JPH0618010B2 - 自動圧力調節装置 - Google Patents
自動圧力調節装置Info
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- JPH0618010B2 JPH0618010B2 JP26290787A JP26290787A JPH0618010B2 JP H0618010 B2 JPH0618010 B2 JP H0618010B2 JP 26290787 A JP26290787 A JP 26290787A JP 26290787 A JP26290787 A JP 26290787A JP H0618010 B2 JPH0618010 B2 JP H0618010B2
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Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、食品や薬品等の製造設備を制御対象にしてそ
の圧力を設定値に対して自動的に調整、制御する自動圧
力調節装置に関する。
の圧力を設定値に対して自動的に調整、制御する自動圧
力調節装置に関する。
一般に食品工場、薬品工場或いは化学工場に置いては、
温度、圧力、ＰＨ値等の様々な単位操作を行っている
が、例えば、圧力を自動的に調節しなければならないと
き、予め設定した値である目標値と実際の計測値とのず
れを自動的に修正し、圧力を一定の圧力制御範囲内に維
持することが必要であり、このために、様々の自動圧力
調節装置または自動圧力制御装置が使用されている。
温度、圧力、ＰＨ値等の様々な単位操作を行っている
が、例えば、圧力を自動的に調節しなければならないと
き、予め設定した値である目標値と実際の計測値とのず
れを自動的に修正し、圧力を一定の圧力制御範囲内に維
持することが必要であり、このために、様々の自動圧力
調節装置または自動圧力制御装置が使用されている。
他方、自動圧力制御装置を含めて自動制御装置を構成す
る検出器、制御器、操作器等には種々の作動方式のもの
があり、特に後者の操作器では、電気式、空気式、或い
は電気−空気式等の種々の作動方式を備えたものが使用
され、オンオフ制御、比例制御（Ｐ制御）、比例積分制
御（ＰＩ制御）更には比例積分微分制御（ＰＩＤ制御）
が行われる。
る検出器、制御器、操作器等には種々の作動方式のもの
があり、特に後者の操作器では、電気式、空気式、或い
は電気−空気式等の種々の作動方式を備えたものが使用
され、オンオフ制御、比例制御（Ｐ制御）、比例積分制
御（ＰＩ制御）更には比例積分微分制御（ＰＩＤ制御）
が行われる。
然しながら、上述において、制御系の動作を考察する
と、オンオフ制御はゲイン定数が無限大であるので、該
制御系は安定限界を越えて発信状態に入る可能性があ
り、所謂「動作すきま」を与えても、或る程度の誤差を
伴うのは止むを得ない。また、Ｐ制御やＰＩＤ制御は目
標値と計測値との偏差を修正する能力が高く、狭い範囲
に制御できるが、このような制御機能を有した自動制御
装置の場合には精密にできているために、一般的に、振
動や高温、高湿気等の悪条件に弱く、故障し易く叉高価
である等の欠点を有する。依って、本発明は、制御対象
の圧力制御を行う自動圧力調節装置において、上述の欠
点を解消することを目的とするものである。また、本発
明は、比較的少ない構成部品を用いて、制御対象の圧力
制御をＰ制御方式でもＰＩＤ制御方式でも作動させ得る
自動圧力調節装置を提供せんとするものである。
と、オンオフ制御はゲイン定数が無限大であるので、該
制御系は安定限界を越えて発信状態に入る可能性があ
り、所謂「動作すきま」を与えても、或る程度の誤差を
伴うのは止むを得ない。また、Ｐ制御やＰＩＤ制御は目
標値と計測値との偏差を修正する能力が高く、狭い範囲
に制御できるが、このような制御機能を有した自動制御
装置の場合には精密にできているために、一般的に、振
動や高温、高湿気等の悪条件に弱く、故障し易く叉高価
である等の欠点を有する。依って、本発明は、制御対象
の圧力制御を行う自動圧力調節装置において、上述の欠
点を解消することを目的とするものである。また、本発
明は、比較的少ない構成部品を用いて、制御対象の圧力
制御をＰ制御方式でもＰＩＤ制御方式でも作動させ得る
自動圧力調節装置を提供せんとするものである。
本発明によれば、上述の発明目的に鑑みて、制御対象の
圧力を自動調節する自動圧力調節装置において、制御対
象に対して圧力設定値に基づく圧力供給を行う圧力供給
路内に配設されて操作部を形成するダイヤフラム弁と、
前記ダイヤフラム弁の開閉作動用圧力を出力する電気−
空気変換器と、前記電気−空間変換器を電気的に制御す
る制御器を形成する調節手段と、前記制御対象の圧力変
動を検出して検出信号を前記調節手段に出力する圧力検
出器とを具備して構成され、かつ前記ダイヤフラム弁
は、前記制御対象の圧力制御範囲の上限値に対応する弁
開度が０％、下限値に対応する弁開度が１００％である
ように形成されていることを特徴とした自動圧力調節装
置が提供され、操作部を形成するダイヤフラム弁の単純
な構造にも拘わらず、圧力制御をＰ動作やＰＩＤ動作で
遂行でき、しかも安価に構成し得るのである。以下、本
発明を添付図面に示す実施例に基づいて詳細に説明す
る。
圧力を自動調節する自動圧力調節装置において、制御対
象に対して圧力設定値に基づく圧力供給を行う圧力供給
路内に配設されて操作部を形成するダイヤフラム弁と、
前記ダイヤフラム弁の開閉作動用圧力を出力する電気−
空気変換器と、前記電気−空間変換器を電気的に制御す
る制御器を形成する調節手段と、前記制御対象の圧力変
動を検出して検出信号を前記調節手段に出力する圧力検
出器とを具備して構成され、かつ前記ダイヤフラム弁
は、前記制御対象の圧力制御範囲の上限値に対応する弁
開度が０％、下限値に対応する弁開度が１００％である
ように形成されていることを特徴とした自動圧力調節装
置が提供され、操作部を形成するダイヤフラム弁の単純
な構造にも拘わらず、圧力制御をＰ動作やＰＩＤ動作で
遂行でき、しかも安価に構成し得るのである。以下、本
発明を添付図面に示す実施例に基づいて詳細に説明す
る。
第１図は、本発明の１実施例による自動圧力調節装置の
基本的構成を示すブロツク図である。
基本的構成を示すブロツク図である。
同第１図を参照すると、圧力制御対象１０の圧力を検出
して該圧力制御対象１０内の圧力を目標とする設定値に
対し、一定の制御範囲値以内に自動調節する本実施例の
自動圧力調節装置は、圧力制御対象１０の圧力状態を検
出する圧力検出器２０、この圧力検出器２０に接続した
指示調節器３０、この指示調節器３０に接続した電気−
空気変換器４０、操作部５０とを具備して構成され、上
記圧力検出器２０は、周知のピエゾ素子から成ることに
より、圧力変化を電気抵抗値の変化として検出する半導
体ひずみ計２２と、この半導体ひずみ計２２の検出信号
である電気抵抗の変化に対応した電圧の変化を生起する
ブリッジ回路２４とを備えて構成されている。また、上
記指示調節装置３０は、圧力検出器２０の上記ブリッジ
回路２４から送出された電気変化の微弱な信号を増幅す
る増幅回路３２と、増幅された電圧値により励起される
ＬＥＤドライバー回路３４と、このＬＥＤドライバー回
路３４により駆動されて前記の検出した圧力値の変化を
点灯してディジタル表示するＬＥＤ表示部３６とを具備
して構成されている。更に、上記電気−空気変換器４０
は、指示調節装置３０の上記ＬＥＤドライバー回路３４
により駆動されるトルクモータ４２とこのトルクモータ
４２により作動されるフラッパを有したノズルフラッパ
機構４４とを具備して成り、操作部５０を形成するダイ
ヤフラム弁５２を開閉制御するための２次圧を出力す
る。この場合に、電気−空気変換器４０からは、前記圧
力検出器２０で検出される制御対象１０の圧力が変化す
ると、それに対応して変化する圧力値を有した２次圧力
を出力するのである。そして、本実施例では電気−空気
変換器４０の２次圧出力はノズルラッパ機構４４におけ
る背圧力として取り出されるから、実際には例えば、
０．２kg/cm2〜１kg/cm2の２次圧力と言った一定範囲で
変化する電気圧出力を出力端に生じるものである。そし
て、２次圧出力が例えば、上述のように０．２kg/cm2〜
１kg/cm2の範囲で変化すると、操作部５０のダイヤフラ
ム弁５２は弁開度を全閉状態と全開状態との間で開閉作
動されるのである。
して該圧力制御対象１０内の圧力を目標とする設定値に
対し、一定の制御範囲値以内に自動調節する本実施例の
自動圧力調節装置は、圧力制御対象１０の圧力状態を検
出する圧力検出器２０、この圧力検出器２０に接続した
指示調節器３０、この指示調節器３０に接続した電気−
空気変換器４０、操作部５０とを具備して構成され、上
記圧力検出器２０は、周知のピエゾ素子から成ることに
より、圧力変化を電気抵抗値の変化として検出する半導
体ひずみ計２２と、この半導体ひずみ計２２の検出信号
である電気抵抗の変化に対応した電圧の変化を生起する
ブリッジ回路２４とを備えて構成されている。また、上
記指示調節装置３０は、圧力検出器２０の上記ブリッジ
回路２４から送出された電気変化の微弱な信号を増幅す
る増幅回路３２と、増幅された電圧値により励起される
ＬＥＤドライバー回路３４と、このＬＥＤドライバー回
路３４により駆動されて前記の検出した圧力値の変化を
点灯してディジタル表示するＬＥＤ表示部３６とを具備
して構成されている。更に、上記電気−空気変換器４０
は、指示調節装置３０の上記ＬＥＤドライバー回路３４
により駆動されるトルクモータ４２とこのトルクモータ
４２により作動されるフラッパを有したノズルフラッパ
機構４４とを具備して成り、操作部５０を形成するダイ
ヤフラム弁５２を開閉制御するための２次圧を出力す
る。この場合に、電気−空気変換器４０からは、前記圧
力検出器２０で検出される制御対象１０の圧力が変化す
ると、それに対応して変化する圧力値を有した２次圧力
を出力するのである。そして、本実施例では電気−空気
変換器４０の２次圧出力はノズルラッパ機構４４におけ
る背圧力として取り出されるから、実際には例えば、
０．２kg/cm2〜１kg/cm2の２次圧力と言った一定範囲で
変化する電気圧出力を出力端に生じるものである。そし
て、２次圧出力が例えば、上述のように０．２kg/cm2〜
１kg/cm2の範囲で変化すると、操作部５０のダイヤフラ
ム弁５２は弁開度を全閉状態と全開状態との間で開閉作
動されるのである。
さて、本発明は、制御対象１０の圧力を制御すべき範囲
が、例えば、２kg/cm2（下限値）〜３kg/cm2（上限値）
であり、設定値がその中間値である。２．５kg/cm2とす
ると、制御対象１０の圧力状態の変化は、圧力検出器２
０で常時、監視・検出され、この検出信号に対応して、
指示調節装置３０を介して電気−空気変換器４０から上
述した２次圧が出力されることにより、制御対象１０の
圧力が上記設定値に安定するように操作部５０のダイヤ
フラム弁５２の開度が調節されるが、そのとき、本発明
では、上記圧力制御範囲の上限値に対応して操作部５０
のダイヤフラム弁５２の開度は０％を呈し、下限値に対
応して同ダイヤフラム弁５２の開度は１００％を呈する
ように構成されているのである。これを数値的により具
体化した例として説明すると、制御対象１０の圧力状態
が２kg/cm2のときには、圧力検出器２０のブリッジ回路
２４からは電圧信号として例えば、１２ｍＶが出力さ
れ、これが指示調節装置３０に印加されると増幅回路３
２により４Ｖに増幅され、ＬＥＤドライバー回路３４、
トルクモータ４２を介して電気−空気変換器４０は、こ
れを０．２kg/cm2の２次圧に変換する。従って、この２
次圧により、操作部５０のダイヤフラム弁５２は全開と
なるのである。そして、制御対象１０の圧力状態が３kg
/cm2になるまでダイヤフラム弁５２の弁開度は比例的に
開度を低減させ、制御対象１０の圧力状態が３kg/cm2に
達したときは、圧力検出器２０のブリッジ回路２４から
は電圧信号として例えば、１８ｍＶが出力され、これが
指示調節装置３０に印加されると増幅回路３２により６
Ｖに増幅される。この６Ｖの電圧信号を受けて、電気−
空気変換器４０は、これを１kg/cm2の空気圧に変換して
ダイヤフラム弁５２を全開するものである。こうして、
制御対象１０の圧力状態は、結局、２kg/cm2〜３kg/cm2
の圧力範囲に調節、制御されるが、その際は上記設定圧
力２．５kg/cm2を中央値として±０．５kg/cm2でＰ制御
が成されるのである。
が、例えば、２kg/cm2（下限値）〜３kg/cm2（上限値）
であり、設定値がその中間値である。２．５kg/cm2とす
ると、制御対象１０の圧力状態の変化は、圧力検出器２
０で常時、監視・検出され、この検出信号に対応して、
指示調節装置３０を介して電気−空気変換器４０から上
述した２次圧が出力されることにより、制御対象１０の
圧力が上記設定値に安定するように操作部５０のダイヤ
フラム弁５２の開度が調節されるが、そのとき、本発明
では、上記圧力制御範囲の上限値に対応して操作部５０
のダイヤフラム弁５２の開度は０％を呈し、下限値に対
応して同ダイヤフラム弁５２の開度は１００％を呈する
ように構成されているのである。これを数値的により具
体化した例として説明すると、制御対象１０の圧力状態
が２kg/cm2のときには、圧力検出器２０のブリッジ回路
２４からは電圧信号として例えば、１２ｍＶが出力さ
れ、これが指示調節装置３０に印加されると増幅回路３
２により４Ｖに増幅され、ＬＥＤドライバー回路３４、
トルクモータ４２を介して電気−空気変換器４０は、こ
れを０．２kg/cm2の２次圧に変換する。従って、この２
次圧により、操作部５０のダイヤフラム弁５２は全開と
なるのである。そして、制御対象１０の圧力状態が３kg
/cm2になるまでダイヤフラム弁５２の弁開度は比例的に
開度を低減させ、制御対象１０の圧力状態が３kg/cm2に
達したときは、圧力検出器２０のブリッジ回路２４から
は電圧信号として例えば、１８ｍＶが出力され、これが
指示調節装置３０に印加されると増幅回路３２により６
Ｖに増幅される。この６Ｖの電圧信号を受けて、電気−
空気変換器４０は、これを１kg/cm2の空気圧に変換して
ダイヤフラム弁５２を全開するものである。こうして、
制御対象１０の圧力状態は、結局、２kg/cm2〜３kg/cm2
の圧力範囲に調節、制御されるが、その際は上記設定圧
力２．５kg/cm2を中央値として±０．５kg/cm2でＰ制御
が成されるのである。
上述の数値的説明は、単に１例であり、制御対象１０の
圧力状態が、例えば、設定値を１．５kg/cm2として１kg
/cm2〜２kg/cm2の範囲で制御されるべきものとすると、
圧力検出器２０は、この範囲の圧力変化を６〜１２ｍＶ
の電気信号として出力し、故に指示調節装置３０は、こ
れらを２Ｖ〜４Ｖに増幅し、更に電気−空気変換器４０
がこれを受けて下限値の２Ｖのときには、０．２kg/cm2
の２次圧を出力して操作部５０のダイヤフラム弁５２を
全開とし、上限値の４Ｖのときに、１kg/cm2に変換して
ダイヤフラム弁５２を全閉とするものである。
圧力状態が、例えば、設定値を１．５kg/cm2として１kg
/cm2〜２kg/cm2の範囲で制御されるべきものとすると、
圧力検出器２０は、この範囲の圧力変化を６〜１２ｍＶ
の電気信号として出力し、故に指示調節装置３０は、こ
れらを２Ｖ〜４Ｖに増幅し、更に電気−空気変換器４０
がこれを受けて下限値の２Ｖのときには、０．２kg/cm2
の２次圧を出力して操作部５０のダイヤフラム弁５２を
全開とし、上限値の４Ｖのときに、１kg/cm2に変換して
ダイヤフラム弁５２を全閉とするものである。
以上の説明より理解できるように、本発明は、圧力検出
器２０の圧力検出によって、指示調節装置３０から伝達
された電気信号を電気−空気変換器４０で２次圧として
用いられる空気圧信号に変換する際に、制御対象１０が
目標とする設定値に関する圧力制御範囲の下限値を０．
２kg/cm2の電気圧に変換して、操作部５０のダイヤフラ
ム弁５２の弁開度を１００％となし、圧力制御範囲の上
限値を１．０kg/cm2の空気圧に変換して弁開度を０％と
なして、目標の中央設定値に制御する点を要旨とするも
のである。
器２０の圧力検出によって、指示調節装置３０から伝達
された電気信号を電気−空気変換器４０で２次圧として
用いられる空気圧信号に変換する際に、制御対象１０が
目標とする設定値に関する圧力制御範囲の下限値を０．
２kg/cm2の電気圧に変換して、操作部５０のダイヤフラ
ム弁５２の弁開度を１００％となし、圧力制御範囲の上
限値を１．０kg/cm2の空気圧に変換して弁開度を０％と
なして、目標の中央設定値に制御する点を要旨とするも
のである。
ここで、電気−空気変換器４０のは既述のようにトルク
モータ４２とノズルフラッパ機構４４とから構成されて
いるが、この両者によれば、ノズルフラッパ機構４４の
フラッパ部をノズル部に対してトルクモータ４２で変位
させることにより、該変位に対して比例的に変化するノ
ズル部の背圧出力を２次圧として取り出すことができる
ものであり、これにより操作部５０の制御動作をＰ動作
とし得るものであるが、更に、上記ノズルフラッパ機構
と結合してダイヤフラム機構とベクトルメカニズムとを
付加すれば、ＰＩＤ動作を実現することも可能である。
依って、第２図に基づき、ダイヤフラム機構とベクトル
メカニズムをも含んだ電気−空気変換器の機構的な構成
に就いて、以下に説明する。
モータ４２とノズルフラッパ機構４４とから構成されて
いるが、この両者によれば、ノズルフラッパ機構４４の
フラッパ部をノズル部に対してトルクモータ４２で変位
させることにより、該変位に対して比例的に変化するノ
ズル部の背圧出力を２次圧として取り出すことができる
ものであり、これにより操作部５０の制御動作をＰ動作
とし得るものであるが、更に、上記ノズルフラッパ機構
と結合してダイヤフラム機構とベクトルメカニズムとを
付加すれば、ＰＩＤ動作を実現することも可能である。
依って、第２図に基づき、ダイヤフラム機構とベクトル
メカニズムをも含んだ電気−空気変換器の機構的な構成
に就いて、以下に説明する。
さて、第２図において、電気−空気変換器４０は、指示
調節装置３０のＬＥＤドライバー回路３４に結合したト
ルクモータ４２と、このトルクモータ４２に接続したノ
ズルフラッパ機構４４と、このノズルフラッパ機構４４
に接続したダイヤフラム機構４６と、ベクトルメカニズ
ム４８と、受圧ベローズ６２とを具備して構成されてい
る。トルクモータ４２は、板ばね４１で支持され、コイ
ルばね４３により中立位置に保持されたアーマチュア４
５とソレノイド４７とを備え、ＬＥＤドライバー回路３
４から適宜の電圧−電流変換器を介して端子４９に印加
される電流信号に応じてアーマチュア４５の外部への突
出端の先端が変位するように成っている。そして、この
アーマチュア４５の変位により、ノズルフラッパ機構４
４における後述のフラッパが変位するように接続されて
いる。さて、空気圧源からダイヤフラム機構４６の入力
ポート６４に導入された圧力空気は、ダイヤフラム機構
４６内の固定絞り６６を経てノズルフラッパ機構４４の
ノズル６８から外部に噴出している。このノズル６８と
対向してフラッパ７０が配設されており、このフラッパ
７０の変位に応じてノズル背圧が変化するものである。
そして、このノズル背圧がダイヤフラム機構４６のダイ
ヤフラム７２に作用し、弁棒７４を左右に変位させ、出
力ポート７６の空気圧が調節されるようになっている。
しかも、ノズルフラッパ機構４４のフラッパ７０は、板
ばね７８により揺動可能に支持されたフラッパレバー８
０の下端に設けられ、同フラッパレバー８０の上端は、
前述したトルクモータ４２のアーマチュア４５の下端に
係合した構造にあり、故にアーマチュア４５の変位に従
って、フラッパ７０が変位し、ノズル６８との隙間に変
化を来してノズル背圧を増減変化させるものである。零
調ツマミ８２によってばね圧調節可能な零調ばね８４が
フラッパレバー８０に結合されており、故にノズル背圧
の零点調節も可能になっている。また、フラッパレバー
８０の下端にはダイヤフラム７２に連動する補償ばね８
６が張設されており、圧力空気源からの圧力空気の圧力
変動を補償できるようになっているが、この補償ばね８
６がノズルフラッパ機構４４のフラッパ７０に積分動作
を付与する。また、ダイヤフラム機構４６の出力ポート
７６に取り出される空気圧は管路８８を経て受圧ベロー
ズ６２に導入され、レバー９０の変位を介してノズルフ
ラッパ機構４４にフィードバックされている。このと
き、スパン調整つまみ９２を備えたベクトルメカニズム
４８は、受圧ベローズ６２のレバー９０に連結されてお
り、ノズルフラッパ機構４４の応答性を調節し得るよう
になっていて、受圧ベローズ６２のレバー９０を介して
ノズルフラッパ機構４４のフラッパレバー８０に付与さ
れる微分動作を調節する構成となっているのである。こ
うして、第２図に示した電気−空気変換器はＰＩＤ調節
要素として機能するものであり、ダイヤフラム４６とベ
クトルメカニズム４８、受圧ベローズ６２を取り外せ
ば、既述した第１図のＰ調節要素として機能することに
なるのである。
調節装置３０のＬＥＤドライバー回路３４に結合したト
ルクモータ４２と、このトルクモータ４２に接続したノ
ズルフラッパ機構４４と、このノズルフラッパ機構４４
に接続したダイヤフラム機構４６と、ベクトルメカニズ
ム４８と、受圧ベローズ６２とを具備して構成されてい
る。トルクモータ４２は、板ばね４１で支持され、コイ
ルばね４３により中立位置に保持されたアーマチュア４
５とソレノイド４７とを備え、ＬＥＤドライバー回路３
４から適宜の電圧−電流変換器を介して端子４９に印加
される電流信号に応じてアーマチュア４５の外部への突
出端の先端が変位するように成っている。そして、この
アーマチュア４５の変位により、ノズルフラッパ機構４
４における後述のフラッパが変位するように接続されて
いる。さて、空気圧源からダイヤフラム機構４６の入力
ポート６４に導入された圧力空気は、ダイヤフラム機構
４６内の固定絞り６６を経てノズルフラッパ機構４４の
ノズル６８から外部に噴出している。このノズル６８と
対向してフラッパ７０が配設されており、このフラッパ
７０の変位に応じてノズル背圧が変化するものである。
そして、このノズル背圧がダイヤフラム機構４６のダイ
ヤフラム７２に作用し、弁棒７４を左右に変位させ、出
力ポート７６の空気圧が調節されるようになっている。
しかも、ノズルフラッパ機構４４のフラッパ７０は、板
ばね７８により揺動可能に支持されたフラッパレバー８
０の下端に設けられ、同フラッパレバー８０の上端は、
前述したトルクモータ４２のアーマチュア４５の下端に
係合した構造にあり、故にアーマチュア４５の変位に従
って、フラッパ７０が変位し、ノズル６８との隙間に変
化を来してノズル背圧を増減変化させるものである。零
調ツマミ８２によってばね圧調節可能な零調ばね８４が
フラッパレバー８０に結合されており、故にノズル背圧
の零点調節も可能になっている。また、フラッパレバー
８０の下端にはダイヤフラム７２に連動する補償ばね８
６が張設されており、圧力空気源からの圧力空気の圧力
変動を補償できるようになっているが、この補償ばね８
６がノズルフラッパ機構４４のフラッパ７０に積分動作
を付与する。また、ダイヤフラム機構４６の出力ポート
７６に取り出される空気圧は管路８８を経て受圧ベロー
ズ６２に導入され、レバー９０の変位を介してノズルフ
ラッパ機構４４にフィードバックされている。このと
き、スパン調整つまみ９２を備えたベクトルメカニズム
４８は、受圧ベローズ６２のレバー９０に連結されてお
り、ノズルフラッパ機構４４の応答性を調節し得るよう
になっていて、受圧ベローズ６２のレバー９０を介して
ノズルフラッパ機構４４のフラッパレバー８０に付与さ
れる微分動作を調節する構成となっているのである。こ
うして、第２図に示した電気−空気変換器はＰＩＤ調節
要素として機能するものであり、ダイヤフラム４６とベ
クトルメカニズム４８、受圧ベローズ６２を取り外せ
ば、既述した第１図のＰ調節要素として機能することに
なるのである。
以上、本発明を実施例に基づいて説明したが、本発明に
よれば、既存の制御系要素を利用し、構造が簡単でコン
パクト性に富み、かつ、徒に精密な要素を使用していな
いから、故障も少なく、しかも制御動作として比例積分
微分動作をも達成し得る安価な自動圧力調節装置がえ得
られるのである。
よれば、既存の制御系要素を利用し、構造が簡単でコン
パクト性に富み、かつ、徒に精密な要素を使用していな
いから、故障も少なく、しかも制御動作として比例積分
微分動作をも達成し得る安価な自動圧力調節装置がえ得
られるのである。
第１図は本発明の１実施例に係る自動圧力調節装置の基
本的構成を示したブロツク図、第２図は同自動圧力調節
装置に用いられる電気−空気変換器の実施例の機械的構
成を示した断面機構図である。 １０…制御対象、２０…圧力検出器、 ３０…指示調節装置、 ４０…電気−空気変換器、 ５０…操作部、 ５２…ダイヤフラム調節弁。
本的構成を示したブロツク図、第２図は同自動圧力調節
装置に用いられる電気−空気変換器の実施例の機械的構
成を示した断面機構図である。 １０…制御対象、２０…圧力検出器、 ３０…指示調節装置、 ４０…電気−空気変換器、 ５０…操作部、 ５２…ダイヤフラム調節弁。
Claims (3)
- 【請求項１】制御対象の圧力を自動調節する自動圧力調
節装置において、制御対象に対して圧力設定値に基づく
圧力供給を行う圧力供給路内に配設されて操作部を形成
するダイヤフラム弁と、前記ダイヤフラム弁の開閉作動
用圧力を出力する電気−空気変換器と、前記電気−空間
変換器を電気的に制御する制御器を形成する調節手段
と、前記制御対象の圧力変動を検出して検出信号を前記
調節手段に出力する圧力検出器とを具備して構成され、
かつ前記ダイヤフラム弁は、前記制御対象の圧力制御範
囲の上限値に対応する弁開度が０％、下限値に対応する
弁開度が１００％であるように形成されていることを特
徴とした自動圧力調節装置。 - 【請求項２】前記ダイヤフラム弁の弁開度は、０％から
１００％まで比例的に開度変化が可能に形成されると共
に前記電気−空気変換器は、前記圧力制御範囲の上限値
と下限値間の値に比例変動する開閉作動用圧力を出力可
能に形成されていることを特徴とした特許請求の範囲
１．に記載の自動圧力調節装置。 - 【請求項３】前記調節手段は、表示機能を有した指示調
節器であることを特徴とした特許請求の範囲１．に記載
の自動圧力調節装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26290787A JPH0618010B2 (ja) | 1987-10-20 | 1987-10-20 | 自動圧力調節装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP26290787A JPH0618010B2 (ja) | 1987-10-20 | 1987-10-20 | 自動圧力調節装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01106121A JPH01106121A (ja) | 1989-04-24 |
| JPH0618010B2 true JPH0618010B2 (ja) | 1994-03-09 |
Family
ID=17382262
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP26290787A Expired - Lifetime JPH0618010B2 (ja) | 1987-10-20 | 1987-10-20 | 自動圧力調節装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0618010B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6056008A (en) * | 1997-09-22 | 2000-05-02 | Fisher Controls International, Inc. | Intelligent pressure regulator |
| CN113900457B (zh) * | 2021-09-29 | 2024-03-19 | 西安北方华创微电子装备有限公司 | 压力调零方法和半导体工艺设备 |
-
1987
- 1987-10-20 JP JP26290787A patent/JPH0618010B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH01106121A (ja) | 1989-04-24 |
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