JPH0613442Y2 - Automatic visual inspection device - Google Patents
Automatic visual inspection deviceInfo
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- JPH0613442Y2 JPH0613442Y2 JP1986037308U JP3730886U JPH0613442Y2 JP H0613442 Y2 JPH0613442 Y2 JP H0613442Y2 JP 1986037308 U JP1986037308 U JP 1986037308U JP 3730886 U JP3730886 U JP 3730886U JP H0613442 Y2 JPH0613442 Y2 JP H0613442Y2
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- inspection
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- inspected
- drill
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- Testing Of Devices, Machine Parts, Or Other Structures Thereof (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 「産業上の利用分野」 本考案は、ミニチユアドリル等の被検査物の先端部の外
観を検査する自動外観検査装置に関する。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION "Industrial field of application" The present invention relates to an automatic visual inspection apparatus for inspecting the external appearance of the tip of an inspected object such as a miniature drill.
「従来の技術」 従来、ドリル先端加工機で先端部が加工されたミニチユ
アドリル等のドリルの良否の判定は、該ドリルの先端形
状を顕微鏡で拡大して、この拡大された先端形状を検査
員が目視によつて検査していた。また、この際、不良と
判定されたドリルは、手動のポインターを用いて加工し
ていた。"Conventional technology" Conventionally, the quality of a drill such as a miniature drill, the tip of which was processed by a drill tip processing machine, is judged by enlarging the tip shape of the drill with a microscope and inspecting the enlarged tip shape. The personnel were inspecting visually. In addition, at this time, the drill determined to be defective was processed using a manual pointer.
「考案が解決しようとする問題点」 しかしながら、上記従来の目視によつてドリル先端部の
良否を判定し、また不良ドリルを人手によつて再加工す
る場合には、労力を要し、手間がかかると共に、顕微鏡
をのぞきながら行なう作業のため、作業員が疲労し易
く、かつ作業員によつて検査の判定結果にばらつきが生
じる等の問題がある。"Problems to be solved by the device" However, when the quality of the drill tip is judged by the above-mentioned conventional visual inspection, and when a defective drill is manually reprocessed, labor is required, which is troublesome. In addition to this, since the work is performed while looking through the microscope, there is a problem that the worker is easily tired and that the judgment result of the inspection varies depending on the worker.
また、本出願人は、未加工のドリル先端の画像を画像パ
ターン認識装置に取り込むことによつて、該ドリルの先
端を自動的に所定の形状に加工する自動ドリル先端加工
機を提案したが（実願昭６０−４１３２０号参照）、こ
の加工機にあつては、平面的な未加工のドリル先端の画
像は鮮明に画像パターン認識装置に取り込むことがで
き、正確に所定の形状に加工できるが、加工後のドリル
の先端は立体的な形状となるため、鮮明な画像を画像パ
ターン認識装置に取り込むことができず、上記加工済の
ドリルの先端の検査あるいは修正加工に使用することは
難しかつた。Further, the present applicant has proposed an automatic drill tip processing machine that automatically processes the tip of the drill into a predetermined shape by importing an image of the unprocessed drill tip into the image pattern recognition device ( In Japanese Patent Application No. 60-41320), with this processing machine, the image of the flat, unprocessed drill tip can be clearly captured by the image pattern recognition device, and can be processed accurately into a predetermined shape. Since the drill tip after processing has a three-dimensional shape, it is not possible to capture a clear image into the image pattern recognition device, and it is difficult to use it for inspection or correction processing of the above-mentioned drill tip. It was
本考案は、上記事情に鑑みてなされたもので、その目的
とするところは、ドリルの先端のような立体的な形状を
有する被検査物であつても、無人で自動的に外観検査を
行なうことができ、しかも容易にかつ確実に被検査物の
良否が判定できて、検査時間の短縮を図ることができる
自動外観検査装置を提供することにある。The present invention has been made in view of the above circumstances, and an object thereof is to automatically perform an unattended appearance inspection even for an inspection object having a three-dimensional shape such as the tip of a drill. It is an object of the present invention to provide an automatic appearance inspection device which can determine the quality of an object to be inspected easily and surely and can shorten the inspection time.
「問題点を解決するための手段」 上記目的を達成するために、本考案は、被検査物を保持
していて、移動手段によってＸ−Ｙ軸方向に水平移動さ
せられ、第一の回転手段によって水平回転させられ、第
二の回転手段によって上下方向に回動させられる主軸部
と、 被検査物の先端部の検査対象領域に対して所要の焦点深
度を得るための焦点深度調整機構を有し、かつ上記主軸
部に保持された被検査物の先端部の形状を検出する形状
検出装置と、 該形状検出装置で得られた被検査物の先端部の形状と予
め記憶されている基準形状とを比較して、上記被検査物
の先端部の検査位置を割り出し、かつ上記被検査物の先
端部の形状の良否を予め設定された検査領域と検査判定
基準に基づいて判定する画像パターン認識装置と、 該画像パターン認識装置からの信号に基づいて少なくと
も移動手段又は第一の回転手段を制御して被検査物を位
置決めする制御装置と、 上記画像パターン認識装置で不良と判定された被検査物
の先端部の不良部分を研削加工する研削手段とを備えた
ものである。[Means for Solving the Problems] In order to achieve the above object, the present invention holds an object to be inspected and is horizontally moved in the X-Y axis direction by a moving means, and a first rotating means. It has a main shaft part that is horizontally rotated by the second rotating means and is vertically rotated by the second rotating means, and a depth-of-focus adjustment mechanism for obtaining a required depth of focus for the inspection target area at the tip of the inspection object. And a shape detecting device for detecting the shape of the tip of the object to be inspected held on the main shaft, and the shape of the tip of the object to be inspected obtained by the shape detecting device and a reference shape stored in advance. Image pattern recognition for determining the inspection position of the tip of the inspected object and determining whether the shape of the tip of the inspected object is good or bad based on a preset inspection area and an inspection criterion. Device and the image pattern recognition device A control device for positioning the inspection object by controlling at least the moving means or the first rotating means on the basis of the signal from, and a defective portion of the tip end portion of the inspection object which is determined to be defective by the image pattern recognition device. And a grinding means for grinding.
「作用」 本考案の自動外観検査装置にあつては、形状検出装置に
よつて検出した被検査物の先端部の形状を画像パターン
認識装置において基準形状と比較して、この結果に基づ
いて制御装置によつて移動手段や第一の回転手段等を作
動させて被検査物の先端部の検査位置を割出すと共に、
あらかじめ設定された検査領域と検査判定基準とに基づ
いて上記被検査物の先端部の形状の良否を判定する。そ
して、不良と判定された場合には、研削手段によって被
検査物の先端部の不良部分を研削して、所望の形状に加
工する。[Operation] In the automatic visual inspection apparatus of the present invention, the shape of the tip of the inspection object detected by the shape detection apparatus is compared with the reference shape in the image pattern recognition apparatus, and control is performed based on this result. The moving device and the first rotating device are operated by the device to index the inspection position of the tip of the inspection object,
The quality of the shape of the tip of the inspected object is determined based on the inspection area and the inspection determination standard set in advance. Then, when it is determined to be defective, the defective portion of the tip portion of the object to be inspected is ground by the grinding means and processed into a desired shape.
「実施例」 以下、第１図ないし第９図に基づいて本考案の一実施例
を説明する。[Embodiment] An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1 to 9.
第１図は、自動ドリル先端検査及び再研削装置の全体を
示すもので、図中１は、コレツトチヤツクによりドリル
２を着脱自在に保持する主軸部である。この主軸部１
は、主軸駆動モータ３により周方向に回転せしめられる
と共に、θ軸駆動モータ４により上下に起倒せしめられ
るようになつており、また、Ｘ軸駆動モータ５とＹ軸駆
動モータ６を備えたＸＹテーブル７上に設けられて、Ｘ
軸及びＹ軸方向への移動が自在なる構造となつている。FIG. 1 shows the entire automatic drill tip inspection and re-grinding device. In FIG. 1, reference numeral 1 is a main shaft portion that detachably holds a drill 2 by a collet chuck. This spindle 1
Is rotated in the circumferential direction by the main shaft drive motor 3 and is tilted up and down by the θ-axis drive motor 4, and is also provided with an X-axis drive motor 5 and a Y-axis drive motor 6. It is provided on the table 7 and X
The structure is such that it can move in the axial and Y-axis directions.
上記ＸＹテーブル７の正面の右側側傍には、上記主軸部
１にドリル２をローデイングするローデイング装置８
と、主軸部１のドリル２を収納装置９上にアンローデイ
ングするアンローデイング装置１０とが配設され、ま
た、その反対側には、上記主軸部１に保持されたドリル
２の先端部を研削加工するポイント研削部１１が設置さ
れている。A loading device 8 for loading the drill 2 on the spindle 1 is provided on the right side of the front of the XY table 7.
And an unloading device 10 for unloading the drill 2 of the spindle 1 onto the storage device 9, and on the opposite side thereof, the tip of the drill 2 held by the spindle 1 is ground. A point grinding unit 11 for processing is installed.
一方、上記ＸＹテーブル７の中央部の上方部位には、主
軸部１が上方に向けられた状態でこの主軸部１に保持さ
れたドリル２の先端形状を検出する形状検出装置１２が
配設されている。この形状検出装置１２は、第３図に示
すように、上記ドリル２の先端を拡大する顕微鏡部１３
とこの顕微鏡部１３で拡大された先端形状を撮像するテ
レビ撮像管部１４とから構成され、かつこの顕微鏡部13
のズーム式対物レンズ１５とテレビ撮像管部１４との間
に、倍率を得るための中継レンズ１６と絞りを調整する
ための絞り機構１７とが設けられている。これにより、
上記顕微鏡部１３は、第４図に示すように、各種のドリ
ル２に応じた必要焦点深度Ｄを得ることが十分に可能な
深い焦点深度を有する構成となつている。なお、図中α
はドリル２の先端角であり、例えば110゜〜130゜に設定さ
れている。また、上記テレビ撮像管部１４で得られた先
端形状（画像）は、第２図に示すように、画像パターン
認識装置１８に送られ、かつこの画像パターン認識装置
１８は、あらかじめ入力されているドリル２の先端部の
基準形状ｂと上記先端形状ａとの誤差量（不一致のドツ
ト数）ｃが許容値以下あるいは最小になるように、上記
各駆動モータ３，５，６を制御する制御装置１９に指令
信号を出力して、上記ドリル２の検出位置を割出し、位
置決めすると共に、第６図ないし第９図に示すように、
各検査項目（ギヤツプ及びオーバラツプ、切刃片寄り及
び切刃テーパ、そり及びだれ、切刃かけ）毎にあらかじ
め設定された検査領域（ウインドウ）Ｗ１〜Ｗ４と誤差
量ｃ１〜ｃ４の許容値（検査判定基準）とに基づいて、
ドリル２の先端部の良否を判定するように構成されてい
る。On the other hand, a shape detecting device 12 for detecting the tip shape of the drill 2 held by the main spindle portion 1 is arranged above the central portion of the XY table 7 with the main spindle portion 1 facing upward. ing. As shown in FIG. 3, the shape detecting device 12 includes a microscope section 13 for enlarging the tip of the drill 2.
And a television image pickup tube portion 14 for picking up an image of the tip shape enlarged by the microscope portion 13, and the microscope portion 13
A relay lens 16 for obtaining a magnification and a diaphragm mechanism 17 for adjusting a diaphragm are provided between the zoom type objective lens 15 and the television image pickup tube section 14. This allows
As shown in FIG. 4, the microscope section 13 has a deep focal depth that is sufficient to obtain a required focal depth D corresponding to various drills 2. In the figure, α
Is the tip angle of the drill 2 and is set to, for example, 110 ° to 130 °. Further, the tip shape (image) obtained by the television image pickup tube portion 14 is sent to an image pattern recognition device 18, as shown in FIG. 2, and the image pattern recognition device 18 is inputted in advance. Control device for controlling each of the drive motors 3, 5 and 6 such that an error amount (number of mismatched dots) c between the reference shape b of the tip of the drill 2 and the tip shape a is equal to or less than an allowable value or is minimum. A command signal is output to 19 to detect and position the detected position of the drill 2, and as shown in FIGS. 6 to 9,
The inspection areas (windows) W 1 to W 4 and the error amounts c 1 to c 4 that are set in advance for each inspection item (gear and overlap, cutting edge offset and cutting edge taper, warp and droop, for cutting edge) Based on the allowable value (inspection criteria),
It is configured to determine the quality of the tip of the drill 2.
なお、上記各駆動モータ３，（４），５，６は、パルス
モータまたはサーボモータから成り、また、上記画像パ
ターン認識装置１８において使用される上記各許容値
は、パネル面の操作スイツチ等により設定可能になつて
いる。さらに、上記画像パターン認識装置１８には、上
記ドリル２の先端形状をモニターするためのモニターテ
レビ２０が接続されている。The drive motors 3, (4), 5 and 6 are pulse motors or servo motors, and the permissible values used in the image pattern recognition device 18 are determined by operating switches on the panel surface. It is configurable. Further, a monitor television 20 for monitoring the tip shape of the drill 2 is connected to the image pattern recognition device 18.
上記のように構成された自動ドリル先端検査及び再研削
装置において、ドリル２の先端部の検査をする場合に
は、まず、ローデイング装置８を作動して、第１図の二
点鎖線で示す位置にある主軸部１にドリル２を装着す
る。次いで、ＸＹテーブル７を作動してこの主軸部１を
第１図の形状検出装置１２の位置まで移動させると共
に、θ軸駆動モータ４を作動してこの主軸部１を上方に
向ける。すると、顕微鏡部１３により、ドリル２の先端
部の形状（例えば、第５図において符号ａで示す形状）
が検出され、テレビ撮像管部１４により電気信号（画像
信号）に変換されて、画像パターン認識装置１８に入力
される。そして、この画像パターン認識装置１８におい
て、あらかじめ記憶されている基準形状（第５図で符号
ｂで示す形状）と比較されて、その誤差量（第５図で符
号ｃで示す斜線部分）が不一致のドツト数として検出さ
れる。このドツト数が、設定された許容量以下になるよ
うに、上記画像パターン認識装置１８は、制御装置１９
に対して指令信号を出力するから、この指令信号に基づ
いて制御装置１９は、主軸駆動モータ３を制御して主軸
部１を所定角度回転させ、ドリル２が検査位置に割出
し、位置決めされる。また、このとき、制御装置１９は
上記誤差量ｃが最小となるようにＸ軸，Ｙ軸駆動モータ
５，６を作動し、ドリル２のＸ，Ｙ両軸方向の位置補正
も行なう。In the automatic drill tip inspection and regrinding apparatus configured as described above, when the tip of the drill 2 is inspected, first, the loading device 8 is operated to move to the position shown by the chain double-dashed line in FIG. Attach the drill 2 to the main shaft portion 1 at. Next, the XY table 7 is operated to move the main spindle 1 to the position of the shape detection device 12 in FIG. 1, and the θ-axis drive motor 4 is operated to direct the main spindle 1 upward. Then, the shape of the tip of the drill 2 (for example, the shape indicated by the symbol a in FIG. 5) is obtained by the microscope unit 13.
Is detected, converted into an electric signal (image signal) by the television image pickup tube portion 14, and input to the image pattern recognition device 18. Then, in this image pattern recognition device 18, it is compared with a reference shape (shape indicated by reference character b in FIG. 5) stored in advance, and the error amount (hatched portion indicated by reference character c in FIG. 5) does not match. Is detected as the dot number of. The image pattern recognition device 18 controls the control device 19 so that the number of dots is equal to or less than the set allowable amount.
Since a command signal is output to the control device 19, the control device 19 controls the spindle drive motor 3 to rotate the spindle part 1 by a predetermined angle based on the command signal, and the drill 2 is indexed and positioned at the inspection position. . At this time, the control device 19 also operates the X-axis and Y-axis drive motors 5 and 6 so that the error amount c is minimized, and also corrects the position of the drill 2 in both X and Y axis directions.
このようにして、ドリル２が検出位置に位置決めされる
と、次いで、第６図ないし第９図に示すように、各検査
項目（ギヤツプ及びオーバラツプ、切刃片寄り及び切刃
テーパ、そり及びだれ、切刃かけ）毎にあらかじめ設定
された検査領域Ｗ１〜Ｗ４内において、ドリル２の先端
部の実際の形状ａと基準形状ｂとの誤差量ｃ１〜ｃ４が
各誤差量ｃ１〜ｃ４の許容値（検査判定基準）と比較さ
れ、各検査項目が全て許容値以下である場合には、上記
画像パターン認識装置１８は、該ドリル２が良品である
との判定を下し、その結果に基づいて、アンローデイン
グ装置１０を作動して上記ドリル２を収納装置９に収納
する。また、上記各検査項目のうち１つの項目でも許容
値を越えていれば、画像パターン認識装置１８は上記ド
リル２を不良品と判定し、この結果に基づいて、各駆動
モータ４，５，６が作動して該ドリル２がポイント研削
部１１に臨ませられ、このポイント研削部１１によつ
て、上記ドリル２の不良と判定された部分が再研削され
る。When the drill 2 is positioned at the detection position in this way, then, as shown in FIGS. 6 to 9, each inspection item (gear and overlap, cutting edge offset and cutting edge taper, sled and drooping). , in the inspection region W 1 to W-4, which is set in advance for each cutting edge over), the error amount c 1 to c 4 are each error amount c 1 of the actual shape a and the reference shape b of the tip of the drill 2 ~ C 4 is compared with the allowable value (inspection criterion), and if each inspection item is less than the allowable value, the image pattern recognition device 18 determines that the drill 2 is a good product. Based on the result, the unloading device 10 is operated to store the drill 2 in the storage device 9. If even one of the above inspection items exceeds the allowable value, the image pattern recognition device 18 determines that the drill 2 is defective, and based on this result, each drive motor 4, 5, 6 Is operated to expose the drill 2 to the point grinding unit 11, and the point grinding unit 11 re-grinds the portion of the drill 2 determined to be defective.
このように、上記自動ドリル先端検査及び再研削装置に
あつては、上記形状検出装置１２と画像パターン認識装
置１８と制御装置１９及び主軸駆動モータ３とによつ
て、ドリル２の検出位置への位置決めが自動的に行なわ
れ、かつドリル２の良否の判定が画像パターン認識装置
１８によつて確実になされるから、ドリル２の外観検査
及び不良のドリル２の再研削が無人・自動化されると共
に、検査水準を高くかつ一定に維持することができる。
また、多種類のワークに対しても、各ワークの基準形状
を画像パターン認識装置１８に入力記憶するのみで対処
でき、段取り時間の短縮化を図ることができる。さら
に、各検査項目毎に、検査領域を変更できるから、検査
を短時間に完了することができる。As described above, in the automatic drill tip inspection and re-grinding device, the shape detecting device 12, the image pattern recognizing device 18, the control device 19 and the spindle drive motor 3 are used to detect the position of the drill 2. Since the positioning is automatically performed and the quality of the drill 2 is surely judged by the image pattern recognition device 18, the visual inspection of the drill 2 and the re-grinding of the defective drill 2 are unmanned and automated. The inspection standard can be maintained high and constant.
Further, even for many kinds of works, the reference shape of each work can be dealt with only by inputting and storing it in the image pattern recognition device 18, and the setup time can be shortened. Furthermore, since the inspection area can be changed for each inspection item, the inspection can be completed in a short time.
なお、上記実施例においては、ドリル２の先端部の形状
を検査する場合について説明したが、焦点深度の深い顕
微鏡を使用するから、他の立体形状の被検査物の外観検
査についても適用できる。また、検査時間を短縮するた
めに、あらかじめ被検査物の検査位置を割出しておき、
本考案の装置においては被検査物の外観検査のみを行な
うようにしてもよい。In addition, in the above-mentioned embodiment, the case where the shape of the tip portion of the drill 2 is inspected has been described, but since a microscope having a deep depth of focus is used, it can be applied to the appearance inspection of other three-dimensionally inspected objects. In addition, in order to shorten the inspection time, the inspection position of the inspection object is indexed in advance,
In the apparatus of the present invention, only the visual inspection of the inspection object may be performed.
「考案の効果」 以上説明したように、本考案によれば、形状検出装置に
より得られた被検査物の形状が立体的なものであって
も、その形状を画像パターン装置において基準形状と比
較して、この結果に基づいて制御装置によつて移動手段
や第一の回転手段等を作動させて被検査物の先端部の検
査位置を割出すと共に、あらかじめ設定された検査領域
と検査判定基準とに基づいて被検査物の形状の良否を判
定するものであるから、無人・自動で外観検査ができて
検査効率が向上し、また、検査精度を高く一定に維持す
ることができると共に、段取り替えに要する時間が短縮
されて、多種類のワークの検査に容易に対処できるとい
う優れた効果を奏する。しかも、不良と判定された被検
査物の不良部分を研削手段で修正加工することで、外観
検査だけでなく、被検査物の修正をも自動的にできると
いう利点もある。[Advantage of Invention] As described above, according to the present invention, even if the shape of the object to be inspected obtained by the shape detection device is three-dimensional, the shape is compared with the reference shape in the image pattern device. Then, based on this result, the control unit operates the moving means, the first rotating means, etc. to index the inspection position of the tip of the object to be inspected, and sets the inspection area and the inspection judgment standard set in advance. Since the shape of the object to be inspected is judged based on the, the unattended and automatic appearance inspection can be performed, the inspection efficiency can be improved, and the inspection accuracy can be kept high and constant. The time required for replacement is shortened, and it is possible to easily deal with the inspection of many kinds of works. Moreover, there is an advantage that not only the visual inspection but also the correction of the inspection object can be automatically performed by correcting the defective portion of the inspection object determined to be defective with the grinding means.
第１図ないし第９図は本考案の一実施例を示すもので、
第１図は全体の平面図、第２図はブロツク図、第３図は
形状検出装置の構成を示す概略構成図、第４図はドリル
の側面図、第５図は検査位置割出し原理を示す説明図、
第６図ないし第９図は各種の検査項目について示すもの
で、第６図はギヤツプ及びオーバラツプを説明する説明
図、第７図は切刃片寄り及び切刃テーパを説明する説明
図、第８図はそり及びだれを説明する説明図、第９図は
切刃かけを説明する説明図である。 １……主軸部、２……ドリル（被検査物）、３……主軸
駆動モータ（回転装置）、１２……形状検出装置、１３
……顕微鏡部、１４……テレビ撮像管部、１５……ズー
ム式対物レンズ、１６……中継レンズ、１７……絞り機
構、１８……画像パターン認識装置、１９……制御装
置、ａ……先端形状、ｂ……基準形状、Ｄ……必要焦点
深度、Ｗ１〜Ｗ４……検査領域（ウインドウ）。1 to 9 show an embodiment of the present invention.
1 is a plan view of the whole, FIG. 2 is a block diagram, FIG. 3 is a schematic configuration diagram showing the configuration of a shape detection device, FIG. 4 is a side view of a drill, and FIG. 5 is a principle of inspection position indexing. Explanatory diagram showing
FIGS. 6 to 9 show various inspection items. FIG. 6 is an explanatory diagram for explaining the gear trap and the overlap, FIG. 7 is an explanatory diagram for explaining the cutting edge shift and the cutting edge taper, and FIG. FIG. 9 is an explanatory diagram for explaining a warp and a droop, and FIG. 9 is an explanatory diagram for explaining cutting edge cutting. 1 ... Spindle part, 2 ... Drill (inspection object), 3 ... Spindle drive motor (rotating device), 12 ... Shape detection device, 13
...... Microscope section, 14 ...... TV image pickup tube section, 15 ...... Zoom type objective lens, 16 ...... Relay lens, 17 ...... Aperture mechanism, 18 ...... Image pattern recognition device, 19 ...... Control device, a ...... tip shape, b ...... reference shape, D ...... required focal depth, W 1 ~W 4 ...... inspection area (window).
Claims (1)
てＸ−Ｙ軸方向に水平移動させられ、第一の回転手段に
よって水平回転させられ、第二の回転手段によって上下
方向に回動させられる主軸部と、 被検査物の先端部の検査対象領域に対して所要の焦点深
度を得るための焦点深度調整機構を有し、かつ上記主軸
部に保持された被検査物の先端部の形状を検出する形状
検出装置と、 該形状検出装置で得られた被検査物の先端部の形状と予
め記憶されている基準形状とを比較して、上記被検査物
の先端部の検査位置を割り出し、かつ上記被検査物の先
端部の形状の良否を予め設定された検査領域と検査判定
基準に基づいて判定する画像パターン認識装置と、 該画像パターン認識装置からの信号に基づいて少なくと
も上記移動手段又は第一の回転手段を制御して被検査物
を位置決めする制御装置と、 上記画像パターン認識装置で不良と判定された被検査物
の先端部の不良部分を研削加工する研削手段と、 が備えられてなる自動外観検査装置。1. An object to be inspected is held, horizontally moved in the XY axis directions by a moving means, horizontally rotated by a first rotating means, and vertically rotated by a second rotating means. It has a main shaft part and a focal depth adjustment mechanism to obtain the required depth of focus for the inspection target area of the tip part of the inspected object, and the tip part of the inspected object held on the main shaft part The shape detection device that detects the shape is compared with the shape of the tip of the object to be inspected obtained by the shape detection device and a reference shape stored in advance to determine the inspection position of the tip of the object to be inspected. An image pattern recognition device for indexing and determining the quality of the shape of the tip of the inspected object based on a preset inspection region and an inspection determination standard, and at least the movement based on a signal from the image pattern recognition device. Means or first time An automatic appearance comprising: a control device for controlling the means for positioning the object to be inspected, and a grinding means for grinding the defective part of the tip of the object to be inspected, which is determined to be defective by the image pattern recognition device. Inspection device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986037308U JPH0613442Y2 (en) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | Automatic visual inspection device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986037308U JPH0613442Y2 (en) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | Automatic visual inspection device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62150608U JPS62150608U (en) | 1987-09-24 |
| JPH0613442Y2 true JPH0613442Y2 (en) | 1994-04-06 |
Family
ID=30848518
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP1986037308U Expired - Lifetime JPH0613442Y2 (en) | 1986-03-14 | 1986-03-14 | Automatic visual inspection device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0613442Y2 (en) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4543153B1 (en) * | 2009-08-11 | 2010-09-15 | 国立大学法人 岡山大学 | Defect inspection method and defect inspection apparatus |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS60196610A (en) * | 1984-03-21 | 1985-10-05 | New Japan Radio Co Ltd | Pattern recognizing method |
| JPS61251705A (en) * | 1985-04-30 | 1986-11-08 | Sumitomo Metal Ind Ltd | Method and apparatus for inspecting pattern |
-
1986
- 1986-03-14 JP JP1986037308U patent/JPH0613442Y2/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62150608U (en) | 1987-09-24 |
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