JPH0610910A - 液圧サーボ弁装置 - Google Patents
液圧サーボ弁装置Info
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- JPH0610910A JPH0610910A JP10418193A JP10418193A JPH0610910A JP H0610910 A JPH0610910 A JP H0610910A JP 10418193 A JP10418193 A JP 10418193A JP 10418193 A JP10418193 A JP 10418193A JP H0610910 A JPH0610910 A JP H0610910A
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- positioner
- spool
- fluid
- orifice
- hydraulic
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- F15—FLUID-PRESSURE ACTUATORS; HYDRAULICS OR PNEUMATICS IN GENERAL
- F15B—SYSTEMS ACTING BY MEANS OF FLUIDS IN GENERAL; FLUID-PRESSURE ACTUATORS, e.g. SERVOMOTORS; DETAILS OF FLUID-PRESSURE SYSTEMS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- F15B13/00—Details of servomotor systems ; Valves for servomotor systems
- F15B13/02—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors
- F15B13/04—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor
- F15B13/042—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor operated by fluid pressure
- F15B13/043—Fluid distribution or supply devices characterised by their adaptation to the control of servomotors for use with a single servomotor operated by fluid pressure with electrically-controlled pilot valves
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T137/00—Fluid handling
- Y10T137/8593—Systems
- Y10T137/86493—Multi-way valve unit
- Y10T137/86574—Supply and exhaust
- Y10T137/86582—Pilot-actuated
- Y10T137/8659—Variable orifice-type modulator
- Y10T137/86598—Opposed orifices; interposed modulator
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10T137/86582—Pilot-actuated
- Y10T137/86614—Electric
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 所定減速度で被制御アクチュエータを下降さ
せるためにスプールをセット位置まで穏やかに移動させ
得る非係合機構を具えたサーボ弁を提供する。 【構成】 第１及び第２制御チャネルは、ブシュ部材内
のスプール部材の位置に依存する第１及び第２制御流体
圧の各々で流体を分配し、第１及び第２増幅流体チャネ
ルは、第１及び第２増幅ポートからスプール部材の各第
１及び第２端部に制御増幅流体圧を伝え、第１増幅流体
チャネル内に配置された減速制御機構は、スプールの第
１端部及び第１増幅ポートの間の流体の流れを許す及び
止める第１及び第２の位置を有するポジショナ手段を包
含し、各リリーフチャネルは、そのゼロ位置までのスプ
ールの円滑な移動を可能にするために電磁弁入力ポート
及びスプール部材の第１端部の間の液圧流体の流れを制
限するように計量オリフィスを有する。
せるためにスプールをセット位置まで穏やかに移動させ
得る非係合機構を具えたサーボ弁を提供する。 【構成】 第１及び第２制御チャネルは、ブシュ部材内
のスプール部材の位置に依存する第１及び第２制御流体
圧の各々で流体を分配し、第１及び第２増幅流体チャネ
ルは、第１及び第２増幅ポートからスプール部材の各第
１及び第２端部に制御増幅流体圧を伝え、第１増幅流体
チャネル内に配置された減速制御機構は、スプールの第
１端部及び第１増幅ポートの間の流体の流れを許す及び
止める第１及び第２の位置を有するポジショナ手段を包
含し、各リリーフチャネルは、そのゼロ位置までのスプ
ールの円滑な移動を可能にするために電磁弁入力ポート
及びスプール部材の第１端部の間の液圧流体の流れを制
限するように計量オリフィスを有する。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、液圧サーボ弁に関し、
更に詳細には、第１段液圧増幅及び第２段スプール弁を
包含する高性能・高速タイプのアクチュエータを制御す
るサーボ弁に関する。本発明は特に、アクチュエータ故
障やサーボ故障の場合にサーボ弁によって操作されたア
クチュエータ内の大きな力のような高い加速を防止する
ための減速制御機構を含むサーボ弁に向けられている。
更に詳細には、第１段液圧増幅及び第２段スプール弁を
包含する高性能・高速タイプのアクチュエータを制御す
るサーボ弁に関する。本発明は特に、アクチュエータ故
障やサーボ故障の場合にサーボ弁によって操作されたア
クチュエータ内の大きな力のような高い加速を防止する
ための減速制御機構を含むサーボ弁に向けられている。
【０００２】
【従来の技術】流体制御弁、すなわち液圧サーボ弁は、
良く知られており、多くの例が存在する。１つの典型的
なサーボ弁は、米国特許明細書第３，２２８，４２３号
に開示されている。これらの弁は、正確な移動制御及び
迅速なレスポンスが要求されるような液圧アクチュエー
タの移動制御のためにしばしば用いられる。これらのサ
ーボ弁は、広範囲にわたって出力が入力に比例するよう
な、レスポンスの良好な直線性を有する。このタイプの
弁において、第１段は、増幅ポートに連結されている、
一対の流体ジェットの間に配置されるフラッパを制御す
る、いわゆるトルクモータを包含する。供給圧及びリタ
ーン又はドレンは、この第１段に連結され、トルクモー
タは、フラッパを制御し、これにより、トルクモータの
電機子に供給される信号に比例する異なる圧力が増幅ポ
ートに供給される。
良く知られており、多くの例が存在する。１つの典型的
なサーボ弁は、米国特許明細書第３，２２８，４２３号
に開示されている。これらの弁は、正確な移動制御及び
迅速なレスポンスが要求されるような液圧アクチュエー
タの移動制御のためにしばしば用いられる。これらのサ
ーボ弁は、広範囲にわたって出力が入力に比例するよう
な、レスポンスの良好な直線性を有する。このタイプの
弁において、第１段は、増幅ポートに連結されている、
一対の流体ジェットの間に配置されるフラッパを制御す
る、いわゆるトルクモータを包含する。供給圧及びリタ
ーン又はドレンは、この第１段に連結され、トルクモー
タは、フラッパを制御し、これにより、トルクモータの
電機子に供給される信号に比例する異なる圧力が増幅ポ
ートに供給される。
【０００３】スプールタイプの第２段は、適当なチャネ
ル及びポートを具えた弁本体と、精密切削されたポート
及び開口を具えた円筒状スリーブ又はブシュと、ブシュ
内を前後に移動するスプール、とを包含する。スプール
は、円筒状面の上に溝及びランドを有し、これにより、
ブシュ内のポート及びランドは、増幅出力に比例する流
れを第１及び第２制御ポートに供給する精密可変オリフ
ィスを画成する。増幅ポートでの出力は、中央又はゼロ
位置の右若しくは左にそれを強要するために、スプール
の第１及び第２端部に供給される。ゼロ位置において、
制御ポートでの出力圧は、釣り合っている。
ル及びポートを具えた弁本体と、精密切削されたポート
及び開口を具えた円筒状スリーブ又はブシュと、ブシュ
内を前後に移動するスプール、とを包含する。スプール
は、円筒状面の上に溝及びランドを有し、これにより、
ブシュ内のポート及びランドは、増幅出力に比例する流
れを第１及び第２制御ポートに供給する精密可変オリフ
ィスを画成する。増幅ポートでの出力は、中央又はゼロ
位置の右若しくは左にそれを強要するために、スプール
の第１及び第２端部に供給される。ゼロ位置において、
制御ポートでの出力圧は、釣り合っている。
【０００４】アームは、フラッパのスプールに機械的に
連結され、且つ第１段に機械的フィードバックを提供す
る。液圧サーボ弁の基礎的設計には、多数の変更があ
り、それらの幾つかは、米国特許明細書第３，２２１，
７６０号、第４，６１７，９６６号、及び第４，４５
６，０３１号に現出する。第２段のブシュ及びスプール
は、米国特許明細書第４，３３７，７９７号に記載され
ている。
連結され、且つ第１段に機械的フィードバックを提供す
る。液圧サーボ弁の基礎的設計には、多数の変更があ
り、それらの幾つかは、米国特許明細書第３，２２１，
７６０号、第４，６１７，９６６号、及び第４，４５
６，０３１号に現出する。第２段のブシュ及びスプール
は、米国特許明細書第４，３３７，７９７号に記載され
ている。
【０００５】高速・高性能アクチュエータの場合、液圧
増幅段又はその上流側の制御回路の故障時に被制御液圧
アクチュエータの加速を制限する機構を包含することが
望まれる。これを達成するために、第１段を乗り越える
と共にそのゼロ位置近傍のセットポイントまで迅速且つ
円滑に第２段のスプールを強要することが必要である。
ここでの目的は、その衝程又はストロール長の僅かな部
分内でのアクチュエータの走行を減速させること、及
び、許容レベルまで、理想的には０．４ｇ以下まで加速
又は減速を制限するように所定形式で実行することであ
る。
増幅段又はその上流側の制御回路の故障時に被制御液圧
アクチュエータの加速を制限する機構を包含することが
望まれる。これを達成するために、第１段を乗り越える
と共にそのゼロ位置近傍のセットポイントまで迅速且つ
円滑に第２段のスプールを強要することが必要である。
ここでの目的は、その衝程又はストロール長の僅かな部
分内でのアクチュエータの走行を減速させること、及
び、許容レベルまで、理想的には０．４ｇ以下まで加速
又は減速を制限するように所定形式で実行することであ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、制御
された非係合機構を具えたサーボ弁、すなわち、最大タ
ーゲットを超過しない減速で被制御アクチュエータの下
降を可能にするためにスプールをそのセット位置まで穏
やかに移動させる、いわゆる『アボート弁』を提供する
ことにある。
された非係合機構を具えたサーボ弁、すなわち、最大タ
ーゲットを超過しない減速で被制御アクチュエータの下
降を可能にするためにスプールをそのセット位置まで穏
やかに移動させる、いわゆる『アボート弁』を提供する
ことにある。
【０００７】本発明の別の目的は、反響やハンチングな
しにサーボ弁スプールをそのセット位置まで移動させる
制御された非係合機構を提供することにある。本発明の
更に別の目的は、非係合信号の開始時からの被制御アク
チュエータの移動及び走行時間を最少化するためにスプ
ールをそのセット位置まで移動させる制御された非係合
機構を提供することにある。
しにサーボ弁スプールをそのセット位置まで移動させる
制御された非係合機構を提供することにある。本発明の
更に別の目的は、非係合信号の開始時からの被制御アク
チュエータの移動及び走行時間を最少化するためにスプ
ールをそのセット位置まで移動させる制御された非係合
機構を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の態様に従い、ス
プールタイプの液圧サーボ弁と関係する減速制御機構
は、第１段からスプールの一端に流体を供給する関係の
増幅流体チャネルのスプールの一側に配置されている。
減速制御機構において、液圧的にオープンポジションに
付勢されるが、クローズドポジションにばね付勢され
る、ピストン形式を有する、液圧駆動ポジショナが存在
する。ポジショナは、ポジショナがその各オープンポジ
ション及びクローズドポジションにあるときに、サーボ
弁スプールの端部及び関係する増幅ポートの間の流体流
れを許す及び塞ぐための増幅ポートと相互作用する増幅
ポートシャットオフランドを有する。制御信号入力を受
容する電磁弁は、ドレン又はリターンに連結される第２
ポート及び供給圧の源に滴下オリフィスを介して連結さ
れる入力ポートを有する。電磁弁の作動状態において、
入力ポートは、供給圧であり、非作動状態において、入
力ポートは、低圧まで下降する。好ましくはピストン形
式を有するポジショナ液圧アクチュエータは、電磁弁入
力ポートと連通する。電磁弁が作動されるときに、ピス
トン又はアクチュエータは、ポジショナを付勢してオー
プン状態にし、これにより、サーボ弁のスプールは、流
体増幅チャネルに直結される。しかしながら、電磁弁の
非作動時には、ピストンへの流体圧は、下降し、また、
ピストン又はアクチュエータの残りの流体圧の力よりも
大きいばね力を有する付勢ばねは、ポジショナをクロー
ズドポジションに強要し、且つサーボ弁のスプールから
増幅チャネルを切り離す。
プールタイプの液圧サーボ弁と関係する減速制御機構
は、第１段からスプールの一端に流体を供給する関係の
増幅流体チャネルのスプールの一側に配置されている。
減速制御機構において、液圧的にオープンポジションに
付勢されるが、クローズドポジションにばね付勢され
る、ピストン形式を有する、液圧駆動ポジショナが存在
する。ポジショナは、ポジショナがその各オープンポジ
ション及びクローズドポジションにあるときに、サーボ
弁スプールの端部及び関係する増幅ポートの間の流体流
れを許す及び塞ぐための増幅ポートと相互作用する増幅
ポートシャットオフランドを有する。制御信号入力を受
容する電磁弁は、ドレン又はリターンに連結される第２
ポート及び供給圧の源に滴下オリフィスを介して連結さ
れる入力ポートを有する。電磁弁の作動状態において、
入力ポートは、供給圧であり、非作動状態において、入
力ポートは、低圧まで下降する。好ましくはピストン形
式を有するポジショナ液圧アクチュエータは、電磁弁入
力ポートと連通する。電磁弁が作動されるときに、ピス
トン又はアクチュエータは、ポジショナを付勢してオー
プン状態にし、これにより、サーボ弁のスプールは、流
体増幅チャネルに直結される。しかしながら、電磁弁の
非作動時には、ピストンへの流体圧は、下降し、また、
ピストン又はアクチュエータの残りの流体圧の力よりも
大きいばね力を有する付勢ばねは、ポジショナをクロー
ズドポジションに強要し、且つサーボ弁のスプールから
増幅チャネルを切り離す。
【０００９】少なくとも１つのリリーフチャネルと、サ
ーボ弁スプールの関係する端部と流体連通するように配
置される、好ましくは一対のリリーフチャネル、とが存
在する。これらのリリーフチャネルの各々は、電磁弁の
入力ポートでの減圧及びスプールのその端部の間の液圧
流体の流れを制限する計量オリフィスを有する。それら
は、そのゼロ位置へのスプールの円滑な通行を実現する
ために選択される。先ず、スプール通行オリフィスは、
所定流速で流体流れを制御するように作用し、次いで、
ゼロオーバーライドオリフィスは、サーボ弁スプールが
そのゼロ位置に近付くにつれて、スプールがそのセット
位置に至るまで、流れを更に減少させるように作用す
る。
ーボ弁スプールの関係する端部と流体連通するように配
置される、好ましくは一対のリリーフチャネル、とが存
在する。これらのリリーフチャネルの各々は、電磁弁の
入力ポートでの減圧及びスプールのその端部の間の液圧
流体の流れを制限する計量オリフィスを有する。それら
は、そのゼロ位置へのスプールの円滑な通行を実現する
ために選択される。先ず、スプール通行オリフィスは、
所定流速で流体流れを制御するように作用し、次いで、
ゼロオーバーライドオリフィスは、サーボ弁スプールが
そのゼロ位置に近付くにつれて、スプールがそのセット
位置に至るまで、流れを更に減少させるように作用す
る。
【００１０】ポジショナは、サーボ弁スプールの関係す
る端部に向かって軸方向に突出するステムを包含する。
ポジショナがそのクローズドポジションにあるときに、
このステムは、サーボ弁スプールの端面に遭遇し、その
時、後者は、ゼロ位置にある。ポジショナは、ポジショ
ナ通行オリフィスを介して電磁弁入力ポートと連通する
ポジジョナ通行ポートに液圧アクチュエータから流体流
れを通すポジショナ通行ランドを有する。ポジショナ通
行ランドは、所定走行後にポジショナ通行ポートを閉じ
る。電磁弁入力ポート及び液圧アクチュエータ又はピス
トンの間を連通するリリーフ通路があり、このリリーフ
通路は、内部配置されたポジショナゼロオーバーライド
オリフィスを有する。ポジショナ通行オリフィス及びポ
ジショナゼロオーバーライドオリフィスは、それがその
ゼロ位置を介してそのセット位置までスプール部材を押
圧する際に、ポジショナの円滑な移動を実現するような
オリフィス寸法を有する。
る端部に向かって軸方向に突出するステムを包含する。
ポジショナがそのクローズドポジションにあるときに、
このステムは、サーボ弁スプールの端面に遭遇し、その
時、後者は、ゼロ位置にある。ポジショナは、ポジショ
ナ通行オリフィスを介して電磁弁入力ポートと連通する
ポジジョナ通行ポートに液圧アクチュエータから流体流
れを通すポジショナ通行ランドを有する。ポジショナ通
行ランドは、所定走行後にポジショナ通行ポートを閉じ
る。電磁弁入力ポート及び液圧アクチュエータ又はピス
トンの間を連通するリリーフ通路があり、このリリーフ
通路は、内部配置されたポジショナゼロオーバーライド
オリフィスを有する。ポジショナ通行オリフィス及びポ
ジショナゼロオーバーライドオリフィスは、それがその
ゼロ位置を介してそのセット位置までスプール部材を押
圧する際に、ポジショナの円滑な移動を実現するような
オリフィス寸法を有する。
【００１１】この機構の効果は、減速制御機構の電磁弁
が作動されるや否や、すなわちその制御電流が低くなる
とき、被制御形式のサーボ弁スプールをそのセット位置
まで移動させることである。その関係するスリーブ又は
ブシュのポジショナの移動は、幾つかの許容可能な最大
値以下、すなわち約０．４ｇ以下にアクチュエータの加
速又は減速を保持するように、サーボ弁によって制御さ
れる連続するアクチュエータ段の一定の減速を実現する
ように設計される。
が作動されるや否や、すなわちその制御電流が低くなる
とき、被制御形式のサーボ弁スプールをそのセット位置
まで移動させることである。その関係するスリーブ又は
ブシュのポジショナの移動は、幾つかの許容可能な最大
値以下、すなわち約０．４ｇ以下にアクチュエータの加
速又は減速を保持するように、サーボ弁によって制御さ
れる連続するアクチュエータ段の一定の減速を実現する
ように設計される。
【００１２】本発明の上記及び他の多くの目的、特徴、
利点は、添付図面に関連して理解されるべき、好適実施
例の以下の記載からより完全に理解されよう。
利点は、添付図面に関連して理解されるべき、好適実施
例の以下の記載からより完全に理解されよう。
【００１３】
【実施例】図面を参照するに、先ず図１及び２を参照す
ると、２段サーボ弁組立体１０は、第１段１２又は液圧
増幅器が取着される弁本体１１を有する。第１段１２
は、増幅出力チャネル１６及び１７を介して調和的な流
体圧Ａ1 及びＡ2 を供給するフラッパ弁１５を有するト
ルクモータ１４が位置決めされるハウジング１３を有す
る。流体増幅圧Ａ1 及びＡ2 は、第１段１２の下の弁本
体１１内に配置される第２段１８を制御する。第２段に
おいて、円筒状スリーブ又はブシュ１９は、サーボ弁ス
プール２０を包含し、その両者は、公知の設計から成
る。ブシュは、各制御チャネル２２及び２３を介して所
定制御流速で制御流体圧Ｃ1 及びＣ2 を供給する多数の
出力ポート２１を有する。制御圧Ｃ1 及びＣ2 は、図示
しない、連続するアクチュエータ段に提供される。圧力
及び流速は、１以上のリターン又はドレンのチャンバ２
５及び圧力チャンバ２４と協働するブシュ１９の協働ポ
ート及びスプール２０の各ランドの位置に依存して、制
御出力チャネル２２及び２３に現出する。好適実施例に
おいて、圧力チャンバ２４は、高圧力下の流体圧が供給
され、リターンチャンバに現出するリターン圧Ｒは、最
少に維持される。
ると、２段サーボ弁組立体１０は、第１段１２又は液圧
増幅器が取着される弁本体１１を有する。第１段１２
は、増幅出力チャネル１６及び１７を介して調和的な流
体圧Ａ1 及びＡ2 を供給するフラッパ弁１５を有するト
ルクモータ１４が位置決めされるハウジング１３を有す
る。流体増幅圧Ａ1 及びＡ2 は、第１段１２の下の弁本
体１１内に配置される第２段１８を制御する。第２段に
おいて、円筒状スリーブ又はブシュ１９は、サーボ弁ス
プール２０を包含し、その両者は、公知の設計から成
る。ブシュは、各制御チャネル２２及び２３を介して所
定制御流速で制御流体圧Ｃ1 及びＣ2 を供給する多数の
出力ポート２１を有する。制御圧Ｃ1 及びＣ2 は、図示
しない、連続するアクチュエータ段に提供される。圧力
及び流速は、１以上のリターン又はドレンのチャンバ２
５及び圧力チャンバ２４と協働するブシュ１９の協働ポ
ート及びスプール２０の各ランドの位置に依存して、制
御出力チャネル２２及び２３に現出する。好適実施例に
おいて、圧力チャンバ２４は、高圧力下の流体圧が供給
され、リターンチャンバに現出するリターン圧Ｒは、最
少に維持される。
【００１４】この実施例において、各内側ブシュ又はス
リーブ２７内に嵌合されるスプール２０の右端及び左端
には、切株状シャフト２６がある。切株状シャフト２６
は、ブシュ１９内部でスプール２０を位置決めするため
の往復ピストンとして機能する。通常モードにおいて、
第１段１２からの増幅チャネル１６及び１７は、切株状
シャフト２６の２つの外面、すなわちスプール２０の各
左端及び右端に連結されている。これを達成するため
に、増幅流体圧Ａ2 をスプール２０の右端の切株状シャ
フト２６に連通する流体チャネル２９を包含する、図２
に示されたような、右手側に添えられた端部キャップ２
８が存在する。
リーブ２７内に嵌合されるスプール２０の右端及び左端
には、切株状シャフト２６がある。切株状シャフト２６
は、ブシュ１９内部でスプール２０を位置決めするため
の往復ピストンとして機能する。通常モードにおいて、
第１段１２からの増幅チャネル１６及び１７は、切株状
シャフト２６の２つの外面、すなわちスプール２０の各
左端及び右端に連結されている。これを達成するため
に、増幅流体圧Ａ2 をスプール２０の右端の切株状シャ
フト２６に連通する流体チャネル２９を包含する、図２
に示されたような、右手側に添えられた端部キャップ２
８が存在する。
【００１５】制御される非係合弁組立体３０は、図２に
示されたように、サーボ弁本体１１の左手側に取着され
ている。この機構の詳細は、図３，４，５、及び６を参
照して更に詳細に記載される。制御される非係合組立体
３０は、通常状態で端部キャップ２８のチャネル２９と
同様の効果を奏する流体チャネルを包含し、弁本体１１
の左端に取着される端部キャップ本体３１を有する。通
常チャネル３２は、チャネル１６から左端の切株状シャ
フト２６へ増幅流体圧Ａ1 を伝える。本体３１内部に
は、スリーブ３４又はブシュ内にスライド自在に取着さ
れるスピンドルタイプのポジショナ３３があり、スリー
ブ３４又はブシュは、本体３１の軸穴に挿入される。ポ
ジショナ３３の末端ステム３５は、切株状シャフト２６
の端面の位置に接するために、図２及び４の右に突出す
る。このステム３５の近傍には、スリーブ３４の増幅ポ
ート３７を開閉（オープン又はクローズ）する増幅ポー
トシャットオフランド３６がある。このポート３７は、
チャネル３２と連通する。ポジショナ３３の作動又は引
っ込み位置において、ランド３６は、近傍、すなわち増
幅ポート３７の左に位置決めされ、チャネル１６及び３
２を介しての第１段１２から切株状シャフト２６のピス
トン面への増幅流体の流れをオープンさせ得る。しかし
ながら、図示のように、ポジショナ３３の末端又はクロ
ーズドポジションにおいて、ランド３６は、ポート３７
を塞ぎ、スプールのこの端部から第１段液圧増幅を切り
離す。図６に良好に示されるように、ポジショナ通行ラ
ンド３８は、ポジショナ３３上に形成されたアクチュエ
ータピストン４０からの又はそこへの流体圧の流れを許
容するために、スリーブ３４内のポジショナ通行オリフ
ィス３９と協働する。ポジショナゼロオリフィス４１
は、ピストン４０のチャンバと直接協働する。このポジ
ショナゼロオリフィス４１は、ポジショナ通行オリフィ
ス３９よりも制限的である。ポジショナ４２及びピスト
ン４０の近傍に示されているのは、一連のばね４３が積
み重ねられるポジショナシャフト４２である。これらの
バネ４３は、ワッシャ４４によってクランプされ、ワッ
シャ４４は、本体３１にボルト止めされるカップ状ばね
ハウジング４５内に保持され、ロックカラー調整ナット
４６は、シャフト４２の突出するねじ付き端部上に位置
決めされる。ロックカラーナット４６は、ポジショナの
最終的セット位置の調整を可能にする。金属カバー４７
は、ばねハウジング４５の上の組立体３０に取着され
る。この実施例において、ばねは、スプール２０上の流
体力を克服するために充分なばね力を有するように選択
される。
示されたように、サーボ弁本体１１の左手側に取着され
ている。この機構の詳細は、図３，４，５、及び６を参
照して更に詳細に記載される。制御される非係合組立体
３０は、通常状態で端部キャップ２８のチャネル２９と
同様の効果を奏する流体チャネルを包含し、弁本体１１
の左端に取着される端部キャップ本体３１を有する。通
常チャネル３２は、チャネル１６から左端の切株状シャ
フト２６へ増幅流体圧Ａ1 を伝える。本体３１内部に
は、スリーブ３４又はブシュ内にスライド自在に取着さ
れるスピンドルタイプのポジショナ３３があり、スリー
ブ３４又はブシュは、本体３１の軸穴に挿入される。ポ
ジショナ３３の末端ステム３５は、切株状シャフト２６
の端面の位置に接するために、図２及び４の右に突出す
る。このステム３５の近傍には、スリーブ３４の増幅ポ
ート３７を開閉（オープン又はクローズ）する増幅ポー
トシャットオフランド３６がある。このポート３７は、
チャネル３２と連通する。ポジショナ３３の作動又は引
っ込み位置において、ランド３６は、近傍、すなわち増
幅ポート３７の左に位置決めされ、チャネル１６及び３
２を介しての第１段１２から切株状シャフト２６のピス
トン面への増幅流体の流れをオープンさせ得る。しかし
ながら、図示のように、ポジショナ３３の末端又はクロ
ーズドポジションにおいて、ランド３６は、ポート３７
を塞ぎ、スプールのこの端部から第１段液圧増幅を切り
離す。図６に良好に示されるように、ポジショナ通行ラ
ンド３８は、ポジショナ３３上に形成されたアクチュエ
ータピストン４０からの又はそこへの流体圧の流れを許
容するために、スリーブ３４内のポジショナ通行オリフ
ィス３９と協働する。ポジショナゼロオリフィス４１
は、ピストン４０のチャンバと直接協働する。このポジ
ショナゼロオリフィス４１は、ポジショナ通行オリフィ
ス３９よりも制限的である。ポジショナ４２及びピスト
ン４０の近傍に示されているのは、一連のばね４３が積
み重ねられるポジショナシャフト４２である。これらの
バネ４３は、ワッシャ４４によってクランプされ、ワッ
シャ４４は、本体３１にボルト止めされるカップ状ばね
ハウジング４５内に保持され、ロックカラー調整ナット
４６は、シャフト４２の突出するねじ付き端部上に位置
決めされる。ロックカラーナット４６は、ポジショナの
最終的セット位置の調整を可能にする。金属カバー４７
は、ばねハウジング４５の上の組立体３０に取着され
る。この実施例において、ばねは、スプール２０上の流
体力を克服するために充分なばね力を有するように選択
される。
【００１６】この実施例において、軸穴を介してステム
端部に流体圧を伝えるために、ステム３５には開口４８
が設けられる。図６に詳細に示されているように、スリ
ーブ２７は、相互作用する切株状シャフト２６の基
（左）部でスプール通行ランド５０に面するスプール通
行ポート４９を有する。それからスプール通行ポート４
９を介して逃出する流体は、スプール通行オリフィス５
１を貫通する。
端部に流体圧を伝えるために、ステム３５には開口４８
が設けられる。図６に詳細に示されているように、スリ
ーブ２７は、相互作用する切株状シャフト２６の基
（左）部でスプール通行ランド５０に面するスプール通
行ポート４９を有する。それからスプール通行ポート４
９を介して逃出する流体は、スプール通行オリフィス５
１を貫通する。
【００１７】圧力Ｂ1 ′であるこの流体は、図３に示さ
れるように、チェック弁５２を貫通する。チェック弁
は、スプール通行ポート４９、ランド５０、及びオリフ
ィス５１がサーボ弁の通常作動に干渉しないようにする
ために、設けられる。切株状シャフト２６の一方側又は
両側には、ゼロオーバーライド開口５３が設けられ、こ
れは、切株状シャフト２６のピストン面に開く別の軸穴
と連通する。このゼロオーバーライド開口５３は、切株
状シャフト２６の多数のランドによって保護される。ス
リーブ２７のゼロオーバーライドポート５４は、スプー
ル２０がそのゼロ位置に接近する際にゼロオーバーライ
ド開口５３と流体連通する。ポート５４は、チェック弁
５２（図３）を介しての圧力Ｂ2 で且つ所定制御速度で
の流体流れを可能にするために、ゼロオーバーライドオ
リフィス５５が設けられる。
れるように、チェック弁５２を貫通する。チェック弁
は、スプール通行ポート４９、ランド５０、及びオリフ
ィス５１がサーボ弁の通常作動に干渉しないようにする
ために、設けられる。切株状シャフト２６の一方側又は
両側には、ゼロオーバーライド開口５３が設けられ、こ
れは、切株状シャフト２６のピストン面に開く別の軸穴
と連通する。このゼロオーバーライド開口５３は、切株
状シャフト２６の多数のランドによって保護される。ス
リーブ２７のゼロオーバーライドポート５４は、スプー
ル２０がそのゼロ位置に接近する際にゼロオーバーライ
ド開口５３と流体連通する。ポート５４は、チェック弁
５２（図３）を介しての圧力Ｂ2 で且つ所定制御速度で
の流体流れを可能にするために、ゼロオーバーライドオ
リフィス５５が設けられる。
【００１８】ゼロオーバーライドオリフィス５５は、ス
プール通行オリフィス５１よりも制限的である。図５に
示されているように、高圧流体は、流体フィルタ５６及
び滴下オリフィス５７を介して本体３１内の流体導管５
８内に流入する。図３に戻るに、導管５８は、電磁弁５
９の入力側に連結される。電磁弁５９は、クローズドポ
ジションに通常励磁されるが、信号喪失時には、弁は、
ドレン又はリターン圧にある別のチャネル６０に導管５
８を連結するようにオープン状態になる。従って、導管
５８において、通常供給圧である流体圧Ｄが存在する。
しかしながら、電磁弁が開いている故障の場合、圧力Ｄ
は、リターン圧に近い低圧まで下降する。図３にも示さ
れているように、スプール通行オリフィス５１及びスプ
ールゼロオーバーライドオリフィス５３は、チェック弁
５２を介して導管５８と連通する。チェック弁５２は、
圧力Ｄが低いときのみ、すなわち電磁弁５９がオープン
しているときのみ、流体流れを可能にする。
プール通行オリフィス５１よりも制限的である。図５に
示されているように、高圧流体は、流体フィルタ５６及
び滴下オリフィス５７を介して本体３１内の流体導管５
８内に流入する。図３に戻るに、導管５８は、電磁弁５
９の入力側に連結される。電磁弁５９は、クローズドポ
ジションに通常励磁されるが、信号喪失時には、弁は、
ドレン又はリターン圧にある別のチャネル６０に導管５
８を連結するようにオープン状態になる。従って、導管
５８において、通常供給圧である流体圧Ｄが存在する。
しかしながら、電磁弁が開いている故障の場合、圧力Ｄ
は、リターン圧に近い低圧まで下降する。図３にも示さ
れているように、スプール通行オリフィス５１及びスプ
ールゼロオーバーライドオリフィス５３は、チェック弁
５２を介して導管５８と連通する。チェック弁５２は、
圧力Ｄが低いときのみ、すなわち電磁弁５９がオープン
しているときのみ、流体流れを可能にする。
【００１９】通常作動において、電磁弁５９は、クロー
ズ状態で作動し、導管５８に現出する圧力Ｄは、供給圧
である。全流体圧は、ポジショナピストン４０に供給さ
れ、ピストン力は、ばね４３の力を克服し、ポジショナ
３３をそのオープン位置まで強要する。これは、第１段
増幅チャネル１６及びスプール２０の左手側の間の非妨
害的な流体連通を可能にする。
ズ状態で作動し、導管５８に現出する圧力Ｄは、供給圧
である。全流体圧は、ポジショナピストン４０に供給さ
れ、ピストン力は、ばね４３の力を克服し、ポジショナ
３３をそのオープン位置まで強要する。これは、第１段
増幅チャネル１６及びスプール２０の左手側の間の非妨
害的な流体連通を可能にする。
【００２０】故障の場合、電磁弁５９は、導管５８内の
圧力Ｄを減少させるように、消磁状態にされる。ばね３
４からのばね力は、ピストン４０に対する流体力よりも
高く、ばね４３は、クローズドポジション（すなわち右
側）へ迅速にポジショナを強要する。ランド３６は、チ
ャネル１６及び３２から流体経路を外すために増幅ポー
ト３７を塞ぐ。もしスプール２０が図２で左外れに示さ
れている位置にあると、ポジショナ３３は、スプール２
０に対して押圧するように作動し、これにより、ステム
３５は、スプール２０がそのセット位置に至るまで、切
株状シャフト２６を右方向に強要する。最初に、流体
は、ポジショナ通行オリフィス３９を介してピストン４
０から流出する。しかしながら、ポジショナ通行ランド
３８がオリフィス３９を介した流れを止めるために充分
に一度移動されると、ピストン４０からの残っている流
れは、より低い流速にあるポジショナゼロオリフィス４
１を介する。
圧力Ｄを減少させるように、消磁状態にされる。ばね３
４からのばね力は、ピストン４０に対する流体力よりも
高く、ばね４３は、クローズドポジション（すなわち右
側）へ迅速にポジショナを強要する。ランド３６は、チ
ャネル１６及び３２から流体経路を外すために増幅ポー
ト３７を塞ぐ。もしスプール２０が図２で左外れに示さ
れている位置にあると、ポジショナ３３は、スプール２
０に対して押圧するように作動し、これにより、ステム
３５は、スプール２０がそのセット位置に至るまで、切
株状シャフト２６を右方向に強要する。最初に、流体
は、ポジショナ通行オリフィス３９を介してピストン４
０から流出する。しかしながら、ポジショナ通行ランド
３８がオリフィス３９を介した流れを止めるために充分
に一度移動されると、ピストン４０からの残っている流
れは、より低い流速にあるポジショナゼロオリフィス４
１を介する。
【００２１】図７に示されているように、スプール２０
上のポジショナ３３のこの動作の効果は、スプール２０
がそのゼロ位置に向かって移動するにつれて、ブシュ１
９のポートを漸次閉じる（クローズする）ことである。
ポジショナ通行及びゼロオーバーライドオリフィスの結
合効果は、一般的な放物曲線をもたらすことである。こ
の効果は、時間ＴSET でスプール２０がそのゼロ位置に
至るまで、時間Ｔ0 で故障の場合の開始から出来る限り
一定減速度を達成することである。好ましくは、加速
は、最大の許容レベル以下に保持される。
上のポジショナ３３のこの動作の効果は、スプール２０
がそのゼロ位置に向かって移動するにつれて、ブシュ１
９のポートを漸次閉じる（クローズする）ことである。
ポジショナ通行及びゼロオーバーライドオリフィスの結
合効果は、一般的な放物曲線をもたらすことである。こ
の効果は、時間ＴSET でスプール２０がそのゼロ位置に
至るまで、時間Ｔ0 で故障の場合の開始から出来る限り
一定減速度を達成することである。好ましくは、加速
は、最大の許容レベル以下に保持される。
【００２２】故障時にスプール２０が最右端又は末端位
置にある場合に、ポジショナ３３は、既述のように、そ
のクローズドポジションまで移動する。これは、増幅チ
ャネル１６及び３２から切株状シャフト２６までの増幅
段圧力を切り離す。増幅チャネル１７及び２９内に残る
流体圧は、切株状シャフト端部の間の圧力不平衡のため
にゼロ位置に向かってスプール２０及び切株状シャフト
２６を駆動する。流体は、スプール通行オリフィス５１
を介して流出し始める。スプール２０がそのゼロ位置に
近付くにつれて、スプール通行ランド５０は、オリフィ
ス５１を介した流れを止め、流体は、ゼロオーバーライ
ドオリフィス５５を介して流れ続ける。これらの２つの
オリフィス５１及び５５は、スプール２０をそのゼロ位
置に漸次移動させ、且つ出来るだけ丁寧に連続する段に
減速効果を及ぼすために、図７に示されているような制
御的な特徴を達成するように選択される。いずれの場合
にあっても、故障時には、スプール２０は、そのセット
位置まで運ばれ、且つそこに停留される。増幅チャネル
２９内の圧力は、ポジショナ３３内に残るばね負荷に対
してスプール２０を付加する。セット位置の周りには、
ハンチングや反響は無い。その結果、連続する又は次の
段には、もっと振動が起きることはない。セット位置に
おいて、ポジショナステム３５は、スプール２０の端部
に対して当接する。調整ナット４６は、セットポイント
のためのポジショナの調整を可能にする。
置にある場合に、ポジショナ３３は、既述のように、そ
のクローズドポジションまで移動する。これは、増幅チ
ャネル１６及び３２から切株状シャフト２６までの増幅
段圧力を切り離す。増幅チャネル１７及び２９内に残る
流体圧は、切株状シャフト端部の間の圧力不平衡のため
にゼロ位置に向かってスプール２０及び切株状シャフト
２６を駆動する。流体は、スプール通行オリフィス５１
を介して流出し始める。スプール２０がそのゼロ位置に
近付くにつれて、スプール通行ランド５０は、オリフィ
ス５１を介した流れを止め、流体は、ゼロオーバーライ
ドオリフィス５５を介して流れ続ける。これらの２つの
オリフィス５１及び５５は、スプール２０をそのゼロ位
置に漸次移動させ、且つ出来るだけ丁寧に連続する段に
減速効果を及ぼすために、図７に示されているような制
御的な特徴を達成するように選択される。いずれの場合
にあっても、故障時には、スプール２０は、そのセット
位置まで運ばれ、且つそこに停留される。増幅チャネル
２９内の圧力は、ポジショナ３３内に残るばね負荷に対
してスプール２０を付加する。セット位置の周りには、
ハンチングや反響は無い。その結果、連続する又は次の
段には、もっと振動が起きることはない。セット位置に
おいて、ポジショナステム３５は、スプール２０の端部
に対して当接する。調整ナット４６は、セットポイント
のためのポジショナの調整を可能にする。
【００２３】本発明は、１つの好適実施例に関して詳細
に記載されたが、本発明は、その正確な実施例に限定さ
れない、ということが理解されるべきである。本明細書
において、記載又は構造の用語は、図示実施例の理解の
補助のために単に与えられている。左、右、上方、上及
び下といった用語は、制限的に解釈されるべきでない。
別のタイプの第１段増幅器又は多段スプール駆動装置の
ような、上記実施例の様々の変化や変更は、添付した請
求の範囲に記載されたような本発明の範囲を逸脱するこ
となく、当業者にとって明らかになろう。
に記載されたが、本発明は、その正確な実施例に限定さ
れない、ということが理解されるべきである。本明細書
において、記載又は構造の用語は、図示実施例の理解の
補助のために単に与えられている。左、右、上方、上及
び下といった用語は、制限的に解釈されるべきでない。
別のタイプの第１段増幅器又は多段スプール駆動装置の
ような、上記実施例の様々の変化や変更は、添付した請
求の範囲に記載されたような本発明の範囲を逸脱するこ
となく、当業者にとって明らかになろう。
【図１】図１は、本発明の１の好適実施例に係る減速制
御機構を組み込んだサーボ弁組立体の部分破断端面図で
ある。
御機構を組み込んだサーボ弁組立体の部分破断端面図で
ある。
【図２】図２は、図１のII−II線に沿う断面正面図であ
る。
る。
【図３】図３は、図２のIII −III 線に沿う、減速制御
機構の部分断面図である。
機構の部分断面図である。
【図４】図４は、図３のIV−IV線に沿う、減速制御機構
の拡大断面図である。
の拡大断面図である。
【図５】図５は、図１のＶ−Ｖでの詳細断面図である。
【図６】図６は、図２に示された減速制御機構の一部を
示している拡大図である。
示している拡大図である。
【図７】図７は、本発明の減速制御機構の作動後の時間
の関数としてのスプール弁ポート領域の漸次変化を示し
ているチャート図である。
の関数としてのスプール弁ポート領域の漸次変化を示し
ているチャート図である。
【図８】図８は、時間の関数としての連続する段の減速
を示しているチャート図である。
を示しているチャート図である。
１２…第１段 １３…ハウジング １４…トルクモータ １５…フラッパ弁 １９…ブシュ ２０…スプール ２２，２３…チャネル ２４…チャンバ ２６…切株状シャフト
Claims (6)
- 【請求項１】 高圧に規定される液圧源に連結された高
圧ポートと、低圧で液圧流体をそこから引き出すドレン
に連結されたリターンポートと、上記高圧及び低圧の間
の制御された各増幅圧で液圧流体を提供し且つ制御信号
の関数として変化する第１及び第２増幅ポート、とを有
し、制御信号が供給される液圧増幅段を包含する液圧サ
ーボ弁装置であって、流体弁段は、ブシュ部材内のスプ
ール部材の位置に依存して流体がそこを選択的に貫流す
る複数個の開口が穿設され且つ一般的な円筒状の内面を
有するブシュ部材内に摺動自在に配置されたスプール部
材を包含し、スプール部材は、上記開口と共に、流体流
れを制御する計量オリフィスを画成する複数個のランド
を包含し、弁本体は、上記ブシュ部材の各開口を上記液
圧源及びドレンに連結する内部形成された圧力及びリタ
ーンチャネルを有し且つ上記ブシュ部材を包含し、第１
及び第２制御チャネルは、ブシュ部材内のスプール部材
の位置に依存する第１及び第２制御流体圧の各々で流体
を分配するためのブシュ部材の別の各開口に連結され、
第１及び第２制御流体圧は、スプール部材の中央のゼロ
位置において釣り合い、第１及び第２増幅流体チャネル
は、増幅流体圧に従う形式でスプール部材の移動を強要
するために第１及び第２増幅ポートからスプール部材の
各第１及び第２端部に制御増幅流体圧を伝え、上記第１
増幅流体チャネル内に配置された減速制御機構は、スプ
ールの上記第１端部及び上記第１増幅ポートの間の流体
の流れを許す及び止める第１及び第２の位置を有するポ
ジショナ手段と、ポジショナ手段をその第１位置に強要
するための液圧アクチュエータ手段と、ポジショナ手段
をその第２位置に強要するための弾力性付勢手段、とを
包含し、電磁弁手段は、制御信号入力と、滴下オリフィ
スを介して供給源に連結された入力ポートと、ドレンに
連結された第２ポート、とを有し、入力ポートは、作動
時に供給圧力であるが、非作動時には入力圧が低い圧力
まで下降し、液圧アクチュエータは、電磁弁入力ポート
と流体連通し、少なくとも１つのリリーフチャネルは、
スプール部材の第１端部及び電磁弁入力ポートと流体連
通するように配置され、各リリーフチャネルは、そのゼ
ロ位置までのスプールの円滑な移動を可能にするために
電磁弁入力ポート及びスプール部材の第１端部の間の液
圧流体の流れを制限するように計量オリフィスを有する
ことを特徴とする液圧サーボ弁装置。 - 【請求項２】 上記スプール部材の第１端部は、外側ラ
ンド及び外側ランドから移動された溝を有するピストン
を包含し、上記少なくとも１つのリリーフチャネルは、
スプール部材がゼロ位置から移動され且つスプール部材
がゼロ位置に近付くにつれてそれによって閉じられると
きに、ランドによってさらされ且つピストンに面するポ
ートを有するスプール通行チャネルと、ピストンがゼロ
位置に近付くときに上記溝まで開かれるゼロオーバーラ
イドチャネル、とを包含することを特徴とする請求項１
に記載の液圧サーボ弁装置。 - 【請求項３】 上記スプール通行チャネル及びゼロオー
バーライドチャネルは、各々が異なる流速を提供するゼ
ロオーバーライドオリフィス及びスプール通行オリフィ
スを包含することを特徴とする請求項２に記載の液圧サ
ーボ弁装置。 - 【請求項４】 上記ピストンは、ピストンの端面及び上
記溝の間を連結するチャネルを包含することを特徴とす
る請求項３に記載の液圧サーボ弁装置。 - 【請求項５】 上記ポジショナは、ポジショナがその第
２位置にあるときに、スプール部材の第１端部に対して
実質的に軸方向に突出するステムを包含することを特徴
とする請求項１に記載の液圧サーボ弁装置。 - 【請求項６】 上記ポジショナは、ポジショナ通行オリ
フィスを介して電磁弁入力ポートと連通するポジショナ
通行ポートを介して液圧アクチュエータからの流体流れ
を開くポジショナ通行ランドを有し、ポジショナ通行ラ
ンドは、所定走行後にポジショナ通行ポジショナを閉
じ、減速制御機構は更に、液圧アクチュエータ及び電磁
弁入力ポートの間を連通し且つポジショナゼロオーバー
ライドオリフィスを内部に有するリリーフ通路を包含
し、ポジショナ通行オリフィス及びポジショナゼロオリ
フィスは、スプール部材をそのゼロ位置に押圧するため
に、ポジショナの円滑移動を可能にする各寸法を有する
ことを特徴とする請求項５に記載の液圧サーボ弁装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/877,530 US5197516A (en) | 1992-05-01 | 1992-05-01 | Hydraulic servo valve with controlled disengagement feature |
| US877530 | 1992-05-01 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0610910A true JPH0610910A (ja) | 1994-01-21 |
| JP3254037B2 JP3254037B2 (ja) | 2002-02-04 |
Family
ID=25370162
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10418193A Expired - Fee Related JP3254037B2 (ja) | 1992-05-01 | 1993-04-30 | 液圧サーボ弁装置 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5197516A (ja) |
| EP (1) | EP0578583B1 (ja) |
| JP (1) | JP3254037B2 (ja) |
| CA (1) | CA2095314C (ja) |
| DE (1) | DE69306870T2 (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6996982B2 (en) * | 2003-12-09 | 2006-02-14 | The United States Of America As Represented By The Administrator Of The Environmental Protection Agency | Method and device for switching hydraulic fluid supplies, such as for a hydraulic pump/motor |
| US7066710B2 (en) * | 2004-05-27 | 2006-06-27 | Honeywell International, Inc. | Pneumatic valve control having improved opening characteristics and an air turbine starter incorporating the same |
| US7147430B2 (en) * | 2004-06-10 | 2006-12-12 | Honeywell International, Inc. | Pneumatic valve control using downstream pressure feedback and an air turbine starter incorporating the same |
| US8464962B2 (en) * | 2005-02-22 | 2013-06-18 | Showerstart, Llc | 3-stage temperature control valve |
| GB201310452D0 (en) | 2013-06-12 | 2013-07-24 | Blagdon Actuation Res Ltd | Fluid Manifolds |
| WO2019112556A1 (en) | 2017-12-05 | 2019-06-13 | Flowserve Management Company | Position sensors for valve systems and related assemblies, systems and methods |
| US11851163B2 (en) | 2022-04-25 | 2023-12-26 | Hamilton Sundstrand Corporation | Hydraulically locking actuator configuration |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3228423A (en) * | 1956-01-23 | 1966-01-11 | Moog Servocontrols Inc | Fluid control valve in which a mechanical motion is transmitted from a dry region to a pressurized fluid filled region |
| US3078863A (en) * | 1957-04-12 | 1963-02-26 | Bell Aerospace Corp | Electro hydraulic servo device |
| US3221760A (en) * | 1957-04-12 | 1965-12-07 | Bell Aerospace Corp | Dry coil servo valve |
| US3712339A (en) * | 1970-11-10 | 1973-01-23 | Rexroth G Lohrer Eisenwerk Gmb | Regulating apparatus with throttle gaps |
| US3910314A (en) * | 1973-08-16 | 1975-10-07 | Koehring Co | High-speed shutoff and dump valve |
| US4046165A (en) * | 1975-06-04 | 1977-09-06 | Ibec Industries, Inc. | Valve-positioning apparatus |
| US4041983A (en) * | 1975-07-09 | 1977-08-16 | Caterpillar Tractor Co. | Pressure controlled swing valve with safety feature |
| DE2709445A1 (de) * | 1977-03-04 | 1978-09-07 | Hans W Dipl Ing Pongratz | Hydraulische daempfungseinrichtung mit hochpassverhalten fuer hydraulische servozylinder und -motoren |
| US4185660A (en) * | 1978-02-21 | 1980-01-29 | Consolidation Coal Company | Directional control valve |
| US4337797A (en) * | 1980-08-18 | 1982-07-06 | Moog Inc. | Bimetallic valve spool |
| US4456031A (en) * | 1982-05-03 | 1984-06-26 | Vickers, Incorporated | Electro-hydraulic servo valve system |
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-
1992
- 1992-05-01 US US07/877,530 patent/US5197516A/en not_active Expired - Lifetime
-
1993
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