JPH06156723A - Magazine carrying mechanism - Google Patents

Magazine carrying mechanism

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Publication number
JPH06156723A
JPH06156723A JP33362192A JP33362192A JPH06156723A JP H06156723 A JPH06156723 A JP H06156723A JP 33362192 A JP33362192 A JP 33362192A JP 33362192 A JP33362192 A JP 33362192A JP H06156723 A JPH06156723 A JP H06156723A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magazine
transport
carrying
roller
transport mechanism
Prior art date
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Pending
Application number
JP33362192A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Kikuo Goto
喜久雄 後藤
Mitsuhiro Nishizaki
光広 西崎
Hideaki Miyoshi
秀明 三好
Katsuro Yanagida
克郎 柳田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kaijo Corp
Sony Corp
Original Assignee
Kaijo Corp
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kaijo Corp, Sony Corp filed Critical Kaijo Corp
Priority to JP33362192A priority Critical patent/JPH06156723A/en
Publication of JPH06156723A publication Critical patent/JPH06156723A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)

Abstract

PURPOSE:To reduce the generation of dust and eliminate the happening of trouble in the carrying by arranging plural carrying rollers each having a nearly horizontal rotary shaft, which nearly orthogonally crosses the direction of the carrying route, along the carrying route. CONSTITUTION:One end of each rotary shaft 7 is projected outside through a side piece 6a of a roller support body 6, and a pulley 8 is fixed to the projecting end thereof. Carrying rollers 9 are fixed to both ends of each rotary shaft 7 at a part between side pieces 6a, 6b. When a motor 14 is rotated, these carrying rollers 9 are rotated in the same direction to carry a magazine. Guide wheels 16 are provided to guide the magazine to be carried by the carrying rollers so that it does not run-off. A danger of the generation of dust by a contact of a belt 12 and the guide 16 is eliminated to prevent the generation of the condition that carrying is impossible by the idle rotation of the belt 12.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、マガジン搬送機構、特
に半導体装置搭載リードフレーム収納用マガジンを搬送
するワイヤボンディング装置用のマガジン搬送機構に関
する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magazine transport mechanism, and more particularly to a magazine transport mechanism for a wire bonding device that transports a semiconductor device mounted lead frame storage magazine.

【0002】[0002]

【従来の技術】ワイヤボンディング装置に対する被ワイ
ヤボンディング半導体装置搭載リードフレームの搬送
(ロード及びアンロード)は、一般に複数(例えば20
枚、25枚、50枚等)のリードフレームを収納したマ
ガジンを単位として行われる。図7はワイヤボンディン
グを終了した半導体装置搭載リードフレームの一例を示
す斜視図である。
2. Description of the Related Art Generally, a plurality of (for example, 20) transfer (loading and unloading) of a wire bonding semiconductor device-equipped lead frame to a wire bonding device is performed.
The magazine is carried out in units of magazines each containing 25, 50, etc. lead frames. FIG. 7 is a perspective view showing an example of a semiconductor device mounting lead frame for which wire bonding has been completed.

【0003】そして、マガジン単位で搬送する方式のワ
イヤボンディングシステムとして特開平4−24565
1号公報により紹介されたものがある。それは、搬送路
を有する複数のワイヤボンディング装置を、全搬送路が
連通されて長い一つの搬送路を構成するように一直線上
に配設してなるものである。
Then, as a wire bonding system of a method of transporting in a magazine unit, Japanese Patent Laid-Open No. 24565/1992.
There is one introduced by the publication No. 1. It is a device in which a plurality of wire bonding devices having a transfer path are arranged in a straight line so that all the transfer paths are in communication to form one long transfer path.

【0004】そして、各ワイヤボンディング装置の搬送
路には、離間して配置された一対の回転ローラにベルト
掛けしたベルト方式のマガジン搬送機構が設けられてい
た。
Further, a belt type magazine conveying mechanism in which a pair of rotating rollers which are spaced apart from each other are belted is provided in the conveying path of each wire bonding apparatus.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、特開平4−
245651号に紹介された従来のマガジン搬送機構に
は、ベルト方式であるが故に下記のような問題があっ
た。先ず第1に、ベルトは搬送中必ず一方の側にずれよ
うとするのでずれないように左右両側にガイドが必要で
あるが、そのベルトの側端がガイドのガイド面と接触
し、摩擦による発塵が生じるという問題がある。また、
ベルトの下側の部分に鉄板等を設け、ベルトの垂れを抑
制する場合もあるが、この場合もベルトとその鉄板等と
が接触してやはり摩擦による発塵が生じるそして、発塵
は半導体装置にとって大敵であることは論を俟たない。
By the way, JP-A-4-
The conventional magazine transport mechanism introduced in No. 245651 has the following problems due to the belt system. First of all, since the belt always tries to shift to one side during conveyance, guides are required on both the left and right sides so that the belt does not shift. There is a problem that dust is generated. Also,
There is a case where an iron plate or the like is provided in the lower part of the belt to suppress the sagging of the belt, but in this case as well, the belt and the iron plate or the like come into contact with each other to generate dust due to friction. It is arguable that it is a great enemy to.

【0006】第2に、ベルト掛けされた一対のローラの
回転軸の平行が少しでも崩れるとベルトずれが大きくな
り、ベルトの回転が停止する(即ちベルトが空回りす
る)というトラブルが生じ易いという問題もあった。
Secondly, if the rotation axes of a pair of rollers looped around the belt are broken even slightly, the belt shift becomes large, and the belt rotation is stopped (that is, the belt is idle). There was also.

【0007】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、発塵が少なく、搬送に支障を来たす
トラブルの生じない新規なワイヤボンディング装置用マ
ガジン搬送機構を提供することを目的とする。
The present invention has been made to solve the above problems, and it is an object of the present invention to provide a novel magazine transport mechanism for a wire bonding apparatus, which produces little dust and does not cause troubles that hinder transport. To aim.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】請求項1のマガジン搬送
機構は、回転軸が略水平であって搬送経路の向きと略直
交する向きにされた搬送ローラを複数搬送経路に沿って
配設したことを特徴とする。請求項2のマガジン搬送機
構は、請求項1のマガジン搬送機構において、各回転軸
に複数の搬送ローラを並設したことを特徴とする。
According to another aspect of the present invention, there is provided a magazine transport mechanism, wherein a plurality of transport rollers are arranged along a transport path, the rotation axis of which is substantially horizontal and which is oriented substantially orthogonal to the direction of the transport path. It is characterized by A magazine carrying mechanism according to a second aspect of the present invention is the magazine carrying mechanism according to the first aspect, wherein a plurality of carrying rollers are provided in parallel on each rotation shaft.

【0009】請求項3のマガジン搬送機構は、請求項1
又は2のマガジン搬送機構において、搬送ローラの少な
くとも表面部を弾性樹脂により形成したことを特徴とす
る。請求項4のマガジン搬送機構は、請求項1、2又は
3のマガジン搬送機構において、搬送ローラの少なくと
も表面部を導電性材料により形成したことを特徴とす
る。
According to another aspect of the present invention, there is provided a magazine transporting mechanism.
Alternatively, in the magazine transport mechanism of No. 2, at least the surface portion of the transport roller is made of elastic resin. A magazine transporting mechanism according to a fourth aspect is the magazine transporting mechanism according to the first, second or third aspect, wherein at least a surface portion of the transporting roller is formed of a conductive material.

【0010】[0010]

【作用】請求項1のマガジン搬送機構によれば、マガジ
ンが搬送路に沿って配設された搬送ローラによって転送
され、ベルトとガイドとの間で接触によって発塵が生じ
る虞れがなく、また、ベルトの空回りにより搬送不能状
態に陥るという虞れもない。請求項2のマガジン搬送機
構によれば、一つの回転軸に複数の搬送ローラが並設さ
れるので、被搬送マガジンの幅が広くても各搬送ローラ
の幅は小さくて済み、幅広の搬送ローラを製造すること
が難しいという問題には直面しなくて済む。
According to the magazine transport mechanism of the first aspect, the magazine is transferred by the transport rollers arranged along the transport path, and there is no risk of dust generation due to contact between the belt and the guide. Also, there is no fear that the belt will be idle and may not be conveyed. According to the magazine transport mechanism of claim 2, since a plurality of transport rollers are arranged in parallel on one rotation shaft, the width of each transport roller can be small even if the width of the transported magazine is wide. You don't have to face the problem of being difficult to manufacture.

【0011】請求項3のマガジン搬送機構によれば、搬
送ローラの少なくとも表面部が弾力性樹脂からなるの
で、搬送ローラが搬送中にマガジンに与える振動、衝撃
を小さくすることができ、延いてはマガジンに収納され
たリードフレーム及び半導体素子に対する振動、衝撃を
小さくすることができる。請求項4のマガジン搬送機構
によれば、搬送ローラの少なくとも表面部が導電性樹脂
からなるので、搬送ローラとマガジンとの接触により搬
送ローラが帯電してマガジンを介してリードフレーム上
の半導体素子に静電気が伝わり半導体素子に静電破壊が
生じることを防止することができる。
According to the magazine transporting mechanism of the third aspect, since at least the surface portion of the transporting roller is made of elastic resin, it is possible to reduce vibrations and impacts which the transporting roller gives to the magazine during transporting, and to extend. Vibration and impact on the lead frame and the semiconductor element housed in the magazine can be reduced. According to the magazine transport mechanism of claim 4, since at least the surface portion of the transport roller is made of conductive resin, the transport roller is charged by the contact between the transport roller and the magazine, and the semiconductor element on the lead frame is transferred to the semiconductor element via the magazine. It is possible to prevent static electricity from being transmitted to the semiconductor element and causing electrostatic breakdown.

【0012】[0012]

【実施例】以下、本発明マガジン搬送機構を図示実施例
に従って詳細に説明する。図1乃至図6は本発明マガジ
ン搬送機構の一つの実施例を説明するためのもので、図
1はそのマガジン搬送機構を備えたワイヤボンディング
システムの全体を示す斜視図であり、先ず図1に従って
ワイヤボンディングシステムの概略を説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The magazine transport mechanism of the present invention will be described in detail below with reference to the illustrated embodiments. 1 to 6 are for explaining one embodiment of a magazine carrying mechanism of the present invention, and FIG. 1 is a perspective view showing an entire wire bonding system equipped with the magazine carrying mechanism. First, referring to FIG. The outline of the wire bonding system will be described.

【0013】1、1、…は略同じ構造、機能を有するワ
イヤボンディング装置で、各々正面側にマガジン搬送機
構2を有している。ワイヤボンディング装置1、1、…
はそれぞれのマガジン搬送機構2、2、…が整合して一
本の搬送路をつくるように並設されている。3は各ワイ
ヤボンディング装置1のマガジンをワイヤボンディング
部近傍に取込むマガジン取込部である。該マガジン搬送
機構2、2、…はそれぞれカバーで覆われている。
[0013] Reference numerals 1, 1, ... Are wire bonding devices having substantially the same structure and function, each having a magazine transport mechanism 2 on the front side. Wire bonding equipment 1, 1, ...
Are arranged side by side so that the respective magazine transport mechanisms 2, 2, ... Align to form a single transport path. Reference numeral 3 denotes a magazine take-in section for taking the magazine of each wire bonding apparatus 1 near the wire bonding section. The magazine transport mechanisms 2, 2, ... Are each covered with a cover.

【0014】4aはワイヤボンディング装置1、1、…
からなるマガジン搬送路へその一端部からマガジンを供
給する自動ロード用ステーション、5はワイヤボンディ
ング工程を終了したマガジンのリードフレームのワイヤ
リング形状を検査する自動ワイヤリング検査装置、4b
は自動ワイヤリング検査装置5による検査工程を終えた
マガジンを取り出す自動アンロード用ステーションであ
る。
4a is a wire bonding apparatus 1, 1, ...
An automatic loading station for supplying a magazine from one end thereof to a magazine conveying path consisting of 5 is an automatic wiring inspection device for inspecting the wiring shape of the lead frame of the magazine which has completed the wire bonding process, 4b.
Is an automatic unloading station for taking out the magazine which has undergone the inspection process by the automatic wiring inspection device 5.

【0015】図2はマガジン搬送機構の拡大斜視図であ
り、次に図2に従ってマガジン搬送機構2を具体的に説
明する。6はローラ支持体で、断面形状がコ字状に形成
され、一対の側片6a、6bが上を向き、中間片が底部
を成すようにして略水平に設けられており、一対の側片
6a、6bの上部には複数の回転軸7、7、…が略一定
の間隔を置いて回転自在に取り付けられている。この間
隔は少なくともマガジンの長さよりは小さく設定されて
いる。
FIG. 2 is an enlarged perspective view of the magazine transport mechanism. Next, the magazine transport mechanism 2 will be described in detail with reference to FIG. Reference numeral 6 denotes a roller support, which has a U-shaped cross section and is provided substantially horizontally so that the pair of side pieces 6a and 6b face upward and the intermediate piece forms a bottom portion. A plurality of rotating shafts 7, 7, ... Are rotatably attached to the upper portions of 6a, 6b at substantially regular intervals. This interval is set to be at least smaller than the length of the magazine.

【0016】各回転軸7、7、…の一端はローラ支持体
6の側片6aを貫通して外側(正面側)に突出せしめら
れており、その突出端部にはそれぞれプーリー8が固定
されている。そして、各回転軸7、7、…の側片6a・
6b間の部分における両端部には搬送ローラ9、9が固
定されている。
One end of each of the rotary shafts 7, 7, ... Penetrates the side piece 6a of the roller support 6 so as to project to the outside (front side), and a pulley 8 is fixed to each of the projecting ends. ing. Then, the side pieces 6a of the rotary shafts 7, 7, ...
Conveyor rollers 9 are fixed to both ends of the portion between 6b.

【0017】10は回動支持体で、ローラ支持体6の一
端(右側の端)に回動自在取り付けられている。該回動
支持体10にもローラ支持体6と同様に、回転軸7、
7、…、プーリー8、8、…及び搬送ローラ9、9、…
が設けられており、回動支持体10は図示されたところ
の倒された状態ではローラ支持体6とで一つの搬送路を
構成するが、略90度回動して向きになると搬送部の一
部を切断して手や身体が入り込んでメンテナンス等を行
うことができるようになっている。11、11は回動支
持体10の回動角度を規定するストッパーである。
A rotary support 10 is rotatably attached to one end (right end) of the roller support 6. Similarly to the roller support body 6, the rotation support body 10 has a rotating shaft 7,
, ..., pulleys 8, 8, ... And conveyance rollers 9, 9 ,.
The rotary support 10 and the roller support 6 compose one transport path in the folded state as shown in the figure, but when the rotary support 10 is rotated by approximately 90 degrees to be oriented, It is designed to be able to perform maintenance and other work by cutting a part of it to allow the hands and body to enter. Reference numerals 11 and 11 are stoppers that define the rotation angle of the rotation support body 10.

【0018】12、12はローラ支持体6及び回転支持
体の各回転軸7、7、…の一端に固定されたプーリー
8、8、…に掛けられたベルトで、このベルト12、1
2が回転せしめられることによって各搬送ローラ9、
9、…が回転してマガジンを搬送することができる。
尚、13、13、…は遊び車である。14はモータで、
その回転がベルト12a、伝達ローラ15及びベルト1
2bを介してローラ支持体6a側のベルト12に伝達さ
れ、ベルト12a、伝達ローラ15及びベルト12cを
介して回動支持体10側のベルト12に伝達される。
Reference numerals 12 and 12 denote belts wound around pulleys 8, 8 fixed to one end of each of the rotary shafts 7 of the roller support 6 and the rotary support.
By rotating 2 the conveying rollers 9,
The magazines 9 can be rotated to convey the magazine.
In addition, 13, 13, ... Are idle cars. 14 is a motor,
The rotation of the belt 12a, the transmission roller 15 and the belt 1
It is transmitted to the belt 12 on the side of the roller support 6a via 2b, and is transmitted to the belt 12 on the side of the rotation support 10 via the belt 12a, the transmission roller 15 and the belt 12c.

【0019】従って、ローラ支持体6及び回動支持体1
0の搬送ローラ9、9、…はモータ14が回転すると、
すべて同じ方向に回転することができ、延いてはマガジ
ンを搬送することができる。16、16、…は案内輪
で、それぞれ支持軸に回転自在に取り付けられている。
そして、各案内輪16、16、…の支持軸はローラ支持
体6及び回動支持体10の側片6a、6b及び10a、
10bの上端面に適宜な間隔をおいて植設されている。
Therefore, the roller support 6 and the rotary support 1
0 of the transport rollers 9, 9, ... When the motor 14 rotates,
They can all rotate in the same direction and thus carry magazines. .. are guide wheels, which are rotatably attached to respective support shafts.
The support shafts of the guide wheels 16, 16, ... Are side pieces 6a, 6b and 10a of the roller support body 6 and the rotation support body 10, respectively.
They are planted on the upper end surface of 10b at appropriate intervals.

【0020】案内輪16、16、…は搬送ローラ9、
9、…によって搬送されるマガジンを脇に逸れないよう
にガイドする役割を果す。
The guide wheels 16, 16, ... Are conveying rollers 9,
It plays the role of guiding the magazines conveyed by 9, ...

【0021】図3はマガジン搬送機構2とワイヤボンデ
ィング装置のワイヤボンディング部との間のマガジンの
移送を説明するものである。17、17はマガジン持ち
上げ部材で、図示しない昇降機溝により駆動されマガジ
ン搬送機構2上のマガジン18を持ち上げることによっ
て前進後退可能な搬送アーム19、19に渡したり、逆
に搬送アーム19、19からマガジン18を受け取って
マガジン搬送機構2上にソフトランディングする役割を
果す。尚、通常時においては搬送ローラ9、9、…より
も低いところに退避している。
FIG. 3 illustrates the transfer of the magazine between the magazine transport mechanism 2 and the wire bonding section of the wire bonding apparatus. Reference numerals 17 and 17 denote magazine lifting members, which are driven by an elevator groove (not shown) and lifted a magazine 18 on the magazine transport mechanism 2 to transfer it to the transport arms 19 and 19 that can move forward and backward, or conversely from the transport arms 19 and 19. It plays the role of receiving 18 and soft landing on the magazine transport mechanism 2. In the normal state, the rollers are retracted to a position lower than the conveying rollers 9, 9, ....

【0022】図4は図3の矢印Aに沿って視た案内輪1
6の働きを説明するための矢視図である。尚、20は案
内輪16を回転自在に支持する支持軸で、その下端部が
ローラ支持体6及び回転支持体10の側片6a、6b、
10a、10bの上端面に植設されている。
FIG. 4 shows the guide wheel 1 as seen along the arrow A in FIG.
6 is a view for explaining the function of No. 6 in FIG. Reference numeral 20 is a support shaft that rotatably supports the guide wheel 16, and the lower end portions of the support shaft 16 are side pieces 6a and 6b of the roller support body 6 and the rotation support body 10, respectively.
It is planted on the upper end surfaces of 10a and 10b.

【0023】図5は図4の場合とは異なるマガジン18
を搬送する場合の矢視図である。リードフレームには種
々の幅のものがあり、マガジン搬送機構2が幅の異なる
種々のリードフレームに対応できるようにすることが必
要である。そこで、マガジン搬送機構2は対応しようと
するもの中で最も幅の広いリードフレームを収納できる
マガジンを搬送できるようにつくっておき、各種マガジ
ンは少なくとも搬送ローラ9、9、…によって搬送され
且つ案内輪16、16、…によってガイドされる下部が
同じ形で同じ大きさに形成しておき、そして、マガジン
のリードフレームを収納するリードフレーム収納部18
aの幅を収納しようとするリードフレームの幅に応じて
異ならせてつくるのである。このようにすれば、マガジ
ン搬送機構2は種々のリードフレームに無理なく対応す
ることができる。
FIG. 5 shows a magazine 18 different from that of FIG.
FIG. 7 is a view taken in the direction of arrow when transporting. There are various lead frames of various widths, and it is necessary that the magazine transport mechanism 2 be able to handle various lead frames of different widths. Therefore, the magazine transport mechanism 2 is constructed so as to be able to transport a magazine capable of accommodating the widest lead frame among those to be dealt with, and various magazines are transported by at least the transport rollers 9, 9, ... And guide wheels. The lower part guided by 16, 16, ... Has the same shape and the same size, and the lead frame housing part 18 for housing the lead frame of the magazine.
The width of a is made different according to the width of the lead frame to be stored. By doing so, the magazine transport mechanism 2 can cope with various lead frames without difficulty.

【0024】図6は搬送ローラの変形例を示すもので、
本搬送ローラ9は各回転軸7に1個のみ取り付けられ、
回転軸1個当りの数が1個でもマガジン18を搬送し得
るに充分な広い幅を有している。具体的にはマガジン1
8の幅と同程度の幅を有している。ちなみに、図2乃至
図5に示したマガジン搬送機構の実施例においては各回
転軸7にそれぞれ2個ずつ搬送ローラ9、9が設けら
れ、各搬送ローラ9はそれぞれマガジン18の幅よりも
相当に狭い幅を有している。
FIG. 6 shows a modified example of the conveying roller.
Only one main carrying roller 9 is attached to each rotary shaft 7,
The magazine 18 has a wide enough width to convey the magazine 18 even if only one rotary shaft is provided. Specifically, magazine 1
It has a width similar to the width of 8. By the way, in the embodiment of the magazine transport mechanism shown in FIGS. 2 to 5, each rotary shaft 7 is provided with two transport rollers 9 each, and each transport roller 9 is considerably larger than the width of the magazine 18. It has a narrow width.

【0025】このように、搬送ローラ9には種々の変形
例が考えられ得るが、図2乃至図5に示したように搬送
ローラ9として幅の狭いものを用いた方が搬送ローラ9
が製造し易いという利点がある。というのは、搬送ロー
ラ9は幅が広くなる程周面をきれいに仕上げたり、取り
付けたりすることが難しくなるからである。
As described above, various modifications of the carrying roller 9 can be considered. However, as shown in FIGS. 2 to 5, the carrying roller 9 having a narrow width is used.
Has the advantage of being easy to manufacture. This is because the wider the width of the transport roller 9 is, the more difficult it is to finish or attach the peripheral surface of the transport roller 9.

【0026】搬送ローラ9は表面がウレタンの如き弾力
性のある樹脂で覆われている。従って、搬送されるマガ
ジン18が振動したり、衝撃を受けたりすることを防止
することができ、延いてはマガジン18内の半導体素子
搭載リードフレームが振動、衝撃により不良になる虞れ
がない。尚、搬送ローラ9を金属で形成し、表面部を弾
力性のある樹脂で覆うするのではなく、搬送ローラ9そ
のものを弾力性樹脂で形成するようにして良いことはい
うまでもない。
The surface of the conveying roller 9 is covered with an elastic resin such as urethane. Therefore, it is possible to prevent the conveyed magazine 18 from vibrating or receiving an impact, and there is no fear that the semiconductor element mounting lead frame in the magazine 18 will be defective due to the vibration or the impact. Needless to say, the transport roller 9 itself may be formed of an elastic resin instead of forming the transport roller 9 of metal and covering the surface portion with the elastic resin.

【0027】また、搬送ローラ9の表面を導電性樹脂、
例えばカーボン系樹脂により覆うようにしても良い。こ
のようにすると、マガジン18と搬送ローラ9との摩擦
により静電気が発生してマガジン18が帯電しその結果
リードフレームに搭載された半導体素子に静電破壊が生
じるという問題を回避することができる。勿論、搬送ロ
ーラ9を金属により形成し、その搬送ローラ9の表面を
導電性の樹脂、例えばカーボン系樹脂で覆うのではな
く、搬送ローラ9そのものを導電性の樹脂で形成しても
良い。
Further, the surface of the carrying roller 9 is made of a conductive resin,
For example, it may be covered with a carbon-based resin. By doing so, it is possible to avoid the problem that static electricity is generated due to friction between the magazine 18 and the conveying roller 9 and the magazine 18 is charged, resulting in electrostatic breakdown of the semiconductor element mounted on the lead frame. Of course, the transport roller 9 may be formed of a metal, and the transport roller 9 itself may be formed of a conductive resin instead of covering the surface of the transport roller 9 with a conductive resin, for example, a carbon-based resin.

【0028】以上に述べたように、図示したマガジン搬
送機構2によれば、回転軸7が略水平であって搬送経路
の向きと略直交する向きにされた搬送ローラ9を複数個
搬送経路に沿って配設したので、マガジン18が搬送路
に沿って配設された搬送ローラ9、9…によって転送さ
れ、ベルトとガイドとの間で接触によって発塵が生じる
虞れがなく、また、ベルトの空回りにより搬送不能状態
に陥るという虞れもない。
As described above, according to the illustrated magazine transport mechanism 2, a plurality of transport rollers 9 whose rotary shaft 7 is substantially horizontal and oriented substantially orthogonal to the direction of the transport path are provided in the transport path. Since they are arranged along the conveying path, the magazine 18 is transferred by the conveying rollers 9, 9 ... Arranged along the conveying path, and there is no risk of dust generation due to contact between the belt and the guide. There is also no fear of being incapable of being transported due to the idle rotation of.

【0029】[0029]

【発明の効果】請求項1のマガジン搬送機構は、回転軸
が略水平であって搬送経路の向きと略直交する向きにさ
れた搬送ローラを複数搬送経路に沿って配設したことを
特徴とするものである。従って、請求項1のマガジン搬
送機構によれば、マガジンが搬送路に沿って配設された
搬送ローラによって搬送され、ベルトとガイドとの間で
接触によって発塵が生じる虞れがなく、また、ベルトの
空回りにより搬送不能状態に陥るという虞れもない。
According to the magazine carrying mechanism of the present invention, a plurality of carrying rollers are provided along the carrying path, the rotating shaft of which is substantially horizontal and whose direction is substantially orthogonal to the direction of the carrying path. To do. Therefore, according to the magazine transport mechanism of the first aspect, the magazine is transported by the transport rollers arranged along the transport path, and there is no risk of dust generation due to contact between the belt and the guide. There is also no fear that the belt will run idle and become untransportable.

【0030】請求項2のマガジン搬送機構は、各回転軸
に複数の搬送ローラを並設したことを特徴とするもので
ある。従って、請求項2のマガジン搬送機構によれば、
一つの回転軸に複数の搬送ローラが並設されるので、被
搬送マガジンの幅が広くても各搬送ローラの幅は小さく
て済み、製造が難しい幅広の搬送ローラを使用しなくて
済む。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a magazine transporting mechanism in which a plurality of transport rollers are arranged in parallel on each rotary shaft. Therefore, according to the magazine transport mechanism of claim 2,
Since a plurality of transport rollers are arranged in parallel on one rotary shaft, the width of each transport roller can be small even if the width of the transported magazine is wide, and it is not necessary to use a wide transport roller which is difficult to manufacture.

【0031】請求項3のマガジン搬送機構は、搬送ロー
ラの少なくとも表面部を弾性樹脂により形成したことを
特徴とするものである。従って、請求項3のマガジン搬
送機構によれば、搬送ローラの少なくとも表面部が弾力
性樹脂からなるので、搬送ローラが搬送中にマガジンに
与える振動、衝撃を小さくすることができ、延いてはマ
ガジンに収納されたリードフレーム及び半導体素子に対
する振動、衝撃を小さくすることができる。
According to a third aspect of the present invention, in the magazine transport mechanism, at least the surface of the transport roller is made of elastic resin. Therefore, according to the magazine transporting mechanism of claim 3, since at least the surface portion of the transporting roller is made of the elastic resin, it is possible to reduce vibrations and impacts which the transporting roller gives to the magazine during transporting, and in turn, the magazine. It is possible to reduce vibration and impact on the lead frame and the semiconductor element housed in.

【0032】請求項4のマガジン搬送機構は、搬送ロー
ラの少なくとも表面部を導電性材料により形成したこと
を特徴とするものである。従って、請求項4のマガジン
搬送機構によれば、搬送ローラの少なくとも表面部が導
電性樹脂からなるので、搬送ローラとマガジンとの接触
により搬送ローラが帯電してマガジンを介してリードフ
レーム上の半導体素子に静電気が伝わり半導体素子に静
電破壊が生じることを防止することができる。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided the magazine transport mechanism characterized in that at least a surface portion of the transport roller is made of a conductive material. Therefore, according to the magazine transport mechanism of claim 4, since at least the surface portion of the transport roller is made of conductive resin, the transport roller is charged by the contact between the transport roller and the magazine, and the semiconductor on the lead frame is passed through the magazine. It is possible to prevent static electricity from being transmitted to the element and causing electrostatic breakdown in the semiconductor element.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明マガジン搬送機構の一つの実施例を有す
る複数のワイヤボンディング装置からなるワイヤボンデ
ィングシステムの全体を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an entire wire bonding system including a plurality of wire bonding devices having an embodiment of a magazine transport mechanism of the present invention.

【図2】本発明マガジン搬送機構の一つの実施例を示す
斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing one embodiment of a magazine transport mechanism of the present invention.

【図3】マガジン搬送機構とワイヤボンディング装置の
ワイヤボンディング部側との間でのマガジンの移送を説
明する斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view illustrating transfer of a magazine between a magazine transport mechanism and a wire bonding unit side of a wire bonding apparatus.

【図4】図3の矢印Aに沿ってマガジン搬送機構を視た
矢視図である。
FIG. 4 is a view of the magazine transport mechanism taken along arrow A in FIG.

【図5】図4は異なるマガジンを搬送する場合における
図3の矢印Aに沿ってマガジン機構を視た矢視図であ
る。
5 is a view of the magazine mechanism taken along the arrow A in FIG. 3 when different magazines are conveyed.

【図6】本マガジン搬送機構の搬送ローラの変形例の正
面図である。
FIG. 6 is a front view of a modified example of the transport roller of the magazine transport mechanism.

【図7】ワイヤボンディングされたリードフレームの一
例を示す斜視図である。
FIG. 7 is a perspective view showing an example of a wire-bonded lead frame.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ワイヤボンディング装置 2 マガジン搬送機構 7 回転軸 9 搬送ローラ 18 マガジン 1 Wire Bonding Device 2 Magazine Transport Mechanism 7 Rotating Shaft 9 Transport Roller 18 Magazine

フロントページの続き (72)発明者 三好 秀明 東京都羽村市栄町3丁目1番地の5 株式 会社カイジョー内 (72)発明者 柳田 克郎 東京都羽村市栄町3丁目1番地の5 株式 会社カイジョー内Front Page Continuation (72) Inventor Hideaki Miyoshi, 3-chome, 3-chome, Sakaemachi, Hamura, Tokyo (72) Inventor Katsuro Yanagida 5-chome, 3-chome, 3-chome, Sakaemachi, Hamura, Tokyo

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 半導体装置搭載リードフレーム収納用マ
ガジンを搬送するワイヤボンディング装置用のマガジン
搬送機構において、 回転軸が略水平であって搬送経路の向きと略直交する向
きにされた搬送ローラを複数個搬送経路に沿って配設し
たことを特徴とするマガジン搬送機構
1. A magazine transport mechanism for a wire bonding device for transporting a semiconductor device mounted lead frame storage magazine, wherein a plurality of transport rollers each having a rotation axis substantially horizontal and oriented substantially orthogonal to a direction of a transport path are provided. Magazine transport mechanism characterized by being arranged along the individual transport path
【請求項2】 各回転軸に複数の搬送ローラが並設され
たことを特徴とする請求項1記載のマガジン搬送機構
2. The magazine transport mechanism according to claim 1, wherein a plurality of transport rollers are arranged in parallel on each rotary shaft.
【請求項3】 搬送ローラの少なくとも表面部が弾性樹
脂からなることを特徴とする請求項1又は2記載のマガ
ジン搬送機構
3. The magazine transport mechanism according to claim 1, wherein at least a surface portion of the transport roller is made of elastic resin.
【請求項4】 搬送ローラの少なくとも表面部が導電性
材料からなることを特徴とする請求項1、2又は3記載
のマガジン搬送機構
4. The magazine transport mechanism according to claim 1, wherein at least a surface portion of the transport roller is made of a conductive material.
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