JPH06156655A - Magazine conveyor mechanism - Google Patents

Magazine conveyor mechanism

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Publication number
JPH06156655A
JPH06156655A JP33799392A JP33799392A JPH06156655A JP H06156655 A JPH06156655 A JP H06156655A JP 33799392 A JP33799392 A JP 33799392A JP 33799392 A JP33799392 A JP 33799392A JP H06156655 A JPH06156655 A JP H06156655A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
magazine
grounding means
wire bonding
bearing
transport mechanism
Prior art date
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Pending
Application number
JP33799392A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Mitsuhiro Nishizaki
光広 西崎
Kikuo Goto
喜久雄 後藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP33799392A priority Critical patent/JPH06156655A/en
Publication of JPH06156655A publication Critical patent/JPH06156655A/en
Pending legal-status Critical Current

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  • Rollers For Roller Conveyors For Transfer (AREA)
  • Feeding Of Workpieces (AREA)

Abstract

PURPOSE:To prevent the electrification of a metal magazine by providing a magazine conveyor device with a magazine grounding means. CONSTITUTION:When a magazine 18 reaches the upper part of a grounding means 20, a bearing 23 receives the weight of the magazine, and a rotating piece 21 is rotated counterclockwise against the resilience of a spring 24. As a result, the bearing 23 comes in elastic contact with the bottom face of the magazine 18 by the resilience of the spring 24 while the magazine passes on the bearing 23. The magazine 18 is thereby grounded being electrically connected to a roller supporting body through the grounding means 20 so as to be prevented from the generation of electrostatic destruction inside a semiconductor device mounted to a lead frame in the magazine 18.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、マガジン搬送機構、主
として半導体装置搭載リードフレーム収納用マガジンを
搬送するワイヤボンディング装置用のマガジン搬送機構
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magazine transport mechanism, and more particularly to a magazine transport mechanism for a wire bonding apparatus that transports a semiconductor device-mounted lead frame storage magazine.

【0002】[0002]

【従来の技術】ワイヤボンディング装置に対する被ワイ
ヤボンディング半導体装置搭載リードフレームの搬送
(ロード及びアンロード)は、一般に複数(例えば20
枚、25枚、50枚等)のリードフレームを収納したマ
ガジンを単位として行われる。図6はワイヤボンディン
グを終了した半導体装置リードフレームの一例を示す斜
視図である。
2. Description of the Related Art Generally, a plurality of (for example, 20) transfer (loading and unloading) of a wire bonding semiconductor device-equipped lead frame to a wire bonding device is performed.
The magazine is carried out in units of magazines each containing 25, 50, etc. lead frames. FIG. 6 is a perspective view showing an example of a semiconductor device lead frame after wire bonding is completed.

【0003】そして、マガジン単位で搬送する方式のワ
イヤボンディングシステムとして特開平4−24565
1号公報により紹介されたものがある。それは、搬送路
を有する複数のワイヤボンディング装置を、全搬送路が
連通されて長い一つの搬送路を構成するように一直線上
に配設してなるものである。
Then, as a wire bonding system of a method of transporting in magazine units, it is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 24565/1992.
There is one introduced by the publication No. 1. It is a device in which a plurality of wire bonding devices having a transfer path are arranged in a straight line so that all the transfer paths are in communication to form one long transfer path.

【0004】そして、各ワイヤボンディング装置の搬送
路には、離間して配置された一対の回転ローラにベルト
掛けしたベルト方式のマガジン搬送機構が設けられてい
た。
Further, a belt type magazine conveying mechanism in which a pair of rotating rollers which are spaced apart from each other are belted is provided in the conveying path of each wire bonding apparatus.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】ところで、特開平4−
245651号に紹介された従来のマガジン搬送機構に
は、ベルトとマガジンとの摩擦によりマガジンが帯電
し、その結果、マガジンに収納されたリードフレームに
搭載された半導体装置の内部にワイヤを介して静電気が
伝わり、静電破壊が生じるという問題があった。そのた
め、金属製のローラ支持体により支持された金属製ロー
ラによりマガジンを搬送するマガジン搬送機構を案出し
た。これによれば、ローラ支持体を接地することにより
間接的にマガジンを接地することができ、延いてはマガ
ジンとローラとの摩擦による静電気の発生を防止するこ
とができるので、マガジンの帯電を防止することができ
るからである。
By the way, JP-A-4-
In the conventional magazine transport mechanism introduced in No. 245651, the magazine is electrified by the friction between the belt and the magazine, and as a result, the static electricity is generated through the wire inside the semiconductor device mounted on the lead frame housed in the magazine. However, there is a problem in that electrostatic discharge occurs. Therefore, a magazine transport mechanism for transporting a magazine by a metal roller supported by a metal roller support has been devised. According to this, the magazine can be indirectly grounded by grounding the roller support, and as a result, it is possible to prevent the generation of static electricity due to the friction between the magazine and the roller, thus preventing the magazine from being charged. Because you can do it.

【0006】しかしながら、金属製ローラにより金属製
マガジンを搬送することには問題があった。それは、マ
ガジンやローラにキズがつき易く、寿命が短かいだけで
なく、半導体装置に大敵の発塵が生じ易いという問題で
ある。従って、マガジンを搬送するローラの表面を弾力
性のある樹脂、例えばウレタンで覆う必要があるが、そ
うすれば樹脂が一般に絶縁性を有するので結局マガジン
が帯電して半導体装置内部に静電破壊が生じる虞れがあ
るという問題を回避することができない。尤も、カーボ
ン系の樹脂には導電性を有するものがあるので、これを
マガジン搬送用ローラとして用いれば、その静電破壊が
生じる虞れをなくすことができる。しかし、カーボン系
の導電性樹脂は金属製マガジンとの摩擦による発塵量が
多いという問題を有している。
However, there is a problem in transporting the metal magazine by the metal roller. The problems are that the magazines and rollers are easily scratched, their lifespan is short, and that the semiconductor device is prone to dust generation. Therefore, it is necessary to cover the surface of the roller that conveys the magazine with an elastic resin, for example, urethane. However, since the resin generally has an insulating property, the magazine is eventually charged and electrostatic damage occurs inside the semiconductor device. The problem that it may occur cannot be avoided. However, since some carbon-based resins have conductivity, if they are used as a magazine transporting roller, it is possible to eliminate the risk of electrostatic breakdown. However, the carbon-based conductive resin has a problem that a large amount of dust is generated due to friction with the metal magazine.

【0007】本発明はこのような問題点を解決すべく為
されたものであり、絶縁性材料により金属製マガジンを
搬送するマガジン搬送機構において、マガジンが帯電す
るのを防止することを目的とする。
The present invention has been made to solve the above problems, and an object of the present invention is to prevent a magazine from being charged in a magazine transport mechanism for transporting a metal magazine by an insulating material. .

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】本発明マガジン搬送機構
は、搬送されるマガジンを接地する接地手段を有するこ
とを特徴とする。
The magazine transport mechanism of the present invention is characterized in that it has grounding means for grounding the magazine to be transported.

【0009】[0009]

【作用】本発明マガジン搬送機構によれば、マガジンが
搬送されながら接地手段により接地されるので、搬送さ
れる過程で絶縁性材料からなる搬送部材と摩擦を生じて
も帯電し得ない。従って、マガジンの帯電により生じて
いたトラブルの発生を防止することができる。
According to the magazine transport mechanism of the present invention, since the magazine is grounded by the grounding means while being transported, it cannot be charged even if friction occurs with the transport member made of an insulating material during the transport process. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of trouble caused by the charging of the magazine.

【0010】[0010]

【実施例】以下、本発明マガジン搬送機構を図示実施例
に従って詳細に説明する。図1乃至図6は本発明マガジ
ン搬送機構の一つの実施例を説明するためのもので、図
1はそのマガジン搬送機構を備えたワイヤボンディング
システムの全体を示す斜視図であり、先ず図1に従って
ワイヤボンディングシステムの概略を説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The magazine transport mechanism of the present invention will be described in detail below with reference to the illustrated embodiments. 1 to 6 are for explaining one embodiment of a magazine carrying mechanism of the present invention, and FIG. 1 is a perspective view showing an entire wire bonding system equipped with the magazine carrying mechanism. First, referring to FIG. The outline of the wire bonding system will be described.

【0011】1、1、…は略同じ構造、機能を有するワ
イヤボンディング装置で、各々正面側にマガジン搬送機
構2を有している。ワイヤボンディング装置1、1、…
はそれぞれのマガジン搬送機構2、2、…が整合して一
本の搬送路をつくるように並設されている。3は各ワイ
ヤボンディング装置1のマガジンをワイヤボンディング
部近傍に取込むマガジン取込部である。該マガジン搬送
機構2、2、…はそれぞれカバーで覆われている。
[0011] Reference numerals 1, 1, ... Are wire bonding devices having substantially the same structure and function, each having a magazine transport mechanism 2 on the front side. Wire bonding equipment 1, 1, ...
Are arranged side by side so that the respective magazine transport mechanisms 2, 2, ... Align to form a single transport path. Reference numeral 3 denotes a magazine take-in section for taking the magazine of each wire bonding apparatus 1 near the wire bonding section. The magazine transport mechanisms 2, 2, ... Are each covered with a cover.

【0012】4aはワイヤボンディング装置1、1、…
からなるマガジン搬送路へその一端部からマガジンを供
給する自動ロード用ステーション、5はワイヤボンディ
ング工程を終了したマガジンのリードフレームのワイヤ
リング形状を検査する自動ワイヤリング検査装置、4b
は自動ワイヤリング検査装置5による検査工程を終えた
マガジンを取り出す自動アンロード用ステーションであ
る。
4a is a wire bonding apparatus 1, 1, ...
An automatic loading station for supplying a magazine from one end thereof to a magazine conveying path consisting of 5 is an automatic wiring inspection device for inspecting the wiring shape of the lead frame of the magazine which has completed the wire bonding process, 4b.
Is an automatic unloading station for taking out the magazine which has undergone the inspection process by the automatic wiring inspection device 5.

【0013】図2はマガジン搬送機構の拡大斜視図であ
り、次に図2に従ってマガジン搬送機構2を具体的に説
明する。6はローラ支持体で、断面形状がコ字状に形成
され、一対の側片6a、6bが上を向き、中間片が底部
を成すようにして略水平に設けられており、一対の側片
6a、6bの上部には複数の回転軸7、7、…が略一定
の間隔を置いて回転自在に取り付けられている。この間
隔は少なくともマガジンの長さよりは小さく設定されて
いる。
FIG. 2 is an enlarged perspective view of the magazine transport mechanism. Next, the magazine transport mechanism 2 will be specifically described with reference to FIG. Reference numeral 6 denotes a roller support, which has a U-shaped cross section and is provided substantially horizontally so that the pair of side pieces 6a and 6b face upward and the intermediate piece forms a bottom portion. A plurality of rotating shafts 7, 7, ... Are rotatably attached to the upper portions of 6a, 6b at substantially regular intervals. This interval is set to be at least smaller than the length of the magazine.

【0014】各回転軸7、7、…の一端はローラ支持体
6の側片6aを貫通して外側(正面側)に突出せしめら
れており、その突出端部にはそれぞれプーリー8が固定
されている。そして、各回転軸7、7、…の側片6a・
6b間の部分における両端部には搬送ローラ9、9が固
定されている。
One end of each of the rotary shafts 7, 7, ... Penetrates the side piece 6a of the roller support 6 so as to project to the outside (front side), and a pulley 8 is fixed to each of the projecting ends. ing. Then, the side pieces 6a of the rotary shafts 7, 7, ...
Conveyor rollers 9 are fixed to both ends of the portion between 6b.

【0015】10は回動支持体で、ローラ支持体6の一
端(右側の端)に回動自在取り付けられている。該回動
支持体10にもローラ支持体6と同様に、回転軸7、
7、…、プーリー8、8、…及び搬送ローラ9、9、…
が設けられており、回動支持体10は図示されたところ
の倒された状態ではローラ支持体6とで一つの搬送路を
構成するが、略90度回動して向きになると搬送部の一
部を切断して手や人体が入り込んでメンテナンス等を行
うことができるようになっている。11、11は回動支
持体10の回動角度を規定するストッパーである。
A rotary support 10 is rotatably attached to one end (right end) of the roller support 6. Similarly to the roller support body 6, the rotation support body 10 has a rotating shaft 7,
, ..., pulleys 8, 8, ... And conveyance rollers 9, 9 ,.
The rotary support 10 and the roller support 6 compose one transport path in the folded state as shown in the figure, but when the rotary support 10 is rotated by approximately 90 degrees to be oriented, It is designed so that a part of it can be cut and the hands and human body can get inside to perform maintenance. Reference numerals 11 and 11 are stoppers that define the rotation angle of the rotation support body 10.

【0016】12、12はローラ支持体6及び回転支持
体の各回転軸7、7、…の一端に固定されたプーリー
8、8、…に掛けられたベルトで、このベルト12、1
2が回転せしめられることによって各搬送ローラ9、
9、…が回転してマガジンを搬送することができる。
尚、13、13、…は遊び車である。14はモータで、
その回転がベルト12a、伝達ローラ15及びベルト1
2bを介してローラ支持体6a側のベルト12に伝達さ
れ、ベルト12a、伝達ローラ15及びベルト12cを
介して回動支持体10側のベルト12に伝達される。
Reference numerals 12 and 12 denote belts wound around pulleys 8 and 8 fixed to one end of each of rotary shafts 7 of the roller support 6 and the rotary support.
By rotating 2 the conveying rollers 9,
The magazines 9 can be rotated to convey the magazine.
In addition, 13, 13, ... Are idle cars. 14 is a motor,
The rotation of the belt 12a, the transmission roller 15 and the belt 1
It is transmitted to the belt 12 on the side of the roller support 6a via 2b, and is transmitted to the belt 12 on the side of the rotation support 10 via the belt 12a, the transmission roller 15 and the belt 12c.

【0017】従って、ローラ支持体6及び回動支持体1
0の搬送ローラ9、9、…はモータ14が回転すると、
すべて同じ方向に回転することができ、延いてはマガジ
ンを搬送することができる。16、16、…は案内輪
(カムホロア)で、それぞれ支持軸に回転自在に取り付
けられている。そして、各案内輪16、16、…の支持
軸はローラ支持体6及び回動支持体10の側片6a、6
b及び10a、10bの上端面に適宜な間隔をおいて植
設されている。案内輪16、16、…は搬送ローラ9、
9、…によって搬送されるマガジンを脇に逸れないよう
にガイドする役割を果す。
Therefore, the roller support 6 and the rotary support 1
0 of the transport rollers 9, 9, ... When the motor 14 rotates,
They can all rotate in the same direction and thus carry magazines. .. are guide wheels (cam followers), which are rotatably attached to the support shafts. The support shafts of the respective guide wheels 16, 16, ... Are side pieces 6a, 6 of the roller support body 6 and the rotation support body 10.
b and 10a, 10b are planted at appropriate intervals on the upper end surfaces thereof. The guide wheels 16, 16, ... Are the transport rollers 9,
It plays the role of guiding the magazines conveyed by 9, ...

【0018】図3はマガジン搬送機構2とワイヤボンデ
ィング装置のワイヤボンディング部との間のマガジンの
移送を説明するものである。17、17はマガジン持ち
上げ部材で、図示しない昇降機溝により駆動されマガジ
ン搬送機構2上のマガジン18を持ち上げることによっ
て前進後退可能な搬送アーム19、19に渡したり、逆
に搬送アーム19、19からマガジン18を受け取って
マガジン搬送機構2上にソフトランディングする役割を
果す。尚、通常時においては搬送ローラ9、9、…より
も低いところに退避している。
FIG. 3 illustrates the transfer of the magazine between the magazine transport mechanism 2 and the wire bonding section of the wire bonding apparatus. Reference numerals 17 and 17 denote magazine lifting members, which are driven by an elevator groove (not shown) and lifted a magazine 18 on the magazine transport mechanism 2 to transfer it to transport arms 19 and 19 which can move forward and backward, and conversely, from the transport arms 19 and 19 to magazines. It plays the role of receiving 18 and soft landing on the magazine transport mechanism 2. In the normal state, the rollers are retracted to a position lower than the conveying rollers 9, 9, ....

【0019】20は接地手段で、搬送されるマガジン1
8をアースするもので、マガジン搬送機構2により搬送
されるマガジン18が搬送中は常に接地されるようにマ
ガジン18の長さ以下のピッチをもって複数個金属製ブ
ラケット26、26、…によりローラ支持体6及び回動
支持体10に設けられている。図4は一つの接地手段2
0を拡大し且つブラケット26を省いて示す斜視図であ
り、この図に従って、接地手段20を説明する。
Numeral 20 is a grounding means for carrying the magazine 1 to be conveyed.
8 is grounded, and a plurality of metal brackets 26, 26, ... Have a roller support member with a pitch less than the length of the magazine 18 so that the magazine 18 transported by the magazine transport mechanism 2 is always grounded during transportation. 6 and the rotary support 10. FIG. 4 shows one grounding means 2
It is a perspective view which expands 0 and omits the bracket 26, and demonstrates the earthing | grounding means 20 according to this figure.

【0020】21は金属製回動片で、中間部を支軸22
により回動自在に支持されている。尚、支軸22はロー
ラ支持体6、回動支持体10の一方の側片6b、10b
の内側面に取り付けられた図4では図示しないブラケッ
ト26に突出形成されている。23は回動片21の一端
に回動自在に取り付けられた金属製の発塵防止ベアリン
グ、24は一端が回動片21の他端に係止乃至固着さ
れ、他端がブラケット26に係止乃至固着された金属製
のバネで、回動片21を、その一端、即ちベアリング2
3が上側に行くように図4における時計回り方向に付勢
する。
Reference numeral 21 denotes a metal rotating piece, the middle portion of which is a support shaft 22.
It is rotatably supported by. In addition, the support shaft 22 is one side piece 6b, 10b of the roller support 6 and the rotation support 10.
4 is attached to the inner surface of the bracket 26, and a bracket 26 (not shown in FIG. 4) is formed to project. Reference numeral 23 denotes a metal dust-prevention bearing rotatably attached to one end of the rotating piece 21, and 24 has one end locked or fixed to the other end of the rotating piece 21 and the other end to a bracket 26. A fixed metal spring is used to move the rotating piece 21 to one end thereof, that is, the bearing 2
3 is urged in the clockwise direction in FIG. 4 so that it goes to the upper side.

【0021】25はストッパで、回動片21の時計回り
方向における回動を一定限度を越えないように規定する
役割を果す。この接地手段20は、通常時はバネ24の
働きによりストッパ25により回動が規定される角度ま
で回動片21が時計回り方向に回動せしめられた状態に
なっており、そして、そのときのベアリング23の高さ
は、搬送されるマガジン18の外底面と接し得るに充分
な高さにされている。
Reference numeral 25 denotes a stopper, which plays a role of regulating the rotation of the rotating piece 21 in the clockwise direction so as not to exceed a certain limit. Normally, the grounding means 20 is in a state in which the rotating piece 21 is rotated clockwise by the action of the spring 24 to an angle at which the rotation is regulated by the stopper 25. The height of the bearing 23 is set high enough to contact the outer bottom surface of the magazine 18 to be transported.

【0022】従って、マガジン18が接地手段20上に
達すると図4に示すようにベアリング23はマガジン1
8の重量を受け、回動片21はバネ24の弾力に抗して
図3における反時計回り方向に回動せしめられる。依っ
て、ベアリング23はその上をマガジン18が通過する
間バネ24の持つ弾力によりマガジン18の底面に弾接
せしめられることになり、その結果、マガジン18は接
地手段20を介してローラ支持体6に電気的に接続さ
れ、延いては接地されることになる。
Therefore, when the magazine 18 reaches the grounding means 20, the bearing 23 is moved to the magazine 1 as shown in FIG.
Due to the weight of 8, the rotating piece 21 is rotated counterclockwise in FIG. 3 against the elastic force of the spring 24. Therefore, the bearing 23 is elastically brought into contact with the bottom surface of the magazine 18 by the elasticity of the spring 24 while the magazine 18 passes over the bearing 23. As a result, the magazine 18 is grounded via the grounding means 20. It will be electrically connected to and will be grounded.

【0023】しかして、マガジン18が帯電することを
防止することができ、延いてはマガジン18内のリード
フレームに搭載された半導体装置内部で静電破壊を起す
ことを防止することができる。図5は接地手段20の配
置位置の説明図であり、接地手段20についてはベアリ
ング23のみを図示することにより接地手段20の位置
を示す。この図のように、マガジン18の長さと略同じ
ピッチで接地手段20を複数配設することによりマガジ
ン18はマガジン搬送機構2により搬送される間は常に
いずれかの接地手段20を介して接地されるようにでき
る。従って、きわめて有効に帯電を防止することができ
る。
Therefore, it is possible to prevent the magazine 18 from being charged, and eventually to prevent electrostatic breakdown inside the semiconductor device mounted on the lead frame in the magazine 18. FIG. 5 is an explanatory view of the arrangement position of the grounding means 20, and regarding the grounding means 20, only the bearing 23 is shown to show the position of the grounding means 20. By disposing a plurality of grounding means 20 at substantially the same pitch as the length of the magazine 18 as shown in this figure, the magazine 18 is always grounded via one of the grounding means 20 while being transported by the magazine transport mechanism 2. Can be done. Therefore, charging can be prevented very effectively.

【0024】尚、搬送アーム19、19によりマガジン
18が保持された状態のときは接地手段20によっては
マガジン18は接地されない。そこで、本実施例では搬
送アーム19、19を金属により形成し、そして接地し
ている。このようにすれば、搬送アーム19、19によ
り搬送されているときも接地される。尚、接地手段は図
示したものに限定されず、搬送されるマガジン18をそ
の搬送を妨げることなく接地できるのであれば他の手段
でも良い。
Incidentally, when the magazine 18 is held by the transfer arms 19 and 19, the magazine 18 is not grounded by the grounding means 20. Therefore, in this embodiment, the transfer arms 19 and 19 are made of metal and are grounded. With this configuration, the grounding is performed even when the carrier arms 19 are carrying the carrying arms. The grounding means is not limited to the one shown in the figure, and any other means may be used as long as it can ground the conveyed magazine 18 without hindering its conveyance.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明マガジン搬送機構は、搬送される
マガジンを接地する接地手段を有することを特徴とする
ものである。従って、本発明マガジン搬送機構によれ
ば、マガジンが搬送されながら接地手段により接地され
るので、搬送される過程で絶縁性材料からなる搬送部材
と摩擦を生じても帯電し得ない。従って、マガジンの帯
電により生じていたトラブルの発生を防止することがで
きる。
The magazine carrying mechanism of the present invention is characterized by having a grounding means for grounding the carried magazine. Therefore, according to the magazine transport mechanism of the present invention, since the magazine is grounded by the grounding means while being transported, even if friction occurs with the transport member made of an insulating material during the transportation, the magazine cannot be charged. Therefore, it is possible to prevent the occurrence of trouble caused by the charging of the magazine.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明マガジン搬送機構の一つの実施例を有す
る複数のワイヤボンディング装置からなるワイヤボンデ
ィングシステムの全体を示す斜視図である。
FIG. 1 is a perspective view showing an entire wire bonding system including a plurality of wire bonding devices having an embodiment of a magazine transport mechanism of the present invention.

【図2】本発明マガジン搬送機構の一つの実施例を示す
斜視図である。
FIG. 2 is a perspective view showing one embodiment of a magazine transport mechanism of the present invention.

【図3】マガジン搬送機構とワイヤボンディング部側と
の間のマガジンの移送を説明する斜視図である。
FIG. 3 is a perspective view illustrating transfer of a magazine between a magazine transport mechanism and a wire bonding unit side.

【図4】接地手段の拡大正面図である。FIG. 4 is an enlarged front view of grounding means.

【図5】接地手段の位置説明図である。FIG. 5 is a position explanatory view of a grounding unit.

【図6】ワイヤボンディングされたリードフレームの一
例を示す斜視図である。
FIG. 6 is a perspective view showing an example of a wire-bonded lead frame.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ワイヤボンディング装置 2 マガジン搬送機構 7 回転軸 9 搬送ローラ 18 マガジン 20 接地手段 1 Wire Bonding Device 2 Magazine Transport Mechanism 7 Rotating Shaft 9 Transport Roller 18 Magazine 20 Grounding Means

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 絶縁性材料により金属製マガジンを搬送
するマガジン搬送機構において、 搬送されるマガジンを接地する接地手段を有することを
特徴とするマガジン搬送機構
1. A magazine transport mechanism for transporting a metal magazine by an insulating material, comprising a grounding means for grounding the transported magazine.
JP33799392A 1992-11-25 1992-11-25 Magazine conveyor mechanism Pending JPH06156655A (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33799392A JPH06156655A (en) 1992-11-25 1992-11-25 Magazine conveyor mechanism

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP33799392A JPH06156655A (en) 1992-11-25 1992-11-25 Magazine conveyor mechanism

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH06156655A true JPH06156655A (en) 1994-06-03

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ID=18313936

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JP33799392A Pending JPH06156655A (en) 1992-11-25 1992-11-25 Magazine conveyor mechanism

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JP (1) JPH06156655A (en)

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