JPH06190762A - 真空ピックアップ装置 - Google Patents

真空ピックアップ装置

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JPH06190762A
JPH06190762A JP5217679A JP21767993A JPH06190762A JP H06190762 A JPH06190762 A JP H06190762A JP 5217679 A JP5217679 A JP 5217679A JP 21767993 A JP21767993 A JP 21767993A JP H06190762 A JPH06190762 A JP H06190762A
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vacuum
plate
sheet
vacuum pickup
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George R Claassen
アール.クラッセン ジョージ
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エィチ.シュワーツ ジェームズ
Thomas L Waterloo
エル.ウオータールー トーマス
Richard V Posney
ブイ.ポスニィ リチャード
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 熱軟化したガラスシートを搬送するために使
用する真空ピックアップ装置であって、ピックアップ装
置のガラスシートと係合する部材としてハニカム状プレ
ートを用いて構成した軽量の真空ピックアップ装置を提
供することを目的とする。 【構成】 ハニカム状プレートのセルは該プレートを通
して吸引された真空の量を制御するように選択的にシー
ルされる。熱軟化したガラスシートを搬送するために使
用される場合、前記プレートの下側のシート係合面は空
気の流れを抑制する目の詰った材料のクロスでシールさ
れる。前記クロスはピックアップ装置が係合するガラス
シートの周囲の内側に位置した孔を含む。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】本発明はシート材を搬送すること
に関し、特に、高温のガラスシートを炉から成形セクシ
ョンまで搬送するシャットル・システム用の軽量な真空
ピックアップ装置に関する。
【0002】
【従来の技術】成形され、かつ強化されたガラスシート
は例えば自動車等の車両の側窓あるいは後窓として広く
使用されている。そのような用途に適合させるのに、平
坦なガラスシートは、窓の開口部で規定される枠の形状
と外形とにより決まる正確な画成された曲形に合わせて
成形する必要がある。また、窓は厳しい光学的要件を満
足させ、かつ明瞭な視界を阻害する傾向のある光学的欠
陥の無いことが重要である。
【0003】そのような目的の成形されたガラスシート
の商業生産は、通常、トンネル形式の炉を通って延在す
る概ね水平の軌道に沿って平坦なガラスシートを移送し
てその軟化点まで前記シートを加熱する段階と、加熱さ
れたガラスシートを希望する湾曲状に成形する段階と、
曲げられたガラスシートをガラスの焼鈍し点以下の温度
まで制御しながら冷却する段階とを含む。シモンス他
(Thimmons et al)への米国特許第4,
662,925号および同第4,666,492号、フ
ランク他(Frank et al)への同第4,66
6,493号、フェシック他(Fecik et a
l)への同第4,666,496号、およびシュワルツ
他(Schwarts et al)への同第4,76
7,434号に記載されているように、ガラスシートは
真空ピックアップ装置を用いて吸引によりコンベヤ面か
ら持ち上げ、成形ステーションまで搬送することが可能
で、成形ステーションにおいてガラスシートと成形モー
ルドの面の間に位置され、押圧されて成形される。
【0004】この形式のシャットル装置においては、真
空ピックアップ装置の重量が重要である。一般に、真空
ピックアップ装置にはセラミックのブロックが用いられ
るが、それはサイズにもよるが1000ポンド(435
kg)以上の重量がありうる。このように重量が大きい
ため、効率的な成形サイクルを保つのに要する速度でピ
ックアップ装置を運動させるには大型のモータを必要と
する。さらに、ピックアップ装置の過度の重量によりシ
ャットル駆動装置のモータやその他の要素の摩耗や裂傷
を倍加させる。また、その重量の故、ピックアップ組立
体の正確な位置決めが難しくなる。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】ガラスを、成形ステー
ション中へ搬送する水平方向のプレス折曲げ装置におい
て使用する、急速に運動し、かつ正確に位置づけうる軽
量の真空シャットル装置を提供することは有利である。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、ピックアップ
装置のガラスシート係合部材として、ハニカム状プレー
トを用いて構成した軽量の真空ピックアップ装置を提供
する。ハニカム状プレートのセルは真空の内室からプレ
ートの下面まで延び、かつ前記プレートを通して吸引さ
れる真空の量を制御するよう選択的にシールされてい
る。本発明の一実施例においては、前記プレートのガラ
スシート係合面は、そこを通る空気流を抑制する目の詰
った材料のクロスでシールされ、かつピックアップ装置
が係合するガラスシートの周囲の内側に位置する孔を有
している。
【0007】
【実施例】本発明は熱軟化されたガラスシートを搬送す
るために使用する軽量の真空ピックアップ装置を指向す
るが、本発明は、軽量のシャットル装置の使用を要する
その他の作業においてその他の種類のシート材を移送さ
せるためにも使用しうることを認識すべきである。
【0008】図1は、ガラスシートを成形するための米
国特許第4,767,434号に記載のものと類似の材
料のシートを加熱し、成形する装置を示すガラスのシー
トGは炉10を通して運ばれガラスシート変形温度まで
加熱される。好適実施例においてはシート材はガラスで
あるが、本発明はガラスに限定されるのでなく、その他
の熱軟化性シート材料に対しても使用しうることを認識
すべきである。湾曲したガラスのシートを冷却ステーシ
ョン12と、前記冷却ステーション12の先に位置した
積下しステーション(図示せず)とは図1の右方に示す
ように炉10の右側に位置している。成形ステーション
14は炉10と冷却ステーション12との間で示されて
いる。必要に応じ、成形ステーション14は密閉し、加
熱することができる。真空ピックアップ組立体16が熱
軟化したガラスシートGを炉10から成形ステーション
14まで搬送する。冷却ステーション12に位置するシ
ート搬送手段18が成形されたガラスシートを成形ステ
ーション14から冷却ステーション12まで搬送する。
【0009】例えばガスバーナあるいは電気放射ヒー
タ、あるいはそれら双方の組合せのようないずれかの従
来の要領で熱を炉10に供給することができる。前記熱
供給装置は当該技術分野において周知である。炉10
は、該炉10を通して延びる移送軌道を画成する、長手
方向に離隔され、横方向に延びるコンベヤロール20を
含む。コンベヤロール20は、炉10を通してのガラス
シートGを適正に移送させ、かつ位置づけるために当該
技術分野において周知の要領で、種々のコンベヤ区画の
速度を制御し、かつ同期化しうるように区画化して配置
することができる。ガラスシートの検出要素22が図1
に示すように炉10内に位置され、詳しく後述するよう
に作動サイクルを開始する。
【0010】成形ステーション14は下側モールド24
と上側モールド26とを含み、必要に応じて加熱された
空洞(図示せず)に密閉しうる。図1に示すように、本
発明の特定の実施例においては、下側モールド24は、
湾曲状にすべきガラスシートの最終の希望形状に一致す
る上側押圧面28を備えた全面モールドである。上側モ
ールド26は、下側モールド24の押圧面28と対応す
る開口付きの下側押圧面30を備えた全面真空モールド
であって、吸引パイプ32を介して真空源(図示せず)
と連通する真空室(図示せず)を含む。真空パイプ32
はまた、適当な弁装置を介して加圧空気源(図示せず)
に接続でき、真空および圧力配管用の弁を、詳細に後述
するように、ガラスシートGを押圧面30に対して固定
させ、かつシートGを面30から、分離するよう当該技
術分野において周知の要領で所定のタイミングサイクル
に従って同期化しうる。モールドは成形ステーション1
4において支持フレームに摺動可能に取り付けられ、案
内ロッドに沿って相互に対して運動可能で、そのため成
形ステーション14に位置した熱軟化したガラスシート
Gをモールド24、26の間で成形しうる。下側および
上側のモールド24、26の面28、30とはそれぞ
れ、ガラスシートの面に何らかの凹凸を形成することが
ないように滑らかな面にすることが好ましく、本発明に
おいては限定的ではないが鋼あるいはセラミック複合材
で構成することが好ましい。これらの材料は、高温のガ
ラスと間欠的に接触して長期にわたって急速で周期的な
温度変化をもたらすものの滑らかな面の外形と良好な耐
久性を提供する。下側および上側の双方のモールド2
4、26は、当該技術分野で周知のようにガラス繊維の
クロスのような耐火材33で被覆することができる。
【0011】ピックアップ組立体16は熱軟化したシー
ト材を炉10の出口端から成形ステーション14まで搬
送し、炉10の出口端内部のピックアップ位置から、成
形ステーション14の下側モールド24と上側モールド
26の間の積下ろし位置まで図2と図3とに示す真空プ
レートピックアップ装置を支持し、かつ運動させるフレ
ーム36を含む。
【0012】フレーム36は、横部材44、46によっ
て相互に接続された一対の長手方向に延びる支持ビーム
40、42を含む。ビーム40と42とは中空であって
ピックアップ装置36に真空を供給し、これは追って詳
細に説明する。取付けボルト48はフレーム36をシャ
ットル支持および駆動装置50に固定するために使用さ
れる。前記装置50は米国特許第4,767,344号
に記載され、かつ当該技術分野において周知のように駆
動モータ、ギヤ、ギヤラック、案内レールおよび昇降機
構とを含む。
【0013】図2および図3を参照すれば、アングル部
材52、54はそれぞれ、支持ビーム40、42に沿っ
て固定され、アングル部材56、58は、それぞれ横部
材44、46に固定され、真空ピックアップ装置38の
ための棚支持手段60を提供する。
【0014】本発明においては、ピックアップ装置38
は、該ピックアップ装置38がその周囲で支持されるよ
うに外周の棚62が棚支持手段60に着座している金属
のハニカム構造体である。本発明の特定実施例において
は、真空プレートピックアップ装置38のハニカムは、
図4に示すように、厚さが0.005インチ(0.12
7mm)の400シリーズのステンレス鋼から構成され
ている0.25インチ(0.64cm)の六角形セル6
4を備えた厚さ1.75インチ(4.45cm)のパネ
ルである。補強リブ66は中心が0.50インチ(1.
27cm)離されている。ピックアップ装置38のその
周囲の棚62での深さは1.50インチ(3.81c
m)である。この特定のハニカム構造は、以下詳細に説
明する要領でシールされた約95%の開放面積を提供す
る。サイズが73×33インチ(182.5×82.5
cm)で、前述のように構成された真空プレートピック
アップ装置の重量は約93ポンド(42.2kg)であ
る。これは、厚さが6インチ(15cm)であるセラミ
ック材から典型的に構成された均等のプレートより約6
から7倍軽い。その結果、ピックアップ組立体16のシ
ャットル作用を開始させ、停止するに要する力はより少
なくなる。
【0015】ハニカム構造体はその他のセル構造、セル
サイズ、リブ構造および間隔を含みうることを認識すべ
きである。さらに、ピックアップ装置に対して必要な熱
安定性を提供するのであればその他の材料も使用しう
る。前述のように、ピックアップ組立体16は炉10の
出口端の位置から、成形ステーション14での成形モー
ルドの間の位置まで周期的に作動し、典型的に1000
−1200°F(538−649℃)の範囲の温度に露
出される。
【0016】空気の流れを抑制し、かつピックアップ組
立体16をシールするために重くて目の詰ったクロス6
8がハニカム状ピックアップ装置38の下面70に固定
される。前述のハニカム構造体に対して、ペンシルバニ
ア州のパイロテック社(Pyrotek,Inc.,P
ennsylvania)から市販されているZ5−C
をコーティングした0.125インチ(0.32cm)
の厚さのクロスを用いることができる。この材料は、ハ
ニカム構造体を通しこの空気の流れを抑制する稠密な織
布を提供する。過度に高度の真空レベルを用いることな
く、ガラスシートGを持ち上げピックアップ装置38の
下面70に対して固定するのに十分な空気流を提供する
ために、図4に示すようにクロス68を通して孔72が
穿設される。前記孔72の数、サイズおよび間隔は、真
空レベル、ガラスシートのサイズと厚さ並びにピックア
ップ装置38の下面70とガラスシートGとの間の距離
を含む数種の相互に関連した要素によって変わることを
認識すべきである。また、もし真空レベルが高すぎると
すれば、下面70に当接するガラスシートGからの力
と、真空によりシートGに加えられる。力とガラスシー
トにマークを残しうることも認識すべきである。前述の
本発明の実施例においては、4mm厚さのガラスをガラ
スシートGからピックアップ装置38まで0.125イ
ンチ(0.32cm)の距離だけ持ち上げ、かつ固定す
るために6インチ(15.24cm)水柱の真空を用い
ることにより、(図4の点線74で示すように)持ち上
げるべきガラスシートGの周囲の内側で中心距離が2イ
ンチ(5.08cm)のクロス68を通して穿設された
直径が0.188インチ(0.48cm)の孔が面70
に沿って効果的に作用する真空を提供することが判明し
た。本発明において限定的ではないが好適実施例におい
ては孔72はガラスシートGの周囲の内側の位置に限定
される。このため、シートGの縁部におけるピックアッ
プ装置38を通る空気流を低下させる。さもなければ、
この空気流はガラスシートの縁部を冷却し、成形作業に
悪影響を与える。
【0017】クロス68は都合の良い要領でハニカムピ
ックアップ装置38に固定される。図2および図3に示
す特定の実施例において、アングル部材76が、ハニカ
ムプレートを通して延びるボルト(図示せず)によりピ
ックアップ装置38の周りに固定される。アングル部材
76の水平方向の脚は下面70の一部をシールし、クロ
ス68を適所に保持する。アングル部材76の垂直方向
の脚がセル64をピックアップ装置38の周囲でシール
し、それ以上の真空の漏れを阻止する。
【0018】ピックアップ作動による高温と繰返し熱サ
イクルに耐えうるのであれば、ピックアップ装置38の
下面70をシールするためにその他の装置および/また
は材料も用いうることを認識すべきである。例えば、空
気流を約80%以上抑制するその他のクロスもセル64
の必要なシールを提供するものと考えられる。空気流の
抑制はより少ない、より開放性の織布を用いることもで
きるが、ピックアップ装置38においてより高度の真空
レベルを要し、そのため熱軟化されたガラスシートGが
持ち上げられ、ピックアップ装置38に固定される際該
シートにマークを付ける可能性がある。さらに、もしシ
ートGの周囲より外側でクロス68を通して過度の空気
が流れ、また成形ステーション14が密閉されず、加熱
されていないとすれば、この空気の流れは曲げの前にシ
ートの縁部を冷却し、かつ成形作業に悪影響を与える可
能性がある。またシート金属を用いてピックアップ装置
の選定された部分をシールし、かつ前述した形式の重い
クロスと組み合わせて使用することができる。後者の場
合、シート金属はピックアップ装置38の周辺領域をシ
ールし、一方必要な孔を備えたクロスが、ガラスシート
Gにピックアップ装置が係合する中央領域を選択的にシ
ールする。別の代替例として、穿孔したクロス68を穿
孔したシート金属に代えてもよい。
【0019】前述のように、ピックアップ装置38のシ
ート係合面70を覆うためにガラス繊維のクロス34が
使用される。図2および図3に示すように、クロス34
は当該技術分野において周知の要領で、支持ビーム4
0、42に位置されたロール78、80によって供給し
うる。
【0020】蓋部材82がビーム40、42、44、4
6に位置したプレート84上に載置され、クランプ86
によりピックアップ組立体16の上側に固定され、ピッ
クアップ組立体16の頂部をシールし、真空室88をシ
ールする。希望に応じて、ニューヨーク州カーボランダ
ム社(Carborundum Co.,New Yo
rk)から市販されているFiberfrax(商標登
録)ペーパのような耐火材を蓋82の周囲で用いより良
好なシールを提供することができる。
【0021】要件ではないが、図2および図3に示す本
発明の特定実施例においては、支持ビーム40、42を
介して真空がピックアップ組立体16の真空室88に供
給される。詳しくは(図1に1個のみを示す)真空フッ
クアップ90が中空のビーム40、42の一方あるいは
双方に接続されており、前記ビームはスロット92を含
み、該スロットの方は真空室88およびセル64を介し
てハニカム状ピックアップ装置38の下面70と真空源
を接続させる。
【0022】真空がピックアップ組立体16を介して吸
引されると、プレート38が上方に撓み、ピックアップ
装置の面70を変形させうる。このようなことが発生し
ないようにするために、スペーサ94が、蓋82とプレ
ートピックアップ装置38の上面96との間の真空室8
8内に位置されている。本発明の一特定実施例において
は、スペーサ94は展伸金物の形材である。展伸金物の
拡張構造のため、スペーサ94は真空室88内で吸引さ
れている真空と干渉しない。希望に応じて、タイバー
(図示せず)を支持ビーム40、42の間の真空室88
を通して延在させフレーム36を補強することができ
る。この形式の装置により、スペーサ94をタイバーと
ハニカムプレート38の上面96との間に嵌合するサイ
ズにすることが好ましい。
【0023】図1を参照すれば、冷却ステーション12
におけるシート搬送手段18は米国特許第4,285,
715号に記載のものと類似の部材98を含む。リング
部材98は、縁部が前記部材98を支持するように縁部
を先にして配置された支持レールを含む。このレールは
成形されたガラスシートGの形状に做い、ガラスシート
の周囲の僅か内方に隔置されている。レールのガラスシ
ート支持面は、ガラスシートの表面にマークを残すこと
なく高温のガラスシートを支持しうる非金属材料である
ことが好ましい。リング部材98はキャリッジ(図示せ
ず)に取り付けられており、キャリッジは、前記部材9
8が上側の真空モールド26の下方で成形ステーション
14に位置している上流位置から前記部材98が冷却ス
テーション12において冷却ノズルの間に位置している
下流位置まで前記部材98を運動させる。
【0024】米国特許第4,285,715号において
教示されているものと類似の冷却ステーション12は、
図1に示すように上側プレート102から下方に延びる
長手方向に離隔され、横方向に延びる列の隔置ノズル1
00を含んでいる。ノズル100に対向する位置におい
て、下側プレート106に長手方向に離隔され横方向に
延びる列のノズル104が配置されている。列とされた
ノズル100の下端は、列とされたノズル104の上端
が作る湾曲形状と対応する湾曲面に沿って位置し、かつ
前記上端の上方に垂直方向に離隔され、ガラスシートG
がリング部材98上に支持され、前記上端と下端の間を
搬送されるにつれてガラスシートGの横方向の形状に一
致する湾曲した空隙を提供する。
【0025】作動時、ガラスシートGは炉10を通して
運ばれ、その熱軟化温度まで加熱される。ガラスシート
Gが検出要素22を通るにつれて、搬送および成形サイ
クルが開始される。ガラスシートGが炉10の出口端に
おいてピックアップ組立体16の下方に位置すると、ピ
ックアップ装置38を通して真空が引かれ、ガラスシー
トGはピックアップ装置38の下面70と係合するよう
持ち上げられる。所望なら、下面70は図3の(ロ)に
示すように非平面であってもよい。一旦ガラスシートが
面70に対して固定されると、ピックアップ組立体16
は炉10から、成形ステーション14における下側モー
ルド24と上側モールド26との間の位置まで下流へ運
動する。炉10から成形ステーション14まで下流方向
のピックアップ組立体16の運動は、炉10を通るガラ
スシートGの下流方向の運動と同期化することによっ
て、真空プレートピックアップ装置38が真空を引きガ
ラスシートGを持ち上げ、かつ係合する際米国特許第
4,767,434号に記載のようにその間には下流方
向の相対運動は何ら無いことを認識すべきである。成形
ステーション14内で適正に位置すると、ピックアップ
組立体16の真空が停止し、熱軟化したガラスシートは
下側モールド24上に位置される。希望に応じて、ピッ
クアップ面70から熱軟化したガラスシートを確実に分
離させるためにピックアップ組立体16の真空室88に
正の圧力を導入しうる。次に、ピックアップ組立体16
は炉10中へ上流方向に戻り、モールド24と26とが
相互に対して運動しその間でガラスシートを成形するに
つれて次のガラスシートGを待機する。ガラスシートを
成形しやすくするために上側モールド26を介して真空
が引かれる。モールドが分離するにつれて、上側モール
ド26を通して引かれた真空が保持され、ガラスシート
Gを押圧面30に対して固定し続ける。次に、リング部
材98が上側モールド26の下方の位置まで上流方向に
運動して成形されたガラスシートGを受け取る。上側モ
ールド26において真空が停止し、ガラスシートGがリ
ング部材98のレール上に位置され、リング部材は次に
冷却ステーション12中へ下流方向に進行し、成形され
たガラスシートを制御可能に冷却する。希望に応じて、
上側モールド26を通して正の空気圧を供給し、成形さ
れたガラスシートを押圧面30から確実に分離させるこ
とができる。
【0026】ハニカム状プレートピックアップ装置38
はその熱質量が低いため熱だめとしては作用せず、炉1
0から成形ステーション14までガラスシートを搬送し
ている間ガラスシートと緊密に接触してもガラスシート
Gから著しい量の熱を引き取らない。前記の搬送の間に
ガラスシートGから過度の熱が除去されると、成形作業
が悪影響を受けうることを認識すべきである。特に、鋭
い折曲げ部分では曲げあるいは表面の通気が不完全であ
る可能性があり、これらは冷却後欠陥あるいは破損とし
て現われてくる。このような状態を補正するためには、
シートの搬送によるその後の熱損失を補うため炉10で
ガラスシートGを加熱させることができるが、このため
例えばロールリップルのような付加的な欠陥をガラスシ
ートにおいて誘発する可能性がある。本明細書において
開示のようにハニカム状プレートピックアップ装置38
を使用することにより、成形ステーション14への搬送
の間ガラスシートGがピックアップ装置38と接触する
結果発生する熱損失を最小にし、かつ軽量の搬送装置を
提供する。
【0027】本明細書に示し、かつ説明した本発明の形
態は好適な実施例を代表している。本発明は、以下の特
許請求の範囲に規定され、本明細書の説明に照せば明ら
かとなる本発明の種々の修正も本発明の範囲に含まれる
ことが理解される。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の特徴を組み入れたガラスシート加熱、
成形および焼鈍し装置の側面図。
【図2】図1の線2−2に沿って視た軽量の真空ピック
アップ装置の断面図。
【図3】(イ)は図2の線3の(イ)−3の(イ)に沿
って視たピックアップ装置の断面図。(ロ)は図2に示
すピックアップ装置の別な断面図。
【図4】判りやすくするため一部を破断して示す、図3
の(イ)の線4−4に沿って視たピックアップ装置の部
分底面図。
【符号の説明】
16 真空ピックアップ組立体 32 吸引パイプ 34 耐火材 36 フレーム 38 真空プレートピックアップ装置 40,42 支持ビーム 60 棚サポート 62 棚 64 セル 68 クロス 70 ハニカムピックアップ 72 孔 82 蓋部材 88 真空室
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 ジェームズ エィチ.シュワーツ アメリカ合衆国ペンシルバニア州ギブソニ ア,ピー.オー.ボックス 345 (72)発明者 トーマス エル.ウオータールー アメリカ合衆国ペンシルバニア州マーサ ー,オータム ドライブ 46 (72)発明者 リチャード ブイ.ポスニィ アメリカ合衆国ペンシルバニア州フリーポ ート,ガーデン ウエイ 2251

Claims (13)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 真空室と、 軽量の下側のハニカム状プレートであって、セルが前記
    真空室から前記プレートの下側のシート係合面まで延在
    しているハニカム状プレートとを含むことを特徴とする
    シート材を持ち上げるための真空ピックアップ装置。
  2. 【請求項2】 前記プレートの選定したセルをシールす
    る手段をさらに含むことを特徴とする請求項1に記載の
    真空ピックアップ装置。
  3. 【請求項3】 前記ハニカム状プレートの前記係合面が
    平坦でないことを特徴とする請求項2に記載の真空ピッ
    クアップ装置。
  4. 【請求項4】 前記シール手段が前記の持ち上げられた
    シートの周囲の外側に位置する前記セルをシールする手
    段を含むことを特徴とする請求項2に記載の真空ピック
    アップ装置。
  5. 【請求項5】 前記シール手段が、持ち上げるべきシー
    トの前記周囲の外側で前記プレートの前記係合面に固定
    されている空気を通さない材料と、前記シートの周囲の
    内側で前記プレートの前記係合面に固定されている多孔
    部材とを含むことを特徴とする請求項4に記載の真空ピ
    ックアップ装置。
  6. 【請求項6】 前記シール手段が前記プレートの前記係
    合面に固定され、かつ前記プレートと係合するように持
    ち上げられると前記シートにより孔が覆われるように位
    置した孔を有し、そこを通る空気の流れを抑制するのに
    十分に目の詰ったクロスを含むことを特徴とする請求項
    4に記載の真空ピックアップ装置。
  7. 【請求項7】 前記シール手段の上方を延在しているカ
    バー部材をさらに含むことを特徴とする請求項6に記載
    の真空ピックアップ装置。
  8. 【請求項8】 前記ハニカム状プレートがステンレス鋼
    で構成され、前記シートが耐熱性材料であることを特徴
    とする請求項6に記載の真空ピックアップ装置。
  9. 【請求項9】 上側の蓋部材と壁部材とをさらに含み、
    前記蓋と壁部材並びに前記下側プレートとが前記真空室
    を形成することを特徴とする請求項2に記載の真空ピッ
    クアップ装置。
  10. 【請求項10】 前記壁部材が内方に延びる周囲の支持
    棚を含み、前記ハニカム状プレートが前記の内方に延在
    する棚と重なり、その上に載置される外方に延在する周
    囲の棚を含むことを特徴とする請求項9に記載の真空ピ
    ックアップ装置。
  11. 【請求項11】 密閉された真空通路を有するピックア
    ップ支持フレームと、前記通路を前記真空室に接続する
    手段と、前記通路を真空源に接続しうるようにする手段
    とをさらに含むことを特徴とする請求項10に記載の真
    空ピックアップ装置。
  12. 【請求項12】 前記支持フレームと真空ピックアップ
    装置とを種々の位置の間で運動させる手段をさらに含む
    ことを特徴とする請求項11に記載の真空ピックアップ
    装置。
  13. 【請求項13】 前記シール手段が、前記プレートの前
    記係合面に固定され、前記シートが前記プレートと係合
    するように持ち上げられると孔が前記シートにより覆わ
    れるように位置した孔を有し、そこを通る空気流を抑制
    するのに十分目の詰ったクロスを含むことを特徴とする
    請求項11に記載の真空ピックアップ装置。
JP5217679A 1992-09-02 1993-09-01 真空ピックアップ装置 Expired - Lifetime JP2625353B2 (ja)

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