JPH06181099A - Screen monitor of particle accelerator - Google Patents

Screen monitor of particle accelerator

Info

Publication number
JPH06181099A
JPH06181099A JP43A JP33329492A JPH06181099A JP H06181099 A JPH06181099 A JP H06181099A JP 43 A JP43 A JP 43A JP 33329492 A JP33329492 A JP 33329492A JP H06181099 A JPH06181099 A JP H06181099A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
screen
light
beam line
thin film
screen monitor
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP43A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Motoharu Marushita
元治 丸下
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
IHI Corp
Original Assignee
IHI Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by IHI Corp filed Critical IHI Corp
Priority to JP43A priority Critical patent/JPH06181099A/en
Publication of JPH06181099A publication Critical patent/JPH06181099A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Particle Accelerators (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent the overheat and the melting of a screen monitor, by using a base and a thin film, both of which allow the permeation of X-ray and are excellent in heat radiating characteristic, and to prevent the same more effectively by arranging a filter on the upstream side of a screen so as to prevent the irradiation of long wavelength components to the screen. CONSTITUTION:A thin film 30b, made of ceramics such as alumina or the like, is formed on a base 30a, made of a metal plate of beryllium, aluminum, or the like, which allow the permeation of X-ray, so as to form a screen 30, which is to be provided in a beam line so as to be free in appearing and disappearing. It is desirable to arrange a filter 40 allowing the permeation of the X-ray in emitted light, and shading the light of longer wavelength than that of the same, on the upstream side of the screen 30.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、シンクロトロン等の
粒子加速器におけるビームラインに設置されて、そのビ
ームラインを通して取り出す放射光をモニタするための
スクリーンモニタに関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a screen monitor which is installed in a beam line of a particle accelerator such as a synchrotron and monitors radiation emitted through the beam line.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、直径が10m以下の比較的小型の
粒子加速器としてシンクロトロンが開発されつつあり、
そのようなシンクロトロンから放射される放射光である
シンクロトロン放射光(SOR光)を利用して、たとえ
ば超LSI回路の製造、医療分野における診断、分子解
析、構造解析等の様々な分野への適用が期待されてい
る。
2. Description of the Related Art In recent years, a synchrotron is being developed as a relatively small particle accelerator having a diameter of 10 m or less,
By using synchrotron radiation (SOR light) which is radiation emitted from such synchrotron, for example, various fields such as manufacturing of VLSI circuits, diagnosis in the medical field, molecular analysis, structural analysis, etc. Expected to be applied.

【0003】図3は小型シンクロトロンの概要を示すも
のであって、電子銃等の電子発生装置1で発生させた電
子ビームを直線加速器(ライナック)2で光速近くに加
速し、偏向電磁石3で偏向させてインフレクタ4を介し
て蓄積リング5に入射する。蓄積リング5に入射した電
子ビームは高周波加速空洞6によりエネルギを与えられ
ながら収束電磁石7で収束され、偏向電磁石8で偏向さ
れて蓄積リング5内を周回し続ける。そして、偏向電磁
石8で偏向される際にSOR光が放射され、それが光取
り出しラインであるビームライン9を通してたとえば露
光装置10に出射されて利用されるのである。
FIG. 3 shows an outline of a small synchrotron. An electron beam generated by an electron generator 1 such as an electron gun is accelerated by a linear accelerator (linac) 2 to near the speed of light, and a deflecting electromagnet 3 is used. It is deflected and enters the storage ring 5 via the inflector 4. The electron beam incident on the storage ring 5 is converged by the converging electromagnet 7 while being given energy by the high-frequency accelerating cavity 6, is deflected by the deflection electromagnet 8, and continues to orbit the storage ring 5. Then, when the SOR light is deflected by the deflection electromagnet 8, the SOR light is emitted and emitted to the exposure device 10 through the beam line 9 which is a light extraction line for use.

【0004】上記のような粒子加速器においては、SO
R光がビームライン9中の所定の軌道を通るかどうかを
運転開始当初や適宜の時点でモニタしてアライメントを
行う必要があり、そのためのスクリーンモニタをビーム
ライン9の要所に設置するようにしている。
In the particle accelerator as described above, SO
It is necessary to monitor whether or not the R light passes through a predetermined orbit in the beam line 9 at the beginning of operation or at an appropriate time to perform alignment, and a screen monitor for that purpose should be installed at a key point of the beam line 9. ing.

【0005】図4〜図6は従来一般に採用されているス
クリーンモニタの一例を示すものである。これは、図4
に示すように平面視においてビームライン9に対して傾
斜するようなスクリーン15を、ビームライン9内に進
入、退出させるように構成したものである。すなわち、
図5に示すようにSOR光をモニタするべき位置の上部
にはシリンダ16が下向きに設けられ、そのロッド17
はベローズ18内において昇降するものとされ、そのロ
ッド18の先端には図6に示すホルダ19が取り付けら
れている。ホルダ19はステンレスや銅等の金属板から
なるもので、その下部は底辺部19aおよび側辺部19
b,19bによりフレーム状に形成され、ここに上記ス
クリーン15が取り付けられるようになっている。そし
て、シリンダ16を作動させてスクリーン15を昇降さ
せることにより、それをビームライン9中に出没させる
ようになっている。スクリーン15の素材としてはアル
ミナ等のセラミックスからなる無垢の成形板が一般に使
用され、その表面には照射位置を測定するための目盛が
描かれている。
FIG. 4 to FIG. 6 show an example of a screen monitor which has been generally adopted conventionally. This is shown in Figure 4.
As shown in FIG. 3, a screen 15 that is inclined with respect to the beam line 9 in a plan view is configured to enter and leave the beam line 9. That is,
As shown in FIG. 5, a cylinder 16 is provided downward at the position above which the SOR light should be monitored.
Is moved up and down in the bellows 18, and a holder 19 shown in FIG. 6 is attached to the tip of the rod 18. The holder 19 is made of a metal plate such as stainless steel or copper, and its lower portion has a bottom portion 19a and side portions 19a.
It is formed in a frame shape by b and 19b, and the screen 15 is attached thereto. Then, by operating the cylinder 16 to move the screen 15 up and down, the screen 15 is projected and retracted in the beam line 9. As the material of the screen 15, a solid molding plate made of ceramics such as alumina is generally used, and a scale for measuring the irradiation position is drawn on the surface thereof.

【0006】上記のスクリーンモニタによりSOR光の
モニタを行う際には、図4に示すようにスクリーン15
をビームライン9中に傾斜状態で配置したうえで、ビー
ムライン9の上流側からSOR光をスクリーン15の表
面に対して照射する。すると、SOR光が当った位置が
蛍光を発して光るので、その位置をビームライン9の側
方からビューポート20を通してカメラ21により観察
することでSOR光の実際の光軸を確認し、それに基づ
いて必要に応じて光軸修正やアライメントを行うのであ
る。そのような作業が終了した後には、スクリーン15
を引き上げてビームライン9の上方に退出させ、通常運
転に移行する。
When the SOR light is monitored by the screen monitor, as shown in FIG.
Is arranged in the beam line 9 in an inclined state, and then the surface of the screen 15 is irradiated with SOR light from the upstream side of the beam line 9. Then, since the position where the SOR light hits emits fluorescence and shines, the actual optical axis of the SOR light is confirmed by observing the position from the side of the beam line 9 through the viewport 20 with the camera 21, and based on that, Then, the optical axis is corrected and the alignment is performed if necessary. After completing such work, the screen 15
Is pulled up to withdraw above the beam line 9 to shift to normal operation.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記のよう
な従来のスクリーンモニタは中小の規模のシンクロトロ
ンには支障なく適用できるが、大規模で大出力のシンク
ロトロンに適用した場合にはSOR光の熱エネルギも膨
大なものとなることから、そのような高エネルギのSO
R光が照射されることでセラミックス製の成形板である
スクリーン15が局部的に溶けてしまう懸念がある。
By the way, the conventional screen monitor as described above can be applied to a synchrotron of a small or medium scale without any trouble, but when it is applied to a synchrotron of a large scale and a large output, the SOR light is applied. Since the heat energy of the SO will be enormous, such high energy SO
Irradiation with R light may cause local melting of the screen 15, which is a ceramic molding plate.

【0008】本発明は上記事情に鑑みてなされたもの
で、大規模で高エネルギの粒子加速器にも適用可能なス
クリーンモニタを提供することを目的としている。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to provide a screen monitor applicable to a large-scale and high-energy particle accelerator.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明のスクリーンモニ
タは、ビームライン中に出没自在に設けるスクリーンと
して、X線を透過し得る金属板を基材としてその表面に
アルミナ等のセラミックスの薄膜を形成したものを採用
している。そして、特に、高エネルギの粒子加速器に適
用する場合には、スクリーンの上流側に、放射光中のX
線は透過するがそれより長波長の光は遮蔽するフィルタ
を配置することが好ましい。
A screen monitor according to the present invention is a screen provided so as to be retractable in a beam line, and a thin metal film such as alumina is formed on the surface of a metal plate capable of transmitting X-rays as a base material. The one that has been adopted is adopted. And, especially when applied to a high-energy particle accelerator, the X-rays in the radiated light are provided upstream of the screen.
It is preferable to dispose a filter that transmits rays but blocks light having a longer wavelength.

【0010】[0010]

【作用】本発明のスクリーンモニタでは、スクリーンに
放射光が照射されると表面のセラミックスの薄膜が蛍光
を発するので、従来のものと同様に照射位置を目視によ
り観察し得る。そして、基材である金属板およびその表
面に形成されたセラミックスの薄膜は、いずれもX線を
透過し得るものであるとともに放熱性に優れるものであ
るので、放射光が照射されることでスクリーンが過熱し
たり溶けてしまうことが有効に防止される。
In the screen monitor of the present invention, when the screen is irradiated with radiant light, the ceramic thin film on the surface emits fluorescence, so that the irradiation position can be visually observed as in the conventional case. Since the metal plate as the base material and the ceramic thin film formed on the surface of the screen are both capable of transmitting X-rays and excellent in heat dissipation, the screen is not affected by irradiation with radiant light. It is effectively prevented from overheating or melting.

【0011】[0011]

【実施例】以下、本発明の実施例を図1および図2を参
照して説明する。本実施例のスクリーンモニタは、図2
に示すようにスクリーン30をフレーム31に取り付
け、そのフレーム31を図5に示したようなシリンダ1
6により昇降させることでスクリーン30をビームライ
ン9中に出没させるように構成したものであるが、従来
のスクリーンモニタにおけるスクリーン15はセラミッ
クスの無垢の成形板からなるものであったのに対し、本
実施例におけるスクリーン30は、図1に示すように金
属板を基材30aとしてその表面にセラミックスの薄膜
30bが形成されたものとなっている。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 and 2. The screen monitor of this embodiment is shown in FIG.
As shown in FIG. 5, the screen 30 is attached to the frame 31, and the frame 31 is attached to the cylinder 1 as shown in FIG.
Although the screen 30 is configured to be projected and retracted in the beam line 9 by moving up and down by 6, the screen 15 in the conventional screen monitor is made of a solid molded plate of ceramics. As shown in FIG. 1, the screen 30 in the embodiment has a metal plate as a base material 30a and a ceramic thin film 30b formed on the surface thereof.

【0012】基材30aである金属板としては、たとえ
ばベリリウムやアルミニウム等のX線の透過性に優れる
ものを採用し、その厚みは1mm程度とすることが良
い。また、セラミックスの薄膜30bはたとえばアルミ
ナの蒸着膜とすれば良く、その厚みは0.1〜1μm程
度とすると良い。
As the metal plate which is the base material 30a, for example, a material having excellent X-ray transmission such as beryllium or aluminum is adopted, and its thickness is preferably about 1 mm. Further, the ceramic thin film 30b may be, for example, a vapor deposition film of alumina, and the thickness thereof may be about 0.1 to 1 μm.

【0013】また、図2に示すように、このスクリーン
30の表面には従来のものと同様の目盛りを薄膜30b
をけがくことによって形成しておく。さらに、本実施例
におけるホルダ31は、その下部に側辺部31b,31
bのみが形成され、図6に示した従来のホルダ19にお
ける底辺部19aが切除された形態のものとされてい
る。
Further, as shown in FIG. 2, the surface of the screen 30 is provided with a scale similar to the conventional one on the thin film 30b.
Form by scratching. Further, the holder 31 in this embodiment has the side portions 31b, 31 at the bottom thereof.
Only b is formed, and the bottom portion 19a of the conventional holder 19 shown in FIG. 6 is cut off.

【0014】そして、本実施例のスクリーンモニタは、
特に高エネルギのシンクロトロンに適用する場合には、
図1に示しているようにスクリーン30の上流側にフィ
ルタ40を設置して用いる。そのフィルタ40は、スク
リーン30における基材30aと同様のベリリウムやア
ルミニウム等の金属板からなるもので、SOR光中の短
波長成分であるX線は透過するが、それより長波長の成
分すなわち可視光線や赤外線は遮蔽するものである。な
お、このフィルタ40はスクリーン30とともにビーム
ライン9中に出没自在に設けても良いが、ビームライン
9中に固定的に設けておくことでも良い。
The screen monitor of this embodiment is
Especially when applied to high energy synchrotron,
As shown in FIG. 1, a filter 40 is installed and used on the upstream side of the screen 30. The filter 40 is made of a metal plate such as beryllium or aluminum similar to the base material 30a of the screen 30, and transmits X-rays, which are short wavelength components in SOR light, but has a longer wavelength component, that is, visible light. It blocks light rays and infrared rays. The filter 40 may be provided in the beam line 9 together with the screen 30 so as to be retractable, but may be fixedly provided in the beam line 9.

【0015】上記のように、X線透過性を有する金属板
を基材30aとしてその表面にセラミックスの薄膜30
bを形成した構成のスクリーン30は、その表面にSO
R光が照射されると薄膜30bが蛍光を発して光るの
で、従来のものと同様にSOR光のモニタを行い得るも
のである。そして、本実施例のスクリーンモニタでは、
そのようなスクリーン30を採用し、かつ、その上流側
にフィルタ40を配置して用いることにより、高エネル
ギのSOR光が照射されてもスクリーン30が溶けてし
まうようなことはなく、したがって大規模、大出力のシ
ンクロトロンに適用することが可能なものである。
As described above, the ceramic thin film 30 is formed on the surface of the base material 30a which is a metal plate having X-ray transparency.
The screen 30 having the structure in which b is formed has SO on its surface.
When the R light is irradiated, the thin film 30b emits fluorescence and shines, so that the SOR light can be monitored as in the conventional case. Then, in the screen monitor of this embodiment,
By adopting such a screen 30 and arranging and using the filter 40 on the upstream side thereof, the screen 30 is not melted even when irradiated with high-energy SOR light, and is therefore large-scale. It can be applied to a high output synchrotron.

【0016】すなわち、スクリーン30およびフィルタ
40をビームライン9中に配置すると、モニタするべき
SOR光がフィルタ40に照射されるが、そのSOR光
中の長波長成分はフィルタ40によりカットされ、短波
長成分であるX線のみがフィルタ40を透過してスクリ
ーン30に達する。スクリーン30に達したX線はセラ
ミックスの薄膜30bに吸収されてその温度を上昇させ
ることになるが、薄膜30bは十分に薄いものとされて
いるのでX線の吸収量はごくわずかであるとともに放熱
し易いものであり、このため、薄膜30bの過度の温度
上昇は自ずと抑制され、それが溶けてしまうようなこと
はない。また、薄膜30bに照射されたX線の大部分は
それを透過して基材30aに達するが、基材30aはX
線を透過する金属板から形成されているのでX線はその
まま透過してしまうとともに、この基材30aはセラミ
ックス等に比して放熱性にも優れているので、基材30
aが過熱してしまうこともない。したがって、本実施例
のスクリーン30は熱的にほぼ透明といえるものであ
り、SOR光が照射されることで過熱したり溶けてしま
うようなことが確実に防止されるものとなっている。
That is, when the screen 30 and the filter 40 are arranged in the beam line 9, the SOR light to be monitored is applied to the filter 40, but the long wavelength component in the SOR light is cut by the filter 40 and the short wavelength component is cut. Only the component X-rays pass through the filter 40 and reach the screen 30. The X-rays that reach the screen 30 are absorbed by the ceramic thin film 30b and raise the temperature thereof. However, since the thin film 30b is sufficiently thin, the amount of X-rays absorbed is very small and the heat is released. Therefore, excessive temperature rise of the thin film 30b is naturally suppressed, and it is not melted. Further, most of the X-rays irradiated on the thin film 30b penetrate the thin film 30b and reach the base material 30a.
Since the X-rays are transmitted as they are because they are formed of a metal plate that transmits rays, the base material 30a is superior in heat dissipation to ceramics and the like.
It does not overheat a. Therefore, the screen 30 of this embodiment can be said to be substantially transparent thermally, and it is possible to reliably prevent the screen 30 from being overheated or melted by being irradiated with the SOR light.

【0017】なお、従来のスクリーンモニタは、スクリ
ーン15をビームライン9中に降下させていく際にホル
ダ19の底辺部19aにごく一時的にではあるがSOR
光が照射されてしまい、したがってホルダ19の底辺部
19aが熱損傷を受けてしまう懸念がある。これに対
し、本実施例のスクリーンモニタにおけるホルダ31は
底辺部を切除した形態のものを採用しているので、その
ホルダ31にはSOR光が照射されることはなく、熱損
傷の恐れがない。
In the conventional screen monitor, when the screen 15 is lowered into the beam line 9, the SOR is only temporarily displayed on the bottom portion 19a of the holder 19.
There is a concern that the bottom portion 19a of the holder 19 will be thermally damaged because of being irradiated with light. On the other hand, since the holder 31 in the screen monitor of the present embodiment has a shape in which the bottom portion is cut off, the holder 31 is not irradiated with SOR light and there is no risk of thermal damage. .

【0018】また、上記実施例におけるフィルタ40は
必ずしも設けることはなく、比較的小型で低エネルギの
シンクロトロンに適用される場合等においてスクリーン
30が長波長成分を受けても特に支障がなければ、フィ
ルタ40を省略してスクリーン30を単独で用いること
も可能である。
Further, the filter 40 in the above embodiment is not necessarily provided, and in the case of being applied to a synchrotron having a relatively small size and low energy, if the screen 30 receives a long wavelength component, there is no particular problem. It is also possible to omit the filter 40 and use the screen 30 alone.

【0019】[0019]

【発明の効果】以上で説明したように、本発明のスクリ
ーンモニタは、ビームライン中に出没自在に設けるスク
リーンとして、X線を透過し得る金属板を基材としてそ
の表面にアルミナ等のセラミックスの薄膜を形成したも
のを採用したから、基材および薄膜のいずれもが照射さ
れたX線を透過してしまうとともに放熱特性に優れてい
るので、放射光を受けることで過熱したり溶けてしまう
ようなことが有効に防止される。そして特に、スクリー
ンの上流側に放射光中のX線は透過するが長波長の光は
遮蔽するフィルタを配置すれば、スクリーンに長波長成
分が照射されることが防止されるのでより効果的であ
り、高エネルギの粒子加速器に適用する場合にはそのよ
うにすることが好ましい。
As described above, the screen monitor of the present invention is used as a screen that can be retracted into and out of the beam line. A metal plate that can transmit X-rays is used as a base material and a ceramic such as alumina is formed on the surface of the metal plate. Since a thin film is used, both the base material and the thin film transmit the irradiated X-rays and have excellent heat dissipation characteristics, so it seems that it will overheat or melt when receiving radiant light. What is effectively prevented. Further, in particular, if a filter that transmits X-rays in the emitted light but blocks long-wavelength light is arranged on the upstream side of the screen, it is possible to prevent irradiation of the screen with long-wavelength components, which is more effective. Yes, it is preferable to do so when applied to high energy particle accelerators.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の実施例であるスクリーンモニタにおけ
るスクリーンおよびフィルタを示す拡大断面図である。
FIG. 1 is an enlarged cross-sectional view showing a screen and a filter in a screen monitor that is an embodiment of the present invention.

【図2】同スクリーンモニタにおけるスクリーンおよび
ホルダの組立図である。
FIG. 2 is an assembly diagram of a screen and a holder in the screen monitor.

【図3】シンクロトロンの概要を示す図である。FIG. 3 is a diagram showing an outline of a synchrotron.

【図4】従来のスクリーンモニタの例を示す平断面図で
ある。
FIG. 4 is a plan sectional view showing an example of a conventional screen monitor.

【図5】同スクリーンモニタの側面図である。FIG. 5 is a side view of the screen monitor.

【図6】同スクリーンモニタにおけるスクリーンおよび
ホルダの組立図である。
FIG. 6 is an assembly diagram of a screen and a holder in the screen monitor.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

9 ビームライン 30 スクリーン 30a 基材 30b 薄膜 31 ホルダ 40 フィルタ。 9 beam line 30 screen 30a base material 30b thin film 31 holder 40 filter.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 粒子加速器のビームラインに設置されて
そのビームラインを通して取り出す放射光をモニタする
ためのスクリーンモニタであって、前記放射光が照射さ
れるスクリーンをビームライン中に出没自在に設けると
ともに、そのスクリーンは、放射光中のX線を透過し得
る金属板を基材とし、その表面にアルミナ等のセラミッ
クスの薄膜が形成されてなることを特徴とする粒子加速
器のスクリーンモニタ。
1. A screen monitor installed on a beam line of a particle accelerator for monitoring radiant light extracted through the beam line, wherein a screen to be irradiated with the radiant light is provided so as to be retractable in the beam line. The screen monitor of a particle accelerator is characterized in that the screen is made of a metal plate that can transmit X-rays in radiated light as a base material, and a thin film of ceramics such as alumina is formed on the surface thereof.
【請求項2】 前記スクリーンの上流側に、放射光中の
X線は透過するがそれより長波長の光は遮蔽するフィル
タを配置してなることを特徴とする請求項1に記載の粒
子加速器のスクリーンモニタ。
2. The particle accelerator according to claim 1, further comprising a filter arranged on the upstream side of the screen for transmitting X-rays in the emitted light but blocking light having a longer wavelength. Screen monitor.
JP43A 1992-12-14 1992-12-14 Screen monitor of particle accelerator Pending JPH06181099A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP43A JPH06181099A (en) 1992-12-14 1992-12-14 Screen monitor of particle accelerator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP43A JPH06181099A (en) 1992-12-14 1992-12-14 Screen monitor of particle accelerator

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06181099A true JPH06181099A (en) 1994-06-28

Family

ID=18264493

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP43A Pending JPH06181099A (en) 1992-12-14 1992-12-14 Screen monitor of particle accelerator

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPH06181099A (en)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009186349A (en) * 2008-02-07 2009-08-20 Natl Inst Of Radiological Sciences Beam monitor sensor and beam monitor with the same

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2009186349A (en) * 2008-02-07 2009-08-20 Natl Inst Of Radiological Sciences Beam monitor sensor and beam monitor with the same

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP4644187B2 (en) X-ray tube with internal radiation shield
US9008278B2 (en) Multilayer X-ray source target with high thermal conductivity
US6576917B1 (en) Adjustable bore capillary discharge
JPH06188092A (en) X-ray generating target, x-ray source, and x-ray image pickup device
CA1250056A (en) Long life x-ray source target
JPH10503618A (en) Micro focus X-ray generator
US9715989B2 (en) Multilayer X-ray source target with high thermal conductivity
KR20070073605A (en) Compact source having x ray beam of very high brilliance
US4477921A (en) X-Ray lithography source tube
US8000450B2 (en) Aperture shield incorporating refractory materials
JPH06181099A (en) Screen monitor of particle accelerator
DE60325844D1 (en) DEVICE FOR GENERATING X-RAY RADIATION WITH HEAT ABSORBING COMPONENT
JP6153314B2 (en) X-ray transmission type target and manufacturing method thereof
US12028958B2 (en) High-brightness laser produced plasma source and method of generation and collection radiation
US6359968B1 (en) X-ray tube capable of generating and focusing beam on a target
US4665541A (en) X-ray lithography
JPH05297148A (en) Screen monitor device for particle accelerator
EP0127861A2 (en) X-ray lithography
CN214411117U (en) X-ray generating device and imaging equipment
Kalantar et al. X‐ray imaging of uniform large scale‐length plasmas created from gas‐filled targets on Nova
JPH06140198A (en) Absorber for sor device
Arad et al. Measurement of shock waves generated by a trapezoidal laser pulse
Andrew Fragment plume evaluations from two examples of high-energy density laser target interactions
JPH05343193A (en) X-ray paired cathode for inorganic compound/metal thin film two-layer structure
JPH06140199A (en) Absorber for sor device

Legal Events

Date Code Title Description
A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20020115