JPH06129889A - 振動式測定装置 - Google Patents
振動式測定装置Info
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- JPH06129889A JPH06129889A JP28194492A JP28194492A JPH06129889A JP H06129889 A JPH06129889 A JP H06129889A JP 28194492 A JP28194492 A JP 28194492A JP 28194492 A JP28194492 A JP 28194492A JP H06129889 A JPH06129889 A JP H06129889A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 本発明はセンサチューブの振動特性を変えず
に精度良く流量又は密度を計測するよう構成した振動式
測定装置に関する。 【構成】 質量流量計１はセンサチューブ３，４を加振
器１１により振動させ、質量流量に比例して発生するコ
リオリ力によるセンサチューブ３，４の変位をピックア
ップ１２，１３により検出する。加振器１１及びピック
アップ１２，１３はセンサチューブ３，４の表面に蒸着
された導電パターン１６を介して流量計測制御装置１７
に接続されている。
に精度良く流量又は密度を計測するよう構成した振動式
測定装置に関する。 【構成】 質量流量計１はセンサチューブ３，４を加振
器１１により振動させ、質量流量に比例して発生するコ
リオリ力によるセンサチューブ３，４の変位をピックア
ップ１２，１３により検出する。加振器１１及びピック
アップ１２，１３はセンサチューブ３，４の表面に蒸着
された導電パターン１６を介して流量計測制御装置１７
に接続されている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は振動式測定装置に係り、
特にセンサチューブを振動させてコリオリ力による変位
を検出するよう構成した振動式測定装置に関する。
特にセンサチューブを振動させてコリオリ力による変位
を検出するよう構成した振動式測定装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】流体が供給されたセンサチューブを振動
させて流体の物理量を測定する振動式測定装置として、
例えばコリオリ式質量流量計又は振動式密度計がある。
させて流体の物理量を測定する振動式測定装置として、
例えばコリオリ式質量流量計又は振動式密度計がある。
【０００３】流量を計測する場合、被測流体の流量は流
体の種類、物性（密度、粘度など）、プロセス条件（温
度、圧力）によって影響を受けない質量で表わされるこ
とが望ましい。そのため、振動するセンサチューブ内に
流体を流したときに生ずるコリオリの力を利用して質量
流量を直接計測するコリオリ式質量流量計が開発されて
いる。
体の種類、物性（密度、粘度など）、プロセス条件（温
度、圧力）によって影響を受けない質量で表わされるこ
とが望ましい。そのため、振動するセンサチューブ内に
流体を流したときに生ずるコリオリの力を利用して質量
流量を直接計測するコリオリ式質量流量計が開発されて
いる。
【０００４】この種の従来の質量流量計の一例として
は、特開昭６３−３０７２１号公報により開示された流
量計がある。この公報の質量流量計は、被測流体が通過
する際の圧力損失を低減するため直線状に延在するセン
サチューブを半径方向に振動させ、流量に比例したコリ
オリ力によるセンサチューブの変位を検出するよう構成
されている。一対のセンサチューブ間にはセンサチュー
ブを加振する加振器と、加振器の上流側と下流側に配さ
れセンサチューブの変位を検出する一対のピックアップ
とが配設されている。この加振器及びピックアップは電
磁ソレノイドと同様な構成とされており、夫々信号線を
介して制御回路と接続されている。各信号線は、センサ
チューブに沿って引き出され、邪魔にならないように幅
広の粘着テープによりセンサチューブの外周に貼着され
ている。
は、特開昭６３−３０７２１号公報により開示された流
量計がある。この公報の質量流量計は、被測流体が通過
する際の圧力損失を低減するため直線状に延在するセン
サチューブを半径方向に振動させ、流量に比例したコリ
オリ力によるセンサチューブの変位を検出するよう構成
されている。一対のセンサチューブ間にはセンサチュー
ブを加振する加振器と、加振器の上流側と下流側に配さ
れセンサチューブの変位を検出する一対のピックアップ
とが配設されている。この加振器及びピックアップは電
磁ソレノイドと同様な構成とされており、夫々信号線を
介して制御回路と接続されている。各信号線は、センサ
チューブに沿って引き出され、邪魔にならないように幅
広の粘着テープによりセンサチューブの外周に貼着され
ている。
【０００５】又、振動式密度計の場合、上記コリオリ式
質量流量計と同様な構成とされ、センサチューブの共振
周波数より流体の密度を測定する。
質量流量計と同様な構成とされ、センサチューブの共振
周波数より流体の密度を測定する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】上記振動式測定装置で
は、加振器及びピックアップに接続される各信号線がセ
ンサチューブの外周に粘着されているため、センサチュ
ーブには各信号線、粘着テープ、接着剤の重さが作用
し、さらに粘着テープや接着剤の粘着力がセンサチュー
ブに作用することになる。そのため、センサチューブの
振動特性が影響を受け変化し、センサチューブの固有振
動数が変動することがある。従って、従来は、流体中に
気泡が混入したり、センサチューブに外部振動が伝播し
た場合、上記各信号線、粘着テープ、接着剤により計測
精度の低下が顕著になるといった課題がある。
は、加振器及びピックアップに接続される各信号線がセ
ンサチューブの外周に粘着されているため、センサチュ
ーブには各信号線、粘着テープ、接着剤の重さが作用
し、さらに粘着テープや接着剤の粘着力がセンサチュー
ブに作用することになる。そのため、センサチューブの
振動特性が影響を受け変化し、センサチューブの固有振
動数が変動することがある。従って、従来は、流体中に
気泡が混入したり、センサチューブに外部振動が伝播し
た場合、上記各信号線、粘着テープ、接着剤により計測
精度の低下が顕著になるといった課題がある。
【０００７】そこで、本発明は上記課題を解決した振動
式測定装置を提供することを目的とする。
式測定装置を提供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記請求項１の発明は、
被測流体が流入する流入口と被測流体が流出する流出口
との間に設けられたセンサチューブと、該センサチュー
ブを加振する加振器と、該センサチューブの変位を検出
するピックアップとを有する振動式測定装置において、
前記センサチューブの表面に導電性パターンの薄膜を形
成し、該導電性パターンの一端を前記加振器に接続し、
前記導電性パターンの他端を電気回路に接続してなるこ
とを特徴とする。
被測流体が流入する流入口と被測流体が流出する流出口
との間に設けられたセンサチューブと、該センサチュー
ブを加振する加振器と、該センサチューブの変位を検出
するピックアップとを有する振動式測定装置において、
前記センサチューブの表面に導電性パターンの薄膜を形
成し、該導電性パターンの一端を前記加振器に接続し、
前記導電性パターンの他端を電気回路に接続してなるこ
とを特徴とする。
【０００９】又、請求項２の発明は、被測流体が流入す
る流入口と被測流体が流出する流出口との間に設けられ
たセンサチューブと、該センサチューブを加振する加振
器と、該センサチューブの変位を検出するピックアップ
とを有する振動式測定装置において、 前記センサチュ
ーブの表面に導電性パターンの薄膜を形成し、該導電性
パターンの一端を前記ピックアップに接続し、前記導電
性パターンの他端を電気回路に接続してなることを特徴
とする。
る流入口と被測流体が流出する流出口との間に設けられ
たセンサチューブと、該センサチューブを加振する加振
器と、該センサチューブの変位を検出するピックアップ
とを有する振動式測定装置において、 前記センサチュ
ーブの表面に導電性パターンの薄膜を形成し、該導電性
パターンの一端を前記ピックアップに接続し、前記導電
性パターンの他端を電気回路に接続してなることを特徴
とする。
【００１０】
【作用】センサチューブの表面に導電性パターンの薄膜
を形成することよりセンサチューブの振動特性が変化す
ることを防止して正確な質量流量又は密度の計測を行い
うる。
を形成することよりセンサチューブの振動特性が変化す
ることを防止して正確な質量流量又は密度の計測を行い
うる。
【００１１】
【実施例】図１乃至図４に本発明になる振動式測定装置
の一実施例としてのコリオリ式質量流量計を示す。
の一実施例としてのコリオリ式質量流量計を示す。
【００１２】尚、振動式測定装置としてコリオリ式質量
流量計と振動式密度計とがある。コリオリ式質量流量計
と振動式密度計とは実質同様な構成であるので、本実施
例では質量流量計について詳細に説明する。
流量計と振動式密度計とがある。コリオリ式質量流量計
と振動式密度計とは実質同様な構成であるので、本実施
例では質量流量計について詳細に説明する。
【００１３】各図中、質量流量計１は被測流体が通過す
る管路２を有し、管路２の途中には一対のセンサチュー
ブ３，４が延在している。管路２は流入口５ａを有する
流入管５と、、流入側マニホールド６と、一対のセンサ
チューブ３，４と、流出側マニホールド７と、流出口８
ａを有する流出管８とより形成されている。
る管路２を有し、管路２の途中には一対のセンサチュー
ブ３，４が延在している。管路２は流入口５ａを有する
流入管５と、、流入側マニホールド６と、一対のセンサ
チューブ３，４と、流出側マニホールド７と、流出口８
ａを有する流出管８とより形成されている。
【００１４】流入管５は流入側端部に上流側配管（図示
せず）に連結されるフランジ５ｂを有し、流入管５の他
側の他端５ｃは流入側マニホールド６に接続されてい
る。流入側マニホールド６は、上流側の流入管５が接続
固定される上流側接続口６ａと、センサチューブ３，４
の上流側端部が接続固定される下流側接続口６ｂ，６ｃ
とを有する。上流側接続口６ａと下流側接続口６ｂ，６
ｃとは分流路６ｄ，６ｅを介して連通されている。
せず）に連結されるフランジ５ｂを有し、流入管５の他
側の他端５ｃは流入側マニホールド６に接続されてい
る。流入側マニホールド６は、上流側の流入管５が接続
固定される上流側接続口６ａと、センサチューブ３，４
の上流側端部が接続固定される下流側接続口６ｂ，６ｃ
とを有する。上流側接続口６ａと下流側接続口６ｂ，６
ｃとは分流路６ｄ，６ｅを介して連通されている。
【００１５】流出側マニホールド７は、センサチューブ
３，４の下流側端部が接続固定される一対の接続口７
ａ，７ｂと、下流側の流出管８の上流側端部が接続され
る接続口７ｃとを有する。又、流出側マニホールド７内
には一対の接続口７ａ，７ｂと接続口７ｃとを連通する
流路７ｄ，７ｅが穿設されている。流出管８は流出側端
部に下流側配管（図示せず）に連結されるフランジ８ｂ
を有し、流出管８の他側の他端８ｃは流出側マニホール
ド７の接続口７ｃに接続されている。
３，４の下流側端部が接続固定される一対の接続口７
ａ，７ｂと、下流側の流出管８の上流側端部が接続され
る接続口７ｃとを有する。又、流出側マニホールド７内
には一対の接続口７ａ，７ｂと接続口７ｃとを連通する
流路７ｄ，７ｅが穿設されている。流出管８は流出側端
部に下流側配管（図示せず）に連結されるフランジ８ｂ
を有し、流出管８の他側の他端８ｃは流出側マニホール
ド７の接続口７ｃに接続されている。
【００１６】一対のセンサチューブ３，４は流体の流れ
方向（Ｘ方向）に直線状に延在する直管よりなり、上記
流入側マニホールド６と流出側マニホールド７との間で
平行に設けられている。直管よりなるセンサチューブ
３，４は被測流体が通過する際の圧力損失が少ないばか
りか複雑な形状に加工する必要もないので製作が容易で
ある。又、センサチューブ３，４は支持板１０Ａ，１０
Ｂを貫通し、且つ溶接されており、平行となるように支
持されている。
方向（Ｘ方向）に直線状に延在する直管よりなり、上記
流入側マニホールド６と流出側マニホールド７との間で
平行に設けられている。直管よりなるセンサチューブ
３，４は被測流体が通過する際の圧力損失が少ないばか
りか複雑な形状に加工する必要もないので製作が容易で
ある。又、センサチューブ３，４は支持板１０Ａ，１０
Ｂを貫通し、且つ溶接されており、平行となるように支
持されている。
【００１７】１１は加振器で、実質電磁ソレノイドと同
様な構成であり、一対のセンサチューブ３，４の略中央
部の間に設けられている。加振器１１はコイル１１ａと
マグネット１１ｂとよりなり、コイル１１ａに印加され
た電圧に応じた反発力がマグネット１１ｂに作用してセ
ンサチューブ３，４を互いに離間する方向に加振する。
様な構成であり、一対のセンサチューブ３，４の略中央
部の間に設けられている。加振器１１はコイル１１ａと
マグネット１１ｂとよりなり、コイル１１ａに印加され
た電圧に応じた反発力がマグネット１１ｂに作用してセ
ンサチューブ３，４を互いに離間する方向に加振する。
【００１８】１２は上流側のピックアップで、加振器１
１より上流側のセンサチューブ３，４間に設けられてい
る。
１より上流側のセンサチューブ３，４間に設けられてい
る。
【００１９】１３は下流側のピックアップで、加振器１
１より下流側のセンサチューブ３，４間に設けられてい
る。ピックアップ１２，１３は夫々電磁ソレノイドと同
様な構成であり、加振器１１により加振されたセンサチ
ューブ３，４の変位を検出する。即ち、ピックアップ１
２，１３は、コイル１２ａ，１３ａとマグネット１２
ｂ，１３ｂとよりなり、コイル１２ａ，１３ａとマグネ
ット１２ｂ，１３ｂとの相対変位に応じた電圧がコイル
１２ａ，１３ａに誘起される。後述するように、このコ
イル１２ａ，１３ａから出力された検出信号の位相差に
基づいて流量が算出される。
１より下流側のセンサチューブ３，４間に設けられてい
る。ピックアップ１２，１３は夫々電磁ソレノイドと同
様な構成であり、加振器１１により加振されたセンサチ
ューブ３，４の変位を検出する。即ち、ピックアップ１
２，１３は、コイル１２ａ，１３ａとマグネット１２
ｂ，１３ｂとよりなり、コイル１２ａ，１３ａとマグネ
ット１２ｂ，１３ｂとの相対変位に応じた電圧がコイル
１２ａ，１３ａに誘起される。後述するように、このコ
イル１２ａ，１３ａから出力された検出信号の位相差に
基づいて流量が算出される。
【００２０】上記加振器１１、ピックアップ１２，１３
のコイル１１ａ，１２ａ，１３ａ及びマグネット１１
ｂ，１２ｂ，１３ｂは夫々センサチューブ３，４に固着
されたブラケット１４，１５に支持されている。
のコイル１１ａ，１２ａ，１３ａ及びマグネット１１
ｂ，１２ｂ，１３ｂは夫々センサチューブ３，４に固着
されたブラケット１４，１５に支持されている。
【００２１】１６（１６ａ〜１６ｆ）は導電性を有する
金属膜よりなる導電パターンで、後述するようにセンサ
チューブ３，４の表面に蒸着されており、一端が加振器
１１、ピックアップ１２，１３のコイル１１ａ，１２
ａ，１３ａに接続され、他端が流量計測制御装置（電気
回路）１７に接続されている。従って、流量計測制御装
置１７は、センサチューブ３，４の表面に被覆形成され
た薄膜状の導電パターン１６を介して駆動信号を出力し
てセンサチューブ３，４を共振周波数で振動するように
加振器１１を駆動するとともに、導電パターン１６を介
して得られたピックアップ１２，１３からの検出信号に
基づいて質量流量を演算する。
金属膜よりなる導電パターンで、後述するようにセンサ
チューブ３，４の表面に蒸着されており、一端が加振器
１１、ピックアップ１２，１３のコイル１１ａ，１２
ａ，１３ａに接続され、他端が流量計測制御装置（電気
回路）１７に接続されている。従って、流量計測制御装
置１７は、センサチューブ３，４の表面に被覆形成され
た薄膜状の導電パターン１６を介して駆動信号を出力し
てセンサチューブ３，４を共振周波数で振動するように
加振器１１を駆動するとともに、導電パターン１６を介
して得られたピックアップ１２，１３からの検出信号に
基づいて質量流量を演算する。
【００２２】上記のように、センサチューブ３，４の表
面には信号線が粘着テープで固着されるのでなく、薄膜
状の導電パターン１６が蒸着されているため、従来のよ
うに信号線、粘着テープ、接着剤の重さがセンサチュー
ブ３，４に作用し、さらに粘着テープや接着剤の粘着力
がセンサチューブに作用するため、センサチューブ３，
４の振動特性が影響を受けて変化し、センサチューブ
３，４の固有振動数が変動することがない。従って、薄
くて軽量な導電パターン１６によりセンサチューブ３，
４の固有振動数はほとんど変化せず、流量計測精度が低
下せず正確な流量計測が行える。
面には信号線が粘着テープで固着されるのでなく、薄膜
状の導電パターン１６が蒸着されているため、従来のよ
うに信号線、粘着テープ、接着剤の重さがセンサチュー
ブ３，４に作用し、さらに粘着テープや接着剤の粘着力
がセンサチューブに作用するため、センサチューブ３，
４の振動特性が影響を受けて変化し、センサチューブ
３，４の固有振動数が変動することがない。従って、薄
くて軽量な導電パターン１６によりセンサチューブ３，
４の固有振動数はほとんど変化せず、流量計測精度が低
下せず正確な流量計測が行える。
【００２３】流量計測時、一対のセンサチューブ３，４
は加振器１１により近接、離間する方向（Ｙ方向）に加
振される。上流側配管（図示せず）から供給された被測
流体は流入口５ａよりマニホールド６に至り、さらにマ
ニホールド６の流路６ｄ，６ｅを通過して振動するセン
サチューブ３，４内に流入する。そして、センサチュー
ブ３，４を通過した流体はマニホールド７の流路７ｄ，
７ｅより下流側の流出管８を通って下流側配管（図示せ
ず）に流出する。
は加振器１１により近接、離間する方向（Ｙ方向）に加
振される。上流側配管（図示せず）から供給された被測
流体は流入口５ａよりマニホールド６に至り、さらにマ
ニホールド６の流路６ｄ，６ｅを通過して振動するセン
サチューブ３，４内に流入する。そして、センサチュー
ブ３，４を通過した流体はマニホールド７の流路７ｄ，
７ｅより下流側の流出管８を通って下流側配管（図示せ
ず）に流出する。
【００２４】このように、振動するセンサチューブ３，
４に流体が流れると、その流量に応じたコリオリ力が発
生する。そのため、直管状のセンサチューブ３，４の流
入側と流出側で動作遅れが生じ、これによりピックアッ
プ１２と１３との出力信号に位相差があらわれる。この
位相差が質量流量に比例するため、ピックアップ１２，
１３からの出力信号の位相差に基づいて質量流量が求ま
る。
４に流体が流れると、その流量に応じたコリオリ力が発
生する。そのため、直管状のセンサチューブ３，４の流
入側と流出側で動作遅れが生じ、これによりピックアッ
プ１２と１３との出力信号に位相差があらわれる。この
位相差が質量流量に比例するため、ピックアップ１２，
１３からの出力信号の位相差に基づいて質量流量が求ま
る。
【００２５】ここで、上記導電パターン１６をセンサチ
ューブ３，４の表面に形成する工程について説明する。
ューブ３，４の表面に形成する工程について説明する。
【００２６】図５（Ａ）に示すように、まずセンサチュ
ーブ３，４として上記マニホールド６，７に接続する前
に、所定の長さに切断されたセンサチューブ素材１８を
用意する。次に図５（Ｂ）に示すように、センサチュー
ブ素材１８の外周表面の長手方向及びブラケット１４，
１５の表面に絶縁性塗料１９を帯状に印刷する。
ーブ３，４として上記マニホールド６，７に接続する前
に、所定の長さに切断されたセンサチューブ素材１８を
用意する。次に図５（Ｂ）に示すように、センサチュー
ブ素材１８の外周表面の長手方向及びブラケット１４，
１５の表面に絶縁性塗料１９を帯状に印刷する。
【００２７】さらに、図５（Ｃ）に示すように、導電パ
ターン１６に対応した形状のスリット２０ａが穿設され
たマスク２０を絶縁性塗料１９の上に被せる。マスク２
０は図５（Ｄ）に示すように、上記ブラケット１４，１
５の両側面及び端面も覆うようにコ字状に折り返された
折り曲げ部２０ｂを有し、図５（Ｅ）に示すように、丁
度ブラケット１４，１５を跨ぐように取り付けられる。
ターン１６に対応した形状のスリット２０ａが穿設され
たマスク２０を絶縁性塗料１９の上に被せる。マスク２
０は図５（Ｄ）に示すように、上記ブラケット１４，１
５の両側面及び端面も覆うようにコ字状に折り返された
折り曲げ部２０ｂを有し、図５（Ｅ）に示すように、丁
度ブラケット１４，１５を跨ぐように取り付けられる。
【００２８】次に図５（Ｆ）に示すように、上記のよう
に絶縁性塗料１９の上にマスク２０が被せられたセンサ
チューブ素材１８を蒸着装置２１内に入れ、導電材をセ
ンサチューブ素材１８の表面に蒸着させる。この蒸着工
程により、マスク２０のスリット２０ａ内に導電材が蒸
着され、絶縁性塗料１９の上にスリット２０ａの形状に
対応する導電パターン１６が形成される。
に絶縁性塗料１９の上にマスク２０が被せられたセンサ
チューブ素材１８を蒸着装置２１内に入れ、導電材をセ
ンサチューブ素材１８の表面に蒸着させる。この蒸着工
程により、マスク２０のスリット２０ａ内に導電材が蒸
着され、絶縁性塗料１９の上にスリット２０ａの形状に
対応する導電パターン１６が形成される。
【００２９】続いて、蒸着装置２１から取り出されたセ
ンサチューブ素材１８より上記マスク２０を除去する
と、図５（Ｇ）に示すように導電パターン１６が形成さ
れたセンサチューブ３，４が完成する。そして、導電パ
ターン１６が形成されたセンサチューブ３，４の両端が
マニホールド６，７に接続され、さらに各ブラケット１
４，１５に加振器１１、ピックアップ１２，１３が固定
された後、各コイル１１ａ，１２ａ，１３ａの各端子が
導電パターン１６の一端に接続されて半田付けされる。
最後に導電パターン１６の表面に絶縁塗料を塗って組立
作業が終了する。
ンサチューブ素材１８より上記マスク２０を除去する
と、図５（Ｇ）に示すように導電パターン１６が形成さ
れたセンサチューブ３，４が完成する。そして、導電パ
ターン１６が形成されたセンサチューブ３，４の両端が
マニホールド６，７に接続され、さらに各ブラケット１
４，１５に加振器１１、ピックアップ１２，１３が固定
された後、各コイル１１ａ，１２ａ，１３ａの各端子が
導電パターン１６の一端に接続されて半田付けされる。
最後に導電パターン１６の表面に絶縁塗料を塗って組立
作業が終了する。
【００３０】尚、上記実施例では、蒸着装置２１を用い
て導電パターン１６を形成したが、これに限らず、例え
ばエッチング又はイオンプレーティング、スパッタリン
グ等の薄膜形成法を使って形成するようにしても良いの
は勿論である。
て導電パターン１６を形成したが、これに限らず、例え
ばエッチング又はイオンプレーティング、スパッタリン
グ等の薄膜形成法を使って形成するようにしても良いの
は勿論である。
【００３１】又、図６に示すように、各ブラケット１
４，１５に加振器１１、ピックアップ１２，１３を固定
することにより、各コイル１１ａ，１２ａ，１３ａの各
端子２５，２６が上記導電パターン１６に直接接触する
構成としても良い。各端子２５，２６は別々の導電パタ
ーン１６に接触するよう上下方向の位置がずれるように
突出している。この場合、接触状態の端子２５，２６と
導電パターン１６とを直接半田付けして接続が完了する
ため、接続用のリード線が不要となり、取り付け作業が
簡単に行える。
４，１５に加振器１１、ピックアップ１２，１３を固定
することにより、各コイル１１ａ，１２ａ，１３ａの各
端子２５，２６が上記導電パターン１６に直接接触する
構成としても良い。各端子２５，２６は別々の導電パタ
ーン１６に接触するよう上下方向の位置がずれるように
突出している。この場合、接触状態の端子２５，２６と
導電パターン１６とを直接半田付けして接続が完了する
ため、接続用のリード線が不要となり、取り付け作業が
簡単に行える。
【００３２】しかも、各ブラケット１４，１５に加振器
１１、ピックアップ１２，１３が取り付けられたとき、
各端子２５，２６が接触する位置に導電パターン１６を
形成しておけば良いので、各コイル１１ａ，１２ａ，１
３ａの各端子２５，２６が別の導電パターン１６に接続
されることを防止でき、リード線を使用した接続による
配線間違いを無くすことができる。
１１、ピックアップ１２，１３が取り付けられたとき、
各端子２５，２６が接触する位置に導電パターン１６を
形成しておけば良いので、各コイル１１ａ，１２ａ，１
３ａの各端子２５，２６が別の導電パターン１６に接続
されることを防止でき、リード線を使用した接続による
配線間違いを無くすことができる。
【００３３】又、センサチューブ３，４としては上記実
施例のように直管を使用しても良いし、これ以外の形状
のセンサチューブの表面に上記実施例と同様に導電パタ
ーン１６を形成しても良い。例えば、図７に示すような
センサチューブ２３，２４の表面に導電パターン１６を
蒸着させるようにしても良い。このセンサチューブ２
３，２４は、上記直管状のセンサチューブを２箇所で折
り曲げて上方から見るとほぼ正三角形状に曲げられて
る。尚、流量計測時の動作は上記実施例と同様なため、
その説明は省略する。
施例のように直管を使用しても良いし、これ以外の形状
のセンサチューブの表面に上記実施例と同様に導電パタ
ーン１６を形成しても良い。例えば、図７に示すような
センサチューブ２３，２４の表面に導電パターン１６を
蒸着させるようにしても良い。このセンサチューブ２
３，２４は、上記直管状のセンサチューブを２箇所で折
り曲げて上方から見るとほぼ正三角形状に曲げられて
る。尚、流量計測時の動作は上記実施例と同様なため、
その説明は省略する。
【００３４】又、本発明は、上記以外のセンサチュー
ブ、例えばＵ字状に曲げたセンサチューブ、Ｓ字状に曲
げたセンサチューブ、あるいはＪ字状に形成したセンサ
チューブにも適用できるのは勿論である。その場合、導
電パターンをＵ字状、Ｓ字状、Ｊ字状に沿ってセンサチ
ューブの外周に形成するようにすれば良い。
ブ、例えばＵ字状に曲げたセンサチューブ、Ｓ字状に曲
げたセンサチューブ、あるいはＪ字状に形成したセンサ
チューブにも適用できるのは勿論である。その場合、導
電パターンをＵ字状、Ｓ字状、Ｊ字状に沿ってセンサチ
ューブの外周に形成するようにすれば良い。
【００３５】
【発明の効果】上述の如く、本発明になる振動式測定装
置は、センサチューブの表面に導電性パターンの薄膜を
形成するため、従来のように信号線、粘着テープ、接着
剤の重さがセンサチューブに作用せず、さらに粘着テー
プや接着剤の粘着力がセンサチューブに作用しないた
め、センサチューブの振動特性が影響を受けて変化し、
センサチューブの固有振動数が変動することを防止でき
る。従って、薄くて軽量な導電性パターンによりセンサ
チューブの固有振動数はほとんど変化せず、流量計測精
度が低下せず正確な流量計測が行える。さらにはセンサ
チューブに沿って信号線を配線をする作業が不要にな
り、組立作業が簡略化されて能率良く組み立てることが
できる等の特長を有する。
置は、センサチューブの表面に導電性パターンの薄膜を
形成するため、従来のように信号線、粘着テープ、接着
剤の重さがセンサチューブに作用せず、さらに粘着テー
プや接着剤の粘着力がセンサチューブに作用しないた
め、センサチューブの振動特性が影響を受けて変化し、
センサチューブの固有振動数が変動することを防止でき
る。従って、薄くて軽量な導電性パターンによりセンサ
チューブの固有振動数はほとんど変化せず、流量計測精
度が低下せず正確な流量計測が行える。さらにはセンサ
チューブに沿って信号線を配線をする作業が不要にな
り、組立作業が簡略化されて能率良く組み立てることが
できる等の特長を有する。
【図１】本発明になる振動式測定装置の一実施例の正面
図である。
図である。
【図２】本発明の第１実施例の質量流量計の縦断面図で
ある。
ある。
【図３】加振器の取り付け構造を示す縦断面図である。
【図４】ピックアップの取り付け構造を示す縦断面図で
ある。
ある。
【図５】導電パターンをセンサチューブの表面に形成す
る蒸着工程の工程図である。
る蒸着工程の工程図である。
【図６】加振器の端子と導電パターンとの接続の変形例
を示す拡大図である。
を示す拡大図である。
【図７】本発明の変形例の斜視図である。
１ 質量流量計 ３，４ センサチューブ ６ 流入側マニホールド ７ 流出側マニホールド １１ 加振器 １２，１３ ピックアップ １６ 導電パターン １７ 流量計測制御装置 １８ センサチューブ素材 １９ 絶縁塗料 ２０ マスク ２１ 蒸着装置
Claims (2)
- 【請求項１】 被測流体が流入する流入口と被測流体が
流出する流出口との間に設けられたセンサチューブと、
該センサチューブを加振する加振器と、該センサチュー
ブの変位を検出するピックアップとを有する振動式測定
装置において、 前記センサチューブの表面に導電性パ
ターンの薄膜を形成し、該導電性パターンの一端を前記
加振器に接続し、前記導電性パターンの他端を電気回路
に接続してなることを特徴とする振動式測定装置。 - 【請求項２】 被測流体が流入する流入口と被測流体が
流出する流出口との間に設けられたセンサチューブと、
該センサチューブを加振する加振器と、該センサチュー
ブの変位を検出するピックアップとを有する振動式測定
装置において、 前記センサチューブの表面に導電性パ
ターンの薄膜を形成し、該導電性パターンの一端を前記
ピックアップに接続し、前記導電性パターンの他端を電
気回路に接続してなることを特徴とする振動式測定装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28194492A JPH06129889A (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | 振動式測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28194492A JPH06129889A (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | 振動式測定装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06129889A true JPH06129889A (ja) | 1994-05-13 |
Family
ID=17646095
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28194492A Pending JPH06129889A (ja) | 1992-10-20 | 1992-10-20 | 振動式測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06129889A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011038810A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Kyoto Electron Mfg Co Ltd | 振動式密度測定方法及び振動式密度計 |
| EP3472577B1 (en) * | 2016-06-21 | 2022-11-16 | Micro Motion, Inc. | A sensor assembly, sensor bracket, and tube ring for a vibratory conduit |
-
1992
- 1992-10-20 JP JP28194492A patent/JPH06129889A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011038810A (ja) * | 2009-08-07 | 2011-02-24 | Kyoto Electron Mfg Co Ltd | 振動式密度測定方法及び振動式密度計 |
| EP3472577B1 (en) * | 2016-06-21 | 2022-11-16 | Micro Motion, Inc. | A sensor assembly, sensor bracket, and tube ring for a vibratory conduit |
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