JPH06182803A

JPH06182803A - モールド樹脂封止装置

Info

Publication number: JPH06182803A
Application number: JP33730492A
Authority: JP
Inventors: Hiroyuki Sakuranaka; 博幸桜中
Original assignee: Fujitsu Miyagi Electronics Ltd
Current assignee: Fujitsu Miyagi Electronics Ltd
Priority date: 1992-12-17
Filing date: 1992-12-17
Publication date: 1994-07-05

Abstract

(57)【要約】【目的】ＩＣ等の電子部品のパッケージング時のモー
ルド樹脂封止に用いられるモールド樹脂封止装置に関
し、樹脂注入を予め設定した条件に基づいて正確に行な
い得るモールド樹脂封止装置を提供することを目的とす
る。【構成】トランスファ部２７に油圧を供給する油圧ポ
ンプ２４を回転駆動するモータ２５をマイクロコンピュ
ータ４１により圧力センサ４３及びエンコーダ５０によ
り入力したデータを予め入力されたデータと比較し、圧
力センサ４５及びエンコーダ５０から入力されたデータ
が予め入力されたデータと一致するように回転速度を制
御する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はモールド樹脂封止装置に
係り、特に、ＩＣ（集積回路）等の電子部品のパッケー
ジング時のモールド樹脂封止に用いられるモールド樹脂
封止装置に関する。

【０００２】一般にＩＣ，電子部品等をモールド樹脂で
封止する場合、トランスファ成形金型が用いられてい
る。トランスファ成形金型ではタブレット樹脂を一箇所
よりキャビティ内に注入する構成であるため、キャビテ
ィが多数個あった場合、樹脂を各キャビティに導入する
ランナが長くなり、樹脂注入速度や樹脂注入圧力等の樹
脂注入条件の正確な設定が困難であった。これらの条件
により成形品の状態が決定されるため、良好な状態の成
形品を得るためには樹脂注入条件の設定等を容易、か
つ、確実に行なえ、樹脂の注入を微妙にコントロール出
来るモールド樹脂封止装置が要求されている。

【０００３】

【従来の技術】図１８に従来のモールド樹脂封止装置の
一例の構成図を示す。同図中、１は型を示す。型１は上
部金型半体１ａ及び下部金型半体１ｂよりなる。上部金
型半体１ａは固定され、下部金型半体１ｂはクランプピ
ストン２ａに保持される。下部金型半体１ｂはクランプ
ピストン２ａの上昇により上部金型半体１ａと突合わさ
れ、密着し、いわゆる型締めが行なわれる。

【０００４】また、上部金型半体１ａには樹脂タブレッ
ト１ｃが挿入されるポット１ａ-1が形成され、ポット１
ａ-1に樹脂タブレット１ｃを挿入した後、プランジャ３
ａを駆動することにより樹脂タブレット１ｃが流動して
型１内に押し出され、樹脂封止が行なわれる。

【０００５】クランプピストン２ａはクランプシリンダ
２ｂ内に保持され、クランプシリンダ２ｂ内の油液によ
り駆動制御される。また、プランジャ３ａはトランスフ
ァシリンダ３ｂ内に保持されたトランスファピストン３
ｃに固定され、トランスファシリンダ３ｂ内の油液によ
り駆動制御される。

【０００６】クランプシリンダ２ｂは圧力計４，レギュ
レータ５，スピードコントローラ６を介して電磁弁７と
接続され、トランスファシリンダ３ｂは圧力計８，レギ
ュレータ９，スピードコントローラ１０を介して電磁弁
７と接続される。電磁弁７は油圧ポンプ１１と接続さ
れ、制御部１２からの開閉信号に応じて弁を制御し、油
圧ポンプ１１から吐出される油液の流路を制御する。

【０００７】油圧ポンプ１１はモータ１３の回転により
駆動される。モータ１３は制御部１２に接続され、制御
部１２からの制御信号によりオン／オフされる。

【０００８】従来、油液の流路の油圧等の設定は、手動
式のレギュレータ５，９やスピードコントローラ６，１
０の調整で行われていた。

【０００９】レギュレータ５，９，スピードコントロー
ラ６，１０は手動でノブを回転させることにより調整し
ていた。また、調整時には作業者が圧力計４，８によ
り、油圧を確認しながら調整されていた。図１９に従来
の一例の動作説明図を示す。同図中、実線はトランスフ
ァピストン３ｃの移動量、破線はトランスファシリンダ
３ｂの圧力、一点鎖線はクランプシリンダ２ｂの圧力を
示す。従来の手動式のレギュレータ５，９、スピードコ
ントローラ６，１０による油圧の調整では油圧や流速は
一定に制御されてしまうため、図１９に破線で示すよう
に油圧はリニアにしか制御できなかった。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来のモー
ルド樹脂封止装置では樹脂注入条件の設定は手動式のレ
ギュレータやスピードコントローラを調整することによ
り行なわれており、樹脂注入条件は固定となるため、樹
脂注入条件の正確な設定が困難であり、設定条件のバラ
ツキが生じ、未充填、ピンホール、ワイヤ変形等の障害
が発生する場合があり、したがって、生産歩留り等へ影
響を与えてしまう等の問題点があった。

【００１１】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、樹脂注入を予め設定した条件に基づいて正確に行な
い得るモールド樹脂封止装置を提供することを目的とす
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】図１は本発明の原理ブロ
ック図を示す。本発明は成形品形状に応じた金型１４を
有し、油圧に応じて駆動され、型１４の型締め及び型１
４内に樹脂を注入する樹脂封止部１６と、油圧を分配す
る分配手段１５ａを有し、樹脂封止部１６に油圧を印加
する油圧回路１５と、油圧回路１５に回転駆動速度に応
じた油液を吐出する油圧ポンプ１７と、油圧ポンプ１７
を回転駆動するモータ１８とを有するモールド樹脂封止
装置において、前記モータ１８の回転速度を制御する制
御手段１９を有し、前記制御手段１９により前記モータ
１８の回転速度を制御し、前記油圧ポンプ１７の油液吐
出量を可変させることにより前記油圧回路１５の油圧を
制御することを特徴とする。

【００１３】

【作用】型締め速度、圧力及び樹脂注入速度、圧力は油
圧回路の油液の圧力、流量等により制御される。

【００１４】油圧回路には油圧ポンプにより油液が供給
され、油液の圧力、流量等が制御される。油圧ポンプは
モータと結合していて、モータの回転速度に応じて油液
の吐出量が変化する。

【００１５】従って、モータの回転速度を回転制御手段
により制御することにより型締め速度、圧力及び樹脂注
入速度、圧力を制御することができる。

【００１６】

【実施例】図２は本発明の一実施例の斜視図を示す。同
図中、２１はプレス部、２２は制御ボックス、２３は電
磁弁、２４は油圧ポンプ、２５はモータを示す。プレス
部２１，制御ボックス２２，電磁弁２３，油圧ポンプ２
４，モータ２５は同一のフレーム２６上に搭載され、モ
ールド樹脂封止装置２０を構成している。

【００１７】プレス部２１はトランスファ部２７，金型
２８，クランプ部２９よりなる。金型２８は上型２８ａ
及び下型２８ｂよりなり、上型２８ａはガイドポール３
０ａにより保持された固定台３０ｂに保持され、下型２
８ｂは移動台３１に保持される。

【００１８】移動台３１はガイドポール３０ａにより案
内されており、クランプ部２９により矢印Ｚ方向に移動
し、上型２８ａと下型２８ｂとの型締めを行なう構成と
されている。

【００１９】また、上型２８ａにはプランジャ３２が係
合し、プランジャ３２はトランスファ部２７により矢印
Ｚ方向に駆動され、樹脂を金型２８内に注入する構成と
されている。

【００２０】図３にトランスファ部２７の概略構成図を
示す。トランスファ部２７はトランスファシリンダ２７
ａ，トランスファピストン２７ｂ，軸２７ｃよりなる。
トランスファピストン２７ｂはトランスファシリンダ２
７ａ内に矢印Ｚ方向に移動自在に収納され、トランスフ
ァシリンダ２７ａを２隔室２７ａ-1，２７ａ-2に隔離し
ている。隔室２７ａ-1には流路３３が接続され、隔室２
７ａ-2には流路３４が接続され、各隔室２７ａ-1，２７
ａ-2の油圧が制御される。トランスファピストン２７ｂ
は隔室２７ａ-1の圧力が隔室２７ａ-2の圧力より高くな
ると矢印Ｚ₁方向に移動し、隔室２７ａ-2の圧力が隔室
２７ａ-1の圧力より高くなると矢印Ｚ₂方向に移動す
る。トランスファピストン２７ｂは軸２７ｃを介してト
ランスファシリンダ２７ａ外部に設けられた樹脂を注入
するためのプランジャ３２と結合していて、トランスフ
ァピストン２７ｂの移動に応じて矢印Ｚ方向に移動する
構成とされている。

【００２１】図４にクランプ部の概略構成図を示す。ク
ランプ部２９はクランプシリンダ２９ａ，クランプピス
トン２９ｂ，軸２９ｃよりなる。クランプピストン２９
ｂはクランプシリンダ２９ａ内に矢印Ｚ方向に移動自在
に収納され、クランプシリンダ２９ａを２隔室２９ａ-
1，２９ａ-2に隔離している。隔室２９ａ-1には流路３
５が接続され、隔室２９ａ-2には流路３６が接続されて
いる。クランプピストン２９ｂは隔室２９ａ-1の圧力が
隔室２９ａ-2の圧力より高くなると矢印Ｚ₁方向に移動
し、隔室２９ａ-2の圧力が隔室２９ａ-1の圧力より高く
なると矢印Ｚ₂方向に移動する。クランプピストン２９
ｂは軸２９ｃを介して移動台３１に結合していて、移動
台３１を矢印Ｚ方向に移動させ、金型２８の型締めを行
なう。

【００２２】図５は本発明の一実施例の要部の斜視図を
示す。図３に示すように上型２８ａにはその略中央部に
樹脂タブレット５７が挿入されるポット２８ａ-1が形成
されている。また、下型２８ｂには上型２８ａのポット
２８ａ-1に対向して、樹脂タブレット３６の受け部とな
るカル部２８ｂ-1が形成され、カル部２８ｂ-1より樹脂
の流路となるランナー２８ｂ-2が放射状に延出してい
る。ランナー２８ｂ-2の先端部には半導体装置のパッケ
ージに対応した形状のキャビティ２８ｂ-4がゲート２８
ｂ-3を介して形成されている。

【００２３】上型２８ａと下型２８ｂとは上型２８ａに
形成されたガイド部２８ａ-2と下型２８ｂに植設された
ガイドポスト２８ｂ-5とが係合して、位置決めが行なわ
れ、上型２８ａと下型２８ｂとの型締めが確実に行なわ
れる構成とされている。

【００２４】制御ボックス２２は装置２０の前面に温度
調節器２２ａ，圧力表示部２２ｂ，ディスプレイパネル
２２ｃ，ディジタルスイッチ２２ｄ，プリンタ２２ｅ，
フロッピーディスクドライバ（ＦＤＤ）２２ｆ，スター
トスイッチ２２ｇ，安全センサ２２ｈを有し、これらは
内蔵されたマイクロコンピュータと接続されており、各
種情報の表示、操作、制御が行なえる構成とされてい
る。

【００２５】図６に本発明の一実施例の油圧制御系のブ
ロック図を示す。

【００２６】トランスファ部２７の隔室２７ａ-1に接続
された流路３３はレギュレータ４７を介して電磁弁３８
に接続され、トランスファ部２７の隔室２７ａ-2に接続
された流路３３は直接電磁弁３８に接続される。クラン
プ部２９の隔室２９ａ-1に接続された流路３５は直接電
磁弁３８に接続され、クランプ部２９の隔室２９ａ-2に
接続された流路３６はレギュレータ４８を介して電磁弁
２３に接続される。

【００２７】電磁弁２３は油圧ポンプ２４と接続され、
油圧ポンプ２４から吐出される油液をマイクロコンピュ
ータ４１からの制御信号に応じて分配し、流路３３〜３
６を介して隔室２７ａ-1，２７ａ-2及び隔室２９ａ-1，
２９ａ-2に供給する。

【００２８】図７は油圧ポンプの構成図を示す。油圧ポ
ンプ２４は低圧ポンプ２４ａ及び高圧ポンプ２４ｂより
なり、低圧ポンプ２４ａ及び高圧ポンプ２４ｂは共にレ
シプロピストンポンプで構成され、モータ２５の回転に
応じてクランク２４ａ-1，２４ｂ-1を回転させることに
よりピストン２４ａ-2，２４ｂ-2を直線往復運動させ、
ピストン２４ａ-2，２４ｂ-2の直線往復運動により吸入
弁２４ａ-3，２４ｂ-3，吐出弁２４ａ-4，２４ｂ-4を駆
動して、油液の吐出を行なう。

【００２９】低圧ポンプ２４ａの吐出油液は低圧油液と
して出力される他、高圧ポンプ２４ｂの吸入側に供給さ
れる。高圧ポンプ２４ｂは低圧ポンプ２４ａの吐出油液
を吸入し、吐出することにより、低圧ポンプ２４ａの油
圧より高圧の油圧を出力する。

【００３０】このように、油圧ポンプ２４は低圧及び高
圧の二系統の油圧を電磁弁２３に供給する。

【００３１】図８はレギュレータの構成図を示す。レギ
ュレータは油圧回路の圧力を制御する圧力制御弁で、主
に本体４７ａ，主ピストン４７ｂ，調整バネ４７ｃ，ポ
ペット４７ｄ，設定バネ４７ｅ，設定ネジ４７ｆ，アク
チュエータ４７ｇよりなる。油液は注入路４７ａ-1より
下方室４７ａ-2に流入した後、流出路４７ａ-8に導入さ
れる。主ピストン４７ｂは下方室４７ａ-2から上方室４
７ａ-3に貫通する流路４７ｂ-1を有し、４７ａ-3に流入
する。上方室４７ａ-3は主ピストン４７ｂにより下方室
４７ａ-2と隔てられ流路４７ａ-4を介して入力側の調整
室４７ａ-5に接続される。

【００３２】もどり管路４７ａ-6は調整バネ４７ｃによ
り付勢された主ピストン４７ｂにより下方室４７ａ-2と
隔離され、主ピストン４７ｂの移動に応じて下方室４７
ａ-2と連通する。またもどり管路４７ａ-6は主ピストン
４７ｂに形成された流路４７ｂ-2を介して出力側調整室
４７ａ-7と接続されている。

【００３３】入力側調整室４７ａ-5と出力側調整室４７
ａ-7との間にはポペット４７ｄが配設され、入力側調整
室４７ａ-5と出力側調整室４７ａ-7とを隔離している。

【００３４】ポペット４７ｄは設定バネ４７ｅにより出
力側調整室４７ａ-7から入力側調整室４７ａ-5方向に付
勢されている。設定バネ４７ｅの付勢力は設定ネジ４７
ｆの螺入量に応じ変えられる構成とされている。

【００３５】油圧は下方室４７ａ-2を介して入力側調整
室４７ａ-5に印加される。ここで、油圧はポペット４７
ｄにより設定バネ４７ｅと平衡され、主ピストン４７ｂ
を開く構成とされている。

【００３６】例えば入力側調整室４７ａ-5の油圧が設定
バネ４７ｅの付勢力を越えると、ポペット４７ｄが開
き、主ピストン４７ｂの流路４７ｂ-2を介してもどり管
路４７ａ-6に流れる。

【００３７】ポペット４７ｄが開き、主ピストン４７ｂ
の上方室４７ａ-3の圧力が下がると、主ピストン４７ｂ
は上昇し、下方室４７ａ-2ともどり管路４７ａ-6とが連
通し、下方室４７ａ-2の油圧を低下させ、流路の油圧を
低下させる。

【００３８】設定ネジ４７ｆはアクチュエータ４７ｇに
結合していて、アクチュエータ４７ｇの回転に応じて回
転し、螺入され、その螺入量が制御され、アクチュエー
タ４７ｇにより設定バネ４７ｅの付勢力の制御が可能な
構成とされている。

【００３９】アクチュエータ４７ｇはマイクロコンピュ
ータ４１と接続されマイクロコンピュータ４１からの制
御信号に応じて回転角度が制御される。したがって、レ
ギュレータ４７はマイクロコンピュータ４１からの制御
信号によって制御され、流路３３の油圧を制御する構成
とされている。

【００４０】レギュレータ４８はレギュレータ４７と同
様な構成とされ、マイクロコンピュータ４１からの制御
信号に応じて流路３６の油圧を制御する構成とされてい
る。

【００４１】また、油圧ポンプ２４はモータ２５と接続
され、モータ２５の回転に応じて油液を電磁弁２３に吐
出する。

【００４２】モータ２５はＡＣサーボモータよりなり、
モータ駆動回路４９と接続され、モータ駆動回路４９か
らの駆動信号に応じて回転制御される。モータ駆動回路
４９はモータコントローラ４９ａ及びモータドライバ４
９ｂよりなる。モータコントローラ４９ａはマイクロコ
ンピュータ４１と接続され、マイクロコンピュータ４１
からの回転速度制御信号に応じて、モータ２５を駆動制
御するための制御信号を生成しモータドライバ４９ｂに
供給する。モータドライバ４９ｂはモータコントローラ
４９ａからの制御信号に応じてモータ２５に駆動信号を
供給し、モータ２５を回転させる。

【００４３】なお、本実施例ではモータとして、ＡＣサ
ーボモータを用いたがこれに限ることはなく、例えばイ
ンダクションモータも用いることができる。インダクシ
ョンモータを用いた場合、モータ駆動回路はインバータ
で構成され、マイクロコンピュータ４１からの制御信号
に応じてインダクションモータに供給する信号の周波数
を可変することにより回転速度制御を行なう。

【００４４】マイクロコンピュータ４１は予め入力され
た成形条件に応じてモータ駆動回路４９に制御信号を供
給する。

【００４５】マイクロコンピュータ４１に入力する成形
条件の数値設定は、ディジタルスイッチ１０で入力さ
れ、グラフィックパネル２２ｃに表示される。また、他
の入力方法としてはキーボードを用いて入力する方法や
フロッピーディスクドライブ２２ｆから予めフロッピー
ディスクに記憶された成形条件データを入力する事も可
能である。

【００４６】マイクロコンピュータ４１には流路３３，
３５の油圧を検出する圧力センサ４３，４４及びプラン
ジャ３２の移動量を検出するエンコーダ５０が接続され
ている。圧力センサ４３，４４やエンコーダ５０からマ
イクロコンピュータ４１に入力された油圧及びピストン
移動量のデータはグラフィックパネル２２ｃに表示さ
れ、モニタできる構成とされている。

【００４７】図にグラフィックパネルの成形データ表示
例を示す。表示画面には樹脂成形条件の設定値５１や圧
力モニタ５３や注入時間等の実測データ５４が表示さ
れ、これらのデータを表示する事で成形状態を確認出来
る。また、型締め（クランプ）圧力、樹脂注入（トラン
スファ）圧力、トランスファストロークの経時変化を表
した折れ線グラフ５５を表示する事で成形状態を解析す
る事ができる。

【００４８】樹脂成形条件の設定値や実測値やグラフィ
ックデータは、マイクロコンピュータ４１に接続したハ
ードディスクに蓄積され、後でグラフィックパネル２２
ｃに呼び出し可能である。また、フロッピーディスクド
ライブ２２ｆでフロッピーディスクに記憶出来る。

【００４９】更に、上記の成形データは、プリンタ２２
ｅに出力し記録する事が出来る。

【００５０】樹脂注入速度の制御は、トランスファスト
ロークを基準にする場合と、注入開始からの経過時間を
基準にする場合と、注入時の発生圧力を基準にする場合
等があるが、品種や樹脂の種類によって良好な成形パタ
ーンが異なる。そこで、複数の成形パターンプログラム
を予め作成し、ハードディスクやフロッピーディスクに
記憶しておき、品種や樹脂の特性に合ったプログラムを
呼び出し、成形できる機能を備えている。

【００５１】次に図１０乃至図１１及び図１２乃至図１
６と共に装置の動作について説明する。

【００５２】図１２に示すように移動台３１を下部に位
置させ、上型２８ａと下型２８ｂとが開かれた状態とす
ると共にトランスファ部２７と接続されたブランジャ３
２を上昇させておき、上型のポット２３ａ-1を開放状態
とする（ステップＳ１）。

【００５３】図１２に示す状態で、オペレータが下型２
８ｂ上にリードフレーム５６を載置する（ステップＳ
２）。

【００５４】次にオペレータはスタートスイッチ２２ｇ
をオンする（ステップＳ３）。スタートスイッチ２２ｇ
がオンされるとマイクロコンピュータ４１によりモータ
２５及び電磁弁２３が制御され、クランプ部２９に油圧
が印加され、クランプシリンダ２９ａの隔室２９ａ-2の
油圧が上昇し、隔室２９ａ-1の油圧が低下することによ
り図１３に示すように移動台３１が上昇し、金型２８の
型締めが行なわれる（ステップＳ４）。

【００５５】型締め終了後、オペレータはポット２３ａ
-1に樹脂タブレット５７を投入する（ステップＳ５）。
樹脂タブレット５７の投入後、オペレータはスタートス
イッチ２２ｇをオンする（ステップＳ６）。

【００５６】スタートスイッチ２２ｇがオンされると、
マイクロコンピュータ４１は電磁弁２３及びモータ２５
を制御してトランスファ部２７に油圧を印加する。トラ
ンスファ部２７はトランスファシリンダ２７ａの隔室２
７ａ-1の油圧が上昇し、隔室２７ａ-2の油圧が低下する
ことにより、図１４に示すようにプランジャ３２が下降
する。プランジャ３２が下降することにより樹脂タブレ
ット５７が押圧され、金型２８内に樹脂が注入される
（ステップＳ７）。

【００５７】図１７に樹脂注入時の経過時間に対するト
ランスファ圧力、トランスファピストンストローク、及
び、クランプ圧力の特性図を示す。

【００５８】図に示すように注入開始時には樹脂はまだ
金型のランナーを流れているため、すばやく注入する時
刻ｔ₀〜ｔ₁が、樹脂がキャビティに達したら、ワイヤ
やステージ変形を考慮してゆっくり注入し（時刻ｔ₁〜
ｔ₂）徐々にスピードを上げ、（時刻ｔ₂〜ｔ₃）樹脂
が最も軟化する最良の状態で注入を完了（時刻ｔ₄）す
れば、未充填、ピンホール、ワイヤ変形等が生じずに樹
脂封止が行なえる。以上のような、制御を行なうには図
１７に破線で示すように微妙な油圧制御が必要となる。

【００５９】このため、マイクロコンピュータ４１には
図１７に示すようなデータが予め記憶されていて、圧力
センサ４３の検出値及びエンコーダ５０の検出値が図１
７の値と同じになるようにモータ２５の回転速度及びレ
ギュレータ４７のアクチュエータ４７ｇの回転角度を制
御する。

【００６０】図１５に示すように樹脂注入が完了すると
（ステップＳ８）、樹脂を硬化させるため、６０〜１５
０秒そのままの状態で保持するキュアタイムが設けられ
る（ステップＳ９）。なお、キュアタイムは注入する樹
脂の種類によって異なる。

【００６１】キュアタイムは予めマイクロコンピュータ
に記憶されており、キュアタイムアップ後、マイクロコ
ンピュータ４１は電磁弁２３を制御して、トランスファ
シリンダ２７ａの隔室２７ａ-1の油圧を低下させ、隔室
２７ａ-2の油圧を上昇させることによりプランジャ３２
を上昇させる（ステップＳ１０，Ｓ１１）。

【００６２】マイクロコンピュータ４１はプランジャ３
２を上昇させた後、電磁弁を制御して、クランプシリン
ダ２９ａの隔室２９ａ-2の油圧を低下させ、隔室２９ａ
-1の油圧を上昇させることにより、移動台３１を下降さ
せ、金型２８の型開きを行なう（ステップＳ１２）。

【００６３】このとき、移動台３１を初期の位置より下
降させることにより、移動台３１下部に設けられたイジ
ェクトバー３９が下型３８ｂ下部に設けられたイジェク
トピン２８ｂ-6を突き上げる。イジェクトピン２８ｂ-6
は下型２８ｂを貫通して設けられており、イジェクトバ
ー５９により突き上げられることにより、下型２８ｂ内
に突出し、図１６に示すように成型品５８をイジェクト
する（ステップＳ１３）。

【００６４】イジェクト後、マイクロコンピュータ４１
は電磁弁を制御して、クランプピストン２９ａをわずか
に上昇させ、移動台３１を初期位置Ｐ₀に戻す（ステッ
プＳ１４）。

【００６５】以上のＳ１〜Ｓ１４の手順が１サイクルと
なり、サイクルをくり返すことにより成形品５８が次々
と形成される。

【００６６】本実施例では油圧ポンプ２４を回転させる
モータ２５の回転速度を制御することにより油圧回路の
油圧の制御が容易にかつ、高精度に行なえるため、微妙
な油圧制御が行なえる。

【００６７】また、マイクロコンピュータ４１を用いて
圧力センサ４３，４４及びエンコーダ５０によりフィー
ドバック制御を行なっているため、図１７の特性と略同
じ特性で成形が行なえ、高品質の樹脂成形が可能とな
る。さらに、数値設定をディジタルで行なうことにより
高精度の再現性を有し、製品の品質を均一化出来る。

【００６８】また、圧力センサ４３，４４及びエンコー
ダ５０の検出結果を記憶しておき、後に呼び出すこと
で、樹脂成形状態の解析も行なえ、信頼性向上に大きく
寄与する。

【００６９】

【発明の効果】上述の如く、本発明によれば、樹脂注入
条件を樹脂注入時にセンスしながら制御することができ
るため、金型の形状等に応じた繊細なモールド樹脂封止
が出来、高品質の樹脂成形が可能となると共に、高精度
の再現性を得ることができる等の特長を有する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の原理ブロック図である。

【図２】本発明の一実施例の斜視図である。

【図３】本発明の一実施例のトランスファ部の概略構成
図である。

【図４】本発明の一実施例のクランプ部の概略構成図で
ある。

【図５】本発明の一実施例の要部の斜視図である。

【図６】本発明の一実施例の油圧制御系のブロック図で
ある。

【図７】本発明の一実施例の油圧ポンプの構成図であ
る。

【図８】本発明の一実施例のレギュレータの構成図であ
る。

【図９】本発明の一実施例のディスプレイパネルの平面
図である。

【図１０】本発明の一実施例の動作フローチャートであ
る。

【図１１】本発明の一実施例の動作フローチャートであ
る。

【図１２】本発明の一実施例の動作説明図である。

【図１３】本発明の一実施例の動作説明図である。

【図１４】本発明の一実施例の動作説明図である。

【図１５】本発明の一実施例の動作説明図である。

【図１６】本発明の一実施例の動作説明図である。

【図１７】本発明の一実施例の動作説明図である。

【図１８】従来の一例の概略構成図である。

【図１９】従来の一例の動作説明図である。

【符号の説明】

１４型１５油圧回路１５ａ分配手段１６樹脂封止部１７油圧ポンプ１８モータ１９制御手段

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】成形品形状に応じた金型（１４）を有
し、油圧に応じて駆動され、該型（１４）の型締め及び
該型（１４）内に樹脂を注入する樹脂封止部（１６）
と、油圧を分配する分配手段（１５ａ）を有し、該樹脂
封止部（１６）に油圧を印加する油圧回路（１５）と、
該油圧回路（１５）に回転駆動速度に応じた油液を吐出
する油圧ポンプ（１７）と、該油圧ポンプ（１７）を回
転駆動するモータ（１８）とを有するモールド樹脂封止
装置において、前記モータ（１８）の回転速度を制御する制御手段（１
９）を有し、前記制御手段（１９）により前記モータ（１８）の回転
速度を制御し、前記油圧ポンプ（１７）の油液吐出量を
可変させることにより前記油圧回路（１５）の油圧を制
御することを特徴とするモールド樹脂封止装置。
【請求項２】前記制御手段（１９）は前記モータ（１
８）の回転数を制御することにより前記油圧回路（１
５）の油圧を可変し、前記樹脂の前記型（１４）内への
注入圧力を制御することを特徴とする請求項１記載のモ
ールド樹脂封止装置。
【請求項３】前記制御手段（１９）は前記モータ（１
８）の回転数を制御することにより、前記油圧回路（１
５）の油圧を可変し、前記型（１４）の型締め圧力を制
御することを特徴とする請求項１又は２記載のモールド
樹脂封止装置。
【請求項４】前記制御手段（１９）は前記油圧回路
（１５）の油圧を検出する油圧検出手段（１９ａ）を有
し、前記油圧検出手段（１９ａ）の検出油圧に応じて前記モ
ータ（１８）の回転速度を制御し、前記油圧回路（１
５）の油圧を制御することを特徴とする請求項１乃至３
記載のモールド樹脂封止装置。
【請求項５】前記制御手段（１９）は前記油圧回路
（１５）の油圧により駆動される油圧駆動部の駆動量を
検出する駆動量検出部（１９ｂ）を有し、前記駆動量検出部（１９ｂ）の検出駆動量に応じて前記
モータ（１８）の回転制御を行ない前記油圧駆動部の駆
動量を制御することを特徴とする請求項１乃至４記載の
モールド樹脂封止装置。