JPH06152075A - Metal vapor laser device - Google Patents

Metal vapor laser device

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JPH06152075A
JPH06152075A JP29609692A JP29609692A JPH06152075A JP H06152075 A JPH06152075 A JP H06152075A JP 29609692 A JP29609692 A JP 29609692A JP 29609692 A JP29609692 A JP 29609692A JP H06152075 A JPH06152075 A JP H06152075A
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JP
Japan
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metal vapor
metal
laser light
substrate
source
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Application number
JP29609692A
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Japanese (ja)
Inventor
Ryoichi Otani
良一 大谷
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Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
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Publication date
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Publication of JPH06152075A publication Critical patent/JPH06152075A/en
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Abstract

PURPOSE:To allow stable operation for a long time while having little shielding from laser light by using a substrate of a metal being a metal vapor source and a substance of a material quality having good wettability as a substrate of a metal vapor source while using the substrate of a tungsten material. CONSTITUTION:Metal vapor generated from a metal vapor source 1 is excited by free electrons of a discharge plasma diffused inside a ceramic tube so as to generate laser light inside the ceramic tube 2 when the inside of the ceramic tube is brought to a state of inverted population so that excited metal vapor transits to a low energy level. The output of laser light is amplified while laser light passes through a Brewster window 12 for reflecting at an output mirror 13 and a total reflection mirror 14 so that laser light having sufficient output is taken out from the output mirror 13. Now, when wettability between the metal 1, which is a vapor generation source, and a substrate 24 of a tungsten material is good, a metal 25 melted by heat of discharge plasma becomes plane- shaped so as not to shield generated laser light thus allowing creation of a large quantity of the metal.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は金属蒸気レーザ装置に係
り、長時間安定的に運転する金属蒸気レーザ装置に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metal vapor laser device, and more particularly to a metal vapor laser device which operates stably for a long time.

【0002】[0002]

【従来の技術】金属原子の励起を利用した金属蒸気レー
ザ装置は、化学反応や光通信、分析等の分野で利用され
る色素レーザの励起光源に適している。
2. Description of the Related Art A metal vapor laser device utilizing excitation of metal atoms is suitable as an excitation light source for a dye laser used in fields such as chemical reaction, optical communication and analysis.

【0003】従来の金属蒸気レーザ装置の構成例を図3
に示す。金属蒸気源1が内部に配置されたセラミック管
2の両端には、接合部材を介して陽極3および陰極4が
対抗して接続されて、放電管が形成される。この放電管
の外周面は断熱材5で包囲され、この断熱材5の外部は
胴体6および絶縁管フランジ7を有する絶縁管8で覆わ
れている。
An example of the configuration of a conventional metal vapor laser device is shown in FIG.
Shown in. An anode 3 and a cathode 4 are connected to each other at opposite ends of a ceramic tube 2 having a metal vapor source 1 arranged therein via a joining member to form a discharge tube. The outer peripheral surface of this discharge tube is surrounded by a heat insulating material 5, and the outside of this heat insulating material 5 is covered with an insulating tube 8 having a body 6 and an insulating tube flange 7.

【0004】上記陽極3および陰極4には、それぞれ電
極フランジ9が設けられ、この電極フランジ9は電極支
持フランジ10によって取付固定されている。この電極
支持フランジ10には、一対のブリュスタ管11a、1
1bが接続されており、このブリュスタ管11a、11
bの開口部にはそれぞれブリュスタ窓12が取付けられ
ている。このブリュスタ窓12の外側には出力ミラー1
3と全反射ミラー14が配置され、共振器を形成してい
る。
An electrode flange 9 is provided on each of the anode 3 and the cathode 4, and the electrode flange 9 is attached and fixed by an electrode support flange 10. The electrode support flange 10 has a pair of Brewster tubes 11 a, 1
1b is connected to the Brewster tubes 11a, 11
Brewster windows 12 are attached to the respective openings of b. An output mirror 1 is provided outside the Brewster window 12.
3 and the total reflection mirror 14 are arranged to form a resonator.

【0005】また、上記ブリュスタ管11aには放電用
バッファガス15を供給するガス供給管16が接続さ
れ、他方のブリュスタ管11bには放電管内のバッファ
ガス等を外部へ排出するガス廃棄管17が接続されてい
る。上記ブリュスタ管11aに接続されている電極支持
フランジ10と絶縁管フランジ7との間には、陽電極3
と陰電極4間に電圧をかけるためのパルス高圧電源回路
18が接続されている。
A gas supply pipe 16 for supplying the discharge buffer gas 15 is connected to the brewer pipe 11a, and a gas waste pipe 17 for discharging the buffer gas and the like in the discharge pipe to the outside is connected to the other brewer pipe 11b. It is connected. Between the electrode support flange 10 and the insulating pipe flange 7 connected to the Brewster pipe 11a, the positive electrode 3
A pulse high voltage power supply circuit 18 for applying a voltage is connected between the negative electrode 4 and the negative electrode 4.

【0006】この高電圧パルス電源回路18は、直流高
電圧電源と充電コンデンサ19、中間コンデンサ20、
抵抗21、パルス放電スイッチング素子であるサイラト
ロン22、ダイオード23から構成されている。
The high voltage pulse power supply circuit 18 includes a DC high voltage power supply, a charging capacitor 19, an intermediate capacitor 20,
It is composed of a resistor 21, a thyratron 22 which is a pulse discharge switching element, and a diode 23.

【0007】上記パルス高圧電源回路18は充電コンデ
ンサ19に充電された電荷がサイラトロン22を点弧す
ることにより、ほぼ10-7秒以下の立上がり時間で放電
電流を発生させる。このパルス高電圧は、電圧が数kv〜
10数kv、繰り返し周波数が数kHz 〜数10kHz であ
る。サイラトロン22に付されている記号Aはアノード
端子、Cはカソード端子、Gはトリガー端子である。
The pulse high voltage power supply circuit 18 generates a discharge current with a rise time of approximately 10 -7 seconds or less by the charge charged in the charging capacitor 19 igniting the thyratron 22. This pulse high voltage has a voltage of several kv-
10 number kv, the repetition frequency is the number kH z ~ number 10kH z. The symbol A attached to the thyratron 22 is an anode terminal, C is a cathode terminal, and G is a trigger terminal.

【0008】上述した金属蒸気レーザ装置は以下に述べ
るような作用でレーザを発振する。金属蒸気源1を内部
に有した放電管としてのセラミック管2内に、ガス供給
管16から放電用バッファガス15を供給する。
The metal vapor laser device described above oscillates a laser by the following actions. A discharge buffer gas 15 is supplied from a gas supply pipe 16 into a ceramic tube 2 as a discharge tube having a metal vapor source 1 therein.

【0009】一方、セラミック管2の陽極3と陰極4間
に、パルス高電圧電源18によって高電圧を印加して、
上記バッファガス15による放電プラズマを発生させ
る。この放電プラズマによりセラミック管2が高温に加
熱されることによって、金属蒸気源1から金属蒸気が生
成される。この金属蒸気はセラミック管内に拡散した上
記放電プラズマの自由電子により励起され、やがてセラ
ミック管2内は反転分布の状態となり、この励起された
金属蒸気が、低いエネルギー準位に遷移する際にレーザ
光を発生する。このレーザ光はブリュスタ窓12を通過
し、レーザ共振器を構成する出力ミラー13および全反
射ミラー14で反射する間にレーザ光の出力が増幅され
て、やがて十分な出力を持ったレーザ光が出力ミラー1
3から取り出される。
On the other hand, a high voltage is applied between the anode 3 and the cathode 4 of the ceramic tube 2 by the pulse high voltage power source 18,
Discharge plasma is generated by the buffer gas 15. By heating the ceramic tube 2 to a high temperature by this discharge plasma, metal vapor is generated from the metal vapor source 1. This metal vapor is excited by the free electrons of the discharge plasma diffused in the ceramic tube, and eventually becomes a state of population inversion in the ceramic tube 2, and when the excited metal vapor makes a transition to a low energy level, laser light is emitted. To occur. This laser light passes through the Brewster window 12, and the output of the laser light is amplified while being reflected by the output mirror 13 and the total reflection mirror 14 which form the laser resonator, and eventually a laser light having a sufficient output is output. Mirror 1
Taken out from 3.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
の金属蒸気レーザ装置においては、放電管であるセラミ
ック管内に形成した放電プラズマの熱によってセラミッ
ク管内の金属蒸気源を加熱してレーザ発振に適した金属
蒸気量を発生させている。
As described above, in the conventional metal vapor laser device, the metal vapor source in the ceramic tube is heated by the heat of the discharge plasma formed in the ceramic tube which is the discharge tube to cause laser oscillation. Producing a suitable amount of metal vapor.

【0011】ところで、金属蒸気レーザ装置を長時間運
転するためにはセラミック管の金属蒸気源である金属を
多量に設置する必要がある。しかしながら、上記金属蒸
気源の金属の多量の設置は、セラミック管と金属蒸気源
の金属との濡れ性(付着性)が悪いため、図4に示すよ
うに、放電プラズマの熱により溶けた金属25が大きな
球状になり、発生するレーザ光を遮蔽するといった問題
点があった。
By the way, in order to operate the metal vapor laser device for a long time, it is necessary to install a large amount of metal which is the metal vapor source of the ceramic tube. However, when a large amount of the metal of the metal vapor source is installed, the wettability (adhesiveness) between the ceramic tube and the metal of the metal vapor source is poor, and therefore, as shown in FIG. Has a large spherical shape, and there is a problem that the generated laser light is blocked.

【0012】また、この問題点を解決するために、上記
金属蒸気源の金属を上記放電管であるセラミック管内
に、少量ずつ多点に設置するといった方法も考えられて
いるが、セラミック管内に温度分布があるためレーザ出
力を不安定にするといった別の問題点が生じた。
In order to solve this problem, a method has been considered in which the metal of the metal vapor source is installed in small numbers at multiple points in the ceramic tube which is the discharge tube. Another problem was that the laser output became unstable due to the distribution.

【0013】本発明は上述した事情を考慮してなされた
もので、金属蒸気レーザ装置を長時間運転する場合にお
いて、金属蒸気源である金属を放電管内に多量に設置し
ても、レーザ光の遮蔽が少なく、長時間安定に運転が可
能な金属蒸気レーザ装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in consideration of the above-mentioned circumstances, and when the metal vapor laser device is operated for a long time, even if a large amount of metal, which is a metal vapor source, is installed in the discharge tube, the laser light An object of the present invention is to provide a metal vapor laser device which has little shielding and can be stably operated for a long time.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明に係る金属蒸気レーザ装置は、請求項1に記載し
たように、金属蒸気を生成する金属蒸気源が内部に設置
された放電管を放電加熱してレーザ光を発生させる金属
蒸気レーザ装置おいて、上記金属蒸気源の基板として、
上記金属蒸気源である金属と濡れ性の良い材質の物質に
よる基板を用いたものである。
In order to achieve the above object, the metal vapor laser device according to the present invention has a discharge tube in which a metal vapor source for producing metal vapor is installed as described in claim 1. In a metal vapor laser device that discharges and heats to generate laser light, as a substrate of the metal vapor source,
The substrate is made of a material that has good wettability with the metal that is the metal vapor source.

【0015】また、上記目的を達成させるため本発明に
係る金属蒸気レーザ装置は、請求項2に記載したよう
に、金属蒸気を生成する金属蒸気源が内部に設置された
放電管を放電加熱してレーザ光を発生させる金属蒸気レ
ーザ装置おいて、上記金属蒸気源の基板としてタングス
テン材による基板を用いたものである。
Further, in order to achieve the above object, the metal vapor laser device according to the present invention, as described in claim 2, discharge-heats a discharge tube in which a metal vapor source for generating metal vapor is installed. In the metal vapor laser device for generating laser light by using a laser beam, a substrate made of a tungsten material is used as the substrate of the metal vapor source.

【0016】[0016]

【作用】本発明によれば、金属蒸気レーザ装置を長時間
運転する場合において、金属蒸気源の金属の量を多量に
設置しても発生するレーザ光を遮蔽することなしに、長
時間安定的に金属蒸気レーザ光を運転できる。
According to the present invention, when the metal vapor laser device is operated for a long time, even if a large amount of metal of the metal vapor source is installed, the laser beam generated is not shielded and stable for a long time. Can operate metal vapor laser light.

【0017】すなわち、放電管内の金属蒸気源の金属の
基板として、上記金属蒸気源の金属との濡れ性が良い物
質による基板を用いることによって、放電プラズマの熱
により溶けた金属は、上記基板との濡れ性が良いため平
面状になり、発振したレーザ光は遮蔽されない。
That is, by using a substrate made of a material having good wettability with the metal of the metal vapor source as the metal substrate of the metal vapor source in the discharge tube, the metal melted by the heat of the discharge plasma is Since it has good wettability, it becomes flat and the oscillated laser light is not shielded.

【0018】[0018]

【実施例】以下、本発明に係る金属蒸気レーザ装置の実
施例について、添付図面を参照して説明する。なお、図
3に示す従来例と同一の部分については同一の符号を付
して、詳細な説明は省略する。
Embodiments of the metal vapor laser device according to the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. The same parts as those of the conventional example shown in FIG. 3 are designated by the same reference numerals, and detailed description thereof will be omitted.

【0019】図1は本発明に係る金属蒸気レーザ装置の
一実施例を示すものである。金属蒸気源1はこの金属蒸
気源1と濡れ性の良いタングステン材による基板24を
介して、セラミック管2の内部に配置されている。セラ
ミック管2には陽極3および陰極4が対抗して接続され
て放電管を形成している。
FIG. 1 shows an embodiment of a metal vapor laser device according to the present invention. The metal vapor source 1 is arranged inside the ceramic tube 2 via a substrate 24 made of a tungsten material having good wettability with the metal vapor source 1. An anode 3 and a cathode 4 are oppositely connected to the ceramic tube 2 to form a discharge tube.

【0020】上記陽極3および陰極4には、それぞれ電
極フランジ9が設けられ、この電極フランジ9は電極支
持フランジ10によって取付固定されている。この電極
支持フランジ10には、一対のブリュスタ管11a、1
1bが接続されており、このブリュスタ管11a、11
bの開口部にはそれぞれブリュスタ窓12が取付けられ
ている。このブリュスタ窓12の外側には出力ミラー1
3と全反射ミラー14が配置され、共振器を形成してい
る。
An electrode flange 9 is provided on each of the anode 3 and the cathode 4, and the electrode flange 9 is attached and fixed by an electrode support flange 10. The electrode support flange 10 has a pair of Brewster tubes 11 a, 1
1b is connected to the Brewster tubes 11a, 11
Brewster windows 12 are attached to the respective openings of b. An output mirror 1 is provided outside the Brewster window 12.
3 and the total reflection mirror 14 are arranged to form a resonator.

【0021】また、上記ブリュスタ管11aには放電用
バッファガス15を供給するガス供給管16が接続さ
れ、他方のブリュスタ管11bには放電管内のバッファ
ガス15等を外部へ排出するガス廃棄管17が接続され
ている。上記ブリュスタ管11aに接続されている電極
支持フランジ10と絶縁管フランジ7との間には、陽電
極3と陰電極4間に電圧をかけるためのパルス高圧電源
回路18が接続されている。この高電圧パルス電源回路
18は、直流高電圧電源と充電コンデンサ19、中間コ
ンデンサ20、抵抗21、パルス放電スイッチング素子
であるサイラトロン22、ダイオード23から構成され
ている。
A gas supply pipe 16 for supplying a discharge buffer gas 15 is connected to the brewer pipe 11a, and a gas waste pipe 17 for discharging the buffer gas 15 in the discharge pipe to the outside of the other brewer pipe 11b. Are connected. A pulse high voltage power supply circuit 18 for applying a voltage between the positive electrode 3 and the negative electrode 4 is connected between the electrode supporting flange 10 and the insulating pipe flange 7 which are connected to the Brewster pipe 11a. The high-voltage pulse power supply circuit 18 includes a DC high-voltage power supply, a charging capacitor 19, an intermediate capacitor 20, a resistor 21, a thyratron 22 which is a pulse discharge switching element, and a diode 23.

【0022】次に作用を述べる。Next, the operation will be described.

【0023】金属蒸気源1を内部に有した放電管として
のセラミック管2内に、ガス供給管16から放電用バッ
ファガス15を供給する。一方、セラミック管2の陽極
3と陰極4間に、パルス高電圧電源18によって高電圧
を印加して、上記バッファガス15による放電プラズマ
を発生させる。この放電プラズマによりセラミック管2
が高温に加熱されることによって、金属蒸気源1から金
属蒸気が生成される。
A discharge buffer gas 15 is supplied from a gas supply pipe 16 into a ceramic tube 2 as a discharge tube having a metal vapor source 1 therein. On the other hand, a high voltage is applied between the anode 3 and the cathode 4 of the ceramic tube 2 by the pulse high voltage power supply 18 to generate discharge plasma by the buffer gas 15. This discharge plasma causes the ceramic tube 2
Is heated to a high temperature, metal vapor is generated from the metal vapor source 1.

【0024】上記金属蒸気はセラミック管内に拡散した
上記放電プラズマの自由電子により励起され、やがてセ
ラミック管2内は反転分布の状態となり、この励起され
た金属蒸気が、低いエネルギー準位に遷移する際にレー
ザ光を発生する。このレーザ光はブリュスタ窓12を通
過し、レーザ共振器を構成する出力ミラー13および全
反射ミラー14で反射する間にレーザ光の出力が増幅さ
れて、やがて十分な出力を持ったレーザ光が出力ミラー
13から取り出される。
The metal vapor is excited by the free electrons of the discharge plasma diffused in the ceramic tube, and eventually the ceramic tube 2 is in a population inversion state. When the excited metal vapor makes a transition to a low energy level. Generates a laser beam. This laser light passes through the Brewster window 12, and the output of the laser light is amplified while being reflected by the output mirror 13 and the total reflection mirror 14 which form the laser resonator, and eventually a laser light having a sufficient output is output. It is taken out from the mirror 13.

【0025】ここで、蒸気発生源の金属1とタングステ
ン材による基板24との濡れ性が良いと図2に示すよう
に、放電プラズマの熱により溶けた金属25が平面状に
なり、発生するレーザ光を遮蔽しないので多量の金属を
設置することができる。例えば、蒸気発生源の金属1が
銅の場合は100グラム以上の多量の金属を設置しても
レーザ光を遮蔽することなく、高効率の発振が得られ
る。
Here, if the wettability between the metal 1 of the vapor generating source and the substrate 24 by the tungsten material is good, as shown in FIG. 2, the metal 25 melted by the heat of the discharge plasma becomes flat, and the generated laser is generated. Since it does not block light, a large amount of metal can be installed. For example, when the metal 1 of the vapor generation source is copper, even if a large amount of metal of 100 grams or more is installed, high-efficiency oscillation can be obtained without blocking the laser light.

【0026】その他の実施例として、上述した一実施例
において濡れ性の良い基板を用いた金属蒸気源を放電管
内部に設置する際に、電極から放電管内径の2倍以上の
距離に設置する。このように設置することによって、金
属蒸気源である金属の反応より先に上記の濡れ性の良い
基盤自身が反応してしまうことを防ぐことができる。
As another embodiment, when a metal vapor source using a substrate having good wettability is installed inside the discharge tube in the above-described embodiment, it is installed at a distance of at least twice the inner diameter of the discharge tube from the electrode. . By installing in this way, it is possible to prevent the above-mentioned substrate having good wettability itself from reacting before the reaction of the metal which is the metal vapor source.

【0027】なお、本実施例のその他の構成、作用、効
果は一実施例と同様であるので説明は省略した。
The other construction, operation, and effect of this embodiment are the same as those of the first embodiment, and the explanation thereof is omitted.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上述べたように本発明に係る金属蒸気
レーザ装置によれば、この金属蒸気レーザ装置を長時間
運転するために、金属蒸気源である金属を多量に設置す
る場合においても、上記金属蒸気源である金属の基板
に、この金属との濡れ性が良い材質の物質からなる基板
を用いることによって溶けた金属によりレーザ光が遮蔽
されるのを防止することができ、金属蒸気レーザ装置を
長時間安定的に動作させることができる。また、溶けた
金属が平面状になるため、上記金属蒸気レーザ装置の移
動等によりレーザ出力が不安定になることも防止するこ
とができる。
As described above, according to the metal vapor laser device of the present invention, even when a large amount of metal as a metal vapor source is installed in order to operate the metal vapor laser device for a long time, It is possible to prevent the laser light from being shielded by the melted metal by using a substrate made of a material having a good wettability with the metal as the metal vapor source, which is the metal vapor laser. The device can be stably operated for a long time. Further, since the molten metal becomes flat, it is possible to prevent the laser output from becoming unstable due to movement of the metal vapor laser device.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る金属蒸気レーザ装置の一実施例の
構成を回路図を併用して示す断面図。
FIG. 1 is a sectional view showing the configuration of an embodiment of a metal vapor laser device according to the present invention together with a circuit diagram.

【図2】図1におけるセラミック管内部の状態を表す断
面図。
FIG. 2 is a cross-sectional view showing a state inside the ceramic tube in FIG.

【図3】金属蒸気レーザ装置の従来例の構成を回路図を
併用して示す断面図。
FIG. 3 is a sectional view showing a configuration of a conventional example of a metal vapor laser device together with a circuit diagram.

【図4】図3におけるセラミック管内部の状態を表す断
面図。
4 is a cross-sectional view showing the inside of the ceramic tube in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 金属蒸気源 2 セラミック管 3 陽極 4 陰極 5 断熱材 6 胴体 7 絶縁管フランジ 8 絶縁管 9 電極フランジ 10 電極支持フランジ 11a ブリュスタ管 11b ブリュスタ管 12 ブリュスタ窓 13 出力ミラー 14 全反射ミラー 15 放電管用バッファガス 16 ガス供給管 17 ガス廃棄管 18 パルス高電圧回路 19 充電コンデンサ 20 中間コンデンサ 21 抵抗 22 サイラトロン 23 ダイオード 24 タングステン材による基板 25 溶けた金属 1 Metal Vapor Source 2 Ceramic Tube 3 Anode 4 Cathode 5 Heat Insulating Material 6 Body 7 Insulating Tube Flange 8 Insulating Tube 9 Electrode Flange 10 Electrode Support Flange 11a Brewster Tube 11b Brewster Tube 12 Brewster Window 13 Output Mirror 14 Total Reflection Mirror 15 Discharge Tube Buffer Gas 16 Gas supply pipe 17 Gas waste pipe 18 Pulse high voltage circuit 19 Charging capacitor 20 Intermediate capacitor 21 Resistance 22 Thyratron 23 Diode 24 Substrate made of tungsten material 25 Melted metal

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 金属蒸気を生成する金属蒸気源が内部に
設置された放電管を放電加熱してレーザ光を発生させる
金属蒸気レーザ装置において、上記金属蒸気源の基板と
して、上記金属蒸気源である金属と濡れ性の良い材質の
物質による基板を用いたことを特徴とする金属蒸気レー
ザ装置。
1. A metal vapor laser device for generating laser light by discharging and heating a discharge tube in which a metal vapor source for generating metal vapor is installed, wherein the metal vapor source serves as a substrate for the metal vapor source. A metal vapor laser device characterized by using a substrate made of a material having a good wettability with a certain metal.
【請求項2】 金属蒸気を生成する金属蒸気源が内部に
設置された放電管を放電加熱してレーザ光を発生させる
金属蒸気レーザ装置において、上記金属蒸気源の基板と
して、タングステン材による基板を用いたことを特徴と
する金属蒸気レーザ装置。
2. A metal vapor laser device for discharging and heating a discharge tube in which a metal vapor source for producing metal vapor is installed to generate laser light, wherein a substrate made of a tungsten material is used as the substrate of the metal vapor source. A metal vapor laser device characterized by being used.
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