JPH06174434A - シャドウマスク検査装置および検査方法 - Google Patents
シャドウマスク検査装置および検査方法Info
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- JPH06174434A JPH06174434A JP32311292A JP32311292A JPH06174434A JP H06174434 A JPH06174434 A JP H06174434A JP 32311292 A JP32311292 A JP 32311292A JP 32311292 A JP32311292 A JP 32311292A JP H06174434 A JPH06174434 A JP H06174434A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 シャドウマスクのホール像を高精度でかつ高
速に検査する。 【構成】 シャドウマスク３のホールの像を発生させる
透過照明４と、この透過照明４により発生したホール像
を拡散させる拡散フィルタ２と、この拡散フィルタ２に
より拡散されたホール像を受光するＴＶカメラ１と、こ
のＴＶカメラ１が受光した像からシャドウマスク３の製
造状態を検査する画像処理装置５と、照明用コントロー
ラ６と、検査結果を必要に応じて外部に出力するコント
ローラ７とから構成する。
速に検査する。 【構成】 シャドウマスク３のホールの像を発生させる
透過照明４と、この透過照明４により発生したホール像
を拡散させる拡散フィルタ２と、この拡散フィルタ２に
より拡散されたホール像を受光するＴＶカメラ１と、こ
のＴＶカメラ１が受光した像からシャドウマスク３の製
造状態を検査する画像処理装置５と、照明用コントロー
ラ６と、検査結果を必要に応じて外部に出力するコント
ローラ７とから構成する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、ブラウン管シャドウ
マスク製造におけるシャドウマスクホール径（ストライ
プ幅）を検査するシャドウマスク検査装置および検査方
法に関するものである。
マスク製造におけるシャドウマスクホール径（ストライ
プ幅）を検査するシャドウマスク検査装置および検査方
法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図７は、例えば特開昭６３−１５９７０
１号公報に開示されている従来のシャドウマスクのスリ
ット幅検査装置の構成を示す図である。同図において、
検査ステージ２１にはシャドウマスク２２が設置される
透光部２３を有し、この透光部２３を介した反対側には
光源２４が設置されている。また、この光源２４の検査
ステージ２１と対向する反対側にはカメラ２６が配置さ
れ、このカメラ２６によりシャドウマスク２２のスリッ
ト像を撮像し、映像信号に変換する。２７は画像計測装
置であり、この画像計測装置２７はカメラ２６からの映
像信号を二値信号として記憶する画像メモリおよび各種
機能を実行するマイクロコンピュータからなる。なお、
２８は画面表示器、２９は画面、３０はコントローラで
ある。
１号公報に開示されている従来のシャドウマスクのスリ
ット幅検査装置の構成を示す図である。同図において、
検査ステージ２１にはシャドウマスク２２が設置される
透光部２３を有し、この透光部２３を介した反対側には
光源２４が設置されている。また、この光源２４の検査
ステージ２１と対向する反対側にはカメラ２６が配置さ
れ、このカメラ２６によりシャドウマスク２２のスリッ
ト像を撮像し、映像信号に変換する。２７は画像計測装
置であり、この画像計測装置２７はカメラ２６からの映
像信号を二値信号として記憶する画像メモリおよび各種
機能を実行するマイクロコンピュータからなる。なお、
２８は画面表示器、２９は画面、３０はコントローラで
ある。
【０００３】このように構成された従来のシャドウマス
ク検査装置は、例えば図８に示すようなシャドウマスク
２２のスリット像（カーソル線２９ａに囲まれたスリッ
ト孔２２ａ）をカメラ２６にて撮像し、映像信号に変換
し、画像計測装置２７に二値信号として画像メモリに取
り込み、この画像メモリのデータから図９に示すように
シャドウマスク２２を形成するスリット孔２２ａのスト
ライプの幅Ｄ，長さＬおよびその両端半円部分の半径ｒ
による面積などの特徴値を計測し、この計測結果から良
品か不良品かを判断する。
ク検査装置は、例えば図８に示すようなシャドウマスク
２２のスリット像（カーソル線２９ａに囲まれたスリッ
ト孔２２ａ）をカメラ２６にて撮像し、映像信号に変換
し、画像計測装置２７に二値信号として画像メモリに取
り込み、この画像メモリのデータから図９に示すように
シャドウマスク２２を形成するスリット孔２２ａのスト
ライプの幅Ｄ，長さＬおよびその両端半円部分の半径ｒ
による面積などの特徴値を計測し、この計測結果から良
品か不良品かを判断する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述し
たようなシャドウマスクストライプ幅検査装置では、シ
ャドウマスク２２のスリット像をカメラ２６を通して二
値信号として画像メモリに記憶し、その画像メモリのデ
ータからスリットの形状を計測するために個々のスリッ
トのデータを計測した上でないとシャドウマスクのスリ
ット幅の状態を判定できないため、処理に時間がかか
り、高精度に計測するためにはカメラとシャドウマスク
との距離を一定距離に保つ必要があるという問題があっ
た。
たようなシャドウマスクストライプ幅検査装置では、シ
ャドウマスク２２のスリット像をカメラ２６を通して二
値信号として画像メモリに記憶し、その画像メモリのデ
ータからスリットの形状を計測するために個々のスリッ
トのデータを計測した上でないとシャドウマスクのスリ
ット幅の状態を判定できないため、処理に時間がかか
り、高精度に計測するためにはカメラとシャドウマスク
との距離を一定距離に保つ必要があるという問題があっ
た。
【０００５】したがってこの発明は、前述した従来の課
題を解決するためになされたものであり、その目的は、
シャドウマスクホール径（ストライプ幅）の像を拡散フ
ィルタを通して検査することで、簡単な画像処理手法で
定量的に高精度検査できるシャドウマスク検査装置およ
び検査方法を提供することにある。
題を解決するためになされたものであり、その目的は、
シャドウマスクホール径（ストライプ幅）の像を拡散フ
ィルタを通して検査することで、簡単な画像処理手法で
定量的に高精度検査できるシャドウマスク検査装置およ
び検査方法を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るためにこの発明に係わるブラウン管のシャドウマスク
検査装置は、シャドウマスクのホール像（ストライプ
像）の発生手段によりできた像を暈す拡散フィルタを用
いるものである。また、さらに他の発明のシャドウマス
ク検査装置は、拡散フィルタとして成形マスクの曲率に
倣う構造のものを用いるものである。また、他の発明の
シャドウマスク検査装置は、シャドウマスクのホール
（ストライプ）像の発生手段として露光機を用いるもの
である。また、他の発明のシャドウマスク検査装置は、
拡散フィルタとしてパネルに蛍光体を塗布したベタパネ
ルを用いるものである。また、他の発明のシャドウマス
ク検査装置は、ホール像の発生手段として露光機を用
い、この像の拡散手段としてベタパネルを用いるもので
ある。また、他の発明のシャドウマスク検査装置は、シ
ャドウマスクのホール（ストライプ）の像の発生手段に
よりできた像をＴＶカメラにより暈して撮像すること
で、シャドウマスクのホール径（ストライプ幅）の不良
の部分だけが輝度差として現れ、この輝度差からホール
径（ストライプ幅）の製造状態を検査する手段を備えた
ものである。また、この発明によるシャドウマスク検査
方法は、シャドウマスクのホールの像を拡散させ、この
拡散された像を映像信号に変換し、この映像信号を所定
の閾値と比較することにより、シャドウマスクのホール
径の状態を判定するようにしたものである。
るためにこの発明に係わるブラウン管のシャドウマスク
検査装置は、シャドウマスクのホール像（ストライプ
像）の発生手段によりできた像を暈す拡散フィルタを用
いるものである。また、さらに他の発明のシャドウマス
ク検査装置は、拡散フィルタとして成形マスクの曲率に
倣う構造のものを用いるものである。また、他の発明の
シャドウマスク検査装置は、シャドウマスクのホール
（ストライプ）像の発生手段として露光機を用いるもの
である。また、他の発明のシャドウマスク検査装置は、
拡散フィルタとしてパネルに蛍光体を塗布したベタパネ
ルを用いるものである。また、他の発明のシャドウマス
ク検査装置は、ホール像の発生手段として露光機を用
い、この像の拡散手段としてベタパネルを用いるもので
ある。また、他の発明のシャドウマスク検査装置は、シ
ャドウマスクのホール（ストライプ）の像の発生手段に
よりできた像をＴＶカメラにより暈して撮像すること
で、シャドウマスクのホール径（ストライプ幅）の不良
の部分だけが輝度差として現れ、この輝度差からホール
径（ストライプ幅）の製造状態を検査する手段を備えた
ものである。また、この発明によるシャドウマスク検査
方法は、シャドウマスクのホールの像を拡散させ、この
拡散された像を映像信号に変換し、この映像信号を所定
の閾値と比較することにより、シャドウマスクのホール
径の状態を判定するようにしたものである。
【０００７】
【作用】この発明においては、シャドウマスクのホール
（ストライプ）の像の発生手段によりできた像を拡散フ
ィルタにより拡散することで、シャドウマスクのホール
径（ストライプ幅）の不良部分のみが輝度差として現
れ、この輝度差からホール径（ストライプ幅）の製造状
態を検査できる。また、拡散フィルタに成形マスクの曲
面に倣う形状にすることで成形マスクに対しても同様に
検査できる。
（ストライプ）の像の発生手段によりできた像を拡散フ
ィルタにより拡散することで、シャドウマスクのホール
径（ストライプ幅）の不良部分のみが輝度差として現
れ、この輝度差からホール径（ストライプ幅）の製造状
態を検査できる。また、拡散フィルタに成形マスクの曲
面に倣う形状にすることで成形マスクに対しても同様に
検査できる。
【０００８】
【実施例】以下、図面を用いてこの発明の実施例を詳細
に説明する。 （実施例１）図１は、この発明によるシャドウマスク検
査装置の一実施例による構成を示す模式図である。同図
において、１はテレビカメラ、２は拡散フィルタ、３は
シャドウマスク、４は透過照明、５は画像処理装置、６
は照明用コントローラ、７はコントローラである。
に説明する。 （実施例１）図１は、この発明によるシャドウマスク検
査装置の一実施例による構成を示す模式図である。同図
において、１はテレビカメラ、２は拡散フィルタ、３は
シャドウマスク、４は透過照明、５は画像処理装置、６
は照明用コントローラ、７はコントローラである。
【０００９】このような構成において、透過照明４から
投光された光は、シャドウマスク３に照射されると、拡
散フィルタ２により拡散され、このシャドウマスク３の
拡散されたホールの像はテレビカメラ１により受光され
る。このテレビカメラ１は、拡散フィルタ２により拡散
された像を撮像し、映像信号に変換し、画像処理装置５
によりこの映像信号が検査される。なお、コントローラ
７は、画像処理装置５および照明用コントローラ６をコ
ントロールするとともに検査結果を必要に応じて外部機
器に出力する。
投光された光は、シャドウマスク３に照射されると、拡
散フィルタ２により拡散され、このシャドウマスク３の
拡散されたホールの像はテレビカメラ１により受光され
る。このテレビカメラ１は、拡散フィルタ２により拡散
された像を撮像し、映像信号に変換し、画像処理装置５
によりこの映像信号が検査される。なお、コントローラ
７は、画像処理装置５および照明用コントローラ６をコ
ントロールするとともに検査結果を必要に応じて外部機
器に出力する。
【００１０】このように構成されたシャドウマスク検査
装置では、図２（ａ）に示すようなシャドウマスク３の
ホール像３ａに対し、拡散フィルタ２を通さない映像信
号は図２（ｂ）に示すような映像信号１３となる。な
お、図２（ａ）において、１４は走査線である。拡散フ
ィルタ２を通した場合は、映像信号１４は図２（ｃ）に
示すような合成輝度信号３０となり、ホール像３ａと背
景との差がなくなる。なお、３１は個々のホールの輝度
分布を示している。
装置では、図２（ａ）に示すようなシャドウマスク３の
ホール像３ａに対し、拡散フィルタ２を通さない映像信
号は図２（ｂ）に示すような映像信号１３となる。な
お、図２（ａ）において、１４は走査線である。拡散フ
ィルタ２を通した場合は、映像信号１４は図２（ｃ）に
示すような合成輝度信号３０となり、ホール像３ａと背
景との差がなくなる。なお、３１は個々のホールの輝度
分布を示している。
【００１１】ここでシャドウマスク３のホール像３ａに
ホール像が小さい場合の欠陥があると、図２（ｄ）に示
すように合成輝度信号３０に凹部が生じるとともに個々
のホールの輝度分布３１に対して欠陥部のホール輝度分
布３２が生じるようになる。また、ホール像３ａが大き
い場合の欠陥があると、図２（ｅ）に示すように合成輝
度信号３０に凸部が生じとともに個々のホール輝度分布
３０に対して欠陥部のホール輝度分布３３が生じるよう
になる。
ホール像が小さい場合の欠陥があると、図２（ｄ）に示
すように合成輝度信号３０に凹部が生じるとともに個々
のホールの輝度分布３１に対して欠陥部のホール輝度分
布３２が生じるようになる。また、ホール像３ａが大き
い場合の欠陥があると、図２（ｅ）に示すように合成輝
度信号３０に凸部が生じとともに個々のホール輝度分布
３０に対して欠陥部のホール輝度分布３３が生じるよう
になる。
【００１２】このようにシャドウマスク３が不良マスク
の場合には、合成輝度信号３０が図２（ｄ）および図２
（ｅ）に示すようにある閾値に対して映像信号に変化を
生じるが、良品マスクの場合には映像信号に変化が生じ
ないので、画像処理装置５においてこの合成輝度信号３
０の状態からシャドウマスクホールの状態を判定するこ
とができる。
の場合には、合成輝度信号３０が図２（ｄ）および図２
（ｅ）に示すようにある閾値に対して映像信号に変化を
生じるが、良品マスクの場合には映像信号に変化が生じ
ないので、画像処理装置５においてこの合成輝度信号３
０の状態からシャドウマスクホールの状態を判定するこ
とができる。
【００１３】また、このシャドウマスク３のホール像３
ａをテレビカメラ１に取り込んだ輝度分布（画像の濃度
ヒストグラム）で示すと、拡散フィルタ２を通さない輝
度分布は、図３（ａ）に示すように背景の輝度分布３４
とホール部の輝度分布３５との２つの山に分かれる。こ
のホール像３ａに拡散フィルタ２を通すと、図３（ｂ）
に示すように輝度分布の山が１つになり、合成輝度分布
３６となり、背景とホール像とが拡散フィルタ２により
一定の輝度になったことがわかる。
ａをテレビカメラ１に取り込んだ輝度分布（画像の濃度
ヒストグラム）で示すと、拡散フィルタ２を通さない輝
度分布は、図３（ａ）に示すように背景の輝度分布３４
とホール部の輝度分布３５との２つの山に分かれる。こ
のホール像３ａに拡散フィルタ２を通すと、図３（ｂ）
に示すように輝度分布の山が１つになり、合成輝度分布
３６となり、背景とホール像とが拡散フィルタ２により
一定の輝度になったことがわかる。
【００１４】ここでシャドウマスク３のホール像３ａに
欠陥があると、図３（ｃ）および図３（ｄ）に示すよう
に高い山の輝度分布の両側に不良に応じてそれぞれ小さ
い輝度分布３７および輝度分布３８が生じるので、画像
処理装置５において、この輝度分布の状態からシャドウ
マスクホールの状態を判定することができる。
欠陥があると、図３（ｃ）および図３（ｄ）に示すよう
に高い山の輝度分布の両側に不良に応じてそれぞれ小さ
い輝度分布３７および輝度分布３８が生じるので、画像
処理装置５において、この輝度分布の状態からシャドウ
マスクホールの状態を判定することができる。
【００１５】また、前述した透過照明４の光を平行光に
近い光にすることで、より鮮明な輝度分布情報を表示す
ることができる。
近い光にすることで、より鮮明な輝度分布情報を表示す
ることができる。
【００１６】（実施例２）前述した実施例１では、拡散
フィルタ２として形状がフラットな構造を用いたが、こ
の実施例では、図４に示すように拡散フィルタ８を成形
マスク９の曲面に倣う形状に形成したので、成形マスク
９に対しても同様の動作が得られる。
フィルタ２として形状がフラットな構造を用いたが、こ
の実施例では、図４に示すように拡散フィルタ８を成形
マスク９の曲面に倣う形状に形成したので、成形マスク
９に対しても同様の動作が得られる。
【００１７】なお、前述した実施例２では、成形マスク
９に倣う形状の拡散フィルタ８を用いたが、検出精度を
変えれば平板のフィルタを用いることも可能である。
９に倣う形状の拡散フィルタ８を用いたが、検出精度を
変えれば平板のフィルタを用いることも可能である。
【００１８】（実施例３）前述した実施例２に対してこ
の実施例では、図５に示すような拡散フィルタとしてパ
ネルの内面に蛍光体を塗布したベタパネル１０を用いる
ことで、現有の設備を流用でき、前述と同様な動作が得
られる。
の実施例では、図５に示すような拡散フィルタとしてパ
ネルの内面に蛍光体を塗布したベタパネル１０を用いる
ことで、現有の設備を流用でき、前述と同様な動作が得
られる。
【００１９】（実施例４）前述した実施例３に図６で示
すようなシャドウマスクのホールの像の発生手段として
露光機１２を用いることで、現有の設備を流用できると
ともに露光機１２を用いるので、ブラウン管になった状
態に近い検査が可能となる。
すようなシャドウマスクのホールの像の発生手段として
露光機１２を用いることで、現有の設備を流用できると
ともに露光機１２を用いるので、ブラウン管になった状
態に近い検査が可能となる。
【００２０】（実施例５）前述した実施例１〜実施例４
においては、シャドウマスクのホール像の拡散手段とし
てテレビカメラ１の結像位置をずらすことで、拡散フィ
ルタ２を用いることなく、前述と同様な動作が得られ
る。
においては、シャドウマスクのホール像の拡散手段とし
てテレビカメラ１の結像位置をずらすことで、拡散フィ
ルタ２を用いることなく、前述と同様な動作が得られ
る。
【００２１】なお、前述した実施例においては、シャド
ウマスクのホール形状の不良が１個の場合について説明
したが、その他のホール不良（ホール斑）にも利用でき
ることは言うまでもない。
ウマスクのホール形状の不良が１個の場合について説明
したが、その他のホール不良（ホール斑）にも利用でき
ることは言うまでもない。
【００２２】また、前述した実施例においては、シャド
ウマスクのホール形状の場合について説明したが、その
他のストライプ形状にも利用できることは言うまでもな
い。
ウマスクのホール形状の場合について説明したが、その
他のストライプ形状にも利用できることは言うまでもな
い。
【００２３】また、前述した実施例においては、この発
明をシャドウマスクに適用した場合について説明した
が、シャドウマスク以外にも同じ形状のものが集まった
もの、例えばブラウン管のパネル，液晶などに利用でき
ることは言うまでもない。
明をシャドウマスクに適用した場合について説明した
が、シャドウマスク以外にも同じ形状のものが集まった
もの、例えばブラウン管のパネル，液晶などに利用でき
ることは言うまでもない。
【００２４】
【発明の効果】以上説明したようにこの発明によれば、
シャドウマスクのホールの検査にシャドウマスクのホー
ルの像を拡散フィルタを通して検査することで、個々の
ホールを計測することなく、拡散フィルタ上に表示され
た輝度分布の状態によってホールの状態を判定できるの
で、処理装置が簡単になり、シャドウマスクのホールが
高速に精度良く定量的に管理できるとともにシャドウマ
スクの信頼性が保証できる。また、拡散フィルタを通し
てカメラの間に距離を精度良く管理しなくとも、ホール
計測を高精度に測定できる。さらには従来、人手作業で
行ってきたシャドウマスクホール幅の検査の自動化が可
能となるなどの極めて優れた効果が得られる。
シャドウマスクのホールの検査にシャドウマスクのホー
ルの像を拡散フィルタを通して検査することで、個々の
ホールを計測することなく、拡散フィルタ上に表示され
た輝度分布の状態によってホールの状態を判定できるの
で、処理装置が簡単になり、シャドウマスクのホールが
高速に精度良く定量的に管理できるとともにシャドウマ
スクの信頼性が保証できる。また、拡散フィルタを通し
てカメラの間に距離を精度良く管理しなくとも、ホール
計測を高精度に測定できる。さらには従来、人手作業で
行ってきたシャドウマスクホール幅の検査の自動化が可
能となるなどの極めて優れた効果が得られる。
【図１】この発明によるシャドウマスク検査装置の実施
例１を示す模式図である。
例１を示す模式図である。
【図２】この発明に係わるカメラでの撮像信号の一例お
よび拡散フィルタによる効果を説明する図である。
よび拡散フィルタによる効果を説明する図である。
【図３】この発明に係わるカメラでの撮像信号の輝度分
布および拡散フィルタによる効果を説明する図である。
布および拡散フィルタによる効果を説明する図である。
【図４】この発明によるシャドウマスク検査装置の実施
例２を示す拡散フィルタの模式図である。
例２を示す拡散フィルタの模式図である。
【図５】この発明によるシャドウマスク検査装置の実施
例３を示す拡散フィルタとしてベタパネルを用いた模式
図である。
例３を示す拡散フィルタとしてベタパネルを用いた模式
図である。
【図６】この発明によるシャドウマスク検査装置の実施
例４を示すシャドウマスクの像の発生手段として露光機
を用いた模式図である。
例４を示すシャドウマスクの像の発生手段として露光機
を用いた模式図である。
【図７】従来のシャドウマスク検査装置の構成を示す模
式図である。
式図である。
【図８】図７で示した画面表示器に表示されたスリット
孔を示す平面図である。
孔を示す平面図である。
【図９】図８で示したスリット孔の寸法関係を示す平面
図である。
図である。
１ カメラ ２ 拡散フィルタ ３ シャドウマスク ３ａ ホール像 ４ 透過照明 ５ 画像処理装置 ６ 照明用コントローラ ７ コントローラ ８ 拡散フィルタ ９ 成形マスク １０ ベタパネル １２ 露光機 １３ 映像信号 １４ 走査線 ３０ 合成輝度信号 ３１ 個々のホールの輝度分布 ３２ 欠陥部（ホール径小の場合）の輝度分布 ３３ 欠陥部（ホール径大の場合）の輝度分布 ３４ 背景の輝度分布 ３５ ホール部の輝度分布 ３６ 合成輝度分布 ３７ 欠陥部（ホール径小の場合）の輝度分布 ３８ 欠陥部（ホール径大の場合）の輝度分布
フロントページの続き (72)発明者 西口 憲一 兵庫県尼崎市塚口本町８丁目１番１号 三 菱電機株式会社中央研究所内
Claims (8)
- 【請求項１】 ブラウン管のシャドウマスク製造作業に
おけるシャドウマスクのホール径を検査するシャドウマ
スク検査装置において、 前記シャドウマスクのホールの像を発生させる像発生手
段と、 前記像発生手段により発生したホール像を拡散させるフ
ィルタと、 前記フィルタにより拡散されたホール像を受光するＴＶ
カメラと、 前記ＴＶカメラが受光した像から前記シャドウマスクの
製造状態を検査する検査手段と、を備えたことを特徴と
するシャドウマスク検査装置。 - 【請求項２】 ブラウン管のシャドウマスク製造作業に
おけるシャドウマスクのホール径を検査するシャドウマ
スク検査装置において、 前記シャドウマスクのホールの像を発生させる像発生手
段と、 前記シャドウマスクの曲率とほぼ同じ曲率を有しかつ前
記像発生手段により発生したホール像を拡散させるフィ
ルタと、 前記フィルタにより拡散されたホール像を受光するＴＶ
カメラと、 前記ＴＶカメラが受光した像から前記シャドウマスクの
製造状態を検査する検査手段と、を備えたことを特徴と
するシャドウマスク検査装置。 - 【請求項３】 ブラウン管のシャドウマスク製造作業に
おけるシャドウマスクのホール径を検査するシャドウマ
スク検査装置において、 前記シャドウマスクのホールの像を発生させる露光機
と、 前記露光機により発生したホール像を拡散させるフィル
タと、 前記フィルタにより拡散されたホール像を受光するＴＶ
カメラと、 前記ＴＶカメラが受光した像からシャドウマスクの製造
状態を検査する検査手段と、を備えたことを特徴とする
シャドウマスク検査装置。 - 【請求項４】 ブラウン管のシャドウマスク製造作業に
おけるシャドウマスクのホール径を検査するシャドウマ
スク検査装置において、 前記シャドウマスクのホールの像を発生させる露光機
と、 前記シャドウマスクの曲率とほぼ同じ曲率を有しかつ前
記露光機により発生したホール像を拡散させるフィルタ
と、 前記フィルタにより拡散されたホール像を受光するＴＶ
カメラと、 前記ＴＶカメラが受光した像からシャドウマスクの製造
状態を検査する検査手段と、を備えたことを特徴とする
シャドウマスク検査装置。 - 【請求項５】 ブラウン管のシャドウマスク製造作業に
おけるシャドウマスクのホール径を検査するシャドウマ
スク検査装置において、 前記シャドウマスクのホールの像を発生させる像発生手
段と、 前記シャドウマスクの曲率とほぼ同じ曲率を有しかつ前
記像発生手段により発生したホール像を拡散させるベタ
パネルと、 前記ベタパネルにより拡散されたホール像を受光するＴ
Ｖカメラと、 前記ＴＶカメラが受光した像からシャドウマスクの製造
状態を検査する検査手段と、を備えたことを特徴とする
シャドウマスク検査装置。 - 【請求項６】 ブラウン管のシャドウマスク製造作業に
おけるシャドウマスクのホール径を検査するシャドウマ
スク検査装置において、 前記シャドウマスクのホールの像を発生させる露光機
と、 前記シャドウマスクの曲率とほぼ同じ曲率を有しかつ前
記露光機により発生したホール像を拡散させるベタパネ
ルと、 前記ベタパネルにより拡散されたホール像を受光するＴ
Ｖカメラと、 前記ＴＶカメラが受光した像からシャドウマスクの製造
状態を検査する検査手段と、を備えたことを特徴とする
シャドウマスク検査装置。 - 【請求項７】 ブラウン管のシャドウマスク製造作業に
おけるシャドウマスクのホール径を検査するシャドウマ
スク検査装置において、 前記シャドウマスクのホールの像を発生させる像発生手
段と、 前記像発生手段により発生したホール像の非結像位置に
配置されかつ前記非結像のホール像を受光するＴＶカメ
ラと、 前記ＴＶカメラが受光した像から前記シャドウマスクの
製造状態を検査する検査手段と、を備えたことを特徴と
するシャドウマスク検査装置。 - 【請求項８】 ブラウン管のシャドウマスク製造作業に
おけるシャドウマスクのホール径を検査するシャドウマ
スク検査方法において、 前記シャドウマスクのホールの像を拡散させ、この拡散
された像を映像信号に変換し、この映像信号を所定の閾
値と比較することにより、前記シャドウマスクのホール
径の状態を判定することを特徴とするシャドウマスク検
査方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32311292A JPH06174434A (ja) | 1992-12-02 | 1992-12-02 | シャドウマスク検査装置および検査方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP32311292A JPH06174434A (ja) | 1992-12-02 | 1992-12-02 | シャドウマスク検査装置および検査方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06174434A true JPH06174434A (ja) | 1994-06-24 |
Family
ID=18151220
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP32311292A Pending JPH06174434A (ja) | 1992-12-02 | 1992-12-02 | シャドウマスク検査装置および検査方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06174434A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012083109A (ja) * | 2010-10-06 | 2012-04-26 | M I L:Kk | 穴検査対象物の検査装置 |
-
1992
- 1992-12-02 JP JP32311292A patent/JPH06174434A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012083109A (ja) * | 2010-10-06 | 2012-04-26 | M I L:Kk | 穴検査対象物の検査装置 |
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