JPH06187781A - Semiconductor integrated circuit device - Google Patents

Semiconductor integrated circuit device

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JPH06187781A
JPH06187781A JP4336471A JP33647192A JPH06187781A JP H06187781 A JPH06187781 A JP H06187781A JP 4336471 A JP4336471 A JP 4336471A JP 33647192 A JP33647192 A JP 33647192A JP H06187781 A JPH06187781 A JP H06187781A
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dummy word
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Tetsuya Mitoma
徹哉 三苫
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Oki Micro Design Miyazaki Co Ltd
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Oki Electric Industry Co Ltd
Oki Micro Design Miyazaki Co Ltd
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Abstract

PURPOSE:To prevent loss of reading signal quantity by suppressing difference of voltage amplitude between a word line and a dummy word line at the time of reading out data. CONSTITUTION:When '0' is read out from a memory cell 101, a word line WL is shifted from a GND level to a (VCC+VT+alpha) level, a NMOS 12 in the memory cell 101 connected to the word line is turned on, stored '0' is outputted to a bit line BLb. At this time, a dummy word line DWL0 is shifted from a VCC level to the GND level, while a dummy word line DWL2 is shifted from the VCC level to (VCC+VT+alpha) level, offset voltage generated respectively in the bit line BLb and a bit line BLa is offset, and signal quantity transmitted from the memory cell 101 to the bit line BLb is not varied. Therefore, potential difference between the bit line BLa and the BLb is made sufficiently large until a sense amplifier 40 is operated, then correct information can be read out to data lines Da, Db.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、ダイナミック・ランダ
ム・アクセス・メモリ(以下、DRAMという)等の半
導体集積回路装置、例えばDRAMのダミーワード線駆
動方式に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor integrated circuit device such as a dynamic random access memory (hereinafter referred to as DRAM), for example, a dummy word line driving system for DRAM.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、このような分野の技術としては、
例えば特開昭60−242591号公報等に記載される
ものがあり、以下その構成を図を用いて説明する。図2
は、前記文献等に記載されたDRAMにおけるメモリセ
ル部の一構成例を示す概略の回路図である。このメモリ
セル部では、相補的な第1及び第2のビット線BLa
BLb と、該ビット線BLa ,BLb に対して交差配置
された複数のワード線WL0 ,WL1 と、該ビット線B
a ,BLb に対して交差配置された複数のダミーワー
ド線DWL0 ,DWL1 とを、備えている。ビット線B
b とワード線WL0 との交差箇所には、ダイナミック
型のメモリセル101 が接続され、さらにビット線BL
a とワード線WL1 との交差箇所にも、ダイナミック型
のメモリセル102 が接続されている。各メモリセル1
1 ,102 は、電荷蓄積用のキャパシタ11と電荷転
送用のNチャネルMOSトランジスタ(以下、NMOS
という)12とを有し、それらが1/2・VCC(但
し、VCCは電源電位)とビット線BLb,BLa との
間に直列に接続されている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a technique in such a field,
For example, there is one described in JP-A-60-242591, and the configuration thereof will be described below with reference to the drawings. Figure 2
FIG. 3 is a schematic circuit diagram showing a configuration example of a memory cell section in a DRAM described in the above-mentioned document or the like. In this memory cell section, complementary first and second bit lines BL a ,
BL b , a plurality of word lines WL 0 and WL 1 crossing the bit lines BL a and BL b , and the bit line B.
It has a plurality of dummy word lines DWL 0 and DWL 1 crossed with L a and BL b . Bit line B
A dynamic memory cell 10 1 is connected to the intersection of L b and word line WL 0 , and bit line BL
The dynamic memory cell 10 2 is also connected to the intersection of a and the word line WL 1 . Each memory cell 1
Reference numerals 0 1 and 10 2 denote a charge storage capacitor 11 and a charge transfer N-channel MOS transistor (hereinafter referred to as NMOS).
12), which are connected in series between ½ · VCC (where VCC is the power supply potential) and the bit lines BL b , BL a .

【0003】ビット線BLb とダミーワード線DWL0
との交差箇所には、ダミーセル201 が接続され、さら
にビット線BLa とダミーワード線DWL1 との交差箇
所にも、ダミーセル202 が接続されている。各ダミー
セル201 ,202 は、NMOSで構成されている。ビ
ット線BLa ,BLb の一端には、該ビット線BLa
BLb を例えば1/2・VCCにイコライズ(均等化)
するイコライズ回路30が接続されている。イコライズ
回路30は、ビット線BLa と1/2・VCC間に接続
されたNMOS31と、ビット線BLb と1/2・VC
C間に接続されたNMOS32と、該ビット線BLa
BLb 間に接続されたNMOS33とで構成され、それ
らがイコライズ信号EQによってオン,オフ動作するよ
うになっている。
Bit line BL b and dummy word line DWL 0
And the intersection of the dummy cell 20 1 is connected, further in intersection of the bit line BL a dummy word line DWL 1, dummy cell 20 2 is connected. Each of the dummy cells 20 1 and 20 2 is composed of NMOS. At one end of the bit lines BL a , BL b , the bit lines BL a ,
BL b is equalized to 1/2 · VCC, for example.
The equalizing circuit 30 is connected. The equalizer circuit 30 includes an NMOS 31 connected between the bit line BL a and ½ · VCC, and a bit line BL b and ½ · VC.
It is composed of an NMOS 32 connected between C and an NMOS 33 connected between the bit lines BL a and BL b , which are turned on / off by an equalize signal EQ.

【0004】ビット線BLa ,BLb の他端には、該ビ
ット線BLa ,BLb 上の電位差を検知、増幅するセン
スアンプ40が接続されると共に、カラム線Y−DEC
によってオン,オフ動作するデータ転送用NMOS5
1,52を介して相補的なデータ線Da ,Db が接続さ
れている。センスアンプ40は、ビット線BLa とBL
b 間にたすき掛け接続されたNMOS41,42とPM
OS43,44とで構成され、そのNMOS41,42
が活性化信号φa でオン,オフ動作し、そのPMOS4
3,44が活性化信号φa に対して逆相の活性化信号φ
b によってオン,オフ動作するようになっている。
[0004] Bit line BL a, the other end of the BL b is the bit line BL a, detects a potential difference on the BL b, together with the sense amplifier 40 is connected to amplify the column line Y-DEC
Data transfer NMOS 5 that turns on and off depending on
Complementary data lines D a and D b are connected via 1, 52. The sense amplifier 40 includes bit lines BL a and BL
PM and NMOS 41 and 42 connected between b
OS 43, 44 and their NMOSs 41, 42
Is turned on and off by the activation signal φ a , and its PMOS4
3, 44 are activation signals φ having a phase opposite to that of the activation signals φ a
It is turned on and off by b .

【0005】図3は、図2の“0”情報読出し動作のタ
イミングチャートであり、この図を参照しつつ図2の動
作を説明する。例えば、メモリセル101 に記憶された
“0”情報を読出す場合の動作を説明する。イコライズ
信号EQがVCCレベルのとき、イコライズ回路30内
のNMOS31,32,33がオン状態のため、ビット
線BLa とBLb が1/2・VCCにイコライズされて
いる。又、センスアンプ活性化信号φa ,φb も1/2
・VCCにイコライズされている。イコライズ信号EQ
がVCCレベルからグランドGNDレベルに立下がる
と、イコライズ回路30内のNMOS31,32,33
がオフ状態となり、次いで、図示しないデコーダで選択
されたワード線WL0 が立上がり、メモリセル101
のNMOS12がオンし、キャパシタ11に記憶された
“0”情報がビット線BLb へ出力される。この際、ワ
ード線WL0 はGNDレベルから(VCC+VT +α)
レベル(但し、VT ;NMOSの閾値電圧)まで立上が
り、ダミーワード線DWL0 がVCCレベルからGND
レベルへ立下がる。ダミーワード線DWL1 はVCCレ
ベルのままである。
FIG. 3 is a timing chart of the "0" information read operation of FIG. 2, and the operation of FIG. 2 will be described with reference to this figure. For example, an operation for reading "0" information stored in the memory cell 10 1 will be described. When the equalize signal EQ is at the VCC level, the NMOS lines 31, 32 and 33 in the equalize circuit 30 are in the ON state, so that the bit lines BL a and BL b are equalized to 1/2 · VCC. The sense amplifier activation signals φ a and φ b are also 1/2
-It is equalized to VCC. Equalize signal EQ
Is lowered from the VCC level to the ground GND level, the NMOSs 31, 32, 33 in the equalizing circuit 30 are
Is turned off, then the word line WL 0 selected by a decoder (not shown) rises, the NMOS 12 in the memory cell 10 1 is turned on, and the “0” information stored in the capacitor 11 is output to the bit line BL b . It At this time, the word line WL 0 is changed from the GND level to (VCC + V T + α)
Rises to the level (V T ; NMOS threshold voltage), and the dummy word line DWL 0 goes from the VCC level to GND.
Fall to the level. The dummy word line DWL 1 remains at the VCC level.

【0006】次に、センスアンプ活性化信号φa が1/
2・VCCレベルからVCCレベルへ除々に上昇すると
共に、センスアンプ活性化信号φb が1/2・VCCレ
ベルからGNDレベルへ下降する。すると、センスアン
プ40が動作し、ビット線BLa はVCCレベルに、ビ
ット線BLb はGNDレベルへ増幅される。その後、カ
ラム線Y−DECがGNDレベルからVCCレベルへ立
上がり、データ転送用NMOS51,52がオン状態と
なり、ビット線BLa ,BLb の情報がデータ線Da
b へ伝送される。このようなハーフプリチャージ方式
のメモリセル部では、本来的に不要なダミーセル2
1 ,202 を設けることにより、ワード線WL0 ,W
1 によるビット線BLa ,BLb への結合電圧によっ
て生じるビット線対電位のアンバランスを避けることが
でき、動作マージンが大きくなって誤動作を防止でき
る。
Next, the sense amplifier activation signal φ a becomes 1 /
While gradually increasing from the 2 · VCC level to the VCC level, the sense amplifier activation signal φ b drops from the 1/2 · VCC level to the GND level. Then, the sense amplifier 40 operates and the bit line BL a is amplified to the VCC level and the bit line BL b is amplified to the GND level. After that, the column line Y-DEC rises from the GND level to the VCC level, the data transfer NMOSs 51 and 52 are turned on, and the information of the bit lines BL a and BL b is changed to the data line D a ,
Transmitted to D b . In such a half precharge type memory cell portion, the dummy cell 2 which is originally unnecessary
By providing 0 1 , 20 2 , the word lines WL 0 , W
It is possible to avoid the imbalance of the potential of the bit line pair generated by the coupling voltage to the bit lines BL a and BL b due to L 1, and increase the operation margin to prevent malfunction.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記構
成の装置では、次のような課題があった。メモリセル1
1 の情報読出し時にワード線WL0 がGNDレベルか
ら(VCC+VT +α)レベルへ遷移し、ダミーワード
線DWL0 がVCCレベルからGNDレベルへ遷移する
際、電圧振幅差ΔV=VT +αがあるため、ワード線W
0 とビット線BLb 、及びダミーワード線DWL0
ビット線BLb 間のゲート容量の容量結合により、ビッ
ト線BLa とBLb 間にオフセット電圧ΔVsを生じ
る。そのため、読出し信号量の損失が生じ、センスアン
プ40が誤動作するという問題がある。
However, the apparatus having the above structure has the following problems. Memory cell 1
When the information of 0 1 is read, the word line WL 0 makes a transition from the GND level to the (VCC + V T + α) level, and when the dummy word line DWL 0 makes a transition from the VCC level to the GND level, there is a voltage amplitude difference ΔV = V T + α. Therefore, the word line W
An offset voltage ΔVs is generated between the bit lines BL a and BL b due to capacitive coupling of the gate capacitance between L 0 and the bit line BL b and between the dummy word line DWL 0 and the bit line BL b . Therefore, there is a problem that the read signal amount is lost and the sense amplifier 40 malfunctions.

【0008】又、例えば16MビットのDRAMに使用
しているVCC=3.3Vよりさらに低電圧レベルを使
用するDRAMで、VCC=1.5Vになると、ワード
線WL0 ,WL1 の活性化レベルに占める(VT +α)
の割合が高くなる。そのため、読出し信号量の損失がさ
らに大きくなり、従来のようなダミーワード線駆動方式
が使用できないという問題があり、それらを解決するこ
とが困難であった。本発明は、前記従来技術が持ってい
た課題として、選択されたワード線WL0がGNDレベ
ルから(VCC+VT +α)レベルへ遷移し、ダミーワ
ード線DWL0 がVCCレベルからGNDレベルへ遷移
する際、電圧振幅差ΔV=VT +αを生じて読出し信号
量の損失が起こるという点について解決したDRAM等
の半導体集積回路装置を提供するものである。
In a DRAM using a voltage level lower than VCC = 3.3V used in a 16Mbit DRAM, for example, when VCC = 1.5V, the activation levels of the word lines WL 0 and WL 1 are increased. Occupy (V T + α)
Will be higher. Therefore, there is a problem that the loss of the amount of read signals is further increased and the conventional dummy word line driving method cannot be used, and it is difficult to solve them. The present invention has the problem that the selected word line WL 0 changes from the GND level to the (VCC + V T + α) level and the dummy word line DWL 0 changes from the VCC level to the GND level. The present invention provides a semiconductor integrated circuit device such as a DRAM, which solves the problem that the voltage amplitude difference ΔV = V T + α is generated and the read signal amount is lost.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】第1の発明は、前記課題
を解決するために、相補的な第1及び第2のビット線
と、前記第1及び第2のビット線に対して交差配置され
たワード線と、前記第1及び第2のビット線に対して交
差配置された第1のダミーワード線と、前記第1又は第
2のビット線と前記ワード線との交差箇所に接続された
メモリセルと、前記第1又は第2のビット線と前記第1
のダミーワード線との交差箇所に接続された第1のダミ
ーセルとを、備えた半導体集積回路装置において、前記
第1及び第2のビット線に対して交差配置される第2の
ダミーワード線と、前記第2又は第1のビット線と前記
第2のダミーワード線との交差箇所に接続される第2の
ダミーセルとを設ける。そして、前記メモリセルからの
データ読出し時に、前記ワード線を活性化レベルへ、前
記第1のダミーワード線をプリチャージレベルから第1
の電源電位レベル(例えば、GNDレベル)へ、前記第
2のダミーワード線をプリチャージレベルから前記ワー
ド線の活性化レベルへ、それぞれ遷移させる構成にして
いる。第2の発明では、第1の発明と同様に第2のダミ
ーワード線及び第2のダミーセルを設ける。そして、前
記メモリセルからのデータ読出し時に、前記ワード線を
第2の電源電位レベル(例えば、VCCレベル)のほぼ
2倍のレベルへ、前記第1のダミーワード線を第2の電
源電位レベルから第1の電源電位レベルへ、前記第2の
ダミーワード線を第1の電源電位レベルから第2の電源
電位レベルへ、それぞれ遷移させる構成にしている。
In order to solve the above-mentioned problems, a first aspect of the present invention is to arrange complementary first and second bit lines and intersect with the first and second bit lines. Connected to the intersection of the first word line and the first or second bit line, and the first dummy word line crossing the first and second bit lines. Memory cell, the first or second bit line and the first
A first dummy cell connected to an intersection of the dummy word line and the second dummy word line, and a second dummy word line cross-arranged with respect to the first and second bit lines. , A second dummy cell connected to the intersection of the second or first bit line and the second dummy word line. Then, when data is read from the memory cell, the word line is set to an activation level, and the first dummy word line is set to a first level from a precharge level.
To the power supply potential level (for example, GND level) of the second dummy word line from the precharge level to the activation level of the word line. In the second invention, the second dummy word line and the second dummy cell are provided as in the first invention. Then, at the time of reading data from the memory cell, the word line is set to a level approximately twice the second power supply potential level (for example, the VCC level), and the first dummy word line is set to the second power supply potential level from the second power supply potential level. The second dummy word line is configured to transition from the first power supply potential level to the second power supply potential level, respectively, to the first power supply potential level.

【0010】[0010]

【作用】第1の発明によれば、以上のように半導体集積
回路装置を構成したので、データ読出し時に、ワード線
と第1のダミーワード線には電圧振幅差があるので、例
えば該ワード線と第2のビット線間、及び第1のダミー
ワード線と第2のビット線間の容量結合により、該第2
のビット線にオフセット電圧が生じる。このとき、第2
のワード線と第1のビット線間の容量結合により、該第
1のビット線にオフセット電圧が生じる。そのため、第
1と第2のビット線に生じているオフセット電圧が互い
に相殺され、メモリセルからビット線へ伝達される信号
量の変化がない。
According to the first aspect of the invention, since the semiconductor integrated circuit device is configured as described above, there is a voltage amplitude difference between the word line and the first dummy word line during data reading. And the second bit line, and between the first dummy word line and the second bit line by capacitive coupling.
An offset voltage is generated on the bit line. At this time, the second
The capacitive coupling between the word line and the first bit line causes an offset voltage on the first bit line. Therefore, the offset voltages generated in the first and second bit lines cancel each other out, and there is no change in the amount of signal transmitted from the memory cell to the bit line.

【0011】第2の発明によれば、第1の発明と同様
に、データ読出し時に、ワード線と第2のビット線間、
及び第1のワード線と第2のビット線間の容量結合によ
って生じる該第2のビット線のオフセット電圧と、第2
のダミーワード線と第1のビット線間の容量結合によっ
て生じる第1のビット線のオフセット電圧とが、互いに
相殺され、メモリセルからビット線へ伝達される信号量
の変化がない。従って、前記課題を解決できるのであ
る。
According to the second invention, similarly to the first invention, at the time of data reading, between the word line and the second bit line,
And an offset voltage of the second bit line caused by capacitive coupling between the first word line and the second bit line;
And the offset voltage of the first bit line caused by the capacitive coupling between the dummy word line and the first bit line cancel each other out, and there is no change in the amount of signal transmitted from the memory cell to the bit line. Therefore, the above problem can be solved.

【0012】[0012]

【実施例】図1は、本発明の実施例を示すDRAMにお
けるメモリセル部の概略の回路図であり、従来の図2中
の要素と共通の要素には共通の符号が付されている。こ
のメモリセル部では、相補的な第1及び第2のビット線
BLa ,BLb に対して交差配置された複数の第1のダ
ミーワード線DWL0 ,DWL1 の近傍に、複数の第2
のダミーワード線DWL2 ,DWL3 が設けられてい
る。第1のダミーワード線DWL0 と第2のビット線B
b との交差箇所には、ゲートが該ダミーワード線DW
0 に、ソースが該ビット線BLb に接続されたNMO
Sからなる第1のダミーセル201 が設けられている。
第1のダミーワード線DWL1 と第1のビット線BLa
との交差箇所には、ゲートが該ダミーワード線DWL1
に、ソースが該ビット線BLa に接続されたNMOSか
らなる第1のダミーセル201 が設けられている。
1 is a schematic circuit diagram of a memory cell portion in a DRAM showing an embodiment of the present invention, in which elements common to those in FIG. 2 of the prior art are designated by common reference numerals. In this memory cell portion, a plurality of second dummy word lines DWL 0 and DWL 1 crossing the complementary first and second bit lines BL a and BL b are provided in the vicinity of a plurality of second dummy word lines DWL 0 and DWL 1 .
Dummy word lines DWL 2 and DWL 3 are provided. First dummy word line DWL 0 and second bit line B
At the intersection with L b , the gate has the dummy word line DW.
At L 0 , the NMO whose source is connected to the bit line BL b
A first dummy cell 20 1 made of S is provided.
The first dummy word line DWL 1 and the first bit line BL a
At the intersection of the gate and the dummy word line DWL 1
Is provided with a first dummy cell 20 1 made of an NMOS whose source is connected to the bit line BL a .

【0013】同様に、第2のダミーワード線DWL2
第1のビット線BLa との交差箇所には、ゲートが該ダ
ミーワード線DWL2 に、ソースが該ビット線BLa
接続された第2のダミーセル203 が設けられている。
第2のダミーワード線DWL3 と第2のビット線BLb
との交差箇所には、ゲートが該ダミーワード線DWL3
に、ソースが該ビット線BLb に接続された第2のダミ
ーセル204 が設けられている。その他の構成は従来の
図2と同一である。
Similarly, at the intersection of the second dummy word line DWL 2 and the first bit line BL a , the gate is connected to the dummy word line DWL 2 and the source is connected to the bit line BL a . A second dummy cell 20 3 is provided.
The second dummy word line DWL 3 and the second bit line BL b
At the intersection of the gate and the dummy word line DWL 3
, A second dummy cell 20 4 whose source is connected to the bit line BL b is provided. Other configurations are the same as those of the conventional FIG.

【0014】即ち、第1,第2のビット線BLa ,BL
b と複数のワード線WL0 ,WL1との交差箇所には、
メモリセル101 ,102 がそれぞれ接続されている。
メモリセル101 は、電荷蓄積用のキャパシタ11と電
荷転送用のNMOS12とが1/2・VCCとビット線
BLb との間に直列接続され、そのNMOS12のゲー
トがワード線WL0 に接続されている。メモリセル10
2 も、電荷蓄積用のキャパシタ11と電荷転送用のNM
OS12とが1/2・VCCとビット線BLaとの間に
直列接続され、そのNMOS12のゲートがワード線W
1 に接続されている。第1,第2のビット線BLa
BLb の一端には、NMOS31,32,33からなる
イコライズ回路30が接続され、該ビット線BLa ,B
b の他端には、NMOS41,42及びPMOS4
3,44からなるセンスアンプ40が接続されると共
に、データ転送用のNMOS51,52を介して相補的
なデータ線Da ,Db が接続されている。
That is, the first and second bit lines BL a , BL
At the intersection of b and the plurality of word lines WL 0 and WL 1 ,
The memory cells 10 1 and 10 2 are connected to each other.
In the memory cell 10 1 , a charge storage capacitor 11 and a charge transfer NMOS 12 are connected in series between ½ · VCC and a bit line BL b, and the gate of the NMOS 12 is connected to a word line WL 0. ing. Memory cell 10
2 is also a capacitor 11 for charge storage and an NM for charge transfer
And OS12 is connected in series between the 1/2 · VCC and the bit line BL a, the gate of the NMOS12 word line W
It is connected to L 1 . The first and second bit lines BL a ,
An equalizing circuit 30 including NMOSs 31, 32, and 33 is connected to one end of BL b , and the bit lines BL a and B
At the other end of L b , NMOS 41, 42 and PMOS 4
A sense amplifier 40 composed of 3 and 44 is connected, and complementary data lines D a and D b are connected via NMOSs 51 and 52 for data transfer.

【0015】図4は、ワード線WL0 ,WL1 の昇圧レ
ベルが(VCC+VT +α)で、メモリセル101 に記
憶された“0”情報読出し動作のタイミングチャートで
ある。図5は、ワード線WL0 ,WL1 の昇圧レベルが
2VCCで、メモリセル101 に記憶された“0”情報
読出し動作のタイミングチャートである。これらの図を
参照しつつ、図1の読出し動作(1),(2)を説明す
る。
FIG. 4 is a timing chart of the operation of reading the "0" information stored in the memory cell 10 1 when the boost level of the word lines WL 0 and WL 1 is (VCC + V T + α). FIG. 5 is a timing chart of the read operation of the “0” information stored in the memory cell 10 1 when the boost level of the word lines WL 0 and WL 1 is 2 VCC. The read operations (1) and (2) in FIG. 1 will be described with reference to these drawings.

【0016】(1) 図4の動作 イコライズ信号EQがVCCレベルのとき、イコライズ
回路30内のNMOS31,32,33がオン状態のた
め、ビット線BLa とBLb が1/2・VCCにイコラ
イズされている。又、センスアンプ活性化信号φa ,φ
b も1/2・VCCにイコライズされているため、セン
スアンプ40内のNMOS41,42及びPMOS4
3,44がオフ状態となっている。イコライズ信号EQ
がVCCレベルからGNDレベルへ遷移すると、イコラ
イズ回路30内のNMOS31,32,33がオフ状態
となり、次いで、図示しないデコーダによって選択され
たワード線WL0 が“H”レベルに立上がり、それに接
続されたメモリセル101 内のNMOS12がオン状態
となり、該メモリセル101 に記憶された“0”情報が
ビット線BLb へ出力される。
(1) Operation of FIG. 4 When the equalize signal EQ is at the VCC level, the bit lines BL a and BL b are equalized to ½ · VCC because the NMOSs 31, 32 and 33 in the equalize circuit 30 are in the ON state. Has been done. In addition, sense amplifier activation signals φ a and φ
Since b is also equalized to 1/2 · VCC, the NMOS 41 and 42 and the PMOS 4 in the sense amplifier 40 are
3,44 are off. Equalize signal EQ
Transition from the VCC level to the GND level, the NMOSs 31, 32 and 33 in the equalize circuit 30 are turned off, and then the word line WL 0 selected by the decoder (not shown) rises to the “H” level and is connected to it. The NMOS 12 in the memory cell 10 1 is turned on, and the “0” information stored in the memory cell 10 1 is output to the bit line BL b .

【0017】この際、ワード線WL0 はGNDレベルか
ら(VCC+VT +α)レベルまで遷移し、ダミーワー
ド線DWL0 がVCCレベルからGNDレベルへ遷移す
る。このとき、ワード線WL0 とダミーワード線DWL
0 には電圧振幅差ΔV=VT+αがあるため、該ワード
線WL0 とビット線BLb 間、及びダミーワード線DW
0 とビット線BLb 間のゲート容量の容量結合によ
り、該ビット線BLb にオフセット電圧ΔVsが生じ
る。又、ダミーワード線DWL0 に対し、ダミーワード
線DWL2 がVCCレベルから(VCC+VT +α)レ
ベルへ遷移するため、該ダミーワード線DWL2 とビッ
ト線BLa 間のゲート容量の容量結合により、該ビット
線BLa にオフセット電圧ΔVsが生じる。そのため、
ビット線BLb とBLa に生じているオフセット電圧Δ
Vsが互いに相殺され、メモリセル101 からビット線
BLb へ伝達される信号量に変化がない。
At this time, the word line WL 0 makes a transition from the GND level to the (VCC + V T + α) level, and the dummy word line DWL 0 makes a transition from the VCC level to the GND level. At this time, the word line WL 0 and the dummy word line DWL
Since 0 has a voltage amplitude difference ΔV = V T + α, the word line WL 0 and the bit line BL b , and the dummy word line DW.
The capacitive coupling of the gate capacitance between L 0 and the bit line BL b causes an offset voltage ΔVs on the bit line BL b . Further, since the dummy word line DWL 2 makes a transition from the VCC level to the (VCC + V T + α) level with respect to the dummy word line DWL 0 , capacitive coupling of the gate capacitance between the dummy word line DWL 2 and the bit line BL a An offset voltage ΔVs is generated on the bit line BL a . for that reason,
Offset voltage Δ occurring on the bit lines BL b and BL a
Vs are offset from each other, there is no change in the amount of the signal transmitted from the memory cell 10 1 to the bit line BL b.

【0018】従って、センスアンプ40が動作するまで
にビット線BLa ,BLb 間の電位差が十分大きくな
り、その後、センスアンプ活性化信号φa が1/2・V
CCレベルからVCCレベルへ上昇すると共に、センス
アンプ活性化信号φb が1/2・VCCレベルからGN
Dレベルへ下降し、該センスアンプ40が動作してビッ
ト線BLa とBLb 間の電位差が増幅される。そして、
カラム線Y−DECがGNDレベルからVCCレベルへ
上昇し、データ転送用のNMOS51,52がオン状態
となり、ビット線BLa ,BLb 上の読出し情報“0”
が、データ線Da,Db へ正確に読出される。
Therefore, the potential difference between the bit lines BL a and BL b becomes sufficiently large before the operation of the sense amplifier 40, and then the sense amplifier activation signal φ a becomes 1/2 · V.
As the CC level rises from the CC level to the VCC level, the sense amplifier activation signal φ b changes from ½ · VCC level to
The voltage goes down to the D level, the sense amplifier 40 operates, and the potential difference between the bit lines BL a and BL b is amplified. And
The column line Y-DEC rises from the GND level to the VCC level, the data transfer NMOSs 51 and 52 are turned on, and the read information “0” on the bit lines BL a and BL b.
Are accurately read to the data lines D a and D b .

【0019】(2) 図5の動作 イコライズ信号EQがVCCレベルのとき、イコライズ
回路30によってビット線BLa ,BLb が1/2・V
CCにイコライズされ、センスアンプ活性化信号φa
φb も1/2・VCCにイコライズされてセンスアンプ
40がオフ状態となっている。イコライズ信号EQがV
CCレベルからGNDレベルへ遷移すると、イコライズ
回路30がオフ状態となり、次いで、図示しないデコー
ダによって選択されたワード線WL0 が“H”レベルに
立上がり、それに接続されたメモリセル101内のNM
OS12がオン状態となり、該メモリセル101 に記憶
された“0”情報がビット線BLb へ出力される。
(2) Operation of FIG. 5 When the equalizing signal EQ is at the VCC level, the equalizing circuit 30 causes the bit lines BL a and BL b to be ½ · V.
CC is equalized to sense amplifier activation signal φ a ,
φ b is also equalized to 1/2 · VCC, and the sense amplifier 40 is in the off state. Equalize signal EQ is V
When the level is changed from the CC level to the GND level, the equalizer circuit 30 is turned off, then the word line WL 0 selected by the decoder (not shown) rises to the “H” level, and the NM in the memory cell 10 1 connected to it.
The OS 12 is turned on, and the "0" information stored in the memory cell 10 1 is output to the bit line BL b .

【0020】この際、ワード線WL0 はGNDレベルか
ら2VCCレベルまで遷移し、ダミーワード線DWL0
がVCCレベルからGNDレベルへ遷移する。ワード線
WL0 とダミーワード線DWL0 には電圧振幅差ΔV=
VCCがあるので、ワード線WL0 とビット線BL
b 間、及びダミーワード線DWL0 とビット線BLb
のゲート容量の容量結合により、該ビット線BLb にオ
フセット電圧ΔVsを生じる。このとき、ダミーワード
線DWL0 に対し、ダミーワード線DWL2 がGNDレ
ベルからVCCレベルへ遷移するので、該ダミーワード
線DWL2 とビット線BLa 間のゲート容量の容量結合
により、該ビット線BLa にオフセット電圧ΔVsを生
じる。そのため、ビット線BLb とBLa に生じている
オフセット電圧ΔVsが互いに相殺され、メモリセル1
1 からビット線BLb へ伝達される信号量に変化がな
い。従って、センスアンプ40が動作するまでに、ビッ
ト線BLa とBLb 間の電位差が十分大きくなり、その
後、該センスアンプ40が動作してビット線BLa,B
b 間の電位差が増幅され、カラム線Y−DECによっ
てNMOS51,52がオン状態となり、該ビット線B
a ,BLb 上の読出し情報“0”が、データ線Da
b へ正確に読出される。
At this time, the word line WL 0 transits from the GND level to the 2VCC level, and the dummy word line DWL 0.
Changes from the VCC level to the GND level. The voltage amplitude difference ΔV = between the word line WL 0 and the dummy word line DWL 0
Since there is VCC, word line WL 0 and bit line BL
An offset voltage ΔVs is generated on the bit line BL b due to capacitive coupling of the gate capacitance between the b and the dummy word line DWL 0 and the bit line BL b . At this time, since the dummy word line DWL 2 makes a transition from the GND level to the VCC level with respect to the dummy word line DWL 0 , the bit line is capacitively coupled between the dummy word line DWL 2 and the bit line BL a. An offset voltage ΔVs is generated at BL a . Therefore, the offset voltages ΔVs generated on the bit lines BL b and BL a cancel each other out, and the memory cell 1
There is no change in the amount of signal transmitted from 0 1 to the bit line BL b . Therefore, the potential difference between the bit lines BL a and BL b becomes sufficiently large before the sense amplifier 40 operates, and then the sense amplifier 40 operates to operate the bit lines BL a and B b .
The potential difference between L b is amplified, the NMOS 51 and 52 are turned on by the column line Y-DEC, and the bit line B
The read information “0” on L a and BL b corresponds to the data lines D a and
Exactly read to D b .

【0021】以上のように、本実施例では次のような利
点を有している。 (a) ワード線WL0 がGNDレベルから(VCC+
T +α)レベルへ遷移する場合、第1のダミーワード
線DWL0 をVCCレベルからGNDレベルへ遷移させ
ると共に、第2のダミーワード線DWL2 をVCCレベ
ルから(VCC+VT +α)レベルへ遷移するようにし
たので、ビット線BLa とBLb 間に生じるオフセット
電圧ΔVsが相殺されて0となる。これにより、メモリ
セル101からビット線BLb へ伝達される信号量に変
化がなくなり、正しい情報を読出すことができる。
As described above, this embodiment has the following advantages. (A) The word line WL 0 changes from the GND level to (VCC +
When transitioning to the V T + α) level, the first dummy word line DWL 0 is transitioned from the VCC level to the GND level, and the second dummy word line DWL 2 is transitioned from the VCC level to the (VCC + V T + α) level. Since this is done, the offset voltage ΔVs generated between the bit lines BL a and BL b is canceled and becomes zero. As a result, there is no change in the amount of signal transmitted from the memory cell 10 1 to the bit line BL b , and correct information can be read.

【0022】(b) ワード線WL0 がGNDレベルか
ら2VCCへ遷移する場合、第1のダミーワード線DW
0 をVCCレベルからGNDレベルへ遷移させ、第2
のダミーワード線DWL2 をGNDレベルからVCCレ
ベルへ遷移するようにしたので、ビット線BLa とBL
b 間に生じるオフセット電圧ΔVsが相殺されて0とな
る。これにより、メモリセル101 からビット線BLb
へ伝達される信号量に変化がなくなり、正しい情報を読
出すことができる。
(B) When the word line WL 0 changes from the GND level to 2VCC, the first dummy word line DW
The L 0 is changed from the VCC level to the GND level, and the second
Since the dummy word line DWL 2 is changed from the GND level to the VCC level, the bit lines BL a and BL
The offset voltage ΔVs generated between b is canceled and becomes 0. As a result, from the memory cell 10 1 to the bit line BL b
There is no change in the amount of signal transmitted to, and correct information can be read.

【0023】(c) 前記(a),(b)においてビッ
ト線BLa とBLb 間に生じるオフセット電圧ΔVsが
0となるので、低電圧を使用したDRAM、例えばVC
C=1.5Vの場合においても、読出し信号量が損失す
ることなく、正しい情報を読出すことができる。なお、
本発明は上記実施例に限定されず、種々の変形が可能で
ある。例えば、図1のメモリセル部のビット線BLa
BLb 、ワード線WL0 ,WL1 、及びダミーワード線
DWL0 ,DWL1 ,DWL2 ,DWL3 を任意の数に
したり、メモリセル101 ,102 やダミーセル2
1 ,202 ,203 ,204 を他の回路で構成した
り、あるいはイコライズ回路30、センスアンプ40、
及びデータ転送用NMOS51,52を他のトランジス
タ構成にしてもよい。又、上記実施例を他の半導体メモ
リ等の半導体集積回路装置に適用することも可能であ
る。
(C) In the above (a) and (b), since the offset voltage ΔVs generated between the bit lines BL a and BL b becomes 0, a DRAM using a low voltage, for example, VC
Even when C = 1.5 V, correct information can be read without loss of the read signal amount. In addition,
The present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made. For example, the bit line BL a of the memory cell portion of FIG.
BL b , word lines WL 0 and WL 1 , and dummy word lines DWL 0 , DWL 1 , DWL 2 and DWL 3 can be set to any number, and memory cells 10 1 and 10 2 and dummy cells 2
0 1 , 20 2 , 20 3 , 20 4 may be configured by other circuits, or the equalizing circuit 30, the sense amplifier 40,
The data transfer NMOSs 51 and 52 may have other transistor configurations. Further, the above embodiment can be applied to other semiconductor integrated circuit devices such as semiconductor memories.

【0024】[0024]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、第1の発明
によれば、メモリセルからのデータ読出し時に、ワード
線を活性化レベルへ遷移する場合、第1のダミーワード
線をプリチャージレベルから第1の電源電位レベルへ遷
移し、第2のダミーワード線をプリチャージレベルから
ワード線の活性化レベルへ遷移するようにしたので、第
1と第2のビット線に生じるオフセット電圧が相殺され
て0となる。これにより、メモリセルからビット線へ伝
達される信号量に変化がなくなり、正しい情報を読出す
ことができる。しかも、第1と第2のビット線に生じる
オフセット電圧が0となるので、低電圧を使用したDR
AM等の半導体集積回路装置においても、読出し信号量
の損失がなく、正しい情報を読出すことができる。
As described in detail above, according to the first aspect of the present invention, when the word line is transitioned to the activation level when data is read from the memory cell, the first dummy word line is set to the precharge level. From the first power supply potential level to the second dummy word line from the precharge level to the activation level of the word line, the offset voltages generated in the first and second bit lines cancel each other out. Is set to 0. As a result, there is no change in the amount of signal transmitted from the memory cell to the bit line, and correct information can be read. Moreover, since the offset voltage generated in the first and second bit lines becomes 0, DR using a low voltage is used.
Even in a semiconductor integrated circuit device such as AM, correct information can be read without loss of read signal amount.

【0025】第2の発明によれば、メモリセルからのデ
ータ読出し時に、ワード線を第2の電源電位レベルのほ
ぼ2倍のレベルへ遷移する場合、第1のダミーワード線
を第2の電源電位レベルから第1の電源電位レベルへ遷
移し、第2のダミーワード線を第1の電源電位レベルか
ら第2の電源電位レベルへ遷移するようにしたので、第
1と第2のビット線に生じるオフセット電圧が相殺され
て0となる。従って、第1の発明と同様に、メモリセル
からビット線へ伝達される信号量に変化がなくなり、正
しい情報を読出すことができるばかりか、低電圧を使用
したDRAM等の半導体集積回路装置においても、読出
し信号量の損失がなく、正しい情報を読出すことができ
る。従って、半導体メモリ等の種々の半導体集積回路装
置に適用できる。
According to the second aspect of the present invention, when data is read from the memory cell, the first dummy word line is set to the second power supply when the word line is transitioned to a level approximately twice the second power supply potential level. Since the transition from the potential level to the first power supply potential level is made and the second dummy word line is made to transition from the first power supply potential level to the second power supply potential level, the first and second bit lines are The resulting offset voltage is canceled and becomes zero. Therefore, as in the first aspect of the invention, the amount of signal transmitted from the memory cell to the bit line does not change, and not only correct information can be read but also in a semiconductor integrated circuit device such as a DRAM using a low voltage. Also, correct information can be read without loss of the read signal amount. Therefore, it can be applied to various semiconductor integrated circuit devices such as semiconductor memories.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例を示すDRAMにおけるメモリ
セル部の概略の回路図である。
FIG. 1 is a schematic circuit diagram of a memory cell portion in a DRAM showing an embodiment of the present invention.

【図2】従来のDRAMにおけるメモリセル部の概略の
回路図である。
FIG. 2 is a schematic circuit diagram of a memory cell portion in a conventional DRAM.

【図3】図2の“0”情報読出し動作のタイミングチャ
ートである。
FIG. 3 is a timing chart of a “0” information read operation of FIG.

【図4】図1の“0”情報読出し動作のタイミングチャ
ートである。
FIG. 4 is a timing chart of the “0” information read operation of FIG. 1.

【図5】図1の“0”情報読出し動作のタイミングチャ
ートである。
5 is a timing chart of a "0" information read operation of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

101 ,102 メモリセル 201 ,202 ,203 ,204 ダミーセル 30 イコライズ回路 40 センスアンプ 51,52 データ転送用NM
OS BLa ,BLb 第1,第2のビッ
ト線 Da ,Db データ線 DWL0 ,DWL1 第1のダミーワー
ド線 DWL2 ,DWL3 第2のダミーワー
ド線
10 1 , 10 2 Memory cell 20 1 , 20 2 , 20 3 , 20 4 Dummy cell 30 Equalize circuit 40 Sense amplifier 51, 52 NM for data transfer
OS BL a, BL b first, second bit line D a, D b data line DWL 0, DWL 1 first dummy word line DWL 2, DWL 3 second dummy word line

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 相補的な第1及び第2のビット線と、前
記第1及び第2のビット線に対して交差配置されたワー
ド線と、前記第1及び第2のビット線に対して交差配置
された第1のダミーワード線と、前記第1又は第2のビ
ット線と前記ワード線との交差箇所に接続されたメモリ
セルと、前記第1又は第2のビット線と前記第1のダミ
ーワード線との交差箇所に接続された第1のダミーセル
とを、備えた半導体集積回路装置において、 前記第1及び第2のビット線に対して交差配置される第
2のダミーワード線と、前記第2又は第1のビット線と
前記第2のダミーワード線との交差箇所に接続される第
2のダミーセルとを設け、 前記メモリセルからのデータ読出し時に、前記ワード線
を活性化レベルへ、前記第1のダミーワード線をプリチ
ャージレベルから第1の電源電位レベルへ、前記第2の
ダミーワード線をプリチャージレベルから前記ワード線
の活性化レベルへ、それぞれ遷移させる構成にしたこと
を特徴とする半導体集積回路装置。
1. A complementary first and second bit line, a word line cross-arranged with respect to the first and second bit line, and a complementary bit line with respect to the first and second bit line. First dummy word lines arranged in a cross manner, memory cells connected to an intersection of the first or second bit line and the word line, the first or second bit line and the first A first dummy cell connected to an intersection of the first dummy cell and the second dummy word line, and a second dummy word line cross-arranged with respect to the first and second bit lines. , A second dummy cell connected to an intersection of the second or first bit line and the second dummy word line is provided, and when the data is read from the memory cell, the word line is activated at an activation level. To the first dummy word line From Jireberu to the first power supply potential level, said the level of activation of the second dummy word line the word line from the precharge level, the semiconductor integrated circuit device being characterized in that the arrangement for shifting respectively.
【請求項2】 請求項1記載の第2のダミーワード線及
び第2のダミーセルを設け、 前記メモリセルからのデータ読出し時に、前記ワード線
を第2の電源電位レベルのほぼ2倍のレベルへ、前記第
1のダミーワード線を第2の電源電位レベルから第1の
電源電位レベルへ、前記第2のダミーワード線を第1の
電源電位レベルから第2の電源電位レベルへ、それぞれ
遷移させる構成にしたことを特徴とする半導体集積回路
装置。
2. The second dummy word line and the second dummy cell according to claim 1, wherein the word line is set to a level approximately twice the second power supply potential level when data is read from the memory cell. , The first dummy word line transitions from the second power supply potential level to the first power supply potential level, and the second dummy word line transitions from the first power supply potential level to the second power supply potential level. A semiconductor integrated circuit device having a configuration.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2002298576A (en) * 2001-03-29 2002-10-11 Fujitsu Ltd Semiconductor memory
US7106645B2 (en) 2002-09-03 2006-09-12 Oki Electric Industry Co., Ltd. Semiconductor memory device having a word line drive circuit and a dummy word line drive circuit
JP4964225B2 (en) * 2006-03-01 2012-06-27 ルネサスエレクトロニクス株式会社 Semiconductor memory device

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