JPH06117964A - フィルム基板の載置台 - Google Patents
フィルム基板の載置台Info
- Publication number
- JPH06117964A JPH06117964A JP29201792A JP29201792A JPH06117964A JP H06117964 A JPH06117964 A JP H06117964A JP 29201792 A JP29201792 A JP 29201792A JP 29201792 A JP29201792 A JP 29201792A JP H06117964 A JPH06117964 A JP H06117964A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film substrate
- clamp
- opposite sides
- sides
- liquid crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 液晶パネルの素材の樹脂製のフィルム基板に
対する検査装置において、載置されたフィルム基板をク
ランプして牽引し、湾曲を矯正して正確な平面度に維持
できる載置台を提供する。 【構成】 フィルム基板１を載置する段差511 をそれぞ
れ有する対向した２辺51a,51b と、他の対向した２辺51
c,51d とにより方形のフレーム５を構成し、各段差511
の中央部にそれぞれ設けられ、フィルム基板１を押上げ
／降下する作動片を有する昇降機構８Ａ，８Ｂと、２辺
51c,51d のそれぞれに設けられ、フィルム基板１の端部
をクランプするクランプ機構６と、フィルム基板１をク
ランプして外方に牽引するクランプ・牽引機構７とによ
り構成される。
対する検査装置において、載置されたフィルム基板をク
ランプして牽引し、湾曲を矯正して正確な平面度に維持
できる載置台を提供する。 【構成】 フィルム基板１を載置する段差511 をそれぞ
れ有する対向した２辺51a,51b と、他の対向した２辺51
c,51d とにより方形のフレーム５を構成し、各段差511
の中央部にそれぞれ設けられ、フィルム基板１を押上げ
／降下する作動片を有する昇降機構８Ａ，８Ｂと、２辺
51c,51d のそれぞれに設けられ、フィルム基板１の端部
をクランプするクランプ機構６と、フィルム基板１をク
ランプして外方に牽引するクランプ・牽引機構７とによ
り構成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、液晶パネルの素材の
フィルム基板に対する検査装置の載置台に関する。
フィルム基板に対する検査装置の載置台に関する。
【０００２】
【従来の技術】液晶パネルは、軽量で消費電力が少ない
などの長所があるため、各種の機器の表示用に多用され
ている。液晶パネルはガラス基板を素材とし、これに多
数のＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を形成し、さらに電極
や液晶材料などを重ね合わせて製作される。最近におい
ては液晶技術の進歩により大型化され、またカラー化さ
れたカラーパネルが実用されている。液晶パネル用のガ
ラス基板に欠陥があると、多数のＴＦＴが故障するな
ど、品質が劣化するので、素材の段階で検査装置により
欠陥が検査されている。
などの長所があるため、各種の機器の表示用に多用され
ている。液晶パネルはガラス基板を素材とし、これに多
数のＴＦＴ（薄膜トランジスタ）を形成し、さらに電極
や液晶材料などを重ね合わせて製作される。最近におい
ては液晶技術の進歩により大型化され、またカラー化さ
れたカラーパネルが実用されている。液晶パネル用のガ
ラス基板に欠陥があると、多数のＴＦＴが故障するな
ど、品質が劣化するので、素材の段階で検査装置により
欠陥が検査されている。
【０００３】上記のガラス基板は液晶パネルが大型化す
ると、これに対応して厚さが増して重量が重くなり、取
り扱いが不便であるなどの理由により、最近では、ガラ
スに代わって樹脂フィルムの基板（フィルム基板）が開
発されている。図３はフィルム基板１を示し、ポリエス
テルなどよりなる透明なもので、通常の洋紙に比較し
て、いわば腰が強くて弾性がある。また大きさは、最大
で、縦横の寸法ｗが５００ｍｍあり、厚さｄは０．８ｍ
ｍのものがある。
ると、これに対応して厚さが増して重量が重くなり、取
り扱いが不便であるなどの理由により、最近では、ガラ
スに代わって樹脂フィルムの基板（フィルム基板）が開
発されている。図３はフィルム基板１を示し、ポリエス
テルなどよりなる透明なもので、通常の洋紙に比較し
て、いわば腰が強くて弾性がある。また大きさは、最大
で、縦横の寸法ｗが５００ｍｍあり、厚さｄは０．８ｍ
ｍのものがある。
【０００４】上記のフィルム基板１はガラス基板と同様
に素材の段階で検査がなされる。検査はフィルム基板１
を載置台に載置してなされるが、フィルム基板１は４辺
の端部の、狭い幅、例えば１０ｍｍのみを支持すること
が許されている。図４において、方形のフレーム21の各
辺の内側に、１０ｍｍ幅の段差211 を設けて載置台２を
構成し、各段差21の間にフィルム基板１が載置され、図
示しないクランプ機構により４辺の端部がクランプされ
る。これに対して、上側と下側に検査光学系３Ａ，３Ｂ
を設けて検査される。
に素材の段階で検査がなされる。検査はフィルム基板１
を載置台に載置してなされるが、フィルム基板１は４辺
の端部の、狭い幅、例えば１０ｍｍのみを支持すること
が許されている。図４において、方形のフレーム21の各
辺の内側に、１０ｍｍ幅の段差211 を設けて載置台２を
構成し、各段差21の間にフィルム基板１が載置され、図
示しないクランプ機構により４辺の端部がクランプされ
る。これに対して、上側と下側に検査光学系３Ａ，３Ｂ
を設けて検査される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記において、フィル
ム基板１は載置台２の各段差21により支持されるが、縦
横の寸法ｗの割に厚さｄが小さいときは、その重量によ
り垂下して湾曲し、検査光学系の焦点ボケが生ずる。こ
れに対して、適当な手段により湾曲を矯正して端部をク
ランプし、フィルム基板１を正確な平面度に維持するこ
とが必要であり、このためにはフィルム基板１を牽引す
ることが有効である。この発明は以上に鑑みてなされた
もので、載置されたフィルム基板１をクランプして牽引
し、湾曲を矯正して正確な平面度に維持できる載置台を
提供することを目的とする。
ム基板１は載置台２の各段差21により支持されるが、縦
横の寸法ｗの割に厚さｄが小さいときは、その重量によ
り垂下して湾曲し、検査光学系の焦点ボケが生ずる。こ
れに対して、適当な手段により湾曲を矯正して端部をク
ランプし、フィルム基板１を正確な平面度に維持するこ
とが必要であり、このためにはフィルム基板１を牽引す
ることが有効である。この発明は以上に鑑みてなされた
もので、載置されたフィルム基板１をクランプして牽引
し、湾曲を矯正して正確な平面度に維持できる載置台を
提供することを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明はフィルム基板
の載置台であって、フィルム基板を載置する段差をそれ
ぞれ有する対向した２辺と、他の対向した２辺とにより
構成された方形のフレームを具備する。対向した２辺の
各段差の中央部にそれぞれ設けられ、フィルム基板を押
上げ／降下する作動片を有する昇降機構と、他の対向し
た２辺のそれぞれに設けられ、上記フィルム基板の端部
をクランプするクランプ機構と、一方のクランプ機構を
外方に牽引する牽引機構とを有し、各昇降機構の作動片
により押上げられた状態で、両クランプ機構によりクラ
ンプされたフィルム基板を、各作動片を降下しながら牽
引機構により牽引し、フィルム基板の湾曲を矯正するも
のである。
の載置台であって、フィルム基板を載置する段差をそれ
ぞれ有する対向した２辺と、他の対向した２辺とにより
構成された方形のフレームを具備する。対向した２辺の
各段差の中央部にそれぞれ設けられ、フィルム基板を押
上げ／降下する作動片を有する昇降機構と、他の対向し
た２辺のそれぞれに設けられ、上記フィルム基板の端部
をクランプするクランプ機構と、一方のクランプ機構を
外方に牽引する牽引機構とを有し、各昇降機構の作動片
により押上げられた状態で、両クランプ機構によりクラ
ンプされたフィルム基板を、各作動片を降下しながら牽
引機構により牽引し、フィルム基板の湾曲を矯正するも
のである。
【０００７】
【作用】上記の載置台においては、フレームの対向した
２辺に設けられた各昇降機構の作動片を、予め上昇して
おき、各段差にフィルム基板を載置する。載置されたフ
ィルム基板は、各作動片により中央部の両端の端部が押
上られるが、その弾性により端部とともに、両端を結ぶ
中央部分も持ち上げられて山高に湾曲する。この状態
で、フレームの他の２片に設けられた各クランプ機構に
より、フィルム基板の端部がクランプされる。ついで、
各作動片を降下しながら、牽引機構により一方のクラン
プ機構を外方に牽引すると、クランプされたフィルム基
板は水平に引き伸ばされ、湾曲が矯正されて正確な平面
度に維持され、検査光学系に焦点ボケが生ずることな
く、良好な検査が行われる。
２辺に設けられた各昇降機構の作動片を、予め上昇して
おき、各段差にフィルム基板を載置する。載置されたフ
ィルム基板は、各作動片により中央部の両端の端部が押
上られるが、その弾性により端部とともに、両端を結ぶ
中央部分も持ち上げられて山高に湾曲する。この状態
で、フレームの他の２片に設けられた各クランプ機構に
より、フィルム基板の端部がクランプされる。ついで、
各作動片を降下しながら、牽引機構により一方のクラン
プ機構を外方に牽引すると、クランプされたフィルム基
板は水平に引き伸ばされ、湾曲が矯正されて正確な平面
度に維持され、検査光学系に焦点ボケが生ずることな
く、良好な検査が行われる。
【０００８】
【実施例】図１はこの発明の一実施例における載置台４
の外観図を示し、図２は載置台４の垂直断面図と、その
動作説明図である。図１に示す載置台４は、フィルム基
板１を載置する１０ｍｍ幅の段差511 をそれぞれ有する
対向した２辺51a,51b と、他の対向した２辺51c,51d と
によりフレーム５を構成する。辺51c には載置部61とク
ランプ板62、およびこれを駆動するエアシリンダ63より
なるクランプ機構６が、また辺51d には載置部71とクラ
ンプ板72、およびエアシリンダ73を有するクランプ・牽
引機構７がそれぞれ設けられる。また２辺51a,51b の中
央部に、作動片81とエアシリンダ82よりなる昇降機構８
Ａ，８Ｂがそれぞれ取り付けられる。
の外観図を示し、図２は載置台４の垂直断面図と、その
動作説明図である。図１に示す載置台４は、フィルム基
板１を載置する１０ｍｍ幅の段差511 をそれぞれ有する
対向した２辺51a,51b と、他の対向した２辺51c,51d と
によりフレーム５を構成する。辺51c には載置部61とク
ランプ板62、およびこれを駆動するエアシリンダ63より
なるクランプ機構６が、また辺51d には載置部71とクラ
ンプ板72、およびエアシリンダ73を有するクランプ・牽
引機構７がそれぞれ設けられる。また２辺51a,51b の中
央部に、作動片81とエアシリンダ82よりなる昇降機構８
Ａ，８Ｂがそれぞれ取り付けられる。
【０００９】図２(a) はクランプ・牽引部構７の細部を
示し、スプリング74によりエアシリンダ73に弾性的に結
合され、斜面751 とストッパ752 を有するカム板75と、
斜面751 に接触するカムローラー761 を有する回動アー
ム76を設け、これにクランプ板72を取り付けて構成され
る。図２(a) は、フィルム基板１を載置する状態を示
し、クランプ機構６のエアシリンダ63を矢印Ｃ1 の方向
に動作してクランプ板62を解放し、クランプ・牽引機構
７のエアシリンダ73によりカム板75を矢印Ｃ2 の方向に
移動すると、斜面751に接触したカムローラー761 が下
降してクランプ板72が解放される。これらと同時に、昇
降機構８Ａ，８Ｂの各エアシリンダ82により、それぞれ
の作動片81を上昇し、この状態でフィルム基板１を段差
511 に載置する。載置されたフィルム基板１は、中央部
分が上昇している各作動片81に押上げられて図示のよう
に山高に湾曲する。つぎの(b) において、エアシリンダ
63を矢印Ｃ3 の方向に動作し、クランプ板62を回転して
フィルム基板１の端部を載置部61にクランプする。一
方、エアシリンダ73によりカム板75を矢印Ｃ4 の方向に
移動すると、カムローラー761 が上昇し、クランプ板72
が回転してフィルム基板１を載置部71にクランプし、両
端がクランプされる。つぎの(c) においては、エアシリ
ンダ82を動作して作動片81を下降しながら、エアシリン
ダ73によりカム板75を矢印Ｃ5 の方向にさらに移動する
と、ストッパ752 によりカムローラー761 が引っ張られ
てクランプ板72が左方に移動し、これにクランプされて
いるフィルム基板１が牽引されて湾曲が矯正され、正確
な平面度が維持される。
示し、スプリング74によりエアシリンダ73に弾性的に結
合され、斜面751 とストッパ752 を有するカム板75と、
斜面751 に接触するカムローラー761 を有する回動アー
ム76を設け、これにクランプ板72を取り付けて構成され
る。図２(a) は、フィルム基板１を載置する状態を示
し、クランプ機構６のエアシリンダ63を矢印Ｃ1 の方向
に動作してクランプ板62を解放し、クランプ・牽引機構
７のエアシリンダ73によりカム板75を矢印Ｃ2 の方向に
移動すると、斜面751に接触したカムローラー761 が下
降してクランプ板72が解放される。これらと同時に、昇
降機構８Ａ，８Ｂの各エアシリンダ82により、それぞれ
の作動片81を上昇し、この状態でフィルム基板１を段差
511 に載置する。載置されたフィルム基板１は、中央部
分が上昇している各作動片81に押上げられて図示のよう
に山高に湾曲する。つぎの(b) において、エアシリンダ
63を矢印Ｃ3 の方向に動作し、クランプ板62を回転して
フィルム基板１の端部を載置部61にクランプする。一
方、エアシリンダ73によりカム板75を矢印Ｃ4 の方向に
移動すると、カムローラー761 が上昇し、クランプ板72
が回転してフィルム基板１を載置部71にクランプし、両
端がクランプされる。つぎの(c) においては、エアシリ
ンダ82を動作して作動片81を下降しながら、エアシリン
ダ73によりカム板75を矢印Ｃ5 の方向にさらに移動する
と、ストッパ752 によりカムローラー761 が引っ張られ
てクランプ板72が左方に移動し、これにクランプされて
いるフィルム基板１が牽引されて湾曲が矯正され、正確
な平面度が維持される。
【００１０】上記の実施例においては、クランプ機構６
と、クランプ・牽引機構７、および各昇降機構８の駆動
源として、それぞれエアシリンダ63,73,82を用いたが、
これらをモータとしても勿論差し支えなく、これを含め
て各部の細部が上記の実施例と多少異なる載置台でも、
請求項の趣旨に該当するものは、当然この発明に包含さ
れるものである。
と、クランプ・牽引機構７、および各昇降機構８の駆動
源として、それぞれエアシリンダ63,73,82を用いたが、
これらをモータとしても勿論差し支えなく、これを含め
て各部の細部が上記の実施例と多少異なる載置台でも、
請求項の趣旨に該当するものは、当然この発明に包含さ
れるものである。
【００１１】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による載
置台においては、その段差に載置されたフィルム基板
は、昇降機構の作動片により中央部が押し上げられた状
態でクランプされ、ついで、作動片を下降しながら牽引
機構により外方に牽引されて湾曲が矯正され、正確な平
面度に維持されるもので、これにより検査光学系の焦点
ボケが発生することなく、良好な検査がなされる効果に
は大きいものがある。
置台においては、その段差に載置されたフィルム基板
は、昇降機構の作動片により中央部が押し上げられた状
態でクランプされ、ついで、作動片を下降しながら牽引
機構により外方に牽引されて湾曲が矯正され、正確な平
面度に維持されるもので、これにより検査光学系の焦点
ボケが発生することなく、良好な検査がなされる効果に
は大きいものがある。
【図１】 この発明の一実施例における載置台４の外観
図である。
図である。
【図２】 載置台４の垂直断面図と、その動作説明図で
ある。
ある。
【図３】 液晶パネルの素材の樹脂製のフィルム基板１
の説明図である。
の説明図である。
【図４】 フィルム基板１に対する従来の載置台２と、
検査方法の説明図である。
検査方法の説明図である。
１…フィルム基板、２…従来の載置台、21…フレーム、
211 …段差、３Ａ，３Ｂ…検査光学系、４…この発明の
載置台、５…フレーム、51a,51b …フレームの対向した
２辺、51c,51d …他の対向した２辺、511 …段差、６…
クランプ機構、61…載置部、62…クランプ板、63…エア
シリンダ、７…クランプ・牽引機構、71…載置部、72…
クランプ板、73…エアシリンダ、74…スプリング、75…
カム板、751 …斜面、752 …ストッパ、76…回動アーム
761 …カムローラー、８Ａ，８Ｂ…昇降機構、81…作動
片、82…エアシリンダ。
211 …段差、３Ａ，３Ｂ…検査光学系、４…この発明の
載置台、５…フレーム、51a,51b …フレームの対向した
２辺、51c,51d …他の対向した２辺、511 …段差、６…
クランプ機構、61…載置部、62…クランプ板、63…エア
シリンダ、７…クランプ・牽引機構、71…載置部、72…
クランプ板、73…エアシリンダ、74…スプリング、75…
カム板、751 …斜面、752 …ストッパ、76…回動アーム
761 …カムローラー、８Ａ，８Ｂ…昇降機構、81…作動
片、82…エアシリンダ。
Claims (1)
- 【請求項１】 液晶パネルの素材に使用される樹脂製の
フィルム基板に対する検査装置において、前記フィルム
基板を載置する段差をそれぞれ有する対向した２辺と、
他の対向した２辺とにより構成された方形のフレームを
具備し、前記対向した２辺の各段差の中央部にそれぞれ
設けられ、前記フィルム基板を押上げ／降下する作動片
を有する昇降機構と、前記他の対向した２辺のそれぞれ
に設けられ、前記フィルム基板の端部をクランプするク
ランプ機構と、一方の該クランプ機構を外方に牽引する
牽引機構とを有し、前記各作動片により押上げられた状
態で該両クランプ機構によりクランプされたフィルム基
板を、該各作動片を降下しながら該牽引機構により牽引
し、該フィルム基板の湾曲を引き伸ばして矯正すること
を特徴とする、フィルム基板の載置台。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29201792A JPH06117964A (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | フィルム基板の載置台 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP29201792A JPH06117964A (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | フィルム基板の載置台 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06117964A true JPH06117964A (ja) | 1994-04-28 |
Family
ID=17776453
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP29201792A Pending JPH06117964A (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | フィルム基板の載置台 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06117964A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100670977B1 (ko) * | 2005-05-11 | 2007-01-17 | 에버테크노 주식회사 | 편광필름 캐리어 |
| KR100741289B1 (ko) * | 2005-05-16 | 2007-07-23 | 에버테크노 주식회사 | 편광필름 캐리어 |
| KR101042885B1 (ko) * | 2011-03-04 | 2011-06-20 | 오승훈 | 시트 필름 검사용 정렬장치 |
| JP2015052460A (ja) * | 2013-09-05 | 2015-03-19 | 大日本印刷株式会社 | 張力付与装置および張力付与方法 |
| WO2017138082A1 (ja) * | 2016-02-08 | 2017-08-17 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | シールパターン形成装置 |
| JP2019035757A (ja) * | 2017-03-21 | 2019-03-07 | テスト リサーチ， インク． | 回路基板実装装置 |
-
1992
- 1992-10-06 JP JP29201792A patent/JPH06117964A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100670977B1 (ko) * | 2005-05-11 | 2007-01-17 | 에버테크노 주식회사 | 편광필름 캐리어 |
| KR100741289B1 (ko) * | 2005-05-16 | 2007-07-23 | 에버테크노 주식회사 | 편광필름 캐리어 |
| KR101042885B1 (ko) * | 2011-03-04 | 2011-06-20 | 오승훈 | 시트 필름 검사용 정렬장치 |
| WO2012121489A1 (ko) * | 2011-03-04 | 2012-09-13 | (주) 오버텍 | 시트 필름 검사용 정렬장치 |
| JP2015052460A (ja) * | 2013-09-05 | 2015-03-19 | 大日本印刷株式会社 | 張力付与装置および張力付与方法 |
| WO2017138082A1 (ja) * | 2016-02-08 | 2017-08-17 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | シールパターン形成装置 |
| JP2019035757A (ja) * | 2017-03-21 | 2019-03-07 | テスト リサーチ， インク． | 回路基板実装装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP4226608B2 (ja) | 偏光フィルム検査装置及び方法 | |
| KR100948734B1 (ko) | 표시 패널의 제조 방법 및 제조 장치 | |
| JP4522986B2 (ja) | 偏光フィルム検査装置及び方法 | |
| US10395945B2 (en) | Bonding device for chip on film and display panel and bonding method for the same | |
| WO2017138081A1 (ja) | 検査用装置 | |
| JPH06117964A (ja) | フィルム基板の載置台 | |
| CN1296145C (zh) | 基板处理装置、涂敷装置及涂敷方法 | |
| US20130063709A1 (en) | Lcd exposure stage device and exposure system | |
| JP2007156487A (ja) | 偏光フィルム検査装置及び方法 | |
| CN108594488B (zh) | 偏光片撕离装置及偏光片撕离方法 | |
| JP2003233078A (ja) | 液晶表示装置の製造方法 | |
| CN109387963A (zh) | 裂片吸附载台及液晶面板的切割裂片方法 | |
| JP4372757B2 (ja) | 基板貼合せ装置 | |
| CN213677553U (zh) | 一种液晶面板的自动撕膜装置 | |
| KR101258267B1 (ko) | 액정 패널의 검사 장치, 이를 사용한 워크 테이블 유닛의안착 방법 및 교체 방법 | |
| JP4084653B2 (ja) | 二次元測定機 | |
| CN1445588A (zh) | 粘合机中的工作台结构及其控制方法 | |
| JP3282699B2 (ja) | 基板搬送載置機構 | |
| KR20190033847A (ko) | 마스크 시이트와 기판 갭을 최소화하는 기판 고정 유닛 | |
| JP2003302346A (ja) | 薄板ワークの表面検査装置 | |
| CN109916597B (zh) | 光学检测装置及光学检测方法 | |
| JP2007163694A (ja) | 光学フィルム貼付け装置、光学フィルム貼付け方法、及び表示用パネルの製造方法 | |
| TW531475B (en) | A jig utilized during an assembly step of a TFT panel and a backlight module | |
| JP4031491B2 (ja) | パネル検査装置 | |
| CN105866987B (zh) | 移动装置及检测设备 |