JPH0610882U - Distance measuring device - Google Patents

Distance measuring device

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JPH0610882U
JPH0610882U JP4768592U JP4768592U JPH0610882U JP H0610882 U JPH0610882 U JP H0610882U JP 4768592 U JP4768592 U JP 4768592U JP 4768592 U JP4768592 U JP 4768592U JP H0610882 U JPH0610882 U JP H0610882U
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JP
Japan
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light
light source
distance
correction value
temperature sensor
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JP4768592U
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Japanese (ja)
Inventor
誠 奈良
Original Assignee
株式会社ニコン
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 誤差の極めて少ない距離測定装置を得る。 【構成】 光源の温度を測定する温度センサ(20)
と、光源の出力波長の変化に伴う媒体の屈折率の変化を
前記温度センサの出力に基づいて算出し、該屈折率の変
化に対応した補正値を作成する補正値算出手段(22)
と、光源から出射された光パルスを測定対象物に向けて
送光し、測定対象物からの反射光パルスを受光器で受光
して、媒体中を伝搬する光パルスの伝搬時間を測定する
と共に、伝搬時間と補正値とから測定対象物までの距離
を算出する演算手段(18)とを備える。
(57) [Abstract] [Purpose] To obtain a distance measuring device with very few errors. [Configuration] Temperature sensor (20) for measuring the temperature of the light source
And a correction value calculation means (22) for calculating a change in the refractive index of the medium due to a change in the output wavelength of the light source based on the output of the temperature sensor and creating a correction value corresponding to the change in the refractive index.
And, the optical pulse emitted from the light source is sent toward the measurement target, the reflected light pulse from the measurement target is received by the light receiver, and the propagation time of the optical pulse propagating in the medium is measured. And a calculation means (18) for calculating the distance to the measurement object from the propagation time and the correction value.

Description

【考案の詳細な説明】[Detailed description of the device]

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】[Industrial applications]

本考案は変調された光信号を使用する距離測定装置に関する。 The present invention relates to a distance measuring device using a modulated optical signal.

【0002】[0002]

【従来の技術】[Prior art]

従来のこの種の装置は、測距目標に設置したプリズム反射鏡までを光が往復す る時間を測定することにより距離を求めており、光源を15MHz程度の高周波 で変調し、受信光から得られた信号と変調信号の間の位相を測定し、その後媒体 (大気)の屈折率nを乗じて距離Dを求める方式であった。 This type of conventional device obtains the distance by measuring the time it takes for the light to travel back and forth to the prism reflector installed at the distance measurement target. The light source is modulated at a high frequency of about 15 MHz and obtained from the received light. In this method, the phase between the generated signal and the modulated signal is measured, and then the distance D is calculated by multiplying the refractive index n of the medium (atmosphere).

【0003】 測距儀を用いた距離測定に伴う誤差は、気象条件等の外部要因と、機械内部の 構造や特性に起因する内部要因とに分けられる。通常、測距精度は、距離Dに依 存しない項と依存する項とで±(a+b×D)の如く表される。aが距離に依存 しない項に対応し、bが距離に依存する項に対応している。距離に依存しない項 は、電気回路の温度安定性や、光学的,機械的安定性に起因するものである。距 離に依存する項は主に、周波数シンセサイザの原振に用いた水晶発振器の安定度 や光源の搬送波長の変動に起因するものである。Errors caused by distance measurement using a rangefinder are divided into external factors such as meteorological conditions and internal factors resulting from the internal structure and characteristics of the machine. Normally, the distance measurement accuracy is expressed as ± (a + b × D) with a term that does not depend on the distance D and a term that depends on it. a corresponds to a term that does not depend on distance, and b corresponds to a term that depends on distance. The distance-independent term is due to the temperature stability, optical, and mechanical stability of the electric circuit. The term that depends on the distance is mainly due to the stability of the crystal oscillator used for the oscillation of the frequency synthesizer and the fluctuation of the carrier wavelength of the light source.

【0004】 図4は、20℃でλc=0.85μmの赤外光を射出する発光素子を、一定の 駆動電流で駆動した場合における、発光素子の搬送波長の中心値λcの変化特性 を示す。横軸は温度T(℃)を表し、縦軸は20℃の時をゼロとした時のピーク 発光波長の偏差を表す。図から明らかなように、搬送波長の中心値λcは、駆動 電流が一定であると温度の変動に伴って直線的に変化する。その理由は、温度変 動により、光源における共振器の長さと導波路形共振器内の活性層の屈折率が変 動し、縦モード周波数が変化するからである。温度に対する波長の変化率は発光 材料によって異なるが、0.2〜0.4nm/℃である。FIG. 4 shows the change characteristics of the center value λc of the carrier wavelength of the light emitting element when the light emitting element that emits infrared light of λc = 0.85 μm at 20 ° C. is driven with a constant drive current. . The horizontal axis represents the temperature T (° C.), and the vertical axis represents the deviation of the peak emission wavelength when the temperature at 20 ° C. is zero. As is clear from the figure, the center value λc of the carrier wavelength changes linearly with a change in temperature when the driving current is constant. The reason is that the length of the resonator in the light source and the refractive index of the active layer in the waveguide resonator change due to the temperature change, and the longitudinal mode frequency changes. The rate of change of wavelength with respect to temperature varies depending on the light emitting material, but is 0.2 to 0.4 nm / ° C.

【0005】[0005]

【考案が解決しようとする課題】 従来の技術では、長距離測距儀用の光源として、波長安定化された気体レーザ や温度制御を施した半導体レーザ等を用いた場合には、上記の誤差項目のなかで 搬送波長の変動による影響は無視することができるが、温度制御しない場合には 、特に長距離測距時に誤差が発生する恐れがあった。In the prior art, when a gas laser with a stabilized wavelength or a semiconductor laser with temperature control is used as a light source for a long-distance rangefinder, the above-mentioned error occurs. Among the items, the influence of carrier wavelength fluctuations can be ignored, but if temperature control is not performed, an error may occur especially during long-distance measurement.

【0006】 本考案はこのような従来の問題点に鑑みてなされたもので、光源の温度制御を しなくても、誤差の極めて少ない距離測定装置を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of such conventional problems, and an object of the present invention is to provide a distance measuring device having an extremely small error without controlling the temperature of the light source.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】[Means for Solving the Problems]

本考案は、光源部から出射された光パルスを測定対象物に向けて送光し、測定 対象物からの反射光パルスを受光器で受光して、媒体中を伝搬する前記光パルス の伝搬時間を測定することにより、測定対象物までの距離を算出する距離測定装 置であって、光源部の温度を測定する温度センサ(例えば、実施例の温度センサ 20)と、光源部の出力波長の変化に伴う媒体の屈折率の変化を前記温度センサ の出力に基づいて算出し、該屈折率の変化に対応した補正値を作成する補正値算 出手段(例えば、実施例の補正値算出回路22)と、前記伝搬時間とこの補正値 とから測定対象物までの距離を算出する演算手段(例えば、実施例の演算処理回 路18)とを備えたことを特徴とする。 According to the present invention, a light pulse emitted from a light source unit is sent to an object to be measured, a light pulse reflected from the object to be measured is received by a light receiver, and the propagation time of the light pulse propagating in the medium is measured. Is a distance measuring device that calculates the distance to the measurement object by measuring the temperature of the light source unit (for example, the temperature sensor 20 of the embodiment) and the output wavelength of the light source unit. A correction value calculating means for calculating a change in the refractive index of the medium due to the change based on the output of the temperature sensor and creating a correction value corresponding to the change in the refractive index (for example, the correction value calculating circuit 22 of the embodiment). ), And a calculation means (for example, the calculation processing circuit 18 of the embodiment) for calculating the distance to the object to be measured from the propagation time and the correction value.

【0008】 光源は、発光素子(例えば、発光ダイオード,高輝度スーパールミネッセント ダイオードや半導体レーザ等の発光素子24)とそれを保持する放熱部材(例え ば、実施例の放熱容器26)とによって構成されることが好ましく、温度センサ は放熱部材に設けられることが好ましい。 また、放熱部材には、前記発光素子に近接した位置に孔が穿設され、温度セン サは該孔の内部に配置されることが好ましい。The light source includes a light emitting element (for example, a light emitting diode, a light emitting element 24 such as a high-intensity superluminescent diode, a semiconductor laser, etc.) and a heat dissipation member (for example, a heat dissipation container 26 of the embodiment) that holds the light emitting element. Preferably, the temperature sensor is provided on the heat dissipation member. Further, it is preferable that a hole is formed in the heat dissipation member in a position close to the light emitting element, and the temperature sensor is arranged inside the hole.

【0009】[0009]

【作用】[Action]

上記構成の本考案の距離測定装置においては、温度センサにより光源部の温度 が測定され、光源部の出力波長が算出される。実際に発光される光パルスの搬送 波長を求めているので、媒体における正確な位相屈折率または群屈折率を算出す ることができ、それに基づいて作成した補正値によって、伝搬時間から算出した 測定対象物までの距離が補正される。 In the distance measuring device of the present invention having the above structure, the temperature of the light source unit is measured by the temperature sensor, and the output wavelength of the light source unit is calculated. Since the carrier wavelength of the light pulse that is actually emitted is obtained, the accurate phase index or group index in the medium can be calculated, and the correction value created based on this can be used to measure the propagation time. The distance to the object is corrected.

【0010】[0010]

【実施例】【Example】

本考案の実施例について図面を参照して詳しく説明する。図1は本考案による 測距装置の実施例を示す。トリガ発生回路2は、トリガ信号を出力する。パルス 駆動回路4は、トリガ信号を受けると、オン状態に切り換えられて電流パルスを 光源部6に供給し、光源部6から光パルスを発生させる。 Embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. FIG. 1 shows an embodiment of a distance measuring device according to the present invention. The trigger generation circuit 2 outputs a trigger signal. When the pulse drive circuit 4 receives the trigger signal, it is switched to the ON state to supply a current pulse to the light source unit 6 and cause the light source unit 6 to generate an optical pulse.

【0011】 光パルスは、送光光学系8により測定対象物へ向けて送光される。測定対象物 で反射した光の一部は、受光光学系10を介して受光器12にて検出される。こ の実施例では、受光器12は受光パルスを電気信号である受光信号に変換する。 受光器12から出力される受光信号は、増幅回路14で増幅された後、時間測定 回路16へ入力される。The light pulse is sent by the light sending optical system 8 toward the object to be measured. A part of the light reflected by the object to be measured is detected by the light receiver 12 via the light receiving optical system 10. In this embodiment, the light receiver 12 converts the light receiving pulse into a light receiving signal which is an electric signal. The light receiving signal output from the light receiver 12 is amplified by the amplifier circuit 14 and then input to the time measuring circuit 16.

【0012】 時間測定回路16は、トリガ発生回路2からトリガ信号を受けると同時に時間 測定を開始し、受光信号を受けると時間測定を終了する。こうして測定された光 パルスの伝搬時間は、演算処理回路18に供給される。 光源部6には温度センサ20が設けられており、温度センサ20の測定出力は 、補正値算出回路22に入力される。補正値算出回路22は、後述する方法に従 って気象補正係数Kを算出する。算出された気象補正係数Kは、電気信号である 補正信号に変換されて、演算処理回路18に入力される。演算処理回路18は、 供給された伝搬時間測定値と補正信号とに基づいて、測定対象物までの距離Dを 計算する。The time measuring circuit 16 starts the time measurement at the same time as receiving the trigger signal from the trigger generating circuit 2, and ends the time measurement when receiving the light receiving signal. The propagation time of the optical pulse thus measured is supplied to the arithmetic processing circuit 18. The light source unit 6 is provided with a temperature sensor 20, and the measurement output of the temperature sensor 20 is input to the correction value calculation circuit 22. The correction value calculation circuit 22 calculates the weather correction coefficient K according to the method described later. The calculated weather correction coefficient K is converted into a correction signal which is an electric signal and input to the arithmetic processing circuit 18. The arithmetic processing circuit 18 calculates the distance D to the measurement object based on the supplied propagation time measurement value and the correction signal.

【0013】 図2は、光源部6の構成の一例を示す。発光ダイオード,高輝度スーパールミ ネッセントダイオード,または半導体レーザ等から成る発光素子24は、円筒状 の放熱容器26の内部に配置される。放熱容器26は、熱伝導率の高い金属等に よって形成され、内周に雌ねじが形成されている。放熱容器26の内部には、外 周に雄ねじを有する押さえ環28がねじ込まれ、発光素子24の底面を放熱容器 26の内部表面に密接させるように、発光素子24を固定している。放熱容器2 6には小孔30が設けられ、温度センサ20が挿入されている。温度センサ20 は、サーミスタ等の測温素子であり、発光素子24の温度変化を放熱容器20を 通して測定する。FIG. 2 shows an example of the configuration of the light source unit 6. A light emitting element 24 including a light emitting diode, a high brightness super luminescent diode, a semiconductor laser, or the like is arranged inside a cylindrical heat dissipation container 26. The heat dissipation container 26 is made of a metal having a high thermal conductivity, and has an internal thread formed on the inner circumference. A retaining ring 28 having a male screw on the outer periphery is screwed into the heat dissipation container 26, and the light emitting device 24 is fixed so that the bottom surface of the light emitting device 24 is brought into close contact with the inner surface of the heat dissipation container 26. A small hole 30 is provided in the heat dissipation container 26, and the temperature sensor 20 is inserted therein. The temperature sensor 20 is a temperature measuring element such as a thermistor, and measures the temperature change of the light emitting element 24 through the heat dissipation container 20.

【0014】 次に、図1の実施例の動作を図3のフローチャートを参照しながら説明する。 測距開始に伴って、測距地点の気温,気圧,水蒸気圧等の気象条件を測定し、そ の結果を、例えば装置本体に設けられた図示なき操作部から、補正値算出回路2 2に入力する(ステップ1)。次に、補正値算出回路22は、温度センサ20の 測定出力を読み出し(ステップ2)、ステップ3において光源部6の射出光の中 心波長λcを、次のようにして算出する。Next, the operation of the embodiment of FIG. 1 will be described with reference to the flowchart of FIG. When the distance measurement is started, the meteorological conditions such as the temperature, atmospheric pressure, water vapor pressure at the distance measuring point are measured, and the results are sent to the correction value calculation circuit 22 from, for example, an operation unit (not shown) provided in the apparatus body. Input (step 1). Next, the correction value calculation circuit 22 reads the measurement output of the temperature sensor 20 (step 2), and calculates the center wavelength λc of the light emitted from the light source unit 6 in step 3 as follows.

【0015】 まず、温度に対する波長の変化率を求めておく。光スペクトルアナライザ等を 用いれば、光源のスペクトルの中心波長を計測できるので、任意の少なくとも2 か所の温度での中心波長を求めれば、その結果から温度に対する波長の変化率を 求めることができる。例えば、20℃における中心波長を0.85μm,温度に 対する波長の変化率をαとすると、ある温度T(℃)における中心波長λcは、 数式1によって求められる。First, the rate of change of wavelength with respect to temperature is obtained. Since the center wavelength of the spectrum of the light source can be measured by using an optical spectrum analyzer or the like, if the center wavelength at any two arbitrary temperatures is obtained, the rate of change of the wavelength with respect to temperature can be obtained from the result. For example, assuming that the central wavelength at 20 ° C. is 0.85 μm and the rate of change of the wavelength with respect to temperature is α, the central wavelength λc at a certain temperature T (° C.) can be calculated by Formula 1.

【0016】[0016]

【数1】 [Equation 1]

【0017】 次のステップ4において、補正値算出回路22は気象補正係数Kを算出する。 単一波長の光波は位相速度で大気中を進み、この時の大気中の屈折率を位相屈折 率np と称する。また、複数の波長から成る光波は群速度で大気中を進み、この 時の屈折率を群屈折率ng と称する。本実施例のように、発光ダイオードやスー パールミネッセントダイオードを光源に用いた場合には、それらのスペクトル幅 が広いため、大気中の屈折率としては、群屈折率ng が用いられる。In the next step 4, the correction value calculation circuit 22 calculates the weather correction coefficient K. A light wave of a single wavelength travels in the atmosphere at a phase velocity, and the refractive index in the atmosphere at this time is called the phase refractive index np. A light wave having a plurality of wavelengths travels in the atmosphere at a group velocity, and the refractive index at this time is referred to as a group refractive index ng. When a light emitting diode or a super luminescent diode is used as a light source as in the present embodiment, the spectral width thereof is wide, so that the group refractive index ng is used as the refractive index in the atmosphere.

【0018】 大気の群屈折率ng を求めるには、位相屈折率np を求め、これを換算する。 即ち、まず数式2に従って位相屈折率np を求める。To determine the group refractive index ng of the atmosphere, the phase refractive index np is calculated and converted. That is, first, the phase refractive index np is obtained according to the equation (2).

【0019】[0019]

【数2】 [Equation 2]

【0020】 ここでσ=1/λc(μm-1),Pは気圧(Torr),tは気温(℃),fは 水蒸気圧(Torr)をそれぞれ表す。そして、数式3に従って群屈折率ng を 求める。Here, σ = 1 / λc (μm −1 ), P is atmospheric pressure (Torr), t is temperature (° C.), and f is water vapor pressure (Torr). Then, the group refractive index ng is obtained according to the equation (3).

【0021】[0021]

【数3】 [Equation 3]

【0022】 数式3において、σ2 をΣと置いて、数式2を数式3に代入し、群屈折率ng を求めると、数式4の如く計算される。In Equation 3, σ 2 is set to Σ, Equation 2 is substituted into Equation 3, and the group refractive index ng is obtained, which is calculated as Equation 4.

【0023】[0023]

【数4】 [Equation 4]

【0024】 工業標準(気温20℃,気圧760Torr,水蒸気圧10Torr,炭酸ガス0.0 3%)における群屈折率(ng =1.000273770)を使用した時の気象 補正係数Kは、数式5の如くになる。The meteorological correction coefficient K when the group refractive index (ng = 1.000273770) at the industrial standard (temperature of 20 ° C., atmospheric pressure of 760 Torr, water vapor pressure of 10 Torr, carbon dioxide gas of 0.03%) is used is It becomes like

【0025】[0025]

【数5】 [Equation 5]

【0026】 次のステップ5では、以下のようにして測距値Dが算出される。即ち、トリガ 発生回路2がトリガ信号を出力する。パルス駆動回路4は、トリガ信号を受ける と、オンに切り換えられて電流パルスを光源部6に供給し、光源部6から光パル スを発生させる。光パルスは、送光光学系8により測定対象物へ向けて送光され る。測定対象物で反射した光の一部は、受光光学系10を介して受光器12にて 検出される。受光器12は、受光パルスを電気信号である受光信号に変換して出 力する。受光信号は、増幅回路14で増幅された後、時間測定回路16に入力さ れる。In the next step 5, the distance measurement value D is calculated as follows. That is, the trigger generation circuit 2 outputs a trigger signal. When the pulse drive circuit 4 receives the trigger signal, it is turned on to supply a current pulse to the light source unit 6 and cause the light source unit 6 to generate an optical pulse. The light pulse is sent to the object to be measured by the light sending optical system 8. Part of the light reflected by the measurement object is detected by the light receiver 12 via the light receiving optical system 10. The light receiver 12 converts the light reception pulse into a light reception signal which is an electric signal and outputs the light reception signal. The received light signal is amplified by the amplifier circuit 14 and then input to the time measuring circuit 16.

【0027】 一方、時間測定回路16は、トリガ発生回路2のトリガ信号に同期して、時間 測定を開始し、増幅された受光信号を受けると時間測定を終了する。このように して測定された光パルスの伝搬時間は、演算処理回路18に供給される。演算処 理回路18は、供給された伝搬時間測定値に基づいて測距値Dを算出する。 次のステップ6において、演算処理回路18は、測距値Dと補正値算出回路2 2で算出された気象補正係数Kとを用いて、気象補正された距離D’を数式6に 従って計算する。On the other hand, the time measuring circuit 16 starts the time measurement in synchronization with the trigger signal of the trigger generating circuit 2 and ends the time measurement when receiving the amplified light receiving signal. The propagation time of the optical pulse thus measured is supplied to the arithmetic processing circuit 18. The arithmetic processing circuit 18 calculates the distance measurement value D based on the supplied propagation time measurement value. In the next step 6, the arithmetic processing circuit 18 calculates the weather-corrected distance D ′ according to Equation 6 using the distance measurement value D and the weather correction coefficient K calculated by the correction value calculation circuit 22. .

【0028】[0028]

【数6】 [Equation 6]

【0029】 そして演算処理回路18は、この気象補正された距離D’を、最終的な測距値 として出力する(ステップ7)。Then, the arithmetic processing circuit 18 outputs the weather corrected distance D'as a final distance measurement value (step 7).

【0030】[0030]

【考案の効果】[Effect of device]

以上のように、本考案によれば、光源の中心出力波長を実時間で測定すること ができるため、温度変化に伴なう波長変動に起因する測距誤差を回避し、長距離 測距においても極めて高精度な距離測定が可能になる。 As described above, according to the present invention, since the central output wavelength of the light source can be measured in real time, the distance measurement error caused by the wavelength fluctuation caused by the temperature change can be avoided, and the long distance measurement can be performed. Also enables extremely highly accurate distance measurement.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本考案の実施例による高精度測距装置の構成を
示すブロック図である。
FIG. 1 is a block diagram showing a configuration of a high precision distance measuring device according to an embodiment of the present invention.

【図2】光源部の実施例の断面図である。FIG. 2 is a sectional view of an embodiment of a light source unit.

【図3】本考案の実施例の動作を示すフローチャートで
ある。
FIG. 3 is a flowchart showing the operation of the embodiment of the present invention.

【図4】光源の射出光における中心波長の温度依存性を
示すグラフである。
FIG. 4 is a graph showing the temperature dependence of the center wavelength of the light emitted from the light source.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

6 ・・・・光源部 16・・・・時間測定回路 18・・・・演算処理回路 20・・・・温度センサ 22・・・・補正値算出回路 24・・・・発光素子 26・・・・放熱容器 30・・・・小孔 6 ... Light source unit 16 ... Time measurement circuit 18 ... Calculation processing circuit 20 ... Temperature sensor 22 ... Correction value calculation circuit 24 ... Light emitting element 26 ...・ Radiation container 30 ・ ・ ・ ・ Small hole

Claims (3)

【実用新案登録請求の範囲】[Scope of utility model registration request] 【請求項1】 光源部から出射された光パルスを測定対
象物に向けて送光し、前記測定対象物からの反射光パル
スを受光器で受光して、媒体中を伝搬する前記光パルス
の伝搬時間を測定することにより、前記測定対象物まで
の距離を算出する距離測定装置において、 前記光源部の温度を測定する温度センサと、 前記光源部の出力波長の変化に伴う媒体の屈折率の変化
を前記温度センサの出力に基づいて算出し、該屈折率の
変化に対応した補正値を作成する補正値算出手段と、 前記伝搬時間と前記補正値とから前記測定対象物までの
距離を算出する演算手段とを備えたことを特徴とする距
離測定装置。
1. A light pulse emitted from a light source unit is sent to an object to be measured, a reflected light pulse from the object to be measured is received by a photoreceiver, and the optical pulse of the light pulse propagating in the medium is received. In the distance measuring device for calculating the distance to the measurement object by measuring the propagation time, a temperature sensor for measuring the temperature of the light source unit, and the refractive index of the medium accompanying the change in the output wavelength of the light source unit. A correction value calculating unit that calculates a change based on the output of the temperature sensor and creates a correction value corresponding to the change in the refractive index, and calculates a distance to the measurement object from the propagation time and the correction value. A distance measuring device comprising:
【請求項2】 前記光源部は、発光素子と、該発光素子
を保持する放熱部材とを有し、前記温度センサは前記放
熱部材に設けられたことを特徴とする請求項1記載の距
離測定装置。
2. The distance measuring device according to claim 1, wherein the light source unit has a light emitting element and a heat radiating member that holds the light emitting element, and the temperature sensor is provided on the heat radiating member. apparatus.
【請求項3】 前記放熱部材には、前記発光素子に近接
した位置に穿設された孔を有し、前記温度センサは該孔
の内部に配置されたことを特徴とする請求項2記載の距
離測定装置。
3. The heat radiating member has a hole formed in a position close to the light emitting element, and the temperature sensor is arranged inside the hole. Distance measuring device.
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