JPH06185775A - Cleanness controller for clean room - Google Patents
Cleanness controller for clean roomInfo
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- JPH06185775A JPH06185775A JP33431992A JP33431992A JPH06185775A JP H06185775 A JPH06185775 A JP H06185775A JP 33431992 A JP33431992 A JP 33431992A JP 33431992 A JP33431992 A JP 33431992A JP H06185775 A JPH06185775 A JP H06185775A
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- air
- clean room
- duct
- clean
- branch duct
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、半導体工場等で使用さ
れるクリーンルーム内の清浄度を自由に制御できるクリ
ーンルーム内清浄度制御装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a clean room in-cleanness control device for freely controlling cleanliness in a clean room used in a semiconductor factory or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、例えば、ＬＳＩ等の半導体は、ク
リーンルーム内で製造され、その製造工程では、空気中
の塵埃の濃度のみが管理されていた。2. Description of the Related Art Conventionally, for example, a semiconductor such as an LSI is manufactured in a clean room, and only the concentration of dust in the air is controlled in the manufacturing process.
【０００３】かかる塵埃成分を除去する除去装置には、
ＨＥＰＡフィルタやＵＬＰＡフィルタ等の捕集フィルタ
や化学吸着を利用したケミカルフィルタ等の吸着フィル
タが用いられ、塵埃を多く含んだ空気を清浄している。A removing device for removing such dust components includes
A collection filter such as a HEPA filter or an ULPA filter or an adsorption filter such as a chemical filter utilizing chemical adsorption is used to clean air containing much dust.
【０００４】かかるクリーンルーム用空調システムとし
て、例えば、図３に示すものが知られている。図におい
て、符号１０１は空気清浄装置で、この空気清浄装置１
０１の上部一杯に天井チャンバ１０１Ａが張られ、この
天井チャンバ１０１Ａの下面全体にフィルタとしてＨＥ
ＰＡフィルタ１０２が敷設されるとともに、多数の吸出
孔１０３Ａを有する床１０３が張られている。空気清浄
装置１０１はＨＥＰＡフィルタ１０２と床１０３とによ
り上記天井チャンバ１０１Ａと、クリーンルーム１０１
Ｂと、床下チャンバ１０１Ｃとに分割されている。An example of such an air conditioning system for a clean room is known as shown in FIG. In the figure, reference numeral 101 is an air cleaning device, and this air cleaning device 1
A ceiling chamber 101A is stretched over the upper part of 01, and HE is used as a filter on the entire lower surface of the ceiling chamber 101A.
A PA filter 102 is laid and a floor 103 having a large number of suction holes 103A is stretched. The air purifying apparatus 101 includes a ceiling room 101A and a clean room 101 by a HEPA filter 102 and a floor 103.
B and an underfloor chamber 101C.
【０００５】空気清浄装置１０１の一側には、送風機１
０４が配置され、この送風機１０４が収納されるチャン
バ１０４Ａの一側には第１循環ダクト１０５の一端が接
続され、第１循環ダクト１０５の他端は天井チャンバ１
０１Ａ内に開口している。また、チャンバ１０４Ａの他
側には第２循環ダクト１０６の一端が接続され、第２循
環ダクト１０６の他端は床下チャンバ１０１Ｃ内に開口
している。A blower 1 is provided on one side of the air cleaning device 101.
04 is arranged, one end of the first circulation duct 105 is connected to one side of the chamber 104A in which the blower 104 is housed, and the other end of the first circulation duct 105 is connected to the ceiling chamber 1
It opens in 01A. Further, one end of the second circulation duct 106 is connected to the other side of the chamber 104A, and the other end of the second circulation duct 106 opens into the underfloor chamber 101C.
【０００６】そして、第１循環ダクト１０５の途中部分
には、送気ダクト１０７の一端が接続され、送気ダクト
１０７の他端には外気調和機１０８が接続されている。Then, one end of the air supply duct 107 is connected to an intermediate portion of the first circulation duct 105, and the outside air conditioner 108 is connected to the other end of the air supply duct 107.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、清浄度
の管理の最終的な目標は、そのクリーンルーム１０１Ｂ
で生産された半導体等の部品に付着する塵埃濃度で管理
されるべきものであるのに、クリーンルーム１０１Ｂに
おける清浄度は、雰囲気中の塵埃濃度により評価されて
いた。However, the ultimate goal of cleanliness control is the clean room 101B.
The cleanliness in the clean room 101B was evaluated by the dust concentration in the atmosphere, although it should be controlled by the dust concentration adhered to the parts such as semiconductors produced in 1.
【０００８】クリーンルーム１０１Ｂは、雰囲気中の塵
埃濃度と半導体等の部品に付着する塵埃濃度の関係調査
の要請により、その清浄度を自由に調整することが要求
されるが、クリーンルーム１０１Ｂでは、その清浄度を
自由に制御することは困難であった。In the clean room 101B, the cleanliness is required to be freely adjusted in response to a request for investigation of the relationship between the dust concentration in the atmosphere and the dust concentration adhering to parts such as semiconductors. It was difficult to control the degree freely.
【０００９】本発明は、上述の問題点を解決するために
なされたもので、その目的は、クリーンルーム内の清浄
度を自由に制御することができるクリーンルーム内清浄
度制御装置を提供することである。The present invention has been made to solve the above problems, and an object thereof is to provide a clean room cleanliness control device capable of freely controlling cleanliness in a clean room. .
【００１０】[0010]
【課題を解決するための手段】本発明は、クリーンルー
ムと、クリーンルームに隣接して該クリーンルームへ清
浄空気が送風される天井チャンバと、クリーンルームに
隣接して該クリーンルームから清浄空気が送風されると
ともに、塵埃を多く含んだ外気を取り入れる取入口を一
側に形成した床下チャンバと、クリーンルーム外に設置
され、床下チャンバ内の空気を送風する送風機と、送風
機に一端を接続された第１送風ダクトと、第１送風ダク
トの他端に、分岐して接続された第１分岐ダクト及び第
２分岐ダクトと、第１分岐ダクトの途中に設けられた第
１風量調整ダンパ及び高性能フィルタと、第２分岐ダク
トの途中に設けられた第２風量調整ダンパと、第１分岐
ダクトと第２分岐ダクトの合流部で一端が合流して他端
が天井チャンバ内に開口する第２送風ダクトとを備えて
いることを特徴とする。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is directed to a clean room, a ceiling chamber adjacent to the clean room, to which clean air is blown, and clean air is blown from the clean room adjacent to the clean room. An underfloor chamber formed with an intake on one side to take in the outside air containing a lot of dust, a blower installed outside the clean room and blowing air in the underfloor chamber, and a first blower duct having one end connected to the blower, A first branch duct and a second branch duct branched and connected to the other end of the first blower duct, a first air volume adjusting damper and a high-performance filter provided in the middle of the first branch duct, and a second branch. The second air flow rate adjustment damper provided in the middle of the duct and one end of the first branch duct and the second branch duct at the confluence part and the other end inside the ceiling chamber. Characterized in that a second air duct which opens.
【００１１】[0011]
【作用】本発明においては、塵埃濃度の高い外気が、取
入口から床下チャンバ内に取り入れられ、その外気の一
部は送風機によって第１分岐ダクトに導かれ、第１風量
調整ダンパで風量を調整されるとともに、高性能フィル
タで、浄化されて清浄空気となる。In the present invention, the outside air having a high dust concentration is taken into the underfloor chamber through the intake port, a part of the outside air is guided to the first branch duct by the blower, and the air volume is adjusted by the first air volume adjustment damper. At the same time, it is purified by a high-performance filter and becomes clean air.
【００１２】一方、外気の他の一部（塵埃濃度の高い空
気）は、第２分岐ダクトに導かれ、第２風量調整ダンパ
で風量を調整された後、合流部で上記の清浄空気と混合
され、所定の塵埃濃度値になる。On the other hand, another part of the outside air (air having a high dust concentration) is guided to the second branch duct, and after the air volume is adjusted by the second air volume adjusting damper, it is mixed with the above-mentioned clean air at the merging portion. Then, a predetermined dust concentration value is obtained.
【００１３】即ち、第１分岐ダクトを通って塵埃を多く
含んだ外気が、第１風量調整ダンパでその風量を調整さ
れるとともに、高性能フィルタで清浄され、この清浄化
された清浄空気が、第２風量調整ダンパで第２分岐ダク
トを通る風量が調整されて塵埃を多く含んだ外気と混合
される。この混合した清浄空気は、第２送風ダクトを介
して天井チャンバに流出し、さらに、クリーンルームに
導かれ、クリーンルーム内の清浄度が所定の値に制御さ
れる。That is, the outside air containing a large amount of dust through the first branch duct is adjusted in its air volume by the first air volume adjusting damper and is cleaned by the high performance filter. The second air volume adjusting damper adjusts the air volume passing through the second branch duct and mixes it with the outside air containing much dust. The mixed clean air flows out to the ceiling chamber through the second air duct and is further guided to the clean room where the cleanliness inside the clean room is controlled to a predetermined value.
【００１４】[0014]
【実施例】以下、図面により本発明の実施例について説
明する。図１ないし図２は発明の実施例に係わるクリー
ンルーム内清浄度制御装置を示す。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. 1 and 2 show a clean room cleanliness control apparatus according to an embodiment of the present invention.
【００１５】図１において、符号１はブースからなるク
リーンルームで、クリーンルーム１に隣接して該クリー
ンルーム１へ清浄空気が送風される天井チャンバ２が、
多数の吹出口３Ａを有する天井３を介して設置されてい
る。In FIG. 1, reference numeral 1 is a clean room consisting of a booth, and a ceiling chamber 2 adjacent to the clean room 1 for supplying clean air to the clean room 1 is
It is installed via a ceiling 3 having a large number of outlets 3A.
【００１６】クリーンルーム１に隣接して該クリーンル
ーム１から清浄空気が送風される床下チャンバ４が多数
の吸出孔４Ａを有する床４Ｂを介して設置され、床下チ
ャンバ４には、塵埃を多く含んだ外気を取り入れる取入
口５が一側に設けられている。取入口５には取入ダクト
５Ａが接続され、その途中には高精度の取入空気量調整
弁５Ｂが介装されている。An underfloor chamber 4 to which clean air is blown from the clean room 1 is installed adjacent to the clean room 1 through a floor 4B having a large number of suction holes 4A, and the underfloor chamber 4 contains outside air containing much dust. An inlet 5 for taking in is provided on one side. An intake duct 5A is connected to the intake port 5, and a highly accurate intake air amount adjusting valve 5B is interposed in the middle thereof.
【００１７】６は送風機で、クリーンルーム１外の床下
チャンバ４内に設置され、床下チャンバ４内の清浄空気
及び塵埃を多く含んだ外気を送風するようになってい
る。送風機６に第１送風ダクト７の一端が接続され、第
１送風ダクト７の他端で、第１分岐ダクト８及び第２分
岐ダクト９に分岐されている。A blower 6 is installed in the underfloor chamber 4 outside the clean room 1, and blows the clean air in the underfloor chamber 4 and the outside air containing much dust. One end of the first blower duct 7 is connected to the blower 6, and the other end of the first blower duct 7 is branched into a first branch duct 8 and a second branch duct 9.
【００１８】第１分岐ダクト８の途中に第１風量調整ダ
ンパ１０及びこの第１風量調整ダンパ１０の下流に位置
して高性能フィルタ１１が介装されている。また、第２
分岐ダクト９の途中に第２風量調整ダンパ１２が介装さ
れている。A first air flow rate adjusting damper 10 and a high performance filter 11 are provided downstream of the first air flow rate adjusting damper 10 in the middle of the first branch duct 8. Also, the second
A second air volume adjusting damper 12 is provided in the middle of the branch duct 9.
【００１９】第１分岐ダクト８と第２分岐ダクト９は、
混気ボックスからなる合流部１３で合流し、この合流部
１３には、第２送風ダクト１４の一端が接続し、その他
端が天井チャンバ２内に開口している。The first branch duct 8 and the second branch duct 9 are
The merging portion 13 composed of an air-fuel mixture box joins, and one end of the second air blowing duct 14 is connected to the merging portion 13 and the other end is open into the ceiling chamber 2.
【００２０】しかして、本実施例においては、塵埃を多
く含んで塵埃濃度の高い外気が、取入口５から床下チャ
ンバ４内に取り入れられ、その外気の一部は送風機６に
よって第１分岐ダクト８に導かれ、第１風量調整ダンパ
１０で風量を調整されるとともに、高性能フィルタ１１
で、浄化されて塵埃を殆ど含まない清浄空気となる。In this embodiment, however, the outside air containing a large amount of dust and having a high dust concentration is taken into the underfloor chamber 4 through the intake port 5, and a part of the outside air is blown by the blower 6 into the first branch duct 8. And the air volume is adjusted by the first air volume adjustment damper 10, and the high performance filter 11
Thus, the purified air becomes clean air containing almost no dust.
【００２１】一方、外気の他の一部（塵埃を多く含んで
塵埃濃度の高い空気）は、第２分岐ダクト９に導かれ、
第２風量調整ダンパ１２で風量を調整された後、合流部
１３に導かれる。合流部１３では、塵埃を殆ど含まない
清浄空気と、第２分岐ダクト９内の塵埃を含んだ空気が
混合され、所定の塵埃濃度になる。On the other hand, another part of the outside air (air containing a lot of dust and having a high dust concentration) is guided to the second branch duct 9,
After the air volume is adjusted by the second air volume adjustment damper 12, the air is guided to the merging unit 13. In the merging portion 13, the clean air containing almost no dust and the air containing dust in the second branch duct 9 are mixed to have a predetermined dust concentration.
【００２２】即ち、第１分岐ダクト８を通って塵埃を多
く含んだ外気が、第１風量調整ダンパ１０でその風量を
調整されるとともに、高性能フィルタ１１で清浄され、
この清浄化された清浄空気が、第２風量調整ダンパ１２
で第２分岐ダクト９を通る風量が調整されて塵埃を多く
含んだ外気と混合される。この混合した清浄空気は、第
２送風ダクト１４を介して天井チャンバに流出し、さら
に、クリーンルーム１に導かれ、クリーンルーム１内の
清浄度が所定の値に以下のように制御される。That is, the outside air containing a large amount of dust passing through the first branch duct 8 has its air volume adjusted by the first air volume adjusting damper 10 and is cleaned by the high performance filter 11.
This purified clean air is used as the second air volume adjustment damper 12
Thus, the air volume passing through the second branch duct 9 is adjusted and mixed with the outside air containing much dust. The mixed clean air flows into the ceiling chamber through the second air duct 14 and is further guided to the clean room 1, where the cleanliness inside the clean room 1 is controlled to a predetermined value as follows.
【００２３】クリーンルーム１内の所定の値としての目
標清浄度をＣr とする。先ず、取入ダクト５Ａ内の取入
空気の取入空気清浄度Ｃi が測定される。この取入空気
清浄度Ｃi と、目標清浄度Ｃr を基に、目標清浄度
Ｃr ，取入空気量Ｑi ，第２分岐ダクト９を通過する風
量Ｑ3 の関連表（後述の計算式により概略算定される）
から、取入空気量調整弁５Ｂの開度が調整され、取入空
気量Ｑi が設定される。The target cleanliness as a predetermined value in the clean room 1 is C r . First, the intake air cleanliness C i of the intake air in the intake duct 5A is measured. And the intake air cleanliness C i, based on the target cleanliness C r, the target cleanliness C r, intake air quantity Q i, associated tables airflow Q 3 which passes through the second branch duct 9 (described later calculations (Approximately calculated by the formula)
From this, the opening degree of the intake air amount adjustment valve 5B is adjusted, and the intake air amount Q i is set.
【００２４】そして、第１風量調整ダンパ１０と第２風
量調整ダンパ１２の開度が調整され、第１分岐ダクト８
を通過する風量Ｑ2 及び第２分岐ダクト９を通過する風
量Ｑ 3 が設定される。The first air volume adjustment damper 10 and the second air flow
The opening of the amount adjustment damper 12 is adjusted, and the first branch duct 8
Air volume Q passing through2And the wind passing through the second branch duct 9
Quantity Q 3Is set.
【００２５】例えば、取入空気量Ｑi ＝３５３０，００
０コ／ｍ3 、風量Ｑ2 ：風量Ｑ3 ＝１：９９に設定すれ
ば、目標清浄度Ｃr ＝３５３，０００コ／ｍ3 に近い値
の実際のクリーンルーム１内の清浄度が、清浄度センサ
１５により測定される。この測定された清浄度の値と目
標清浄度Ｃr が比較され、取入空気量調整弁５Ｂの開度
を手動で調整して、取入空気量Ｑi を微調整するととも
に、第１風量調整ダンパ１０と第２風量調整ダンパ１２
の開度を手動で調整し、測定された清浄度の値が目標清
浄度Ｃr に近づけられる。For example, the intake air amount Q i = 353,00
By setting 0 co / m 3 and air flow Q 2 : air flow Q 3 = 1: 99, the actual cleanliness in the clean room 1 with a value close to the target cleanliness C r = 353,000 co / m 3 is It is measured by the degree sensor 15. The measured cleanliness value is compared with the target cleanliness value C r , the opening degree of the intake air amount adjustment valve 5B is manually adjusted to finely adjust the intake air amount Q i , and the first air flow rate is also adjusted. Adjustment damper 10 and second air volume adjustment damper 12
The degree of cleanliness measured is manually adjusted to approach the target cleanliness C r .
【００２６】ここで、クリーンルーム１内の清浄度を安
定・維持するためには、定常的に取入口５より塵埃濃度
の高い空気を取り入れることを必要としている。これ
は、送風機６の回転機器からオイルミストや金属粉等の
特定の成分を含有した発塵が生じており、このような特
定成分を含有した塵埃のみでは、一般的な塵埃の挙動が
なくなってしまう可能性があり、これを防止するため
に、定常的に、取入口５から塵埃を含んだ塵埃濃度の高
い空気が取り入れられ、特定の発塵影響が及ばないよう
になっている。Here, in order to stabilize and maintain the cleanliness in the clean room 1, it is necessary to constantly take in air having a high dust concentration from the intake port 5. This is because dust containing a specific component such as oil mist or metal powder is generated from the rotating device of the blower 6, and general dust behavior disappears only with dust containing such a specific component. In order to prevent this, in order to prevent this, air having a high dust concentration containing dust is constantly taken in from the intake port 5 so that a specific dusting effect is not exerted.
【００２７】そして、クリーンルーム１内の空気清浄度
が目標清浄度Ｃr になることは、図２に示す空気の流れ
をモデルとして次の式により概略試算されている。な
お、クリーンルーム１内の空気清浄度は、例えばレーザ
を利用して単位空間当たりの粒子数が測定され、コ／ｆ
ｔ3 やコ／ｍ3 を単位として表される。The fact that the air cleanliness inside the clean room 1 becomes the target cleanliness C r is roughly calculated by the following equation using the air flow shown in FIG. 2 as a model. The air cleanliness in the clean room 1 is measured by measuring the number of particles per unit space using a laser, for example,
It is expressed in units of t 3 and co / m 3 .
【００２８】ここで、 Ｃr ：クリーンルーム内目標清浄度〔コ／ｍ3 〕 〔１０，０００コ／ｆｔ3 ＝３５３，０００コ／ｍ3 〕 Ｃi ：取入空気清浄度〔コ／ｍ3 〕 〔１００，０００コ／ｆｔ3 ＝３５３０，０００コ／ｍ
3 〕 Ｑr ：還気量 〔ｍ3 ／Ｈ〕 〔９９９ｍ3 ／Ｈ〕 Ｑi ：取入空気量 〔ｍ3 ／Ｈ〕 〔１ｍ3 ／Ｈ〕 Ｇ：系内発塵〔コ／ｍ3 〕 〔１０，０００コ／Ｈ〕 Ｃr ’：還気清浄度〔コ／ｍ3 〕 Ｃ1 ：取入空気清浄度Ｃi と還気清浄度Ｃr ’の混気
清浄度〔コ／ｍ3 〕 Ｑ2 ：第１分岐ダクトの風量 Ｑ3 ：第２分岐ダクトの風量 η ：（１−塵埃除去効率）≒０ とすれば、 Ｃr ’＝（Ｇ＋Ｃr ×Ｑr ）／Ｑr ＝（１０，０００コ／Ｈ＋３５３，０００コ ／ｍ3 ×９９９ｍ3 ／Ｈ）／９９９ｍ3 ／Ｈ ＝ ３５３，４００コ／ｍ3 Ｃ1 ＝（Ｃi ×Ｑi ＋Ｃr ’×Ｑr ）／（Ｑi ＋Ｑr ） ＝（３５３，０００×１＋３５３，４００×９９９）／１０００ ＝３５６，６００コ／ｍ3 Ｃr ＝（Ｃ1 ×η×Ｑ2 ＋Ｃ1 ×Ｑ3 ）／（Ｑ2 ＋Ｑ3 ） ＝３５６，６００×Ｑ3 ／１０００（η≒０） ＝３５３，０００コ／ｍ3 従って、Ｑ3 ＝９９０ｍ3 ／Ｈ、Ｑ2 ：Ｑ3 ＝１０：９
９０＝１：９９となり、クリーンルーム内目標清浄度Ｃ
r を確保するためには、風量Ｑ2 ：風量Ｑ3 ＝１：９９
に設定すれば良い（第１風量調整ダンパ１０と第２風量
調整ダンパ１２の開度の調整）ことになる。Here, C r : target cleanliness in clean room [co / m 3 ] [10,000 co / ft 3 = 353,000 co / m 3 ] C i : intake air cleanliness [co / m 3 ] [100,000 / ft 3 = 3530,000 / m
3 ] Q r : Return air volume [m 3 / H] [999 m 3 / H] Q i : Intake air volume [m 3 / H] [1 m 3 / H] G: Dust generation in system [co / m 3 ] [10,000 co / H] C r ': Return air cleanliness [co / m 3 ] C 1 : Mixed air cleanliness of intake air cleanliness C i and return air cleanliness C r ' [co / m 3 ] Q 2 : Air volume of the first branch duct Q 3 : Air volume of the second branch duct η: (1-dust removal efficiency) ≈ 0, then C r '= (G + C r × Q r ) / Q r = (10,000 co / H + 353,000 co / m 3 × 999 m 3 / H) / 999 m 3 / H = 353,400 co / m 3 C 1 = (C i × Q i + C r ′ × Q r ) / ( Q i + Q r ) = (353,000 × 1 + 353,400 × 999) / 1000 = 356,600 co / m 3 C r = (C 1 × η × Q 2 + C 1 × Q 3 ) / (Q 2 + Q 3 ) = 356,600 × Q 3/1 00 (η ≒ 0) = 353,000 U / m 3 Therefore, Q 3 = 990m 3 / H , Q 2: Q 3 = 10: 9
90 = 1: 99, the target cleanliness C in the clean room
To secure r , the air volume Q 2 : air volume Q 3 = 1:99
Should be set to (adjustment of the opening degree of the first air volume adjustment damper 10 and the second air volume adjustment damper 12).
【００２９】以上の如き構成によれば、第１分岐ダクト
８を通って塵埃を多く含んだ外気を、第１風量調整ダン
パ１０でその風量を調整するとともに、高性能フィルタ
１１で清浄し、この清浄化された清浄空気を、第２風量
調整ダンパ１２で第２分岐ダクト９を通る風量が調整さ
れて塵埃を多く含んだ外気と混合し、第１風量調整ダン
パ１０及び第２風量調整ダンパ１２の開閉度を調整する
ことにより、クリーンルーム１内の清浄度を所定の値に
自由に制御することができる。According to the above-mentioned structure, the first air flow rate adjusting damper 10 adjusts the air flow rate of the outside air containing a large amount of dust through the first branch duct 8, and the high performance filter 11 cleans it. The clean air thus purified is mixed with the outside air containing a large amount of dust by adjusting the air volume passing through the second branch duct 9 by the second air volume adjusting damper 12, and the first air volume adjusting damper 10 and the second air volume adjusting damper 12 are mixed. By adjusting the degree of opening and closing of, the cleanliness in the clean room 1 can be freely controlled to a predetermined value.
【００３０】なお、本実施例においては、先ず概略第１
風量調整ダンパ１０と第２風量調整ダンパ１２の開度を
手動で調整し、さらに、この測定された清浄度の値と目
標清浄度Ｃr が比較され、取入空気量調整弁５Ｂの手動
で開度を調整して、取入空気量Ｑi を微調整するととも
に、第１風量調整ダンパ１０と第２風量調整ダンパ１２
の開度を手動で調整し、測定された清浄度の値が目標清
浄度Ｃr に近づけられるが、それらの１連の動作を自動
制御することもできる。In this embodiment, first, the first outline
The opening degree of the air volume adjustment damper 10 and the second air volume adjustment damper 12 is manually adjusted, and the measured cleanliness value and the target cleanliness degree C r are compared, and the intake air volume adjustment valve 5B is manually operated. The opening degree is adjusted to finely adjust the intake air amount Q i , and the first air amount adjustment damper 10 and the second air amount adjustment damper 12 are also provided.
The degree of cleanliness measured is manually adjusted to bring the measured cleanliness value close to the target cleanliness C r , but a series of these operations can be automatically controlled.
【００３１】[0031]
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
第１分岐ダクトを通って塵埃を多く含んだ外気を、第１
風量調整ダンパでその風量を調整するとともに、高性能
フィルタで清浄し、この清浄化された清浄空気を、第２
風量調整ダンパで第２分岐ダクトを通る風量が調整され
て塵埃を多く含んだ外気と混合し、第１風量調整ダンパ
及び第２風量調整ダンパの開閉度を調整することによ
り、クリーンルーム内の清浄度を所定の値に自由に制御
することができる効果を奏する。As described above, according to the present invention,
The outside air, which contains a large amount of dust, passes through the first branch duct,
The air volume adjustment damper adjusts the air volume, and the high-performance filter cleans the purified air.
The cleanliness in the clean room is adjusted by adjusting the air volume passing through the second branch duct with the air volume adjusting damper and mixing with the outside air containing much dust, and adjusting the opening and closing degree of the first air volume adjusting damper and the second air volume adjusting damper. There is an effect that can be freely controlled to a predetermined value.
【図１】本発明の実施例に係わるクリーンルーム内清浄
度制御装置の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a clean room in-cleanness control device according to an embodiment of the present invention.
【図２】同クリーンルーム内清浄度制御装置の作用状態
説明図である。FIG. 2 is an operation state explanatory diagram of the cleanliness control device in the clean room.
【図３】従来におけるクリーンルームを示す側面図であ
る。FIG. 3 is a side view showing a conventional clean room.
１ クリーンルーム ２ 天井チャンバ ４ 床下チャンバ ５ 取入口 ７ 第１送風ダクト ８ 第１分岐ダクト ９ 第２分岐ダクト １０ 第１風量調整ダンパ １１ 高性能フィルタ １２ 第２風量調整ダンパ １３ 合流部 １４ 第２送風ダクト 1 Clean Room 2 Ceiling Chamber 4 Underfloor Chamber 5 Inlet 7 1st Air Duct 8 1st Branch Duct 9 2nd Branch Duct 10 1st Air Volume Adjustment Damper 11 High Performance Filter 12 2nd Airflow Adjustment Damper 13 Confluence Section 14 2nd Air Duct
Claims (1)
が送風される天井チャンバと、 クリーンルームに隣接して該クリーンルームから清浄空
気が送風されるとともに、塵埃を多く含んだ外気を取り
入れる取入口を一側に形成した床下チャンバと、 クリーンルーム外に設置され、床下チャンバ内の空気を
送風する送風機と、 送風機に一端を接続された第１送風ダクトと、 第１送風ダクトの他端に、分岐して接続された第１分岐
ダクト及び第２分岐ダクトと、 第１分岐ダクトの途中に設けられた第１風量調整ダンパ
及び高性能フィルタと、 第２分岐ダクトの途中に設けられた第２風量調整ダンパ
と、 第１分岐ダクトと第２分岐ダクトの合流部で一端が合流
して他端が天井チャンバ内に開口する第２送風ダクトと
を備えていることを特徴とするクリーンルーム内清浄度
制御装置。1. A clean room, a ceiling chamber adjacent to the clean room for blowing clean air to the clean room, and a clean chamber adjacent to the clean room for blowing clean air from the clean room and taking in outside air containing much dust. An underfloor chamber with an intake on one side, a blower that is installed outside the clean room and blows the air in the underfloor chamber, a first blower duct whose one end is connected to the blower, and the other end of the first blower duct , A first branch duct and a second branch duct that are branched and connected, a first air volume adjustment damper and a high-performance filter that are provided in the middle of the first branch duct, and a first branch duct that is provided in the middle of the second branch duct. 2 Air flow rate adjustment damper, 2nd air blower whose one end merges in the junction part of a 1st branch duct and a 2nd branch duct, and the other end opens in a ceiling chamber. Clean room cleanliness control apparatus characterized by comprising a preparative.
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| JP33431992A JP3350890B2 (en) | 1992-12-15 | 1992-12-15 | Clean room cleanliness control device |
Applications Claiming Priority (1)
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2012177072A2 (en) * | 2011-06-24 | 2012-12-27 | Woongjin Coway Co., Ltd | Dehumidification-type air cleaner and control method thereof |
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-
1992
- 1992-12-15 JP JP33431992A patent/JP3350890B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| WO2012177072A3 (en) * | 2011-06-24 | 2013-03-28 | Woongjin Coway Co., Ltd | Dehumidification-type air cleaner and control method thereof |
| CN114754443A (en) * | 2022-04-29 | 2022-07-15 | 青岛海信日立空调系统有限公司 | Total heat exchanger and control method thereof |
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|---|---|
| JP3350890B2 (en) | 2002-11-25 |
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