
面図である。FIG. 5 is a plan view showing a cylinder mounting surface of the valve body 50.
【図６】図５のＡ−Ａ面を示したバルブボディ５０の断
面図である。6 is a cross-sectional view of the valve body 50 showing the AA plane of FIG.
【図７】排気切替システムを使用する半導体製造設備の
一部回路図である。FIG. 7 is a partial circuit diagram of a semiconductor manufacturing facility using an exhaust switching system.
【図８】従来の排気切替ユニットを示した側面図であ
る。FIG. 8 is a side view showing a conventional exhaust switching unit.
１ 排気切替システム ３０，４０ エアシリンダ ３４，４４ Ｏリング ５０ バルブボディ ５１ 弁室 ５２ 入力ポート ５３，５４ 出力ポート ５５，５６ 弁座 ７０ 排気切替ユニット DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Exhaust switching system 30, 40 Air cylinder 34, 44 O-ring 50 Valve body 51 Valve room 52 Input port 53, 54 Output port 55, 56 Valve seat 70 Exhaust switching unit
フロントページの続き (72)発明者 松岡 祐二 愛知県春日井市堀ノ内町850番地 シーケ ーディ株式会社春日井事業所内 Ｆターム(参考） 3H051 AA01 BB10 CC11 CC13 CC15 FF01 3H056 AA01 BB22 BB32 BB45 CA03 CB02 EE10 GG03 3H067 AA01 AA32 BB08 BB14 CC02 CC32 DD05 DD13 DD33 EC25 FF17 GG02 GG04 GG05 GG26 GG28 Continued on the front page (72) Inventor Yuji Matsuoka 850 Horinouchi-cho, Kasugai-shi, Aichi F-term in Kasugai Works of Kasugai Co., Ltd. (reference) BB08 BB14 CC02 CC32 DD05 DD13 DD33 EC25 FF17 GG02 GG04 GG05 GG26 GG28
Claims (2)
り替えることにより、ガスの種類に応じて異なる排出口
から分別して排出する排気切替ユニットにおいて、 一つの空間からなる弁室に少なくとも二つ以上の出力ポ
ートが開設されたバルブボディに、前記出力ポート毎に
形成された弁室内の弁座に対して弁体を当接・離間させ
るアクチュエータが一体に取り付けられたことを特徴と
する排気切替ユニット。An exhaust switching unit that separates and discharges at least two or more valves from different outlets according to the type of gas by switching the opening and closing of at least two or more valves. An exhaust switching unit, wherein an actuator for bringing a valve body into and out of contact with a valve seat in a valve chamber formed for each of the output ports is integrally attached to a valve body having an output port opened.
ートと二つの出力ポートとが開設され、弁室内に各出力
ポート毎の弁座が形成された箱型のバルブボディと、 前記バルブボディ内に挿入された弁ロッドの先端に弁体
を備え、弁ロッドを軸方向に駆動させて前記弁座に弁体
を当接・離間させる二つのエアシリンダとを有すること
を特徴とする排気切替ユニット。2. A box-shaped valve body in which one input port and two output ports are opened in a valve chamber formed of one space, and a valve seat for each output port is formed in the valve chamber; An exhaust system comprising: a valve body provided at a tip of a valve rod inserted into a body; and two air cylinders for driving the valve rod in an axial direction to contact / separate the valve body from / to the valve seat. Switching unit.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31213199A JP2001132864A (en) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | Exhaust changeover unit |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31213199A JP2001132864A (en) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | Exhaust changeover unit |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2001132864A true JP2001132864A (en) | 2001-05-18 |
Family
ID=18025635
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31213199A Pending JP2001132864A (en) | 1999-11-02 | 1999-11-02 | Exhaust changeover unit |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2001132864A (en) |
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-
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- 1999-11-02 JP JP31213199A patent/JP2001132864A/en active Pending
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