JPH06117964A - フィルム基板の載置台 - Google Patents
フィルム基板の載置台Info
- Publication number
- JPH06117964A JPH06117964A JP29201792A JP29201792A JPH06117964A JP H06117964 A JPH06117964 A JP H06117964A JP 29201792 A JP29201792 A JP 29201792A JP 29201792 A JP29201792 A JP 29201792A JP H06117964 A JPH06117964 A JP H06117964A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- film substrate
- clamp
- opposite sides
- sides
- liquid crystal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Liquid Crystal (AREA)
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 液晶パネルの素材の樹脂製のフィルム基板に
対する検査装置において、載置されたフィルム基板をク
ランプして牽引し、湾曲を矯正して正確な平面度に維持
できる載置台を提供する。 【構成】 フィルム基板1を載置する段差511 をそれぞ
れ有する対向した2辺51a,51b と、他の対向した2辺51
c,51d とにより方形のフレーム5を構成し、各段差511
の中央部にそれぞれ設けられ、フィルム基板1を押上げ
/降下する作動片を有する昇降機構8A,8Bと、2辺
51c,51d のそれぞれに設けられ、フィルム基板1の端部
をクランプするクランプ機構6と、フィルム基板1をク
ランプして外方に牽引するクランプ・牽引機構7とによ
り構成される。
対する検査装置において、載置されたフィルム基板をク
ランプして牽引し、湾曲を矯正して正確な平面度に維持
できる載置台を提供する。 【構成】 フィルム基板1を載置する段差511 をそれぞ
れ有する対向した2辺51a,51b と、他の対向した2辺51
c,51d とにより方形のフレーム5を構成し、各段差511
の中央部にそれぞれ設けられ、フィルム基板1を押上げ
/降下する作動片を有する昇降機構8A,8Bと、2辺
51c,51d のそれぞれに設けられ、フィルム基板1の端部
をクランプするクランプ機構6と、フィルム基板1をク
ランプして外方に牽引するクランプ・牽引機構7とによ
り構成される。
Description
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、液晶パネルの素材の
フィルム基板に対する検査装置の載置台に関する。
フィルム基板に対する検査装置の載置台に関する。
【0002】
【従来の技術】液晶パネルは、軽量で消費電力が少ない
などの長所があるため、各種の機器の表示用に多用され
ている。液晶パネルはガラス基板を素材とし、これに多
数のTFT(薄膜トランジスタ)を形成し、さらに電極
や液晶材料などを重ね合わせて製作される。最近におい
ては液晶技術の進歩により大型化され、またカラー化さ
れたカラーパネルが実用されている。液晶パネル用のガ
ラス基板に欠陥があると、多数のTFTが故障するな
ど、品質が劣化するので、素材の段階で検査装置により
欠陥が検査されている。
などの長所があるため、各種の機器の表示用に多用され
ている。液晶パネルはガラス基板を素材とし、これに多
数のTFT(薄膜トランジスタ)を形成し、さらに電極
や液晶材料などを重ね合わせて製作される。最近におい
ては液晶技術の進歩により大型化され、またカラー化さ
れたカラーパネルが実用されている。液晶パネル用のガ
ラス基板に欠陥があると、多数のTFTが故障するな
ど、品質が劣化するので、素材の段階で検査装置により
欠陥が検査されている。
【0003】上記のガラス基板は液晶パネルが大型化す
ると、これに対応して厚さが増して重量が重くなり、取
り扱いが不便であるなどの理由により、最近では、ガラ
スに代わって樹脂フィルムの基板(フィルム基板)が開
発されている。図3はフィルム基板1を示し、ポリエス
テルなどよりなる透明なもので、通常の洋紙に比較し
て、いわば腰が強くて弾性がある。また大きさは、最大
で、縦横の寸法wが500mmあり、厚さdは0.8m
mのものがある。
ると、これに対応して厚さが増して重量が重くなり、取
り扱いが不便であるなどの理由により、最近では、ガラ
スに代わって樹脂フィルムの基板(フィルム基板)が開
発されている。図3はフィルム基板1を示し、ポリエス
テルなどよりなる透明なもので、通常の洋紙に比較し
て、いわば腰が強くて弾性がある。また大きさは、最大
で、縦横の寸法wが500mmあり、厚さdは0.8m
mのものがある。
【0004】上記のフィルム基板1はガラス基板と同様
に素材の段階で検査がなされる。検査はフィルム基板1
を載置台に載置してなされるが、フィルム基板1は4辺
の端部の、狭い幅、例えば10mmのみを支持すること
が許されている。図4において、方形のフレーム21の各
辺の内側に、10mm幅の段差211 を設けて載置台2を
構成し、各段差21の間にフィルム基板1が載置され、図
示しないクランプ機構により4辺の端部がクランプされ
る。これに対して、上側と下側に検査光学系3A,3B
を設けて検査される。
に素材の段階で検査がなされる。検査はフィルム基板1
を載置台に載置してなされるが、フィルム基板1は4辺
の端部の、狭い幅、例えば10mmのみを支持すること
が許されている。図4において、方形のフレーム21の各
辺の内側に、10mm幅の段差211 を設けて載置台2を
構成し、各段差21の間にフィルム基板1が載置され、図
示しないクランプ機構により4辺の端部がクランプされ
る。これに対して、上側と下側に検査光学系3A,3B
を設けて検査される。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】上記において、フィル
ム基板1は載置台2の各段差21により支持されるが、縦
横の寸法wの割に厚さdが小さいときは、その重量によ
り垂下して湾曲し、検査光学系の焦点ボケが生ずる。こ
れに対して、適当な手段により湾曲を矯正して端部をク
ランプし、フィルム基板1を正確な平面度に維持するこ
とが必要であり、このためにはフィルム基板1を牽引す
ることが有効である。この発明は以上に鑑みてなされた
もので、載置されたフィルム基板1をクランプして牽引
し、湾曲を矯正して正確な平面度に維持できる載置台を
提供することを目的とする。
ム基板1は載置台2の各段差21により支持されるが、縦
横の寸法wの割に厚さdが小さいときは、その重量によ
り垂下して湾曲し、検査光学系の焦点ボケが生ずる。こ
れに対して、適当な手段により湾曲を矯正して端部をク
ランプし、フィルム基板1を正確な平面度に維持するこ
とが必要であり、このためにはフィルム基板1を牽引す
ることが有効である。この発明は以上に鑑みてなされた
もので、載置されたフィルム基板1をクランプして牽引
し、湾曲を矯正して正確な平面度に維持できる載置台を
提供することを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】この発明はフィルム基板
の載置台であって、フィルム基板を載置する段差をそれ
ぞれ有する対向した2辺と、他の対向した2辺とにより
構成された方形のフレームを具備する。対向した2辺の
各段差の中央部にそれぞれ設けられ、フィルム基板を押
上げ/降下する作動片を有する昇降機構と、他の対向し
た2辺のそれぞれに設けられ、上記フィルム基板の端部
をクランプするクランプ機構と、一方のクランプ機構を
外方に牽引する牽引機構とを有し、各昇降機構の作動片
により押上げられた状態で、両クランプ機構によりクラ
ンプされたフィルム基板を、各作動片を降下しながら牽
引機構により牽引し、フィルム基板の湾曲を矯正するも
のである。
の載置台であって、フィルム基板を載置する段差をそれ
ぞれ有する対向した2辺と、他の対向した2辺とにより
構成された方形のフレームを具備する。対向した2辺の
各段差の中央部にそれぞれ設けられ、フィルム基板を押
上げ/降下する作動片を有する昇降機構と、他の対向し
た2辺のそれぞれに設けられ、上記フィルム基板の端部
をクランプするクランプ機構と、一方のクランプ機構を
外方に牽引する牽引機構とを有し、各昇降機構の作動片
により押上げられた状態で、両クランプ機構によりクラ
ンプされたフィルム基板を、各作動片を降下しながら牽
引機構により牽引し、フィルム基板の湾曲を矯正するも
のである。
【0007】
【作用】上記の載置台においては、フレームの対向した
2辺に設けられた各昇降機構の作動片を、予め上昇して
おき、各段差にフィルム基板を載置する。載置されたフ
ィルム基板は、各作動片により中央部の両端の端部が押
上られるが、その弾性により端部とともに、両端を結ぶ
中央部分も持ち上げられて山高に湾曲する。この状態
で、フレームの他の2片に設けられた各クランプ機構に
より、フィルム基板の端部がクランプされる。ついで、
各作動片を降下しながら、牽引機構により一方のクラン
プ機構を外方に牽引すると、クランプされたフィルム基
板は水平に引き伸ばされ、湾曲が矯正されて正確な平面
度に維持され、検査光学系に焦点ボケが生ずることな
く、良好な検査が行われる。
2辺に設けられた各昇降機構の作動片を、予め上昇して
おき、各段差にフィルム基板を載置する。載置されたフ
ィルム基板は、各作動片により中央部の両端の端部が押
上られるが、その弾性により端部とともに、両端を結ぶ
中央部分も持ち上げられて山高に湾曲する。この状態
で、フレームの他の2片に設けられた各クランプ機構に
より、フィルム基板の端部がクランプされる。ついで、
各作動片を降下しながら、牽引機構により一方のクラン
プ機構を外方に牽引すると、クランプされたフィルム基
板は水平に引き伸ばされ、湾曲が矯正されて正確な平面
度に維持され、検査光学系に焦点ボケが生ずることな
く、良好な検査が行われる。
【0008】
【実施例】図1はこの発明の一実施例における載置台4
の外観図を示し、図2は載置台4の垂直断面図と、その
動作説明図である。図1に示す載置台4は、フィルム基
板1を載置する10mm幅の段差511 をそれぞれ有する
対向した2辺51a,51b と、他の対向した2辺51c,51d と
によりフレーム5を構成する。辺51c には載置部61とク
ランプ板62、およびこれを駆動するエアシリンダ63より
なるクランプ機構6が、また辺51d には載置部71とクラ
ンプ板72、およびエアシリンダ73を有するクランプ・牽
引機構7がそれぞれ設けられる。また2辺51a,51b の中
央部に、作動片81とエアシリンダ82よりなる昇降機構8
A,8Bがそれぞれ取り付けられる。
の外観図を示し、図2は載置台4の垂直断面図と、その
動作説明図である。図1に示す載置台4は、フィルム基
板1を載置する10mm幅の段差511 をそれぞれ有する
対向した2辺51a,51b と、他の対向した2辺51c,51d と
によりフレーム5を構成する。辺51c には載置部61とク
ランプ板62、およびこれを駆動するエアシリンダ63より
なるクランプ機構6が、また辺51d には載置部71とクラ
ンプ板72、およびエアシリンダ73を有するクランプ・牽
引機構7がそれぞれ設けられる。また2辺51a,51b の中
央部に、作動片81とエアシリンダ82よりなる昇降機構8
A,8Bがそれぞれ取り付けられる。
【0009】図2(a) はクランプ・牽引部構7の細部を
示し、スプリング74によりエアシリンダ73に弾性的に結
合され、斜面751 とストッパ752 を有するカム板75と、
斜面751 に接触するカムローラー761 を有する回動アー
ム76を設け、これにクランプ板72を取り付けて構成され
る。図2(a) は、フィルム基板1を載置する状態を示
し、クランプ機構6のエアシリンダ63を矢印C1 の方向
に動作してクランプ板62を解放し、クランプ・牽引機構
7のエアシリンダ73によりカム板75を矢印C2 の方向に
移動すると、斜面751に接触したカムローラー761 が下
降してクランプ板72が解放される。これらと同時に、昇
降機構8A,8Bの各エアシリンダ82により、それぞれ
の作動片81を上昇し、この状態でフィルム基板1を段差
511 に載置する。載置されたフィルム基板1は、中央部
分が上昇している各作動片81に押上げられて図示のよう
に山高に湾曲する。つぎの(b) において、エアシリンダ
63を矢印C3 の方向に動作し、クランプ板62を回転して
フィルム基板1の端部を載置部61にクランプする。一
方、エアシリンダ73によりカム板75を矢印C4 の方向に
移動すると、カムローラー761 が上昇し、クランプ板72
が回転してフィルム基板1を載置部71にクランプし、両
端がクランプされる。つぎの(c) においては、エアシリ
ンダ82を動作して作動片81を下降しながら、エアシリン
ダ73によりカム板75を矢印C5 の方向にさらに移動する
と、ストッパ752 によりカムローラー761 が引っ張られ
てクランプ板72が左方に移動し、これにクランプされて
いるフィルム基板1が牽引されて湾曲が矯正され、正確
な平面度が維持される。
示し、スプリング74によりエアシリンダ73に弾性的に結
合され、斜面751 とストッパ752 を有するカム板75と、
斜面751 に接触するカムローラー761 を有する回動アー
ム76を設け、これにクランプ板72を取り付けて構成され
る。図2(a) は、フィルム基板1を載置する状態を示
し、クランプ機構6のエアシリンダ63を矢印C1 の方向
に動作してクランプ板62を解放し、クランプ・牽引機構
7のエアシリンダ73によりカム板75を矢印C2 の方向に
移動すると、斜面751に接触したカムローラー761 が下
降してクランプ板72が解放される。これらと同時に、昇
降機構8A,8Bの各エアシリンダ82により、それぞれ
の作動片81を上昇し、この状態でフィルム基板1を段差
511 に載置する。載置されたフィルム基板1は、中央部
分が上昇している各作動片81に押上げられて図示のよう
に山高に湾曲する。つぎの(b) において、エアシリンダ
63を矢印C3 の方向に動作し、クランプ板62を回転して
フィルム基板1の端部を載置部61にクランプする。一
方、エアシリンダ73によりカム板75を矢印C4 の方向に
移動すると、カムローラー761 が上昇し、クランプ板72
が回転してフィルム基板1を載置部71にクランプし、両
端がクランプされる。つぎの(c) においては、エアシリ
ンダ82を動作して作動片81を下降しながら、エアシリン
ダ73によりカム板75を矢印C5 の方向にさらに移動する
と、ストッパ752 によりカムローラー761 が引っ張られ
てクランプ板72が左方に移動し、これにクランプされて
いるフィルム基板1が牽引されて湾曲が矯正され、正確
な平面度が維持される。
【0010】上記の実施例においては、クランプ機構6
と、クランプ・牽引機構7、および各昇降機構8の駆動
源として、それぞれエアシリンダ63,73,82を用いたが、
これらをモータとしても勿論差し支えなく、これを含め
て各部の細部が上記の実施例と多少異なる載置台でも、
請求項の趣旨に該当するものは、当然この発明に包含さ
れるものである。
と、クランプ・牽引機構7、および各昇降機構8の駆動
源として、それぞれエアシリンダ63,73,82を用いたが、
これらをモータとしても勿論差し支えなく、これを含め
て各部の細部が上記の実施例と多少異なる載置台でも、
請求項の趣旨に該当するものは、当然この発明に包含さ
れるものである。
【0011】
【発明の効果】以上の説明のとおり、この発明による載
置台においては、その段差に載置されたフィルム基板
は、昇降機構の作動片により中央部が押し上げられた状
態でクランプされ、ついで、作動片を下降しながら牽引
機構により外方に牽引されて湾曲が矯正され、正確な平
面度に維持されるもので、これにより検査光学系の焦点
ボケが発生することなく、良好な検査がなされる効果に
は大きいものがある。
置台においては、その段差に載置されたフィルム基板
は、昇降機構の作動片により中央部が押し上げられた状
態でクランプされ、ついで、作動片を下降しながら牽引
機構により外方に牽引されて湾曲が矯正され、正確な平
面度に維持されるもので、これにより検査光学系の焦点
ボケが発生することなく、良好な検査がなされる効果に
は大きいものがある。
【図1】 この発明の一実施例における載置台4の外観
図である。
図である。
【図2】 載置台4の垂直断面図と、その動作説明図で
ある。
ある。
【図3】 液晶パネルの素材の樹脂製のフィルム基板1
の説明図である。
の説明図である。
【図4】 フィルム基板1に対する従来の載置台2と、
検査方法の説明図である。
検査方法の説明図である。
1…フィルム基板、2…従来の載置台、21…フレーム、
211 …段差、3A,3B…検査光学系、4…この発明の
載置台、5…フレーム、51a,51b …フレームの対向した
2辺、51c,51d …他の対向した2辺、511 …段差、6…
クランプ機構、61…載置部、62…クランプ板、63…エア
シリンダ、7…クランプ・牽引機構、71…載置部、72…
クランプ板、73…エアシリンダ、74…スプリング、75…
カム板、751 …斜面、752 …ストッパ、76…回動アーム
761 …カムローラー、8A,8B…昇降機構、81…作動
片、82…エアシリンダ。
211 …段差、3A,3B…検査光学系、4…この発明の
載置台、5…フレーム、51a,51b …フレームの対向した
2辺、51c,51d …他の対向した2辺、511 …段差、6…
クランプ機構、61…載置部、62…クランプ板、63…エア
シリンダ、7…クランプ・牽引機構、71…載置部、72…
クランプ板、73…エアシリンダ、74…スプリング、75…
カム板、751 …斜面、752 …ストッパ、76…回動アーム
761 …カムローラー、8A,8B…昇降機構、81…作動
片、82…エアシリンダ。
Claims (1)
- 【請求項1】 液晶パネルの素材に使用される樹脂製の
フィルム基板に対する検査装置において、前記フィルム
基板を載置する段差をそれぞれ有する対向した2辺と、
他の対向した2辺とにより構成された方形のフレームを
具備し、前記対向した2辺の各段差の中央部にそれぞれ
設けられ、前記フィルム基板を押上げ/降下する作動片
を有する昇降機構と、前記他の対向した2辺のそれぞれ
に設けられ、前記フィルム基板の端部をクランプするク
ランプ機構と、一方の該クランプ機構を外方に牽引する
牽引機構とを有し、前記各作動片により押上げられた状
態で該両クランプ機構によりクランプされたフィルム基
板を、該各作動片を降下しながら該牽引機構により牽引
し、該フィルム基板の湾曲を引き伸ばして矯正すること
を特徴とする、フィルム基板の載置台。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29201792A JPH06117964A (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | フィルム基板の載置台 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29201792A JPH06117964A (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | フィルム基板の載置台 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH06117964A true JPH06117964A (ja) | 1994-04-28 |
Family
ID=17776453
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29201792A Pending JPH06117964A (ja) | 1992-10-06 | 1992-10-06 | フィルム基板の載置台 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH06117964A (ja) |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100670977B1 (ko) * | 2005-05-11 | 2007-01-17 | 에버테크노 주식회사 | 편광필름 캐리어 |
KR100741289B1 (ko) * | 2005-05-16 | 2007-07-23 | 에버테크노 주식회사 | 편광필름 캐리어 |
KR101042885B1 (ko) * | 2011-03-04 | 2011-06-20 | 오승훈 | 시트 필름 검사용 정렬장치 |
JP2015052460A (ja) * | 2013-09-05 | 2015-03-19 | 大日本印刷株式会社 | 張力付与装置および張力付与方法 |
WO2017138082A1 (ja) * | 2016-02-08 | 2017-08-17 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | シールパターン形成装置 |
JP2019035757A (ja) * | 2017-03-21 | 2019-03-07 | テスト リサーチ, インク. | 回路基板実装装置 |
-
1992
- 1992-10-06 JP JP29201792A patent/JPH06117964A/ja active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100670977B1 (ko) * | 2005-05-11 | 2007-01-17 | 에버테크노 주식회사 | 편광필름 캐리어 |
KR100741289B1 (ko) * | 2005-05-16 | 2007-07-23 | 에버테크노 주식회사 | 편광필름 캐리어 |
KR101042885B1 (ko) * | 2011-03-04 | 2011-06-20 | 오승훈 | 시트 필름 검사용 정렬장치 |
WO2012121489A1 (ko) * | 2011-03-04 | 2012-09-13 | (주) 오버텍 | 시트 필름 검사용 정렬장치 |
JP2015052460A (ja) * | 2013-09-05 | 2015-03-19 | 大日本印刷株式会社 | 張力付与装置および張力付与方法 |
WO2017138082A1 (ja) * | 2016-02-08 | 2017-08-17 | 堺ディスプレイプロダクト株式会社 | シールパターン形成装置 |
JP2019035757A (ja) * | 2017-03-21 | 2019-03-07 | テスト リサーチ, インク. | 回路基板実装装置 |
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