JPH06169101A - Wiring device - Google Patents

Wiring device

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JPH06169101A
JPH06169101A JP34110492A JP34110492A JPH06169101A JP H06169101 A JPH06169101 A JP H06169101A JP 34110492 A JP34110492 A JP 34110492A JP 34110492 A JP34110492 A JP 34110492A JP H06169101 A JPH06169101 A JP H06169101A
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JP
Japan
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light
electric signal
element array
light emitting
emitting element
Prior art date
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Pending
Application number
JP34110492A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kunihiko Hara
邦彦 原
Shuichi Tai
修市 田井
Kazuo Hisama
和生 久間
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Mitsubishi Electric Corp
Original Assignee
Mitsubishi Electric Corp
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Publication date
Application filed by Mitsubishi Electric Corp filed Critical Mitsubishi Electric Corp
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Abstract

PURPOSE:To perform wiring between three-dimensionally arranged chips and the like by providing a plurality of light-receiving arrays which perform at least either of transmission of light or output of an electrical signal when a light is received from a space optical modulator or from outside. CONSTITUTION:The light 4, which is passed through a space optical modulator 13, is made to irradiate on the third and the fifth light-receiving elements 16 and 16 from the front side. However, when the third light-receiving element 16 from the front is made of the material which transmits no light, for example, an electric signal 7 is outputted from an electric signal output terminal Y3 without transmitting the light 4 to outside. On the other hand, when the fifth light-receiving element 16 from the front is made of the material which transmits a part of the light, the light 4 is transmitted to outside, and an electric signal 7 is outputted from an electric signal output terminal Y5. Accordingly, an electric signal input terminal X1, and an electric signal output terminal Y5, an electric signal input terminal X2 and electric signal input terminal Y3 can be electrically connected.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【０００１】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、３次元的に配列され
たチップ等間を配線する配線装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a wiring device for wiring chips and the like arranged three-dimensionally.

【０００２】[0002]

【従来の技術】図８は例えば「アプライド フィジック
ス レターズ（Ａｐｐｌｉｅｄ Ｐ−ｈｙｓｉｃｓ Ｌ
ｅｔｔｅｒｓ）」 Ｖｏｌ．５７（６） アメリカ物理
学会（Ａｍｅｒｉｃａｎ Ｉｎｓｔｉｔｕｔｅ ｏｆ
Ｐｈｙｓｉｃｓ） １９９０年発行 第５４１頁に示さ
れた従来の配線装置を示す構成図であり、図において、
１は電気信号３が入力されると自己の内部状態に応じて
光４を発光する複数の光サイリスタ２からなる光サイリ
スタ２次元アレイ（発光素子アレイ）、５は光サイリス
タ２次元アレイ１により発光された光４を受光すると、
電気信号７を出力する複数の受光素子６からなる受光素
子アレイ、Ｘ1 〜Ｘ5 は電気信号入力端子、Ｙ1 〜Ｙ5
は電気信号出力端子である。なお、光サイリスタ２次元
アレイ１と受光素子アレイ５は、説明の便宜のため図中
離れているように示したが、実際には直接重ねられてい
る。2. Description of the Related Art FIG. 8 shows, for example, "Applied P-hysics L".
etters) "Vol. 57 (6) American Institute of Physics
(Physics) 1990 issue, FIG. 54 is a configuration diagram showing a conventional wiring device shown on page 541.
Reference numeral 1 is an optical thyristor two-dimensional array (light emitting element array) composed of a plurality of optical thyristors 2 that emit light 4 according to their internal states when an electric signal 3 is input, and 5 is emitted by the optical thyristor two-dimensional array 1. When the received light 4 is received,
A light receiving element array composed of a plurality of light receiving elements 6 for outputting an electric signal 7, X 1 to X 5 are electric signal input terminals, and Y 1 to Y 5
Is an electric signal output terminal. The optical thyristor two-dimensional array 1 and the light receiving element array 5 are shown as separated from each other in the figure for convenience of description, but they are actually directly stacked.

【０００３】次に動作について説明する。まず、光サイ
リスタ２は内部状態としてオン状態とオフ状態があり、
オン状態のとき電気信号３を入力されると光４を発光す
るが、オフ状態のとき電気信号３を入力されても光４を
発光しない。Next, the operation will be described. First, the optical thyristor 2 has an ON state and an OFF state as internal states,
When the electrical signal 3 is input in the on state, the light 4 is emitted, but when the electrical signal 3 is input in the off state, the light 4 is not emitted.

【０００４】例えば、電気信号入力端子Ｘ2 と電気信号
出力端子Ｙ3 を接続する場合、左から２番目で前から３
番目（以下、座標（２，３）のように表現する。）の光
サイリスタ２をオン状態にしておき、電気信号入力端子
Ｘ2 に電気信号３を入力する。これにより、座標（２，
３）の光サイリスタ２から光４が発光され、前から３番
目の受光素子６がこの光４を受光することになるので、
その受光素子６が電気信号７を電気信号出力端子Ｙ3 か
ら出力することになり、電気信号入力端子Ｘ2と電気信
号出力端子Ｙ3 が接続される。For example, when the electric signal input terminal X 2 and the electric signal output terminal Y 3 are connected, it is the second from the left and the third from the front.
The optical thyristor 2 of the second (hereinafter expressed as coordinates (2, 3)) is turned on, and the electric signal 3 is input to the electric signal input terminal X 2 . This gives the coordinates (2,
Since the light 4 is emitted from the optical thyristor 2 in 3) and the third light receiving element 6 from the front receives the light 4,
The light receiving element 6 outputs the electric signal 7 from the electric signal output terminal Y 3 , and the electric signal input terminal X 2 and the electric signal output terminal Y 3 are connected.

【０００５】同様にして、各光サイリスタ２の内部状態
を設定することにより、任意の電気信号入力端子と電気
信号出力端子を接続することができる。Similarly, by setting the internal state of each optical thyristor 2, an arbitrary electric signal input terminal and electric signal output terminal can be connected.

【０００６】[0006]

【発明が解決しようとする課題】従来の配線装置は以上
のように構成されているので、平面内の配線しかでき
ず、３次元的に配列されたチップ等間を配線できないな
どの問題点があった。また、電気信号入力端子と電気信
号出力端子を接続する際、電気信号が入力されると直ち
に電気信号を出力するため、接続に要する時間は常に一
定となり、接続に要する時間を考慮した自由な配線がで
きないなどの問題点があった。Since the conventional wiring device is constructed as described above, there is a problem in that it is possible to perform wiring only in a plane and not to wire chips etc. arranged three-dimensionally. there were. Also, when connecting the electrical signal input terminal and the electrical signal output terminal, the electrical signal is output as soon as the electrical signal is input, so the time required for the connection is always constant, and the free wiring considering the time required for the connection There was a problem that it could not be done.

【０００７】請求項１〜３の発明は上記のような問題点
を解消するためになされたもので、３次元的に配列され
たチップ等間を配線できる配線装置を得ることを目的と
する。The inventions set forth in claims 1 to 3 have been made in order to solve the above problems, and an object thereof is to obtain a wiring device capable of wiring between three-dimensionally arranged chips and the like.

【０００８】また、請求項４の発明は、上記目的に加
え、装置を小型にできる配線装置を得ることを目的とす
る。Further, in addition to the above objects, an object of the present invention is to provide a wiring device which can be downsized.

【０００９】また、請求項５〜７の発明は、接続に要す
る時間、即ち、時間軸を考慮した自由な配線ができる配
線装置を得ることを目的とする。It is another object of the present invention to provide a wiring device which allows free wiring in consideration of a time required for connection, that is, a time axis.

【００１０】[0010]

【課題を解決するための手段】請求項１の発明に係る配
線装置は、空間光変調器又は外部から光を受光すると、
その光の透過又は電気信号の出力のうちの少なくとも一
方を行う複数の受光素子からなる受光素子アレイを設け
たものである。A wiring device according to the invention of claim 1 receives light from a spatial light modulator or from the outside,
A light receiving element array including a plurality of light receiving elements for transmitting at least one of the light and outputting an electric signal is provided.

【００１１】請求項２の発明に係る配線装置は、予め、
所定の区域毎に光の透過状態及び感度が設定され、発光
素子アレイ又は外部から光を受光すると、受光した区域
の光の透過状態にしたがってその光を透過又は遮断する
とともに、受光した区域の光の感度の絶対値が所定値以
上であれば電気信号を出力する受光素子アレイを設けた
ものである。A wiring device according to a second aspect of the present invention is provided in advance.
The light transmission state and sensitivity are set for each predetermined area, and when light is received from the light emitting element array or from the outside, the light is transmitted or blocked according to the light transmission state of the received area, and the light of the received area is received. A light-receiving element array that outputs an electric signal when the absolute value of the sensitivity is equal to or greater than a predetermined value is provided.

【００１２】請求項３の発明に係る配線装置は、電気信
号が入力されると自己の内部状態に応じて光を発光する
複数の発光素子からなる発光素子アレイを設けるととも
に、その発光素子アレイ又は外部から光を受光すると、
その光の透過又は電気信号の出力のうちの少なくとも一
方を行う複数の受光素子からなる受光素子アレイを設け
たものである。According to a third aspect of the present invention, a wiring device is provided with a light emitting element array including a plurality of light emitting elements that emit light according to an internal state of itself when an electric signal is input. When receiving light from the outside,
A light receiving element array including a plurality of light receiving elements for transmitting at least one of the light and outputting an electric signal is provided.

【００１３】請求項４の発明に係る配線装置は、複数の
波長の光を発光する発光素子アレイを設けるとともに、
所定の波長の光のみ検出する受光素子アレイを設けたも
のである。A wiring device according to a fourth aspect of the present invention is provided with a light emitting element array for emitting light of a plurality of wavelengths, and
A light receiving element array for detecting only light of a predetermined wavelength is provided.

【００１４】請求項５の発明に係る配線装置は、電気信
号が入力されてから所定時間経過後に光を発光する発光
素子アレイを設けたものである。According to a fifth aspect of the present invention, a wiring device is provided with a light emitting element array that emits light after a predetermined time has elapsed since an electric signal was input.

【００１５】請求項６の発明に係る配線装置は、光を受
光してから所定時間経過後に、その光の透過又は電気信
号の出力のうちの少なくとも一方を行う受光素子アレイ
を設けたものである。According to a sixth aspect of the present invention, there is provided a wiring device provided with a light receiving element array which transmits at least one of light and outputs an electric signal after a predetermined time has elapsed after receiving light. .

【００１６】請求項７の発明に係る配線装置は、光を受
光してから所定時間経過後に、その光を透過する空間光
変調器を設けたものである。The wiring device according to the invention of claim 7 is provided with a spatial light modulator which transmits the light after a predetermined time has elapsed after receiving the light.

【００１７】[0017]

【作用】請求項１〜３の発明における受光素子アレイ
は、発光素子アレイから発光された光を受光することに
よって、同一平面内に配列されたチップ等と接続し、発
光素子アレイから発光された光を透過することによっ
て、３次元的に配列されたチップ等と接続する。The light-receiving element array according to the present invention is connected to chips or the like arranged in the same plane by receiving the light emitted from the light-emitting element array, and emitted from the light-emitting element array. By transmitting light, it is connected to chips and the like arranged three-dimensionally.

【００１８】請求項４の発明における受光素子アレイ
は、所定の波長の光のみ検出するため、波長によって接
続先を決定できる。Since the light receiving element array according to the invention of claim 4 detects only light of a predetermined wavelength, the connection destination can be determined by the wavelength.

【００１９】請求項５の発明における発光素子アレイ
は、所定期間、電気信号が入力されたことを記憶する。In the light emitting element array according to the fifth aspect of the present invention, the fact that the electric signal is input is stored for a predetermined period.

【００２０】請求項６の発明における受光素子アレイ
は、所定期間、光を受光したことを記憶する。According to the sixth aspect of the invention, the light receiving element array stores that light is received for a predetermined period.

【００２１】請求項７の発明における空間光変調器は、
所定期間、光を受光したことを記憶する。A spatial light modulator according to the invention of claim 7 is
The fact that light is received is stored for a predetermined period.

【００２２】[0022]

【実施例】【Example】

実施例１．以下、この発明の一実施例を図について説明
する。図１は請求項１の発明に係る配線装置を示す構成
図であり、図において、従来のものと同一符号は同一ま
たは相当部分を示すので説明を省略する。１１は電気信
号３が入力されると光４を発光する複数の発光素子１２
からなる発光素子アレイ、１３は予め、所定の区域１４
毎に光の透過状態が設定され、発光素子アレイ１１によ
り発光された光４を受光すると、受光した区域１４の光
の透過状態にしたがってその光４を透過又は遮断する空
間光変調器、１５は空間光変調器１３又は外部から光４
を受光すると、その光４の透過又は電気信号７の出力の
うちの少なくとも一方を行う複数の受光素子１６からな
る受光素子アレイである。なお、発光素子アレイ１１と
空間光変調器１３と受光素子アレイ１５は、説明の便宜
のため図中離れているように示したが、実際には直接重
ねられ、あるいは、間にガラスやレンズ等の光を透過す
る物質を挟んで重ねられている。Example 1. An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a configuration diagram showing a wiring device according to the invention of claim 1. In the figure, the same reference numerals as those of the conventional one indicate the same or corresponding portions, and therefore the description thereof will be omitted. Reference numeral 11 denotes a plurality of light emitting elements 12 that emit light 4 when an electric signal 3 is input.
The light emitting element array 13 is composed of a predetermined area 14 in advance.
A light transmission state is set for each, and when the light 4 emitted by the light emitting element array 11 is received, the spatial light modulator 15, which transmits or blocks the light 4 according to the light transmission state of the received area 14, Light 4 from the spatial light modulator 13 or the outside
Is a light-receiving element array including a plurality of light-receiving elements 16 that transmits at least one of the transmission of the light 4 and the output of the electric signal 7. Although the light emitting element array 11, the spatial light modulator 13, and the light receiving element array 15 are shown as separated in the figure for convenience of description, in reality, they are directly overlapped with each other, or glass, a lens, or the like is provided therebetween. The light-transmitting substances are sandwiched in between.

【００２３】次に動作について説明する。まず、例え
ば、電気信号入力端子Ｘ1 、Ｘ2 に電気信号３が入力さ
れると、左から１番目及び２番目の発光素子１２が線状
の光４を発光する。これにより、（１，ｋ）、（２，
ｋ）の座標（但し、ｋは１〜５の整数）を有する空間光
変調器１３の区域１４に光４が照射されるが、例えば、
座標（１，５）、（２，３）の区域１４のみ光を透過さ
せる状態に設定されているとすると、図１に示すよう
に、座標（１，５）、（２，３）の区域１４からのみ光
４が透過され、他の区域１４からは光４が透過されない
ことになる。Next, the operation will be described. First, for example, when the electric signal 3 is input to the electric signal input terminals X 1 and X 2 , the first and second light emitting elements 12 from the left emit linear light 4. As a result, (1, k), (2,
The area 4 of the spatial light modulator 13 having the coordinates of k) (where k is an integer of 1 to 5) is irradiated with the light 4, for example,
Assuming that the area 14 having coordinates (1, 5) and (2, 3) is set to transmit light, as shown in FIG. 1, areas having coordinates (1, 5) and (2, 3) The light 4 is transmitted only from 14, and the light 4 is not transmitted from the other areas 14.

【００２４】そして、空間光変調器１３を透過してきた
光４は、前から３番目及び５番目の受光素子１６に照射
されるが、例えば、前から３番目の受光素子１６が光を
透過させない物質でできている場合には、図１に示すよ
うに、光４を外部に透過することなく、電気信号出力端
子Ｙ3 から電気信号７を出力する。一方、前から５番目
の受光素子１６が光の一部を透過させる物質でできてい
る場合には、図１に示すように、光４を外部に透過する
とともに、電気信号出力端子Ｙ5 から電気信号７を出力
する（但し、光４を外部に透過することのみを目的にす
る場合には電気信号７を出力しなくともよい。）。The light 4 transmitted through the spatial light modulator 13 is applied to the third and fifth light receiving elements 16 from the front, but for example, the third light receiving element 16 from the front does not transmit light. When it is made of a material, as shown in FIG. 1, the electric signal 7 is output from the electric signal output terminal Y 3 without transmitting the light 4 to the outside. On the other hand, when the fifth light receiving element 16 from the front is made of a substance that transmits a part of light, as shown in FIG. 1, the light 4 is transmitted to the outside and the electric signal output terminal Y 5 The electric signal 7 is output (however, when the purpose is only to transmit the light 4 to the outside, the electric signal 7 may not be output).

【００２５】従って、この場合には、電気信号入力端子
Ｘ1 と電気信号出力端子Ｙ5 及び電気信号入力端子Ｘ2
と電気信号出力端子Ｙ3 が接続されることになるが、空
間光変調器１３の光の透過状態を任意に設定することに
より、任意の電気信号入力端子と電気信号出力端子を接
続することができる。Therefore, in this case, the electric signal input terminal X 1 , the electric signal output terminal Y 5 and the electric signal input terminal X 2
The electric signal output terminal Y 3 is connected to the electric signal output terminal Y 3. However, by arbitrarily setting the light transmission state of the spatial light modulator 13, the electric signal input terminal and the electric signal output terminal can be connected. it can.

【００２６】また、前から５番目の受光素子１６が光４
を透過させたように、外部にある他の配線装置（図示せ
ず）が光４を透過させた結果、受光素子１６がその光４
を受光すると、電気信号７を出力することになる。図１
では前から４番目の受光素子１６が光４を受光して電気
信号出力端子Ｙ4 から電気信号７を出力している。従っ
て、外部にある他の配線装置と当該配線装置の電気信号
出力端子Ｙ4 が接続されることになる。The fifth light receiving element 16 from the front is the light 4
As described above, another wiring device (not shown) located outside causes the light 4 to pass therethrough.
When the light is received, the electric signal 7 is output. Figure 1
Then, the fourth light receiving element 16 from the front receives the light 4 and outputs the electric signal 7 from the electric signal output terminal Y 4 . Therefore, the other external wiring device is connected to the electric signal output terminal Y 4 of the wiring device.

【００２７】ここで、このように、外部にある他の配線
装置との接続を行う場合の適用例を説明する。例えば、
図２では、複数のウエハー１７の平面内に、配線装置と
複数のチップ１８を電気配線により接続し、各配線装置
間で光４を送受信できるように配置する（各ウエハー間
にレンズ、ファイバ等の光学部品を配置してもよい）こ
とによって、各ウエハー１７に配列（３次元的に配列）
されたチップ１８間の配線が可能になる。また、図３
は、ウエハー１７の代わりにボード１９を用いたもので
ある。Here, an application example in the case of connecting to another external wiring device will be described. For example,
In FIG. 2, a wiring device and a plurality of chips 18 are connected to each other in the plane of a plurality of wafers 17 by electric wiring and arranged so that light 4 can be transmitted and received between the wiring devices (lenses, fibers, etc. between the wafers). Optical components may be arranged) so that they are arranged on each wafer 17 (three-dimensionally arranged).
Wiring between the formed chips 18 becomes possible. Also, FIG.
In this example, a board 19 is used instead of the wafer 17.

【００２８】実施例２．なお、上記実施例１では、受光
素子１６が光４を透過させるものについて説明したが、
発光素子アレイ１１と受光素子アレイ１５をずらして重
ねることにより、光４を外部に透過させてもよいし、受
光素子アレイ１５の一部に穴をあけることにより、光４
を外部に透過させてもよい。Example 2. In the first embodiment described above, the light receiving element 16 transmits the light 4; however,
The light 4 may be transmitted to the outside by shifting the light emitting element array 11 and the light receiving element array 15 so as to overlap each other, or by making a hole in a part of the light receiving element array 15, the light 4 may be transmitted.
May be transmitted to the outside.

【００２９】実施例３．図４は請求項２の発明に係る配
線装置を示す構成図であり、図において、２１は予め、
所定の区域２２毎に光の透過状態及び感度が設定され、
発光素子アレイ１１又は外部から光４を受光すると、受
光した区域２２の光の透過状態にしたがってその光４を
透過又は遮断するとともに、受光した区域２２の光の感
度がゼロでなければ（感度の絶対値が所定値以上であれ
ば）電気信号７を出力する感度可変受光素子２次元アレ
イ（受光素子アレイ）である。Example 3. FIG. 4 is a configuration diagram showing a wiring device according to the invention of claim 2, in which reference numeral 21 indicates in advance.
The light transmission state and the sensitivity are set for each predetermined area 22,
When the light 4 is received from the light emitting element array 11 or the outside, the light 4 is transmitted or blocked according to the light transmission state of the received area 22, and the sensitivity of the light of the received area 22 is not zero ( This is a two-dimensional array of variable-sensitivity light-receiving elements (light-receiving element array) that outputs an electric signal 7 if the absolute value is a predetermined value or more.

【００３０】次に動作について説明する。まず、例え
ば、電気信号入力端子Ｘ1 、Ｘ2 に電気信号３が入力さ
れると、左から１番目及び２番目の発光素子１２が線状
の光４を発光する。これにより、（１，ｋ）、（２，
ｋ）の座標（但し、ｋは１〜５の整数）を有する感度可
変受光素子２次元アレイ２１の感度可変受光素子２２に
光４が照射されるが、例えば、座標（１，５）の感度可
変受光素子２２のみ光を透過させる物質でできていれ
ば、図４に示すように、座標（１，５）の感度可変受光
素子２２からのみ光４が透過されて外部の他の配線装置
と接続され、他の感度可変受光素子２２からは光４が透
過されないことになる。Next, the operation will be described. First, for example, when the electric signal 3 is input to the electric signal input terminals X 1 and X 2 , the first and second light emitting elements 12 from the left emit linear light 4. As a result, (1, k), (2,
Light 4 is applied to the variable sensitivity light receiving element 22 of the variable sensitivity light receiving element two-dimensional array 21 having the coordinate of k) (where k is an integer of 1 to 5). If only the variable light receiving element 22 is made of a substance that transmits light, as shown in FIG. 4, the light 4 is transmitted only from the sensitivity variable light receiving element 22 at the coordinates (1, 5), and the variable light receiving element 22 is connected to another wiring device outside. The light 4 is connected and the light 4 is not transmitted from the other sensitivity variable light receiving element 22.

【００３１】そして、座標（１，５）、（２，３）にお
ける感度可変受光素子２２の感度がゼロでなければ、感
度可変受光素子２２から電気信号７が出力され、電気信
号入力端子Ｘ1 と電気信号出力端子Ｙ5 及び電気信号入
力端子Ｘ2 と電気信号出力端子Ｙ3 が接続されることに
なる。逆に、感度がゼロであれば、感度可変受光素子２
２から電気信号７が出力されず、上記のような接続はさ
れないことになる。従って、各感度可変受光素子２２の
感度を任意に設定することにより、任意の電気信号入力
端子と電気信号出力端子を接続することができる。If the sensitivity of the variable sensitivity light receiving element 22 at coordinates (1, 5) and (2, 3) is not zero, the variable sensitivity light receiving element 22 outputs the electric signal 7 and the electric signal input terminal X 1 The electric signal output terminal Y 5 and the electric signal input terminal X 2 are connected to the electric signal output terminal Y 3 . On the contrary, if the sensitivity is zero, the variable sensitivity light receiving element 2
The electric signal 7 is not output from 2 and the above connection is not made. Therefore, by arbitrarily setting the sensitivity of each sensitivity variable light receiving element 22, it is possible to connect an arbitrary electric signal input terminal and an electric signal output terminal.

【００３２】なお、感度可変受光素子２２の具体例とし
ては、半導体基板上に一対のショットキー電極を設けた
いわゆる金属−半導体−金属（ＭＳＭ）構造があり、光
を受けたときの出力電流を印加電圧によって変えること
ができる。As a specific example of the variable sensitivity light receiving element 22, there is a so-called metal-semiconductor-metal (MSM) structure in which a pair of Schottky electrodes are provided on a semiconductor substrate, and the output current when receiving light is It can be changed by the applied voltage.

【００３３】実施例４．図５は請求項３の発明に係る配
線装置を示す構成図であり、図において、１は電気信号
３が入力されると自己の内部状態に応じて光４を発光す
る複数の光サイリスタ（発光素子）２からなる光サイリ
スタ２次元アレイ（発光素子アレイ）、１５は光サイリ
スタ２次元アレイ１又は外部から光４を受光すると、そ
の光４の透過又は電気信号７の出力のうちの少なくとも
一方を行う複数の受光素子１６からなる受光素子アレイ
である。Example 4. FIG. 5 is a block diagram showing a wiring device according to the invention of claim 3, wherein in FIG. 1, reference numeral 1 denotes a plurality of optical thyristors (light-emitting devices) that emit light 4 according to their internal states when an electric signal 3 is input. When a light 4 is received from the optical thyristor two-dimensional array 1 or the outside, an optical thyristor two-dimensional array (light emitting element array) 15 composed of elements 2 outputs at least one of the transmission of the light 4 and the output of the electric signal 7. The light receiving element array is composed of a plurality of light receiving elements 16.

【００３４】次に動作について説明する。まず、光サイ
リスタ２は内部状態としてオン状態とオフ状態があり、
オン状態のとき電気信号３を入力されると光４を発光す
るが、オフ状態のとき電気信号３を入力されても光４を
発光しない。Next, the operation will be described. First, the optical thyristor 2 has an ON state and an OFF state as internal states,
When the electrical signal 3 is input in the on state, the light 4 is emitted, but when the electrical signal 3 is input in the off state, the light 4 is not emitted.

【００３５】例えば、電気信号入力端子Ｘ1 と電気信号
出力端子Ｙ5 及び電気信号入力端子Ｘ2 と電気信号出力
端子Ｙ3 を接続する場合、座標（１，５）、（２，３）
の光サイリスタ２をオン状態にしておき、電気信号入力
端子Ｘ1 、Ｘ2 に電気信号３を入力する。これにより座
標（１，５）、（２，３）の光サイリスタ２から光４が
発光され、前から３番目及び５番目の受光素子１６がこ
の光４を受光することになる。以下、受光素子アレイ１
５の動作については、実施例１で説明しているので省略
する。従って、各光サイリスタ２の内部状態を任意に設
定することにより、任意の電気信号入力端子と電気信号
出力端子を接続することができる。For example, when the electric signal input terminal X 1 and the electric signal output terminal Y 5 and the electric signal input terminal X 2 and the electric signal output terminal Y 3 are connected, coordinates (1, 5), (2, 3)
The optical thyristor 2 is turned on, and the electric signal 3 is input to the electric signal input terminals X 1 and X 2 . As a result, the light 4 is emitted from the optical thyristor 2 having the coordinates (1, 5) and (2, 3), and the third and fifth light receiving elements 16 from the front receive the light 4. Hereinafter, the light receiving element array 1
Since the operation of No. 5 has been described in the first embodiment, the description thereof will be omitted. Therefore, by arbitrarily setting the internal state of each optical thyristor 2, it is possible to connect an arbitrary electric signal input terminal and an electric signal output terminal.

【００３６】実施例５．また、上記実施例４では、光サ
イリスタ２次元アレイ１と実施例１と同様の受光素子ア
レイ１５を重ねて構成したものについて説明したが、光
サイリスタ２次元アレイ１と感度可変受光素子２次元ア
レイ２１を重ねて構成しても、上記実施例４と同様の効
果を奏する。Example 5. In the fourth embodiment, the optical thyristor two-dimensional array 1 and the light receiving element array 15 similar to that of the first embodiment are overlapped, but the optical thyristor two-dimensional array 1 and the variable sensitivity light receiving element two-dimensional array are described. Even if 21 is stacked, the same effect as that of the above-described fourth embodiment can be obtained.

【００３７】実施例６．また、上記実施例では、発光素
子アレイ、受光素子アレイ又は空間光変調器で接続先を
決定するものについて説明したが、複数の波長の光を発
光する発光素子アレイを設けるとともに、所定の波長の
光のみ検出する受光素子アレイを設け、波長によって接
続先を決定するようにしてもよい。Example 6. Further, in the above-mentioned embodiment, the light emitting element array, the light receiving element array or the spatial light modulator is used to determine the connection destination, but a light emitting element array for emitting light of a plurality of wavelengths is provided, and a predetermined wavelength A light receiving element array that detects only light may be provided, and the connection destination may be determined depending on the wavelength.

【００３８】実施例７．図６は請求項５の発明に係る配
線装置を示す構成図であり、図において、２３は電気信
号３が入力されてから所定時間経過後に光４を発光する
発光素子アレイ、２４は光サイリスタである。Example 7. FIG. 6 is a block diagram showing a wiring device according to the invention of claim 5, in which 23 is a light emitting element array that emits light 4 after a predetermined time has elapsed after the electric signal 3 is input, and 24 is an optical thyristor. is there.

【００３９】次に動作について説明する。例えば、座標
（１，５）、（２，３）の光サイリスタ２４のみがオン
状態になっているときに、電気信号入力端子Ｘ1 、Ｘ2
に電気信号が入力されると、座標（１，５）、（２，
３）の光サイリスタ２４は、直ちに光４を発光せずに、
電気信号３が入力されたことを記憶し、所定時間経過後
（例えば、１秒後）に光４を発光する。以下、空間光変
調器１３及び受光素子アレイ１５の動作については、実
施例１と同様であるため説明を省略する。Next, the operation will be described. For example, when only the optical thyristor 24 having the coordinates (1, 5) and (2, 3) is in the ON state, the electric signal input terminals X 1 and X 2 are input.
When an electric signal is input to, coordinates (1, 5), (2,
The optical thyristor 24 of 3) does not immediately emit the light 4,
The input of the electric signal 3 is stored, and the light 4 is emitted after a predetermined time has elapsed (for example, 1 second). Hereinafter, the operations of the spatial light modulator 13 and the light receiving element array 15 are the same as those in the first embodiment, and thus the description thereof will be omitted.

【００４０】従って、この配線装置を用いれば、パラレ
ル−シリアル変換を行うことができる。つまり、複数の
電気信号入力端子に同時に入力されてきた電気信号３
を、各光サイルスタ２４において異なる期間保持し、同
じ電気信号出力端子（例えば、Ｙ3 ）から時系列的に電
気信号７を出力するようにすれば、パラレル−シリアル
変換を行うことができる。また、詳述はしないが、電気
信号を保持する期間を任意に設定すれば、シリアル−パ
ラレル変換や時系列信号の並び換えも行うことができ
る。Therefore, by using this wiring device, parallel-serial conversion can be performed. That is, the electric signals 3 input to the plurality of electric signal input terminals at the same time
Is held in each optical thyristor 24 for different periods, and the electric signal 7 is output in time series from the same electric signal output terminal (for example, Y 3 ), parallel-serial conversion can be performed. Although not described in detail, serial-parallel conversion and time-series signal rearrangement can be performed by arbitrarily setting a period for holding an electric signal.

【００４１】実施例８．また、上記実施例７では、図５
を用いて説明したが、これに限る必要はなく、実施例１
〜６における発光素子アレイに、電気信号を所定期間保
持する機能を付加すれば、実施例７と同様の効果を奏す
ることができる。Example 8. Further, in the above-mentioned Example 7, FIG.
However, the present invention is not limited to this.
By adding the function of holding the electric signal for a predetermined period to the light emitting element arrays in 6 to 6, the same effect as that of the seventh embodiment can be obtained.

【００４２】実施例９．また、上記実施例７では、光サ
イリスタ２４が電気信号３を所定期間保持するものにつ
いて説明したが、外部からの光４を光サイリスタ２４が
受光することによって、光サイリスタ２４の内部状態を
設定し、その光４を受けてから所定期間経過後に光４を
発光するようにしてもよい。Example 9. In the seventh embodiment, the optical thyristor 24 holds the electric signal 3 for a predetermined period, but the optical thyristor 24 receives the light 4 from the outside to set the internal state of the optical thyristor 24. Alternatively, the light 4 may be emitted after a predetermined period has elapsed after receiving the light 4.

【００４３】実施例１０．また、上記実施例７では、発
光素子２３に電気信号３を所定期間保持する機能を付加
したが、図７のように、受光素子アレイ２６にかかる機
能を付加してもよい。信号の保持は、光生成キャリアを
保持するキャパシタンスのようなものでもよい。Example 10. Further, in the seventh embodiment, the function of holding the electric signal 3 for a predetermined period is added to the light emitting element 23, but the function of the light receiving element array 26 may be added as shown in FIG. The signal retention may be like a capacitance that retains photogenerated carriers.

【００４４】実施例１１．また、上記実施例７では、発
光素子２３に電気信号３を所定期間保持する機能を付加
したが、空間光変調器１３にかかる機能を付加してもよ
い。Example 11. Further, in the seventh embodiment, the function of holding the electric signal 3 for a predetermined period is added to the light emitting element 23, but the function of the spatial light modulator 13 may be added.

【００４５】実施例１２．また、上記実施例では、外部
にある他の配線装置との接続は上方向から行うものにつ
いて説明したが、これに限る必要はなく、下方向や横方
向等から行うようにしてもよい。Example 12. Further, in the above-described embodiment, the connection with the other external wiring device is described as being performed from above, but the connection is not limited to this, and the connection may be performed from below or laterally.

【００４６】実施例１３．また、上記実施例では、電気
信号入力端子と電気信号出力端子を５個づつ設けたもの
を示したが、これに限る必要はない。Example 13. In the above embodiment, five electric signal input terminals and five electric signal output terminals are provided, but the number is not limited to this.

【００４７】[0047]

【発明の効果】以上のように、請求項１の発明によれ
ば、空間光変調器又は外部から光を受光すると、その光
の透過又は電気信号の出力のうちの少なくとも一方を行
う複数の受光素子からなる受光素子アレイを設けた構成
にしたので、平面内の配線に限らず、３次元的に配列さ
れたチップ等間を配線できるなどの効果がある。As described above, according to the first aspect of the present invention, when light is received from the spatial light modulator or the outside, a plurality of light receiving devices that perform at least one of transmission of the light and output of an electric signal are received. Since the light receiving element array including the elements is provided, the effect is not limited to the wiring within the plane, but can be provided between the three-dimensionally arranged chips and the like.

【００４８】請求項２の発明によれば、予め、所定の区
域毎に光の透過状態及び感度が設定され、発光素子アレ
イ又は外部から光を受光すると、受光した区域の光の透
過状態にしたがってその光を透過又は遮断するととも
に、受光した区域の光の感度が所定値以上であれば電気
信号を出力する受光素子アレイを設けた構成にしたの
で、平面内の配線に限らず、３次元的に配列されたチッ
プ等間を配線できるなどの効果がある。According to the second aspect of the present invention, the light transmission state and the sensitivity are set in advance for each predetermined area, and when light is received from the light emitting element array or the outside, the light transmission state of the received area is changed according to the light transmission state. The light receiving element array that transmits or blocks the light and outputs an electric signal if the light sensitivity of the received area is equal to or higher than a predetermined value is provided. There is an effect that wiring can be provided between the chips and the like arranged in the.

【００４９】請求項３の発明によれば、電気信号が入力
されると自己の内部状態に応じて光を発光する複数の発
光素子からなる発光素子アレイを設けるとともに、その
発光素子アレイ又は外部から光を受光すると、その光の
透過又は電気信号の出力のうちの少なくとも一方を行う
複数の受光素子からなる受光素子アレイを設けた構成に
したので、平面内の配線に限らず、３次元的に配列され
たチップ等間を配線できるなどの効果がある。According to the third aspect of the invention, a light emitting element array including a plurality of light emitting elements that emit light according to the internal state of the light emitting element is provided when an electric signal is input, and the light emitting element array or the outside is provided. When the light is received, the light receiving element array including a plurality of light receiving elements that transmits at least one of the light and outputs the electric signal is provided. There is an effect that wiring can be provided between the arranged chips and the like.

【００５０】請求項４の発明によれば、複数の波長の光
を発光する発光素子アレイを設けるとともに、所定の波
長の光のみ検出する受光素子アレイを設けた構成にした
ので、空間光変調器等を設けなくとも接続先を決定で
き、従って、装置が小型になるなどの効果がある。According to the invention of claim 4, the light emitting element array for emitting light of a plurality of wavelengths is provided, and the light receiving element array for detecting only light of a predetermined wavelength is provided. Therefore, the spatial light modulator. The connection destination can be determined without the provision of the above, and therefore, there is an effect that the device is downsized.

【００５１】請求項５の発明によれば、電気信号が入力
されてから所定時間経過後に光を発光する発光素子アレ
イを設けた構成にしたので、時間軸を考慮した自由な配
線ができ、従って、パラレル−シリアル変換や時系列信
号の並び変え等を行うことができるなどの効果がある。According to the fifth aspect of the present invention, since the light emitting element array that emits light is provided after a lapse of a predetermined time from the input of the electric signal, the wiring can be freely performed in consideration of the time axis. , Parallel-serial conversion and rearrangement of time-series signals can be performed.

【００５２】請求項６の発明によれば、光を受光してか
ら所定時間経過後に、その光の透過又は電気信号の出力
のうちの少なくとも一方を行う受光素子アレイを設けた
構成にしたので、時間軸を考慮した自由な配線ができ、
従って、パラレル−シリアル変換や時系列信号の並び変
え等を行うことができるなどの効果がある。According to the invention of claim 6, the light receiving element array for transmitting at least one of the light and the output of the electric signal is provided after a predetermined time has elapsed since the light was received. Free wiring can be done considering the time axis,
Therefore, it is possible to perform parallel-serial conversion, rearrangement of time-series signals, and the like.

【００５３】請求項７の発明によれば、光を受光してか
ら所定時間経過後に、その光を透過する空間光変調器を
設けた構成にしたので、時間軸を考慮した自由な配線が
でき、従って、パラレル−シリアル変換や時系列信号の
並び変え等を行うことができるなどの効果がある。According to the invention of claim 7, the spatial light modulator for transmitting the light is provided after a predetermined time has elapsed after receiving the light, so that the wiring can be freely performed in consideration of the time axis. Therefore, there is an effect that parallel-serial conversion and rearrangement of time-series signals can be performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図１】請求項１の発明に係る配線装置を示す構成図で
ある。FIG. 1 is a configuration diagram showing a wiring device according to a first aspect of the invention.

【図２】配線装置を適用した情報処理装置を示す構成図
である。FIG. 2 is a configuration diagram showing an information processing device to which a wiring device is applied.

【図３】配線装置を適用した情報処理装置を示す構成図
である。FIG. 3 is a configuration diagram showing an information processing device to which a wiring device is applied.

【図４】請求項２の発明に係る配線装置を示す構成図で
ある。FIG. 4 is a configuration diagram showing a wiring device according to a second aspect of the invention.

【図５】請求項３の発明に係る配線装置を示す構成図で
ある。FIG. 5 is a configuration diagram showing a wiring device according to a third aspect of the invention.

【図６】請求項５の発明に係る配線装置を示す構成図で
ある。FIG. 6 is a configuration diagram showing a wiring device according to a fifth aspect of the invention.

【図７】請求項６の発明に係る配線装置を示す構成図で
ある。FIG. 7 is a configuration diagram showing a wiring device according to a sixth aspect of the invention.

【図８】従来の配線装置を示す構成図である。FIG. 8 is a configuration diagram showing a conventional wiring device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

１ 光サイリスタ２次元アレイ（発光素子アレイ） ２ 光サイリスタ（発光素子） １１、２３ 発光素子アレイ １２ 発光素子 １３ 空間光変調器 １５、２５ 受光素子アレイ １６ 受光素子 ２１ 感度可変受光素子２次元アレイ（受光素子アレ
イ）1 Optical thyristor 2 dimensional array (light emitting element array) 2 Optical thyristor (light emitting element) 11, 23 Light emitting element array 12 Light emitting element 13 Spatial light modulator 15, 25 Light receiving element array 16 Light receiving element 21 Sensitivity variable light receiving element 2 dimensional array ( Light receiving element array)

─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成５年２月１０日[Submission date] February 10, 1993

【手続補正１】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】００２５[Name of item to be corrected] 0025

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【００２５】従って、この場合には、電気信号入力端子
Ｘ1 と電気信号出力端子Ｙ5 及び電気信号入力端子Ｘ2
と電気信号出力端子Ｙ3 及び電気信号入力端子Ｘ1 と外
部の装置が接続されることになるが、空間光変調器１３
の光の透過状態を任意に設定することにより、任意の電
気信号入力端子と電気信号出力端子を接続することがで
きる。Therefore, in this case, the electric signal input terminal X 1 , the electric signal output terminal Y 5 and the electric signal input terminal X 2
And electrical signal output terminal Y 3 and electrical signal input terminal X 1 and outside
Part of the device is connected , the spatial light modulator 13
By arbitrarily setting the light transmission state of, the electric signal input terminal and the electric signal output terminal can be connected.

【手続補正２】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】００３９[Correction target item name] 0039

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【００３９】次に動作について説明する。例えば、電気
信号入力端子Ｘ1 、Ｘ2 に電気信号が入力されたとき、
各信号を座標（１，５）、（２，３）の光サイリスタの
状態で記憶する。そしてこれらの光サイリスタは所定時
間経過後（例えば、１秒後）に光４として信号を出力す
る。以下、空間光変調器１３及び受光素子アレイ１５の
動作については、実施例１と同様であるため説明を省略
する。Next, the operation will be described. For example, electricity
When an electric signal is input to the signal input terminals X 1 and X 2 ,
Each signal of the optical thyristor of coordinates (1,5), (2,3)
Remember in the state. And these optical thyristors are
Output a signal as light 4 after a lapse of time (for example, 1 second)
It Hereinafter, the operations of the spatial light modulator 13 and the light receiving element array 15 are the same as those in the first embodiment, and thus the description thereof will be omitted.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項１】 電気信号が入力されると光を発光する複
数の発光素子からなる発光素子アレイと、予め、所定の
区域毎に光の透過状態が設定され、上記発光素子アレイ
により発光された光を受光すると、受光した区域の光の
透過状態にしたがってその光を透過又は遮断する空間光
変調器と、上記空間光変調器又は外部から光を受光する
と、その光の透過又は電気信号の出力のうちの少なくと
も一方を行う複数の受光素子からなる受光素子アレイと
を備えた配線装置。1. A light emitting element array comprising a plurality of light emitting elements that emit light when an electric signal is input, and a light transmission state is set in advance for each predetermined area, and light is emitted by the light emitting element array. When light is received, a spatial light modulator that transmits or blocks the light according to the light transmission state of the received area, and when light is received from the spatial light modulator or the outside, the light is transmitted or an electric signal is output. A wiring device including a light receiving element array including a plurality of light receiving elements for performing at least one of the above. 【請求項２】 電気信号が入力されると光を発光する複
数の発光素子からなる発光素子アレイと、予め、所定の
区域毎に光の透過状態及び感度が設定され、上記発光素
子アレイ又は外部から光を受光すると、受光した区域の
光の透過状態にしたがってその光を透過又は遮断すると
ともに、受光した区域の光の感度の絶対値が所定値以上
であれば電気信号を出力する受光素子アレイとを備えた
配線装置。2. A light emitting element array comprising a plurality of light emitting elements that emit light when an electric signal is input, and a light transmission state and sensitivity are set in advance for each predetermined area, and the light emitting element array or the external When light is received from the light receiving element array, the light is transmitted or blocked according to the light transmission state of the received area, and an electric signal is output if the absolute value of the light sensitivity of the received area is a predetermined value or more. Wiring device equipped with. 【請求項３】 電気信号が入力されると自己の内部状態
に応じて光を発光する複数の発光素子からなる発光素子
アレイと、上記発光素子アレイ又は外部から光を受光す
ると、その光の透過又は電気信号の出力のうちの少なく
とも一方を行う複数の受光素子からなる受光素子アレイ
とを備えた配線装置。3. A light emitting element array comprising a plurality of light emitting elements which emit light in response to an internal state of itself when an electric signal is inputted, and when the light is received from the light emitting element array or the outside, the light is transmitted. Alternatively, a wiring device including a light-receiving element array including a plurality of light-receiving elements that outputs at least one of electric signal outputs. 【請求項４】 上記発光素子アレイは、複数の波長の光
を発光するとともに、上記受光素子アレイは、所定の波
長の光のみ検出するようにしたことを特徴とする請求項
１、請求項２、請求項３いずれか１項記載の配線装置。4. The light emitting element array emits light of a plurality of wavelengths, and the light receiving element array detects only light of a predetermined wavelength. The wiring device according to claim 3. 【請求項５】 上記発光素子アレイは、電気信号が入力
されてから所定時間経過後に光を発光するようにしたこ
とを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３いずれか
１項記載の配線装置。5. The light emitting element array according to claim 1, wherein the light emitting element array emits light after a lapse of a predetermined time after an electric signal is input. Wiring device. 【請求項６】 上記受光素子アレイは、光を受光してか
ら所定時間経過後に、その光の透過又は電気信号の出力
のうちの少なくとも一方を行うようにしたことを特徴と
する請求項１、請求項２または請求項３記載の配線装
置。6. The light receiving element array is configured to perform at least one of transmission of light and output of an electric signal after a predetermined time has elapsed after receiving light. The wiring device according to claim 2 or 3. 【請求項７】 上記空間光変調器は、光を受光してから
所定時間経過後に、その光を透過するようにしたことを
特徴とする請求項１記載の配線装置。7. The wiring device according to claim 1, wherein the spatial light modulator transmits the light after a predetermined time has elapsed after receiving the light.
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