JPH06186013A - 非接触形状測定器 - Google Patents
非接触形状測定器Info
- Publication number
- JPH06186013A JPH06186013A JP31197892A JP31197892A JPH06186013A JP H06186013 A JPH06186013 A JP H06186013A JP 31197892 A JP31197892 A JP 31197892A JP 31197892 A JP31197892 A JP 31197892A JP H06186013 A JPH06186013 A JP H06186013A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- touch signal
- measured
- air pad
- surface plate
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Measuring Arrangements Characterized By The Use Of Fluids (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 被測定物の微小なきずやピンホール、表面粗
さ、きさげ、研削加工面粗度、塵埃等によって生じる測
定誤差を防止することが可能な非接触形状測定器を提供
する。 【構成】 エアパッド３４をタッチ信号プローブ３０か
ら一定間隔隔てた離隔位置に圧縮コイルばね３２を介在
させて配置し、測定時にはエアパッド３４と被測定物で
ある定盤４４の表面との間に空気膜を形成した非接触の
まま、タッチ信号プローブ３０を圧縮コイルばね３２を
縮めながらタッチ信号プローブ３０とエアパッド３４と
が当接する当接位置まで移動させ、タッチ信号プローブ
３０から送出される接触信号をとりこむことによって測
定を行う。
さ、きさげ、研削加工面粗度、塵埃等によって生じる測
定誤差を防止することが可能な非接触形状測定器を提供
する。 【構成】 エアパッド３４をタッチ信号プローブ３０か
ら一定間隔隔てた離隔位置に圧縮コイルばね３２を介在
させて配置し、測定時にはエアパッド３４と被測定物で
ある定盤４４の表面との間に空気膜を形成した非接触の
まま、タッチ信号プローブ３０を圧縮コイルばね３２を
縮めながらタッチ信号プローブ３０とエアパッド３４と
が当接する当接位置まで移動させ、タッチ信号プローブ
３０から送出される接触信号をとりこむことによって測
定を行う。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は非接触形状測定器に係
り、特に定盤の平面度を評価する場合に好適な非接触形
状測定器に関する。
り、特に定盤の平面度を評価する場合に好適な非接触形
状測定器に関する。
【０００２】
【背景技術】一般に、ハイトゲージ（一次元測定機）、
三次元測定機、輪郭測定機等を使用して被測定物の形状
等を測定するには、被測定物を定盤に載置した状態で測
定を行う。従って、測定機の測定精度は定盤の平面度に
よって大きな影響を受けるため、定盤の平面度を測定機
の製造工場等で評価しておく必要がある。
三次元測定機、輪郭測定機等を使用して被測定物の形状
等を測定するには、被測定物を定盤に載置した状態で測
定を行う。従って、測定機の測定精度は定盤の平面度に
よって大きな影響を受けるため、定盤の平面度を測定機
の製造工場等で評価しておく必要がある。
【０００３】従来、定盤の平面度を評価するには、通常
ＪＩＳＢ７５１３の規格によって行われている。同規格
による平面度の測定方法としては、水準器による方法、
オートコリメータによる方法、基準面と比較する方法が
ある。例えば、水準器による方法では水準器を使用して
定盤上の各測定点の高さを測定し、得られた測定値を加
減算することによって平面度を算出し、この平面度に応
じて定盤の等級を決定する。
ＪＩＳＢ７５１３の規格によって行われている。同規格
による平面度の測定方法としては、水準器による方法、
オートコリメータによる方法、基準面と比較する方法が
ある。例えば、水準器による方法では水準器を使用して
定盤上の各測定点の高さを測定し、得られた測定値を加
減算することによって平面度を算出し、この平面度に応
じて定盤の等級を決定する。
【０００４】一方、近年、定盤の平面度評価の自動化を
図るべく、三次元測定機を利用した定盤の高さ測定が試
みられている。これは、三次元測定機のタッチ信号プロ
ーブのルビ球を定盤の各測定点に直接当接させて各々高
さを測定し、基準面（マスタ定盤）と、対象となる定盤
との高さをそれぞれ比較して平面度を算出する。
図るべく、三次元測定機を利用した定盤の高さ測定が試
みられている。これは、三次元測定機のタッチ信号プロ
ーブのルビ球を定盤の各測定点に直接当接させて各々高
さを測定し、基準面（マスタ定盤）と、対象となる定盤
との高さをそれぞれ比較して平面度を算出する。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の三次
元測定機を用いた測定では、タッチ信号プローブのルビ
球を定盤の表面に当接させたときに、定盤上の微小なき
ずやピンホール、表面粗さ、きさげ、研削加工面粗度、
塵埃等が影響して測定値に誤差が生じ、この結果、定盤
の平面度を正確に評価できないという欠点がある。これ
らの微小なきずやピンホール等は、定盤としての性能に
本来支障がなく、三次元測定機によって平面度を評価す
る場合の誤差要因となるにすぎないものである。
元測定機を用いた測定では、タッチ信号プローブのルビ
球を定盤の表面に当接させたときに、定盤上の微小なき
ずやピンホール、表面粗さ、きさげ、研削加工面粗度、
塵埃等が影響して測定値に誤差が生じ、この結果、定盤
の平面度を正確に評価できないという欠点がある。これ
らの微小なきずやピンホール等は、定盤としての性能に
本来支障がなく、三次元測定機によって平面度を評価す
る場合の誤差要因となるにすぎないものである。
【０００６】本発明はこのような事情に鑑みてなされた
もので、その目的は、被測定物の形状を測定する場合
に、被測定物の微小なきずやピンホール、表面粗さ、き
さげ、研削加工面粗度、塵埃等によって生じる測定誤差
を防止することが可能な非接触形状測定器を提供すると
ころにある。
もので、その目的は、被測定物の形状を測定する場合
に、被測定物の微小なきずやピンホール、表面粗さ、き
さげ、研削加工面粗度、塵埃等によって生じる測定誤差
を防止することが可能な非接触形状測定器を提供すると
ころにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】本発明は、軸方向へ移動
可能な測定機の移動軸に装着され、被測定物の形状を非
接触で測定する非接触形状測定器であって、前記移動軸
に弾性部材を介して移動軸の軸方向へ変位可能に取付け
られ、被測定物へ向かって空気を噴出するとともに被測
定物との間に空気膜を形成するエアパッドと、前記弾性
部材の弾性変形によって前記エアパッドと移動軸との相
対位置が予め設定された寸法になったときに信号を送出
する検出器とを含むことを特徴としている。
可能な測定機の移動軸に装着され、被測定物の形状を非
接触で測定する非接触形状測定器であって、前記移動軸
に弾性部材を介して移動軸の軸方向へ変位可能に取付け
られ、被測定物へ向かって空気を噴出するとともに被測
定物との間に空気膜を形成するエアパッドと、前記弾性
部材の弾性変形によって前記エアパッドと移動軸との相
対位置が予め設定された寸法になったときに信号を送出
する検出器とを含むことを特徴としている。
【０００８】
【作用】本発明では、測定にあたって、測定機の移動軸
をその軸方向へ移動させていき、エアパッドが被測定物
の測定面に所定間隔まで接近すると、エアパッドと被測
定物との間に形成される空気膜の圧力上昇によってエア
パッドのそれ以上の接近が停止される。そして、移動軸
が軸方向へ更に移動すると、エアパッドの接近が停止さ
れているので、弾性部材が弾性変形していく。やがて、
弾性変形が予め設定された寸法になると、そのことが検
出器によって検出される。従って、その信号を基に移動
軸の変位量を読み取れば、被測定物の測定面の位置が測
定できる。
をその軸方向へ移動させていき、エアパッドが被測定物
の測定面に所定間隔まで接近すると、エアパッドと被測
定物との間に形成される空気膜の圧力上昇によってエア
パッドのそれ以上の接近が停止される。そして、移動軸
が軸方向へ更に移動すると、エアパッドの接近が停止さ
れているので、弾性部材が弾性変形していく。やがて、
弾性変形が予め設定された寸法になると、そのことが検
出器によって検出される。従って、その信号を基に移動
軸の変位量を読み取れば、被測定物の測定面の位置が測
定できる。
【０００９】
【実施例】次に、本発明に係る非接触形状測定器につい
て好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら詳細
に説明する。
て好適な実施例を挙げ、添付の図面を参照しながら詳細
に説明する。
【００１０】図１は本実施例に係る非接触形状測定器が
適用される三次元測定機の概略斜視図である。図１の三
次元測定機１０は定盤１２と、この定盤１２上をＹ軸方
向に移動可能な門型フレーム１４とを備え、定盤１２の
一方側には案内レール１６が取付けられ、門型フレーム
１４の一方の脚部１４Ａがこの案内レール１６に沿って
Ｙ軸方向に摺動しながら移動する。
適用される三次元測定機の概略斜視図である。図１の三
次元測定機１０は定盤１２と、この定盤１２上をＹ軸方
向に移動可能な門型フレーム１４とを備え、定盤１２の
一方側には案内レール１６が取付けられ、門型フレーム
１４の一方の脚部１４Ａがこの案内レール１６に沿って
Ｙ軸方向に摺動しながら移動する。
【００１１】ここで、門型フレーム１４と案内レール１
６との相対移動量は、案内レール１６に設けられたスケ
ール１８と、脚部１４Ａに設けられた検出器（図示省
略）等から構成される変位検出手段によって測定され
る。なお、門型フレーム１４の他方の脚部１４Ａの下面
には図示しないエアベアリングが配設され、このエアベ
アリングによって脚部１４Ａが定盤１２上に摺動自在に
支持されている。
６との相対移動量は、案内レール１６に設けられたスケ
ール１８と、脚部１４Ａに設けられた検出器（図示省
略）等から構成される変位検出手段によって測定され
る。なお、門型フレーム１４の他方の脚部１４Ａの下面
には図示しないエアベアリングが配設され、このエアベ
アリングによって脚部１４Ａが定盤１２上に摺動自在に
支持されている。
【００１２】一方、門型フレーム１４のブリッジ部１４
ＢにはＸ軸スライダ２０がＸ軸方向に摺動自在に配設さ
れ、ブリッジ部１４ＢとＸ軸スライダ２０との相対移動
量が前記Ｙ軸方向の場合と同様に光学的な変位検出手段
によって測定される。更に、Ｘ軸スライダ２０にはＺ軸
支持部材２２が設けられ、このＺ軸支持部材２２にはＺ
軸方向に摺動自在なＺ軸スピンドル２４が配設されてい
る。Ｚ軸スピンドル２４には後述する本実施例に係る非
接触形状測定器が取付けられる。
ＢにはＸ軸スライダ２０がＸ軸方向に摺動自在に配設さ
れ、ブリッジ部１４ＢとＸ軸スライダ２０との相対移動
量が前記Ｙ軸方向の場合と同様に光学的な変位検出手段
によって測定される。更に、Ｘ軸スライダ２０にはＺ軸
支持部材２２が設けられ、このＺ軸支持部材２２にはＺ
軸方向に摺動自在なＺ軸スピンドル２４が配設されてい
る。Ｚ軸スピンドル２４には後述する本実施例に係る非
接触形状測定器が取付けられる。
【００１３】図２は図１の三次元測定機に適用された本
実施例に係る非接触形状測定器の一部断面図、図３は図
２の非接触形状測定器を示した側面図、図４は本実施例
に係る非接触形状測定器の要部断面図である。
実施例に係る非接触形状測定器の一部断面図、図３は図
２の非接触形状測定器を示した側面図、図４は本実施例
に係る非接触形状測定器の要部断面図である。
【００１４】図２及び図３に示すように、三次元測定機
の移動軸としてのＺ軸スピンドル２４には非接触形状測
定器２６が取付けられ、この非接触形状測定器２６はプ
ローブアダプタ２８、検出機としてのタッチ信号プロー
ブ３０、圧縮コイルばね３２、エアパッド３４等から構
成されている。
の移動軸としてのＺ軸スピンドル２４には非接触形状測
定器２６が取付けられ、この非接触形状測定器２６はプ
ローブアダプタ２８、検出機としてのタッチ信号プロー
ブ３０、圧縮コイルばね３２、エアパッド３４等から構
成されている。
【００１５】検出器としてのタッチ信号プローブ３０は
プローブアダプタ２８を介してＺ軸スピンドル２４に支
持され、又、プローブアダプタ２８には一対の案内板３
６が支持されている。この案内板３６の両下端には水平
な固定片３８Ａと、この固定片３８Ａから下方へ延出す
る円筒部３８Ｂとからなるばね受け材３８が取付けられ
ている。円筒部３８Ｂの下端とエアパッド３４との間に
は、弾性部材として圧縮コイルばね３２が介在されてい
る。
プローブアダプタ２８を介してＺ軸スピンドル２４に支
持され、又、プローブアダプタ２８には一対の案内板３
６が支持されている。この案内板３６の両下端には水平
な固定片３８Ａと、この固定片３８Ａから下方へ延出す
る円筒部３８Ｂとからなるばね受け材３８が取付けられ
ている。円筒部３８Ｂの下端とエアパッド３４との間に
は、弾性部材として圧縮コイルばね３２が介在されてい
る。
【００１６】エアパッド３４は円筒状のガイド部材４０
にねじ部３４Ａによって固定され、ガイド部材４０は、
その上端に形成された鍔部４０Ａによって、ばね受け材
３８の孔３８Ｃに支持されている。ガイド部材４０はタ
ッチ信号プローブ３０を囲繞しているとともに、エアパ
ッド３４とともに孔３８Ｃに沿って矢印Ａ方向に摺動す
る。このため、ガイド部材４０は圧縮コイルばね３２が
弾性変形することによりタッチ信号プローブ３０に対し
て相対的に移動する。
にねじ部３４Ａによって固定され、ガイド部材４０は、
その上端に形成された鍔部４０Ａによって、ばね受け材
３８の孔３８Ｃに支持されている。ガイド部材４０はタ
ッチ信号プローブ３０を囲繞しているとともに、エアパ
ッド３４とともに孔３８Ｃに沿って矢印Ａ方向に摺動す
る。このため、ガイド部材４０は圧縮コイルばね３２が
弾性変形することによりタッチ信号プローブ３０に対し
て相対的に移動する。
【００１７】エアパッド３４にはエアホース４２が取付
けられ、このエアホース４２によってエアパッド３４に
圧搾空気が供給され、エアパッド３４と被測定物との間
に空気軸受けと同様な作用で一定厚さの空気膜（エアフ
ィルム）が形成される。ここで、エアホース４２はエア
パッド３４の移動を妨げないように柔軟性を有するフレ
キシブルチューブ等で形成されている。
けられ、このエアホース４２によってエアパッド３４に
圧搾空気が供給され、エアパッド３４と被測定物との間
に空気軸受けと同様な作用で一定厚さの空気膜（エアフ
ィルム）が形成される。ここで、エアホース４２はエア
パッド３４の移動を妨げないように柔軟性を有するフレ
キシブルチューブ等で形成されている。
【００１８】前記の如く構成した非接触形状測定器２６
を図１の三次元測定機に使用して例えば定盤の平面度を
評価する作業は以下のように行われる。
を図１の三次元測定機に使用して例えば定盤の平面度を
評価する作業は以下のように行われる。
【００１９】図４に示すように、先ず、Ｚ軸スピンドル
２４（図４には図示せず）を下降させ、被測定物である
定盤４４に向かってエアパッド３４を定盤４４に近づけ
ていく。すると、エアパッド３４は定盤４４より約１０
mm手前にて下降スピードが低速に変わる。
２４（図４には図示せず）を下降させ、被測定物である
定盤４４に向かってエアパッド３４を定盤４４に近づけ
ていく。すると、エアパッド３４は定盤４４より約１０
mm手前にて下降スピードが低速に変わる。
【００２０】そして、エアパッド３４の下面と定盤４４
の平面との隙間が数μｍ手前に達すると、エアパッド３
４と定盤４４との間に形成されるエアフィルム４６の圧
力によってエアパッド３４の下降が停止される。
の平面との隙間が数μｍ手前に達すると、エアパッド３
４と定盤４４との間に形成されるエアフィルム４６の圧
力によってエアパッド３４の下降が停止される。
【００２１】しかし、タッチ信号プローブ３０はなおも
下降し続けているため、圧縮コイルばね３２が圧縮され
ていく。つまり、タッチ信号プローブ３０とエアパッド
３４との間隔が次第に小さくなっていく。やがて、エア
パッド３４のねじ部３４Ａとタッチ信号プローブ３０の
先端３０Ａとの間隔Ｈが狭まり、最終的にねじ部３４Ａ
と先端３０Ａとが当接する位置までタッチ信号プローブ
３０が移動すると、タッチ信号プローブ３０からエアパ
ッド３４のねじ部３４Ａとの接触信号が測定機本体に送
出され、このときの定盤４４の高さ位置が取りこまれ
る。
下降し続けているため、圧縮コイルばね３２が圧縮され
ていく。つまり、タッチ信号プローブ３０とエアパッド
３４との間隔が次第に小さくなっていく。やがて、エア
パッド３４のねじ部３４Ａとタッチ信号プローブ３０の
先端３０Ａとの間隔Ｈが狭まり、最終的にねじ部３４Ａ
と先端３０Ａとが当接する位置までタッチ信号プローブ
３０が移動すると、タッチ信号プローブ３０からエアパ
ッド３４のねじ部３４Ａとの接触信号が測定機本体に送
出され、このときの定盤４４の高さ位置が取りこまれ
る。
【００２２】ここで、エアパッド３４は圧縮コイルばね
３２の縮み量Ｈに応じた負荷を受けており、定盤４４と
エアパッド３４との間のエアフィルム４６の厚さｈはそ
の負荷に応じて決まる。従って、圧縮コイルばね３２の
縮み量Ｈが一定である限り、エアフィルム４６の厚さｈ
は常に一定の値となり、この結果、定盤４４に対して接
触することなく、その高さ位置を測定することができ
る。
３２の縮み量Ｈに応じた負荷を受けており、定盤４４と
エアパッド３４との間のエアフィルム４６の厚さｈはそ
の負荷に応じて決まる。従って、圧縮コイルばね３２の
縮み量Ｈが一定である限り、エアフィルム４６の厚さｈ
は常に一定の値となり、この結果、定盤４４に対して接
触することなく、その高さ位置を測定することができ
る。
【００２３】以上のように本実施例によれば、定盤４４
の表面に対して接触することなく、その高さ位置を測定
することができるので、定盤４４上の微小なきずやピン
ホール、表面粗さ、きさげ、研削加工面粗度、塵埃等に
よる影響を受けることなく、高さ位置を測定でき、これ
により正確な平面度の評価が可能となる。また、非接触
状態で測定を行うので、定盤４４の表面に傷等が付かな
いとともに、エアパッド３４下面に摩耗等が生じない。
更に、従来の接触式のタッチ信号プローブ３０に圧縮コ
イルばね３２とエアパッド３４を付加するだけですむの
で、測定機の構造を簡単化することができる。
の表面に対して接触することなく、その高さ位置を測定
することができるので、定盤４４上の微小なきずやピン
ホール、表面粗さ、きさげ、研削加工面粗度、塵埃等に
よる影響を受けることなく、高さ位置を測定でき、これ
により正確な平面度の評価が可能となる。また、非接触
状態で測定を行うので、定盤４４の表面に傷等が付かな
いとともに、エアパッド３４下面に摩耗等が生じない。
更に、従来の接触式のタッチ信号プローブ３０に圧縮コ
イルばね３２とエアパッド３４を付加するだけですむの
で、測定機の構造を簡単化することができる。
【００２４】以上、本発明について好適な実施例を挙げ
て説明したが、本発明はこの実施例に限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の
改良並びに設計の変更が可能なことは勿論である。
て説明したが、本発明はこの実施例に限定されるもので
はなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の
改良並びに設計の変更が可能なことは勿論である。
【００２５】例えば本実施例では、三次元測定機に適用
した場合について説明したが、これに限らずハイトゲー
ジ（一次元測定機）、輪郭測定機等に適用することも可
能である。また、本実施例では被測定物として定盤４４
の平面度を評価する場合について説明したが、非接触状
態での測定が好適なもの、例えば軟質材料の表面形状の
測定にも好適である。
した場合について説明したが、これに限らずハイトゲー
ジ（一次元測定機）、輪郭測定機等に適用することも可
能である。また、本実施例では被測定物として定盤４４
の平面度を評価する場合について説明したが、非接触状
態での測定が好適なもの、例えば軟質材料の表面形状の
測定にも好適である。
【００２６】更に、本実施例では検出器として接触型の
タッチ信号プローブ３０を用いたが、これに限らず非接
触型の検出器を用いることも可能である。要は、エアパ
ッドと移動軸との相対位置を検出できればどのような検
出器を用いてもよい。
タッチ信号プローブ３０を用いたが、これに限らず非接
触型の検出器を用いることも可能である。要は、エアパ
ッドと移動軸との相対位置を検出できればどのような検
出器を用いてもよい。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
被測定物の測定面の微小なきずやピンホール等の影響を
受けずに測定が可能となり、測定精度が向上する。
被測定物の測定面の微小なきずやピンホール等の影響を
受けずに測定が可能となり、測定精度が向上する。
【図１】本実施例に係る非接触形状測定器が適用される
三次元測定機の概略斜視図である。
三次元測定機の概略斜視図である。
【図２】図１の三次元測定機に適用された本実施例に係
る非接触形状測定器の一部断面図である。
る非接触形状測定器の一部断面図である。
【図３】図２の非接触形状測定器を示した側面図であ
る。
る。
【図４】図２の非接触形状測定器の要部断面図である。
【符号の説明】 ２６ 非接触形状測定器 ３０ タッチ信号プローブ（検出器） ３２ 圧縮コイルばね（弾性部材） ３４ エアパッド ３０ ３６ 摩擦低減材 ３８ ばね受け材 ４０ ガイド部材 ４４ 定盤（被測定物） ４６ エアフィルム（空気膜）
Claims (1)
- 【請求項１】 軸方向へ移動可能な測定機の移動軸に装
着され、被測定物の形状を非接触で測定する非接触形状
測定器であって、 前記移動軸に弾性部材を介して移動軸の軸方向へ変位可
能に取付けられ、被測定物へ向かって空気を噴出すると
ともに被測定物との間に空気膜を形成するエアパッド
と、 前記弾性部材の弾性変形によって前記エアパッドと移動
軸との相対位置が予め設定された寸法になったときに信
号を送出する検出器とを含むことを特徴とする非接触形
状測定器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4311978A JP2598862B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 非接触式検出器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4311978A JP2598862B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 非接触式検出器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06186013A true JPH06186013A (ja) | 1994-07-08 |
| JP2598862B2 JP2598862B2 (ja) | 1997-04-09 |
Family
ID=18023732
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP4311978A Expired - Lifetime JP2598862B2 (ja) | 1992-11-20 | 1992-11-20 | 非接触式検出器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2598862B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2015125756A1 (ja) * | 2014-02-18 | 2017-03-30 | オイレス工業株式会社 | エアベアリング装置及び測定装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5322350U (ja) * | 1976-08-04 | 1978-02-24 |
-
1992
- 1992-11-20 JP JP4311978A patent/JP2598862B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5322350U (ja) * | 1976-08-04 | 1978-02-24 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2015125756A1 (ja) * | 2014-02-18 | 2017-03-30 | オイレス工業株式会社 | エアベアリング装置及び測定装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2598862B2 (ja) | 1997-04-09 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH05209708A (ja) | 直線測定装置 | |
| US5687487A (en) | Flatness tester | |
| US4562648A (en) | Apparatus for measuring diametral and axial dimensions | |
| JP2598862B2 (ja) | 非接触式検出器 | |
| Harvie | Factors affecting component measurement on coordinate measuring machines | |
| JP3124659B2 (ja) | 平面度測定装置の較正方法 | |
| JP2987607B2 (ja) | 三次元座標測定機 | |
| CN108458650A (zh) | 一种轴承内圈滚道槽测定装置 | |
| CN106052537A (zh) | 一种眼镜架鼻梁变形测试仪 | |
| US6434845B1 (en) | Dual-axis static and dynamic force characterization device | |
| US3863350A (en) | Gauge provided with a rapid and automatic zero-setting device | |
| JPH04231810A (ja) | 位置測定装置 | |
| JPS6130688B2 (ja) | ||
| JP2586633Y2 (ja) | 平面度測定機 | |
| JP3787721B2 (ja) | 測定ヘッドにおける接触子の基準点検出方法 | |
| JP2579726B2 (ja) | 接触式プローブ | |
| JP2697134B2 (ja) | 表面寸法測定装置 | |
| TWI714449B (zh) | 快速量測模組 | |
| CN211783219U (zh) | 一种半球面直线距离测量检具 | |
| JP2000298011A (ja) | 形状測定方法および装置 | |
| RU2740539C1 (ru) | Способ измерения профиля железнодорожного колеса и устройство для его осуществления | |
| JPS6315139A (ja) | ひつかき硬さ試験装置 | |
| JPH08219753A (ja) | 変位測定プローブ | |
| US3442019A (en) | Recording type profile analysing apparatus | |
| JPH05231854A (ja) | 高さ測定装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 19961105 |