JPH06121520A - サーフェースパルスモータ - Google Patents
サーフェースパルスモータInfo
- Publication number
- JPH06121520A JPH06121520A JP4289337A JP28933792A JPH06121520A JP H06121520 A JPH06121520 A JP H06121520A JP 4289337 A JP4289337 A JP 4289337A JP 28933792 A JP28933792 A JP 28933792A JP H06121520 A JPH06121520 A JP H06121520A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mover
- phase
- pitch
- stator
- electromagnet
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 固定子の基準格子と可動子の基準座標の方向
を一致させると共に、固定子と可動子の突起歯のピッチ
を一致させて、制御を簡単に、かつ固定子および可動子
の加工を容易にする。 【構成】 可動子１の表面にＸ，Ｙ軸の原点からＹ軸方
向にｋピッチｐy （ｋは０を含む整数）ずれたＸk軸上
に、前記原点を通るＸk-1 軸上の突起歯から２ｐx ピッ
チ（ｐx はＸ軸方向の基準ピッチ）だけＸ軸方向にシフ
トした位置を基準に相数ピッチ毎に設けた突起歯と、固
定子２の表面に５個の凸極の可動子１の表面に対向する
面に、可動子１の突起歯と同じピッチで設け、かつｎ相
目電磁石（ただし、ｎ≦５となる整数）が１相目電磁石
に対して（５ｊ＋２）（ｎ−１）基準ピッチ（ただし、
ｊは０を含む整数）だけ、Ｘ軸方向にシフトした位置に
設けた突起歯とを備えたものである。
を一致させると共に、固定子と可動子の突起歯のピッチ
を一致させて、制御を簡単に、かつ固定子および可動子
の加工を容易にする。 【構成】 可動子１の表面にＸ，Ｙ軸の原点からＹ軸方
向にｋピッチｐy （ｋは０を含む整数）ずれたＸk軸上
に、前記原点を通るＸk-1 軸上の突起歯から２ｐx ピッ
チ（ｐx はＸ軸方向の基準ピッチ）だけＸ軸方向にシフ
トした位置を基準に相数ピッチ毎に設けた突起歯と、固
定子２の表面に５個の凸極の可動子１の表面に対向する
面に、可動子１の突起歯と同じピッチで設け、かつｎ相
目電磁石（ただし、ｎ≦５となる整数）が１相目電磁石
に対して（５ｊ＋２）（ｎ−１）基準ピッチ（ただし、
ｊは０を含む整数）だけ、Ｘ軸方向にシフトした位置に
設けた突起歯とを備えたものである。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、Ｘ−Ｙテーブル駆動等
に用いるサーフェースパルスモータに関する。
に用いるサーフェースパルスモータに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、平板状の磁性体からなる固定子
と、固定子の表面に空隙を介して対向する５相の集中巻
電磁石よりなる可動子とを設け、固定子の表面には正方
格子である基準格子を切り、この基準格子の交差点に突
起歯を設け、可動子に設けた５相の集中巻電磁石のピッ
チを基準格子のピッチと同じにし、可動子の位置を決め
る基準座標である直交座標を固定子の基準格子の方向と
ｔａｎ-1（１／２）の角度だけ回転させ、各相の集中巻
電磁石の表面には、基準格子の交差点を通る直交座標上
に基準格子のピッチの１／５1/2 ピッチで突起歯を設け
たものが開示されている（例えば、特開昭６２−８９４
６７号）。
と、固定子の表面に空隙を介して対向する５相の集中巻
電磁石よりなる可動子とを設け、固定子の表面には正方
格子である基準格子を切り、この基準格子の交差点に突
起歯を設け、可動子に設けた５相の集中巻電磁石のピッ
チを基準格子のピッチと同じにし、可動子の位置を決め
る基準座標である直交座標を固定子の基準格子の方向と
ｔａｎ-1（１／２）の角度だけ回転させ、各相の集中巻
電磁石の表面には、基準格子の交差点を通る直交座標上
に基準格子のピッチの１／５1/2 ピッチで突起歯を設け
たものが開示されている（例えば、特開昭６２−８９４
６７号）。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記構成で
は、固定子の突起歯と、可動子の突起歯のピッチが異な
るとともに、固定子の基準格子と可動子の基準座標であ
る直交座標の方向が傾いているため、制御上座標変換が
必要であると共に、固定子と可動子の突起歯を加工する
時に、多くの手間がかかるという欠点があった。本発明
は、固定子の基準格子と可動子の基準座標の方向を一致
させると共に、固定子と可動子の突起歯のピッチを一致
させて、制御を簡単に、かつ固定子および可動子の加工
を容易にすることを目的とするものである。
は、固定子の突起歯と、可動子の突起歯のピッチが異な
るとともに、固定子の基準格子と可動子の基準座標であ
る直交座標の方向が傾いているため、制御上座標変換が
必要であると共に、固定子と可動子の突起歯を加工する
時に、多くの手間がかかるという欠点があった。本発明
は、固定子の基準格子と可動子の基準座標の方向を一致
させると共に、固定子と可動子の突起歯のピッチを一致
させて、制御を簡単に、かつ固定子および可動子の加工
を容易にすることを目的とするものである。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、表面に突起歯
を設けた平板状の磁性体からなる可動子と、前記可動子
の表面に空隙を介して対向してＸ，Ｙ軸方向に移動し得
る５相の集中巻電磁石よりなる固定子とを設けたサーフ
ェースパルスモータにおいて、前記可動子の表面にＸ，
Ｙ軸の原点からＹ軸方向にｋピッチｐy （ｋは０を含む
整数）ずれたＸk 軸上に、前記原点を通るＸk-1 軸上の
突起歯から２ｐx ピッチ（ｐx はＸ軸方向の基準ピッ
チ）だけＸ軸方向にシフトした位置を基準に相数ピッチ
毎に設けた突起歯と、前記固定子の表面に５個の凸極の
前記可動子の表面に対向する面に、前記可動子の突起歯
と同じピッチで設け、かつｎ相目電磁石（ただし、ｎ≦
５となる整数）が１相目電磁石に対して（５ｊ＋２）
（ｎ−１）基準ピッチ（ただし、ｊは０を含む整数）だ
け、Ｘ軸方向にシフトした位置に設けた突起歯とを備え
たものである。
を設けた平板状の磁性体からなる可動子と、前記可動子
の表面に空隙を介して対向してＸ，Ｙ軸方向に移動し得
る５相の集中巻電磁石よりなる固定子とを設けたサーフ
ェースパルスモータにおいて、前記可動子の表面にＸ，
Ｙ軸の原点からＹ軸方向にｋピッチｐy （ｋは０を含む
整数）ずれたＸk 軸上に、前記原点を通るＸk-1 軸上の
突起歯から２ｐx ピッチ（ｐx はＸ軸方向の基準ピッ
チ）だけＸ軸方向にシフトした位置を基準に相数ピッチ
毎に設けた突起歯と、前記固定子の表面に５個の凸極の
前記可動子の表面に対向する面に、前記可動子の突起歯
と同じピッチで設け、かつｎ相目電磁石（ただし、ｎ≦
５となる整数）が１相目電磁石に対して（５ｊ＋２）
（ｎ−１）基準ピッチ（ただし、ｊは０を含む整数）だ
け、Ｘ軸方向にシフトした位置に設けた突起歯とを備え
たものである。
【０００５】
【作用】１相目電磁石の突起歯が可動子の突起歯と一致
した状態から２相目電磁石を励磁すると、２相目電磁石
の突起歯に最も近い可動子の突起歯が引き寄せられ、可
動子は上方に１ピッチだけ移動する。３相目電磁石を励
磁すると可動子は左方向へ、４相目電磁石を励磁すると
右方向へ、５相目電磁石を励磁すると下方へそれぞれ１
ピッチ移動し、各相電磁石を順次励磁することにより連
続して可動子が移動する。このようにして、励磁する電
磁石を選択することによって上下左右のどちらの方向に
も可動子を移動することができる。
した状態から２相目電磁石を励磁すると、２相目電磁石
の突起歯に最も近い可動子の突起歯が引き寄せられ、可
動子は上方に１ピッチだけ移動する。３相目電磁石を励
磁すると可動子は左方向へ、４相目電磁石を励磁すると
右方向へ、５相目電磁石を励磁すると下方へそれぞれ１
ピッチ移動し、各相電磁石を順次励磁することにより連
続して可動子が移動する。このようにして、励磁する電
磁石を選択することによって上下左右のどちらの方向に
も可動子を移動することができる。
【０００６】
【実施例】本発明を図に示す実施例について説明する。
図１は本発明の第１の実施例を示す平面図、図２はその
Ａ−Ａ断面に沿う側断面図で、可動子１は平板状の磁性
体で、Ｘ，Ｙ方向に移動できるように支持されている。
可動子１の表面上には直交座標である基準座標Ｘ，Ｙを
設定し、Ｙ軸の原点で直交するＸ0 軸上に基準ピッチｐ
x の５ピッチ毎に突起歯１０１、１０２、１０３、・・
・を設け、Ｙ軸方向にピッチｐy （Ｙ方向の突起歯の幅
に相当するもので、ｐx と同じでもよい）ずれたＸ1 軸
上にはＸ0 軸上の突起歯１０１、１０２、１０３・・・
から２ピッチだけシフトした、突起歯１１１、１１２、
１１３・・・を設けてある。更にＹ軸方向にピッチｐy
ずれたＸ2 軸上にはＸ1 軸上の突起歯１１１、１１２、
１１３・・・から２ピッチだけシフトして、突起歯１２
１、１２２、１２３・・・を設けてある。以下、同様に
任意の数だけ突起歯を設けてある。すなわち、前記原点
からＹ軸方向にピッチｋｐy （ｋは０を含む整数）ずれ
たＸk 軸上に、前記原点を通るＸk-1 軸上の突起歯から
２ｋピッチだけＸ軸方向にシフトした位置を基準に、基
準ピッチｐx の５ピッチ毎に突起歯を設けてある。固定
子２は、Ｃ形をした強磁性体よりなるヨーク部２１から
突出する２個の凸極２２ａ、２２ｂを設け、それぞれの
凸極２２ａ、２２ｂに励磁巻線２３を巻回して１個の電
磁石を形成し、非磁性材料からなる平板状のベース２４
に、５個の電磁石３を１列に並べて固定してある。電磁
石３は５相の集中巻の１相目電磁石３１、２相目電磁石
３２、３相目電磁石３３、４相目電磁石３４、５相目電
磁石３５からなり、可動子１の表面に空隙を介して対向
させてある。各相の電磁石の凸極２２ａ、２２ｂの可動
子１に対向する面には、基準座標Ｘ，Ｙ上に可動子１の
突起歯と同じピッチで、突起歯３１０ａ、３１０ｂ、３
２０ａ、３２０ｂ、３３０ａ、３３０ｂ、３４０ａ、３
４０ｂ、３５０ａ、３５０ｂを設けてある。可動子１に
設けた突起歯と１相目の固定子２に設けた突起歯の位置
関係は、左右の凸極２２ａ、２２ｂに設けた突起歯が互
いに正しく対向するようにしてある。２相目の固定子２
の突起歯と可動子の突起歯とは２基準ピッチずれ、各電
磁石の間隔を基準ピッチｐx ずつＸ軸方向にシフトして
横１列に整列して配置してある。１相目電磁石３１の励
磁巻線２３を励磁すると、磁束φは凸極２２ｂから突起
歯３１０ｂを通り、空隙を介して対向する可動子１の突
起歯を通って再び空隙を介して対向する反対側の凸極２
２ａの突起歯３１０ａおよびヨーク部２１を通り元に戻
る磁気回路を通り、可動子１を固定子２に吸引して可動
子１を移動させるようにしてある。したがって、可動子
と固定子の突起歯の相対的位置関係は、１相目電磁石に
対してｎ相目電磁石の突起歯は、（５ｊ＋２）（ｎ−
１）基準ピッチだけ、Ｘ軸方向にシフトした状態となる
（ただし、ｊは０を含む整数、ｎ≦５である整数）。例
えば、１相目電磁石３１の突起歯３１０が可動子１の突
起歯と一致した状態とすると、２相目電磁石３２の突起
歯３２０は、可動子１の突起歯と一致した状態から２ピ
ッチＸ軸方向にシフトした状態となる。３相目電磁石３
２の突起歯３３０は可動子１の突起歯と一致した状態か
ら４ピッチＸ軸方向にシフトした状態となり、以下も同
じようにシフトされた状態となる。ここで、１相目電磁
石３１の突起歯３１０が可動子１の突起歯と一致した状
態から可動子が移動する時の動作を説明する。２相目電
磁石３２を励磁すると、突起歯３２０に最も近い可動子
の突起歯が引き寄せられ、可動子１は図面の上方に１ピ
ッチだけ移動する。３相目電磁石３３を励磁すると、可
動子１は左方向へ、４相目電磁石３４を励磁すると右方
向へ、５相目電磁石３５を励磁すると下方へそれぞれ１
ピッチ移動する。このようにして、励磁する電磁石を選
択することによって上下左右のどちらの方向にも移動す
ることができる。また、１相目電磁石３１から連続して
２相目、３相目、４相目、５相目、１相目・・・と励磁
を続けると、可動子１は上方に移動を継続し、１相目電
磁石３１から連続して３相目、５相目、２相目、４相
目、１相目・・・と励磁を続けると、左方向に移動す
る。このように、励磁する電磁石を選択することによっ
て上下左右のどちらの方向にも連続して移動することが
できる。
図１は本発明の第１の実施例を示す平面図、図２はその
Ａ−Ａ断面に沿う側断面図で、可動子１は平板状の磁性
体で、Ｘ，Ｙ方向に移動できるように支持されている。
可動子１の表面上には直交座標である基準座標Ｘ，Ｙを
設定し、Ｙ軸の原点で直交するＸ0 軸上に基準ピッチｐ
x の５ピッチ毎に突起歯１０１、１０２、１０３、・・
・を設け、Ｙ軸方向にピッチｐy （Ｙ方向の突起歯の幅
に相当するもので、ｐx と同じでもよい）ずれたＸ1 軸
上にはＸ0 軸上の突起歯１０１、１０２、１０３・・・
から２ピッチだけシフトした、突起歯１１１、１１２、
１１３・・・を設けてある。更にＹ軸方向にピッチｐy
ずれたＸ2 軸上にはＸ1 軸上の突起歯１１１、１１２、
１１３・・・から２ピッチだけシフトして、突起歯１２
１、１２２、１２３・・・を設けてある。以下、同様に
任意の数だけ突起歯を設けてある。すなわち、前記原点
からＹ軸方向にピッチｋｐy （ｋは０を含む整数）ずれ
たＸk 軸上に、前記原点を通るＸk-1 軸上の突起歯から
２ｋピッチだけＸ軸方向にシフトした位置を基準に、基
準ピッチｐx の５ピッチ毎に突起歯を設けてある。固定
子２は、Ｃ形をした強磁性体よりなるヨーク部２１から
突出する２個の凸極２２ａ、２２ｂを設け、それぞれの
凸極２２ａ、２２ｂに励磁巻線２３を巻回して１個の電
磁石を形成し、非磁性材料からなる平板状のベース２４
に、５個の電磁石３を１列に並べて固定してある。電磁
石３は５相の集中巻の１相目電磁石３１、２相目電磁石
３２、３相目電磁石３３、４相目電磁石３４、５相目電
磁石３５からなり、可動子１の表面に空隙を介して対向
させてある。各相の電磁石の凸極２２ａ、２２ｂの可動
子１に対向する面には、基準座標Ｘ，Ｙ上に可動子１の
突起歯と同じピッチで、突起歯３１０ａ、３１０ｂ、３
２０ａ、３２０ｂ、３３０ａ、３３０ｂ、３４０ａ、３
４０ｂ、３５０ａ、３５０ｂを設けてある。可動子１に
設けた突起歯と１相目の固定子２に設けた突起歯の位置
関係は、左右の凸極２２ａ、２２ｂに設けた突起歯が互
いに正しく対向するようにしてある。２相目の固定子２
の突起歯と可動子の突起歯とは２基準ピッチずれ、各電
磁石の間隔を基準ピッチｐx ずつＸ軸方向にシフトして
横１列に整列して配置してある。１相目電磁石３１の励
磁巻線２３を励磁すると、磁束φは凸極２２ｂから突起
歯３１０ｂを通り、空隙を介して対向する可動子１の突
起歯を通って再び空隙を介して対向する反対側の凸極２
２ａの突起歯３１０ａおよびヨーク部２１を通り元に戻
る磁気回路を通り、可動子１を固定子２に吸引して可動
子１を移動させるようにしてある。したがって、可動子
と固定子の突起歯の相対的位置関係は、１相目電磁石に
対してｎ相目電磁石の突起歯は、（５ｊ＋２）（ｎ−
１）基準ピッチだけ、Ｘ軸方向にシフトした状態となる
（ただし、ｊは０を含む整数、ｎ≦５である整数）。例
えば、１相目電磁石３１の突起歯３１０が可動子１の突
起歯と一致した状態とすると、２相目電磁石３２の突起
歯３２０は、可動子１の突起歯と一致した状態から２ピ
ッチＸ軸方向にシフトした状態となる。３相目電磁石３
２の突起歯３３０は可動子１の突起歯と一致した状態か
ら４ピッチＸ軸方向にシフトした状態となり、以下も同
じようにシフトされた状態となる。ここで、１相目電磁
石３１の突起歯３１０が可動子１の突起歯と一致した状
態から可動子が移動する時の動作を説明する。２相目電
磁石３２を励磁すると、突起歯３２０に最も近い可動子
の突起歯が引き寄せられ、可動子１は図面の上方に１ピ
ッチだけ移動する。３相目電磁石３３を励磁すると、可
動子１は左方向へ、４相目電磁石３４を励磁すると右方
向へ、５相目電磁石３５を励磁すると下方へそれぞれ１
ピッチ移動する。このようにして、励磁する電磁石を選
択することによって上下左右のどちらの方向にも移動す
ることができる。また、１相目電磁石３１から連続して
２相目、３相目、４相目、５相目、１相目・・・と励磁
を続けると、可動子１は上方に移動を継続し、１相目電
磁石３１から連続して３相目、５相目、２相目、４相
目、１相目・・・と励磁を続けると、左方向に移動す
る。このように、励磁する電磁石を選択することによっ
て上下左右のどちらの方向にも連続して移動することが
できる。
【０００７】図３は第２の実施例を示す平面図で、固定
子２の突起歯と可動子１の突起歯との相対的位置は第１
の実施例と同じく、２相目電磁石３２の突起歯３２０は
１相目電磁石３１の突起歯３１０より２ピッチＸ軸方向
にシフトした位置に配置し、３相目、４相目、５相目の
各電磁石の突起歯は順次Ｘ軸方向に２ｐx シフトし，Ｙ
軸方向に２ｐy だけシフトした位置に配列し、固定子２
の各相の電磁石を、ほぼ十字状に配列してあるので、コ
ンパクトにまとめることができる。図４は、第３の実施
例を示す平面図で、突起歯の断面をＹ軸方向に長い長方
形に形成し、この場合ｐx ＜ｐy とし、Ｙ軸方向の保持
剛性を高めたもので、とくに地面に対して垂直に立つ壁
などに沿って重力に逆らって移動する場合のように、一
方向に大きな推力を必要とする時に大きな効果を発揮す
る。また、可動子、固定子を円筒状に形成して、回転形
モータとリニアモータを合成した構造にすることもでき
る。また、上記の実施例は、固定子に電磁石を設けた例
を示したが、固定子と可動子を逆にして、可動子に電磁
石を設け、磁性板を固定子にすることもできる。
子２の突起歯と可動子１の突起歯との相対的位置は第１
の実施例と同じく、２相目電磁石３２の突起歯３２０は
１相目電磁石３１の突起歯３１０より２ピッチＸ軸方向
にシフトした位置に配置し、３相目、４相目、５相目の
各電磁石の突起歯は順次Ｘ軸方向に２ｐx シフトし，Ｙ
軸方向に２ｐy だけシフトした位置に配列し、固定子２
の各相の電磁石を、ほぼ十字状に配列してあるので、コ
ンパクトにまとめることができる。図４は、第３の実施
例を示す平面図で、突起歯の断面をＹ軸方向に長い長方
形に形成し、この場合ｐx ＜ｐy とし、Ｙ軸方向の保持
剛性を高めたもので、とくに地面に対して垂直に立つ壁
などに沿って重力に逆らって移動する場合のように、一
方向に大きな推力を必要とする時に大きな効果を発揮す
る。また、可動子、固定子を円筒状に形成して、回転形
モータとリニアモータを合成した構造にすることもでき
る。また、上記の実施例は、固定子に電磁石を設けた例
を示したが、固定子と可動子を逆にして、可動子に電磁
石を設け、磁性板を固定子にすることもできる。
【０００８】
【発明の効果】以上述べたように、本発明によれば、固
定子の基準格子と可動子の基準座標の方向を一致させる
と共に、固定子と可動子の突起歯のピッチを一致させ
て、Ｘ−Ｙ座標上に同じ方向に配置してあるので、制御
上座標変換等の複雑な演算がなくなると共に、固定子お
よび可動子の加工が容易となると共に、突起歯の形状を
選択することにより、多くの用途に適合したサーフェー
スパルスモータを提供できる効果がある。
定子の基準格子と可動子の基準座標の方向を一致させる
と共に、固定子と可動子の突起歯のピッチを一致させ
て、Ｘ−Ｙ座標上に同じ方向に配置してあるので、制御
上座標変換等の複雑な演算がなくなると共に、固定子お
よび可動子の加工が容易となると共に、突起歯の形状を
選択することにより、多くの用途に適合したサーフェー
スパルスモータを提供できる効果がある。
【図１】本発明の第１の実施例を示す平面図である。
【図２】図１に示すＡ−Ａ断面に沿う側断面図である。
【図３】本発明の第２の実施例を示す平面図である。
【図４】本発明の第３の実施例を示す平面図である。
１ 可動子 ２ 固定子 ２１ ヨーク部 ２２ａ，２２ｂ 凸極 ２３ 励磁巻線 ２４ ベース ３ 電磁石 ３１ １相目電磁石 ３２ ２相目電磁石 ３３ ３相目電磁石 ３４ ４相目電磁石 ３５ ５相目電磁石 １０１、１０２、１０３、１１１、１１２、１１３、１
２１、１２２、１２３、３１０ａ、３１０ｂ、３２０
ａ、３２０ｂ、３３０ａ、３３０ｂ、３４０ａ、３４０
ｂ、３５０ａ、３５０ｂ 突起歯
２１、１２２、１２３、３１０ａ、３１０ｂ、３２０
ａ、３２０ｂ、３３０ａ、３３０ｂ、３４０ａ、３４０
ｂ、３５０ａ、３５０ｂ 突起歯
Claims (2)
- 【請求項１】 表面に突起歯を設けた平板状の磁性体か
らなる可動子と、前記可動子の表面に空隙を介して対向
してＸ，Ｙ軸方向に移動し得る５相の集中巻電磁石より
なる固定子とを設けたサーフェースパルスモータにおい
て、前記可動子の表面にＸ，Ｙ軸の原点からＹ軸方向に
ｋピッチｐy （ｋは０を含む整数）ずれたＸk 軸上に、
前記原点を通るＸk-1 軸上の突起歯から２ｐx ピッチ
（ｐx はＸ軸方向の基準ピッチ）だけＸ軸方向にシフト
した位置を基準に相数ピッチ毎に設けた突起歯と、前記
固定子の表面に５個の凸極の前記可動子の表面に対向す
る面に、前記可動子の突起歯と同じピッチで設け、かつ
ｎ相目電磁石（ただし、ｎ≦５となる整数）が１相目電
磁石に対して（５ｊ＋２）（ｎ−１）基準ピッチ（ただ
し、ｊは０を含む整数）だけ、Ｘ軸方向にシフトした位
置に設けた突起歯とを備えたことを特徴とするサーフェ
ースパルスモータ。 - 【請求項２】 前記可動子および前記固定子を円筒状に
形成した請求項１記載のサーフェースパルスモータ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28933792A JP3159336B2 (ja) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | サーフェースパルスモータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28933792A JP3159336B2 (ja) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | サーフェースパルスモータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06121520A true JPH06121520A (ja) | 1994-04-28 |
| JP3159336B2 JP3159336B2 (ja) | 2001-04-23 |
Family
ID=17741896
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28933792A Expired - Fee Related JP3159336B2 (ja) | 1992-10-02 | 1992-10-02 | サーフェースパルスモータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3159336B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2109209A2 (en) | 2008-04-08 | 2009-10-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Planar pulse motor, exposure apparatus, and device manufacturing method |
-
1992
- 1992-10-02 JP JP28933792A patent/JP3159336B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2109209A2 (en) | 2008-04-08 | 2009-10-14 | Canon Kabushiki Kaisha | Planar pulse motor, exposure apparatus, and device manufacturing method |
| US7982344B2 (en) | 2008-04-08 | 2011-07-19 | Canon Kabushiki Kaisha | Planar pulse motor, exposure apparatus, and device manufacturing method |
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| JP3159336B2 (ja) | 2001-04-23 |
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