JPH06170304A - Adhesive applicator and method for pellet bonding - Google Patents

Adhesive applicator and method for pellet bonding

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JPH06170304A
JPH06170304A JP4352416A JP35241692A JPH06170304A JP H06170304 A JPH06170304 A JP H06170304A JP 4352416 A JP4352416 A JP 4352416A JP 35241692 A JP35241692 A JP 35241692A JP H06170304 A JPH06170304 A JP H06170304A
Authority
JP
Japan
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adhesive
piston
syringe
nozzle
discharge
Prior art date
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Pending
Application number
JP4352416A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Katsuyoshi Kawabe
勝良 川辺
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Mechatronics Co Ltd
Original Assignee
Toshiba Seiki Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Seiki Co Ltd filed Critical Toshiba Seiki Co Ltd
Priority to JP4352416A priority Critical patent/JPH06170304A/en
Publication of JPH06170304A publication Critical patent/JPH06170304A/en
Pending legal-status Critical Current

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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L24/00Arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies; Methods or apparatus related thereto
    • H01L24/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies
    • H01L24/741Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
    • H01L24/743Apparatus for manufacturing layer connectors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L2224/00Indexing scheme for arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and methods related thereto as covered by H01L24/00
    • H01L2224/74Apparatus for manufacturing arrangements for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies and for methods related thereto
    • H01L2224/741Apparatus for manufacturing means for bonding, e.g. connectors
    • H01L2224/743Apparatus for manufacturing layer connectors

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Abstract

PURPOSE:To reduce unevenness in the amount of an adhesive applied for one shot. CONSTITUTION:An adhesive applicator for pellet bonding is equipped with: a piston 21 which is installed in a cylinder 15 to be able to slide, a stepping motor 24 which moves the piston 21 in the sliding direction in the cylinder 15, and a rotation control part which controls the position of the piston 21 by controlling the stepping motor 24.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半導体部品、セラミッ
クス部品等のペレットを基板(リードフレーム)に接着
するに好適な、ペレットボンディング用の接着剤塗布装
置及び方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an adhesive application device and method for pellet bonding, which is suitable for adhering pellets such as semiconductor parts and ceramic parts to a substrate (lead frame).

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、接着剤塗布装置として、特開昭64
-30236号公報に記載の如くのものがある。この従来技術
は、ペレットボンディング用接着剤を貯留しているシリ
ンジの先端吐出ノズルを基板に対して接近/離隔移動
し、上記吐出ノズルから吐出された接着剤を基板上に塗
布するに際し、シリンジに一定圧力の空気を供給する空
気管を接続し、この空気圧により接着剤液面を加圧する
ことにて接着剤を吐出させるようにしている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as an adhesive coating device, Japanese Patent Laid-Open No.
There are some as described in Japanese Patent No. -30236. In this conventional technique, the tip discharge nozzle of the syringe that stores the adhesive for pellet bonding is moved toward / away from the substrate, and when the adhesive discharged from the discharge nozzle is applied onto the substrate, the syringe is An air pipe for supplying air of a constant pressure is connected, and the adhesive is discharged by pressurizing the liquid surface of the adhesive with this air pressure.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】然しながら、従来技術
には、下記(A) 、(B) の問題点がある。
However, the prior art has the following problems (A) and (B).

【0004】(A) 1回吐出当りの接着剤の塗布量のばら
つき シリンジ内の接着剤液面に印加する空気圧により接着剤
の吐出量を調整しているので、正確な吐出量の制御が困
難であり、1回吐出当りの接着剤の塗布量のばらつきが
大きい。
(A) Dispersion of the amount of adhesive applied per discharge Since the amount of adhesive discharged is adjusted by the air pressure applied to the liquid surface of the adhesive in the syringe, it is difficult to control the discharge amount accurately. Therefore, there is a large variation in the amount of adhesive applied per discharge.

【0005】例えば、シリンジ内の接着剤残量が満杯で
あるときには、空気圧印加に対する接着剤吐出の応答性
は良い。これに対し、接着剤残量が少量になってくる
と、シリンジ内の空気層容積が増大する結果、空気の圧
縮性の悪影響により、空気圧印加に対する接着剤吐出の
応答性が悪くなる。
For example, when the remaining amount of the adhesive in the syringe is full, the responsiveness of the adhesive ejection to the air pressure application is good. On the other hand, when the remaining amount of the adhesive becomes small, the volume of the air layer in the syringe increases, and as a result, the responsiveness of the adhesive discharge to the application of air pressure deteriorates due to the adverse effect of the compressibility of air.

【0006】また、シリンジ内の接着剤の粘性が大なる
場合にも、空気圧印加に対する接着剤吐出の応答性が悪
い。
Further, even when the viscosity of the adhesive in the syringe is high, the responsiveness of the adhesive ejection to the application of air pressure is poor.

【0007】(B) 糸引き 接着剤塗布後、シリンジを上昇させたとき、塗布された
接着剤とノズルとの間に糸状の接着剤、即ち糸引きを生
じ、これが切断されて基板上に倒れたり、飛散し、ボン
ディング不良を引き起こす。
(B) Threading When the syringe is raised after applying the adhesive, a thread-like adhesive, that is, threading, is produced between the applied adhesive and the nozzle, which is cut and falls on the substrate. Or it may scatter and cause defective bonding.

【0008】ところで、この糸引きは、接着剤を塗布し
た後、シリンジをゆっくり上昇させた場合には生じにく
い。
By the way, this stringing is unlikely to occur when the syringe is slowly raised after the adhesive is applied.

【0009】即ち、シリンジを上昇させたとき、塗布さ
れた接着剤とノズルとの間の糸状の接着剤は、自重によ
って下方に引張られている。そのため、糸状の接着剤は
この張力によって自然に切断する。
That is, when the syringe is raised, the thread-shaped adhesive between the applied adhesive and the nozzle is pulled downward by its own weight. Therefore, the thread-shaped adhesive is naturally cut by this tension.

【0010】よって、シリンジをゆっくり上昇させる
と、接着剤は低い位置で切断される(図4(A))。
Therefore, when the syringe is slowly raised, the adhesive is cut at a low position (FIG. 4 (A)).

【0011】逆に、シリンジを高速で上昇させた場
合、接着剤は高い位置まで引き伸ばされる。
On the contrary, when the syringe is raised at a high speed, the adhesive is stretched to a high position.

【0012】上記の問題点…接着剤の粘性が大きい場
合、接着剤が切断されない場合がある。この場合、基板
を送る際に接着剤が切断されるので、糸状の接着剤が送
り方向に倒れてしまう(図4(B))。導電性接着剤の
場合、ショート等の原因になる。
The above-mentioned problems ... When the viscosity of the adhesive is large, the adhesive may not be cut. In this case, since the adhesive is cut when the substrate is fed, the thread-shaped adhesive falls in the feeding direction (FIG. 4 (B)). In the case of a conductive adhesive, it may cause a short circuit or the like.

【0013】上記の問題点…糸状の接着剤は、高い位
置で突然に切断される。このとき、糸状の接着剤は数箇
所で切断される場合が多く、その切断された接着剤は周
囲に飛び散ってしまう(ペースト飛散、図4(C))。
この飛び散った接着剤がリード上に着地した場合、後の
ワイヤボンディング工程におけるボンディング不良の原
因となる。
The above problems ... The thread-shaped adhesive is suddenly cut at a high position. At this time, the thread-shaped adhesive is often cut at several places, and the cut adhesive is scattered around (paste scattering, FIG. 4C).
If the scattered adhesive lands on the leads, it may cause bonding failure in the subsequent wire bonding process.

【0014】本発明は、1回吐出当りの接着剤の塗布量
のばらつきを少なくすることを目的とする。
An object of the present invention is to reduce variations in the amount of adhesive applied per discharge.

【0015】また、本発明は1回吐出当りの接着剤の塗
布量のばらつきを少なくし、かつ接着剤塗布後の糸引き
を防止することを目的とする。
Another object of the present invention is to reduce variations in the amount of adhesive applied per discharge and to prevent stringing after application of the adhesive.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】請求項1に記載の本発明
は、ペレットボンディング用接着剤を貯留しているシリ
ンジの先端吐出ノズルを基板に対して接近/離隔移動
し、上記吐出ノズルから吐出された接着剤を基板上に塗
布するペレットボンディング用の接着剤塗布装置におい
て、上記シリンジ内に摺動自在に配設されたピストン
と、上記ピストンを上記シリンジ内で摺動方向に進退動
させる駆動部と、上記駆動部(の駆動)を制御すること
にて上記ピストンを位置制御する制御部とを有してなる
ようにしたものである。
According to a first aspect of the present invention, a tip discharge nozzle of a syringe storing an adhesive for pellet bonding is moved toward and away from a substrate to discharge from the discharge nozzle. In an adhesive application device for pellet bonding, which applies the applied adhesive to a substrate, a piston slidably arranged in the syringe and a drive for moving the piston forward and backward in a sliding direction in the syringe. And a control unit for controlling the position of the piston by controlling (driving) the drive unit.

【0017】請求項2に記載の本発明は、請求項1に記
載の接着剤塗布装置を用いたペレットボンディング用の
接着剤塗布方法であって、接着剤塗布時には、前記ピス
トンを吐出ノズル方向に移動させて該ノズルから接着剤
を吐出し、接着剤塗布後には、前記ピストンを反吐出ノ
ズル方向に移動させるようにしたものである。
According to a second aspect of the present invention, there is provided an adhesive coating method for pellet bonding using the adhesive coating apparatus according to the first aspect, wherein the piston is moved toward the discharge nozzle when the adhesive is coated. The nozzle is moved to discharge the adhesive from the nozzle, and after the adhesive is applied, the piston is moved in the direction opposite to the discharge nozzle.

【0018】[0018]

【作用】 シリンジ内の接着剤は、ピストンにより押出されてノ
ズルから吐出される。このとき、接着剤の吐出量は、ピ
ストンの移動ストロークに応じて正確に制御される。従
って、制御部によってピストンの移動ストロークを制御
することにより、所望の接着剤の吐出量を得ることがで
き、1回吐出当りの接着剤の塗布量のばらつきを少なく
することができる。
The adhesive in the syringe is pushed out by the piston and discharged from the nozzle. At this time, the discharge amount of the adhesive is accurately controlled according to the moving stroke of the piston. Therefore, by controlling the movement stroke of the piston by the control unit, it is possible to obtain a desired amount of adhesive to be discharged, and it is possible to reduce variations in the amount of adhesive applied per discharge.

【0019】接着剤塗布後、ピストンを反吐出ノズル
方向に移動することにより、シリンジの吐出ノズルと塗
布された接着剤との間に生ずる糸状の余分な接着剤をシ
リンジ内に引込み、糸引きの発生を防止できる。
After application of the adhesive, the piston is moved in the direction opposite to the discharge nozzle to draw extra thread-like adhesive generated between the discharge nozzle of the syringe and the applied adhesive into the syringe, and pull the thread. Occurrence can be prevented.

【0020】[0020]

【実施例】図1は本発明の一実施例に係る接着剤塗布装
置の要部構成を示す模式図、図2は接着剤塗布装置の全
体構成を示す模式図、図3は接着剤の塗布動作を示す模
式図である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS FIG. 1 is a schematic diagram showing the essential structure of an adhesive coating device according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a schematic diagram showing the overall structure of an adhesive coating device, and FIG. It is a schematic diagram which shows operation.

【0021】接着剤塗布装置10は、図2に示す如く、
基台11にスライドブロック12をスライド可能に支持
し、スライドブロック12にシリンジホルダ13を結合
し、シリンジホルダ13にはペースト状接着剤14を貯
留しているシリンジ15が固定される。シリンジ15は
吐出ノズル16を備えている。
The adhesive applying device 10 is, as shown in FIG.
A slide block 12 is slidably supported on a base 11, a syringe holder 13 is joined to the slide block 12, and a syringe 15 storing a paste adhesive 14 is fixed to the syringe holder 13. The syringe 15 includes a discharge nozzle 16.

【0022】塗布装置10は、リニアサーボモータ1
7、制御装置18、設定装置19を備えている。リニア
サーボモータ17は、速度制御可能であり、シリンジホ
ルダ13を駆動してノズル16を基板1に対し接近/離
隔移動する。制御装置18は、設定装置19の設定デー
タに基づき、リニアサーボモータ17の駆動状態を制御
し、ノズル16の移動状態(ノズル16の移動速度、ノ
ズル16と基板1との間隙量、塗布時間等)をデジタル
制御する。尚、図2において、13Aはシリンジホルダ
13の上昇端検出センサ、13Bはセンサドグである。
The coating device 10 comprises a linear servo motor 1
7, a control device 18, and a setting device 19. The linear servomotor 17 can control the speed, and drives the syringe holder 13 to move the nozzle 16 toward and away from the substrate 1. The control device 18 controls the driving state of the linear servo motor 17 based on the setting data of the setting device 19 to move the nozzle 16 (moving speed of the nozzle 16, gap amount between the nozzle 16 and the substrate 1, coating time, etc.). ) Is digitally controlled. In FIG. 2, 13A is a rising end detection sensor of the syringe holder 13, and 13B is a sensor dog.

【0023】即ち、塗布装置10にあっては、制御装置
18が設定装置19にて予め設定された動作タイミング
でリニアサーボモータ17を駆動制御し、下降、停止、
上昇の1サイクルの動作を行ない、この過程でシリンジ
15の吐出ノズル16から吐出された接着剤を基板1上
に塗布する。
That is, in the coating device 10, the control device 18 drives and controls the linear servo motor 17 at the operation timing preset by the setting device 19 to descend, stop,
One cycle of ascending operation is performed, and in this process, the adhesive discharged from the discharge nozzle 16 of the syringe 15 is applied onto the substrate 1.

【0024】然るに、塗布装置10にあっては、図1に
示す如く、シリンジ15内にピストン21を摺動自在に
配設するとともに、このピストン21の背面部に螺合す
る送りねじ22を有しており、更に、シリンジ15の上
端フランジ部に被着されるモータホルダ23に固定のス
テッピングモータ24の出力軸を送りねじ22の上端部
に結合し、送りねじ22を回転動せしめるようになって
いる。ステッピングモータ24は回転制御部25によっ
て制御される。尚、26はピストン21を回り止めする
回り止めロッドである。
However, in the coating device 10, as shown in FIG. 1, the piston 21 is slidably arranged in the syringe 15, and the feed screw 22 screwed to the rear surface of the piston 21 is provided. Further, the output shaft of the stepping motor 24 fixed to the motor holder 23 attached to the upper flange of the syringe 15 is coupled to the upper end of the feed screw 22 so that the feed screw 22 can be rotated. ing. The stepping motor 24 is controlled by the rotation controller 25. Incidentally, reference numeral 26 is a detent rod that detents the piston 21.

【0025】即ち、塗布装置10において、前述の制御
装置18は、設定装置19の設定データに基づき、回転
制御部25をしてステッピングモータ24を作動させる
ことにより送りねじ22を駆動し、この送りねじ22に
螺合されているピストン21をシリンジ15内にて摺動
させ、その移動ストロークに応ずる吐出量の接着剤を吐
出ノズル16から吐出せしめる。
That is, in the coating device 10, the above-mentioned control device 18 drives the feed screw 22 by operating the stepping motor 24 by causing the rotation control portion 25 to operate based on the setting data of the setting device 19, and the feed screw 22 is fed. The piston 21 screwed to the screw 22 is slid in the syringe 15, and the discharge amount of adhesive corresponding to the moving stroke is discharged from the discharge nozzle 16.

【0026】このとき、塗布装置10は、シリンジ15
回りにピストン原位置検出センサ27を備えており、制
御装置18はセンサ27の検出結果に基づき、回転制御
部25をしてステッピングモータ24を作動させること
によりピストン21をシリンジ15内の原位置に設定可
能とする。また、制御装置18は、ピストン21を原位
置に設定した以後におけるステッピングモータ24の回
転量をカウントすることにて、接着剤吐出開始に伴うピ
ストン21の原位置からの移動ストロークを検出し、結
果としてピストン21の現在位置を把握し、ひいてはシ
リンジ15内の接着剤の残量を把握可能としている。
At this time, the coating device 10 includes the syringe 15
A piston original position detection sensor 27 is provided around the control device 18, and the control device 18 causes the rotation control unit 25 to operate the stepping motor 24 based on the detection result of the sensor 27 to move the piston 21 to the original position in the syringe 15. It can be set. Further, the controller 18 counts the rotation amount of the stepping motor 24 after the piston 21 is set to the original position to detect the movement stroke of the piston 21 from the original position due to the start of the adhesive discharge. As a result, the present position of the piston 21 can be grasped, and by extension, the remaining amount of the adhesive in the syringe 15 can be grasped.

【0027】以下、塗布装置10を用いた接着剤塗布方
法について説明する。 (1) 基板1が不図示のリードフレーム搬送装置により搬
送され、接着剤塗布位置に停止位置決めされ、その位置
決め完了信号が制御装置18に転送されると、制御装置
18はリニアサーボモータ17を駆動制御開始し、シリ
ンジ15を下降、停止、上昇せしめる。
Hereinafter, an adhesive application method using the application device 10 will be described. (1) When the substrate 1 is transported by a lead frame transport device (not shown), stopped and positioned at the adhesive application position, and the positioning completion signal is transferred to the control device 18, the control device 18 drives the linear servo motor 17. Control is started, and the syringe 15 is lowered, stopped, and raised.

【0028】(2) 制御装置18は、シリンジ15の下降
の途中の所定の接着剤吐出タイミングで、ステッピング
モータ24の回転制御部25に吐出信号を転送する。こ
れにより、回転制御部25はステッピングモータ24を
駆動し、送りねじ22を所定回転数だけ回転することに
てピストン21をノズル16の方向に所定の移動ストロ
ークだけ移動させて、吐出ノズル16から所定の吐出量
だけの接着剤を吐出し、シリンジ15の下降、停止段階
で、基板1上に接着剤を塗布する。
(2) The control device 18 transfers the discharge signal to the rotation control section 25 of the stepping motor 24 at a predetermined adhesive discharge timing while the syringe 15 is descending. As a result, the rotation control unit 25 drives the stepping motor 24 to rotate the feed screw 22 by a predetermined number of rotations to move the piston 21 in the direction of the nozzle 16 by a predetermined movement stroke, and the discharge nozzle 16 to a predetermined number. The adhesive is discharged in an amount corresponding to the discharge amount of, and the adhesive is applied onto the substrate 1 when the syringe 15 is lowered and stopped.

【0029】尚、回転制御部25がステッピングモータ
24を回転制御することによって定める接着剤の吐出タ
イミング、吐出量は、前述の制御装置18、設定装置1
9を用いて数値設定することができる。
Incidentally, the discharge timing and discharge amount of the adhesive determined by the rotation control unit 25 controlling the rotation of the stepping motor 24 are the same as those of the control device 18 and the setting device 1.
Numerical value can be set by using 9.

【0030】(3) 制御装置18は、接着剤塗布後、シリ
ンジ15を上昇させるとともに、ステッピングモータ2
4の回転制御部25にピストン引き上げ信号を転送す
る。これにより、シリンジ15内のピストン21をノズ
ル16の反対方向に所定量引き戻すように回転制御部2
5をしてモータ24を駆動し、シリンジ15のノズル1
6と基板1上に塗布された接着剤との間の糸状の接着剤
をシリンジ15内に引込み、糸引きの発生を防止する
(図3)。
(3) The controller 18 raises the syringe 15 after applying the adhesive, and at the same time the stepping motor 2
The piston pull-up signal is transferred to the rotation control unit 25 of No. 4. As a result, the rotation control unit 2 is configured to retract the piston 21 in the syringe 15 in a direction opposite to the nozzle 16 by a predetermined amount.
5 to drive the motor 24, and the nozzle 1 of the syringe 15
A thread-shaped adhesive between 6 and the adhesive applied on the substrate 1 is drawn into the syringe 15 to prevent the occurrence of threading (FIG. 3).

【0031】従って、本実施例によれば、以下の如くの
作用がある。 シリンジ15内の接着剤は、ピストン21により押出
されてノズル16から吐出される。このとき、接着剤の
吐出量は、ピストン21の移動ストロークに応じて正確
に制御される。従って、ステッピングモータ24の回転
制御部25によって送りねじ22の回転量、ひいてはピ
ストン21の移動ストロークを制御することにより、所
望の接着剤の吐出量を得ることができ、1回吐出当りの
接着剤の塗布量のばらつきを少なくすることができる。
Therefore, according to this embodiment, there are the following actions. The adhesive in the syringe 15 is extruded by the piston 21 and discharged from the nozzle 16. At this time, the discharge amount of the adhesive is accurately controlled according to the moving stroke of the piston 21. Therefore, by controlling the rotation amount of the feed screw 22 and the movement stroke of the piston 21 by the rotation control unit 25 of the stepping motor 24, a desired discharge amount of the adhesive can be obtained, and the adhesive per discharge can be obtained. It is possible to reduce the variation in the coating amount of.

【0032】尚、シリンジ15内におけるピストン21
の現在位置を検出することにより、シリンジ15内の接
着剤の残量を正確に確認できる。このとき、接着剤満杯
時のピストン位置をピストン原位置検出センサが検出す
る原位置に定め、接着剤吐出開始に伴うピストン21の
原位置からの移動ストロークを検出(演算)することに
よりピストン21の現在位置を検出することができる。
The piston 21 in the syringe 15
The remaining amount of the adhesive in the syringe 15 can be accurately confirmed by detecting the current position of. At this time, the piston position when the adhesive is full is set to the original position detected by the piston original position detection sensor, and the movement stroke of the piston 21 from the original position when the adhesive discharge starts is detected (calculated). The current position can be detected.

【0033】接着剤塗布後、ピストン21を吐出ノズ
ル16の反対方向に移動することにより、シリンジ15
の吐出ノズル16と塗布された接着剤との間に生ずる糸
状の余分な接着剤をシリンジ15内に引込み、糸引きの
発生を防止できる。
After the adhesive is applied, the piston 21 is moved in the direction opposite to the discharge nozzle 16 so that the syringe 15
It is possible to prevent the occurrence of stringing by drawing a string-shaped extra adhesive generated between the discharge nozzle 16 and the applied adhesive into the syringe 15.

【0034】尚、本発明の実施において、ピストン移動
のための駆動モータとしては、ステッピングモータに限
らず、サーボモータ等を用いることもできる。
In the embodiment of the present invention, the drive motor for moving the piston is not limited to the stepping motor, but a servo motor or the like may be used.

【0035】また、実施例においては、ピストンの駆動
部として、ピストンの背面部に送りねじを螺合し、この
送りねじをステッピングモータにて回転させる構成のも
のを示したが、駆動部としてリニアモータを用い、リニ
アモータの作動軸をピストンに連結する構成のものとし
ても同等の作用効果が得られる。
Further, in the embodiment, as the piston driving unit, the structure in which the feed screw is screwed on the back surface of the piston and the feed screw is rotated by the stepping motor is shown. Even if the motor is used and the operating shaft of the linear motor is connected to the piston, the same effect can be obtained.

【0036】[0036]

【発明の効果】以上のように本発明によれば、1回吐出
当りの接着剤の塗布量のばらつきを少なくすることがで
きる。
As described above, according to the present invention, it is possible to reduce variations in the amount of adhesive applied per discharge.

【0037】また、本発明によれば、1回吐出当りの接
着剤の塗布量のばらつきを少なくし、かつ接着剤塗布後
の糸引きを防止することができる。
Further, according to the present invention, it is possible to reduce variations in the amount of adhesive applied per discharge and to prevent stringing after application of the adhesive.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】図1は本発明の一実施例に係る接着剤塗布装置
の要部構成を示す模式図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a main configuration of an adhesive applying device according to an embodiment of the present invention.

【図2】図2は接着剤塗布装置の全体構成を示す模式図
である。
FIG. 2 is a schematic diagram showing an overall configuration of an adhesive application device.

【図3】図3は接着剤の塗布動作を示す模式図である。FIG. 3 is a schematic diagram showing an adhesive applying operation.

【図4】図4は従来法の糸引き発生状態を示す模式図で
ある。
FIG. 4 is a schematic diagram showing a threading occurrence state of a conventional method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 基板 10 接着剤塗布装置 15 シリンジ 16 吐出ノズル 21 ピストン 22 送りねじ 24 ステッピングモータ(駆動部) 25 回転制御部(制御部) 1 Substrate 10 Adhesive Coating Device 15 Syringe 16 Discharge Nozzle 21 Piston 22 Feed Screw 24 Stepping Motor (Drive Unit) 25 Rotation Control Unit (Control Unit)

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ペレットボンディング用接着剤を貯留し
ているシリンジの先端吐出ノズルを基板に対して接近/
離隔移動し、上記吐出ノズルから吐出された接着剤を基
板上に塗布するペレットボンディング用の接着剤塗布装
置において、 上記シリンジ内に摺動自在に配設されたピストンと、 上記ピストンを上記シリンジ内で摺動方向に進退動させ
る駆動部と、 上記駆動部(の駆動)を制御することにて上記ピストン
を位置制御する制御部とを有してなることを特徴とする
ペレットボンディング用の接着剤塗布装置。
1. A tip discharge nozzle of a syringe which stores an adhesive for pellet bonding is brought close to / approximated to a substrate.
In an adhesive application device for pellet bonding, which moves apart and applies the adhesive discharged from the discharge nozzle onto a substrate, a piston slidably arranged in the syringe, and the piston in the syringe. An adhesive agent for pellet bonding, comprising: a drive unit for moving back and forth in a sliding direction by means of; and a control unit for controlling the position of the piston by controlling (driving) the drive unit. Coating device.
【請求項2】 請求項1に記載の接着剤塗布装置を用い
たペレットボンディング用の接着剤塗布方法であって、 接着剤塗布時には、前記ピストンを吐出ノズル方向に移
動させて該ノズルから接着剤を吐出し、 接着剤塗布後には、前記ピストンを反吐出ノズル方向に
移動させることを特徴とするペレットボンディング用の
接着剤塗布方法。
2. An adhesive applying method for pellet bonding using the adhesive applying apparatus according to claim 1, wherein the piston is moved toward the discharge nozzle to apply the adhesive from the nozzle when applying the adhesive. And a method of applying an adhesive agent for pellet bonding, characterized in that after the adhesive agent is applied, the piston is moved in the direction opposite to the ejection nozzle.
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