JPH06130302A - プローブの製造方法 - Google Patents
プローブの製造方法Info
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- JPH06130302A JPH06130302A JP4281720A JP28172092A JPH06130302A JP H06130302 A JPH06130302 A JP H06130302A JP 4281720 A JP4281720 A JP 4281720A JP 28172092 A JP28172092 A JP 28172092A JP H06130302 A JPH06130302 A JP H06130302A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】理想的な形状を有するプローブを容易に製造す
る。 【構成】酸化ゲルマニウムを３〜28mol%添加した石英コ
ア（１）と、光ファイバーの半径を１としたとき、半径
０．３〜０．６に位置する境界より内側に当たるクラッ
ドＡ（２）と、それより外側に当たるクラッドＢ（３）
からなり、前記クラッドＢ（３）に０．５〜１０ mol％
の酸化リンが添加されている前記光ファイバーを「濃度
50重量％のフッ酸水溶液、水、40重量％のフッ化アンモ
ニウム水溶液」の成分比を変化させエッチングを行う。
また、クラッドＡ（２）及びクラッドＢ（３）への添加
物、その添加量、添加位置を変化させた光ファイバーを
用いる。 【効果】化学エッチングだけで理想的な形状のフォトン
走査型トンネル顕微鏡用プローブが再現性よく得られ、
観察する試料の表面形状によらず高い分解能を得ること
ができる。更に、長時間の観察が可能になった。
る。 【構成】酸化ゲルマニウムを３〜28mol%添加した石英コ
ア（１）と、光ファイバーの半径を１としたとき、半径
０．３〜０．６に位置する境界より内側に当たるクラッ
ドＡ（２）と、それより外側に当たるクラッドＢ（３）
からなり、前記クラッドＢ（３）に０．５〜１０ mol％
の酸化リンが添加されている前記光ファイバーを「濃度
50重量％のフッ酸水溶液、水、40重量％のフッ化アンモ
ニウム水溶液」の成分比を変化させエッチングを行う。
また、クラッドＡ（２）及びクラッドＢ（３）への添加
物、その添加量、添加位置を変化させた光ファイバーを
用いる。 【効果】化学エッチングだけで理想的な形状のフォトン
走査型トンネル顕微鏡用プローブが再現性よく得られ、
観察する試料の表面形状によらず高い分解能を得ること
ができる。更に、長時間の観察が可能になった。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、プローブの製造方法に
関する。このプローブは、主にフォトン走査型トンネル
顕微鏡に使用される。
関する。このプローブは、主にフォトン走査型トンネル
顕微鏡に使用される。
【０００２】
【従来の技術】最近、生物学や半導体デバイス開発など
広い分野において、非接触、非破壊の高分解能顕微鏡の
重要性が高まっている。従来使用されてきた光学顕微鏡
は、非接触、非破壊という面では優れた特性を持ってい
たが、結像光学系を用いるという原理上、回折限界によ
る分解能の制限のため使用範囲が限られてきた。これら
の問題を解決し、開発されたのがフォトン走査型トンネ
ル顕微鏡である。
広い分野において、非接触、非破壊の高分解能顕微鏡の
重要性が高まっている。従来使用されてきた光学顕微鏡
は、非接触、非破壊という面では優れた特性を持ってい
たが、結像光学系を用いるという原理上、回折限界によ
る分解能の制限のため使用範囲が限られてきた。これら
の問題を解決し、開発されたのがフォトン走査型トンネ
ル顕微鏡である。
【０００３】これらの問題を解決し開発されたのがフォ
トン走査型トンネル顕微鏡（もしくは近接場走査型顕微
鏡と呼ばれるもの）である。フォトン走査型トンネル顕
微鏡を使用した測定方法について説明する。まず、試料
の裏面から試料表面で全反射条件を満たすように照明光
を入射させる。この照明光の照射により試料表面にはエ
バネッセント波と呼ばれる電場が生じる。エバネッセン
ト波は表面からの距離とともに指数関数的に減衰し、波
長程度の高さで１／ｅになる。このエバネッセント波を
試料表面上を非接触で走査するプローブで検出すること
で高い縦分解能を得ることができる。また、プローブに
光の波長よりも小さい開口部を設け、エバネッセント波
を検出する表面面内の領域を制限することで、従来の光
学顕微鏡に較べ高い横分解能を得ることもできる。 エ
バネッセント波は、上述のように試料表面からの距離と
ともに指数関数的に減衰する。そのため、高い分解能を
得るために、プローブの先端部の微小開口はかならずし
も必要ではなく、プローブの先端部を先鋭化しただけで
もよい。
トン走査型トンネル顕微鏡（もしくは近接場走査型顕微
鏡と呼ばれるもの）である。フォトン走査型トンネル顕
微鏡を使用した測定方法について説明する。まず、試料
の裏面から試料表面で全反射条件を満たすように照明光
を入射させる。この照明光の照射により試料表面にはエ
バネッセント波と呼ばれる電場が生じる。エバネッセン
ト波は表面からの距離とともに指数関数的に減衰し、波
長程度の高さで１／ｅになる。このエバネッセント波を
試料表面上を非接触で走査するプローブで検出すること
で高い縦分解能を得ることができる。また、プローブに
光の波長よりも小さい開口部を設け、エバネッセント波
を検出する表面面内の領域を制限することで、従来の光
学顕微鏡に較べ高い横分解能を得ることもできる。 エ
バネッセント波は、上述のように試料表面からの距離と
ともに指数関数的に減衰する。そのため、高い分解能を
得るために、プローブの先端部の微小開口はかならずし
も必要ではなく、プローブの先端部を先鋭化しただけで
もよい。
【０００４】分解能は、縦分解能に関しては信号のＳ／
Ｎ、横分解能に関しては実効的な微小開口径で決定され
る。従って、高い縦分解能を得るには開口径を大きく
し、高い横分解能を得るためには、開口径を小さくする
ことが必要であり、縦分解能と横分解能との間にはトレ
ードオフの関係があるといえる。必要な縦横分解能は、
測定する試料によって異なるので、プローブ先端の尖り
角も測定する試料ごとに変える必要がある。従って、プ
ローブを製造する場合、所望の尖り角のプローブをいか
に再現性良く製造できるかが重要なポイントとなる。
Ｎ、横分解能に関しては実効的な微小開口径で決定され
る。従って、高い縦分解能を得るには開口径を大きく
し、高い横分解能を得るためには、開口径を小さくする
ことが必要であり、縦分解能と横分解能との間にはトレ
ードオフの関係があるといえる。必要な縦横分解能は、
測定する試料によって異なるので、プローブ先端の尖り
角も測定する試料ごとに変える必要がある。従って、プ
ローブを製造する場合、所望の尖り角のプローブをいか
に再現性良く製造できるかが重要なポイントとなる。
【０００５】プローブは、クラッドと酸化ゲルマニウム
を添加した石英コアからなる光ファイバーを出発材料と
して、これを適当な長さに切り、先端部を先鋭化するこ
とで製造される。先鋭化の方法として、機械研磨（蒋曙
東，冨田直幸，中川賢一，大津元一“光走査型トンネル
顕微鏡（フォトンＳＴＭ）−解析と設計−”，電子情報
通信学会技術研究報告，IM-89-45，p.１〜９，（1987）
や 溶融延伸 （E.Betzing,M.Isaacson，A.Lewis
“Collection mode near-field scaning opticalmicro-
scopy”,Appl.Phys.Lett.,51,(25),p.2088 〜2090,(19
87) ）などの方法が試みられた。
を添加した石英コアからなる光ファイバーを出発材料と
して、これを適当な長さに切り、先端部を先鋭化するこ
とで製造される。先鋭化の方法として、機械研磨（蒋曙
東，冨田直幸，中川賢一，大津元一“光走査型トンネル
顕微鏡（フォトンＳＴＭ）−解析と設計−”，電子情報
通信学会技術研究報告，IM-89-45，p.１〜９，（1987）
や 溶融延伸 （E.Betzing,M.Isaacson，A.Lewis
“Collection mode near-field scaning opticalmicro-
scopy”,Appl.Phys.Lett.,51,(25),p.2088 〜2090,(19
87) ）などの方法が試みられた。
【０００６】しかし、これらの方法は、プローブ先端の
尖り角が余り鋭角とならず、また、加工精度などの点で
問題があった。高い横分解能を得るためのプローブを製
造するためにフッ酸をエッチャントとする（化学）エッ
チングにより先鋭化することが提案された。
尖り角が余り鋭角とならず、また、加工精度などの点で
問題があった。高い横分解能を得るためのプローブを製
造するためにフッ酸をエッチャントとする（化学）エッ
チングにより先鋭化することが提案された。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】本発明者等は研究を重
ねた結果、酸化ゲルマニウムを３〜28 mol％添加した石
英コアとクラッドからなる光ファイバーを、「濃度50重
量％のフッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部及び濃度
40重量％のフッ化アンモニウム水溶液：Ｙ容量部（Ｙ＝
６〜10）からなるエッチング液」でエッチングし、エッ
チング液の成分比を変化させて光ファイバーの先端部を
先鋭化してプローブを製造することを提案した（特願平
４−３９７５５）。この提案した製造方法によれば、コ
アに添加されている酸化ゲルマニウムの濃度を変えるこ
となく、エッチング液の成分比を変化させるだけでプロ
ーブ先端の尖り角を制御することが可能であり、更に先
端の曲率半径も５ｎｍ以下、尖り角が25度以下のプロー
ブを得ることができる。この製造方法を用いて製造され
るプローブ先端の形状は、図２のｂに示すようにエッチ
ングされたプローブ先端の中央部のみが先鋭化され、突
起が形成し、その突起周辺部には平面の端面が存在する
が、フォトン走査型トンネル顕微鏡に用いるプローブ先
端の形状は、図２のａに示すような端面を持たない形状
が理想的である。
ねた結果、酸化ゲルマニウムを３〜28 mol％添加した石
英コアとクラッドからなる光ファイバーを、「濃度50重
量％のフッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部及び濃度
40重量％のフッ化アンモニウム水溶液：Ｙ容量部（Ｙ＝
６〜10）からなるエッチング液」でエッチングし、エッ
チング液の成分比を変化させて光ファイバーの先端部を
先鋭化してプローブを製造することを提案した（特願平
４−３９７５５）。この提案した製造方法によれば、コ
アに添加されている酸化ゲルマニウムの濃度を変えるこ
となく、エッチング液の成分比を変化させるだけでプロ
ーブ先端の尖り角を制御することが可能であり、更に先
端の曲率半径も５ｎｍ以下、尖り角が25度以下のプロー
ブを得ることができる。この製造方法を用いて製造され
るプローブ先端の形状は、図２のｂに示すようにエッチ
ングされたプローブ先端の中央部のみが先鋭化され、突
起が形成し、その突起周辺部には平面の端面が存在する
が、フォトン走査型トンネル顕微鏡に用いるプローブ先
端の形状は、図２のａに示すような端面を持たない形状
が理想的である。
【０００８】本発明者等が従来使用していた図２のｂに
示すような形状のプローブを用い、フォトン走査型トン
ネル顕微鏡で試料を観察した結果、凹凸の激しい試料を
観察する場合、あるいはプローブが試料表面に対し相対
的にわずかに傾いているような場合に試料細部の観察が
困難となり分解能が低くなるという問題点が生じた。更
に、前記試料を観察した場合、プローブの破損が著しく
長時間の観察ができなくなるという問題点も生じた。
示すような形状のプローブを用い、フォトン走査型トン
ネル顕微鏡で試料を観察した結果、凹凸の激しい試料を
観察する場合、あるいはプローブが試料表面に対し相対
的にわずかに傾いているような場合に試料細部の観察が
困難となり分解能が低くなるという問題点が生じた。更
に、前記試料を観察した場合、プローブの破損が著しく
長時間の観察ができなくなるという問題点も生じた。
【０００９】本発明者等は、多種及び多様な形状を有す
る試料を用いて観察を繰り返した結果、凹凸の激しい試
料を観測するときにプローブ先端の突起周辺に端面が存
在するために、試料凹部の底部にまでプローブ先端が接
近することができずに試料細部の観察が困難となり、分
解能が低くなることを突き止めた。更に、プローブが破
損し、長時間の観察ができなくなる原因は、プローブ先
端の突起周辺の端面が試料に衝突するためであることが
分かった。
る試料を用いて観察を繰り返した結果、凹凸の激しい試
料を観測するときにプローブ先端の突起周辺に端面が存
在するために、試料凹部の底部にまでプローブ先端が接
近することができずに試料細部の観察が困難となり、分
解能が低くなることを突き止めた。更に、プローブが破
損し、長時間の観察ができなくなる原因は、プローブ先
端の突起周辺の端面が試料に衝突するためであることが
分かった。
【００１０】そこで、本発明者等は機械研磨により図２
のａに示すような理想的なプローブ先端を有するプロー
ブを製造した。しかし、機械研磨で製造する場合、プロ
ーブ先端の曲率半径を小さくできず、尖り角は鋭角とな
らず、更には突起形状の再現性が悪く、また研磨した表
面形状が荒くなるという問題点があった。
のａに示すような理想的なプローブ先端を有するプロー
ブを製造した。しかし、機械研磨で製造する場合、プロ
ーブ先端の曲率半径を小さくできず、尖り角は鋭角とな
らず、更には突起形状の再現性が悪く、また研磨した表
面形状が荒くなるという問題点があった。
【００１１】
【課題を解決するための手段】そこで、本発明者等は鋭
意研究を重ね、原料となる光ファイバーへの添加物の種
類、添加量、添加位置を様々に変化させた光ファイバー
を用意し、これを成分比を多種類に変化させたエッチン
グ液でエッチングを行った。その結果フッ酸によるエッ
チング速度が光ファイバー組成により変化することを利
用すれば、機械研磨等の他の方法を用いずに化学エッチ
ングだけで理想的なプローブ先端（図２のａ）を有する
プローブを製造できることを見い出し、本発明をなすに
至った。
意研究を重ね、原料となる光ファイバーへの添加物の種
類、添加量、添加位置を様々に変化させた光ファイバー
を用意し、これを成分比を多種類に変化させたエッチン
グ液でエッチングを行った。その結果フッ酸によるエッ
チング速度が光ファイバー組成により変化することを利
用すれば、機械研磨等の他の方法を用いずに化学エッチ
ングだけで理想的なプローブ先端（図２のａ）を有する
プローブを製造できることを見い出し、本発明をなすに
至った。
【００１２】よって、本発明は第一に「３〜２８mol ％
の酸化ゲルマニウムを添加した石英コアと、光ファイバ
ーの半径を１としたとき、半径０．３〜０．６に位置す
る境界より内側に当たるクラッドＡと、それより外側に
当たるクラッドＢからなり、前記クラッドＢに０．５〜
１０mol ％の酸化リンが添加されている前記光ファイバ
ーを「濃度５０重量％のフッ酸水溶液：１容量部、水：
１容量部、濃度４０重量％のフッ化アンモニウム水溶
液：Ｙ容量部（Ｙ＝４〜１５）からなるエッチング液」
でエッチングすることを特徴とするプローブの製造方法
（請求項１）」を提供する。
の酸化ゲルマニウムを添加した石英コアと、光ファイバ
ーの半径を１としたとき、半径０．３〜０．６に位置す
る境界より内側に当たるクラッドＡと、それより外側に
当たるクラッドＢからなり、前記クラッドＢに０．５〜
１０mol ％の酸化リンが添加されている前記光ファイバ
ーを「濃度５０重量％のフッ酸水溶液：１容量部、水：
１容量部、濃度４０重量％のフッ化アンモニウム水溶
液：Ｙ容量部（Ｙ＝４〜１５）からなるエッチング液」
でエッチングすることを特徴とするプローブの製造方法
（請求項１）」を提供する。
【００１３】第二に「「濃度５０重量％のフッ酸水溶
液：１容量部、 水：１容量部、濃度４０重量％のフッ
化アンモニウム水溶液：Ｙ1 容量部（Ｙ1 ＝１〜３）か
らなるエッチング液」でエッチングする予備エッチング
工程を付加したことを特徴とする請求項１記載のプロー
ブの製造方法（請求項２）」を提供する。第三に「３〜
２８mol ％の酸化ゲルマニウムを添加した石英コアと、
光ファイバーの半径を１としたとき、半径０．３〜０．
６に位置する境界より内側に当たるクラッドＡと、それ
より外側に当たるクラッドＢからなり、前記クラッドＢ
に５〜３０mol ％の酸化ホウ素が添加されている前記光
ファイバーを「濃度５０重量％のフッ酸水溶液：１容量
部、水：１容量部、濃度４０重量％のフッ化アンモニウ
ム水溶液：Ｙ容量部（Ｙ＝１０〜１５）からなるエッチ
ング液」でエッチングすることを特徴とするプローブの
製造方法（請求項３）」を提供する。
液：１容量部、 水：１容量部、濃度４０重量％のフッ
化アンモニウム水溶液：Ｙ1 容量部（Ｙ1 ＝１〜３）か
らなるエッチング液」でエッチングする予備エッチング
工程を付加したことを特徴とする請求項１記載のプロー
ブの製造方法（請求項２）」を提供する。第三に「３〜
２８mol ％の酸化ゲルマニウムを添加した石英コアと、
光ファイバーの半径を１としたとき、半径０．３〜０．
６に位置する境界より内側に当たるクラッドＡと、それ
より外側に当たるクラッドＢからなり、前記クラッドＢ
に５〜３０mol ％の酸化ホウ素が添加されている前記光
ファイバーを「濃度５０重量％のフッ酸水溶液：１容量
部、水：１容量部、濃度４０重量％のフッ化アンモニウ
ム水溶液：Ｙ容量部（Ｙ＝１０〜１５）からなるエッチ
ング液」でエッチングすることを特徴とするプローブの
製造方法（請求項３）」を提供する。
【００１４】第四に「３〜２８mol ％の酸化ゲルマニウ
ムを添加した石英コアと、光ファイバーの半径を１とし
たとき、半径０．３〜０．６に位置する境界より内側に
当たるクラッドＡと、それより外側に当たるクラッドＢ
からなり、前記クラッドＡに５〜１５mol ％の酸化ホウ
素が添加されておいる前記光ファイバーを「濃度５０重
量％のフッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４
０重量％のフッ化アンモニウム水溶液：Ｙ容量部（Ｙ＝
１〜４）からなるエッチング液」でエッチングすること
を特徴とするプローブの製造方法（請求項４）」を提供
する。
ムを添加した石英コアと、光ファイバーの半径を１とし
たとき、半径０．３〜０．６に位置する境界より内側に
当たるクラッドＡと、それより外側に当たるクラッドＢ
からなり、前記クラッドＡに５〜１５mol ％の酸化ホウ
素が添加されておいる前記光ファイバーを「濃度５０重
量％のフッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４
０重量％のフッ化アンモニウム水溶液：Ｙ容量部（Ｙ＝
１〜４）からなるエッチング液」でエッチングすること
を特徴とするプローブの製造方法（請求項４）」を提供
する。
【００１５】第五に「「濃度５０重量％のフッ酸水溶
液：１容量部、 水：１容量部、濃度４０重量％のフッ
化アンモニウム水溶液： Ｙ2 容量部（Ｙ2 ＝１０〜１
５）からなるエッチング液」でエッチングする工程に、
予備エッチング工程として請求項４の工程を付加したこ
とを特徴とするプローブの製造方法（請求項５）」を提
供する。
液：１容量部、 水：１容量部、濃度４０重量％のフッ
化アンモニウム水溶液： Ｙ2 容量部（Ｙ2 ＝１０〜１
５）からなるエッチング液」でエッチングする工程に、
予備エッチング工程として請求項４の工程を付加したこ
とを特徴とするプローブの製造方法（請求項５）」を提
供する。
【００１６】第六に「３〜２８mol ％の酸化ゲルマニウ
ムを添加した石英コアと、光ファイバーの半径を１とし
たとき、半径０．３〜０．６に位置する境界より内側に
当たるクラッドＡと、それより外側に当たるクラッドＢ
からなり、前記クラッドＢに０．５〜１０mol ％の酸化
ひ素が添加されている前記光ファイバーを「濃度５０重
量％のフッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４
０重量％のフッ化アンモニウム水溶液：Ｙ容量部（Ｙ＝
４〜１５）からなるエッチング液」でエッチングするこ
とを特徴とするプローブの製造方法（請求項６）」を提
供する。
ムを添加した石英コアと、光ファイバーの半径を１とし
たとき、半径０．３〜０．６に位置する境界より内側に
当たるクラッドＡと、それより外側に当たるクラッドＢ
からなり、前記クラッドＢに０．５〜１０mol ％の酸化
ひ素が添加されている前記光ファイバーを「濃度５０重
量％のフッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４
０重量％のフッ化アンモニウム水溶液：Ｙ容量部（Ｙ＝
４〜１５）からなるエッチング液」でエッチングするこ
とを特徴とするプローブの製造方法（請求項６）」を提
供する。
【００１７】第七に「「濃度５０重量％のフッ酸水溶
液：１容量部、 水：１容量部、濃度４０重量％のフッ
化アンモニウム水溶液：Ｙ1 容量部（Ｙ1 ＝１〜２）か
らなるエッチング液」でエッチングする予備エッチング
工程を付加したことを特徴とする請求項６記載のプロー
ブの製造方法（請求項７）を提供する。第八に「３〜２
８mol ％の酸化ゲルマニウムを添加した石英コアと、光
ファイバーの半径を１としたとき、半径０．３〜０．６
に位置する境界より内側に当たるクラッドＡと、それよ
り外側に当たるクラッドＢからなり、前記クラッドＢに
１〜５mol ％のフッ化ケイ素が添加されている前記光フ
ァイバーを「濃度５０重量％のフッ酸水溶液：１容量
部、水：１容量部、濃度４０重量％のフッ化アンモニウ
ム水溶液：Ｙ容量部（Ｙ＝４〜１５）からなるエッチン
グ液」でエッチングすることを特徴とするプローブの製
造方法（請求項８）」を提供する。
液：１容量部、 水：１容量部、濃度４０重量％のフッ
化アンモニウム水溶液：Ｙ1 容量部（Ｙ1 ＝１〜２）か
らなるエッチング液」でエッチングする予備エッチング
工程を付加したことを特徴とする請求項６記載のプロー
ブの製造方法（請求項７）を提供する。第八に「３〜２
８mol ％の酸化ゲルマニウムを添加した石英コアと、光
ファイバーの半径を１としたとき、半径０．３〜０．６
に位置する境界より内側に当たるクラッドＡと、それよ
り外側に当たるクラッドＢからなり、前記クラッドＢに
１〜５mol ％のフッ化ケイ素が添加されている前記光フ
ァイバーを「濃度５０重量％のフッ酸水溶液：１容量
部、水：１容量部、濃度４０重量％のフッ化アンモニウ
ム水溶液：Ｙ容量部（Ｙ＝４〜１５）からなるエッチン
グ液」でエッチングすることを特徴とするプローブの製
造方法（請求項８）」を提供する。
【００１８】第九に「「濃度５０重量％のフッ酸水溶
液：１容量部、 水：１容量部、濃度４０重量％のフッ
化アンモニウム水溶液：Ｙ1 容量部（Ｙ1 ＝１〜３）か
らなるエッチング液」でエッチングする予備エッチング
工程を付加したことを特徴とする請求項８記載のプロー
ブの製造方法（請求項９）」を提供する。第十に「請求
項１〜９の製造方法において、前記エッチング液の成分
比を変えることによりプローブの尖り角を変えることを
特徴とするプローブの製造方法（請求項１０）」を提供
する。
液：１容量部、 水：１容量部、濃度４０重量％のフッ
化アンモニウム水溶液：Ｙ1 容量部（Ｙ1 ＝１〜３）か
らなるエッチング液」でエッチングする予備エッチング
工程を付加したことを特徴とする請求項８記載のプロー
ブの製造方法（請求項９）」を提供する。第十に「請求
項１〜９の製造方法において、前記エッチング液の成分
比を変えることによりプローブの尖り角を変えることを
特徴とするプローブの製造方法（請求項１０）」を提供
する。
【００１９】第十一に「検査領域を照射する光照射手
段、前記領域で発生する電場を検知するプローブ、前記
プローブを走査させる走査手段、前記走査手段の位置制
御手段、前記プローブで検知した検知した電場を電気信
号に変換する検出手段、前記検出手段からの情報と前記
位置制御手段からの位置情報に基づき画像を表示する画
像表示手段からなるフォトン走査型トンネル顕微鏡にお
いて、前記プローブが請求項１〜１０記載の方法で製造
されたプローブであることを特徴とするフォトン走査型
トンネル顕微鏡（請求項１１）」を提供する。
段、前記領域で発生する電場を検知するプローブ、前記
プローブを走査させる走査手段、前記走査手段の位置制
御手段、前記プローブで検知した検知した電場を電気信
号に変換する検出手段、前記検出手段からの情報と前記
位置制御手段からの位置情報に基づき画像を表示する画
像表示手段からなるフォトン走査型トンネル顕微鏡にお
いて、前記プローブが請求項１〜１０記載の方法で製造
されたプローブであることを特徴とするフォトン走査型
トンネル顕微鏡（請求項１１）」を提供する。
【００２０】
【作用】一般に、ガラスはフッ酸緩衝液によりエッチン
グできるが、そのエッチング速度はガラスの組成及びエ
ッチング液の組成で変化することから、これを利用して
エッチング速度を制御することができる。本願発明に用
いる出発原料となる光ファイバーは、３重構造（コア
（１）、クラッドＡ（２）、クラッドＢ（３））をとっ
ている（図１のａ）。石英からなるコア（１）には、酸
化ゲルマニウムが３〜28％添加されており、屈折率がや
や高くなっている。
グできるが、そのエッチング速度はガラスの組成及びエ
ッチング液の組成で変化することから、これを利用して
エッチング速度を制御することができる。本願発明に用
いる出発原料となる光ファイバーは、３重構造（コア
（１）、クラッドＡ（２）、クラッドＢ（３））をとっ
ている（図１のａ）。石英からなるコア（１）には、酸
化ゲルマニウムが３〜28％添加されており、屈折率がや
や高くなっている。
【００２１】コア（１）の外周部に位置しコア（１）に
隣接するクラッドＡ（２）、クラッドＡ（２）の外周部
に位置しクラッドＡ（２）と隣接してクラッドＢ（３）
が形成されている。クラッドＡ（２）とクラッドＢ
（３）の境界は、光ファイバーの半径を１としたとき、
コア（１）中心から半径方向に30〜60％の範囲に存在す
るようにそれぞれのクラッドの組成を変化させる。
隣接するクラッドＡ（２）、クラッドＡ（２）の外周部
に位置しクラッドＡ（２）と隣接してクラッドＢ（３）
が形成されている。クラッドＡ（２）とクラッドＢ
（３）の境界は、光ファイバーの半径を１としたとき、
コア（１）中心から半径方向に30〜60％の範囲に存在す
るようにそれぞれのクラッドの組成を変化させる。
【００２２】クラッドＡ（２）に添加する物質として
は、５〜15mol ％の酸化ホウ素が挙げられる。 クラッ
ドＢ（３）に添加する物質としては、0.5 〜10mol ％の
酸化リン、５〜30mol ％の酸化ホウ素、0.5 〜10 mol％
の酸化ヒ素が挙げられる。クラッドＡ（２）に物質を添
加する場合、クラッドＢ（３）には何も添加せず原材料
の石英のみの組成である。クラッドＢ（３）に物質を添
加する場合も同様にクラッドＡ（２）には何も添加しな
い。また、いずれの場合においても石英コア（１）に添
加する酸化ゲルマニウムは３〜28 mol％とする。
は、５〜15mol ％の酸化ホウ素が挙げられる。 クラッ
ドＢ（３）に添加する物質としては、0.5 〜10mol ％の
酸化リン、５〜30mol ％の酸化ホウ素、0.5 〜10 mol％
の酸化ヒ素が挙げられる。クラッドＡ（２）に物質を添
加する場合、クラッドＢ（３）には何も添加せず原材料
の石英のみの組成である。クラッドＢ（３）に物質を添
加する場合も同様にクラッドＡ（２）には何も添加しな
い。また、いずれの場合においても石英コア（１）に添
加する酸化ゲルマニウムは３〜28 mol％とする。
【００２３】化学エッチングにおいては、濃度５０重量
％のフッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０
重量％のフッ化アンモニウム水溶液：Ｙ容量部（Ｙを変
化させる）からなるエッチング液を用いる。このエッチ
ング液の組成は、クラッドＡ（２）とクラッドＢ（３）
の組成の差異からエッチング速度がクラッドＡ（２）よ
りもクラッドＢ（３）の方が大きくなるように調整す
る。
％のフッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０
重量％のフッ化アンモニウム水溶液：Ｙ容量部（Ｙを変
化させる）からなるエッチング液を用いる。このエッチ
ング液の組成は、クラッドＡ（２）とクラッドＢ（３）
の組成の差異からエッチング速度がクラッドＡ（２）よ
りもクラッドＢ（３）の方が大きくなるように調整す
る。
【００２４】化学エッチングは、エッチング液中のＹ
（濃度４０重量％のフッ化アンモニウム水溶液量）を変
化させて２回繰り返すこともある。このようにエッチン
グを繰り返す理由は、コア（１）のエッチング速度は、
酸化ゲルマニウムが添加されているので、エッチング速
度が最も遅くなりプローブ端面の中央部は先鋭化される
が、その先鋭度が不足するからである。エッチングを繰
り返すことにより充分な先鋭度を得ることができる。
（濃度４０重量％のフッ化アンモニウム水溶液量）を変
化させて２回繰り返すこともある。このようにエッチン
グを繰り返す理由は、コア（１）のエッチング速度は、
酸化ゲルマニウムが添加されているので、エッチング速
度が最も遅くなりプローブ端面の中央部は先鋭化される
が、その先鋭度が不足するからである。エッチングを繰
り返すことにより充分な先鋭度を得ることができる。
【００２５】また、この第２段階のエッチングにおける
エッチング液の成分比を調整することにより、先鋭化後
の先端尖り角の大きさを制御することもできる。
エッチング液の成分比を調整することにより、先鋭化後
の先端尖り角の大きさを制御することもできる。
【００２６】
【実施例１】本実施例に用いる光ファイバーは、石英コ
アとクラッドからなる。クラッドは、クラッドＡ（２）
とクラッドＢ（３）を有し、クラッドＡ（２）とクラッ
ドＢ（３）の境界が光ファイバーの半径を１としたとき
に、コア中心から半径方向に50％ の位置になるように
クラッドＢ（３）に５mol ％の酸化リンが添加してあ
る。コア（１）には、酸化ゲルマニウムを濃度23mol ％
添加する。光ファイバー（１）をへき壊により光軸に対
し垂直に切断する（図３のａ）。
アとクラッドからなる。クラッドは、クラッドＡ（２）
とクラッドＢ（３）を有し、クラッドＡ（２）とクラッ
ドＢ（３）の境界が光ファイバーの半径を１としたとき
に、コア中心から半径方向に50％ の位置になるように
クラッドＢ（３）に５mol ％の酸化リンが添加してあ
る。コア（１）には、酸化ゲルマニウムを濃度23mol ％
添加する。光ファイバー（１）をへき壊により光軸に対
し垂直に切断する（図３のａ）。
【００２７】エッチング液として、濃度５０重量％のフ
ッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重量％
のフッ化アンモニウム水溶液：２容量部（以下エッチン
グ液Ａと呼ぶ）及び濃度５０重量％のフッ酸水溶液：１
容量部、水：１容量部、濃度４０重量％のフッ化アンモ
ニウム水溶液：10容量部（以下エッチング液Ｂ）を用意
する。これをテフロンビーカーで３者を混合することで
各種エッチング液を調整した。これに光ファイバーの先
端から１ｍｍの位置までエッチング液Ａに入れ、無攪拌
で５０〜６０分間浸漬させて放置する。
ッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重量％
のフッ化アンモニウム水溶液：２容量部（以下エッチン
グ液Ａと呼ぶ）及び濃度５０重量％のフッ酸水溶液：１
容量部、水：１容量部、濃度４０重量％のフッ化アンモ
ニウム水溶液：10容量部（以下エッチング液Ｂ）を用意
する。これをテフロンビーカーで３者を混合することで
各種エッチング液を調整した。これに光ファイバーの先
端から１ｍｍの位置までエッチング液Ａに入れ、無攪拌
で５０〜６０分間浸漬させて放置する。
【００２８】光ファイバーの先端部は、端面の中央が先
鋭化するとともにその周辺がテーパー状になっていく
（図３のｂ）。しかし、この状態ではプローブ先端の突
起は尖り角などの点で不十分であるので、更にこの状態
のプローブをエッチング液Ｂに端面のみ接触させ、無攪
拌で１２０分浸漬させて放置する。この結果、図３のｃ
のような形状のプローブ先端を持ち、尖り角が約25度の
プローブを得ることができた。
鋭化するとともにその周辺がテーパー状になっていく
（図３のｂ）。しかし、この状態ではプローブ先端の突
起は尖り角などの点で不十分であるので、更にこの状態
のプローブをエッチング液Ｂに端面のみ接触させ、無攪
拌で１２０分浸漬させて放置する。この結果、図３のｃ
のような形状のプローブ先端を持ち、尖り角が約25度の
プローブを得ることができた。
【００２９】
【実施例２】クラッドＡ（２）とクラッドＢ（３）の境
界が光ファイバーの半径を１としたときに、コア中心か
ら半径方向に50％ の位置になるようにクラッドＢ
（３）に20 mol％の酸化ホウ素が添加してある。コア
（１）には、 酸化ゲルマニウムを濃度23 mol％添加す
る。 光ファイバーをへき壊により光軸に対し垂直に切
断する。
界が光ファイバーの半径を１としたときに、コア中心か
ら半径方向に50％ の位置になるようにクラッドＢ
（３）に20 mol％の酸化ホウ素が添加してある。コア
（１）には、 酸化ゲルマニウムを濃度23 mol％添加す
る。 光ファイバーをへき壊により光軸に対し垂直に切
断する。
【００３０】エッチング液として、濃度５０重量％のフ
ッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重量％
のフッ化アンモニウム水溶液：15容量部を用意する。前
述の光ファイバーを先端から１ｍｍの位置まで、エッチ
ング液に入れ、無攪拌で１００〜１２０分間浸漬させて
エッチングする。光ファイバーの先端部は、端面の中央
が先鋭化するとともにその周辺がテーパー状になってい
く。この結果、プローブ先端の尖り角が約20度のプロー
ブを得ることができた。
ッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重量％
のフッ化アンモニウム水溶液：15容量部を用意する。前
述の光ファイバーを先端から１ｍｍの位置まで、エッチ
ング液に入れ、無攪拌で１００〜１２０分間浸漬させて
エッチングする。光ファイバーの先端部は、端面の中央
が先鋭化するとともにその周辺がテーパー状になってい
く。この結果、プローブ先端の尖り角が約20度のプロー
ブを得ることができた。
【００３１】
【実施例３】クラッドＡ（２）とクラッドＢ（３）の境
界が光ファイバーの半径を１としたときに、コア中心か
ら半径方向に50％ の位置になるようにクラッドＡ
（２）に10 mol％の酸化ホウ素が添加してある。コア
（１）には、酸化ゲルマニウムを濃度23 mol％添加す
る。光ファイバーをへき壊により光軸に対し垂直に切断
する。
界が光ファイバーの半径を１としたときに、コア中心か
ら半径方向に50％ の位置になるようにクラッドＡ
（２）に10 mol％の酸化ホウ素が添加してある。コア
（１）には、酸化ゲルマニウムを濃度23 mol％添加す
る。光ファイバーをへき壊により光軸に対し垂直に切断
する。
【００３２】エッチング液として、濃度５０重量％のフ
ッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重量％
のフッ化アンモニウム水溶液：２容量部を用意する。
（以下エッチング液Ａと呼ぶ）及び濃度５０重量％のフ
ッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重量％
のフッ化アンモニウム水溶液：10容量部（以下エッチン
グ液Ｂと呼ぶ）を用意する。
ッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重量％
のフッ化アンモニウム水溶液：２容量部を用意する。
（以下エッチング液Ａと呼ぶ）及び濃度５０重量％のフ
ッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重量％
のフッ化アンモニウム水溶液：10容量部（以下エッチン
グ液Ｂと呼ぶ）を用意する。
【００３３】前述の光ファイバーを先端から１ｍｍの位
置まで、エッチング液Ａに入れ、無攪拌で５０〜６０分
間浸漬させてエッチングする。光ファイバーの先端部
は、端面中央が先鋭化するとともにその周辺がテーパー
状になっていく。しかし、この状態ではプローブ先端の
突起は尖り角などの点で不十分であるので、更にこの状
態のプローブをエッチング液Ｂに端面のみ接触させ、無
攪拌で１２０分浸漬させて放置する。
置まで、エッチング液Ａに入れ、無攪拌で５０〜６０分
間浸漬させてエッチングする。光ファイバーの先端部
は、端面中央が先鋭化するとともにその周辺がテーパー
状になっていく。しかし、この状態ではプローブ先端の
突起は尖り角などの点で不十分であるので、更にこの状
態のプローブをエッチング液Ｂに端面のみ接触させ、無
攪拌で１２０分浸漬させて放置する。
【００３４】この結果、プローブ先端の尖り角が約25度
のプローブを得ることができた。
のプローブを得ることができた。
【００３５】
【実施例４】クラッドＡ（２）とクラッドＢ（３）の境
界が光ファイバーの半径を１としたときに、コア中心か
ら半径方向に50％の位置になるようにクラッドＡ（２）
に５mol％の酸化ヒ素が添加してある。コア（１）に
は、酸化ゲルマニウムを濃度23mol％添加する。光ファ
イバーをへき壊により光軸に対し垂直に切断する。
界が光ファイバーの半径を１としたときに、コア中心か
ら半径方向に50％の位置になるようにクラッドＡ（２）
に５mol％の酸化ヒ素が添加してある。コア（１）に
は、酸化ゲルマニウムを濃度23mol％添加する。光ファ
イバーをへき壊により光軸に対し垂直に切断する。
【００３６】エッチング液として、濃度５０重量％のフ
ッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重量％
のフッ化アンモニウム水溶液：２容量部を用意する。
（以下エッチング液Ａと呼ぶ）及び濃度５０重量％のフ
ッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重量％
のフッ化アンモニウム水溶液：10容量部（以下エッチン
グ液Ｂと呼ぶ）を用意する。
ッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重量％
のフッ化アンモニウム水溶液：２容量部を用意する。
（以下エッチング液Ａと呼ぶ）及び濃度５０重量％のフ
ッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重量％
のフッ化アンモニウム水溶液：10容量部（以下エッチン
グ液Ｂと呼ぶ）を用意する。
【００３７】前述の光ファイバーを先端から１ｍｍの位
置まで、エッチング液Ａに入れ、無攪拌で５０〜６０分
間浸漬させてエッチングする。光ファイバーの先端部
は、端面中央が先鋭化するとともにその周辺がテーパー
状になっていく。しかし、この状態ではプローブ先端の
突起は尖り角などの点で不十分であるので、更にこの状
態のプローブをエッチング液Ｂに端面のみ接触させ、無
攪拌で１２０分浸漬させて放置する。
置まで、エッチング液Ａに入れ、無攪拌で５０〜６０分
間浸漬させてエッチングする。光ファイバーの先端部
は、端面中央が先鋭化するとともにその周辺がテーパー
状になっていく。しかし、この状態ではプローブ先端の
突起は尖り角などの点で不十分であるので、更にこの状
態のプローブをエッチング液Ｂに端面のみ接触させ、無
攪拌で１２０分浸漬させて放置する。
【００３８】この結果、プローブ先端の尖り角が約25度
のプローブを得ることができた。更に、本願発明の製造
方法を応用すれば、光ファイバーの先端部のマイクロレ
ンズの製造における焦点距離の制御も容易になる。ま
た、任意の曲率をもった光ファイバーの先端部の加工が
容易になる。
のプローブを得ることができた。更に、本願発明の製造
方法を応用すれば、光ファイバーの先端部のマイクロレ
ンズの製造における焦点距離の制御も容易になる。ま
た、任意の曲率をもった光ファイバーの先端部の加工が
容易になる。
【００３９】
【発明の効果】本発明によれば、化学エッチングだけで
（他の方法例えば、機械研磨等を用いず）図２のａに示
す様な理想的な形状のプローブを再現性よく製造するこ
とができる。よって、凹凸の激しい試料を観察する場合
の分解能が高くなる。また、プローブが試料に衝突する
ことがないので長時間の観察が可能になる。
（他の方法例えば、機械研磨等を用いず）図２のａに示
す様な理想的な形状のプローブを再現性よく製造するこ
とができる。よって、凹凸の激しい試料を観察する場合
の分解能が高くなる。また、プローブが試料に衝突する
ことがないので長時間の観察が可能になる。
【図１】は、（ａ）は本発明にかかる光ファイバーを光
軸に対して垂直に切断した垂直断面図であり、（ｂ）は
エッチング後のプローブ先端を光軸に対して平行に切断
した断面図である。
軸に対して垂直に切断した垂直断面図であり、（ｂ）は
エッチング後のプローブ先端を光軸に対して平行に切断
した断面図である。
【図２】は、（ａ）は理想的な形状のフォトン走査型ト
ンネル顕微鏡用プローブ断面図であり、（ｂ）は従来の
プローブ断面図である。
ンネル顕微鏡用プローブ断面図であり、（ｂ）は従来の
プローブ断面図である。
【図３】は、本発明による一実施例のエッチング工程に
伴う、プローブ先端の形状変化を示す概略図である。
伴う、プローブ先端の形状変化を示す概略図である。
１・・・コア ２・・・クラッドＡ ３・・・クラッドＢ
Claims (11)
- 【請求項１】 ３〜２８mol ％の酸化ゲルマニウムを添
加した石英コアと、光ファイバーの半径を１としたと
き、半径０．３〜０．６に位置する境界より内側に当た
るクラッドＡと、それより外側に当たるクラッドＢから
なり、前記クラッドＢに０．５〜１０mol ％の酸化リン
が添加されている前記光ファイバーを「濃度５０重量％
のフッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重
量％のフッ化アンモニウム水溶液：Ｙ容量部（Ｙ＝４〜
１５）からなるエッチング液」でエッチングすることを
特徴とするプローブの製造方法。 - 【請求項２】 「濃度５０重量％のフッ酸水溶液：１容
量部、 水：１容量部、濃度４０重量％のフッ化アンモ
ニウム水溶液：Ｙ1 容量部（Ｙ1 ＝１〜３）からなるエ
ッチング液」でエッチングする予備エッチング工程を付
加したことを特徴とする請求項１記載のプローブの製造
方法。 - 【請求項３】 ３〜２８mol ％の酸化ゲルマニウムを添
加した石英コアと、光ファイバーの半径を１としたと
き、半径０．３〜０．６に位置する境界より内側に当た
るクラッドＡと、それより外側に当たるクラッドＢから
なり、前記クラッドＢに５〜３０mol ％の酸化ホウ素が
添加されている前記光ファイバーを「濃度５０重量％の
フッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重量
％のフッ化アンモニウム水溶液：Ｙ容量部（Ｙ＝１０〜
１５）からなるエッチング液」でエッチングすることを
特徴とするプローブの製造方法。 - 【請求項４】 ３〜２８mol ％の酸化ゲルマニウムを添
加した石英コアと、光ファイバーの半径を１としたと
き、半径０．３〜０．６に位置する境界より内側に当た
るクラッドＡと、それより外側に当たるクラッドＢから
なり、前記クラッドＡに５〜１５mol ％の酸化ホウ素が
添加されておいる前記光ファイバーを「濃度５０重量％
のフッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重
量％のフッ化アンモニウム水溶液：Ｙ容量部（Ｙ＝１〜
４）からなるエッチング液」でエッチングすることを特
徴とするプローブの製造方法。 - 【請求項５】 「濃度５０重量％のフッ酸水溶液：１容
量部、 水：１容量部、濃度４０重量％のフッ化アンモ
ニウム水溶液： Ｙ2 容量部（Ｙ2 ＝１０〜１５）から
なるエッチング液」でエッチングする工程に、予備エッ
チング工程として請求項４の工程を付加したことを特徴
とするプローブの製造方法。 - 【請求項６】 ３〜２８mol ％の酸化ゲルマニウムを添
加した石英コアと、光ファイバーの半径を１としたと
き、半径０．３〜０．６に位置する境界より内側に当た
るクラッドＡと、それより外側に当たるクラッドＢから
なり、前記クラッドＢに０．５〜１０mol ％の酸化ひ素
が添加されている前記光ファイバーを「濃度５０重量％
のフッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重
量％のフッ化アンモニウム水溶液：Ｙ容量部（Ｙ＝４〜
１５）からなるエッチング液」でエッチングすることを
特徴とするプローブの製造方法。 - 【請求項７】 「濃度５０重量％のフッ酸水溶液：１容
量部、 水：１容量部、濃度４０重量％のフッ化アンモ
ニウム水溶液：Ｙ1 容量部（Ｙ1 ＝１〜２）からなるエ
ッチング液」でエッチングする予備エッチング工程を付
加したことを特徴とする請求項６記載のプローブの製造
方法。 - 【請求項８】 ３〜２８mol ％の酸化ゲルマニウムを添
加した石英コアと、光ファイバーの半径を１としたと
き、半径０．３〜０．６に位置する境界より内側に当た
るクラッドＡと、それより外側に当たるクラッドＢから
なり、前記クラッドＢに１〜５mol ％のフッ化ケイ素が
添加されている前記光ファイバーを「濃度５０重量％の
フッ酸水溶液：１容量部、水：１容量部、濃度４０重量
％のフッ化アンモニウム水溶液：Ｙ容量部（Ｙ＝４〜１
５）からなるエッチング液」でエッチングすることを特
徴とするプローブの製造方法。 - 【請求項９】 「濃度５０重量％のフッ酸水溶液：１容
量部、 水：１容量部、濃度４０重量％のフッ化アンモ
ニウム水溶液：Ｙ1 容量部（Ｙ1 ＝１〜３）からなるエ
ッチング液」でエッチングする予備エッチング工程を付
加したことを特徴とする請求項８記載のプローブの製造
方法。 - 【請求項１０】 請求項１〜９の製造方法において、前
記エッチング液の成分比を変えることによりプローブの
尖り角を変えることを特徴とするプローブの製造方法。 - 【請求項１１】 検査領域を照射する光照射手段、前記
領域で発生する電場を検知するプローブ、前記プローブ
を走査させる走査手段、前記走査手段の位置制御手段、
前記プローブで検知した検知した電場を電気信号に変換
する検出手段、前記検出手段からの情報と前記位置制御
手段からの位置情報に基づき画像を表示する画像表示手
段からなるフォトン走査型トンネル顕微鏡において、前
記プローブが請求項１〜１０記載の方法で製造されたプ
ローブであることを特徴とするフォトン走査型トンネル
顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04281720A JP3134546B2 (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | プローブの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP04281720A JP3134546B2 (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | プローブの製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06130302A true JPH06130302A (ja) | 1994-05-13 |
| JP3134546B2 JP3134546B2 (ja) | 2001-02-13 |
Family
ID=17643047
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP04281720A Expired - Fee Related JP3134546B2 (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | プローブの製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3134546B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0924524A1 (en) * | 1996-09-06 | 1999-06-23 | Kanagawa Academy Of Science And Technology | Optical fiber probe and its manufacturing method |
| JP2005144561A (ja) * | 2003-11-11 | 2005-06-09 | Seiko Epson Corp | 近接場光プローブ、近接場光の取出し方法並びに近接場光を用いた加工方法 |
| CN108732388A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-11-02 | 姜全博 | 一种单光子源主动探针的制作方法 |
-
1992
- 1992-10-20 JP JP04281720A patent/JP3134546B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0924524A1 (en) * | 1996-09-06 | 1999-06-23 | Kanagawa Academy Of Science And Technology | Optical fiber probe and its manufacturing method |
| EP0924524A4 (en) * | 1996-09-06 | 1999-11-24 | Kanagawa Kagaku Gijutsu Akad | OPTICAL FIBER PROBE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF |
| JP2005144561A (ja) * | 2003-11-11 | 2005-06-09 | Seiko Epson Corp | 近接場光プローブ、近接場光の取出し方法並びに近接場光を用いた加工方法 |
| CN108732388A (zh) * | 2018-03-30 | 2018-11-02 | 姜全博 | 一种单光子源主动探针的制作方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3134546B2 (ja) | 2001-02-13 |
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