JPH06129841A - 磁性薄膜型磁気記録媒体の表面検査装置 - Google Patents
磁性薄膜型磁気記録媒体の表面検査装置Info
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- JPH06129841A JPH06129841A JP28408692A JP28408692A JPH06129841A JP H06129841 A JPH06129841 A JP H06129841A JP 28408692 A JP28408692 A JP 28408692A JP 28408692 A JP28408692 A JP 28408692A JP H06129841 A JPH06129841 A JP H06129841A
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Abstract
(57)【要約】
【構成】磁性薄膜を形成した磁気記録媒体の表面性状を
検査するための非接触反射光学部と、検出ヘッドの反対
側に磁気記録媒体と接触摺動する鏡面固定円筒をを有す
る磁気記録媒体の表面検査装置において、上記鏡面固定
円筒の最大高さ粗さが０．５Ｓ以下であり、且つ上記鏡
面固定円筒上で磁気記録媒体が接触角１０゜以下で接触
摺動することにより、磁気記録媒体上の形状異方欠陥物
を高感度に高速で検出する。 【効果】磁性薄膜を有する磁気記録媒体上の形状異方欠
陥物を高感度に高速で検出することができる。磁気記録
媒体上の形状異方欠陥物を高感度に高速で検出すること
は、磁気記録媒体の製造や開発、設計を行う上で非常に
重要であり、工業的価値は非常に高い。
検査するための非接触反射光学部と、検出ヘッドの反対
側に磁気記録媒体と接触摺動する鏡面固定円筒をを有す
る磁気記録媒体の表面検査装置において、上記鏡面固定
円筒の最大高さ粗さが０．５Ｓ以下であり、且つ上記鏡
面固定円筒上で磁気記録媒体が接触角１０゜以下で接触
摺動することにより、磁気記録媒体上の形状異方欠陥物
を高感度に高速で検出する。 【効果】磁性薄膜を有する磁気記録媒体上の形状異方欠
陥物を高感度に高速で検出することができる。磁気記録
媒体上の形状異方欠陥物を高感度に高速で検出すること
は、磁気記録媒体の製造や開発、設計を行う上で非常に
重要であり、工業的価値は非常に高い。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は非磁性支持体上に真空薄
膜形成手段により磁性薄膜を形成し、その後保護膜、裏
面摺動膜、潤滑膜を形成する磁気記録媒体上の形状異方
欠陥物を検出する表面検査装置に関する。
膜形成手段により磁性薄膜を形成し、その後保護膜、裏
面摺動膜、潤滑膜を形成する磁気記録媒体上の形状異方
欠陥物を検出する表面検査装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来より、磁気記録媒体としては、非磁
性支持体上に酸化物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等の
粉末磁性材料を、塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合体、
ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂等
の有機バインダー中に分散せしめた磁性塗料を、塗布、
乾燥することにより作成される塗布型の磁気記録媒体が
広く使用されている。
性支持体上に酸化物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等の
粉末磁性材料を、塩化ビニル−酢酸ビニル系共重合体、
ポリエステル樹脂、ウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂等
の有機バインダー中に分散せしめた磁性塗料を、塗布、
乾燥することにより作成される塗布型の磁気記録媒体が
広く使用されている。
【０００３】これに対して、高密度磁気記録への要求の
高まりと共に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、Ｃｏ
−Ｏ等の金属磁性材料を、メッキや真空薄膜形成手段
（真空蒸着法やスパッタリング法、イオンプレーティン
グ法等）によってポリエステルフィルムやポリアミド、
ポリイミドフィルム等の非磁性支持体上に直接被着し
た、いわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が提案され
注目を集めている。この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体
は抗磁力や角形比等に優れ、短波長での電磁変換特性に
優れるばかりでなく、磁性層の厚みをきわめて薄くでき
る為、記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さいこ
と、磁性層中に非磁性材であるそのバインダーを混入す
る必要が無いため磁性材料の充填密度を高めることがで
きることなど、数々の利点を有している。更に、この種
の磁気記録媒体の電磁変換特性を向上させ、より大きな
出力を得ることが出来るようにするために、磁気記録媒
体の磁性層を形成する場合、磁性層を斜めに蒸着するい
わゆる斜方蒸着が提案され実用化されている。
高まりと共に、Ｃｏ−Ｎｉ合金、Ｃｏ−Ｃｒ合金、Ｃｏ
−Ｏ等の金属磁性材料を、メッキや真空薄膜形成手段
（真空蒸着法やスパッタリング法、イオンプレーティン
グ法等）によってポリエステルフィルムやポリアミド、
ポリイミドフィルム等の非磁性支持体上に直接被着し
た、いわゆる金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が提案され
注目を集めている。この金属磁性薄膜型の磁気記録媒体
は抗磁力や角形比等に優れ、短波長での電磁変換特性に
優れるばかりでなく、磁性層の厚みをきわめて薄くでき
る為、記録減磁や再生時の厚み損失が著しく小さいこ
と、磁性層中に非磁性材であるそのバインダーを混入す
る必要が無いため磁性材料の充填密度を高めることがで
きることなど、数々の利点を有している。更に、この種
の磁気記録媒体の電磁変換特性を向上させ、より大きな
出力を得ることが出来るようにするために、磁気記録媒
体の磁性層を形成する場合、磁性層を斜めに蒸着するい
わゆる斜方蒸着が提案され実用化されている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、これら磁性
薄膜型の磁気記録媒体は、塗布型の磁気記録媒体と比較
して単位面積当りの記録密度が高いため、数μｍ程度の
微小な磁気記録媒体上の形状異方欠陥物が存在しても記
録信号の欠落となって、いわゆるドロップアウトの原因
となり画質、音質の劣化を引き起こす。このため、形状
異方欠陥物を微小なものまで正確に検出し、形状異方欠
陥物を含む磁気記録媒体部分を削除して製品化すること
は、磁気記録媒体を製造する上で重要となる。また、磁
性薄膜型磁気記録媒体の開発や設計を行う上で、形状異
方欠陥物の物質検定結果から発生原因を解析することも
必要とされる。
薄膜型の磁気記録媒体は、塗布型の磁気記録媒体と比較
して単位面積当りの記録密度が高いため、数μｍ程度の
微小な磁気記録媒体上の形状異方欠陥物が存在しても記
録信号の欠落となって、いわゆるドロップアウトの原因
となり画質、音質の劣化を引き起こす。このため、形状
異方欠陥物を微小なものまで正確に検出し、形状異方欠
陥物を含む磁気記録媒体部分を削除して製品化すること
は、磁気記録媒体を製造する上で重要となる。また、磁
性薄膜型磁気記録媒体の開発や設計を行う上で、形状異
方欠陥物の物質検定結果から発生原因を解析することも
必要とされる。
【０００５】上記、磁性薄膜型磁気記録媒体上の形状異
方欠陥物は磁気記録媒体の製造工程に於て発生し、その
原因としては磁性金属塊の溶融槽からの飛散や、真空雰
囲気中、大気中の塵埃の付着、磁気記録媒体を多層巻に
した際に発生する隣接部に形状異方欠陥物と同形状に磁
気記録媒体が塑性変形するいわゆる「寝押し」などが挙
げられる。
方欠陥物は磁気記録媒体の製造工程に於て発生し、その
原因としては磁性金属塊の溶融槽からの飛散や、真空雰
囲気中、大気中の塵埃の付着、磁気記録媒体を多層巻に
した際に発生する隣接部に形状異方欠陥物と同形状に磁
気記録媒体が塑性変形するいわゆる「寝押し」などが挙
げられる。
【０００６】これまで磁性薄膜型磁気記録媒体上の形状
異方欠陥物の検出は、所定の媒体幅に磁気記録媒体を切
断した後、上記磁気記録媒体の一部をヘリカルスキャン
ドラムを有するＶＴＲに装着し、単位磁気記録媒体長さ
当りの電気的なドロップアウト数を検出している。上記
ヘリカルスキャンドラムを有するＶＴＲを使った電気的
なドロップアウト信号評価では形状異方欠陥物位置まで
は検出しておらず、１μｍ以下の微小欠陥物も検出でき
る反面、記録媒体の走行速度が数ｃｍ／秒と非常に遅い
ため、製造された磁気記録媒体全数の検査は膨大な時間
がかかるので行われていない。
異方欠陥物の検出は、所定の媒体幅に磁気記録媒体を切
断した後、上記磁気記録媒体の一部をヘリカルスキャン
ドラムを有するＶＴＲに装着し、単位磁気記録媒体長さ
当りの電気的なドロップアウト数を検出している。上記
ヘリカルスキャンドラムを有するＶＴＲを使った電気的
なドロップアウト信号評価では形状異方欠陥物位置まで
は検出しておらず、１μｍ以下の微小欠陥物も検出でき
る反面、記録媒体の走行速度が数ｃｍ／秒と非常に遅い
ため、製造された磁気記録媒体全数の検査は膨大な時間
がかかるので行われていない。
【０００７】そこで本発明は、従来の実情に鑑みて提案
されたものであって、非磁性支持体上に真空中での薄膜
形成法により磁性薄膜を形成した磁気記録媒体の表面性
状を検査するための、非接触反射光学部を有する磁気記
録媒体の表面検査装置において、上記磁気記録媒体を介
して上記非接触反射光学部の検出ヘッドの反対側に磁気
記録媒体と接触摺動する最大高さ粗さが０．５Ｓ以下の
鏡面固定円筒を有し、且つ上記鏡面固定円筒上で磁気記
録媒体が接触角１０゜以下で接触摺動することを特徴と
する、磁性薄膜型磁気記録媒体の表面検査装置を提供す
るものである。
されたものであって、非磁性支持体上に真空中での薄膜
形成法により磁性薄膜を形成した磁気記録媒体の表面性
状を検査するための、非接触反射光学部を有する磁気記
録媒体の表面検査装置において、上記磁気記録媒体を介
して上記非接触反射光学部の検出ヘッドの反対側に磁気
記録媒体と接触摺動する最大高さ粗さが０．５Ｓ以下の
鏡面固定円筒を有し、且つ上記鏡面固定円筒上で磁気記
録媒体が接触角１０゜以下で接触摺動することを特徴と
する、磁性薄膜型磁気記録媒体の表面検査装置を提供す
るものである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、本発明の検査装置においては、非磁性支持体上に
真空中で成膜された磁性薄膜と保護膜、潤滑膜、裏面摺
動膜を有する磁気記録媒体と、反射光学式の非接触表面
検査部、上記磁気記録媒体を介して上記非接触表面検査
装置の検出ヘッドの反対側に配設された上記鏡面固定円
筒において、磁気記録媒体と接触角１０゜以下で接触摺
動する摺動面の最大高さ粗さが０．５Ｓ以下である鏡面
固定円筒を有する高速走行部、コンピュ−タによる磁気
記録媒体上の欠陥物位置を表示する信号処理部を備えて
なることを特徴とするものである。
めに、本発明の検査装置においては、非磁性支持体上に
真空中で成膜された磁性薄膜と保護膜、潤滑膜、裏面摺
動膜を有する磁気記録媒体と、反射光学式の非接触表面
検査部、上記磁気記録媒体を介して上記非接触表面検査
装置の検出ヘッドの反対側に配設された上記鏡面固定円
筒において、磁気記録媒体と接触角１０゜以下で接触摺
動する摺動面の最大高さ粗さが０．５Ｓ以下である鏡面
固定円筒を有する高速走行部、コンピュ−タによる磁気
記録媒体上の欠陥物位置を表示する信号処理部を備えて
なることを特徴とするものである。
【０００９】
【作用】磁性薄膜型の磁気記録媒体は塗布型の磁気記録
媒体と比較して単位面積当りの記録密度が高いため、数
μｍ程度の微小な磁気記録媒体上の形状異方欠陥物が存
在しても記録信号の欠落となって、いわゆるドロップア
ウトの原因となり画質、音質の劣化を引き起こすため、
磁性薄膜記録媒体の開発や設計を行う上で、磁気記録媒
体上の形状異方欠陥物の検出、解析を行うことが必要と
されている。これまで磁性薄膜型磁気記録媒体上の形状
異方欠陥物の検出は、所定の幅に磁気記録媒体を切断し
た後、上記磁気記録媒体の一部をヘリカルスキャンドラ
ムを有するＶＴＲに装着し、単位磁気記録媒体長さ当り
の電気的なドロップアウト数を検出している。
媒体と比較して単位面積当りの記録密度が高いため、数
μｍ程度の微小な磁気記録媒体上の形状異方欠陥物が存
在しても記録信号の欠落となって、いわゆるドロップア
ウトの原因となり画質、音質の劣化を引き起こすため、
磁性薄膜記録媒体の開発や設計を行う上で、磁気記録媒
体上の形状異方欠陥物の検出、解析を行うことが必要と
されている。これまで磁性薄膜型磁気記録媒体上の形状
異方欠陥物の検出は、所定の幅に磁気記録媒体を切断し
た後、上記磁気記録媒体の一部をヘリカルスキャンドラ
ムを有するＶＴＲに装着し、単位磁気記録媒体長さ当り
の電気的なドロップアウト数を検出している。
【００１０】しかしながら、上記ヘリカルスキャンドラ
ムを有するＶＴＲを使った電気的なドロップアウト信号
評価では、形状異方欠陥物位置までは検出しておらず、
１μｍ以下の微小欠陥物も検出できる反面、記録媒体の
走行速度が数ｃｍ／秒と非常に遅いため、製造された磁
気記録媒体全数の検査は膨大な時間がかかるので行われ
ていない。
ムを有するＶＴＲを使った電気的なドロップアウト信号
評価では、形状異方欠陥物位置までは検出しておらず、
１μｍ以下の微小欠陥物も検出できる反面、記録媒体の
走行速度が数ｃｍ／秒と非常に遅いため、製造された磁
気記録媒体全数の検査は膨大な時間がかかるので行われ
ていない。
【００１１】本発明の検査装置においては、非磁性支持
体上に真空中で成膜された磁性薄膜と保護膜、潤滑膜、
裏面摺動膜を有する磁気記録媒体と、反射光学式の非接
触表面検査部、上記磁気記録媒体を介して上記非接触表
面検査装置の検出ヘッドの反対側に配設された上記鏡面
固定円筒において、磁気記録媒体と接触角１０゜以下で
接触摺動する摺動面の最大高さ粗さが０．５Ｓ以下であ
る鏡面固定円筒を有する高速走行部、コンピュ−タによ
る磁気記録媒体上の欠陥物位置を表示する信号処理部を
備えており、磁気記録媒体上の形状異方欠陥物位置を高
感度に高速で検出する表面検査装置を提供するものであ
る。
体上に真空中で成膜された磁性薄膜と保護膜、潤滑膜、
裏面摺動膜を有する磁気記録媒体と、反射光学式の非接
触表面検査部、上記磁気記録媒体を介して上記非接触表
面検査装置の検出ヘッドの反対側に配設された上記鏡面
固定円筒において、磁気記録媒体と接触角１０゜以下で
接触摺動する摺動面の最大高さ粗さが０．５Ｓ以下であ
る鏡面固定円筒を有する高速走行部、コンピュ−タによ
る磁気記録媒体上の欠陥物位置を表示する信号処理部を
備えており、磁気記録媒体上の形状異方欠陥物位置を高
感度に高速で検出する表面検査装置を提供するものであ
る。
【００１２】
【実施例】以下、本発明を適用した具体的な実施例につ
いて、図面を参照しながら説明する。本実施例の評価装
置は、図１に示すように、図中矢印Ｄ方向に走行する磁
気記録媒体１、磁気記録媒体１を安定走行させる高速走
行部２、磁気記録媒体上の欠陥物を検出する検出ヘッド
３を有する反射光学式の非接触表面検査部４、コンピュ
−タによる磁気記録媒体上の欠陥物位置を表示する信号
処理部５により構成される。また、高速走行部２は磁気
記録媒体１の巻き出しリ−ル６と巻き取りリ−ル７、磁
気記録媒体１上の形状異方欠陥物を高感度に検出するた
めの鏡面固定円筒８、磁気記録媒体１を一定速度で走行
させるキャプスタン９を有する。この時、検出ヘッド３
は、磁気記録媒体１の磁性薄膜側に配置される。また、
鏡面固定円筒８は磁気記録媒体１を介して検出ヘッド３
の反対側に配置、固定され、磁気記録媒体１の裏面と接
触摺動する。
いて、図面を参照しながら説明する。本実施例の評価装
置は、図１に示すように、図中矢印Ｄ方向に走行する磁
気記録媒体１、磁気記録媒体１を安定走行させる高速走
行部２、磁気記録媒体上の欠陥物を検出する検出ヘッド
３を有する反射光学式の非接触表面検査部４、コンピュ
−タによる磁気記録媒体上の欠陥物位置を表示する信号
処理部５により構成される。また、高速走行部２は磁気
記録媒体１の巻き出しリ−ル６と巻き取りリ−ル７、磁
気記録媒体１上の形状異方欠陥物を高感度に検出するた
めの鏡面固定円筒８、磁気記録媒体１を一定速度で走行
させるキャプスタン９を有する。この時、検出ヘッド３
は、磁気記録媒体１の磁性薄膜側に配置される。また、
鏡面固定円筒８は磁気記録媒体１を介して検出ヘッド３
の反対側に配置、固定され、磁気記録媒体１の裏面と接
触摺動する。
【００１３】上述のように、磁気記録媒体１は図１中矢
印Ｄ方向に線速度５ｍ／秒で走行し、巻き出しリ−ル６
から検出ヘッド３前面を通り、巻き取りリ−ル７に巻き
取られる。磁気記録媒体１上に形状異方欠陥物が存在す
る場合、検出ヘッド３から照射された赤色ＬＥＤ光に散
乱が生じ、検出ヘッド３内の受光ファイバに入射する光
量が瞬時に変化し、形状異方欠陥物の検出信号として非
接触表面検査部４からコンピュ−タ信号処理部５へ出力
される。また、キャプスタン９には磁気記録媒体１の走
行長さ１０ｃｍにつき１発のパルスが発生するように近
接スイッチが取り付けられており、磁気記録媒体１の長
手方向の位置情報としてコンピュ−タ信号処理部５にパ
ルスが送られる。上記、形状異方欠陥物の検出信号と位
置情報信号により、コンピュ−タ信号処理部５内で信号
処理され、磁気記録媒体１上の形状異方欠陥物位置をテ
−プ長手方向で１０ｃｍ単位で表示する。また、鏡面固
定円筒８に接触した磁気記録媒体１と検出ヘッド３の間
隔は０．５ｍｍで、形状異方欠陥物の出力信号が最も感
度よく検出できるよう配置、固定した。
印Ｄ方向に線速度５ｍ／秒で走行し、巻き出しリ−ル６
から検出ヘッド３前面を通り、巻き取りリ−ル７に巻き
取られる。磁気記録媒体１上に形状異方欠陥物が存在す
る場合、検出ヘッド３から照射された赤色ＬＥＤ光に散
乱が生じ、検出ヘッド３内の受光ファイバに入射する光
量が瞬時に変化し、形状異方欠陥物の検出信号として非
接触表面検査部４からコンピュ−タ信号処理部５へ出力
される。また、キャプスタン９には磁気記録媒体１の走
行長さ１０ｃｍにつき１発のパルスが発生するように近
接スイッチが取り付けられており、磁気記録媒体１の長
手方向の位置情報としてコンピュ−タ信号処理部５にパ
ルスが送られる。上記、形状異方欠陥物の検出信号と位
置情報信号により、コンピュ−タ信号処理部５内で信号
処理され、磁気記録媒体１上の形状異方欠陥物位置をテ
−プ長手方向で１０ｃｍ単位で表示する。また、鏡面固
定円筒８に接触した磁気記録媒体１と検出ヘッド３の間
隔は０．５ｍｍで、形状異方欠陥物の出力信号が最も感
度よく検出できるよう配置、固定した。
【００１４】本実施例において、磁気記録媒体１として
は、ＰＥＴ（ポリエチレン・テレフタレ−ト）フィルム
上に真空中で形成されたＣｏ−Ｎｉ斜方蒸着磁性薄膜と
潤滑膜、裏面摺動膜を有する市販８ｍｍビデオテ−プ
で、２４インチ幅の原反から８ｍｍ幅に裁断されたパン
ケ−キ状をしている。高速走行部２としては、テ−プ走
行速度を０〜７ｍ／秒まで可変できる走行系を自作し、
上記８ｍｍパンケ−キテ−プを最長７０００ｍまで搭載
可能とした。また、検出ヘッド３を含む非接触表面検査
部４としては、市販の富士オプト社製ステインチェッ
カ：ＳＣＷ−１２１を使用した。上記検出ヘッド３とし
ては、磁気記録媒体１の幅方向に対して３５チャンネル
に分割した検出ファイバ部を有し、本装置の場合、磁気
記録媒体１を８ｍｍに裁断したため、上記検出ファイバ
部のうち任意２０チャンネルを割り当てた。非接触表面
検査部４からコンピュ−タ信号処理部５への信号出力部
としては、任意のチャンネルを選択できるようマトリク
スジャンパ−スイッチを設け、２０チャンネルを設定し
た。また、コンピュ−タ信号処理部５としては、パラレ
ル入出力モジュ−ル：ＰＩＯ−１６／１６（９８）Ｈを
含むＮＥＣ製パソコン：ＰＣ−９８０１ＶＭ４を使用し
た。
は、ＰＥＴ（ポリエチレン・テレフタレ−ト）フィルム
上に真空中で形成されたＣｏ−Ｎｉ斜方蒸着磁性薄膜と
潤滑膜、裏面摺動膜を有する市販８ｍｍビデオテ−プ
で、２４インチ幅の原反から８ｍｍ幅に裁断されたパン
ケ−キ状をしている。高速走行部２としては、テ−プ走
行速度を０〜７ｍ／秒まで可変できる走行系を自作し、
上記８ｍｍパンケ−キテ−プを最長７０００ｍまで搭載
可能とした。また、検出ヘッド３を含む非接触表面検査
部４としては、市販の富士オプト社製ステインチェッ
カ：ＳＣＷ−１２１を使用した。上記検出ヘッド３とし
ては、磁気記録媒体１の幅方向に対して３５チャンネル
に分割した検出ファイバ部を有し、本装置の場合、磁気
記録媒体１を８ｍｍに裁断したため、上記検出ファイバ
部のうち任意２０チャンネルを割り当てた。非接触表面
検査部４からコンピュ−タ信号処理部５への信号出力部
としては、任意のチャンネルを選択できるようマトリク
スジャンパ−スイッチを設け、２０チャンネルを設定し
た。また、コンピュ−タ信号処理部５としては、パラレ
ル入出力モジュ−ル：ＰＩＯ−１６／１６（９８）Ｈを
含むＮＥＣ製パソコン：ＰＣ−９８０１ＶＭ４を使用し
た。
【００１５】磁気記録媒体１を安定走行させ、且つ形状
異方欠陥物検出信号にノイズを発生させないためには、
鏡面固定円筒８を固定し、且つ最大高さ粗さを非常に小
さくすることが要求される。鏡面固定円筒８を固定する
か回転するかに関する検討の結果、鏡面固定円筒８を回
転させた場合にはベアリングのガタと鏡面固定円筒８表
面の粗さに起因する形状異方欠陥物検出信号よりも大き
なノイズが発生するため、鏡面固定円筒８は固定して使
用することとした。また、鏡面固定円筒８表面の粗さを
決定する検討としては、最大高さ粗さ１Ｓ、０．６Ｓの
それぞれφ４０ｍｍ、ＳＵＳ３０４材の自作円筒と、最
大高さ粗さは０．２Ｓで材質はＡＨＳ材を使用したＳＯ
ＮＹ製８ｍｍＶＴＲの回転ドラム部を各々固定して実験
した結果、１Ｓ、０．６Ｓの自作円筒の場合、出力信号
に表面粗さに起因する反射光のランダムな微小ノイズが
発生し、正確な形状異方欠陥物の特定ができなかった。
そのため、鏡面固定円筒８はソニー株式会社製８ｍｍＶ
ＴＲの回転ドラム部を固定して使用することとし、鏡面
固定円筒８の表面粗さは０．５Ｓ以下にするよう規定し
た。
異方欠陥物検出信号にノイズを発生させないためには、
鏡面固定円筒８を固定し、且つ最大高さ粗さを非常に小
さくすることが要求される。鏡面固定円筒８を固定する
か回転するかに関する検討の結果、鏡面固定円筒８を回
転させた場合にはベアリングのガタと鏡面固定円筒８表
面の粗さに起因する形状異方欠陥物検出信号よりも大き
なノイズが発生するため、鏡面固定円筒８は固定して使
用することとした。また、鏡面固定円筒８表面の粗さを
決定する検討としては、最大高さ粗さ１Ｓ、０．６Ｓの
それぞれφ４０ｍｍ、ＳＵＳ３０４材の自作円筒と、最
大高さ粗さは０．２Ｓで材質はＡＨＳ材を使用したＳＯ
ＮＹ製８ｍｍＶＴＲの回転ドラム部を各々固定して実験
した結果、１Ｓ、０．６Ｓの自作円筒の場合、出力信号
に表面粗さに起因する反射光のランダムな微小ノイズが
発生し、正確な形状異方欠陥物の特定ができなかった。
そのため、鏡面固定円筒８はソニー株式会社製８ｍｍＶ
ＴＲの回転ドラム部を固定して使用することとし、鏡面
固定円筒８の表面粗さは０．５Ｓ以下にするよう規定し
た。
【００１６】上記鏡面固定円筒８の、本装置における磁
気記録媒体１の巻き角を決定するには、磁気記録媒体１
の裏面損傷を少なくすることを主眼に検討を行った。磁
気記録媒体の円筒物への巻き付けの場合、オイラ−の公
式より以下の関係がある。
気記録媒体１の巻き角を決定するには、磁気記録媒体１
の裏面損傷を少なくすることを主眼に検討を行った。磁
気記録媒体の円筒物への巻き付けの場合、オイラ−の公
式より以下の関係がある。
【００１７】
【数１】 ここで、Ｔ1 ：入口側張力 Ｔ2 ：出口側張力 μ ：摩擦係数 θ ：円筒の巻角
【００１８】これより、磁気記録媒体１裏面の平均的な
摩擦係数：μ＝１．０とした場合、円筒の巻角：θ＝１
０゜で入口側張力１０（図２）と出口側張力１１（図
２）の張力比が２０％となる。よって、１０゜以上の巻
角にすると入口出口の張力差が大きくなって、磁気記録
媒体１が鏡面固定円筒８に押しつけられる力が強くな
り、磁気記録媒体１裏面に摩擦損傷を生じて、新たに排
出された摩耗粉がドロップアウトの原因になる。また、
形状異方欠陥物に起因する反射光が検出ヘッド３へ確実
に戻るためには、磁気記録媒体の長手方向に１ｍｍ幅以
上の鏡面固定円筒８との接触部分が必要となる。以上、
前記２項目を考慮した結果、本装置における磁気記録媒
体１の巻き角は、鏡面固定円筒８の直径が４０ｍｍのた
め５゜と設定した。これによって安定した形状異方欠陥
物の検出信号を得ることができ、磁気記録媒体１裏面の
摩擦損傷も皆無に近い状態を達成できた。
摩擦係数：μ＝１．０とした場合、円筒の巻角：θ＝１
０゜で入口側張力１０（図２）と出口側張力１１（図
２）の張力比が２０％となる。よって、１０゜以上の巻
角にすると入口出口の張力差が大きくなって、磁気記録
媒体１が鏡面固定円筒８に押しつけられる力が強くな
り、磁気記録媒体１裏面に摩擦損傷を生じて、新たに排
出された摩耗粉がドロップアウトの原因になる。また、
形状異方欠陥物に起因する反射光が検出ヘッド３へ確実
に戻るためには、磁気記録媒体の長手方向に１ｍｍ幅以
上の鏡面固定円筒８との接触部分が必要となる。以上、
前記２項目を考慮した結果、本装置における磁気記録媒
体１の巻き角は、鏡面固定円筒８の直径が４０ｍｍのた
め５゜と設定した。これによって安定した形状異方欠陥
物の検出信号を得ることができ、磁気記録媒体１裏面の
摩擦損傷も皆無に近い状態を達成できた。
【００１９】
【発明の効果】以上の説明からも明かなように、本発明
の検査装置においては、非磁性支持体上に真空中で成膜
された磁性薄膜と保護膜、潤滑膜、裏面摺動膜を有する
磁気記録媒体と、反射光学式の非接触表面検査部、上記
磁気記録媒体を介して上記非接触表面検査装置の検出ヘ
ッドの反対側に配設された上記鏡面固定円筒において、
磁気記録媒体と接触角１０゜以下で接触摺動する摺動面
の最大高さ粗さが０．５Ｓ以下である鏡面固定円筒を有
する高速走行部、コンピュ−タによる磁気記録媒体上の
欠陥物位置を表示する信号処理部を備えているため、磁
気記録媒体上の形状異方欠陥物位置を高感度に高速で検
出することができる。このような磁気記録媒体上の形状
異方欠陥物を高感度に高速で検出することは、磁気記録
媒体の製造や開発、設計を行う上で非常に重要であり、
工業的価値は非常に高い。
の検査装置においては、非磁性支持体上に真空中で成膜
された磁性薄膜と保護膜、潤滑膜、裏面摺動膜を有する
磁気記録媒体と、反射光学式の非接触表面検査部、上記
磁気記録媒体を介して上記非接触表面検査装置の検出ヘ
ッドの反対側に配設された上記鏡面固定円筒において、
磁気記録媒体と接触角１０゜以下で接触摺動する摺動面
の最大高さ粗さが０．５Ｓ以下である鏡面固定円筒を有
する高速走行部、コンピュ−タによる磁気記録媒体上の
欠陥物位置を表示する信号処理部を備えているため、磁
気記録媒体上の形状異方欠陥物位置を高感度に高速で検
出することができる。このような磁気記録媒体上の形状
異方欠陥物を高感度に高速で検出することは、磁気記録
媒体の製造や開発、設計を行う上で非常に重要であり、
工業的価値は非常に高い。
【図１】本発明を適用した検査装置の一実施例の構成を
示す要部概略斜視図である。
示す要部概略斜視図である。
【図２】円筒面にテ−プを巻き付けた際のテ−プ張力差
と摩擦係数の関係を示す要部概略斜視図である。
と摩擦係数の関係を示す要部概略斜視図である。
１ 磁気記録媒体 ２ 高速走行部 ３ 検出ヘッド ４ 反射光学式の非接触表面検査部 ５ 信号処理部 ６ 巻き出しリ−ル ７ 巻き取りリ−ル ８ 摺動用ドラム ９ キャプスタン １１ 入口側張力 １２ 出口側張力
Claims (1)
- 【請求項１】 非磁性支持体上に少なくとも真空中での
薄膜形成法により磁性薄膜を形成してなる磁気記録媒体
の表面性状を検査するための、非接触反射光学部と該光
学部の検出ヘッドの反対側に磁気記録媒体と接触摺動す
る鏡面固定円筒を有する磁気記録媒体の表面検査装置に
おいて、 上記鏡面固定円筒の上記磁気記録媒体との摺動面の最大
高さ粗さが０．５Ｓ以下であり、且つ上記鏡面固定円筒
上で磁気記録媒体が接触角１０゜以下で接触摺動するこ
とを特徴とする磁性薄膜型磁気記録媒体の表面検査装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28408692A JPH06129841A (ja) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | 磁性薄膜型磁気記録媒体の表面検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28408692A JPH06129841A (ja) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | 磁性薄膜型磁気記録媒体の表面検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06129841A true JPH06129841A (ja) | 1994-05-13 |
Family
ID=17674069
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28408692A Pending JPH06129841A (ja) | 1992-10-22 | 1992-10-22 | 磁性薄膜型磁気記録媒体の表面検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06129841A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100749072B1 (ko) * | 1999-07-14 | 2007-08-13 | 오사카시 | 안경 프레임 표면 처리법 |
| CN109830446A (zh) * | 2019-01-21 | 2019-05-31 | 武汉衍熙微器件有限公司 | 晶圆表面薄膜粗糙度在线检测方法及其光刻轨道设备 |
-
1992
- 1992-10-22 JP JP28408692A patent/JPH06129841A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100749072B1 (ko) * | 1999-07-14 | 2007-08-13 | 오사카시 | 안경 프레임 표면 처리법 |
| CN109830446A (zh) * | 2019-01-21 | 2019-05-31 | 武汉衍熙微器件有限公司 | 晶圆表面薄膜粗糙度在线检测方法及其光刻轨道设备 |
| CN109830446B (zh) * | 2019-01-21 | 2021-08-10 | 武汉衍熙微器件有限公司 | 晶圆表面薄膜粗糙度在线检测方法及其光刻轨道设备 |
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