JPH06126725A - 凹部付きセラミックス基板製造用金型及び該基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 凹部付きセラミックス基板製造用金型及び該
基板の製造法を提供すること。 【構成】 凹部に対応する凸部が独立に摺動し得る可動
凸部21、22からなり、該凸部の各高さがプレスしようと
するグリ−ンシ−ト12、13の各厚さと同一とした金型。
この金型の可動凸部21、22に、凹部を形成するように予
め穴を穿孔した複数枚のグリ−ンシ−ト13、12を配置す
ると共に該可動凸部21、22の裏側にプレス中に同一圧縮
挙動を示すグリ−ンシ−ト13a、12aを挿入してプレス
し、凹部付きセラミックス基板を製造する。 【効果】 プレス中のグリ−ンシ−ト12、13の厚み変化
と同調して凸部の高さが変化して行く可動凸部21、22か
らなる金型を用いるものであるから、セラミックス基板
の凹部を所望寸法に精度良く形成することができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、１段又は複数段の凹部
付きセラミックス基板製造用金型及び該基板の製造方法
に関し、特にセラミックス基板の凹部を所望寸法に精度
良く形成することができる凹部付きセラミックス基板
（セラミックス多層基板）製造用金型及び該基板の製造
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】ＩＣチップなどを埋伏するための１段又
は複数段の凹部（キャビティ）を有するセラミックス多
層基板は、従来より作製されている。このような凹部付
きセラミックス多層基板は、１段又は複数段の凹部を形
成するように予め穴部を穿孔した複数枚のセラミックス
グリ−ンシ−トを積層し、これを１軸プレスして製造さ
れている。

【０００３】ところで、セラミックスグリ−ンシ−ト
は、その厚みがプレス前とプレス後で変化する。そのた
め、セラミックス多層基板に凹部を形成する場合、通
常、プレス後に予測される凹部形状寸法（特に予測高
さ）に相当する凸部を有する金型を用いて行われてお
り、この種金型としては、凸部が型の基底部と一体にな
ったいわゆる固定型が従来より使用されている。

【０００４】従来の上記金型を用いて凹部付きセラミッ
クス基板を製造する方法を図４及び図５を参照してさら
に説明する。図４は、従来の凹部付きセラミックス基板
製造用金型の１例である２段凸部を有する金型であっ
て、プレス前の模式図であり、図５は、同金型を用いた
プレス後の模式図である。

【０００５】従来の凹部付きセラミックス基板製造用金
型としては、図４及び図５に示すように、凸部と基底部
とが一体になった凸部付き固定型60が使用されている。
この固定型60における凸部は、形成しようとするセラミ
ックス基板の凹部に対応するように、即ち、プレス後に
予測される凹部形状寸法（特に予測高さ）に相当する凸
部からなるように作製されている。

【０００６】この固定型60を使用して凹部付きセラミッ
クス基板を作製する方法（従来法）を説明すると、ま
ず、所定寸法の複数枚の第１セラミックスグリ−ンシ−
ト51と複数段の凹部（図４、５では２段の凹部）を形成
するように予め穴部を穿孔した複数枚の第２セラミック
スグリ−ンシ−ト52及び同第３セラミックスグリ−ンシ
−ト53を準備する。次に、この第１、第２、第３セラミ
ックスグリ−ンシ−ト51、52、53を前記した凸部付き固
定型60上に配置し（図４参照）、１軸プレス（図４の固
定型60の上下方向からの１軸プレス）し、凹部付きセラ
ミックス基板を製造している（図５参照）。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来法を説明する上記
図４及び図５では、理想的なプレス前及びプレス後の模
式図として図示したものであるが、実際には、従来の固
定型を設計値のまま用いると、成型後の凹部の底面が凹
んだり、でっぱったりして予測通りの形状にならない場
合が多いという欠点を有している。そのため、従来法で
は、実情に合わせて固定型の凸部の高さを修正する必要
があった。

【０００８】本発明者等は、上記欠点を解消する金型、
即ち予測（設計値）通りの凹部を簡単に形成できるよう
な金型について鋭意研究を重ねた結果、本発明を完成し
たものであって、本発明の目的は、プレス中のセラミッ
クスグリ−ンシ−トの厚み変化と同調して凸部の高さが
変化して行くような金型を提供するにあり、また、該金
型を用い、セラミックス基板の凹部を所望寸法に精度良
く形成することができる凹部付きセラミックス基板を製
造する方法を提供するにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段】そして、本発明の金型
は、形成しようとする凹部付きセラミックス基板に対応
する金型の凸部を各凸部ごとに独立に摺動する可動凸部
とし、かつ、各凸部の高さをプレスしようとする各段の
セラミックスグリ−ンシ−トの各厚さと同一に構成する
ことを特徴とする。

【００１０】また、本発明の凹部付きセラミックス基板
の製造方法は、上記金型を用い、該金型の各可動凸部の
裏側に (1) プレスしようとする各段のセラミックスグリ−ンシ
−トからなり、かつ、同一厚さの該シ−ト（例えばプレ
スしようとする各段のセラミックスグリ−ンシ−トの積
層枚数と同一枚数のシ−ト）を配置し、又は、(2) プレ
スしようとする各段の積層セラミックスグリ−ンシ−ト
と同一厚みであり、プレス中に同一圧縮挙動を示すシ−
トを配置し、プレスすることを特徴とする。

【００１１】即ち、本発明の金型は、「１段又は複数段
の凹部付きセラミックス基板製造用金型において、形成
しようとするセラミックス基板の上記凹部に対応する金
型の凸部は各凸部ごとに独立に摺動し得る可動凸部から
なり、かつ、該可動凸部の各高さはプレスしようとする
各段のセラミックスグリ−ンシ−トの各厚さと同一に構
成してなることを特徴とする凹部付きセラミックス基板
製造用金型。」を要旨とする。

【００１２】また、本発明の凹部付きセラミックス基板
の製造方法は、「積層時に１段又は複数段の凹部を形成
するように予め穴部を設けた複数枚のセラミックスグリ
−ンシ−トを、形成しようとするセラミックス基板の凹
部に対応する凸部を有する金型を用いて１軸プレスする
工程において、上記凹部に対応する金型の凸部は各凸部
ごとに独立にシ−トと接する面に対して垂直方向に移動
することが可能である可動凸部であって、この可動凸部
の各高さはプレスしようとする各段のセラミックスグリ
−ンシ−トの各厚さと同一に構成してなる金型を用い、
該金型の各可動凸部の裏側に (1) プレスしようとする各段のセラミックスグリ−ンシ
−トからなり、かつ、同一厚さの該シ−トを配置してプ
レスすること、又は、(2) プレスしようとする各段の積
層セラミックスグリ−ンシ−トと同一厚みであり、かつ
プレス中に同一圧縮挙動を示すシ−トを配置してプレス
すること、を特徴とする凹部付きセラミックス基板の製
造方法。」を要旨とするものである。

【００１３】以下、本発明を図１及び図２に基づいて具
体的に説明する。図１は、本発明の一実施例である２段
の可動凸部を有する金型であって、プレス前の模式図で
あり、図２は、同金型を用いたプレス後の模式図であ
る。図１、２に示す金型は、第１可動凸部21、第２可動
凸部22と基底部25よりなり、第１可動凸部21及び第２可
動凸部22の形状は、形成しようとするセラミックス基板
の凹部の形状を転写した凸部、即ち該凹部に対応する凸
部であり、また、凸部の各段の高さは、プレスしようと
する各段のセラミックスグリ−ンシ−トの各厚さと同一
とする。

【００１４】この金型を用いて２段の凹部付きセラミッ
クス基板を製造する方法について説明すると、まず、所
定寸法の複数枚の第１セラミックスグリ−ンシ−ト11と
２段の凹部を形成するように予め穴部を設けた複数枚の
第２セラミックスグリ−ンシ−ト12及び同第３セラミッ
クスグリ−ンシ−ト13を準備する。次に、図１に示すよ
うに、上記第１、第２、第３セラミックスグリ−ンシ−
ト11、12、13を前記金型上に配置し、更に、第１可動凸
部21の裏側に第３セラミックスグリ−ンシ−ト13と同一
シ−トであって、同一厚さのシ−ト（第４セラミックス
グリ−ンシ−ト13a）を配置し、また、第２可動凸部22
の裏側に第２セラミックスグリ−ンシ−ト12と同一シ−
トであって、同一厚さのシ−ト（第５セラミックスグリ
−ンシ−ト12a）を配置し、１軸プレス（図１の金型の
上下方向からの１軸プレス）し、凹部付きセラミックス
基板を製造する（図２参照）。

【００１５】第１可動凸部21及び第２可動凸部22の裏側
に配置する第４セラミックスグリ−ンシ−ト13a及び第
５セラミックスグリ−ンシ−ト12aは、上記したよう
に、プレスしようとするグリ−ンシ−ト（第３、第２セ
ラミックスグリ−ンシ−ト13、12）と同一のシ−トから
なり、同一積層枚数を配置する。これにより形成される
凸部は、プレスする前のシ−トで形成される凹部の形状
を転写したものと同一となる。

【００１６】これを図３に基づいてさらに詳細に説明す
る。図３は、本発明の他の実施例である３段の可動凸部
を有する金型であって、プレス前の模式図である。例え
ばプレスしようとするセラミックスグリ−ンシ−トの凹
部の形状は、 １段目：20×20ｍｍの角穴を穿孔したシ−ト２枚（グリ
−ンシ−ト34） ２段目：10×10ｍｍの角穴を穿孔したシ−ト３枚（グリ
−ンシ−ト33） ３段目：5×5ｍｍの角穴を穿孔したシ−ト４枚（グリ−
ンシ−ト32） で形成され、各角穴の中心（重心）は一致しているとす
る。この場合の金型は、図３に示すように、20×20ｍｍ
の穴があいた基底部45に10×10ｍｍの穴があいた第１可
動凸部41が入り、その10×10ｍｍの穴に5×5ｍｍの穴が
あいた第２可動凸部42が入り、更にその5×5ｍｍの穴に
5×5ｍｍの断面を有する第３可動凸部43が入った構造と
なる。

【００１７】第１、第２、第３可動凸部41、42、43の裏
側にグリ−ンシ−トを入れる前は、各可動凸部41〜43の
高さは基底部45と等しい。この各可動凸部41〜43の裏側
にまず20×20ｍｍのシ−ト２枚（グリ−ンシ−ト34a）
を挿入すると、各可動凸部41〜43の高さは、シ−ト２枚
分だけ（グリ−ンシ−ト34aの厚み分だけ）基底部45よ
り高くなる。次に、第２可動凸部42の裏側に10×10ｍｍ
のシ−ト３枚（グリ−ンシ−ト33a）を挿入すると、第
２可動凸部42及び第３可動凸部43は、第１可動凸部41よ
り３枚分（グリ−ンシ−ト33aの厚み分）高くなる。更
に、第３可動凸部43の裏側に5×5ｍｍのシ−ト４枚（グ
リ−ンシ−ト32a）を挿入することにより、第３可動凸
部43は、第２可動凸部42よりシ−ト４枚分（グリ−ンシ
−ト32aの厚み分）高くなり、このようにしてプレス前
の凹部形状と同一の凸部が形成されることになる。

【００１８】本発明において、可動凸部の裏側に配置す
るシ−トは、上記したとおり、その形状が積層プレスし
ようとするシ−トに設けた穴と同一であるところから、
穴を穿孔したときのカス（穿孔により生じたシ−ト）を
用いるのが好ましい。なお、クリアランスが設けてある
場合、それに合せる必要がある。また、本発明におい
て、裏側に配置するシ−トとして新たに作製することも
できる。この場合、シ−トの製造ロットが異なっていて
もよいが、同一材質のシ−トであるのが好ましい。なぜ
なら、プレス中の圧縮挙動、プレス時の厚みの変化及び
最終到達厚みが積層プレスしようとするシ−トと同じで
あることが本発明の前提条件であるからである。勿論、
それらが同一であることが保証されれば、全く別の組成
のシ−トを使用することもできる。

【００１９】本発明では、以上のように形成した可動凸
部を有する金型を用いて１軸プレスすることにより、底
面の変形がない凹部を有するセラミックス多層基板の積
層体を得ることができる。以上本発明の具体例として、
各角穴の中心（重心）が一致している場合を挙げて説明
したが、本発明は、これに限定されるものではなく、重
心位置が異なっている場合も本発明に包含されるもので
ある。

【００２０】本発明におけるセラミックスグリ−ンシ−
トとしては、アルミナセラミックス、ガラスセラミック
ス、アルミナ−ガラス複合セラミックスなど全てのセラ
ミックスシ−トに適用でき、セラミックスの種類や組
成、シ−トを作製する手段やシ−トの厚み等に何ら限定
されるものではない。

【００２１】また、本発明における金型は、その材質と
しては、プレスの条件下で可動凸部の移動を妨げるよう
な変形を起こさないものであれば、どのような材質でも
使用することができる。セラミックスグリ−ンシ−トの
積層プレスは、50〜100℃で200〜400ｋｇ／ｃｍ²程度の
条件で行われるのが一般的であるため、鉄系の金属（例
えばS-45C、ステンレス鋼など）をも充分使用すること
ができる。更に、温度をかけず、圧力も低い場合は、プ
ラスチックスやフッソ系の樹脂、例えばテフロン（登録
商標）なども用いることができる。

【００２２】金属製金型の場合、旋盤・フライス加工、
放電ワイヤカット加工などで作製することができる。可
動凸部（裏面にシ−トを配置することにより凸部となる
部分）のクリアランス（許容隙間）は、20〜30μｍ程度
で充分である。また、裏面にシ−トを配置した時にその
分だけ凸にする必要があるため、シ−トを配置する前の
可動凸部の高さは、基底部と同一の高さに作製する。可
動凸部を２以上有する金型の場合も同様であり、各可動
凸部の高さは、いずれも基底部と同じ高さに作製する
が、この場合可動凸部の中に更に可動凸部を形成するこ
とになるので、その位置精度には充分配慮する必要があ
る。

【００２３】

【作用】セラミックスグリ−ンシ−トの厚みは、プレス
圧力をかけることにより徐々に変化して行き、凹部の深
さが徐々に浅くなって行く。プレス後の凹部深さを予測
して作製した従来の凸部付き固定型を用いた場合、シ−
トがほぼ最終的な厚みになるまで凸部の頂点面は凹部底
面に届かない。即ち、シ−トの側から見ると凹部以外の
部分に圧力がかかり、凹部（特に底面）には圧力がかか
っていない状況が生じる。

【００２４】このような場合、セラミックスグリ−ンシ
−トは、圧力のかかっている部分からかかっていない部
分へ塑性変形により移動し、凹部の底面に向けて集中す
ることになる。その結果、凹部底面に「しわ」が発生す
る。この状態になってから初めて型の凸部が当たるの
で、プレス後、凹部底面に凹みや出っ張りなどの変形が
生じるものと考えられる。事実、プレス後の凹部寸法を
基準とした凸部付き固定型を用いて成形すると、必ず凹
部裏面に凹みが発生する。そこで、この寸法を基準とし
て漸次凸部を高くして行くと、突然凹みから出っ張りへ
と変形のモ−ドが変化するが、それにもかかわらず変形
の絶対量は、ゼロとはならない。

【００２５】これに対して、本発明によれば、型の凸部
は初めから凹部に接しており、プレス中にも周辺部と同
じ圧力で凹部を加圧する。そして、圧力により積層シ−
トの厚みが薄くなって行くが、可動凸部の裏側に配置し
たシ−トの厚みも同様に薄くなって行くので、可動凸部
により形成された凸部の高さは、凹部深さと常に一致
し、プレス終了まで周囲と同じ圧力で凹部をプレスす
る。このため、本発明によれば、凸部付き固定型を用い
た場合の前記した現象が起こらないので、凹みや出っ張
りが生じないものと考えられる。

【００２６】

【実施例】次に、本発明の実施例を比較例と共に挙げ、
本発明を詳細に説明する。この実施例では、３段の凹部
付きセラミックス基板を製造する場合の例であり、以下
前記した図３を参照して説明する。

【００２７】（セラミックスグリ−ンシ−トの作製）ほ
うけい酸鉛系のガラス50部とアルミナ粉末50部に対し、
アクリル系のバインダを加えて作ったスラリ−をドクタ
−プレ−ドにて塗工し、厚さ185μｍのセラミックスグ
リ−ンシ−トを作製した。このシ−トを100ｍｍ角に裁
断し、中央部に20ｍｍ角、15ｍｍ角、10ｍｍ角の角穴を
パンチにて打ち抜いたシ−トをそれぞれ必要枚数作っ
た。パンチャ−を用いているので、これらの角穴の位置
精度は±5μｍ以内であった。

【００２８】（金型の作製）厚さ15ｍｍの鉄板（材質：
S-45C）を100ｍｍ角に切断し、ワイヤ−カット加工によ
り中央部に20ｍｍ角の穴を繰り抜いて金型の基底部45を
作製した。更に、中心部に15ｍｍ角の穴をくり抜いた20
ｍｍ角（厚さ15ｍｍ）の第１可動凸部41、中心部に10ｍ
ｍ角の穴をくり抜いた15ｍｍ角（厚さ15ｍｍ）の第２可
動凸部42及び10ｍｍ角（厚さ15ｍｍ）の可動凸部43を作
った。なお、それぞれの角穴部の位置精度及び寸法精度
は、±10μｍ以内とした。また、各可動凸部41〜43の外
形寸法は、厚さを除いて片側30μｍのクリアランスをと
って小さめに作製した。これらを定盤上で組み合せ、厚
みを揃えるため、0.1ｍｍ程度研削して金型とした。

【００２９】（金型へのセラミックスグリ−ンシ−トの
配置）プレス機上に金型の基底部45を載置し、この基底
部45の20ｍｍの角穴の底に20ｍｍ角のシ−ト（前記セラ
ミックスグリ−ンシ−トの作製時に打ち抜いたもの）２
枚（グリ−ンシ−ト34a）を挿入した。次に、第１可動
凸部41を配置し、この第１可動凸部41の15ｍｍの角穴の
底に15ｍｍ角のシ−ト３枚（グリ−ンシ−ト33a）を挿
入した。更に、第２可動凸部42を配置し、この第２可動
凸部42の10ｍｍの角穴の底に10ｍｍ角のシ−トを４枚
（グリ−ンシ−ト32a）を挿入した後、第３可動凸部43
を挿入して凹部形成用の可動凸部付き金型とした。な
お、第３可動凸部43までの凸部の高さを測定したとこ
ろ、1.67ｍｍであり、ちょうど185μｍのシ−ト９枚分
の高さであった。

【００３０】次に、20ｍｍ角穴を開けたシ−ト２枚（グ
リ−ンシ−ト34）を20ｍｍ角の第１可動凸部41の凸部に
合わせて金型の基底部45上に置き、続いて、15ｍｍ角穴
を開けたシ−ト３枚（グリ−ンシ−ト33）を15ｍｍ角の
第２可動凸部42の凸部に合わせて置き、更に、10ｍｍ角
穴を開けたシ−ト４枚（グリ−ンシ−ト32）を10ｍｍ角
の第３可動凸部43の凸部に合わせて置き、最後に、穴の
開いていない100ｍｍ角のシ−ト２枚（グリ−ンシ−ト3
1）を隅部を合わせて置いた。

【００３１】（プレス成形、焼成）この状態で20tonの
荷重を負荷して200ｋｇ／ｃｍ²のプレス圧力をかけ、5
分間保持した後除荷した。なお、この時のプレス後の凹
部最大深さは、1.33ｍｍであり、型の凸部最大高さも1.
33ｍｍであった。このプレス後の積層体を大気中、450
℃で5時間脱バインダし、さらに850℃で30分間焼成して
３段の凹部付きセラミックス基板を得た。この基板につ
いて、凹部裏面の変形量を接触式の表面粗さ計を用いて
測定したところ、4μｍ凹んでいるにすぎなかった。

【００３２】（比較例１）上記実施例で得られたプレス
後のシ−ト１枚分の厚みは、1330μｍ／9枚＝148μｍで
あるから、 １段目（20ｍｍ角）の高さを148μｍ×2枚＝296μｍ、 ２段目（15ｍｍ角）の高さを148μｍ×3枚＝444μｍ、 ３段目（10ｍｍ角）の高さを148μｍ×4枚＝592μｍ、 と設計した凸部付き固定型を実施例と同一材質（S-45
C）で一体型のものとして作製した。なお、通常の加工
精度は±10μｍであるが、この比較例１では±1μｍ以
内の加工精度で作製した。

【００３３】この比較例１における凸部付き固定型は、
プレス後の高さを基準として作製したので、型凸部の総
高さが1.33ｍｍにすぎず、このため10ｍｍ角穴開きシ−
トの最後の１枚は、位置合わせができなかった。そこ
で、型の４隅にφ3.0ｍｍのガイドピンを設け、シ−ト
にも同じ位置にφ3.0ｍｍのガイド穴を設け、これを利
用して実施例と同様に積層・プレスした。焼成後の凹部
裏面の変形量は、64μｍの凹みであった。

【００３４】（比較例２）比較例２では、各段の高さ
を、 １段目（20ｍｍ角）の高さ：(148＋5)μｍ×2枚＝306μ
ｍ、 ２段目（15ｍｍ角）の高さ：(148＋5)μｍ×3枚＝459μ
ｍ、 ３段目（10ｍｍ角）の高さ：(148＋5)μｍ×4枚＝612μ
ｍ、 とそれぞれシ−ト１枚当たり5μｍずつ増加して設計し
た凸部付き固定型を作製し、比較例１と同様に積層・プ
レスして焼成したところ、凹部裏面の変形は、79μｍの
出っ張りとなった。

【００３５】（比較例３）比較例３では、更に、79÷
｛(164＋79)÷5｝＝1.6であるから、１段目はシ−ト２
枚分の3μｍ、２段目は３枚分の5μｍ、３段目は４枚分
の6μｍを比較例２の固定型の凸部を削り取り、 １段目：303μｍ、 ２段目：456μｍ、 ３段目：607μｍ、 とした。この固定型を用いて製造した焼成体の凹部裏面
の変形は、24μｍの出っ張りであった。

【００３６】

【発明の効果】本発明は、以上詳記したとおり、プレス
中のセラミックスグリ−ンシ−トの厚み変化と同調して
凸部の高さが変化して行く金型を特徴とするものであ
り、またこの金型を用いることにより、セラミックス基
板の凹部を所望寸法に精度良く形成することができる効
果が生ずる。そして、従来の凹部付きセラミックス基板
の製造法では、凹部を変形させることなく形成すること
が非常に困難であったが、本発明によれば、簡単に、し
かも迅速に形成することができる。以上の結果、本発明
により得られる凹部付きセラミックス基板は、その品質
が向上するだけでなく、納期を短縮することだでき、コ
ストも低下し得るなど顕著な効果が生ずる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例である２段の可動凸部付き金
型でプレスする場合であって、プレス前の模式図。

【図２】図１と同様２段の可動凸部付き金型を用いたプ
レス後の模式図。

【図３】本発明の他の実施例である３段の可動凸部付き
金型でプレスする場合であって、プレス前の模式図。

【図４】従来の凸部と基底部が一体の固定型を用いてプ
レスする場合であって、プレス前の模式図。

【図５】図４と同様の固定型を用いたプレス後の模式
図。

【符号の説明】

１１ 第１セラミックスグリ−ンシ−ト １２ 第２セラミックスグリ−ンシ−ト １２ａ 第５セラミックスグリ−ンシ−ト １３ 第３セラミックスグリ−ンシ−ト １３ａ 第４セラミックスグリ−ンシ−ト ２１ 第１可動凸部 ２２ 第２可動凸部 ２５ 基底部 ３１〜３４ グリ−ンシ−ト ３２ａ〜３４ａ グリ−ンシ−ト ４１ 第１可動凸部 ４２ 第２可動凸部 ４３ 第３可動凸部 ４５ 基底部 ５１ 第１セラミックスグリ−ンシ−ト ５２ 第２セラミックスグリ−ンシ−ト ５３ 第３セラミックスグリ−ンシ−ト ６０ 凸部付き固定型

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 １段又は複数段の凹部付きセラミックス
   基板製造用金型において、形成しようとするセラミック
   ス基板の上記凹部に対応する金型の凸部は各凸部ごとに
   独立に摺動し得る可動凸部からなり、かつ、該可動凸部
   の各高さはプレスしようとする各段のセラミックスグリ
   −ンシ−トの各厚さと同一に構成してなることを特徴と
   する凹部付きセラミックス基板製造用金型。
2. 【請求項２】 積層時に１段又は複数段の凹部を形成す
   るように予め穴部を設けた複数枚のセラミックスグリ−
   ンシ−トを、形成しようとするセラミックス基板の凹部
   に対応する凸部を有する金型を用いて１軸プレスする工
   程において、上記凹部に対応する金型の凸部は各凸部ご
   とに独立にシ−トと接する面に対して垂直方向に移動す
   ることが可能である可動凸部であって、この可動凸部の
   各高さはプレスしようとする各段のセラミックスグリ−
   ンシ−トの各厚さと同一に構成してなる金型を用い、該
   金型の各可動凸部の裏側にプレスしようとする各段のセ
   ラミックスグリ−ンシ−トからなり、かつ、同一厚さの
   該シ−トを配置してプレスすることを特徴とする凹部付
   きセラミックス基板の製造方法。
3. 【請求項３】 積層時に１段又は複数段の凹部を形成す
   るように予め穴部を設けた複数枚のセラミックスグリ−
   ンシ−トを、形成しようとするセラミックス基板の凹部
   に対応する凸部を有する金型を用いて１軸プレスする工
   程において、上記凹部に対応する金型の凸部は各凸部ご
   とに独立にシ−トと接する面に対して垂直方向に移動す
   ることが可能である可動凸部であって、この可動凸部の
   各高さはプレスしようとする各段のセラミックスグリ−
   ンシ−トの各厚さと同一に構成してなる金型を用い、該
   金型の各可動凸部の裏側にプレスしようとする各段の積
   層セラミックスグリ−ンシ−トと同一厚みであり、か
   つ、プレス中に同一圧縮挙動を示すシ−トを配置してプ
   レスすることを特徴とする凹部付きセラミックス基板の
   製造方法。