JPH06107333A - ウエハ検出装置 - Google Patents
ウエハ検出装置Info
- Publication number
- JPH06107333A JPH06107333A JP25827392A JP25827392A JPH06107333A JP H06107333 A JPH06107333 A JP H06107333A JP 25827392 A JP25827392 A JP 25827392A JP 25827392 A JP25827392 A JP 25827392A JP H06107333 A JPH06107333 A JP H06107333A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【目的】確実にウエハの有無を認識できるウエハ検出装
置を提供すること。 【構成】ウエハの片面に対向配置される発光素子と、こ
の発光素子とウエハの間に配置され発光素子から出射さ
れる検出光を互いに異なる角度でウエハに入射する第一
検出光と第二検出光に分割するハーフミラーと、ウエハ
の反射面で反射された第一検出光及び第二検出光を受光
する一つ以上の受光素子とを具備することを特徴とす
る。
置を提供すること。 【構成】ウエハの片面に対向配置される発光素子と、こ
の発光素子とウエハの間に配置され発光素子から出射さ
れる検出光を互いに異なる角度でウエハに入射する第一
検出光と第二検出光に分割するハーフミラーと、ウエハ
の反射面で反射された第一検出光及び第二検出光を受光
する一つ以上の受光素子とを具備することを特徴とす
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体製造装置のウエ
ハ搬送部に設けられるウエハ検出装置に係わるものであ
り、特に、ウエハ検出動作の安定性を改良したウエハ検
出装置に関するものである。
ハ搬送部に設けられるウエハ検出装置に係わるものであ
り、特に、ウエハ検出動作の安定性を改良したウエハ検
出装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】ウエハを自動搬送する半導体製造装置に
おいては、適当な場所にウエハ検出装置を設置し、ウエ
ハが確実に搬送されたことを確認するようにしている。
以下、従来のウエハ検出装置を図面を用いて説明する。
図３は、従来のウエハ検出装置の一例を示す概念図であ
る。図３において、ウエハ１はローラー４の上に乗って
いて、ローラー４が紙面に垂直方向に回転されることに
よって、ウエハ１は紙面に平行方向に搬送されることと
なっている。そしてウエハ検出装置はウエハ１の片面に
対向配置される一組の発光素子１０と受光素子２０とで
構成されている。
おいては、適当な場所にウエハ検出装置を設置し、ウエ
ハが確実に搬送されたことを確認するようにしている。
以下、従来のウエハ検出装置を図面を用いて説明する。
図３は、従来のウエハ検出装置の一例を示す概念図であ
る。図３において、ウエハ１はローラー４の上に乗って
いて、ローラー４が紙面に垂直方向に回転されることに
よって、ウエハ１は紙面に平行方向に搬送されることと
なっている。そしてウエハ検出装置はウエハ１の片面に
対向配置される一組の発光素子１０と受光素子２０とで
構成されている。
【０００３】次に、上記ウエハ検出装置の動作を説明す
る。図３に示すようにウエハ１が存在する場合は、発光
素子１０から出射された検出光１００はウエハ１の反射
面２で反射し、受光素子２０に入射する。受光素子２０
は入射した検出光１００のエネルギーに対応する電流を
発生してウエハ検出信号とし、ウエハ１の存在を認識す
る。
る。図３に示すようにウエハ１が存在する場合は、発光
素子１０から出射された検出光１００はウエハ１の反射
面２で反射し、受光素子２０に入射する。受光素子２０
は入射した検出光１００のエネルギーに対応する電流を
発生してウエハ検出信号とし、ウエハ１の存在を認識す
る。
【０００４】図４はウエハが存在しない場合のウエハ検
出装置の動作を説明する図である。図４に示すようにウ
エハ１が存在しない場合は、発光素子１０から出射され
た検出光１００は受光素子２０に入射しない為、受光素
子２０は電流を発生しない。従ってウエハ１は存在しな
いと認識される。
出装置の動作を説明する図である。図４に示すようにウ
エハ１が存在しない場合は、発光素子１０から出射され
た検出光１００は受光素子２０に入射しない為、受光素
子２０は電流を発生しない。従ってウエハ１は存在しな
いと認識される。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】このような従来の技術
にあっては、ウエハ１の発光素子１０に対向する面に簿
膜が形成され、その簿膜の表面が反射面２となり、簿膜
の膜厚と、ウエハ１と簿膜と媒質それぞれの屈折率と、
検出光１００の波長と、検出光１００の反射面２への入
射角とが互いにある特定の条件（無反射条件）を満たし
た場合には、検出光１００は反射面２で反射されず、受
光素子２０に検出光１００が入射しないことがある。従
って、ウエハ１が存在するにも係わらず、ウエハ１は存
在しないと誤って認識されるという問題があった。
にあっては、ウエハ１の発光素子１０に対向する面に簿
膜が形成され、その簿膜の表面が反射面２となり、簿膜
の膜厚と、ウエハ１と簿膜と媒質それぞれの屈折率と、
検出光１００の波長と、検出光１００の反射面２への入
射角とが互いにある特定の条件（無反射条件）を満たし
た場合には、検出光１００は反射面２で反射されず、受
光素子２０に検出光１００が入射しないことがある。従
って、ウエハ１が存在するにも係わらず、ウエハ１は存
在しないと誤って認識されるという問題があった。
【０００６】この問題点について図５を用いて説明す
る。図５は従来のウエハ検出装置の問題点を説明する図
である。図５において、屈折率Ｎ2を有するウエハ１の
発光素子１０に対向する面に屈折率Ｎ1、膜厚ｄの簿膜
３が形成され、その簿膜の表面が反射面２となり、波長
λ1の検出光１００が屈折率Ｎ0の媒質中より入射角θで
反射面２に入射した場合に検出光１００が無反射となる
条件は、次式、 Ｎ1 2＝（Ｎ2Ｓｉｎθ）2＋（Ｎ2Ｃｏｓθ）（Ｎ0 2−Ｎ2 2Ｓｉｎθ）1/2（１） Ｎ1ｄＣｏｓθ＝λ1／４ （２） で表わされることが、石黒浩三、池田英生、横田英嗣共
著、光学技術シリーズ１１、「光学簿膜」頁２３、１９
８６年１０月１０日、共立出版株式会社刊、において示
されている。
る。図５は従来のウエハ検出装置の問題点を説明する図
である。図５において、屈折率Ｎ2を有するウエハ１の
発光素子１０に対向する面に屈折率Ｎ1、膜厚ｄの簿膜
３が形成され、その簿膜の表面が反射面２となり、波長
λ1の検出光１００が屈折率Ｎ0の媒質中より入射角θで
反射面２に入射した場合に検出光１００が無反射となる
条件は、次式、 Ｎ1 2＝（Ｎ2Ｓｉｎθ）2＋（Ｎ2Ｃｏｓθ）（Ｎ0 2−Ｎ2 2Ｓｉｎθ）1/2（１） Ｎ1ｄＣｏｓθ＝λ1／４ （２） で表わされることが、石黒浩三、池田英生、横田英嗣共
著、光学技術シリーズ１１、「光学簿膜」頁２３、１９
８６年１０月１０日、共立出版株式会社刊、において示
されている。
【０００７】入射角θ≒０で、ウエハ１がＳｉ製の場合
はＮ2＝３．４１、媒質が空気の場合はＮ0＝１であり、
式（１）を満たすＮ1の値は、計算よりＮ1＝１．８５と
なる。そしてλ1＝８５００オングストロームと仮定し
た場合、式（２）を満たすｄの値は計算より、ｄ＝１１
５０オングストロームとなる。
はＮ2＝３．４１、媒質が空気の場合はＮ0＝１であり、
式（１）を満たすＮ1の値は、計算よりＮ1＝１．８５と
なる。そしてλ1＝８５００オングストロームと仮定し
た場合、式（２）を満たすｄの値は計算より、ｄ＝１１
５０オングストロームとなる。
【０００８】つまり、Ｓｉ製のウエハ１の発光素子１０
に対向する面に屈折率１．８５、膜厚１１５０オングス
トロームの簿膜３が形成されその表面を反射面２とし、
出射される検出光１００の波長が８５００オングストロ
ームで入射角が０°となる発光素子１０を設置した場合
は、検出光１００は無反射条件を満たすこととなる。従
って、検出光１００は反射面２で反射されず、受光素子
２０には検出光１００が入射しない為ウエハ１が存在す
るにも係わらず、ウエハ１は存在しないと誤って認識さ
れることとなる。
に対向する面に屈折率１．８５、膜厚１１５０オングス
トロームの簿膜３が形成されその表面を反射面２とし、
出射される検出光１００の波長が８５００オングストロ
ームで入射角が０°となる発光素子１０を設置した場合
は、検出光１００は無反射条件を満たすこととなる。従
って、検出光１００は反射面２で反射されず、受光素子
２０には検出光１００が入射しない為ウエハ１が存在す
るにも係わらず、ウエハ１は存在しないと誤って認識さ
れることとなる。
【０００９】本発明は、従来の有するこのような問題点
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、安定した動作で確実にウエハの有無を認識できるウ
エハ検出装置を提供することである。
に鑑みてなされたものであり、その目的とするところ
は、安定した動作で確実にウエハの有無を認識できるウ
エハ検出装置を提供することである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明は、請求項１においては、ウエハの片面に対
向配置される発光素子と、この発光素子と前記ウエハの
間に配置され前記発光素子から出射される検出光を互い
に異なる角度で前記ウエハに入射する第一検出光と第二
検出光に分割するハーフミラーと、前記ウエハの反射面
で反射された前記第一検出光及び前記第二検出光を受光
する一つ以上の受光素子とを具備することを特徴とする
ウエハ検出装置であり、請求項２においては、ウエハの
片面に対向配置される複数の発光素子と、この複数の発
光素子から出射され前記ウエハの反射面で反射される互
いに波長の異なる複数の検出光を受光する一つ以上の受
光素子とを具備することを特徴とするウエハ検出装置で
ある。
に、本発明は、請求項１においては、ウエハの片面に対
向配置される発光素子と、この発光素子と前記ウエハの
間に配置され前記発光素子から出射される検出光を互い
に異なる角度で前記ウエハに入射する第一検出光と第二
検出光に分割するハーフミラーと、前記ウエハの反射面
で反射された前記第一検出光及び前記第二検出光を受光
する一つ以上の受光素子とを具備することを特徴とする
ウエハ検出装置であり、請求項２においては、ウエハの
片面に対向配置される複数の発光素子と、この複数の発
光素子から出射され前記ウエハの反射面で反射される互
いに波長の異なる複数の検出光を受光する一つ以上の受
光素子とを具備することを特徴とするウエハ検出装置で
ある。
【００１１】
【作用】このような本発明では、請求項１においては、
第一検出光と第二検出光は互いに異なる入射角でウエハ
に入射するので、第一検出光と第二検出光の一方が無反
射条件を満たした場合でも他方は無反射条件を満たさず
ウエハの反射面で反射し受光素子に入射する。請求項２
においては、複数の発光素子は互いに波長の異なる検出
光を出射しウエハに入射するので、少なくとも一つの検
出光は無反射条件を満たさずウエハの反射面で反射し受
光素子に入射する。
第一検出光と第二検出光は互いに異なる入射角でウエハ
に入射するので、第一検出光と第二検出光の一方が無反
射条件を満たした場合でも他方は無反射条件を満たさず
ウエハの反射面で反射し受光素子に入射する。請求項２
においては、複数の発光素子は互いに波長の異なる検出
光を出射しウエハに入射するので、少なくとも一つの検
出光は無反射条件を満たさずウエハの反射面で反射し受
光素子に入射する。
【００１２】
【実施例】次に、本発明の実施例について図面を用いて
説明する。尚、以下の図面において、図３と重複する部
分は同一番号を付してその説明は適宜に省略する。
説明する。尚、以下の図面において、図３と重複する部
分は同一番号を付してその説明は適宜に省略する。
【００１３】図１は本発明の請求項１の一実施例を示す
概念図である。図１において、ウエハ１はローラー４の
上に乗っていて、ローラー４が紙面に垂直方向に回転さ
れることによって、ウエハ１は紙面に平行方向に搬送さ
れることとなっている。
概念図である。図１において、ウエハ１はローラー４の
上に乗っていて、ローラー４が紙面に垂直方向に回転さ
れることによって、ウエハ１は紙面に平行方向に搬送さ
れることとなっている。
【００１４】ウエハ検出装置は、発光素子１０がウエハ
１の片面に対向配置され、ハーフミラー１２が発光素子
１０から出射される検出光１００が互いに異なる入射角
でウエハ１に入射する第一検出光２００と第二検出光２
０１に分割するように発光素子１０とウエハ１の間に配
置され、受光素子２０，２１が反射面２で反射された第
一検出光２００と第二検出光２０１とをそれぞれ受光す
るようにウエハ１の片面に対向配置されて構成されてい
る。
１の片面に対向配置され、ハーフミラー１２が発光素子
１０から出射される検出光１００が互いに異なる入射角
でウエハ１に入射する第一検出光２００と第二検出光２
０１に分割するように発光素子１０とウエハ１の間に配
置され、受光素子２０，２１が反射面２で反射された第
一検出光２００と第二検出光２０１とをそれぞれ受光す
るようにウエハ１の片面に対向配置されて構成されてい
る。
【００１５】次に、上記請求項１の実施例の動作を説明
する。図１において、発光素子１０から波長λ1の検出
光１００が出射されると、ハーフミラー１２は検出光１
００を透過成分である第一検出光２００と反射成分であ
る第二検出光２０１に分割する。ここで、第一検出光２
００と第二検出光２０１とが共に式（１），（２）で示
す無反射条件を満たさない場合には、第一検出光２００
は入射角θ1でウエハ１に入射し反射面２で反射され受
光素子２０に入射し、第二検出光２０１は入射角θ2で
ウエハ１に入射し反射面２で反射され受光素子２１に入
射する。
する。図１において、発光素子１０から波長λ1の検出
光１００が出射されると、ハーフミラー１２は検出光１
００を透過成分である第一検出光２００と反射成分であ
る第二検出光２０１に分割する。ここで、第一検出光２
００と第二検出光２０１とが共に式（１），（２）で示
す無反射条件を満たさない場合には、第一検出光２００
は入射角θ1でウエハ１に入射し反射面２で反射され受
光素子２０に入射し、第二検出光２０１は入射角θ2で
ウエハ１に入射し反射面２で反射され受光素子２１に入
射する。
【００１６】従って、受光素子２０，２１は入射した第
一検出光２００，第二検出光２０１のエネルギーに対応
する電流をそれぞれ発生してウエハ検出信号とし、ウエ
ハ１の存在を認識する。ウエハ１が存在しない場合は、
受光素子２０，２１には第一検出光２００，第二検出光
２０１がそれぞれ入射しない為、受光素子２０，２１は
電流を発生しない。従ってウエハ１は存在しないと認識
される。
一検出光２００，第二検出光２０１のエネルギーに対応
する電流をそれぞれ発生してウエハ検出信号とし、ウエ
ハ１の存在を認識する。ウエハ１が存在しない場合は、
受光素子２０，２１には第一検出光２００，第二検出光
２０１がそれぞれ入射しない為、受光素子２０，２１は
電流を発生しない。従ってウエハ１は存在しないと認識
される。
【００１７】ここで、Ｓｉ製のウエハ１に屈折率がほぼ
１．８５、膜厚がほぼ１１５０オングストロームの簿膜
が形成され、その表面を反射面２とし、波長λ1≒８５
００オングストロームの第一検出光２００が屈折率≒１
の空気中で入射角θ1≒０°でウエハ１に入射した場合
は、式（１），（２）に示す無反射条件を満たす為、第
一検出光２００は受光素子２０に入射しない。しかし、
第二検出光２０１は入射角θ2≠０°でウエハ１に入射
する為、無反射条件の式（１），（２）を満たさず、受
光素子２１は入射した第二検出光２０１のエネルギーに
対応する電流を発生してウエハ検出信号とし、ウエハ１
の存在を認識する。
１．８５、膜厚がほぼ１１５０オングストロームの簿膜
が形成され、その表面を反射面２とし、波長λ1≒８５
００オングストロームの第一検出光２００が屈折率≒１
の空気中で入射角θ1≒０°でウエハ１に入射した場合
は、式（１），（２）に示す無反射条件を満たす為、第
一検出光２００は受光素子２０に入射しない。しかし、
第二検出光２０１は入射角θ2≠０°でウエハ１に入射
する為、無反射条件の式（１），（２）を満たさず、受
光素子２１は入射した第二検出光２０１のエネルギーに
対応する電流を発生してウエハ検出信号とし、ウエハ１
の存在を認識する。
【００１８】図２は本発明の請求項２の実施例を示す概
念図である。図２において、ウエハ検出装置は、発光素
子１０，１１がウエハ１の片面に対向配置され、受光素
子２２が発光素子１０，１１からそれぞれ出射されウエ
ハ１の反射面２で反射される互いに異なる波長λ1，λ2
を有する検出光１００，１０１を受光するように配置さ
れて構成されている。
念図である。図２において、ウエハ検出装置は、発光素
子１０，１１がウエハ１の片面に対向配置され、受光素
子２２が発光素子１０，１１からそれぞれ出射されウエ
ハ１の反射面２で反射される互いに異なる波長λ1，λ2
を有する検出光１００，１０１を受光するように配置さ
れて構成されている。
【００１９】次に、上記請求項２の実施例の動作を説明
する。図２において、発光素子１０から波長λ1の検出
光１００が出射され、発光素子１１から波長λ2の検出
光１０１が出射され、この検出光１００，１０１が共に
式（１），（２）に示す無反射条件を満たさない場合に
は、検出光１００，１０１はともに入射角θ3でウエハ
１に入射し反射面２で反射され受光素子２２に入射す
る。
する。図２において、発光素子１０から波長λ1の検出
光１００が出射され、発光素子１１から波長λ2の検出
光１０１が出射され、この検出光１００，１０１が共に
式（１），（２）に示す無反射条件を満たさない場合に
は、検出光１００，１０１はともに入射角θ3でウエハ
１に入射し反射面２で反射され受光素子２２に入射す
る。
【００２０】従って、受光素子２２は入射した検出光１
００，１０１のエネルギーに対応する電流を発生してウ
エハ検出信号とし、ウエハ１の存在を認識する。ウエハ
１が存在しない場合は、受光素子２２には検出光１０
０，１０１は入射しない為、受光素子２２は電流を発生
しない。従ってウエハ１は存在しないと認識される。
００，１０１のエネルギーに対応する電流を発生してウ
エハ検出信号とし、ウエハ１の存在を認識する。ウエハ
１が存在しない場合は、受光素子２２には検出光１０
０，１０１は入射しない為、受光素子２２は電流を発生
しない。従ってウエハ１は存在しないと認識される。
【００２１】ここで、Ｓｉ製のウエハ１に屈折率がほぼ
１．８５、膜厚がほぼ１１５０オングストロームの簿膜
が形成され、その表面を反射面２とし、波長λ1≒８５
００オングストロームの検出光１００が屈折率≒１の空
気中で入射角θ3≒０°でウエハ１に入射した場合は、
式（１），（２）に示す無反射条件を満たす為、検出光
１００は受光素子２２に入射しない。しかし、検出光１
０１は波長λ2≠８５００オングストロームである為、
無反射条件の式（１），（２）を満たさず、受光素子２
２に入射し、受光素子２２は入射した検出光１０１のエ
ネルギーに対応する電流を発生してウエハ検出信号と
し、ウエハ１の存在を認識する。
１．８５、膜厚がほぼ１１５０オングストロームの簿膜
が形成され、その表面を反射面２とし、波長λ1≒８５
００オングストロームの検出光１００が屈折率≒１の空
気中で入射角θ3≒０°でウエハ１に入射した場合は、
式（１），（２）に示す無反射条件を満たす為、検出光
１００は受光素子２２に入射しない。しかし、検出光１
０１は波長λ2≠８５００オングストロームである為、
無反射条件の式（１），（２）を満たさず、受光素子２
２に入射し、受光素子２２は入射した検出光１０１のエ
ネルギーに対応する電流を発生してウエハ検出信号と
し、ウエハ１の存在を認識する。
【００２２】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように、請求項
１及び請求項２において複数の検出光を有し、一つの検
出光が無反射条件を満たす場合でも他の検出光が無反射
条件を満たさないように構成されているので、安定した
動作で確実にウエハの有無を認識できるウエハ検出装置
を提供することができる。
１及び請求項２において複数の検出光を有し、一つの検
出光が無反射条件を満たす場合でも他の検出光が無反射
条件を満たさないように構成されているので、安定した
動作で確実にウエハの有無を認識できるウエハ検出装置
を提供することができる。
【図１】本発明の請求項１の一実施例を示す概念図であ
る。
る。
【図２】本発明の請求項２の一実施例を示す概念図であ
る。
る。
【図３】従来のウエハ検出装置の一例を示す概念図であ
る。
る。
【図４】ウエハが存在しない場合の従来のウエハ検出装
置の動作を説明する図である。
置の動作を説明する図である。
【図５】従来のウエハ検出装置の問題点を説明する図で
ある。
ある。
１ ウエハ ２ 反射面 １０，１１ 発光素子 １２ ハーフミラー ２０，２１，２２ 受光素子 １００，１０１ 検出光 ２００ 第一検出光 ２０１ 第二検出光
Claims (2)
- 【請求項１】ウエハの片面に対向配置される発光素子
と、 この発光素子と前記ウエハの間に配置され前記発光素子
から出射される検出光を互いに異なる角度で前記ウエハ
に入射する第一検出光と第二検出光に分割するハーフミ
ラーと、 前記ウエハの反射面で反射された前記第一検出光及び前
記第二検出光を受光する受光素子と、 を具備することを特徴とするウエハ検出装置。 - 【請求項２】ウエハの片面に対向配置される複数の発光
素子と、 この複数の発光素子から出射され前記ウエハの反射面で
反射される互いに波長の異なる複数の検出光を受光する
受光素子と、 を具備することを特徴とするウエハ検出装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25827392A JPH06107333A (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | ウエハ検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25827392A JPH06107333A (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | ウエハ検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH06107333A true JPH06107333A (ja) | 1994-04-19 |
Family
ID=17317956
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25827392A Pending JPH06107333A (ja) | 1992-09-28 | 1992-09-28 | ウエハ検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH06107333A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010171051A (ja) * | 2009-01-20 | 2010-08-05 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 移載機 |
| WO2013011776A1 (ja) * | 2011-07-15 | 2013-01-24 | シャープ株式会社 | 基板処理装置、および薄膜太陽電池の製造装置 |
| JP2014529888A (ja) * | 2011-08-16 | 2014-11-13 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | チャンバ内の基板を感知するための方法および装置 |
-
1992
- 1992-09-28 JP JP25827392A patent/JPH06107333A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010171051A (ja) * | 2009-01-20 | 2010-08-05 | Hitachi Plant Technologies Ltd | 移載機 |
| WO2013011776A1 (ja) * | 2011-07-15 | 2013-01-24 | シャープ株式会社 | 基板処理装置、および薄膜太陽電池の製造装置 |
| JP2013026292A (ja) * | 2011-07-15 | 2013-02-04 | Sharp Corp | 基板処理装置、および薄膜太陽電池の製造装置 |
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| JP2017038071A (ja) * | 2011-08-16 | 2017-02-16 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッドＡｐｐｌｉｅｄ Ｍａｔｅｒｉａｌｓ，Ｉｎｃｏｒｐｏｒａｔｅｄ | チャンバ内の基板を感知するための方法および装置 |
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