JPH06138035A - 炭素膜の検査方法および磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
炭素膜の検査方法および磁気記録媒体の製造方法Info
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- JPH06138035A JPH06138035A JP28857992A JP28857992A JPH06138035A JP H06138035 A JPH06138035 A JP H06138035A JP 28857992 A JP28857992 A JP 28857992A JP 28857992 A JP28857992 A JP 28857992A JP H06138035 A JPH06138035 A JP H06138035A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 炭素膜の物理的特性に高い信頼性をもって対
応する指標に基づいて膜質評価が可能な炭素膜の検査方
法およびこの検査方法を検査工程に利用した磁気記録媒
体の製造方法を実現すること。 【構成】 磁気記録媒体の保護膜たるＤＬＣ膜に対し
て、可視域のレーザ光を照射してラマンスペクトルを測
定し、１５５０ｃｍ-1付近の蛍光の強度ＩF と、この蛍
光強度をベースラインとしたときの１５５０ｃｍ-1付近
のラマン光のピーク強度ＩR との強度比（ＩF ／ＩR ）
を求める。ここで、ＩF ／ＩR が２０未満であって２を
越える値であるときに、磁気記録媒体を良品と判定す
る。
応する指標に基づいて膜質評価が可能な炭素膜の検査方
法およびこの検査方法を検査工程に利用した磁気記録媒
体の製造方法を実現すること。 【構成】 磁気記録媒体の保護膜たるＤＬＣ膜に対し
て、可視域のレーザ光を照射してラマンスペクトルを測
定し、１５５０ｃｍ-1付近の蛍光の強度ＩF と、この蛍
光強度をベースラインとしたときの１５５０ｃｍ-1付近
のラマン光のピーク強度ＩR との強度比（ＩF ／ＩR ）
を求める。ここで、ＩF ／ＩR が２０未満であって２を
越える値であるときに、磁気記録媒体を良品と判定す
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は炭素膜の評価方法および
磁気記録媒体の製造方法に関し、とくに、ダイヤモンド
結合およびグラファイト結合が混在する炭素膜、いわゆ
るダイヤモンドライクカーボン膜（以下、ＤＬＣ膜とい
う。）にレーザ光を照射したときに発せられる蛍光の強
度に基づく炭素膜の評価技術に関する。
磁気記録媒体の製造方法に関し、とくに、ダイヤモンド
結合およびグラファイト結合が混在する炭素膜、いわゆ
るダイヤモンドライクカーボン膜（以下、ＤＬＣ膜とい
う。）にレーザ光を照射したときに発せられる蛍光の強
度に基づく炭素膜の評価技術に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＤＬＣ膜と称せられる炭素膜は、ダイヤ
モンド結合とグラファイト結合とが混在した構造にある
ため、グラファイト的な平坦性および低摩擦係数を有す
るとともに、ダイヤモンド的な高硬度をも備えている。
また、ＤＬＣ膜は、反応性スパッタ法，プラズマＣＶＤ
法，イオンビームデポジション法など、各種の方法で成
膜できること、温度が２５０℃以下の低温雰囲気中で成
膜できること、化学的に安定であることなどから、各種
材料の保護膜や機能性薄膜としての利用が期待されてい
る。とりわけ、ハードディスク装置においては、ＣＳＳ
方式（コンタクトスタートストップ方式）が採用され
て、磁気記録媒体の表面と記録ヘッドとが接触動作を繰
り返すため、ＤＬＣ膜は、磁気記録媒体の表面側に形成
されて物理的な衝撃などから磁気記録媒体を保護する保
護層としての利用が期待される。
モンド結合とグラファイト結合とが混在した構造にある
ため、グラファイト的な平坦性および低摩擦係数を有す
るとともに、ダイヤモンド的な高硬度をも備えている。
また、ＤＬＣ膜は、反応性スパッタ法，プラズマＣＶＤ
法，イオンビームデポジション法など、各種の方法で成
膜できること、温度が２５０℃以下の低温雰囲気中で成
膜できること、化学的に安定であることなどから、各種
材料の保護膜や機能性薄膜としての利用が期待されてい
る。とりわけ、ハードディスク装置においては、ＣＳＳ
方式（コンタクトスタートストップ方式）が採用され
て、磁気記録媒体の表面と記録ヘッドとが接触動作を繰
り返すため、ＤＬＣ膜は、磁気記録媒体の表面側に形成
されて物理的な衝撃などから磁気記録媒体を保護する保
護層としての利用が期待される。
【０００３】このようなＤＬＣ膜については、マクロ的
には非晶質の炭素膜であって水素を多量に含有すること
などが知られているが、ＤＬＣ膜の特性、たとえば、機
械的性質（硬さ、潤滑特性）や光学的性質（光学的バン
ドギャップ、電気特性）は、成膜方法および成膜条件に
よって大きな変化を示すため、その膜構造と膜特性との
関連性を水素濃度などの面から把握する取り組みが行わ
れている。たとえば、特開平２−７１４２２号公報にお
いては、波長が５１４．５ｎｍのＡｒ+ レーザを照射し
たときに得られるラマンスペクトルにおいて、図１１に
示すように、ＤＬＣ膜の結合電子がｓｐ2 結合とｓｐ3
結合の混在状態にあることに起因して得られる１３５０
ｃｍ-1および１５４０ｃｍ-1のピークＡ，Ｂをもつラマ
ンバンドの強度比からＤＬＣ膜を特徴付ける方法が開示
されている。
には非晶質の炭素膜であって水素を多量に含有すること
などが知られているが、ＤＬＣ膜の特性、たとえば、機
械的性質（硬さ、潤滑特性）や光学的性質（光学的バン
ドギャップ、電気特性）は、成膜方法および成膜条件に
よって大きな変化を示すため、その膜構造と膜特性との
関連性を水素濃度などの面から把握する取り組みが行わ
れている。たとえば、特開平２−７１４２２号公報にお
いては、波長が５１４．５ｎｍのＡｒ+ レーザを照射し
たときに得られるラマンスペクトルにおいて、図１１に
示すように、ＤＬＣ膜の結合電子がｓｐ2 結合とｓｐ3
結合の混在状態にあることに起因して得られる１３５０
ｃｍ-1および１５４０ｃｍ-1のピークＡ，Ｂをもつラマ
ンバンドの強度比からＤＬＣ膜を特徴付ける方法が開示
されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ＤＬＣ
膜の構造と特性との関連性は複雑であるため、ラマンス
ペクトル解析における２つのラマンバンドの強度比から
の判定では、たとえば、ＤＬＣ膜の成膜条件のうち、ス
パッタガスとして用いたＡｒ／ＣＨ4 混合ガスのガス比
を変化させた場合には、その潤滑特性や硬度などの物理
的特性が変化するにもかかわらず、２つのラマンバンド
の強度比は、いずれの条件で成膜した場合もほぼ２：１
であって差異が認められず、ＤＬＣ膜の膜質を規定する
指標としては信頼性が充分でないという問題点がある。
膜の構造と特性との関連性は複雑であるため、ラマンス
ペクトル解析における２つのラマンバンドの強度比から
の判定では、たとえば、ＤＬＣ膜の成膜条件のうち、ス
パッタガスとして用いたＡｒ／ＣＨ4 混合ガスのガス比
を変化させた場合には、その潤滑特性や硬度などの物理
的特性が変化するにもかかわらず、２つのラマンバンド
の強度比は、いずれの条件で成膜した場合もほぼ２：１
であって差異が認められず、ＤＬＣ膜の膜質を規定する
指標としては信頼性が充分でないという問題点がある。
【０００５】以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、
炭素膜の物理的特性に高い信頼性をもって対応する指標
に基づいて膜質評価が可能な炭素膜の検査方法およびこ
の検査方法を検査工程に利用した磁気記録媒体の製造方
法を実現することにある。
炭素膜の物理的特性に高い信頼性をもって対応する指標
に基づいて膜質評価が可能な炭素膜の検査方法およびこ
の検査方法を検査工程に利用した磁気記録媒体の製造方
法を実現することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に、本発明に係る炭素膜の検査方法において講じた手段
は、炭素膜に対して可視域のレーザ光を照射したときに
発せられる蛍光の強度を測定し、この蛍光強度に基づい
て、炭素膜の膜質を検査することである。
に、本発明に係る炭素膜の検査方法において講じた手段
は、炭素膜に対して可視域のレーザ光を照射したときに
発せられる蛍光の強度を測定し、この蛍光強度に基づい
て、炭素膜の膜質を検査することである。
【０００７】ここで、炭素膜の膜厚の影響を受けること
なく炭素膜を検査可能とする目的に、炭素膜に対して可
視域のレーザ光を照射したときに発せられるラマン光の
強度を測定し、このラマン光強度と蛍光強度との比に基
づいて、炭素膜の膜質を検査することが好ましい。
なく炭素膜を検査可能とする目的に、炭素膜に対して可
視域のレーザ光を照射したときに発せられるラマン光の
強度を測定し、このラマン光強度と蛍光強度との比に基
づいて、炭素膜の膜質を検査することが好ましい。
【０００８】また、本発明に係る検査方法については、
磁気記録媒体の製造方法において、磁気記録媒体の表面
側に形成した炭素膜に対して可視域のレーザ光を照射し
たときに発せられる蛍光の強度を測定し、この蛍光強度
が所定の値以上であったときに磁気記録媒体を良品と判
定する検査工程として利用できる。
磁気記録媒体の製造方法において、磁気記録媒体の表面
側に形成した炭素膜に対して可視域のレーザ光を照射し
たときに発せられる蛍光の強度を測定し、この蛍光強度
が所定の値以上であったときに磁気記録媒体を良品と判
定する検査工程として利用できる。
【０００９】ここで、炭素膜の厚さにかかわらず、磁気
記録媒体のＣＳＳ特性（コンタクトスタートストップ特
性）を規定可能なように、前記の検査工程においては、
磁気記録媒体の表面側に形成した炭素膜に対して可視域
のレーザ光を照射したときに発せられる１５５０ｃｍ-1
付近の蛍光の強度およびこの蛍光強度をベースラインと
したときの１５５０ｃｍ-1付近のラマン光のピーク強度
を測定し、蛍光強度をＩF とし、ラマン光のピーク強度
をＩR としたときに、ＩF ／ＩR で求められる値が２０
未満であって２を越える値であるときに、磁気記録媒体
を良品と判定することが好ましい。なお、本発明におい
て、ピーク位置などについては、±約１０ｃｍ-1位の変
動を有する。
記録媒体のＣＳＳ特性（コンタクトスタートストップ特
性）を規定可能なように、前記の検査工程においては、
磁気記録媒体の表面側に形成した炭素膜に対して可視域
のレーザ光を照射したときに発せられる１５５０ｃｍ-1
付近の蛍光の強度およびこの蛍光強度をベースラインと
したときの１５５０ｃｍ-1付近のラマン光のピーク強度
を測定し、蛍光強度をＩF とし、ラマン光のピーク強度
をＩR としたときに、ＩF ／ＩR で求められる値が２０
未満であって２を越える値であるときに、磁気記録媒体
を良品と判定することが好ましい。なお、本発明におい
て、ピーク位置などについては、±約１０ｃｍ-1位の変
動を有する。
【００１０】
【作用】本発明に係る炭素膜の検査方法においては、た
とえば、磁気記録媒体の表面側にスパッタガスとして用
いたＡｒ／ＣＨ4 混合ガスのガス比を種々の値に変えて
成膜した炭素膜に対して、可視域のレーザ光として、波
長が５１４．５ｎｍのＡｒ+ レーザを照射すると、図２
（ａ）ないし図２（ｃ）に示すとおり、１３５０ｃｍ-1
および１５４０ｃｍ-1のピークをもつラマンスペクトル
が得られる。ここで、従来のように、２つのピークのラ
マンバンドの強度比に基づいて、ＤＬＣ膜の膜質を評価
しようにも、その値には変化がみられず、Ａｒ／ＣＨ4
混合ガスのガス比による膜質の変化を把握することはで
きない。これに対して、Ａｒ／ＣＨ4 混合ガス中のＣＨ
4 ガス濃度を高い条件に設定するにつれて、ベースライ
ンに相当する蛍光強度は上昇しており、この蛍光強度か
ら、Ａｒ／ＣＨ4 混合ガスのガス比による膜質の変化、
たとえば、摩擦特性や硬度などの物理的特性を把握する
ことができ、磁気記録媒体の製造方法においては、炭素
膜の保護膜としての良否を数値的に簡単に検査すること
ができる。また、レーザ光の照射によってＤＬＣ膜から
発せられるラマン光および蛍光の測定は、磁気記録媒体
に対する非破壊試験であって、大気中で室温に保持した
まま行うことができるので、この検査方法を製造工程に
組み込むのも容易である。
とえば、磁気記録媒体の表面側にスパッタガスとして用
いたＡｒ／ＣＨ4 混合ガスのガス比を種々の値に変えて
成膜した炭素膜に対して、可視域のレーザ光として、波
長が５１４．５ｎｍのＡｒ+ レーザを照射すると、図２
（ａ）ないし図２（ｃ）に示すとおり、１３５０ｃｍ-1
および１５４０ｃｍ-1のピークをもつラマンスペクトル
が得られる。ここで、従来のように、２つのピークのラ
マンバンドの強度比に基づいて、ＤＬＣ膜の膜質を評価
しようにも、その値には変化がみられず、Ａｒ／ＣＨ4
混合ガスのガス比による膜質の変化を把握することはで
きない。これに対して、Ａｒ／ＣＨ4 混合ガス中のＣＨ
4 ガス濃度を高い条件に設定するにつれて、ベースライ
ンに相当する蛍光強度は上昇しており、この蛍光強度か
ら、Ａｒ／ＣＨ4 混合ガスのガス比による膜質の変化、
たとえば、摩擦特性や硬度などの物理的特性を把握する
ことができ、磁気記録媒体の製造方法においては、炭素
膜の保護膜としての良否を数値的に簡単に検査すること
ができる。また、レーザ光の照射によってＤＬＣ膜から
発せられるラマン光および蛍光の測定は、磁気記録媒体
に対する非破壊試験であって、大気中で室温に保持した
まま行うことができるので、この検査方法を製造工程に
組み込むのも容易である。
【００１１】
【実施例】つぎに、図面を参照して、本発明の実施例に
ついて説明する。
ついて説明する。
【００１２】〔実施例１〕まず、本発明の実施例１とし
て、可視域のレーザ光を照射したときに発せられる蛍光
の強度を測定し、この蛍光強度に基づいて、結晶Ｓｉ基
板の表面側に形成したＤＬＣ膜の膜質を検査する方法に
ついて説明する。
て、可視域のレーザ光を照射したときに発せられる蛍光
の強度を測定し、この蛍光強度に基づいて、結晶Ｓｉ基
板の表面側に形成したＤＬＣ膜の膜質を検査する方法に
ついて説明する。
【００１３】まず、カーボン焼結体をターゲットとし、
Ａｒ／ＣＨ4 混合ガスまたはＡｒ／Ｈ2 混合ガスを流し
ながら、ＤＣスパッタ法により、結晶Ｓｉ基板の上にＤ
ＬＣ膜を形成する。そのときのガス圧は０．６Ｐａ、流
量は５ｓｃｃｍ、基板温度は２５０℃である。ここで、
ＤＬＣの成膜条件のうち、Ａｒ／ＣＨ4 混合ガスのガス
比を０から１までの範囲で変えた種々の条件で、膜厚が
１０００〜２５００ÅのＤＬＣ膜を結晶Ｓｉ基板の上に
形成する。同様に、Ａｒ／Ｈ2 混合ガスのガス流量比を
０から１までの範囲で変えた種々の条件で、膜厚が１０
００〜２５００ÅのＤＬＣ膜を結晶Ｓｉ基板の上に形成
する。
Ａｒ／ＣＨ4 混合ガスまたはＡｒ／Ｈ2 混合ガスを流し
ながら、ＤＣスパッタ法により、結晶Ｓｉ基板の上にＤ
ＬＣ膜を形成する。そのときのガス圧は０．６Ｐａ、流
量は５ｓｃｃｍ、基板温度は２５０℃である。ここで、
ＤＬＣの成膜条件のうち、Ａｒ／ＣＨ4 混合ガスのガス
比を０から１までの範囲で変えた種々の条件で、膜厚が
１０００〜２５００ÅのＤＬＣ膜を結晶Ｓｉ基板の上に
形成する。同様に、Ａｒ／Ｈ2 混合ガスのガス流量比を
０から１までの範囲で変えた種々の条件で、膜厚が１０
００〜２５００ÅのＤＬＣ膜を結晶Ｓｉ基板の上に形成
する。
【００１４】つぎに、結晶Ｓｉ基板の上に形成した各Ｄ
ＬＣ膜について、波長が５１４．５ｎｍのＡｒ+ レーザ
光を照射し、ラマンスペクトルを測定する。そのうちの
基本的なラマンスペクトルを図１に示す。また、図２
（ａ）ないし（ｃ）には、Ａｒ／ＣＨ4 混合ガスのガス
比を０から１までの範囲で条件を変えたＤＬＣ膜に対す
る１８００ｃｍ-1〜１０００ｃｍ-1のラマンスペクトル
を示してあり、それらのうち、図２（ａ）はＣＨ4 ガス
濃度が１０％の条件で成膜したＤＬＣ膜のラマンスペク
トル、図２（ｂ）はＣＨ4 ガス濃度が３０％の条件で成
膜したＤＬＣ膜のラマンスペクトル、図２（ｃ）はＣＨ
4 ガス濃度が５０％の条件で成膜したＤＬＣ膜のラマン
スペクトルである。さらに、図３（ａ）ないし（ｃ）に
は、Ａｒ／ＣＨ4 混合ガスのガス比を０から１までの範
囲で条件を変えたＤＬＣ膜に対する６０００ｃｍ-1〜１
００ｃｍ-1のラマンスペクトルを示してあり、それらの
うち、図３（ａ）はＣＨ4 ガス濃度が１０％の条件で成
膜したＤＬＣ膜のラマンスペクトル、図３（ｂ）はＣＨ
4 ガス濃度が３０％の条件で成膜したＤＬＣ膜のラマン
スペクトル、図３（ｃ）はＣＨ4 ガス濃度が５０％の条
件で成膜したＤＬＣ膜のラマンスペクトルである。な
お、これらのスペクトルのうち、５２０ｃｍ-1の鋭いピ
ークＰSiは、結晶性Ｓｉ基板からのラマン光のピークで
あり、ピークＰcは、ＤＬＣ膜からのラマン光のピーク
である。このピークＰc には、図２（ａ）ないし（ｃ）
に明確に現れているように、１３５０ｃｍ-1および１５
４０ｃｍ-1のピークＰc1，Ｐc2が含まれている。また、
ラマンスペクトルにおけるベースラインは、蛍光に起因
するものであり、図１において、そのピークにおける蛍
光強度をＩF で示してある。これらのスペクトルの特徴
点については、Ａｒ／Ｈ2 混合ガス中で成膜した場合も
同様であるため、そのラマンスペクトルについては、そ
の図示を省略する。
ＬＣ膜について、波長が５１４．５ｎｍのＡｒ+ レーザ
光を照射し、ラマンスペクトルを測定する。そのうちの
基本的なラマンスペクトルを図１に示す。また、図２
（ａ）ないし（ｃ）には、Ａｒ／ＣＨ4 混合ガスのガス
比を０から１までの範囲で条件を変えたＤＬＣ膜に対す
る１８００ｃｍ-1〜１０００ｃｍ-1のラマンスペクトル
を示してあり、それらのうち、図２（ａ）はＣＨ4 ガス
濃度が１０％の条件で成膜したＤＬＣ膜のラマンスペク
トル、図２（ｂ）はＣＨ4 ガス濃度が３０％の条件で成
膜したＤＬＣ膜のラマンスペクトル、図２（ｃ）はＣＨ
4 ガス濃度が５０％の条件で成膜したＤＬＣ膜のラマン
スペクトルである。さらに、図３（ａ）ないし（ｃ）に
は、Ａｒ／ＣＨ4 混合ガスのガス比を０から１までの範
囲で条件を変えたＤＬＣ膜に対する６０００ｃｍ-1〜１
００ｃｍ-1のラマンスペクトルを示してあり、それらの
うち、図３（ａ）はＣＨ4 ガス濃度が１０％の条件で成
膜したＤＬＣ膜のラマンスペクトル、図３（ｂ）はＣＨ
4 ガス濃度が３０％の条件で成膜したＤＬＣ膜のラマン
スペクトル、図３（ｃ）はＣＨ4 ガス濃度が５０％の条
件で成膜したＤＬＣ膜のラマンスペクトルである。な
お、これらのスペクトルのうち、５２０ｃｍ-1の鋭いピ
ークＰSiは、結晶性Ｓｉ基板からのラマン光のピークで
あり、ピークＰcは、ＤＬＣ膜からのラマン光のピーク
である。このピークＰc には、図２（ａ）ないし（ｃ）
に明確に現れているように、１３５０ｃｍ-1および１５
４０ｃｍ-1のピークＰc1，Ｐc2が含まれている。また、
ラマンスペクトルにおけるベースラインは、蛍光に起因
するものであり、図１において、そのピークにおける蛍
光強度をＩF で示してある。これらのスペクトルの特徴
点については、Ａｒ／Ｈ2 混合ガス中で成膜した場合も
同様であるため、そのラマンスペクトルについては、そ
の図示を省略する。
【００１５】これらの図において、従来の評価方法のよ
うに、２つのラマンバンドにおけるピークＰc2，Ｐc1の
強度比に基づいて、各スペクトルを比較すると、いずれ
の条件で成膜したＤＬＣ膜のスペクトルにおいても、ピ
ークＰc2，Ｐc1の強度比が約２：１であり、差異が認め
られない。これに対して、本例の評価方法の特徴点であ
る蛍光に起因するベースラインの高さに基づいて、各ス
ペクトルを比較すると、ＣＨ4 ガスの流量比が高い条件
で成膜する程、蛍光に起因するベースラインが高くなる
傾向を有する。ここで、各ピークＰSi，Ｐc ，Ｐc1，Ｐ
c2の強度およびベースラインの強度ＩF は、いずれもＤ
ＬＣ膜の膜厚の影響が含まれている。
うに、２つのラマンバンドにおけるピークＰc2，Ｐc1の
強度比に基づいて、各スペクトルを比較すると、いずれ
の条件で成膜したＤＬＣ膜のスペクトルにおいても、ピ
ークＰc2，Ｐc1の強度比が約２：１であり、差異が認め
られない。これに対して、本例の評価方法の特徴点であ
る蛍光に起因するベースラインの高さに基づいて、各ス
ペクトルを比較すると、ＣＨ4 ガスの流量比が高い条件
で成膜する程、蛍光に起因するベースラインが高くなる
傾向を有する。ここで、各ピークＰSi，Ｐc ，Ｐc1，Ｐ
c2の強度およびベースラインの強度ＩF は、いずれもＤ
ＬＣ膜の膜厚の影響が含まれている。
【００１６】そこで、１５４０ｃｍ-1のピークＰc2の強
度および蛍光強度ＩF を、それぞれＤＬＣ膜の膜厚で割
った値を求め、それとＡｒ／ＣＨ4 混合ガスまたはＡｒ
／Ｈ2 混合ガスのガス比との関係を図４に示してある。
度および蛍光強度ＩF を、それぞれＤＬＣ膜の膜厚で割
った値を求め、それとＡｒ／ＣＨ4 混合ガスまたはＡｒ
／Ｈ2 混合ガスのガス比との関係を図４に示してある。
【００１７】図４において、実線１１はＡｒ／ＣＨ4 混
合ガス中で成膜したＤＬＣ膜のラマン光のピークＰc2の
強度ＩR をその膜厚で割った値との関係、実線１２はＡ
ｒ／Ｈ2 混合ガス中で成膜したＤＬＣ膜のラマン光のピ
ークＰc2の強度ＩR をその膜厚で割った値との関係、実
線１３はＡｒ／ＣＨ4 混合ガス中で成膜したＤＬＣ膜の
蛍光強度ＩF をその膜厚で割った値との関係、実線１４
はＡｒ／Ｈ2 混合ガス中で成膜したＤＬＣ膜の蛍光強度
ＩF をその膜厚で割った値との関係を示す。
合ガス中で成膜したＤＬＣ膜のラマン光のピークＰc2の
強度ＩR をその膜厚で割った値との関係、実線１２はＡ
ｒ／Ｈ2 混合ガス中で成膜したＤＬＣ膜のラマン光のピ
ークＰc2の強度ＩR をその膜厚で割った値との関係、実
線１３はＡｒ／ＣＨ4 混合ガス中で成膜したＤＬＣ膜の
蛍光強度ＩF をその膜厚で割った値との関係、実線１４
はＡｒ／Ｈ2 混合ガス中で成膜したＤＬＣ膜の蛍光強度
ＩF をその膜厚で割った値との関係を示す。
【００１８】この図に示すように、蛍光に起因するベー
スラインの強度（蛍光強度ＩF ）を膜厚で割った値（実
線１３，１４）で比較すると、成膜条件のうち、Ａｒ／
ＣＨ4 混合ガスまたはＡｒ／Ｈ2 混合ガスにおけるガス
比によって差が明確であることに加えて、Ａｒ／ＣＨ4
混合ガスとＡｒ／Ｈ2 混合ガスとの差も明確である。
スラインの強度（蛍光強度ＩF ）を膜厚で割った値（実
線１３，１４）で比較すると、成膜条件のうち、Ａｒ／
ＣＨ4 混合ガスまたはＡｒ／Ｈ2 混合ガスにおけるガス
比によって差が明確であることに加えて、Ａｒ／ＣＨ4
混合ガスとＡｒ／Ｈ2 混合ガスとの差も明確である。
【００１９】そして、各条件で成膜したＤＬＣ膜につい
て、その物理的膜質と、蛍光に起因するベースラインの
強度（蛍光強度ＩF ）を膜厚で割った値とは、相関性を
有することが確認されている。それ故、蛍光に起因する
ベースラインの強度（蛍光強度ＩF ）を膜厚で割った値
は、ＤＬＣ膜の物理的膜質を検査するのに適しており、
その信頼性も高い。これに対して、ＤＬＣ膜のラマン光
のピークＰc2の強度ＩRをその膜厚で割った値（実線１
１，１２）においては、成膜条件による差が小さく、Ｌ
ＤＣ膜の指標としては、成膜条件のうちのスパッタガス
の種類やガス成分比に起因する膜質の差までは評価でき
ない。
て、その物理的膜質と、蛍光に起因するベースラインの
強度（蛍光強度ＩF ）を膜厚で割った値とは、相関性を
有することが確認されている。それ故、蛍光に起因する
ベースラインの強度（蛍光強度ＩF ）を膜厚で割った値
は、ＤＬＣ膜の物理的膜質を検査するのに適しており、
その信頼性も高い。これに対して、ＤＬＣ膜のラマン光
のピークＰc2の強度ＩRをその膜厚で割った値（実線１
１，１２）においては、成膜条件による差が小さく、Ｌ
ＤＣ膜の指標としては、成膜条件のうちのスパッタガス
の種類やガス成分比に起因する膜質の差までは評価でき
ない。
【００２０】さらに、Ａｒ／ＣＨ4 混合ガスを用いて成
膜したＤＬＣ膜と、Ａｒ／Ｈ2 混合ガスを用いて成膜し
たＤＬＣ膜との差異を検討するために、図３（ａ）ない
し（ｃ）に示す結晶Ｓｉ基板からのＳｉのラマンピーク
強度を基準に、波長が５１４．５ｎｍの入射レーザ光に
対するＤＬＣ膜の吸収係数α（ｃｍ-1）を求め、それと
Ａｒ／ＣＨ4 混合ガスまたはＡｒ／Ｈ2 混合ガスのガス
比との関係を図５に示す。
膜したＤＬＣ膜と、Ａｒ／Ｈ2 混合ガスを用いて成膜し
たＤＬＣ膜との差異を検討するために、図３（ａ）ない
し（ｃ）に示す結晶Ｓｉ基板からのＳｉのラマンピーク
強度を基準に、波長が５１４．５ｎｍの入射レーザ光に
対するＤＬＣ膜の吸収係数α（ｃｍ-1）を求め、それと
Ａｒ／ＣＨ4 混合ガスまたはＡｒ／Ｈ2 混合ガスのガス
比との関係を図５に示す。
【００２１】図５において、実線２１はＡｒ／ＣＨ4 混
合ガス中で成膜したＤＬＣ膜の入射レーザ光に対する吸
収係数と成膜条件との関係を示し、実線２２はＡｒ／Ｈ
2 混合ガス中で成膜したＤＬＣ膜の入射レーザ光に対す
る吸収係数と成膜条件との関係を示す。
合ガス中で成膜したＤＬＣ膜の入射レーザ光に対する吸
収係数と成膜条件との関係を示し、実線２２はＡｒ／Ｈ
2 混合ガス中で成膜したＤＬＣ膜の入射レーザ光に対す
る吸収係数と成膜条件との関係を示す。
【００２２】これらの図に示すように、スパッタガスの
種類やガス比などの成膜条件によって、入射レーザ光に
対するＤＬＣ膜の吸収係数が変化していることを示して
おり、蛍光に起因するベースラインの強度（蛍光強度Ｉ
F ）を膜厚で割った値に対応して、ＤＬＣ膜の物理的膜
質が変化しているとの結果は、入射レーザ光に対するＤ
ＬＣ膜の吸収係数αの変化からも支持される。
種類やガス比などの成膜条件によって、入射レーザ光に
対するＤＬＣ膜の吸収係数が変化していることを示して
おり、蛍光に起因するベースラインの強度（蛍光強度Ｉ
F ）を膜厚で割った値に対応して、ＤＬＣ膜の物理的膜
質が変化しているとの結果は、入射レーザ光に対するＤ
ＬＣ膜の吸収係数αの変化からも支持される。
【００２３】なお、ＤＬＣ膜の吸収係数αの算出は、以
下のようにして行う。
下のようにして行う。
【００２４】まず、図６に示すように、ＤＬＣ膜の膜厚
をｄｃｍ、入射レーザ光の試料面法線となす角度をＡ、
ラマン光検出方向の試料面法線となす角度をＢ、入射光
強度をＩ0 とすると、ＤＬＣ膜を成膜前の結晶Ｓｉ基板
から得られるＳｉのラマン光強度Ｉ′Siは、以下の式
(1) で表される。
をｄｃｍ、入射レーザ光の試料面法線となす角度をＡ、
ラマン光検出方向の試料面法線となす角度をＢ、入射光
強度をＩ0 とすると、ＤＬＣ膜を成膜前の結晶Ｓｉ基板
から得られるＳｉのラマン光強度Ｉ′Siは、以下の式
(1) で表される。
【００２５】
【数１】
【００２６】ここで、ＲSiは、結晶性Ｓｉ基板における
膜厚や測定光学系もよらない固有のラマン光強度であ
る。
膜厚や測定光学系もよらない固有のラマン光強度であ
る。
【００２７】これに対して、ＤＬＣ膜を成膜した後の結
晶Ｓｉ基板から得られるＳｉのラマン光強度ＩSiは、ラ
マン光に対するＤＬＣ膜の吸収係数をβ（ｃｍ-1）とす
ると、以下の式(2) で表される。
晶Ｓｉ基板から得られるＳｉのラマン光強度ＩSiは、ラ
マン光に対するＤＬＣ膜の吸収係数をβ（ｃｍ-1）とす
ると、以下の式(2) で表される。
【００２８】
【数２】
【００２９】ただし、ＤＬＣ膜での反射は無視できるも
のとして扱ってある。
のとして扱ってある。
【００３０】ここで、入射レーザ光とラマン光とは波長
が近いため、β≒αと近似すると、式（２）は以下の式
(3) で表される。
が近いため、β≒αと近似すると、式（２）は以下の式
(3) で表される。
【００３１】
【数３】
【００３２】このようにして求めた吸収係数α（ｃ
ｍ-1）をガス比に対してプロットしたものが、図５であ
る。
ｍ-1）をガス比に対してプロットしたものが、図５であ
る。
【００３３】つぎに、ＤＬＣ膜の吸収係数αとラマン測
定によって求めた蛍光強度との関係を図７に示す。この
図において、縦軸は、蛍光のピーク強度ＩF とラマン光
のピーク強度ＩR との比（ＩF ／ＩR ）である。この図
において、蛍光強度ＩF とラマン光強度ＩR との比（Ｉ
F ／ＩR ）を用いたのは、以下の理由に基づく。
定によって求めた蛍光強度との関係を図７に示す。この
図において、縦軸は、蛍光のピーク強度ＩF とラマン光
のピーク強度ＩR との比（ＩF ／ＩR ）である。この図
において、蛍光強度ＩF とラマン光強度ＩR との比（Ｉ
F ／ＩR ）を用いたのは、以下の理由に基づく。
【００３４】図８において、ＤＬＣ膜の深さがｘ（ｃ
ｍ）の位置のｄｘの部分からのラマン光強度をｄＩR と
すると、ラマン光強度ｄＩR は以下の式で表される。
ｍ）の位置のｄｘの部分からのラマン光強度をｄＩR と
すると、ラマン光強度ｄＩR は以下の式で表される。
【００３５】
【数４】
【００３６】従って、ＤＬＣ膜のラマン光強度ＩR は、
以下の式で表される。
以下の式で表される。
【００３７】
【数５】
【００３８】ここで、ｋは比例定数、Ｉ0 は入射光強
度、ｄはＤＬ膜の膜厚、α，βは入射レーザ光およびラ
マン光に対するＤＬＣ膜の吸収係数であり、Ｒc は、膜
厚や測定光学系もよらないＤＬＣ膜固有のラマン光強度
である。
度、ｄはＤＬ膜の膜厚、α，βは入射レーザ光およびラ
マン光に対するＤＬＣ膜の吸収係数であり、Ｒc は、膜
厚や測定光学系もよらないＤＬＣ膜固有のラマン光強度
である。
【００３９】一方、蛍光の強度ＩF についても、ほぼ同
様に考えることができるので、固有の蛍光強度をＦc と
すると、蛍光の強度ＩF は、以下の式で表される。
様に考えることができるので、固有の蛍光強度をＦc と
すると、蛍光の強度ＩF は、以下の式で表される。
【００４０】
【数６】
【００４１】ここで、ＤＬＣ膜の蛍光ピーク波長とラマ
ン光の波長は近いため、 β＝β′ と近似すると、
ン光の波長は近いため、 β＝β′ と近似すると、
【００４２】
【数７】
【００４３】従って、実測値ＩF ／ＩR は、ＤＬＣ膜の
膜厚や測定方法によらないそのＤＬＣ固有の値、すなわ
ち、そのＤＬＣ膜の膜質を特徴付ける値になると考えら
れる。一方、図７に示すように、Ａr ／ＣＨ4 混合ガス
を使用した場合およびＡｒ／Ｈ2 混合ガスを使用した場
合のいずれの場合においても、ＩF ／ＩR と吸収係数α
とは同一の曲線で示される。それ故、ＤＬＣ膜の吸収係
数αは、膜厚や測定方法によらない固有の値であって、
ＤＬＣ膜の膜質を特徴付ける値であることから、ＩF ／
ＩR は、ＤＬＣ膜の膜質を特徴づけるのに適した指標で
ある。
膜厚や測定方法によらないそのＤＬＣ固有の値、すなわ
ち、そのＤＬＣ膜の膜質を特徴付ける値になると考えら
れる。一方、図７に示すように、Ａr ／ＣＨ4 混合ガス
を使用した場合およびＡｒ／Ｈ2 混合ガスを使用した場
合のいずれの場合においても、ＩF ／ＩR と吸収係数α
とは同一の曲線で示される。それ故、ＤＬＣ膜の吸収係
数αは、膜厚や測定方法によらない固有の値であって、
ＤＬＣ膜の膜質を特徴付ける値であることから、ＩF ／
ＩR は、ＤＬＣ膜の膜質を特徴づけるのに適した指標で
ある。
【００４４】なお、蛍光強度ＩF の設定方法について
は、蛍光のピーク強度を採用する代わりに特定の波数ま
たは波長における蛍光強度で評価することもできる。ま
た、ＤＬＣ膜のラマンバンドにおけるベースラインの高
さで蛍光強度を設定することもできる。
は、蛍光のピーク強度を採用する代わりに特定の波数ま
たは波長における蛍光強度で評価することもできる。ま
た、ＤＬＣ膜のラマンバンドにおけるベースラインの高
さで蛍光強度を設定することもできる。
【００４５】〔実施例２〕つぎに、実施例２に係る固定
ディスク用の磁気記録媒体の製造方法として、実施例１
に係るＤＬＣ膜の検査方法を磁気記録媒体の良否を検査
する工程に採用した磁気記録媒体の製造方法ついて説明
する。
ディスク用の磁気記録媒体の製造方法として、実施例１
に係るＤＬＣ膜の検査方法を磁気記録媒体の良否を検査
する工程に採用した磁気記録媒体の製造方法ついて説明
する。
【００４６】図９において、磁気記録媒体１は、アルミ
ニウム基板２の表面側にテクスチャー処理の施されたＮ
ｉ−Ｐめっき層３と、その表面側にスパッタ形成された
Ｃｒ層４および磁性層（Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ）５と、その
表面側に形成された保護膜としてのＤＬＣ膜６と、その
表面側に形成されたフッ化カーボンオイル層７とを有す
る。ここで、ＤＬＣ膜６は、ＣＳＳ方式のハードディス
ク装置において、磁気記録媒体１の最表面と記録ヘッド
との接触動作の繰り返しによって発生する物理的な衝撃
などから磁気記録媒体１を保護する目的に形成されてい
る。従って、ＤＬＣ膜６の潤滑特性や硬度などは、磁気
記録媒体１の信頼性を支配する要素であるため、本例の
製造方法においては、ＤＬＣ膜６の膜質を製造工程にお
いて検査し、磁気記録媒体１の良否の判定および前工程
へのフィードバックを行うことに特徴を有する。
ニウム基板２の表面側にテクスチャー処理の施されたＮ
ｉ−Ｐめっき層３と、その表面側にスパッタ形成された
Ｃｒ層４および磁性層（Ｃｏ−Ｃｒ−Ｔａ）５と、その
表面側に形成された保護膜としてのＤＬＣ膜６と、その
表面側に形成されたフッ化カーボンオイル層７とを有す
る。ここで、ＤＬＣ膜６は、ＣＳＳ方式のハードディス
ク装置において、磁気記録媒体１の最表面と記録ヘッド
との接触動作の繰り返しによって発生する物理的な衝撃
などから磁気記録媒体１を保護する目的に形成されてい
る。従って、ＤＬＣ膜６の潤滑特性や硬度などは、磁気
記録媒体１の信頼性を支配する要素であるため、本例の
製造方法においては、ＤＬＣ膜６の膜質を製造工程にお
いて検査し、磁気記録媒体１の良否の判定および前工程
へのフィードバックを行うことに特徴を有する。
【００４７】まず、本例の磁気記録媒体１の製造方法に
おいては、アルミニウム基板２の表面にＮｉ−Ｐめっき
処理を施してＮｉ−Ｐめっき層３を形成した後に、Ｎｉ
−Ｐめっき層３の表面側にテープポリッシュによりテク
スチャー処理を行う。
おいては、アルミニウム基板２の表面にＮｉ−Ｐめっき
処理を施してＮｉ−Ｐめっき層３を形成した後に、Ｎｉ
−Ｐめっき層３の表面側にテープポリッシュによりテク
スチャー処理を行う。
【００４８】つぎに、Ｎｉ−Ｐめっき層３の表面側にＣ
ｒ層４および磁性層５をスパッタ形成する。
ｒ層４および磁性層５をスパッタ形成する。
【００４９】つぎに、その表面側に、Ａｒ／ＣＨ4 混合
ガスまたはＡｒ／Ｈ2 混合ガスを用いたＤＣスパッタ法
によりＤＬＣ膜６を形成する。
ガスまたはＡｒ／Ｈ2 混合ガスを用いたＤＣスパッタ法
によりＤＬＣ膜６を形成する。
【００５０】つぎに、ＤＬＣ膜６に対する検査工程を行
う。この検査工程においては、実施例１と同様に、波長
が５１４．５ｎｍのＡｒ+ レーザ光にてレーザラマン分
光測定を行って、蛍光の強度とラマン光の強度とを測定
する。そのラマンスペクトルの代表的なものを図１０に
示す。そして、図１０に示すラマンスペクトルから求め
た蛍光の強度ＩF に基づいて、ＤＬＣ膜６の膜質を検査
する。なお、本例においては、蛍光の強度ＩF として
は、１５５０ｃｍ-1付近の蛍光強度を採用している。ま
た、ＤＬＣ膜６の膜厚の影響が及ばないように、蛍光の
強度ＩF とラマン光強度ＩR との強度比（ＩF ／ＩR ）
を求め、この強度比（ＩF ／ＩR ）からＤＬＣ膜６の良
否を判定する。
う。この検査工程においては、実施例１と同様に、波長
が５１４．５ｎｍのＡｒ+ レーザ光にてレーザラマン分
光測定を行って、蛍光の強度とラマン光の強度とを測定
する。そのラマンスペクトルの代表的なものを図１０に
示す。そして、図１０に示すラマンスペクトルから求め
た蛍光の強度ＩF に基づいて、ＤＬＣ膜６の膜質を検査
する。なお、本例においては、蛍光の強度ＩF として
は、１５５０ｃｍ-1付近の蛍光強度を採用している。ま
た、ＤＬＣ膜６の膜厚の影響が及ばないように、蛍光の
強度ＩF とラマン光強度ＩR との強度比（ＩF ／ＩR ）
を求め、この強度比（ＩF ／ＩR ）からＤＬＣ膜６の良
否を判定する。
【００５１】ここで、蛍光の強度ＩF とラマン光強度Ｉ
R との強度比（ＩF ／ＩR ）と、ＤＬＣ膜６の保護膜と
しての良否との関係については、以下の関係があること
が実験結果より判明している。すなわち、ＤＬＣ膜６の
形成条件として、Ａｒ／ＣＨ4 混合ガスのガス比、ガス
流量、ガス圧などを変えて、磁気記録媒体１の保護膜と
してのＤＬＣ膜６を形成し、この表面側にフッ化カーボ
ンオイル層７を形成する前に、ＤＬＣ膜６に対して可視
域のレーザ光を照射し、ＤＬＣ膜６から発せられる１５
５０ｃｍ-1付近の蛍光の強度ＩF およびこの蛍光強度Ｉ
F をベースラインとしたときの１５５０ｃｍ-1付近のラ
マン光のピーク強度ＩR を測定したところ、ＤＬＣ膜６
からの蛍光の強度ＩF とラマン光強度ＩR との強度比
（ＩF ／ＩR ）が以下の条件を満たすＤＬＣ膜６におい
て、製造後の磁気記録媒体１のＣＳＳ特性の特性が良好
であることが確認されている。
R との強度比（ＩF ／ＩR ）と、ＤＬＣ膜６の保護膜と
しての良否との関係については、以下の関係があること
が実験結果より判明している。すなわち、ＤＬＣ膜６の
形成条件として、Ａｒ／ＣＨ4 混合ガスのガス比、ガス
流量、ガス圧などを変えて、磁気記録媒体１の保護膜と
してのＤＬＣ膜６を形成し、この表面側にフッ化カーボ
ンオイル層７を形成する前に、ＤＬＣ膜６に対して可視
域のレーザ光を照射し、ＤＬＣ膜６から発せられる１５
５０ｃｍ-1付近の蛍光の強度ＩF およびこの蛍光強度Ｉ
F をベースラインとしたときの１５５０ｃｍ-1付近のラ
マン光のピーク強度ＩR を測定したところ、ＤＬＣ膜６
からの蛍光の強度ＩF とラマン光強度ＩR との強度比
（ＩF ／ＩR ）が以下の条件を満たすＤＬＣ膜６におい
て、製造後の磁気記録媒体１のＣＳＳ特性の特性が良好
であることが確認されている。
【００５２】２ ＜ ＩF ／ＩR ＜ １０ 従って、検査工程においては、ＤＬＣ膜６に対して可視
域のレーザ光を照射したときに発せられる蛍光の強度Ｉ
F とラマン光強度ＩR との強度比（ＩF ／ＩR）が２０
未満であって２を越える値であるときに、磁気記録媒体
１を良品と判定する。
域のレーザ光を照射したときに発せられる蛍光の強度Ｉ
F とラマン光強度ＩR との強度比（ＩF ／ＩR）が２０
未満であって２を越える値であるときに、磁気記録媒体
１を良品と判定する。
【００５３】しかる後に、ＤＬＣ膜６の表面側にスピン
コート法を利用してフッ化カーボンオイル層７を形成
し、磁気記録媒体１を製造する。
コート法を利用してフッ化カーボンオイル層７を形成
し、磁気記録媒体１を製造する。
【００５４】以上のとおり、本例に係る磁気記録媒体の
製造方法においては、蛍光強度とラマン光強度との強度
比から、ＤＬＣ膜６の膜質を検査しているので、製造後
の磁気記録媒体１の信頼性が向上するとともに、ＤＬＣ
膜６の成膜工程へのフィードバックを行うことができ
る。
製造方法においては、蛍光強度とラマン光強度との強度
比から、ＤＬＣ膜６の膜質を検査しているので、製造後
の磁気記録媒体１の信頼性が向上するとともに、ＤＬＣ
膜６の成膜工程へのフィードバックを行うことができ
る。
【００５５】なお、実施例１および実施例２のいずれに
おいても、可視域の入射レーザ光として、波長が５１
４．５ｎｍのＡｒ+ レーザを利用したが、これに限ら
ず、波長が４８８ｎｍのＡｒ+ レーザ光、Ｈｅ−Ｎｅレ
ーザ光またはＫｒ+ レーザ光など、他の可視域のレーザ
光を利用することもできる。
おいても、可視域の入射レーザ光として、波長が５１
４．５ｎｍのＡｒ+ レーザを利用したが、これに限ら
ず、波長が４８８ｎｍのＡｒ+ レーザ光、Ｈｅ−Ｎｅレ
ーザ光またはＫｒ+ レーザ光など、他の可視域のレーザ
光を利用することもできる。
【００５６】また、蛍光およびラマン光に対する測定装
置としては、レーザラマン分光装置の他に、フォトルミ
ネッセンスの測定装置なども利用できる。
置としては、レーザラマン分光装置の他に、フォトルミ
ネッセンスの測定装置なども利用できる。
【００５７】
【発明の効果】以上のとおり、本発明に係る炭素膜の検
査方法においては、可視域のレーザ光を炭素膜に照射し
たときに得られる蛍光の強度に基づいて、炭素膜の評価
を行うことに特徴を有するため、以下の効果を奏する。
磁気記録媒体の保護膜などとしてＤＬＣ膜をスパッタ法
などで形成したときに、そのスパッタガスの種類によっ
て潤滑特性などが変化しても、２つのラマンピークの強
度比は変化しないのに対して、蛍光強度の強度は変化す
る。それ故、蛍光強度を指標として炭素膜を評価するこ
とによって、ＤＬＣ膜の検査を簡単な方法でしかも非破
壊で行うことができる。
査方法においては、可視域のレーザ光を炭素膜に照射し
たときに得られる蛍光の強度に基づいて、炭素膜の評価
を行うことに特徴を有するため、以下の効果を奏する。
磁気記録媒体の保護膜などとしてＤＬＣ膜をスパッタ法
などで形成したときに、そのスパッタガスの種類によっ
て潤滑特性などが変化しても、２つのラマンピークの強
度比は変化しないのに対して、蛍光強度の強度は変化す
る。それ故、蛍光強度を指標として炭素膜を評価するこ
とによって、ＤＬＣ膜の検査を簡単な方法でしかも非破
壊で行うことができる。
【００５８】ここで、蛍光強度に加えて、ラマン光強度
も測定して、それらの強度の比からＤＬＣ膜を評価した
場合には、ラマン光強度と蛍光強度との比には膜厚が影
響を及ぼさないので、容易に検査を行うことができ、た
とえば、磁気記録媒体の製造方法においては、その値に
よって、磁気記録媒体の良否を判定することができるの
で、成膜条件へのフィードバックや検査工程として利用
できる。
も測定して、それらの強度の比からＤＬＣ膜を評価した
場合には、ラマン光強度と蛍光強度との比には膜厚が影
響を及ぼさないので、容易に検査を行うことができ、た
とえば、磁気記録媒体の製造方法においては、その値に
よって、磁気記録媒体の良否を判定することができるの
で、成膜条件へのフィードバックや検査工程として利用
できる。
【図１】本発明の実施例１に係るＤＬＣ膜の評価方法に
おいて、ＤＬＣ膜に対して波長が５１４．５ｎｍのＡｒ
+ レーザ光を照射したときに得られるラマンスペクトル
である。
おいて、ＤＬＣ膜に対して波長が５１４．５ｎｍのＡｒ
+ レーザ光を照射したときに得られるラマンスペクトル
である。
【図２】本発明の実施例１に係るＤＬＣ膜の評価方法に
おいて測定した１８００ｃｍ-1〜１０００ｃｍ-1のラマ
ンスペクトルのうち、（ａ）はスパッタガス（Ａｒ／Ｃ
Ｈ4 混合ガス）中のＣＨ4 ガス濃度が１０％の条件で成
膜したＤＬＣ膜のラマンスペクトル、（ｂ）はそのＣＨ
4 ガス濃度が３０％の条件で成膜したＤＬＣ膜のラマン
スペクトル、（ｃ）はそのＣＨ4 ガス濃度が５０％の条
件で成膜したＤＬＣ膜のラマンスペクトルである。
おいて測定した１８００ｃｍ-1〜１０００ｃｍ-1のラマ
ンスペクトルのうち、（ａ）はスパッタガス（Ａｒ／Ｃ
Ｈ4 混合ガス）中のＣＨ4 ガス濃度が１０％の条件で成
膜したＤＬＣ膜のラマンスペクトル、（ｂ）はそのＣＨ
4 ガス濃度が３０％の条件で成膜したＤＬＣ膜のラマン
スペクトル、（ｃ）はそのＣＨ4 ガス濃度が５０％の条
件で成膜したＤＬＣ膜のラマンスペクトルである。
【図３】本発明の実施例１に係るＤＬＣ膜の評価方法に
おいて測定した６０００ｃｍ-1〜１００ｃｍ-1のラマン
スペクトルのうち、（ａ）はスパッタガス（Ａｒ／ＣＨ
4 混合ガス）中のＣＨ4 ガス濃度が１０％の条件で成膜
したＤＬＣ膜のラマンスペクトル、（ｂ）はそのＣＨ4
ガス濃度が３０％の条件で成膜したＤＬＣ膜のラマンス
ペクトル、（ｃ）はそのＣＨ4 ガス濃度が５０％の条件
で成膜したＤＬＣ膜のラマンスペクトルである。
おいて測定した６０００ｃｍ-1〜１００ｃｍ-1のラマン
スペクトルのうち、（ａ）はスパッタガス（Ａｒ／ＣＨ
4 混合ガス）中のＣＨ4 ガス濃度が１０％の条件で成膜
したＤＬＣ膜のラマンスペクトル、（ｂ）はそのＣＨ4
ガス濃度が３０％の条件で成膜したＤＬＣ膜のラマンス
ペクトル、（ｃ）はそのＣＨ4 ガス濃度が５０％の条件
で成膜したＤＬＣ膜のラマンスペクトルである。
【図４】本発明の実施例１に係るＤＬＣ膜の評価方法に
おいて、ラマンスペクトルから求めたラマン光強度／膜
厚および蛍光強度／膜厚と、スパッタガスに用いたＡｒ
／ＣＨ4 混合ガスまたはＡｒ／Ｈ2 混合ガスにおけるガ
ス比との関係を示すグラフ図である。
おいて、ラマンスペクトルから求めたラマン光強度／膜
厚および蛍光強度／膜厚と、スパッタガスに用いたＡｒ
／ＣＨ4 混合ガスまたはＡｒ／Ｈ2 混合ガスにおけるガ
ス比との関係を示すグラフ図である。
【図５】本発明の実施例１に係るＤＬＣ膜の検査方法に
おいて、入射レーザ光に対するＤＬＣ膜の吸収係数と、
スパッタガスに用いたＡｒ／ＣＨ4 混合ガスまたはＡｒ
／Ｈ2 混合ガスにおけるガス比との関係を示すグラフ図
である。
おいて、入射レーザ光に対するＤＬＣ膜の吸収係数と、
スパッタガスに用いたＡｒ／ＣＨ4 混合ガスまたはＡｒ
／Ｈ2 混合ガスにおけるガス比との関係を示すグラフ図
である。
【図６】本発明の実施例１に係るＤＬＣ膜の検査方法に
おいて、その基本的な原理を説明するための説明図であ
る。
おいて、その基本的な原理を説明するための説明図であ
る。
【図７】本発明の実施例１に係るＤＬＣ膜の検査方法に
おいて、入射レーザ光に対するＤＬＣ膜の吸収係数と、
蛍光強度／ラマン光強度との関係を示すグラフ図であ
る。
おいて、入射レーザ光に対するＤＬＣ膜の吸収係数と、
蛍光強度／ラマン光強度との関係を示すグラフ図であ
る。
【図８】本発明の実施例１に係るＤＬＣ膜の検査方法に
おいて、強度比を採用したことの原理を説明するための
説明図である。
おいて、強度比を採用したことの原理を説明するための
説明図である。
【図９】磁気記録媒体の構造を示す模式図である。
【図１０】本発明の実施例２に係る磁気記録媒体の製造
方法において、その検査工程で得らたラマンスペクトル
である。
方法において、その検査工程で得らたラマンスペクトル
である。
【図１１】従来のＤＬＣ膜の評価方法を説明するための
ラマンスペクトルである。
ラマンスペクトルである。
１・・・磁気記録媒体 ２・・・アルミニウム基板 ３・・・Ｎｉ−Ｐめっき層 ４・・・Ｃｒ層 ５・・・磁性層 ６・・・ＤＬＣ膜 ７・・・フッ化カーボンオイル層
Claims (4)
- 【請求項１】 炭素膜に対して可視域のレーザ光を照射
したときに発せられる蛍光の強度を測定し、この蛍光強
度に基づいて、前記炭素膜の膜質を検査することを特徴
とする炭素膜の検査方法。 - 【請求項２】 請求項１において、前記炭素膜に対して
可視域のレーザ光を照射したときに発せられるラマン光
の強度を測定し、このラマン光強度と前記蛍光強度との
比に基づいて、前記炭素膜の膜質を検査することを特徴
とする炭素膜の検査方法。 - 【請求項３】 磁気記録媒体の表面側に形成した炭素膜
に対して可視域のレーザ光を照射したときに発せられる
蛍光の強度を測定し、この蛍光強度が所定の値以上であ
ったときに前記磁気記録媒体を良品と判定する検査工程
を有することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。 - 【請求項４】 磁気記録媒体の表面側に形成した炭素膜
に対して可視域のレーザ光を照射したときに発せられる
１５５０ｃｍ-1付近の蛍光の強度およびこの蛍光強度を
ベースラインとしたときの１５５０ｃｍ-1付近のラマン
光のピーク強度を測定し、前記蛍光強度をＩF とし、前
記ラマン光のピーク強度をＩR としたときに、ＩF ／Ｉ
R で求められる値が２０未満であって２を越える値であ
るときに、磁気記録媒体を良品と判定する検査工程を有
することを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4288579A JP2988158B2 (ja) | 1992-10-27 | 1992-10-27 | 炭素膜の検査方法および磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP4288579A JP2988158B2 (ja) | 1992-10-27 | 1992-10-27 | 炭素膜の検査方法および磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06138035A true JPH06138035A (ja) | 1994-05-20 |
| JP2988158B2 JP2988158B2 (ja) | 1999-12-06 |
Family
ID=17732099
Family Applications (1)
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| JP4288579A Expired - Lifetime JP2988158B2 (ja) | 1992-10-27 | 1992-10-27 | 炭素膜の検査方法および磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2988158B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011026054A2 (en) * | 2009-08-31 | 2011-03-03 | Millenniata, Inc. | Reliability testing of optical media using simultaneous heat, humidity, and light |
| JP2015078978A (ja) * | 2013-09-11 | 2015-04-23 | 株式会社分光科学研究所 | 計測方法及び計測装置 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN109596597A (zh) * | 2018-12-28 | 2019-04-09 | 中兴高能技术有限责任公司 | 一种评价石墨表面包覆改性的方法 |
-
1992
- 1992-10-27 JP JP4288579A patent/JP2988158B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011026054A2 (en) * | 2009-08-31 | 2011-03-03 | Millenniata, Inc. | Reliability testing of optical media using simultaneous heat, humidity, and light |
| WO2011026054A3 (en) * | 2009-08-31 | 2011-10-06 | Millenniata, Inc. | Reliability testing of optical media using simultaneous heat, humidity, and light |
| JP2015078978A (ja) * | 2013-09-11 | 2015-04-23 | 株式会社分光科学研究所 | 計測方法及び計測装置 |
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| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2988158B2 (ja) | 1999-12-06 |
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